TW202230419A - X射線源及其形成方法 - Google Patents

Abstract

一種X射線源裝置包含：陰極裝置，其被設置從其成發射電子束；及陽極，其與在其焦距之陰極裝置隔開且被設置成在其表面上的焦斑處接收來自陰極裝置的電子束。陽極被進一步設置成相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。亦提供了一種形成X射線源裝置的關聯方法。

Description

X射線源及其形成方法

本申請關於X射線裝置，且更具體地關於實施振盪陽極的X射線源及此種X射線源的形成方法。

典型的X射線管包含陰極及陽極（參見，比如，圖1），其中陰極（比如，熱燈絲發射器、場發射發射器等）被致動，以一束的形式發射電子。陽極承載相對高電壓（比如，10kV或以上）。於此等條件下，陰極發射的電子藉由陽極產生的電場被加速，且被吸引且導向至陽極（比如，為電子束）。在電子衝擊陽極（比如，陽極上的焦斑或焦點處）時，X射線照射是經由電子束與陽極之間的衝擊/相互作用而產生的。一般而言，X射線管具有發射單一電子束的單一陰極；及單一陽極。因此，陽極通常情況下僅界定電子束的單一焦斑或焦點，其通常對應於陽極上的固定面積（比如，電子束衝擊的陽極的面積）。

在電子束-陽極相互作用期間，僅約1%的電子能量被轉換為X射線能量。剩餘99%的電子能量一般而言被轉換為對陽極加熱的熱能。當陽極被加熱時，藉由電子直接衝擊的陽極上的面積（比如，焦斑）將體驗最高溫度升高。如此一來，關鍵問題往往是，適宜地管理X射線管的陽極的熱負載，以便在X射線管操作期間，減輕損傷陽極（比如，結晶、裂解、熔融）的風險。已有一些嘗試在減輕使陽極過熱或其他損傷陽極的風險，包含陽極冷卻件及旋轉式陽極設計（參見，比如，圖1B）。

一般而言，X射線管之旋轉式陽極設計包含在X射線管操作期間繞其中軸線以數千rpm旋轉的截頭錐形陽極，而且陰極裝置被設置使得電子束與旋轉式陽極的錐面部相互作用。因為陽極這樣旋轉，所以陽極的電子轟擊產生的熱圍繞陽極的錐形部的表面積分佈，而不集中於靜止的較小尺寸焦斑(focal spot)處。由此，陽極在焦斑附近體驗的最高溫度被降低。然而，鑒於陽極要以數千rpm順暢且穩定地旋轉的要求，實施旋轉式陽極設計有困難。在舉例而言多束X射線源的相對大陽極的範例中，使整個陽極以高轉速旋轉有困難或不切實際或是不可能的。另外，關於陽極上的中等熱負載要求超過靜止陽極的熱限的X射線管的一些應用中，考慮到實施旋轉式陽極設計的技術要求及成本，其是不可行的或不切實際的。

由此，存在對能夠管理容易有效實施且可縮放的X射線管的陽極的熱負載的X射線束源及其形成方法的需要。此種解決方案應該預期增加X射線管的陽極的熱負載能力，同時將因於電子束熱斑而損傷陽極的風險降低到最低。

上述及其他需要藉由本揭露的態樣滿足，本揭露的態樣包含但不限於下面的實例性實施方式，且在一個特定態樣中，提供一種X射線源裝置，包括：陰極裝置，其被設置成從其發射電子束；及陽極，其與在焦距之陰極裝置隔開且被設置成在其表面上的焦斑處接收來自陰極裝置的電子束。陽極被進一步設置成相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。

另一個實例性態樣提供一種形成X射線源裝置的方法，包括：將陽極設置成與在其焦距之陰極裝置隔開，使得陽極在該陽極的表面上的焦斑處接收陰極裝置發射的電子束；以及將陽極設置成相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。 由此，本揭露包含而不限於下面的實例性實施方式：

實例性實施方式 1 ：一種X射線源裝置，包括：陰極裝置，其被設置成從其發射電子束；以及陽極，其與在焦距之陰極裝置隔開且被設置成在其表面上的焦斑處接收來自陰極裝置的電子束，陽極被進一步設置成相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。

實例性實施方式 2 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該陽極為界定平面的平面構件且相對於自陰極裝置接收的電子束被偏斜地取向，且其中該陽極被設置成在平面構件的平面中相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 3 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該陽極包括複數個相鄰安置的平面部，該複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定平面的平面構件，且該平面構件相對於自陰極裝置接收的電子束偏斜地被取向，且其中每一個平面部被設置成以相對於相鄰平面部的相對方向且在平面構件的平面中相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 4 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該陽極為藉由柱面界定的且界定縱軸線的柱狀構件，其中該陽極被取向，以在其柱面上接收來自陰極裝置的電子束，且其中該陽極被設置成相對於焦斑沿縱軸線線性地振盪，或繞縱軸線旋轉性地振盪。

實例性實施方式 5 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該陽極被設置成以實質上相等的震幅以相對方向相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 6 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，包括與陽極通訊且與陰極裝置隔震(vibration-isolated)的振盪致動器，該振盪致動器被設置成使陽極以相對方向相對於該焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。

實例性實施方式 7 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中電子束與陽極上的焦斑的相互作用生成X射線，其中該X射線與電子束與焦斑的相互作用的持續時間成比例地被生成，且其中該振盪致動器被設置成在電子束與焦斑相互作用的持續時間期間使陽極振盪一或複數振盪循環。

實例性實施方式 8 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該焦斑具有沿振盪方向的尺度，且其中該振盪致動器被設置成使陽極在相對方向中每一者上以到焦斑外焦斑的至少一個尺度的震幅振盪。

實例性實施方式 9 ：任何前述實例性實施方式的裝置或其組合，其中該振盪致動器被設置成使陽極以不同於陽極或陰極裝置的共震頻率的頻率振盪。

實例性實施方式 10 ：一種形成X射線源裝置的方法，包括：將陽極設置成與在焦距之陰極裝置隔開，使得陽極在該陽極的表面上的焦斑處接收陰極裝置發射的電子束；以及將陽極設置成相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。

實例性實施方式 11 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中該陽極為界定平面的平面構件，且其中設置陽極包括將平面構件設置成相對於自陰極裝置接收的電子束偏斜地取向，且在該平面構件的平面中相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 12 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中該陽極包括複數個相鄰安置的平面部，該複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定平面的平面構件，且其中設置陽極包括將平面構件設置成相對於自陰極裝置接收的電子束偏斜地取向，且使得每一個平面部被設置成以相對於相鄰平面部的相對方向在平面構件的平面中相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 13 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中該陽極為藉由柱面界定的且界定縱軸線的柱狀構件，且其中設置陽極包括將柱狀構件設置成在其柱面上接收來自陰極裝置的電子束，且相對於焦斑沿縱軸線線性地振盪，或繞縱軸線旋轉性地振盪。

實例性實施方式 14 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中設置陽極包括將該陽極設置成以實質上相等的震幅以相對方向相對於焦斑振盪。

實例性實施方式 15 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，包括設置與陽極通訊且與陰極裝置隔震的振盪致動器，使得振盪致動器使陽極以相對方向相對於焦斑振盪，而與陰極裝置保持焦距。

實例性實施方式 16 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中電子束與陽極上的焦斑的相互作用生成X射線，其中該X射線與電子束與焦斑的相互作用的持續時間成比例地被生成，且其中設置振盪致動器包括將振盪致動器設置成在電子束與焦斑相互作用的持續時間期間使陽極振盪一或複數振盪循環。

實例性實施方式 17 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中該焦斑具有沿振盪方向的尺度，且其中設置振盪致動器包括將振盪致動器設置成使陽極在相對方向中每一者上以到焦斑外焦斑的至少一個尺度的震幅振盪。

實例性實施方式 18 ：任何前述實例性實施方式的方法或其組合，其中設置振盪致動器包括將振盪致動器設置成使陽極以不同於陽極或陰極裝置的共震頻率的頻率振盪。

藉由與附圖一起閱讀以下詳細描述，本揭露的此等及其他特徵、態樣及優點顯而易見，下面將簡單描述附圖。本揭露包含此揭露中闡釋的二、三、四或更多個特徵或元件的任一組合，而與此等特徵或元件是否明確地被組合或是否詳述於本文中的特定實施方式的描述中無關。預期此揭露被全盤地閱讀，使得應當根據預期（即，可組合）看待本揭露的任何態樣及實施方式中的任何可分離特徵或元件，除非本揭露的上下文另外清楚地指示。

應當明白，提供本文中的發明內容僅出於概略說明一些實例性態樣從而對本揭露提供基本理解的目的。就其本身而言，應當明白，上面描述的實例性態樣僅是實例，且不應當認為以任何方式使本揭露的範圍或精神變窄。應當明白，除了本文中概略說明的態樣，本揭露的範圍涵蓋許多可能的態樣，下面將進一步描述其中一些態樣。此外，根據以下結合附圖進行的詳細描述，本文中揭露的其他態樣或此等態樣的優點變得顯而易見，作為實例，附圖例示所描述的態樣的原理。

現在將在下文中參考附圖更全面描述本揭露，附圖中顯示本揭露的一些態樣，而非全部態樣。的確，本揭露可以許多不同的形式被具體實施，而且不應當被認為限於本文闡釋的態樣；相反，提供此等態樣是為了此揭露滿足適用的法律要求。在各處，相似的參考編號指相似的元件。

圖2A、圖2B、圖4A、圖4B、圖5A、及圖5B示意性地例示X射線源裝置100，一般而言，該X射線源裝置100包括：陰極裝置200，其被設置成從其發射電子束300；及陽極400，其與在焦距之陰極裝置200隔開且被設置成在其表面上的焦斑500處接收來自陰極裝置200的電子束300。陽極400被進一步設置成相對於焦斑500振盪，而與陰極裝置200保持焦距。於此等態樣中，相對於焦斑500振盪而與陰極裝置200保持焦距的陽極400提供舉例而言相較於先前技術靜止陽極具有相對較高耐熱性而相較於先前技術旋轉式陽極設計不太複雜且成本不太高的陽極400（參見，比如，圖3A），從而導致更有效管理X射線管的陽極上的熱負載。

於舉例而言如圖2A及圖2B所示的一些態樣中，振盪式陽極設置包含界定平面的平面構件形式的陽極400。平面構件相對於自陰極裝置200接收的電子束300偏斜地被取向。於此種設置中，陽極400被設置成在平面構件的平面中相對於焦斑500振盪（參見，比如，圖3B）。舉例而言，在一些態樣中，陽極400與舉例而言諸如電動凸輪設置、彈簧構件或任何其他適合的振盪機構的振盪致動器600接合，使得陽極400以預定振盪頻率及/或振盪震幅相對於原點（比如，焦斑500或焦點）振盪。為了使焦斑500/焦點相對於陽極400的表面保持固定，且陽極400處於陰極裝置200發射的電子束300的焦長（focal length）處，特定態樣使陽極200在陽極面界定的平面中或沿該平面發生振盪。於其他態樣中，振盪致動器600與陽極400通訊，且被設置成使陽極400以相對方向相對於焦斑500振盪，而使陽極與陰極裝置200保持焦距。

於特定態樣中，陽極400被設置成以實質上相等的震幅以相對方向相對於焦斑500振盪（參見，比如，圖3B）。如前面所指出的，電子束300與陽極400上的焦斑500的相互作用生成X射線，其中X射線與電子束300與焦斑500的相互作用的持續時間成比例地被生成（比如，僅當電子束300在焦點處衝擊陽極面時生成X射線）。相應地，於一些態樣中，振盪致動器600（參見，比如，圖3B）被設置成在電子束300與焦斑500相互作用的持續時間期間使陽極400振盪一或複數振盪循環。也就是說，在特定期望範例中，在操作期間，陽極400以預定振盪頻率及預定振盪震幅振盪，以達成對陽極400的有效熱管理。於特定態樣中，舉例而言，期望振盪頻率足夠高（比如，在X射線脈衝（自陰極裝置200的電子發射束）持續時間期間，陽極400振盪多次）及/或振盪震幅足夠大，以便驅散陽極400中產生的熱量。更具體地說，陽極400上的焦斑500通常情況下具有沿振盪方向的尺度，且關於振盪震幅，於一些態樣中，可期望振盪致動器600被設置成使陽極400在相對方向中每一者上以焦斑500外焦斑500的至少一個尺度的震幅而振盪（比如，震幅應該是靜止焦斑外的焦斑的至少一個全尺度）。

另外，由於具使陽極400振盪的振盪致動器600，所以陽極振盪引起的震動的影響必須被減弱，以將對X射線管的其他組件的衝擊降低至最小。如此一來，於一個態樣中，振盪致動器600及/或陽極400與陰極裝置200隔震。於其他態樣中，振盪致動器600被設置成使陽極400以不同於陽極400或陰極裝置200的共震頻率的頻率振盪。也就是說，藉由在X射線管的任一或所有組件的共震頻率的範圍外選擇陽極振盪頻率，可避免對X射線管的其他組件產生與震動有關的影響，其結果是將陽極震動對X射線管部件的其餘部分的衝擊降低至最小。於另一個態樣中，振盪致動器600及/或陽極400以及陽極振盪導致的任何陽極震動影響可與X射線管的剩餘組件機械地隔離。舉例而言，藉由裝設陽極400、振盪致動器600、陰極裝置200及使用減震材料(vibration dampening material)（比如，橡膠、陶瓷、聚合物等）的X射線管的組件的其餘部分及/或可有效減弱或抑制使陽極400振盪導致的震動的減震結構(vibration dampening structure)（比如，伸縮囊、彈簧等），可達成此種隔震。

於其他態樣中，為瞭解決震動影響，陽極400包括複數個相鄰安置的平面部（比如，圖5A及5B中的400A、400B），複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定平面的平面構件，而且平面構件相對於自陰極裝置200接收的電子束300偏斜地被取向。於此種態樣中，每一個平面部400A、400B被設置成以相對於相鄰平面部的相對方向且在平面構件的平面中相對於焦斑500振盪（參見，比如，圖3B）。也就是說，平面陽極400可被劃分為多個分段400A、400B，而且每一個分段獨立地振盪（參見，比如，圖5A及圖5B）。藉由適宜地控制每一個分段的振盪的相位，不同分段的震動可互相作用，以彼此抵消，從而減弱或將陽極震動對X射線管的其他組件的影響降低至最小。

於又一些其他態樣中，不一定要求陽極為平面構件。舉例而言，於一些態樣中，陽極400為柱面450界定的且界定縱軸線475的柱狀構件（參見，比如，圖4A及圖4B），其中陽極400被取向，以在其柱面450上接收來自陰極裝置200的電子束300。於此等態樣中，在每一個範例中，陽極400被設置成相對於柱面450上的焦斑沿縱軸線475線性地振盪（參見，比如，圖4A），或繞縱軸線475旋轉性地振盪（參見，比如，圖4B）。

如此一來，因於陽極振盪，與如圖3A所示的靜止陽極上的焦斑/焦點相較下，與電子束300關聯的陽極400上的原始焦斑500/焦點將被暴露於陽極400的較大面積中，舉例而言，如圖3B所示。由於具擴展空間（振盪震幅）及陽極400對來自陰極裝置300的電子束300的焦斑500/焦點的縮短時間暴露（振盪頻率），所以X射線產生中產生的熱橫跨陽極400的較大面積被驅散，且任一給定面積將經受短暫間隔暴露於電子束中。二個因素將降低陽極400的焦斑500/焦點區域體驗的操作溫度。

得益於前面的描述和有關附圖中闡述的教導的此等所揭露實施方式所屬領域中的通常知識者會想到本文闡釋的本發明的許多修改及其他實施方式。因此，應當理解，本發明的實施方式並不限於所揭露的具體實施方式，而且修改及其他實施方式旨在包含於本發明的範圍內。另外，儘管前面的描述及有關圖式在元件及/或功能的某個實例性組合的情境下描述了實例性實施方式，但應當明白，可藉由替代實施方式提供元件及/或功能的不同組合，而不脫離本揭露的範圍。於此方面，舉例而言，在本揭露的範圍內，與上面明確描述的那些元件及/或功能的組合不同的元件及/或功能的組合亦被構思。儘管本文中採用特定術語，但僅以一般描述性意義使用它們，而沒有限制性目的。

應當理解，儘管本文中可使用術語第一、第二等描述各種步驟或計數，但此等步驟或計數不應當受此等術語的限制。此等術語僅用於將一個操作或計數與另一個操作或計數區別開。舉例而言，第一計數可被稱為第二計數，且類似地，第二步驟可被稱為第一步驟，而不脫離本揭露的範圍。如本文中使用的，術語“及/或”及“/”符號包含一或複數有關列項的任一或全部組合。

如本文中使用的，單數形式“一（a）”及“一（an）”旨在亦包含複數形式，除非上下文另外清楚地指示。應當進一步理解，術語“包括（comprises）”、“包括（comprising）”、“包含（includes）”及/或“包含（including）”當在本文中使用時說明存在所陳述的特徵、整數、步驟、操作、元件及/或組件，但不排除存在或附加一或複數其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組。因此，本文中使用的術語僅出於描述特定實施方式的目的，而不旨在限制性。

100:X射線源裝置 200:陰極裝置 300:發射電子束 400:陽極 400A、400B:平面部 450:柱面 475:縱軸線 500:焦斑 600:振盪致動器

由此，已以一般術語描述了本揭露，現在將闡釋附圖，附圖未必按比例繪製，且其中： 圖1A示意性地例示包含單一陰極及單一靜止陽極的X射線管結構的先前技術實例； 圖1B示意性地例示包含單一陰極及單一旋轉式陽極的X射線管結構的先前技術實例； 圖2A及圖2B示意性地例示根據本揭露的一個態樣包含單一陰極及單一陽極的X射線管結構，其中陽極為界定平面的平面構件，且其中陽極被設置成在平面構件的平面中振盪； 圖3A示意性地例示X射線源的靜止陽極的先前技術實例及自陰極裝置接收的電子束的焦斑； 圖3B示意性地例示根據本揭露的一個態樣的X射線源的振盪式平面陽極，及橫跨自陰極裝置接收的電子束的焦斑的振盪面的分佈； 圖4A示意性地例示根據本揭露的一個態樣包含單一陰極及單一陽極的X射線管結構，其中陽極是柱狀構件，且其中陽極被設置成沿柱狀構件的縱軸線線性地振盪； 圖4B示意性地例示根據本揭露的一個態樣包含單一陰極及單一陽極的X射線管結構，其中陽極是柱狀構件，且其中陽極被設置成沿柱狀構件的縱軸線線性地振盪；以及 圖5A及圖5B示意性地例示根據本揭露的一個態樣包含單一陰極及單一陽極的X射線管結構，其中陽極包括複數個相鄰安置的平面部，該複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定平面的平面構件，且其中每一個平面部被設置成以相對於相鄰平面部的相對方向且在平面構件的平面中相對於焦斑振盪。

100:X射線源裝置

200:陰極裝置

300:發射電子束

400:陽極

Claims (18)

1. 一種X射線源裝置，包括： 一陰極裝置，該陰極裝置被設置成從其發射一電子束；及 一陽極，該陽極與在一焦距之該陰極裝置隔開且被設置成在其一表面上的一焦斑處接收來自該陰極裝置的該電子束，該陽極被進一步設置成相對於該焦斑振盪，而與該陰極裝置保持該焦距。
2. 如請求項1所述的裝置，其中該陽極為界定一平面的一平面構件且相對於自該陰極裝置接收的該電子束被偏斜地取向，且其中該陽極被設置成在該平面構件的該平面中相對於該焦斑振盪。
3. 如請求項1所述的裝置，其中該陽極包括複數個相鄰安置的平面部，該複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定一平面的一平面構件，且該平面構件相對於自該陰極裝置接收的該電子束偏斜地被取向，且其中每一個平面部被設置成以相對於一相鄰平面部的一相對方向且在該平面構件的該平面中相對於該焦斑振盪。
4. 如請求項1所述的裝置，其中該陽極為藉由一柱面界定的且界定一縱軸線的一柱狀構件，其中該陽極被取向，以在其柱面上接收來自該陰極裝置的該電子束，且其中該陽極被設置成相對於焦斑沿該縱軸線線性地振盪，或繞該縱軸線旋轉性地振盪。
5. 如請求項1所述的裝置，其中該陽極被設置成以一實質上相等的震幅以相對方向相對於該焦斑振盪。
6. 如請求項1所述的裝置，包括與該陽極通訊且與該陰極裝置隔震的一振盪致動器，該振盪致動器被設置成使該陽極以相對方向相對於該焦斑振盪，而與該陰極裝置保持該焦距。
7. 如請求項6所述的裝置，其中該電子束與該陽極上的該焦斑的相互作用生成X射線，其中該X射線與該電子束與該焦斑的相互作用的一持續時間成比例地被生成，且其中該振盪致動器被設置成在該電子束與該焦斑之該相互作用的持續時間之期間使該陽極振盪一或複數振盪循環。
8. 如請求項6所述的裝置，其中該焦斑具有沿一振盪方向的一尺度，且其中該振盪致動器被設置成使該陽極在該相對方向每一者中以到該焦斑之外的該焦斑的至少一個尺度的一震幅而振盪。
9. 如請求項6所述的裝置，其中該振盪致動器被設置成使該陽極以不同於該陽極或該陰極裝置的一共震頻率的一頻率振盪。
10. 一種形成一X射線源裝置的方法，包括： 將一陽極設置成與在其一焦距之一陰極裝置隔開，使得該陽極在該陽極的一表面上的一焦斑處接收該陰極裝置發射的一電子束；以及 將該陽極設置成相對於該焦斑振盪，而與該陰極裝置保持該焦距。
11. 如請求項10所述的方法，其中該陽極為界定一平面的一平面構件，且其中設置該陽極包括將該平面構件設置成相對於自該陰極裝置接收的該電子束偏斜地取向，且在該平面構件的該平面中相對於該焦斑振盪。
12. 如請求項10所述的方法，其中該陽極包括複數個相鄰安置的平面部，該複數個相鄰安置的平面部協作，以形成界定一平面的一平面構件，且其中設置該陽極包括將該平面構件設置成相對於自該陰極裝置接收的該電子束偏斜地取向，且使得每一個平面部被設置成以相對於一相鄰平面部的一相對方向在該平面構件的該平面中相對於該焦斑振盪。
13. 如請求項10所述的方法，其中該陽極為藉由一柱面界定的且界定一縱軸線的一柱狀構件，且其中設置該陽極包括將該柱狀構件設置成在其柱面上接收來自該陰極裝置的該電子束，且相對於該焦斑沿該縱軸線線性地振盪，或繞該縱軸線旋轉性地振盪。
14. 如請求項10所述的方法，其中設置該陽極包括將該陽極設置成以一實質上相等的震幅以相對方向相對於該焦斑振盪。
15. 如請求項10所述的方法，包括設置與該陽極通訊且與該陰極裝置隔震的一振盪致動器，使得該振盪致動器使該陽極以相對方向相對於該焦斑振盪，而與該陰極裝置保持該焦距。
16. 如請求項15所述的方法，其中該電子束與該陽極上的該焦斑的相互作用生成X射線，其中該X射線與該電子束與該焦斑的相互作用的一持續時間成比例地被生成，且其中設置該振盪致動器包括將該振盪致動器設置成在該電子束與該焦斑之該相互作用的該持續時間之期間使該陽極振盪一或複數振盪循環。
17. 如請求項15所述的方法，其中該焦斑具有沿一振盪方向的一尺度，且其中設置該振盪致動器包括將該振盪致動器設置成使該陽極在該相對方向之每一者中以到該焦斑外該焦斑的至少一個尺度的一震幅而振盪。
18. 如請求項15所述的方法，其中設置該振盪致動器包括將該振盪致動器設置成使該陽極以不同於該陽極或該陰極裝置的一共震頻率的一頻率而振盪。

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