TW202206780A

TW202206780A - 流量診斷裝置、流量診斷方法和程式儲存媒體

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Publication number: TW202206780A
Application number: TW110108648A
Authority: TW
Inventors: 堀之内修; 今村耕治; 小林正樹
Original assignee: 日商堀場Ｓｔｅｃ股份有限公司
Priority date: 2020-03-11
Filing date: 2021-03-11
Publication date: 2022-02-16
Also published as: US20210285808A1; JP2021144030A; US11644357B2; CN113391652A; KR20210114889A

Abstract

本發明提供流量診斷裝置、流量診斷方法和程式儲存媒體。即使是PVTt法，與以往相比也能縮短流量診斷所需的時間，且能實現容器的小型化、大流量下的診斷。流量診斷裝置包括：主線路，設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，設置在所述主線路上；死區容積，是將診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積；以及第二壓力控制機構，在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力。

Description

流量診斷裝置、流量診斷方法和程式儲存媒體

本發明涉及一種流量診斷裝置，用於診斷由流量感測器測定的流量、由流量控制裝置實現的控制流量。

在半導體製造工序等中，為了控制流體的流量而使用質量流量控制器，該質量流量控制器是將流量感測器、控制閥、流量控制器集成化的流量控制裝置。

並且，質量流量控制器由於流道的堵塞之類的老化等原因，有時不能按照設定流量控制流體的流量。因此，需要定期檢查質量流量控制器是否能夠按照設定流量來控制流量。

因此，在以往的流體供給系統中，有時組裝有用於診斷質量流量控制器等的流量的結構。例如在專利文獻1中示出了利用動態恆容法（壓力上升率（ROR）法）診斷質量流量控制器的流量的流量診斷裝置。

此外，作為與動態恆容法相比能夠進行高精度的診斷且也在NIST中採用的靜態方式，還具有被稱為PVTt法的流量診斷方法。圖13表示用於實施PVTt法所採用的流量診斷裝置。

即，該流量診斷裝置100包括：主線路ML，連接在作為診斷對象DO的質量流量控制器與具有預定容積的容器TN之間；以及分支線路SL，在主線路ML中從診斷對象DO與容器TN之間分支。在主線路ML和分支線路SL的下游端分別連接有作為吸引源的真空泵SP。此外，設置有設在主線路ML上和分支線路SL上的多個開閉閥V1、V2、V3。此外，在分支線路SL上設置有作為壓力控制機構1的APC。利用設置在該分支線路SL上的APC，在流體流過分支線路SL時，作為從診斷對象DO到各開閉閥V1、V2的空間的死區容積DV的壓力保持為恆定。

PVTt法的步驟如下。首先，在容器TN內的壓力例如成為大致真空之後，如圖13的（a）所示，實施使流體流過分支線路SL而使流體不流入容器TN的準備模式。如圖14的壓力的隨時間變化的座標圖所示，準備模式持續到死區容積DV內的壓力穩定在預定的容許範圍內為止。

在死區容積DV內的壓力穩定之後，如圖13的（b）所示，切換各開閉閥V1、V2的開閉狀態，實施使流體流入容器TN內的流入模式。在剛開始流入模式之後，由於容器TN內的壓力接近真空，所以流體急劇地流入容器TN內。因此，如圖14的座標圖所示，死區容積DV內的壓力急劇下降到容器內壓力附近。並且，流入模式持續到死區容積DV內的壓力和溫度返回到流入模式開始時的初始壓力和溫度為止，此後關閉主線路ML上的容器TN前的開閉閥V2而結束。為了算出基準流量而測定該流入模式開始到結束的經過時間Δt。

最後，如圖14所示，實施從流體停止流入容器TN到容器TN內的壓力穩定為止待機預定時間的停止模式。測定最終穩定的容器TN內的壓力與流入模式開始時的初始壓力的壓差ΔP。

基於測定的經過時間Δt和壓差ΔP、以及氣體的狀態方程式來算出基準流量，通過對該基準流量與由質量流量控制器測定的流量進行比較來診斷質量流量控制器。

與ROR法相比，按照上述步驟由PVTt法算出的基準流量因壓力變動、溫度變動等的影響小而能夠高精度地算出，能夠實現更準確的診斷。

但是，在以往的PVTt法中，如圖14的座標圖所示，必須長時間持續流入模式，直到從死區容積DV內的壓力大幅度下降的狀態返回到原來狀態。這是因為必須使容器TN內的壓力緩慢上升，以使死區容積DV內的壓力和溫度返回到準備模式的狀態。因此，與ROR法相比，診斷整體所需的時間變得非常長。

此外，由於必須使流體持續地流入容器TN內，直到死區容積DV內的壓力返回到原來的狀態，所以容器TN的容積需要為一定程度以上的大小。其結果，與ROR法相比，實施PVTt法所需的流體的量也變大。此外，由於設備的佔用空間的制約等，容器TN的大小也存在上限，因此也難以使大流量流過質量流量控制器來進行診斷。

專利文獻1：日本特開平11-87318號公報

本發明是鑑於上述問題而完成的，其目的在於提供一種流量診斷裝置，即使是PVTt法，與以往相比也能夠縮短流量診斷所需的時間，並且也能夠實現容器的小型化、大流量下的診斷。

即，本發明的流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積；第一壓力控制機構，在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；第二壓力控制機構，在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力；以及基準流量算出部，基於從所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。

此外，本發明的流量診斷方法使用流量診斷裝置，所述流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；以及死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積，其中，所述流量診斷方法包括：在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力；以及基於所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。

如果以這種方式實施PVTt法，則從所述流入模式開始時起所述第二壓力控制機構以將所述死區容積內的壓力保持為第二設定壓力的方式進行動作，因此能夠使所述流入模式開始時的所述死區容積的壓力下降幅度比以往小。因此，與以往相比能夠大幅度縮短所述死區容積內的壓力返回到所述流入模式開始時的初始壓力所需的時間。因此，與以往相比能夠縮短基於PVTt法的流量診斷所需的時間。

此外，由於實施所述流入模式在短時間內使所述死區容積內的壓力和溫度例如返回到與所述準備模式相同的狀態，所以能夠將所述容器內的壓力上升量設定為任意的值。因此，與以往相比能夠抑制所述容器內的壓力上升量，能夠減少所需的流體的量。其結果，能夠實現所述容器的小型化、大流量下的流量診斷。

為了在所述容器內的壓力和溫度穩定的狀態下算出基準流量，使壓力和溫度的變動的影響難以顯現於基準流量，所述基準流量算出部可以基於所述流入模式開始到結束的經過時間Δt、以及所述流入模式開始的時點的初始壓力與從所述流入模式結束起經過預定時間後的穩定後壓力的壓差ΔP，來算出基準流量。

作為所述第一壓力控制機構的具體結構示例，可以列舉所述第一壓力控制機構包括：第一壓力感測器，在所述分支線路上設置於比所述第一開閉閥更靠下游側，或者設置於所述死區容積；第一控制閥，設置在所述分支線路上；以及第一壓力控制器，基於所述第一設定壓力與由所述第一壓力感測器測定的第一測定壓力的偏差，控制所述第一控制閥。

作為所述第二壓力控制機構的具體結構示例，可以列舉所述第二壓力控制機構包括：第二壓力感測器，在所述主線路上設置於比所述第二開閉閥更靠下游側，或者設置於所述死區容積；第二控制閥，設置在所述分支線路上；以及第二壓力控制器，基於所述第二設定壓力與由所述第二壓力感測器測定的第二測定壓力的偏差，控制所述第二控制閥。

為了能夠使所述第一壓力控制機構和所述第二壓力控制機構中使用的壓力感測器通用化而減少部件個數，並且實現所需的壓力控制，所述第一壓力感測器和所述第二壓力感測器可以是設置於所述死區容積的同一壓力感測器。

為了在所述流入模式的結束時點再現所述準備模式中達成的所述死區容積內的壓力和溫度，所述第二設定壓力可以是在所述流入模式開始的時點由所述第二壓力感測器測定的初始壓力。

為了修正流入所述容器內的流體的絕熱壓縮產生的影響，進而得到高精度的基準流量，所述基準流量算出部可以基於所述流入模式中的最大壓力或該最大壓力附近的壓力、以及所述穩定後壓力，對基於所述經過時間Δt、所述壓差ΔP和氣體的狀態方程式算出的修正前流量進行修正，來算出基準流量。

例如在檢查對象中檢查的流量值大的情況下，如果所述第二壓力控制機構將所述死區容積的壓力持續維持為第二設定壓力，則流過所述主線路的流體的流量大，因此有時壓力充入所述容器內的速度變得過大。其結果，在所述死區容積的壓力變動的期間，所述容器內的壓力達到預定壓力而所述流入模式有可能結束。於是，在所述流入模式中，所述死區容積的壓力穩定這樣的前提被破壞，因此發生了原本應封入所述容器內的氣體殘留在所述死區容積內、或者應處於所述死區容積內的氣體流入容器內的情況。即，如果所述死區容積內的壓力變動，則封入所述容器內的氣體的量變動，難以測定正確的流量。此外，所述經過時間Δt的離散也變大。由於這些情況，由所述基準流量算出部算出的基準流量的精度有可能下降。

為了解決上述問題，可以在流過所述主線路的流量為預定值以上的情況下，所述第二壓力控制機構構成為在所述流入模式中不進行所述死區容積內的流體的壓力控制。按照這種結構，在流過所述主線路的流量為預定值以上的情況下，能夠形成與以往的PVTt法相同的狀態。其結果，在所述流入模式開始到結束的期間，所述第二壓力控制機構的回應性對所述死區容積內的壓力施加的影響消失，僅所述第一壓力控制機構的回應性可以對所述死區容積內的壓力施加影響。因此，即使所述流入模式的持續時間短，也可以使各設備的動作具有餘量，容易使所述死區容積內的壓力穩定。進而，由於能夠相對地減小經過時間Δt的離散，所以即使在流量為預定值以上的情況下，也能夠精度良好地算出基準流量。此外，在流過所述主線路的流量大的情況下，向所述容器充入預定的壓力為止所需的時間也不會那麼長，因此例如也能夠以與流量小的情況大致同等的時間得到基準流量。

作為即使在所述檢查對象中檢查的流量大的情況下，也能夠高精度地算出基準流量的流量診斷裝置，可以列舉設定為在所述容器內的壓力成為預定壓力的時點結束所述流入模式，在所述流入模式開始到結束的經過時間為規定時間以下的情況下，所述第二壓力控制機構構成為在所述流入模式中不進行所述死區容積內的流體的壓力控制。

如果基於利用所述第二壓力控制機構的壓力控制而開始所述流入模式到所述死區容積的壓力穩定為所述第二設定壓力為止所需的穩定化時間，來設定所述規定時間，則在流過所述主線路的流體的流量小的情況下，與以往相比能夠高速地算出基準流量，並且即使在流過所述主線路的流體的流量大的情況下，診斷所需的時間也不會那麼長，並且能夠高精度地算出基準流量。

為了能夠通過在現有的流量診斷裝置中例如更新程式，從而獲得與本發明的流量診斷裝置相同的效果，可以使用流量診斷裝置用程式，所述流量診斷裝置用程式用於流量診斷裝置，所述流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；以及死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積，所述流量診斷裝置用程式使電腦發揮作為第一壓力控制器、第二壓力控制器和基準流量算出部的功能，所述第一壓力控制器在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力，所述第二壓力控制器在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力，所述基準流量算出部基於從所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。

另外，流量診斷裝置用程式可以電子分發，也可以儲存於CD、DVD、快閃記憶體等程式儲存媒體。

此外，作為本發明的流量診斷裝置的另一方式，可以列舉流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積；第一壓力控制機構，在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；以及基準流量算出部，在實施了所述準備模式之後，基於從關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化、以及所述流入模式開始到結束的經過時間，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量，所述基準流量算出部構成為基於所述死區容積內的流體的物理量的測定值、或者表示所述第一開閉閥或所述第二開閉閥的實際動作的值，算出所述經過時間。

按照這種結構，能夠將利用所述第一開閉閥和所述第二開閉閥的切換而使所述死區容積內的流體的壓力實際開始變化的時點，準確地確定為所述流入模式的開始時點。因此，作為將所述流入模式中的壓力上升幅度ΔP設定為較小的結果，即使所述經過時間Δt變短，也能夠較高地保持Δt的測定精度，進而能夠高精度地算出基準流量。

如果所述基準流量算出部基於所述死區容積內的流體的壓力的測定值，算出所述經過時間，則能夠將現有的壓力感測器的輸出作為用於決定經過時間Δt的觸發來使用，可以不附加新的感測器等。

作為用於檢測所述流入模式的開始時點的具體結構，可以列舉所述基準流量算出部構成為將切換所述第一開閉閥和所述第二開閉閥的開閉起所述死區容積內的壓力變化了預定值以上的時點判定為所述流入模式的開始時點。

如此，本發明的流量診斷裝置包括在所述流入模式中進行控制以將所述死區容積的壓力保持為恆定的所述第二壓力控制機構，因此不會產生所述死區容積內的大幅度的壓力下降，能夠縮短流入模式開始到結束的時間。因此，即使是PVTt法，也能夠縮短流量診斷所需的時間，並且也能夠降低流量診斷所需的流體的量。

參照圖1至圖6，對本發明第一實施方式的流量診斷裝置100進行說明。

第一實施方式的流量診斷裝置100例如組裝於半導體生產線等，用於對作為流量控制裝置的質量流量控制器診斷流量。另外，本說明書中的流量診斷的概念包含：檢測質量流量控制器輸出的流量相對於流量診斷裝置100輸出的基準流量是否正確，或者基於流量診斷裝置100輸出的基準流量來校正質量流量控制器輸出的流量。此外，在第一實施方式中，流過各種氣體作為流體。

如圖1所示，第一實施方式的流量診斷裝置100包括如下線路作為流道：主線路ML，連接在作為診斷對象DO的質量流量控制器（MFC）與具有預定容積的容器TN之間；以及分支線路SL，在主線路ML中從診斷對象DO與容器TN之間分支。該流量診斷裝置100基於所謂的PVTt法算出基準流量。即，流量診斷裝置100在使流體以預定期間流過分支線路SL而使經過質量流量控制器的流體的壓力、溫度穩定之後，使流體流入容器TN內。並且，基於容器TN內的壓力變化，算出流入容器TN內的流體的流量作為基準流量。此外，通過對流體流入容器TN內的期間從作為診斷對象DO的質量流量控制器輸出的測定流量與基準流量進行比較，來診斷質量流量控制器的流量。

接著，對流量診斷裝置100的硬體結構進行詳細說明。

在主線路ML和分支線路SL的下游端側連接有作為真空源的泵SP。泵SP例如可以利用在真空室內抽真空的泵。此外，為了各種流道的切換或變更減壓的對象，在主線路ML和分支線路SL設置有多個開閉閥。具體而言，設置有：設置在分支線路SL上的第一開閉閥V1；在主線路ML中設置在分支線路SL的分支點與容器TN之間的第二開閉閥V2；以及在主線路ML中設置在容器TN的下游側的第三開閉閥V3。

此處，在第一實施方式中，死區容積DV定義為在主線路ML和分支線路SL中將作為診斷對象DO的質量流量控制器規定為上游端、將第一開閉閥V1和第二開閉閥V2規定為下游端的容積。此外，在第一實施方式中，在死區容積DV設置有用於測定死區容積DV的內部壓力的DV壓力感測器DP和用於測定死區容積DV的內部溫度的DV溫度感測器DT。此外，為了測定用於算出基準流量所需的容器TN內的流體的壓力和溫度，在容器TN設置有容器壓力感測器TP和容器溫度感測器TT。

此外，在分支線路SL中，在第一開閉閥V1的下游側設置有作為第一壓力控制機構1的第一APC（Auto Pressure Controller：自動壓力控制器），在主線路ML中，在第二開閉閥V2與容器TN之間設置有作為第二壓力控制機構2的第二APC。

如圖2所示，作為第一壓力控制機構1和第二壓力控制機構2的各APC包括控制閥11、21、壓力感測器12、22和壓力控制器13、23，壓力控制器13、23對控制閥的開度進行回饋控制，以使由壓力感測器12、22測定的測定壓力與設定的設定壓力的偏差變小，這些設備被集成化在一個箱體內。另外，在以下的說明中，在需要區分第一APC和第二APC各自的控制閥11、21、壓力感測器12、22、壓力控制器13、23、設定壓力的情況下，對屬於第一APC的內容賦予「第一」、對屬於第二APC的內容賦予「第二」來進行區分。設定於第一APC的第一設定壓力和設定於第二APC的第二設定壓力雖然也能夠分別設定為不同的值，但是在第一實施方式中設定為相同的壓力。即，各設定壓力在用於流量診斷的動作時設定為在死區容積DV中想要保持的所希望的壓力。

此外，如圖1所示，流量診斷裝置100包括負責各設備的控制、各種運算的控制運算機構COM。控制運算機構COM接受來自用戶的輸入，以及從質量流量控制器、DV壓力感測器DP、容器壓力感測器TP、容器溫度感測器TT輸出的訊號，並且輸出用於控制各開閉閥、各APC的訊號。該控制運算機構COM例如由包括CPU、記憶體、A/D轉換器、D/A轉換器、各種輸入輸出裝置等的所謂的電腦來實現其功能，如圖3所示，至少發揮作為壓力設定部3、開閉閥控制器4、測定資料儲存部5、基準流量算出部6、診斷部7的功能。

對控制運算機構COM的各部分進行詳細說明。

壓力設定部3將設定壓力設定於各APC。壓力設定部3將用戶輸入的用戶設定值設定為各設定壓力的初始值。此外，壓力設定部3根據DV壓力感測器DP在後述的預定時機測定的死區容積DV內的壓力與用戶設定值的誤差，來變更設定壓力。例如，在預定時機測定的死區容積DV內的壓力與用戶設定值之間存在誤差的情況下，壓力設定部3將誤差量或誤差乘以預定倍率所得的值與用戶設定值相加，作為設定壓力設定於APC。

開閉閥控制器4控制各開閉閥V1、V2、V3的開閉狀態，至少實現排氣模式、準備模式、流入模式、停止模式中的任意一種狀態。在第一實施方式中，開閉閥控制器4將DV壓力感測器DP、DV溫度感測器DT、容器壓力感測器TP、容器溫度感測器TT的測定值作為觸發，依次切換各模式。在排氣模式中，第二開閉閥V2關閉且第三開閉閥V3打開，對容器TN內進行真空排氣。此外，在準備模式、流入模式、停止模式中，第三開閉閥V3保持關閉的狀態。在利用排氣模式使容器壓力感測器TP的測定壓力成為接近大致真空的壓力的情況下，開閉閥控制器4結束排氣模式並開始接下來的準備模式。

在準備模式中，第一開閉閥V1打開且第二開閉閥V2關閉，流體從質量流量控制器向分支線路SL流動。該準備模式維持到經過質量流量控制器的流體的壓力和溫度穩定為止。在第一實施方式中，基於DV壓力感測器DP的測定壓力和DV溫度感測器DT來判定流體的狀態。具體而言，利用作為第一壓力控制機構1的第一APC的動作，由DV壓力感測器DP測定的壓力和由DV溫度感測器DT測定的溫度分別穩定預定時間以上，能夠判斷為死區容積DV內的壓力和溫度穩定的情況下，開閉閥控制器4結束準備模式並開始接下來的流入模式。

在流入模式中，第一開閉閥V1關閉且第二開閉閥V2打開，流體從質量流量控制器經由主線路ML流入容器TN內。該流入模式在死區容積DV內的流體的壓力和溫度大致穩定為流入模式開始時點的值之後，持續到容器TN內的壓力上升預定壓力為止。具體而言，在利用作為第二壓力控制機構2的第二APC的動作，死區容積DV內的壓力維持為設定壓力且溫度也穩定之後，在由容器壓力感測器TP測定的容器TN內的壓力上升到由用戶設定的壓力的時點，開閉閥控制器4結束流入模式並開始接下來的停止模式。

在停止模式中，第一開閉閥V1和第二開閉閥V2關閉。該狀態即使短也持續到容器TN內的壓力和溫度穩定為止。

測定資料儲存部5將流量診斷中由容器壓力感測器TP和容器溫度感測器TT測定的測定值例如以時間序列資料的形式儲存。在本實施方式中，至少將流入模式中和停止模式中測定的容器TN內的壓力和溫度儲存於測定資料儲存部5。

基準流量算出部6基於儲存於測定資料儲存部5的資料，算出流入模式中流入容器TN內的流體的流量。基於流入模式中在容器TN內產生的壓力變化來算出基準流量。更具體而言，基於流入模式開始到結束的經過時間Δt、流入模式開始時的初始壓力與停止模式中穩定後的容器TN內的壓力亦即穩定後壓力的壓差ΔP、流入模式中的容器TN內的平均溫度T_ave 、以及氣體的狀態方程式，來算出基準流量。即，基於下式算出基準流量。

Qs=（ΔP/Δt）*22.4*V/（RT_ave ）

其中，Qs是基準流量，V是容器TN的容積，R是氣體常數。此外，作為係數相乘的22.4是理想氣體的摩爾體積L/mol。該係數是根據氣體種類而變動數%程度的值，因此也可以使用根據實際流動的氣體種類而修正的值。

診斷部7對流入模式中由質量流量控制器測定的流量和由基準流量算出部6算出的基準流量進行比較，來診斷質量流量控制器的流量。

接著，參照圖4的示意圖、圖5的流程圖，說明如此構成的第一實施方式的流量診斷裝置100算出基準流量的算出動作。另外，在圖5的流程圖中，容器TN內的壓力和溫度的時間序列資料逐次持續儲存於測定資料儲存部5，不記載為步驟。

首先，開閉閥控制器4關閉第二開閉閥V2並打開第三開閉閥V3，開始排氣模式（步驟S1）。其結果，開始容器TN內的減壓。接著，開閉閥控制器4判定由容器壓力感測器TP測定的壓力是否成為大致真空（步驟S2）。

在容器TN內的壓力成為大致真空的時點，開閉閥控制器4結束排氣模式。並且，開閉閥控制器4打開第一開閉閥V1並關閉第二開閉閥V2和第三開閉閥V3，開始準備模式（步驟S3）。其結果，如圖4的（a）所示，經過質量流量控制器的流體流過分支線路SL，成為流體未導入容器TN內的狀態。接著，如圖5所示，開閉閥控制器4判定由DV壓力感測器DP測定的壓力是否在設定於第一APC的設定壓力的附近維持了預定時間以上（步驟S4）。即，在步驟S4中基於DV壓力感測器DP的輸出，判定死區容積DV內的壓力和溫度是否穩定。

在判定為死區容積DV內的壓力和溫度穩定的情況下，開閉閥控制器4結束準備模式。並且，開閉閥控制器4關閉第一開閉閥V1並打開第二開閉閥V2，開始流入模式（步驟S5）。其結果，如圖4的（b）所示，流體開始流入容器TN內。接著，如圖5所示，開閉閥控制器4判定由DV壓力感測器DP測定的壓力是否穩定在流入模式開始時的壓力的附近（步驟S6），進而判定由容器壓力感測器TP測定的壓力是否到達由使用者預先設定的目標壓力（步驟S7）。在此，雖然在利用第二APC的動作而從準備模式切換為流入模式時會產生稍許的壓力下降，但是在短時間內恢復到流入模式開始時的壓力附近。因此，實質上根據步驟S7的判定基準，流入模式會持續。

在容器TN內的壓力到達目標壓力的時點，開閉閥控制器4結束流入模式。並且，開閉閥控制器4關閉第二開閉閥V2並開始停止模式。此外，基準流量算出部6取得在流入模式結束的時點確定的流入模式的經過時間Δt（步驟S8）。此外，基準流量算出部6判定由容器壓力感測器TP測定的壓力的變動幅度為預定值以內的狀態是否持續了預定時間以上。即，基準流量算出部6根據容器壓力感測器TP的測定壓力的變動，判定容器TN內的壓力和溫度是否穩定（步驟S9）。

在容器TN內的壓力和溫度穩定的情況下，基準流量算出部6將在該時點由容器壓力感測器TP測定的壓力取得為穩定後壓力，並且算出與流入模式開始時的初始壓力的壓差ΔP（步驟S10）。此外，基準流量算出部6基於在步驟S8中得到的Δt和在步驟S10中得到的ΔP，算出基準流量（步驟S11）。

按照如此構成的第一實施方式的流量診斷裝置100，由於在主線路ML設置有作為第二壓力控制機構2的第二APC，所以如圖6的座標圖所示，即使從準備模式切換為流入模式，也能夠防止如以往那樣死區容積DV內的壓力急劇下降，能夠大致恆定地保持為在準備模式中穩定的壓力。因此，如果是以往的PVTt法的步驟，則需要花費時間使容器TN內的壓力上升，直到死區容積DV內的壓力和溫度充分穩定，相對於此，在第一實施方式的流量診斷裝置100的PVTt法中，幾乎不需要等待死區容積DV的壓力和溫度的穩定。因此，能夠在成為使用者設定的任意目標壓力的時點停止流入模式。例如，如圖6的座標圖所示將目標壓力設定為較小，與以往相比能夠以較低的壓力結束流入模式，因此與以往相比能夠大幅度縮短流入模式持續的時間。其結果，也能夠縮短流量診斷整體所需的時間。

此外，由於也可以不將容器TN內的壓力升壓到那樣高的壓力，因此與以往相比能夠大幅度降低流量診斷所需的流體的量。此外，由於能夠在短時間內使死區容積DV內的壓力和溫度穩定，所以能夠增大在流入模式中流入容器TN的流體的流量，還能夠實現大流量下的流量診斷。

接著，參照圖7對第二實施方式的流量診斷裝置100進行說明。另外，與在第一實施方式中說明的構件對應的構件賦予相同的附圖標記。

第二實施方式的流量診斷裝置100與第一實施方式相比，第一壓力控制機構1和第二壓力控制機構2的結構不同。即，各壓力控制機構未像APC那樣集成化，各設備分別分開設置。

具體而言，第一壓力控制機構1包括：DV壓力感測器DP，設置於死區容積DV，相當於第一壓力感測器12；第一控制閥11，設置於分支線路SL；以及第一壓力控制器13，基於DV壓力感測器DP的測定壓力與第一設定壓力的偏差，對第一控制閥11的開度進行回饋控制。

此外，第二壓力控制機構2包括：DV壓力感測器DP，相當於第二壓力感測器22，被第二壓力控制機構2和第一壓力控制機構1共用；第二控制閥21，在主線路ML中設置在第二開閉閥V2與容器TN之間；以及第二控制器23，基於DV壓力感測器DP的測定壓力與第二設定壓力的偏差，對第二控制閥22的開度進行回饋控制。

即使是這樣的第二實施方式的流量診斷裝置100，在從流體流過分支線路SL的準備模式切換為流體流入容器TN的流入模式的情況下，也能夠利用第二壓力控制機構2，來防止產生死區容積DV內的大幅度的壓力下降。因此，能夠縮短直到作為流入模式結束的條件的死區容積DV內的壓力和溫度穩定為止所需的時間。其結果，能夠降低流量診斷所需的流體的量，並且能夠縮短流量診斷整體所需的時間。

接著，參照圖8、圖9，對第三實施方式的流量診斷裝置100進行說明。另外，與在第一實施方式中說明的構件對應的構件賦予相同的附圖標記。

第三實施方式的流量診斷裝置100包括與圖1所示的第一實施方式的流量診斷裝置大致相同的結構，但是與第一實施方式的流量診斷裝置100的不同點在於，動作根據在診斷對象中診斷的流量而變化。具體而言，構成為在校正的流量為預定值以上的情況下，即，在流過主線路ML的流體的流量為預定值以上的情況下，在流入模式中不由第二壓力控制機構2進行死區容積DV內的流體的壓力控制。另外，在流過主線路ML的流體的流量小於預定值的情況下，與第一實施方式同樣在流入模式中由第二壓力控制機構2進行死區容積DV內的壓力控制。

在校正的流量值為預定值以上的情況下，如果利用第二壓力控制機構2將流入模式中的死區容積DV內的壓力保持為第二設定壓力，則如圖8所示，作為流入模式開始到結束的時間的經過時間Δt短的情況下，有時死區容積DV內的壓力保持不穩定的狀態。這起因於如果在短時間內第一壓力控制機構1和第二壓力控制機構2雙方實施壓力控制和開閉控制，則第二壓力控制機構2的回應性不能使死區容積DV內的壓力穩定而保持恆定值。

因此，第三實施方式的流量診斷裝置100與校正的流量的大小無關地將算出的基準流量的精度保持為大致恆定。具體而言，在診斷對象中校正的流量小於預定值的情況下，如圖9的（a）所示，在流入模式中進行壓力控制，以便由作為第二壓力控制機構2的第二APC將死區容積DV內的壓力保持為第二設定壓力。即，利用與第一實施方式相同的控制動作來控制第二APC內的控制閥21的開度。另一方面，在診斷對象中校正的流量為預定值以上的情況下，如圖9的（b）所示，在流入模式中，在作為第二壓力控制機構2的第二APC中不進行壓力控制，產生由流體流入容器TN引起的壓力的自然上升。即，第二APC以將控制閥21維持為全開而不成為流道阻力的方式進行動作。

這樣的作為第二壓力控制機構2的第二APC中的控制的切換例如利用對第二APC設定第二設定壓力的壓力設定部3來實現。具體而言，與流過主線路ML的流量亦即校正對象的流量值相關的資訊輸入到壓力設定部3，通過將該值與預先設定的閾值進行比較，來決定是設定用於使第二APC進行壓力控制的第二設定壓力，還是設定用於將控制閥21維持為全開的全開指令。

按照如此構成的第三實施方式的流量診斷裝置100，在診斷對象中診斷的流量值為預定值以上的情況下，能夠利用與以往相同的PVTt法算出基準流量，在診斷對象中診斷的流量值小於預定值的情況下，能夠利用與第一實施方式的流量診斷裝置100同樣改進的PVTt法算出基準流量。其結果，在流過主線路ML的流量大、作為實施流入模式的期間的長度的經過時間Δt短的情況下，不進行第二壓力控制機構2的控制動作，可以防止第二壓力控制機構2的回應性對死區容積DV內的壓力施加影響而成為不穩定的狀態。因此，即使在進行大流量的校正的情況下，也可以提高從死區容積DV流入容器TN的氣體的流量的再現性，可以精度良好地算出基準流量。

此外，關於算出基準流量所需的時間，在流量大的情況下即使使用與以往相同的PVTt法，容器TN的壓力上升所需的時間也短，因此例如能夠成為與流過主線路的流體的流量小的情況大致同等的時間長度。

另外，在第三實施方式中，成為用於決定第二壓力控制機構2在流入模式中是否進行壓力控制的閾值的流量值可以基於由第二壓力控制機構2進行壓力控制的情況下實現的經過時間Δt的長度來設定，也可以通過其他方法來設定。例如，在由第二壓力控制機構2控制死區容積DV的壓力的情況下，相對於第二壓力設定值產生過衝或下衝，只要以經過時間Δt比相對於第二壓力設定值不穩定在容許值內的期間長的方式設定流量值的閾值即可。

接著，參照圖10、圖11、圖12，對第四實施方式的流量診斷裝置100進行說明。另外，與在第一實施方式中說明的構件對應的構件賦予相同的附圖標記。

第四實施方式的流量診斷裝置100用於取得流入模式開始到結束的經過時間Δt的結構與第一實施方式不同。具體而言，在控制運算機構COM中，在第一實施方式中構成為基於開閉閥控制器4的各開閉閥V1、V2的切換指令來檢測流入模式的開始點。相對於此，在第四實施方式中基於死區容積DV內的流體的物理量的變化來決定流入模式的開始點。即，如圖10的第四實施方式的控制運算機構COM所示，基準流量算出部6構成為基於由DV壓力感測器DP測定的壓力來設定經過時間Δt的開始時點。

更具體而言，如圖11所示，從輸出了用於切換開閉閥V1、V2的開閉的訊號的零的時點起的短暫期間內，由DV壓力感測器DP測定的死區容積DV內的壓力幾乎不變化。這起因於開閉閥V1、V2的實際動作相對於開閉指令訊號的輸出存在稍許的時間延遲。因此，如果將開閉閥V1、V2的開閉指令訊號作為觸發來決定流入模式的開始時點，則實際上判定為從開閉閥V1、V2不動作的時間起流體開始流入容器TN。該開始時點的偏移雖然是極短的時間，但是例如在減小壓力上升量ΔP而縮短流量診斷所需的時間、或校正的流量的值大且經過時間Δt變短的情況下，包含於經過時間Δt的誤差的比例成為不能忽視的量。

在第四實施方式中，如圖10所示，在輸出開閉閥V1、V2的開閉指令訊號後由DV壓力感測器DP測定的壓力變化了預定量以上的時點、即以壓力從穩定的狀態躍升為觸發，基準流量算出部6決定經過時間Δt的開始時點。此外，對於經過時間Δt的結束時點，基準流量算出部6以與第一實施方式同樣的方式將容器TN內的壓力到達預定值決定為觸發。

根據如此構成的第四實施方式的流量診斷裝置100，圖11表示對在基於死區容積DV的壓力變化來決定經過時間Δt的情況下、以及以開閉閥V1、V2的開閉指令訊號為基準來決定經過時間Δt的情況下算出的基準流量的離散進行了比較的實驗結果。從圖11可知，通過基於壓力變化來決定經過時間Δt，能夠減小最終算出的基準流量的離散。因此，按照第四實施方式的流量診斷裝置100，能夠進行可靠性更高的校正、檢測等。

在此，對第四實施方式的變形例進行說明。經過時間Δt的開始時點不限於由DV壓力感測器DP測定的壓力，也可以是由其他感測器測定的流體的物理量。即，也可以將表示各開閉閥V1、V2的實際動作的溫度等物理量的變化作為觸發來決定經過時間Δt的開始時點。此外，也可以將開度感測器預先組裝於第二開閉閥V2，將開度感測器檢測到閥體離開閥座作為觸發，來決定經過時間Δt的開始時點。

此外，在第四實施方式中說明的經過時間Δt的開始時點的決定方法能夠應用於在流入模式中不控制死區容積DV內的壓力的以往的PVTt法，或者也能夠應用於如本發明那樣以在流入模式中控制死區容積DV內的壓力的方式進行了改進的PVTt法。

對其他實施方式進行說明。

診斷對象不限於流量控制裝置，例如也可以是流量感測器單體。

分支線路也可以構成為從主線路分支之後在容器的下游側匯合。即，分支線路也可以構成為繞過容器的旁通流道。按照這種結構，能夠將所需的泵集中為一個。

在各實施方式中，死區容積內的流體的壓力和溫度是否穩定僅基於DV壓力感測器的測定值來判定，但是也可以在死區容積內還設置DP溫度感測器，並將DV壓力感測器和DP溫度感測器雙方的輸出穩定作為用於切換各模式的判定條件。

基準流量算出部算出基準流量的算出方法不限於所述方法。例如基準流量算出部也可以基於流入模式中的最大壓力或其附近的壓力、以及穩定後壓力，對基於經過時間Δt、壓差ΔP和氣體的狀態方程式算出的修正前流量進行修正，來算出基準流量。更具體而言，也可以對修正前流量乘以最大壓力與穩定後壓力之比的值來進行修正，作為基準流量。在此，最大壓力例如圖6所示，是在流入模式結束的時點由容器壓力感測器測定的壓力，穩定後壓力是從停止模式開始起經過預定時間後由容器壓力感測器測定的壓力。另外，最大壓力的附近的壓力是指在流入模式中或停止模式中在所述最大壓力的前後測定的壓力，其概念包含比穩定後壓力高的壓力。

此外，只要不違背本發明的宗旨，也可以進行各種實施方式的變形或將各實施方式的一部分彼此組合。

100:流量診斷裝置 ML:主線路 SL:分支線路 DV:死區容積 V1:第一開閉閥 V2:第二開閉閥 V3:第三開閉閥 1:第一壓力控制機構 2:第二壓力控制機構 3:壓力設定部 4:開閉閥控制器 5:測定資料儲存部 6:基準流量算出部 7:診斷部

圖1是表示本發明第一實施方式的流量診斷裝置的結構的示意圖。

圖2是表示第一實施方式的APC的詳情的示意圖。

圖3是表示第一實施方式的控制運算機構的結構的示意性框圖。

圖4是表示第一實施方式的準備模式和流入模式的流體的流動的示意圖。

圖5是表示第一實施方式的流量診斷動作的流程圖。

圖6是表示以往的流量診斷裝置的壓力的隨時間變化和第一實施方式的流量診斷裝置的壓力的隨時間變化的座標圖。

圖7是表示本發明第二實施方式的流量診斷裝置的示意圖。

圖8是表示診斷的流量值設定為較大並由第二壓力控制機構控制死區容積內的壓力的情況下的流量診斷裝置的壓力的隨時間變化的座標圖。

圖9是表示本發明第三實施方式的流量診斷裝置的動作和壓力的隨時間變化的座標圖。

圖10是表示本發明第四實施方式的控制運算機構的結構的示意性框圖。

圖11是表示第四實施方式的流入模式開始時點的確定方法的散佈圖。

圖12是表示算出的基準流量的變動對決定經過時間Δt的觸發方法的影響的散佈圖。

圖13是表示以往的流量診斷裝置的結構的示意圖。

圖14是表示以往的流量診斷裝置的壓力的隨時間變化的座標圖。

100:流量診斷裝置

ML:主線路

SL:分支線路

DV:死區容積

V1:第一開閉閥

V2:第二開閉閥

V3:第三開閉閥

1:第一壓力控制機構

2:第二壓力控制機構

Claims

一種流量診斷裝置，其特徵在於，包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積；第一壓力控制機構，在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；第二壓力控制機構，在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力；以及基準流量算出部，基於從所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。
如請求項1所述的流量診斷裝置，其中所述基準流量算出部基於所述流入模式開始到結束的經過時間、以及所述流入模式開始的時點的初始壓力與從所述流入模式結束起經過預定時間後的穩定後壓力的壓差，來算出基準流量。
如請求項1所述的流量診斷裝置，其中所述第一壓力控制機構包括：第一壓力感測器，在所述分支線路上設置於比所述第一開閉閥更靠下游側，或者設置於所述死區容積；第一控制閥，設置在所述分支線路上；以及第一壓力控制器，基於所述第一設定壓力與由所述第一壓力感測器測定的第一測定壓力的偏差，控制所述第一控制閥。
如請求項3所述的流量診斷裝置，其中所述第二壓力控制機構包括：第二壓力感測器，在所述主線路上設置於比所述第二開閉閥更靠下游側，或者設置於所述死區容積；第二控制閥，設置在所述分支線路上；以及第二壓力控制器，基於所述第二設定壓力與由所述第二壓力感測器測定的第二測定壓力的偏差，控制所述第二控制閥。
如請求項4所述的流量診斷裝置，其中所述第一壓力感測器和所述第二壓力感測器是設置於所述死區容積的同一壓力感測器。
如請求項4所述的流量診斷裝置，其中所述第二設定壓力是在所述流入模式開始的時點由所述第二壓力感測器測定的初始壓力。
如請求項2所述的流量診斷裝置，其中所述基準流量算出部基於所述流入模式中的最大壓力或該最大壓力附近的壓力、以及所述穩定後壓力，對基於所述經過時間、所述壓差和氣體的狀態方程式算出的修正前流量進行修正，來算出基準流量。
如請求項1所述的流量診斷裝置，其中在流過所述主線路的流量為預定值以上的情況下，所述第二壓力控制機構構成為在所述流入模式中不進行所述死區容積內的流體的壓力控制。
如請求項1所述的流量診斷裝置，其中設定為在所述容器內的壓力成為預定壓力的時點結束所述流入模式，在所述流入模式開始到結束的經過時間為規定時間以下的情況下，所述第二壓力控制機構構成為在所述流入模式中不進行所述死區容積內的流體的壓力控制。
如請求項9所述的流量診斷裝置，其中基於利用所述第二壓力控制機構的壓力控制而開始所述流入模式到所述死區容積的壓力穩定為所述第二設定壓力為止所需的穩定化時間，來設定所述規定時間。
一種流量診斷方法，使用流量診斷裝置，所述流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；以及死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積，所述流量診斷方法的特徵在於，包括：在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力；以及基於所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。
一種程式儲存媒體，儲存有流量診斷裝置用程式，所述流量診斷裝置用程式用於流量診斷裝置，所述流量診斷裝置包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；以及死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積，所述程式儲存媒體的特徵在於，所述流量診斷裝置用程式使電腦發揮作為第一壓力控制器、第二壓力控制器和基準流量算出部的功能，所述第一壓力控制器在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力，所述第二壓力控制器在實施了所述準備模式之後，在關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式中，控制流過所述主線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第二設定壓力，所述基準流量算出部基於從所述流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量。
一種流量診斷裝置，其特徵在於，包括：主線路，在上游側設置有作為流量感測器或流量控制裝置的診斷對象，在下游側設置有具有預定容量的容器；分支線路，在所述主線路中從所述容器的上游側分支；第一開閉閥，設置在所述分支線路上；第二開閉閥，在所述主線路上設置在所述分支線路的分支點與所述容器之間；死區容積，是在所述主線路和所述分支線路中將所述診斷對象規定為上游端、將所述第一開閉閥和所述第二開閉閥規定為下游端的容積；第一壓力控制機構，在打開所述第一開閉閥且關閉所述第二開閉閥而使流體不流入所述容器的準備模式中，控制流過所述分支線路的流體，以將所述死區容積內的流體的壓力保持為第一設定壓力；以及基準流量算出部，在實施了所述準備模式之後，基於從關閉第一開閉閥且打開所述第二開閉閥而使流體流入所述容器的流入模式開始到所述第二開閉閥關閉而所述流入模式結束為止的期間流入所述容器的流體所引起的壓力變化、以及所述流入模式開始到結束的經過時間，算出作為流入所述容器的流體的流量的基準流量，所述基準流量算出部構成為基於所述死區容積內的流體的物理量的測定值、或者表示所述第一開閉閥或所述第二開閉閥的實際動作的值，算出所述經過時間。
如請求項13所述的流量診斷裝置，其中所述基準流量算出部基於所述死區容積內的流體的壓力的測定值，算出所述經過時間。
如請求項13所述的流量診斷裝置，其中所述基準流量算出部構成為將切換所述第一開閉閥和所述第二開閉閥的開閉起所述死區容積內的壓力變化了預定值以上的時點判定為所述流入模式的開始時點。