TW202216535A - 拆袋機構 - Google Patents

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蔡國鑫
戴兆君
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鴻績工業股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種拆袋機構,包括一本體、一固持單元、一承載單元、一夾持單元以及一撐袋單元。本體形成有一容置空間;固持單元包括二固持件,且固持件沿一第一方向可動地配置於容置空間的兩側;承載單元包括一承載平台,且承載平台滑設於容置空間內;夾持單元包括二夾持件,且夾持件沿一第二方向可動地配置於容置空間的另外兩側,其中第二方向與第一方向線性獨立;撐袋單元包括複數個撐袋件,且這些撐袋件可動地連接於本體。

Description

拆袋機構
本發明提供一種拆袋機構,且特別是關於一種可在撐開包裝袋體的同時固持內容物,並在內容物取出後移除包裝袋體的拆袋機構。
晶圓是一種在半導體產業中被高度利用的電子元件。一般而言,裝配有晶圓的晶圓盒可大致分為前開式通用晶圓盒(front opening unified pod, FOUP)以及前開式晶圓運輸盒(front opening shipping box, FOSB)兩大種類,在運送過程中,晶圓盒會被放入包裝晶圓盒的專用袋體內,以避免運輸過程中外界的雜質混入從而汙染晶圓。在放入晶圓盒後,操作人員會將袋體的內部空氣抽出,這樣的作法不僅可減少晶圓盒包佔據的體積,也可防止袋體內的空氣與晶圓產生反應而影響晶圓品質。
當晶圓盒包運送至下一個加工區時,工作人員需要將晶圓的包裝袋卸除以取出內部的晶圓盒。過往,上述的作業程序大多以人力進行,不僅曠日廢時,且由於晶圓盒的重量較重,在搬運過程中很有可能會不慎掉落造成晶圓盒甚至是內部的晶圓損傷。為此,諸多的業界人員以及研發單位均致力於將上述程序自動化以減少資源的支出,例如台灣專利公告號TW I631047B提出了一種自動拆袋系統以及應用上述系統的自動拆袋方法,可先透過吸力裝置固定包裝袋,並藉由刀具模組將包裝袋切割出開口後由移載模組將袋中的晶圓盒取出,實現拆袋的自動化。
然而,當吸力裝置固定包裝袋時,晶圓盒實質上處於未被承載且未被固定的狀態,十分容易在拆袋過程中因機構的撥動而傾倒或掉落造成內部晶圓受損。除此之外,當移載模組的承接機構承接晶圓盒底部時,包裝袋的一部份受到晶圓盒的重量壓抵於承接機構上,導致撐袋機構需要提供極大的出力才能在晶圓盒以及包裝袋之間製造出空隙,也使得撐袋機構移動路徑及動力輸出複雜化。
發明人遂竭其心智悉心研究,進而研發出一種可在撐開包裝袋體的同時固持內容物,並在內容物取出後移除包裝袋體的拆袋機構,以期達到提高內容物的安全性及穩定性、簡化機構移動路徑、降低機構輸出功率以及提高拆袋流程自動化效率的效果。
本發明提供一種拆袋機構,包括一本體、一固持單元、一承載單元、一夾持單元以及一撐袋單元。本體形成有一容置空間;固持單元包括二固持件,且固持件沿一第一方向可動地配置於容置空間的兩側;承載單元包括一承載平台,且承載平台滑設於容置空間內;夾持單元包括二夾持件,且夾持件沿一第二方向可動地配置於容置空間的另外兩側,其中第二方向與第一方向線性獨立;撐袋單元包括複數個撐袋件,且這些撐袋件可動地連接於本體。
在一實施例中,上述的固持件各包括一固持部以及一承載部。拆袋機構適用於一物體,固持件透過各固持部沿第一方向固持物體,各承載部相對於容置空間配置於各固持部的外側,且固持件透過各承載部沿一第三方向承載物體,其中第三方向線性獨立於第一方向以及第二方向。
在一實施例中,上述的承載平台上配置有二輔助固持件以及複數個壓力感測器,輔助固持件沿第二方向滑設於承載平台的兩側,且壓力感測器的一部份相對於承載平台突出。
在一實施例中,上述的承載平台上配置有複數個主吸取件以及複數個輔助吸取件,這些主吸取件以及這些輔助吸取件連接於一抽氣幫浦。主吸取件配置於承載平台的兩側,且輔助吸取件配置於這些主吸取件之間。
在一實施例中,拆袋機構還包括一開袋件,且開袋件可滑動地連接於這些夾持件中的至少一夾持件。
在一實施例中,上述的夾持件各包括一固定部以及一可動部。各可動部可相對於各固定部移動,且各固定部以及各可動部具有對應的一夾持特徵。
在一實施例中,上述的承載平台以及夾持件上各配置有一光感測器。
在一實施例中,上述的撐袋件配置於容置空間的角部,且這些撐袋件沿第一方向、第二方向以及一第三方向相對於本體滑動,其中第三方向線性獨立於第一方向以及第二方向。
在一實施例中,上述的撐袋件為板狀結構且各形成有一凸部,且各凸部朝容置空間的反向延伸。
在一實施例中,拆袋機構還包括一提取件,且提取件透過一機械手臂或一移動機構架設於本體上。
藉此,本發明的拆袋機構能在固持單元固持物體的同時,透過夾持單元將包裝用的袋體沿二方向相對於物體展開,並藉由撐袋單元支撐袋體而使承載單元順利地承接內部的物體,從而達到穩定移動物體、簡化機構移動路徑、降低機構輸出功率以及提高拆袋流程自動化效率的效果。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
有關本發明之前述及其它技術內容、特點與功效,在以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中,將可清楚地呈現。值得一提的是,以下實施例所提到的方向用語,例如:上、下、左、右、前或後等,僅是參考附加圖式的方向。因此,使用的方向用語是用以說明,而非對本發明加以限制。此外,在下列的實施例中,相同或相似的元件將採用相同或相似的標號。
請參考圖1及圖2,其中圖1為本發明的拆袋機構的一實施例的立體示意圖,而圖2為圖1的俯視示意圖。本實施例的拆袋機構1用以將一物體外層的一包裝袋體自物體上自動卸除,其中物體例如是一晶圓盒,而包裝袋體的材質可為鋁袋、塑膠袋等等。詳細而言,拆袋機構1包括一本體100、一固持單元200、一承載單元300、一夾持單元400以及一撐袋單元500,其中本體100形成有一容置空間S;固持單元200包括二固持件210,且這些固持件210沿一第一方向D1可動地配置於容置空間S的前後兩側;承載單元300包括一承載平台310,且承載平台310滑設於容置空間S內;夾持單元400包括二夾持件410,且這些夾持件410沿一第二方向D2可動地配置於容置空間S的左右兩側,其中第二方向D2與第一方向D1線性獨立;撐袋單元500包括複數個撐袋件510,且這些撐袋件510可動地連接於本體100。
詳細而言,當使用者需要將物體外層的袋體卸除時,可先透過刀具或裁切機構將袋體裁切出一切口。較佳地,切口的形狀為I形或H形,且切口所在的位置位於物體的底面。之後,使用者可透過人工或機械手臂運送的方式,將物體以及形成有切口的袋體移動至拆袋機構1進行拆袋作業。
請參考圖3,圖3為圖1中的固持單元的立體示意圖,由於容置空間S前後兩側的固持件210大致相同且對稱配置,因此下文中僅對後側的固持件210加以說明。詳細而言,固持件210包括一固持部212以及一承載部214,各承載部214相對於容置空間S配置於各固持部212的外側,且固持部212以及承載部214分別透過一第一滑動機構220以及一第二滑動機構230滑設於本體100上,其中固持部212例如是一金屬擋塊,承載部214例如是一板狀元件且形成有複數個缺口而呈現W形,而第一滑動機構220以及第二滑動機構230例如是可透過汽缸驅動的滑軌及滑塊。當物體以人工或自動的方式移動至拆袋機構1時,承載部214會透過第二滑動機構230滑動至容置空間S的上方,且固持件210透過各承載部214沿著線性獨立於第一方向D1以及第二方向D2的一第三方向D3承載物體。如圖所示,由於固持部212的一部份嵌設於承載部214的缺口內,而其它部份與承載部214錯開,即使各承載部214配置於固持部212的外側,且當承載部214沿第一方向D1朝容置空間S的內側移動時,固持部212依然能維持在原本位置而不會彼此干涉。當物體確實承載於承載部214上後,兩側的固持件210的固持部212將透過各固持部212沿第一方向D1朝容置空間S的內側滑動一段預先設定好的行程,並抵接至物體的表面從而固持物體。在固持部212從兩側穩定固持物體後,承載部214會沿著第一方向D1退回原本的位置,使得物體呈現側面被固持部212固持,而具有切口的底面露出且未被遮擋的狀態。
請參考圖4及圖5,其中圖4為圖1中的夾持單元的立體示意圖,而圖5為圖4的局部後視示意圖。如圖4所示,夾持件410配置於容置空間S的左右兩側,且分別透過一滑臺420沿第二方向D2滑動,用以將袋體自物體的表面脫離。如圖4及圖5所示,較佳地,夾持單元400還包括一開袋件440,其中開袋件440例如是一矽膠條,且透過一汽缸430配置於左側的夾持件410靠近容置空間S的一側,換言之,開袋件440可滑動地連接於這些夾持件410中的至少一夾持件。當物體如上文所述被固持部212固持,且具有切口的底面露出時,夾持單元400會驅動滑臺420使得夾持件410以及開袋件440移動至接近袋體上切口的位置,此時開袋件440將透過滑臺420以及汽缸430,在切口附近沿著第二方向D2以及第三方向D3做小幅度的往複式移動,藉此摩擦袋體從而使得袋體與物體的表面之間產生空隙。之後,夾持單元400進一步的驅動滑臺420帶動夾持件410移動至產生出的空隙的位置,準備對袋體的切口邊緣進行夾持。
具體而言,各個夾持件410包括一固定部412以及一可動部414,其中可動部414透過一汽缸連接於固定部412且可相對於固定部412移動。當夾持單元要夾持袋體的切口邊緣時,可動部414會先朝遠離固定部412的方向移動一小段距離,使得固定部412與可動部414之間產生空隙,之後滑臺420移動夾持件410,使得袋體的切口邊緣伸入固定部412以及可動部414之間的空隙中,可動部414再朝固定部412移動並將袋體的切口邊緣夾持在固定部412以及可動部414之間。值得一提的是,在本實施例中,各固定部412具有一夾持特徵412a,且可動部414具有對應的一夾持特徵414a,其中夾持特徵412a例如是一凸塊且相對於固定部412的夾持面凸出,而夾持特徵414a例如是可容置上述凸塊的一凹槽。透過夾持特徵412a以及夾持特徵414a的配置,當夾持件410夾持袋體的切口邊緣時,袋體會卡掣於夾持特徵412a以及夾持特徵414a之間,從而不容易在夾持件410移動的過程中受到袋體材料的拉力作用移動從而脫離夾持件410。
當兩側的夾持件410夾持袋體切口的兩個邊緣後,兩側的滑臺420將沿著第二方向D2朝容置空間S的外側滑動,進而將袋體的邊緣往兩側張開。較佳地,在這些夾持件410靠近容置空間S的一側配置有一光感測器450,可偵測袋體是否確實被夾持件410夾持。藉此,物體的兩側依然被固持部212固持,但物體的底部已不再被袋體包覆且完全露出。
請參考圖6及圖7,其中圖6為圖1中的承載單元的立體示意圖,而圖7為圖6中的承載平台的立體示意圖。當物體的一面不再被袋體包覆後,物體即可從露出的方向移出袋體從而使物體與袋體分離,並透過承載單元300承載。詳細而言,承載單元300還包括一臺座320、一馬達330以及一傳動機構340,其中承載平台310配置於臺座320上,傳動機構340包括一傳動軸342、複數個導柱344以及複數個螺桿346,且臺座320套設於這些導柱344以及這些螺桿346上。藉此,承載平台310能透過馬達330以及傳動機構340的驅動,與臺座320一同有如電梯般在容置空間S中沿著第三方向D3自由地升降移動。
如圖7所示,當物體的底部完全露出後,承載平台310將沿第三方向D3接近物體並抵接於物體的底部。較佳地,承載平台310上配置有複數個壓力感測器360以及一光感測器390,這些壓力感測器360例如是配置於物體底面的兩相對角部的位置且一部份相對於承載平台310突出,而光感測器390埋設於承載平台310內。透過這樣的配置,當承載平台310抵接於物體底部時,光感測器390可偵測物體是否位於預定承載的位置上,而壓力感測器360可確認物體是否為水平承載,當壓力感測器360未偵測到物體接觸,或者是僅有部份的壓力感測器360受壓時,拆袋機構1將發出提示訊號,通知作業人員前往現場調整物體位置或進行勘誤。
另一方面,承載平台310上還配置有兩輔助固持件350,且這些輔助固持件350沿第二方向D2滑設於承載平台310的兩側。當物體穩定地承載於承載平台310上後,這些輔助固持件350將沿著第二方向D2朝承載平台310的內側滑動從而固持於物體的側面。顯而易見地,由於輔助固持件350是固持物體在第二方向D2上的側面,而固持部212則是固持物體在第一方向D1上的側面,因此兩者不會彼此干涉或撞擊。在輔助固持件350固持物體後,固持部212會沿第一方向D1退回原本的位置,並準備進行撐袋作業。
值得一提的是,本實施例的承載單元300具有偵測袋體是否確實被夾持單元400夾持並展開的功能。詳細而言,承載平台310上配置有複數個主吸取件370以及複數個輔助吸取件380,這些主吸取件370以及輔助吸取件380連接於一抽氣幫浦(未繪示),其中主吸取件370為吸嘴,在本實施例中數量為兩個,且配置於承載平台310的兩側,而輔助吸取件380亦為吸嘴,數量為四個且配置於這些主吸取件370之間。當壓力感測器360以及光感測器390偵測到物體承載於承載平台310上時,在固持部212尚未離開物體之前,主吸取件370將會開始抽氣,由於主吸取件370與物體側部表面的袋體距離很小,若主吸取件370吸附到袋體,代表在剛才的夾持過程中,袋體的切口邊緣並未順利被夾持件410夾持及脫開,此時輔助吸取件380將進行抽氣,並將物體底部未被夾持移開的袋體吸附於輔助吸取件380上,緊接著承載平台310會沿著第三方向D3向下移動一小段距離,使切口邊緣的袋體確實脫離物體的表面,再由夾持單元400重新移至物體的底部進行夾持,直到主吸取件370未吸取到袋體,確認袋體確實被夾持單元400夾持且脫開為止。透過這樣的配置,可以對拆袋作業做進一步的檢測以防止拆袋失敗。
請參考圖8,圖8為圖1中的撐袋單元的立體示意圖。詳細而言,本實施例的撐袋單元包括複數個撐袋件510、一滑臺520、一馬達530以及一傳動機構540,其中撐袋件510配置於容置空間S的角部且連接於滑臺520,且馬達530透過傳動機構540適於驅動撐袋件510移動,其中傳動機構540包括複數個導柱542、複數個皮帶輪544以及一皮帶546,且皮帶546套設於這些導柱542以及這些皮帶輪544上,但本發明並不以此為限。如圖所示,撐袋件510可透過滑臺520沿著第一方向D1彼此接近或遠離,亦可透過馬達530的驅動沿著套設的導柱542在第三方向D3上移動。較佳地,撐袋單元500還包括一汽缸,使撐袋件510可沿第一方向D1、第二方向D2以及第三方向D3自由地相對於本體100滑動。
在下文中,為了方便說明,會將撐袋件510分別以第一撐袋件510a、第二撐袋件510b、第三撐袋件510c以及第四撐袋件510d代稱。當輔助固持件350固持物體且固持部212沿第一方向D1退回原本的位置後,馬達530會驅動滑臺520沿第三方向D3上升至與承載平台310平行的位置,此時第一撐袋件510a、第二撐袋件510b、第三撐袋件510c以及第四撐袋件510d彼此之間的距離將會略小於物體的尺寸,並且由物體的底部方向伸入袋體內。較佳地,這些撐袋件510為板狀結構且各形成有一凸部512,這些凸部512的尺寸較連接的板體部份為小且朝容置空間S的反向延伸,因此撐袋件510可透過凸部512較為容易地進入袋體內部。當凸部512抵頂至袋體的頂部時,第一撐袋件510a、第二撐袋件510b、第三撐袋件510c以及第四撐袋件510d將會沿著第一方向D1向外側移動並將袋體撐至緊繃的狀態,此時袋體與物體已經完全脫離,因此承載平台310將會沿著第三方向D3向下移動,並帶動被輔助固持件350固持的物體一併進入容置空間S,而由第一撐袋件510a、第二撐袋件510b、第三撐袋件510c以及第四撐袋件510d將袋體支撐於容置空間S的上方。
較佳地,拆袋機構1還包括一提取件(未繪示),其中提取件例如是一夾爪或一吸嘴,且提取件透過一機械手臂或一移動機構架設於本體100上。當物體進入容置空間S後,第一撐袋件510a、第二撐袋件510b、第三撐袋件510c以及第四撐袋件510d的其中一個撐袋件510可沿著第一方向D1向內側移動一小段距離,使得袋體由完全緊繃的狀態變為略為鬆垮的狀態,此時提取件即可移動至袋體的上方,並透過夾取或吸取等方式將袋體提取至堆放的位置。在袋體處理完畢後,承載平台310將會再度移動,並帶著卸除掉袋體的物體上升至容置空間S的上方,以提供操作人員使用或進行下一步的加工。
本發明在上文中已以較佳實施例揭露,然熟習本項技術者應理解的是,上述實施例僅用於描繪本發明,而不應解讀為限制本發明之範圍。且應注意的是,舉凡與上述實施例等效之變化與置換,均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此,本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
1:拆袋機構 100:本體 200:固持單元 212:固持部 214:承載部 220:第一滑動機構 230:第二滑動機構 300:承載單元 310:承載平台 320:臺座 330:馬達 340:傳動機構 342:傳動軸 344:導柱 346:螺桿 350:輔助固持件 360:壓力感測器 370:主吸取件 380:輔助吸取件 390:光感測器 400:夾持單元 410:夾持件 412:固定部 412a:夾持特徵 414:可動部 414a:夾持特徵 420:滑臺 430:汽缸 440:開袋件 450:光感測器 500:撐袋單元 510:撐袋件 510a:第一撐袋件 510b:第二撐袋件 510c:第三撐袋件 510d:第四撐袋件 512:凸部 520:滑臺 530:馬達 540:傳動機構 542:導柱 544:皮帶輪 546:皮帶 D1:第一方向 D2:第二方向 D3:第三方向 S:容置空間
圖1為本發明的拆袋機構的一實施例的立體示意圖。 圖2為圖1的俯視示意圖。 圖3為圖1中的固持單元的立體示意圖。 圖4為圖1中的夾持單元的立體示意圖。 圖5為圖4的局部後視示意圖。 圖6為圖1中的承載單元的立體示意圖。 圖7為圖6中的承載平台的立體示意圖。 圖8為圖1中的撐袋單元的立體示意圖。
1:拆袋機構
100:本體
200:固持單元
300:承載單元
400:夾持單元
500:撐袋單元
510:撐袋件
S:容置空間

Claims (10)

  1. 一種拆袋機構,包括: 一本體,該本體形成有一容置空間; 一固持單元,包括二固持件,且該二固持件沿一第一方向可動地配置於該容置空間的兩側; 一承載單元,包括一承載平台,且該承載平台滑設於該容置空間內; 一夾持單元,包括二夾持件,且該二夾持件沿一第二方向可動地配置於該容置空間的另外兩側,其中該第二方向與該第一方向線性獨立;以及 一撐袋單元,包括複數個撐袋件,且該複數個撐袋件可動地連接於該本體。
  2. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該二固持件各包括一固持部以及一承載部,該拆袋機構適用於一物體,該二固持件透過各該固持部沿該第一方向固持該物體,各該承載部相對於該容置空間配置於各該固持部的外側,且該二固持件透過各該承載部沿一第三方向承載該物體,其中該第三方向線性獨立於該第一方向以及該第二方向。
  3. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該承載平台上配置有二輔助固持件以及複數個壓力感測器,該二輔助固持件沿該第二方向滑設於該承載平台的兩側,且該複數個壓力感測器的一部份相對於該承載平台突出。
  4. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該承載平台上配置有複數個主吸取件以及複數個輔助吸取件,該複數個主吸取件以及該複數個輔助吸取件連接於一抽氣幫浦,該複數個主吸取件配置於該承載平台的兩側,且該複數個輔助吸取件配置於該複數個主吸取件之間。
  5. 如請求項1所述的拆袋機構,還包括一開袋件,且該開袋件可滑動地連接於該二夾持件中的至少一夾持件。
  6. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該二夾持件各包括一固定部以及一可動部,各該可動部可相對於各該固定部移動,且各該固定部以及各該可動部具有對應的一夾持特徵。
  7. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該承載平台以及該二夾持件上各配置有一光感測器。
  8. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該複數個撐袋件配置於該容置空間的角部,且該複數個撐袋件沿該第一方向、該第二方向以及一第三方向相對於該本體滑動,其中該第三方向線性獨立於該第一方向以及該第二方向。
  9. 如請求項1所述的拆袋機構,其中該複數個撐袋件為板狀結構且各形成有一凸部,且各該凸部朝該容置空間的反向延伸。
  10. 如請求項1所述的拆袋機構,還包括一提取件,且該提取件透過一機械手臂或一移動機構架設於該本體上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP6655411B2 (ja) * 2016-02-05 2020-02-26 不二越機械工業株式会社 開封装置
US10840121B2 (en) * 2016-10-31 2020-11-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and apparatus for unpacking semiconductor wafer container
KR102008201B1 (ko) * 2019-02-27 2019-08-07 (주)에이텍솔루션 Fosb 언패킹 시스템 및 방법
TWM610220U (zh) * 2020-10-19 2021-04-11 鴻績工業股份有限公司 拆袋機構

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