TW202210107A - 紫外線照射裝置 - Google Patents

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柳生英昭
今村篤史
森学
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Abstract

本發明的課題係提供搭載放射於波長200nm～230nm具有中心波長之光線的準分子燈，具備萬用性更高的裝置構造的紫外線照射裝置。 解決手段的紫外線照射裝置(100)係具備具有封入發光氣體的放電容器(13)，與以抵接於放電容器(13)之方式配置，於放電容器(13)的內部產生介電質屏蔽放電的一對第一電極(14)及第二電極(15)的準分子燈(12)、與於內部收容準分子燈(12)，且具有放射從準分子燈(12)發出之在波長200～230nm具有中心波長之光線的光射出窗，藉由絕緣性的耐熱樹脂材料所構成的框體(11)。

Description

紫外線照射裝置
本發明係關於具備準分子燈的紫外線照射裝置。
先前，為了防止有害的微生物(細菌及黴菌等)及病毒所致之傳染病的擴大，進行對附著於浮游於空間的微生物及病毒、及地板面、壁面、物體的表面等之各種場所的微生物及病毒，照射紫外線使其不活化。
例如於專利文獻1揭示使用於皮膚等的殺菌處理及脫臭處理的紫外線照射裝置。搭載於該紫外線照射裝置的準分子燈，係具備以圓筒狀的外側管，與沿著外側管的管軸配置之圓筒狀的內側管構成的發光管，在外側管與內側管之間形成圓環狀的放電空間。又，在用以冷卻準分子燈的吸排氣風扇、設置於發光管的外側的外側電極、設置於發光管的内側的內側電極之間，設置施加高頻高電壓的電源部。
又，例如於專利文獻2揭示作為可不對人的細胞造成危害，對細菌進行殺菌的光線，可利用波長200nm附近的紫外線(例如波長207nm及波長222nm的準分子光)，藉此，對於人來說是安全的，並且可對空間及表面進行UV殺菌的內容。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第6558376號公報 [專利文獻2]日本專利第6025756號公報
[發明所欲解決之課題]
藉由不危害人的細胞，可對有害的微生物及病毒進行不活化之紫外線的發現，此種紫外線係在人或動物往來的設施(醫院、運動設施、劇場、飲食店、會議室、廁所等)及交通工具(飛機、電車、公車、汽車)等的廣範圍的場合，被期待作為微生物及病毒的不活化用途的利用。然而，前述專利文獻1所記載的紫外線照射裝置係框體構造容易大型化，並不是萬用性高的裝置構造。
又，準分子燈係由於是可根據放電用氣體的種類來調整放射之光線的波長特性(波長範圍)者，藉由作為放電用氣體使用適當的氣體，可獲得於波長200nm附近具有中心波長的放射光(紫外線)。具體來說，利用使用溴化氪(KrBr)氣體，獲得中心波長207nm的放射光，利用使用氯化氪(KrCl)氣體，可獲得中心波長222nm的放射光。
然而，放射光包含波長未滿190nm的紫外線時，可能產生臭氧(O3 )。此係因為波長未滿190nm的紫外線被照射至包含氧的氣氛中的話，氧分子被光分解會生成氧原子，藉由氧分子與氧原子的結合反應，生成臭氧。因此，於大氣氣氛中使特定準分子燈點燈之狀況中，波長未滿190nm的紫外線稍微放射時，有大氣中會產生微量的臭氧之狀況。又，前述狀況以外，對電極間施加高電壓時，也會有在電極間發生大氣放電的可能性、電極與放電燈之間的微小空隙發生大氣放電的可能性，因為大氣放電而發生微量的臭氧之狀況。該臭氧係有讓樹脂及橡膠等的有機材料劣化之虞。
因此，本發明的課題係提供搭載放射於波長200nm～230nm具有中心波長之光線的準分子燈，具備萬用性更高的裝置構造的紫外線照射裝置。 [用以解決課題之手段]
為了解決前述課題，本發明的紫外線照射裝置之一樣態，係具備：準分子燈，係具有封入發光氣體的放電容器，與以抵接於前述放電容器之方式配置，於前述放電容器的內部產生介電質屏蔽放電的一對第一電極及第二電極；及框體，係於內部收容前述準分子燈，且具有放射從前述準分子燈發出之在波長200～230nm具有中心波長之光線的光射出窗，藉由絕緣性的耐熱樹脂材料所構成。如此，利用耐熱樹脂框體覆蓋準分子燈，框體內變得容易保溫。藉此，可獲得構成放電容器之玻璃的紫外線應變的緩和效果。又，在準分子燈的周圍存在微量的氧時，該氧承受從準分子燈放射的紫外線，有產生臭氧之狀況，但是，利用框體內被保溫，有促進臭氧的熱分解的效果。又，因為是保溫框體內的構造，於該框體內，不需要配置用以冷卻例如準分子燈等的機構。因此，可抑制框體構造大型化，作為萬用性高的裝置構造。
又，前述的紫外線照射裝置，係更具備：第一導電體，係與前述第一電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置；及第二導電體，係與前述第二電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置；前述第一導電體及前述第二導電體，係於前述框體的外部中，與對前述準分子燈供給電力的電源部電性連接亦可。 如此，利用於框體之外設置電源部，即使在準分子燈的周圍微量產生臭氧之狀況中，也可防止因為該臭氧，導致電源部的構成零件劣化之狀況。進而，可透過貫通框體所設置的導電體，實現與電源部的電性連接，所以，可作為萬用性高的裝置構造。又，於框體內收納準分子燈，故利用交換框體本身即可進行燈管交換，成為便利性高的裝置構造。
又，於前述的紫外線照射裝置中，前述第一電極及前述第二電極，係以抵接於前述框體之方式固定；前述第一電極與前述第一導電體的連接，係設置於前述框體之前述第一電極抵接之面；前述第二電極與前述第二導電體的連接，係設置於前述框體之前述第二電極抵接之面亦可。 此時，框體內的電性連接可設為不使用導電構件(電線)的構造。電性連接使用電線時，設想被覆電線的材料因臭氧惡化之狀況的話，會擔憂短路及漏電的問題，但是，利用設為電性連接不使用電線的構造，可迴避前述的問題。又，利用連接端子設置於框體與電極的抵接面，可一邊維持框體內的封堵空間，一邊讓電極與電源部之間的電性連接更為牢固。又，可更適切防止在框體內產生的紫外線從形成連接端子的貫通孔洩漏。
進而，於前述的紫外線照射裝置中，前述第一導電體，係具備與前述第一電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置的第一連接端子，與連接於前述第一連接端子的第一導電構件；前述第二導電體，係具備與前述第二電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置的第二連接端子，與連接於前述第二連接端子的第二導電構件；前述第一連接端子及前述第二連接端子，係於前述框體的外部中，透過前述第一導電構件及前述第二導電構件，與對前述準分子燈供給電力的電源部電性連接亦可。 如此，使用連接端子之狀況中，在製造上容易製作，又，可容易實現貫通框體，與電極連接的供電構造。
又，於前述的紫外線照射裝置中，前述第一電極及前述第二電極，係以抵接於前述框體之方式固定；前述第一連接端子，係設置於前述框體之前述第一電極抵接之面；前述第二連接端子，係設置於前述框體之前述第二電極抵接之面亦可。 此時，框體內的電性連接可設為不使用導電構件(電線)的構造。電性連接使用電線時，設想被覆電線的材料因臭氧惡化之狀況的話，會擔憂短路及漏電的問題，但是，利用設為電性連接不使用電線的構造，可迴避前述的問題。又，利用連接端子設置於框體與電極的抵接面，可一邊維持框體內的封堵空間，一邊讓電極與電源部之間的電性連接更為牢固。又，可更適切防止在框體內產生的紫外線從形成連接端子的貫通孔洩漏。
進而，於前述的紫外線照射裝置中，前述第一連接端子及前述第二連接端子，係將前述第一電極及前述第二電極分別固定於前述框體的螺絲構件亦可。 此時，可將連接端子兼用於框體與電極的機械連接(電極的固定)。
於前述的紫外線照射裝置中，前述框體，係具備上框部與下框部，以藉由前述上框部與前述下框部形成收容前述準分子燈的封閉空間之方式構成；於前述上框部，形成前述光射出窗；於前述下框部，分別固定前述第一電極及前述第二電極亦可。 此時，紫外線照射裝置的製造、組裝變得容易。
進而，於前述的紫外線照射裝置中，於前述框體之形成前述光射出窗之面的相反側，配置前述電源部亦可。 此時，可設為最簡潔且容易對應處理，有萬用性的構造。
又，於前述的紫外線照射裝置中，前述電源部，係具備換流器與冷卻該換流器的冷卻機構亦可。 此時，可有效地冷卻電源部。
又進而，於前述的紫外線照射裝置中，於前述光射出窗，設置阻止比230nm還長波長側之UVC波的透射的光學濾光片亦可。 此時，可作為射出對人體的不良影響少的波長區域之光線的紫外線照射裝置。
又，於前述的紫外線照射裝置中，前述耐熱樹脂材料，係可作為聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚醚醯亞胺(PEI)、含玻璃纖維的聚苯硫醚(PPS-GF)、液晶聚合物(LCP)、及含玻璃纖維的聚對苯二甲酸丁二酯(PBT-GF)之任一。 此時，可藉由對於紫外線的劣化少，充分確保耐熱性(100℃以上)的樹脂材料來構成框體。再者，不僅紫外線的劣化耐性及耐熱性，也考慮UVC波的遮光性及加工性時，聚醚醯亞胺(PEI)最容易對應處理，較為理想。 [發明的效果]
依據本發明的一樣態，可作為搭載放射於波長200nm～230nm具有中心波長之光線的準分子燈，具備萬用性更高的裝置構造的紫外線照射裝置。
以下，依據圖式來說明本發明的實施形態。 圖1係本實施形態的紫外線照射裝置所具備之光源部110的外觀影像圖。又，圖2係光源部110的內部構造的示意圖。 如圖1所示，光源部110係具備由上框部11a與下框部11b所成的框體11。又，如圖2所示，光源部110係具備收容於框體11的內部的準分子燈12。準分子燈12係放射於波長200nm～230nm具有中心波長之光線。
框體11係藉由絕緣性的耐熱樹脂材料所構成。在本實施形態中，框體11設為藉由聚醚醯亞胺(PEI)所構成者。 再者，框體11的材料只要是對於紫外線的劣化少，充分確保耐熱性(100℃以上)的樹脂材料即可，例如作為聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚醚醯亞胺(PEI)、含玻璃纖維的聚苯硫醚(PPS-GF)、液晶聚合物(LCP)、及含玻璃纖維的聚對苯二甲酸丁二酯(PBT-GF)等亦可。
又，為了詳細驗證對於波長200～230nm的紫外線之紫外線劣化，故使用放射峰值波長為222nm之光線的KrCl準分子燈，確認照射20分鐘之照度為15mW/cm2 的紫外線時之劣化狀況的時候，尤其，聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基烷烴(PFA)及聚醚醯亞胺(PEI)係幾乎沒確認到UV劣化，可確認可理想作為本發明的框體的材料。
進而，作為不危害人的細胞，可讓微生物及病毒不活化的紫外線照射裝置進行考察的話，收容光源(例如準分子燈)的框體係危害人的細胞之UVC波的透射率低的樹脂材料為佳。例如幾乎不存在(例如透射率5%以下，更理想為1%以下)比230nm還長波長側之UVC波的透射率的樹脂材料為佳。
因此，檢驗UVC波的透射性的時候，紫外線劣化的耐性高的聚四氟乙烯(PTFE)及全氟烷氧基烷烴(PFA)係可確認所定厚度中UVC波的透射率為數%～數十%程度。因此，在該樹脂材料中，有害光有透過框體洩漏的可能性，有使用上的擔憂時，有需要另外採取遮光對策的必要性。 另一方面，作為框體的材料，使用聚醚醯亞胺(PEI)時，可確認到可非常有效地抑制UVC波的透射。圖3係對於厚度1mm之板狀的聚醚醯亞胺材料，測定UV-VIS透射率的結果。如由圖3可知，可理解波長400nm以下的光線幾乎不會透射。 根據以上的觀點，作為框體材料，採用聚醚醯亞胺(PEI)最為理想。
框體11係具有藉由上框部11a與下框部11b，形成外部氣體不會流入的封閉空間，隔開框體11內部與框體11外部的構造。準分子燈12係被收容於形成於框體11內部的前述封閉空間，被框體11覆蓋。
於上框部11a形成成為光射出窗的開口部11c。於該開口部11c，設置例如由石英玻璃所成的窗構件11d。又，於該開口部11c，也可設置遮斷不需要之光線的光學濾光器等。準分子燈12的光取出面係與該光射出窗對向配置。 再者，在圖2中，光源部110具備複數(3條)準分子燈12，但是，準分子燈12的數量並未特別限定。
準分子燈12係具備兩端被氣密密封之直管狀的放電容器13。放電容器13例如可藉由石英玻璃構成。又，於放電容器13的內部，作為發光氣體封入稀有氣體與鹵素。在本實施形態中，使用氯化氪(KrCl)氣體的KrCl準分子燈。此時，所得之放射光的中心波長為222nm。 再者，作為鹵素，也可使用溴(Br)。KrBr準分子燈之狀況中，所得之放射光的中心波長為207nm。
於放電容器13的外表面，一對電極(第一電極14、第二電極15)以抵接的方式配置。如圖2所示，第一電極14及第二電極15係在放電容器13之與光取出面相反側的側面(+Z方向之面)，相互隔開配置於放電容器13的管軸方向(Y方向)。 然後，放電容器13係以一邊接觸一邊橫跨該等2個電極14、15之方式配置。具體來說，於2個電極14、15形成凹溝，放電容器13係嵌入電極14、15的凹溝。
該一對電極中，一方的電極(例如第一電極14)為高壓側電極，另一方的電極(例如第二電極15)為低壓側電極(接地電極)。利用對第一電極14及第二電極15之間施加高頻電壓，於放電容器13的內部空間中生成激發二聚體，中心波長222nm的準分子光從準分子燈12的光取出面放射。
在本實施形態中，一對電極14、15之與形成凹溝之面相反側之面抵接固定於下框部11b的面上(與上框部11a的光射出窗對向之面上)，藉此，準分子燈12的光取出面與光射出窗對向配置。因此，從準分子燈12放射的光線係透過光射出窗，從光源部110射出。 在此，電極14、15係藉由對於從準分子燈12放射的光線具有反射性的金屬構件構成亦可。此時，可反射從放電容器13往+Z方向放射的光線，使其往-Z方向行進。
於成為光射出窗的開口部11c，如上所述般可設置光學濾光器。光學濾光器係例如可設為透射對人體的不良影響少之波長區域190nm～237nm的光線(更理想為波長區域190nm～230nm的光線)，截斷其以外之UVC波長區域的光線的波長選擇濾光器。 作為波長選擇濾光器，例如可使用具有HfO2 層及SiO2 層所致之介電體多層膜的光學濾光器。
再者，作為波長選擇濾光器，可使用具有SiO2 層及Al2 O3 層所致之介電體多層膜的光學濾光器。 然而，作為波長選擇濾光器，使用具有HfO2 層及SiO2 層所致之介電體多層膜的光學濾光器時，相較於使用具有SiO2 層及Al2 O3 層所致之介電體多層膜的光學濾光器之狀況，可減少層的總數。因此，可提升射入角為0°時的紫外線的透射率。 如此，利用於光射出窗設置光學濾光器，即使從準分子燈12僅稍微放射對人有害的光線之狀況中，也可更確實抑制該光線洩漏至框體11之外。
第一電極14及第二電極15係與用以對準分子燈12供給電力的電源部電性連接。在本實施形態中，電源部係配置於框體11的外部。 具體來說，光源部110係具備作為電性連接第一電極14與電源部的第一連接構件(第一導電體)，與第一電極14電性連接，以貫通框體11之方式設置的金屬構件即第一連接端子16a，和電性連接第一連接端子16a與電源部的第一導電構件(電線)17a。
第一連接端子16a係設置於框體11之與第一電極14的抵接面，可作為貫通該抵接面，將第一電極14固定於框體11的螺絲構件。亦即，第一連接端子16a的螺絲頭部係設置於框體11外且框體11的第一電極14抵接之面上。第一導電構件17a的一端係連接於設置在框體11外之第一連接端子16a的螺絲頭部，另一端係連接於電源部。如此，第一導電構件17a係於框體11的外部中電性連接第一連接端子16a與電源部，框體11內的電性連接係為不使用電線的構造。
同樣地，光源部110係具備作為電性連接第二電極15與電源部的第二連接構件(第二導電體)，與第二電極15電性連接，以貫通框體11之方式設置的第二連接端子16b，和電性連接第二連接端子16b與電源部的第二導電構件(電線)17b。第二連接構件的構造係與上述之第一連接構件的構造相同。 又，於第一導電構件17a及第二導電構件17b，設置可對於電源部裝卸的連接器18。第一連接端子16a及第二連接端子16b與電源部的電性連接可藉由連接器18容易進行。 藉由前述的構造，光源部110係藉由連接器18的裝卸，可容易對於電源部裝卸。所以，在欲交換收容於框體11內的準分子燈12時，可利用交換框體11本身即可進行燈管交換，成為便利性高的裝置構造。
圖4係揭示具備電源部的紫外線照射裝置100之構造的示意圖。 如該圖4所示，紫外線照射裝置100係具備上述之光源部110與電源部120。 電源部120係具備支持部21、電源構件22、連接器部23、冷卻構件(冷卻機構)24。電源構件22、連接器部23及冷卻構件24係配置於與支持部21之配置框體11之側相反側，藉由遮蔽部25覆蓋。
在此，電源構件22係包含供給來自電源的電力的換流器。於連接器部23，連接第一導電構件17a與第二導電構件17b(在圖4中未圖示)。冷卻構件24係用以冷卻電源構件22的構件，可設為例如散熱片。再者，冷卻機構並不是限定於前述的冷卻構件24者，例如作為冷卻風扇亦可。 電源部120係利用支持部21藉由固定部26固定於框體11的下框部11b，配置於光源部110的框體11的背面側(與光射出窗相反側)。
如以上說明般，本實施形態之紫外線照射裝置100係具備具備框體11與準分子燈12的光源部110。框體11係藉由絕緣性的耐熱樹脂材料所構成。又，框體11係於內部收容準分子燈12，且具有放射從準分子燈12發出之在波長200～230nm具有中心波長之光線的光射出窗。然後，於框體11的外部，配置對準分子燈12供給電力的電源部120。準分子燈12的第一電極14與電源部120係藉由以貫通框體11之方式形成的第一連接構件(第一導電體)電性連接，準分子燈12的第二電極15與電源部120係藉由以貫通框體11之方式形成的第二連接構件(第二導電體)電性連接。
具體來說，前述第一連接構件係具備與第一電極14電性連接，以貫通框體11之方式設置的第一連接端子16a，與於框體11的外部中電性連接第一連接端子16a與電源部120的第一導電構件17a。同樣地，前述第二連接構件係具備與第二電極15電性連接，以貫通框體11之方式設置的第二連接端子16b，與於框體11的外部中電性連接第二連接端子16b與電源部120的第二導電構件17b。
如此，由耐熱樹脂材料所成的框體11係以覆蓋準分子燈12之方式構成，作為框體11內與框體11外被隔開的構造。然後，電源部120係為配置於該框體11的外側的構造。 來自準分子燈12的放射光即使些微包含未滿波長190nm的紫外線之狀況中，準分子燈的周圍存在氧的話，紫外線會作用於該氧而生成臭氧。利用以由耐熱樹脂材料所成的框體11覆蓋準分子燈12，於框體11的外部配置電源部120，即使在準分子燈12的周圍生成臭氧之狀況中，也可防止構成電源部120的電子零件因為臭氧而劣化之狀況。
又，準分子燈12被框體11覆蓋，於框體11內形成外部氣體不會流入的封閉空間。因此，準分子燈12的點燈中係因為從準分子燈12本身發出的熱，導致框體11內的溫度上升，又，利用框體11藉由耐熱樹脂材料構成，可作為框體11內的熱難以放熱，準分子燈12容易被保溫的構造。 臭氧的半衰期係伴隨溫度的上升變短。因此，利用保溫框體11內，可獲得在框體11內產生的臭氧容易被熱分解的效果。 進而，構成放電容器13的石英玻璃係有因為長時間的紫外線照射而蓄積應變之狀況。此種石英玻璃中的應變可期待藉由熱來緩和。亦即，利用作為讓框體11內的熱難以被放熱，準分子燈12容易保溫的構造，可期待構成放電容器13的石英玻璃之紫外線應變的緩和效果。
另一方面，電源部120係具有用以對準分子燈12施加高頻高電壓的換流器等，在持續準分子燈12的點燈動作時係該電源部120容易發熱。因此，設置用以冷卻電源部120的冷卻機構(冷卻構件24)。 此時，準分子燈與電源部配置於相同空間(包含相互連通的空間)的話，藉由用以冷卻電源部的冷卻機構，準分子燈會被冷卻。準分子燈被過度冷卻的話，構成放電容器的石英玻璃容易殘留紫外線所致之應變。 相對於此，在本實施形態中，因為將電源部120配置於框體11的外部，所以，可藉由冷卻機構適切僅冷卻電源部120。如此，可不過度冷卻準分子燈12，適切持續點燈驅動。
又，本實施形態之紫外線照射裝置100係可透過貫通框體11所設置的連接端子16a、16b，實現與電源部120的電性連接，故可實現小型且萬用性高的裝置構造。又，可實現在製造上容易製作，可容易貫通框體11，與電極14、15連接的供電構造。 進而，利用將連接端子16a、16b設置於框體11與電極14、15的抵接面，可將框體11內的電性連接設為不使用導電構件(電線)的構造。所以，於框體11內，可防止被覆電線的材料因臭氧惡化之狀況的話，可迴避短路及漏電的問題。又，可一邊維持框體11內的封堵空間，一邊讓電極14、15與電源部120之間的電性連接更為牢固。 又，利用將連接端子16a、16b設為分別將電極14、15固定於框體11的螺絲構件，也可將連接端子16a、16b兼用為框體11與電極14、15的機械連接(電極的固定)。
又，電源部120係利用配置於與框體11之形成光射出窗之面的相反側，可作為最簡潔且容易對應處理，有萬用性的構造。 進而此時，利用於框體11的電極14、15抵接之面設置連接端子16a、16b，可將連接端子16a、16b配置於最接近電源部120的位置，容易進行導電構件17a、17b的拉線。
又，準分子燈12係具備隔開配置於第一方向(Y方向)，具有於各側面上以延伸於第一方向之方式形成的凹溝的第一電極14及第二電極15，與一部分嵌入至形成於第一電極14及第二電極15雙方的凹溝，且橫跨第一電極14及第二電極15之方式延伸於第一方向配置的放電容器13。藉由此種構造，可藉由單純之直管型的放電容器13進行放電，故相較於具備例如雙重管構造之放電容器的準分子燈，可大幅小型化。
如上所述，本實施形態之紫外線照射裝置100係可作為搭載放射於波長200nm～230nm具有中心波長之光線的準分子燈，具備小型且萬用性更高的裝置構造的紫外線照射裝置。依據本發明的紫外線照射裝置，可不讓人或動物的皮膚及眼睛引起紅斑及角膜炎，提供紫外線本來的殺菌、病毒的不活化能力。尤其，不同於先前的紫外線光源，利用活用可在有人的環境使用的特徵，設置於室內外的有人環境，可照射環境整體，可提供空氣與環境內設置構件表面的病毒抑制、殺菌。此係對應聯合國主要的永續發展目標(SDGs)的目標3「確保健康的生活方式，促進各年齡人群的福祉」，又，大幅貢獻於目標3.3「在西元2030年前，消除愛滋病、肺結核、瘧疾以及受到忽略的熱帶性疾病，並對抗肝炎，水傳染性疾病以及其他傳染疾病」。
再者，於前述實施形態中，已針對從電源部120對電極14、15的供電構造係組合連接端子16a、16b與導電構件17a、17b的構造之狀況進行說明。然而，從電源部120對電極14、15的供電構造並不限定於前述者。例如，藉由貫通框體11所設置的導電構件(電線)直接連接電極14、15與電源部120亦可。亦即，第一連接構件(第一導電體)及第二連接構件(第二導電體)係僅藉由導電構件構成亦可。
11:框體 11a:上框部 11b:下框部 11c:開口部 11d:窗構件 12:準分子燈 13:放電容器 14:第一電極 15:第二電極 16a:第一連接端子 16b:第二連接端子 17a:第一導電構件 17b:第二導電構件 18:連接器 21:支持部 22:電源構件 23:連接器部 24:冷卻構件 25:遮蔽部 26:固定部 100:紫外線照射裝置 110:光源部 120:電源部
[圖1]本實施形態的紫外線照射裝置所具備之光源部的外觀影像圖。 [圖2]紫外線照射裝置所具備之光源部的內部構造的示意圖。 [圖3]聚醚醯亞胺(PEI)的UV-VIS透射率的測定結果。 [圖4]揭示紫外線照射裝置之構造的示意圖。
11a:上框部
11b:下框部
11c:開口部
11d:窗構件
12:準分子燈
13:放電容器
14:第一電極
16a:第一連接端子
17a:第一導電構件
21:支持部
22:電源構件
23:連接器部
24:冷卻構件
25:遮蔽部
26:固定部
100:紫外線照射裝置
110:光源部
120:電源部

Claims (13)

  1. 一種紫外線照射裝置，其特徵為具備： 準分子燈，係具有封入發光氣體的放電容器，與以抵接於前述放電容器之方式配置，於前述放電容器的內部產生介電質屏蔽放電的一對第一電極及第二電極；及 框體，係於內部收容前述準分子燈，且具有放射從前述準分子燈發出之在波長200～230nm具有中心波長之光線的光射出窗，藉由絕緣性的耐熱樹脂材料所構成。
  2. 如請求項1所記載之紫外線照射裝置，其中，更具備： 第一導電體，係與前述第一電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置；及 第二導電體，係與前述第二電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置； 前述第一導電體及前述第二導電體，係於前述框體的外部中，與對前述準分子燈供給電力的電源部電性連接。
  3. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述第一電極及前述第二電極，係以抵接於前述框體之方式固定； 前述第一電極與前述第一導電體的連接，係設置於前述框體之前述第一電極抵接之面； 前述第二電極與前述第二導電體的連接，係設置於前述框體之前述第二電極抵接之面。
  4. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述第一導電體，係具備與前述第一電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置的第一連接端子，與連接於前述第一連接端子的第一導電構件； 前述第二導電體，係具備與前述第二電極電性連接，以貫通前述框體之方式設置的第二連接端子，與連接於前述第二連接端子的第二導電構件； 前述第一連接端子及前述第二連接端子，係於前述框體的外部中，透過前述第一導電構件及前述第二導電構件，與對前述準分子燈供給電力的電源部電性連接。
  5. 如請求項4所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述第一電極及前述第二電極，係以抵接於前述框體之方式固定； 前述第一連接端子，係設置於前述框體之前述第一電極抵接之面； 前述第二連接端子，係設置於前述框體之前述第二電極抵接之面。
  6. 如請求項5所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述第一連接端子及前述第二連接端子，係將前述第一電極及前述第二電極分別固定於前述框體的螺絲構件。
  7. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述框體，係具備上框部與下框部，以藉由前述上框部與前述下框部形成收容前述準分子燈的封閉空間之方式構成； 於前述上框部，形成前述光射出窗； 於前述下框部，分別固定前述第一電極及前述第二電極。
  8. 如請求項3所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述框體，係具備上框部與下框部，以藉由前述上框部與前述下框部形成收容前述準分子燈的封閉空間之方式構成； 於前述上框部，形成前述光射出窗； 於前述下框部，分別固定前述第一電極及前述第二電極。
  9. 如請求項2至3中任一項所記載之紫外線照射裝置，其中， 於前述框體之形成前述光射出窗之面的相反側，配置前述電源部。
  10. 如請求項9所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述電源部，係具備換流器與冷卻該換流器的冷卻機構。
  11. 如請求項7或8所記載之紫外線照射裝置，其中， 於前述光射出窗，設置阻止比230nm還長波長側之UVC波的透射的光學濾光片。
  12. 如請求項1至8中任一項所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述耐熱樹脂材料，係為聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚醚醯亞胺(PEI)、含玻璃纖維的聚苯硫醚(PPS-GF)、液晶聚合物(LCP)、及含玻璃纖維的聚對苯二甲酸丁二酯(PBT-GF)之任一。
  13. 如請求項1至8中任一項所記載之紫外線照射裝置，其中， 前述耐熱樹脂材料，係聚醚醯亞胺(PEI)。
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