TW202208793A - 過濾設備 - Google Patents

Abstract

一種過濾設備，係於殼體之其中一側設置過濾組件，而另一側設置作用組件，並於該過濾組件與該作用組件之間配置一導引件，且藉由將該殼體以一體成形之方式形成，以於該作用組件運轉時，避免該殼體產生震動，同時降低該過濾設備之使用噪音。

Description

過濾設備

本發明係關於一種過濾設備，特別是指一種用於無塵室的過濾設備。

目前半導體廠房中，均會配置風機過濾組，以清淨環境之空氣品質，確保無塵室之規格。

然而，習知風機過濾組中，用以容置風機組之外殼係由多片板體螺接或焊接構成，故當該風機裝置於運作時，各該板體容易產生震動，造成該風機過濾組產生極大之使用噪音。

再者，由於習知風機過濾組係架設於天花板之框架上，故當各該板體產生震動時，該風機過濾組與該框架之間容易發生鬆動，因而造成該風機過濾組與該框架之間產生非預期之縫隙，導致空氣過濾不佳或廢氣回流至無塵室中之問題。

因此，如何習知技術之種種缺失，實已成為目前業界亟待克服之難題。

鑑於上述習知技術之缺失，本發明提供一種過濾設備，係包括：殼體，係為一體成形之槽狀結構，其具有相對之第一側與第二側及由該槽狀結構所圍限出之一容置空間；過濾組件，係設於該殼體之第一側上；作用組件，係容置於該容置空間中並固定於該殼體之第二側；以及導引件，係容置於該容置空間中並固定於該殼體上。

前述之過濾設備中，該殼體之第一側係形成有開口，以作為出口埠，且令該過濾組件遮蓋該開口。

前述之過濾設備中，該殼體之第二側係形成有穿孔，以作為入口埠，且供該作用組件架設於該穿孔處。

前述之過濾設備中，該殼體之表面係形成有肋骨。

前述之過濾設備中，該殼體之第二側對應該作用組件之位置係配置有濾網。

前述之過濾設備中，該過濾組件係包含濾網結構。

前述之過濾設備中，該作用組件係包含風扇結構、供該風扇結構架設於該殼體上之支撐件以及軸接該支撐件以轉動該風扇結構之軸件。

前述之過濾設備中，該導引件係用以蓋覆該作用組件之罩體。

前述之過濾設備中，該導引件係具有一板體及立設於該板體側邊上之擋牆，且該擋牆係形成有缺口，以作為導出埠。

前述之過濾設備中，復包括作動該作用組件之電子裝置。例如，該擋牆之頂端係向外彎折而形成一板片，且各該板片上係形成有複數第三固定孔，以供使用螺栓穿過該第三固定孔與該殼體之容置空間之底面之複數第四固定孔，將該導引件固接至該殼體上。

由上可知，本發明之過濾設備，主要藉由該殼體係以一體成形之方式設計，以於該作用組件運轉時，能避免該殼體產生震動，故相較於習知技術，本發明可增加該過濾設備之結構強度外，亦可減低震動與噪音之問題，且能避免天花板之框架與該過濾設備之間發生鬆動而造成該框架與該過濾設備之間產生非預期之縫隙，因而可有效避免空氣過濾不佳或廢氣回流至室內之問題。

以下藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，熟悉此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本發明之其他優點及功效。

須知，本說明書所附圖式所繪示之結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示之內容，以供熟悉此技藝之人士之瞭解與閱讀，並非用以限定本發明可實施之限定條件，故不具技術上之實質意義，任何結構之修飾、比例關係之改變或大小之調整，在不影響本發明所能產生之功效及所能達成之目的下，均應仍落在本發明所揭示之技術內容得能涵蓋之範圍內。同時，本說明書中所引用之如「上」、「四」及「一」等之用語，亦僅為便於敘述之明瞭，而非用以限定本發明可實施之範圍，其相對關係之改變或調整，在無實質變更技術內容下，當視為本發明可實施之範疇。

圖1A至圖2D係為本發明之過濾設備1之示意圖。所述之過濾設備1係包括：一殼體10、一過濾組件11、一作用組件12以及一導引件15。

所述之殼體10係呈一槽狀結構，其以一體成形之方式形成者，且該槽狀結構形成有一輪廓為對稱形狀，本實施例之截面為正方形，亦可以為圓形或其它正多邊形之容置空間S，其具有相對之第一側10a與第二側10b，該第一側10a係位於該容置空間S之其中一側，即靠近過濾組件11之一側，而該第二側10b則位於容置空間S之另一側，即靠近作用組件12之一側。

於本實施例中，該殼體10之第一側10a之輪廓係呈對稱形狀，本實施例之截面為正方形，且該第一側10a之面積(截面積)A1大於該第二側10b之面積(截面積)A2，如圖2B所示。例如，該第一側10a係形成有一開口100，以作為出風處，且該第二側10b係於中間處形成有一穿孔101，以作為入風處。因此，該殼體10之第一側10a係作為氣流之出口埠，且該殼體10之第二側10b係作為氣流之入口埠。應可理解地，該殼體10之大小適需求而定，本實施例之第一側10a之面積(截面積)A1為1200㎝╳1200㎝。

再者，該殼體10之外部係形成有複數肋骨103，如圖1B所示之槽底處之網狀，並延伸至槽側面處（如圖1B所示之柵狀），除了可增加強度外，亦可減低震動與噪音之問題。應可理解地，該些肋骨103亦可設置於該殼體10之內部。

又，該殼體10之第二側10b係配置有一濾網13，其對應該作用組件12之位置。例如，該濾網13係位於該穿孔101處。應可理解地，有關濾網13之種類與規格繁多，並無特別限制。

所述之過濾組件11係設於該殼體10之第一側10a上並緊密接觸該第一側10a之四周。

於本實施例中，該過濾組件11係包含一濾網結構11a，其遮蓋該開口100，以令氣流進入該容置空間S，經由該濾網結構11a過濾後進入如實驗室或無塵室中之室內。應可理解地，有關過濾組件11之種類繁多，並不限於上述。

再者，該殼體10之開口100之邊緣或角落處可配置至少一定位件102（如圖1C所示之四邊形環條或其它適當結構）。例如，該過濾組件11抵靠於該定位件102之內緣，以便於將該過濾組件11緊密接觸組裝於該殼體10之第一側10a上。

所述之作用組件12係設於該容置空間S中，並架設於該穿孔101處以固定於該殼體10之第二側10b，如圖2A所示。

於本實施例中，該作用組件12係為風機形式。例如，該作用組件12係包含一風扇結構12a、一轉動該風扇結構12a之軸件120及一將該風扇結構12a架設於該殼體10上之支撐件121。具體地，該支撐件121係為盤狀，其固設於該殼體10之第二側10b之穿孔101邊緣之複數（如六個）第一固定孔107上，以供使用螺栓（圖略）穿過支撐件121邊緣之複數第二固定孔127（如圖1C及圖2C所示）與該殼體10之第一固定孔107，以將該作用組件12固定於該殼體10之底面10d上，且該支撐件121上具有一通孔123，使該濾網13蓋設於該通孔123上，如圖1B及圖2D所示。應可理解地，有關該風扇結構12a之種類繁多，並無特別限制。

再者，如圖1C及圖2A所示，可依需求於該殼體10內設置一電子裝置14，以作動該作用組件12之軸件120。例如，該電子裝置14係包含一電路板，以電控該作用組件12。

所述之導引件15為一罩體，係設於該容置空間S中並固定於該過濾組件11與該作用組件12之間。

於本實施例中，該導引件15係用以蓋覆於該作用組件12之一側，如圖2A所示。例如，該導引件15係軸接該軸件120且容置該風扇結構12a，以令該導引件15對應該作用組件12配置。具體地，該軸件120上係配置一軸承座124，該導引件15係具有一接合該軸承座124之板體150及複數（如四個）立設於該板體150上之擋牆151，且各該擋牆151係形成有缺口，以作為導出埠152，俾供導引該風扇結構12a之氣流經由該導出埠152流向該殼體10之容置空間S側向之壁面10c。

再者，如圖3A及圖3B所示，該板體150係具有相對之第一表面150a與第二表面150b及連通該第一表面150a與第二表面150b之安裝孔153，以令該導引件15以其安裝孔153軸接該軸承座124，且以其板體150之第二表面150b朝向該過濾組件11，使該風扇結構12a位於該第一表面150a與該支撐件121之間。例如，該軸承座124可配置一具有複數第一定位孔126之定位片125（如圖1C及圖2C所示），且該安裝孔153周圍配置複數（如四個）對應該第一定位孔126之第二定位孔156，以供使用螺栓（圖略）穿過該第一定位孔126與該第二定位孔156，以將該板體150固定於該軸承座124上。

又，該板體150之第一表面150a係大致呈四邊形平面狀，且該些擋牆151係呈流線形，以分別立設於該板體150之第一表面150a之各側邊上，並使該導引件15之四個導出埠152係位於該板體150之第一表面150a與相鄰兩個擋牆151之間，朝向不同方向，如圖3B所示，以將該風扇結構12a之氣流導向四個不同方向。例如，各該導出埠152係位於該板體150之第一表面150a之角落處。具體地，位於相對兩側之導出埠152係對稱分佈，使該風扇結構12a所產生之氣流會朝向該殼體10之容置空間S之壁面10c流動，以令該氣流撞擊該壁面10c後轉向而形成渦漩流V（如圖2A所示），再流向該過濾組件11。

另外，該擋牆151之頂端向外彎折凸設一板片154，且各該板片154上係分別佈設有複數（如四個）第三固定孔155，以供使用螺栓（圖略）穿過該第三固定孔155與該殼體10之容置空間S之底面10d之複數第四固定孔106，以將該導引件15固定於該殼體10上。

於使用該過濾設備1時，係將該過濾設備1以其殼體10之第一側10a置放於一目標框架（圖略）上，使該過濾組件11朝向一目標空間（如實驗室或無塵室）。接著，啟動該作用組件12之風扇結構12a，以產生氣流，使外部空氣A朝向該過濾組件11流動（如圖1A所示之氣流方向f1），即該外部空氣A從該殼體10之第二側10b之穿孔101處被吸入至該殼體10之容置空間S中，再經由該導引件15之四個導出埠152流向該過濾組件11，以於過濾後排出（如圖1A所示之氣流方向f2）至該目標空間之預定區域（如實驗室或無塵室），使該過濾設備1所排出之氣體符合實驗室（或無塵室）之相關規定。

綜上所述，本發明之過濾設備1主要藉由該殼體10係以一體成形之方式形成，且設置有肋骨103，以於該作用組件12運轉時，能避免該殼體10產生震動，故不僅可增加該過濾設備1之結構強度外，亦可減低震動與噪音之問題，且能避免該目標框架與該過濾設備1之間發生鬆動而造成該目標框架與該過濾組件11之間產生非預期之縫隙，因而能有效避免空氣過濾不佳或廢氣進入至該實驗室或無塵室之問題。

再者，藉由該導引件15之設計，使該風扇結構12a所產生之氣流（含外部空氣A）形成渦漩流V，以令該風扇結構12a所產生之氣流（含外部空氣A）以渦漩流V之型態不斷前進而流向該過濾組件11，故該渦漩流V可將該氣流（含外部空氣A）中之較小異物（如該過濾組件11無法過濾之微粒）甩掉（如將較小異物甩飛至該壁面10c上），再經由該過濾組件11進一步過濾較大異物。因此，該過濾設備1能有效提升其所排出之氣體之清潔度。

上述實施例係用以例示性說明本發明之原理及其功效，而非用於限制本發明。任何熟習此項技藝之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修改。因此本發明之權利保護範圍，應如後述之申請專利範圍。

1:過濾設備 10:殼體 10a:第一側 10b:第二側 10c:壁面 10d:底面 100:開口 101:穿孔 102:定位件 103:肋骨 106:第四固定孔 107:第一固定孔 11:過濾組件 11a:濾網結構 12:作用組件 12a:風扇結構 120:軸件 121:支撐件 123:通孔 124:軸承座 125:定位片 126:第一定位孔 127:第二固定孔 13:濾網 14:電子裝置 15:導引件 150:板體 150a:第一表面 150b:第二表面 151:擋牆 152:導出埠 153:安裝孔 154:板片 155:第三固定孔 156:第二定位孔 A:外部空氣 A1,A2:面積 f1,f2:氣流方向 S:容置空間 V:渦漩流

圖1A係為本發明之過濾設備之前視立體示意圖。

圖1B係為本發明之過濾設備之後視立體示意圖。

圖1C係為本發明之過濾設備之立體分解示意圖。

圖2A係為本發明之過濾設備之局部立體示意圖。

圖2B係為圖1A之側視平面示意圖。

圖2C係為圖1C之作用組件之局部放大立體圖。

圖2D係為圖1C之作用組件之後視立體圖。

圖3A係為本發明之過濾設備之導引件之立體示意圖。

圖3B係為圖3A之上視平面示意圖。

1:過濾設備

10:殼體

10b:第二側

11:過濾組件

11a:濾網結構

A:外部空氣

f1,f2:氣流方向

Claims (11)

1. 一種過濾設備，係包括： 殼體，係為一體成形之槽狀結構，其具有相對之第一側與第二側及由該槽狀結構所圍限出之一容置空間； 過濾組件，係設於該殼體之第一側上； 作用組件，係容置於該容置空間中並固定於該殼體之第二側；以及 導引件，係容置於該容置空間中並固定於該殼體上。
2. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該殼體之第一側係形成有作為出口埠之開口，且該過濾組件係遮蓋住該開口。
3. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該殼體之第二側係形成有作為入口埠之穿孔，以供該作用組件架設於該穿孔處。
4. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該殼體之表面係形成有肋骨。
5. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該殼體之第二側對應該作用組件之位置係配置有濾網。
6. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該過濾組件係包含濾網結構。
7. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該作用組件係包含風扇結構、供該風扇結構架設於該殼體上之支撐件以及軸接該支撐件以轉動該風扇結構之軸件，且該作用組件固定於該殼體之底面上。
8. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該導引件係用以蓋覆該作用組件之罩體。
9. 如請求項1所述之過濾設備，其中，該導引件係具有一板體及立設於該板體側邊上之擋牆，且各該擋牆係形成有缺口，以作為導出埠，各該導出埠並位於該板體之第一表面與相鄰該兩個擋牆之間。
10. 如請求項9所述之過濾設備，其中，該擋牆之頂端係向外彎折而形成一板片，且各該板片上係形成有複數第三固定孔，以供使用螺栓穿過該第三固定孔與該殼體之容置空間之底面之複數第四固定孔，將該導引件固接至該殼體上。
11. 如請求項1所述之過濾設備，復包括作動該作用組件之電子裝置。

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