TW202113230A - 資訊處理系統、資訊處理方法及程式 - Google Patents

Abstract

本發明之課題係在於使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率降低且抑制更換零件費用。本發明之資訊處理系統係具備：儲存器，係將頻帶與辨識真空泵之零件亦即該頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之零件辨識資訊賦予關聯性而記憶者；比較部，係依每一頻帶將運轉時之真空泵之振動或聲音的強度與基準資料或基準範圍比較；以及輸出部，係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊。

Description

資訊處理系統、資訊處理方法及程式

本發明係關於一種資訊處理系統、資訊處理方法及程式。

在真空泵之持續運轉中的任意時間點，伴隨生成物所致之真空泵異常而真空泵停止時，會有對於半導體製造裝置之製造程序中的製品造成損害之可能性。因此，有使真空泵不會在半導體製造裝置之製造程序中停止的需求。

真空泵係在殼體(裝置外裝箱)內收容有真空泵本體、泵驅動用馬達、及馬達驅動用控制裝置，就整體而言組裝成一體構造。在真空泵之定期維修時期，必然實施預定零件(以下稱為標準更換零件，例如用以防止氣體外洩之橡膠製襯墊等)的更換，但除此之外的零件係在損傷時或判斷為不可再利用時才進行更換。對這種零件之更換已提案有維修者從外觀來判斷例如軸承之對象的零件是否到達更換時期之技術(專利文獻1)。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本特開2009-197602號公報

由於在真空泵之維修時未將預定之標準更換零件以外的零件更換成新零件之緣故，會有運轉中之真空泵發生故障或異常之情形。另一方面，會因在真空泵之維修時過度更換標準更換零件以外之零件而有造成更換零件費用增加的問題。然而，僅以外觀來判斷如葉輪、外殼、對時齒輪(tming gear)等構成真空泵之各個構成零件是否到達更換時期，無法完全防止運轉中之故障。

本發明係鑑於上述問題而研創者，其目的係在於提供一種資訊處理系統、資訊處理方法及程式，可使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率降低且可抑制更換零件費用。

本發明第1態樣之資訊處理系統係具備：儲存器，係將頻帶與是否應更換零件之判斷材料之資訊賦予關聯性而記憶；比較部，係依每一頻帶將運轉時之真空泵之振動或聲音的強度與基準資料或基準範圍進行比較；以及輸出部，依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊。

依據此構成，監控對象亦即真空泵的頻帶之振動或聲音有異常時，可獲得作為是否應依此來更換零件之判斷材料的資訊，因此可使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率降低且可抑制更換零件費用。

本發明第2態樣之資訊處理系統係第1態樣之資訊處理系統中，記憶在前述儲存器之作為判斷是否應更換前述零件之判斷材料的資訊包含：辨識應更換之零件的零件辨識資訊、故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵的運 轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率；前述輸出部輸出之前述資訊包含：零件辨識資訊、故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵的運轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率。

依據此構成，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率且可抑制更換零件費用。

本發明第3態樣之資訊處理系統係第1或第2態樣之資訊處理系統中，具備：判別部，係依據真空泵之參數之指令值或該參數之觀測值中之至少一者，判別該真空泵之氣體負荷條件及/或連接有真空泵之半導體製造裝置的運轉程序，前述比較部係依所判別之前述氣體負荷條件或每一運轉程序來執行前述每一頻帶之比較；前述儲存器中，更將前述氣體負荷條件或前述運轉程序，對於前述頻帶與辨識前述應更換之零件的零件辨識資訊之組合賦予關聯性而記憶；前述輸出部係依前述比較部之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出對應於該頻帶與前述判別之氣體負荷條件或運轉程序之組合的零件辨識資訊。

依據此構成，藉由輸出對應於頻帶與程序之組合之零件辨識資訊，可將故障或異常之零件以更高精確度具體指定為必須更換之零件。另一方面，能夠以更高精確度確認不更換到故障或異常之零件。因此，可更為降低運轉中之真空泵故障或異常發生之頻率且可更加抑制更換零件費用。

本發明第4態樣之資訊處理系統係第1至第3態樣之任一態樣之資訊處理系統中，前述儲存器係針對以往故障之真空泵，依每一機種，將真空泵振動資料之經年資料及真空泵驅動電流資料之經年資料與使用開始至故障發生時之經過時間賦予關聯性而記憶；且資訊處理系統更具備預測部，該預測部係參照前述儲存器來比較對象之真空泵運轉時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料與以往之同一機種之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料，藉此預測前述對象之真空泵的故障時期。

依據此構成，對象之真空泵的使用者可掌握此對象之真空泵的故障預測時期，因此可提升能避免要在半導體製造程序中停止真空泵之前送去維修或更換成新的真空泵等預防故障措施而降低真空泵在半導體製造程序中停止之事態的機率。

本發明第5態樣之資訊處理系統係第1至第4態樣之任一態樣之資訊處理系統中，前述比較部係將振動及/或聲音之時機資料加以傅立葉變換，而依每一頻帶比較傅立葉變換後之振幅。

依據此構成，可比較振動及/或聲音之強度。

本發明第6態樣之資訊處理系統係第1至第5態樣之任一態樣之資訊處理系統中，前述輸出部係輸出繼續使用零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係、及/或更換零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係。

依據此構成，使用者即可預測更換零件時之該零件的成本效益。

本發明第7態樣之資訊處理系統係第1至6態樣之任一態樣之資訊處理系統中，前述基準資料係該真空泵之出貨前檢查時、該真空泵之初期運轉 時、同一機種之其他真空泵之任一者的振動或聲音的強度、或該振動或該聲音之強度的統計資料。

本發明第8態樣之資訊處理方法係具有下述步驟：依每一頻帶將運轉時之真空泵的振動或聲音之強度與基準資料或基準範圍比較；並且依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊；前述儲存器中，將頻帶與真空泵之零件更換相關資訊賦予關聯性而記憶。

依據此構成，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率且可抑制更換零件費用。

本發明第9態樣之程式係用以使電腦執行比較部及輸出部的功能，該電腦係可參照頻帶與真空泵之零件更換相關資訊賦予關聯性而記憶之儲存器；該比較部係依每一頻帶將運轉時之真空泵的振動或聲音之強度與基準資料或基準範圍比較；該輸出部係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊。

依據此構成，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率且可抑制更換零件費用。

依據本發明之一態樣，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率且可抑制更換零件費用。

1:半導體製造裝置

10:半導體製造系統

10-1、…、10-N:半導體製造系統

11:反應室成膜爐

12:控制部

14:記憶體

2:配管

20,20b:資訊處理裝置

21:輸入介面

22:輸出介面

23,23b:儲存器

24:記憶體

25:通信迴路

251:比較部

252:輸出部

253:判別部

254:預測部

26,26b:處理器

3:真空泵

30:試驗者終端機

31:葉輪

33:馬達

38:電源

39:換流器

4:控制裝置

40:使用者終端機

50:維修終端機

6:顯示裝置

61:壓力計

62:溫度計

63:振動感測器

64:處理器

65:記憶體

NW:網路

T1,T2,T3:表格

S,S2:資訊處理系統

S10~S40,S110~S150,S210~S250:步驟

圖1 係第1實施形態之資訊處理系統之概略構成圖。

圖2 係顯示製造程序、運轉中、維修程序時之資料流程的一例之示意圖。

圖3 係第1實施形態之半導體製造系統10之概略構成圖。

圖4 係第1實施形態之真空泵3之概略功能構成圖。

圖5 係顯示第1實施形態之資訊處理裝置20之概略構成的方塊圖。

圖6 係顯示第1實施形態之資訊處理裝置20之概略構成的方塊圖。

圖7 係顯示針對相同之真空泵，說明初期與維修時之每一頻帶之振動強度之不同的示意圖。

圖8 係記憶在資訊處理裝置20之儲存器23之表格的一例。

圖9 係記憶在資訊處理裝置20之儲存器23之表格的一例。

圖10 係顯示出貨前性能試驗時之處理流程之一例的流程圖。

圖11 係顯示真空泵運轉中之泵故障時期之預測處理之流程之一例的流程圖。

圖12 係顯示維修時之更換零件之具體指定處理之流程之一例的流程圖。

圖13 係顯示第2實施形態之資訊處理系統之概略構成圖。

圖14 係顯示第2實施形態之資訊處理裝置20b之概略構成的方塊圖。

圖15 係顯示記憶在第2實施形態之資訊處理裝置20b之儲存器23b之表格T3的一例。

以下，就各實施形態，參照圖式進行說明。然而，會有省略過度詳細說明之情形。例如，會有省略已知事項之詳細說明、實質上相同之構成的重複說明等之情形，以避開以下說明過度冗長，而使相關業者容易理解。

如上所述，由於在真空泵之維修時未將預定之標準更換零件以外的零件更換成新品零件之緣故，會有運轉中之真空泵發生故障或異常之問題。此問題係起因於在真空泵之維修時不重複利用零件而更換為新品零件之基準僅依據外觀尺寸檢查及出貨前之性能試驗，而未有其他定量性地判斷之基準。此外，起因於未有綜合地依據新出貨前之真空泵之狀態資料及終端使用者之真空泵運轉中之狀態資料，定量性地判斷零件壽命之基準或手段。

第1實施形態中，依據泵的振動資料之分析結果來推測零件之狀態(例如損傷狀態)。真空泵的振動值(以下亦稱為泵振動值)會依據真空泵之運轉狀態而變化。依據馬達電流值來推測真空泵之運轉狀態。馬達電流值高之狀態係用以維持葉輪旋轉之負荷條件大的狀態。第1實施形態中，將泵振動值及馬達電流值成組地測定並記錄。

振動資料除了測定時之振幅、振動速度、振動加速度以外，還進行頻率分割資料處理(FFT處理)。特定之頻帶之振動有異常時，藉由從儲存器讀出與該特定之頻帶對應之零件，可具體指定出故障零件。具體而言，振動資料係 例如可為(1)一軸之振幅資料、速度資料、加速度資料、(2)三軸之振幅資料、速度資料、加速度資料、(3)三軸之旋轉角速度資料之任一者。

圖1係第1實施形態之資訊處理系統之概略構成圖。如圖1所示，第1實施形態之資訊處理系統S係具備：半導體製造系統10-1、…、10-N；經由網路NW而連接半導體製造系統10-1、…、10-N之資訊處理裝置20；連接在網路NW之試驗者終端機30；連接在網路NW之使用者終端機40；以及連接在網路NW之維修終端機50。試驗者終端機30係例如在製造真空泵之工廠中，進行出貨前性能試驗之試驗者所使用的終端機。使用者終端機40係利用半導體製造系統10-1、…、10-N之使用者所使用之終端機。維修終端機50係例如在維修真空泵之工廠中，維修的人所使用之終端機。

半導體製造系統10-1、…、10-N係分別具備真空泵3。以下，將半導體製造系統10-1、…、10-N統稱為半導體製造系統10。

圖2係顯示製造程序、運轉中、維修程序時之資料流程的一例之示意圖。如圖2所示，真空泵之製造程序中，以真空泵之出貨前性能試驗來測量真空泵之振動。半導體製造系統10之後述的控制裝置4係將顯示此振動量之振動資料、及顯示真空泵之後述的馬達33之驅動電流的驅動電流資料，傳送至資訊處理裝置20。資訊處理裝置20係利用此振動資料及驅動電流資料來預測真空泵3之故障發生時期，並將顯示該故障發生預測時期之資料傳送至試驗者終端機30。

真空泵之運轉中，在運轉中測量真空泵之振動。半導體製造系統10之後述的控制裝置4係將顯示此振動量之振動資料及顯示真空泵之後述之馬達33之驅動電流的驅動電流資料，傳送至資訊處理裝置20。資訊處理裝置20係 利用此振動資料及驅動電流資料來預測泵之故障發生時期，並將顯示該故障發生預測時期之資料傳送至使用者終端機40。

真空泵係為了進行維修(例如大翻修)而搬送至工廠，在維修完成後送還。工廠中，於維修程序中，實施與出貨前性能試驗相同之維修試驗。亦即，真空泵之維修程序中，以真空泵之維修試驗測量真空泵之振動。半導體製造系統10之後述的控制裝置4係將顯示此振動量之振動資料及顯示真空泵之後述的馬達33之驅動電流的驅動電流資料，傳送至資訊處理裝置20。資訊處理裝置20係利用此振動資料及驅動電流資料來預測真空泵之故障時期，並判斷是否更換零件。再者，資訊處理裝置20係將顯示是否更換零件之零件更換判斷資料及顯示該故障發生預測時期之資料，傳送至維修終端機50。

圖3係第1實施形態之半導體製造系統10之概略構成圖。如圖3所示，第1實施形態之半導體製造系統10係具備：半導體製造裝置1；真空泵3；連結半導體製造裝置1與真空泵3之配管2；連接於真空泵3之控制裝置4；以及連接於控制裝置4之顯示裝置6。半導體製造裝置1係具備：反應室成膜爐11；以及控制反應室成膜爐11之控制部12。反應室成膜爐11及真空泵3係經由配管2而連通，並且藉由真空泵3運轉，將反應室成膜爐11內之氣體(氣體)排出而成大致真空。控制裝置4係控制真空泵3之運轉。控制裝置4係使資訊(例如顯示泵之故障預測之資料、零件更換判斷資料)顯示在顯示裝置6。

圖4係第1實施形態之真空泵3之概略功能構成圖。如圖4所示，真空泵3係具備：電源38；輸入端連接於電源38之換流器39；輸入端連接於換流器39之輸出端的馬達33；以及連接於馬達33之轉軸的葉輪31。並且，真空泵3係具備壓力計61、溫度計62、及檢測出真空泵3之振動的振動感測器63。 此外，亦可取代振動感測器63或增設而設置聲音檢出感測器(例如麥克風)。並且，真空泵3係具備處理器64及依據處理器64來儲存資訊的記憶體65。記憶體65中，接受輸入來的壓力計61、溫度計62及振動感測器63之測定資料、馬達33之驅動電流、及泵運轉性能資料(例如到達壓力、及/或額定壓力之到達時間)之儲存。

如圖4所示，顯示馬達33之旋轉次數的旋轉次數信號係從馬達33供給至換流器39。並且，將驅動電流之電流實效值以及由旋轉次數信號所得之馬達33之旋轉速度，從換流器39供給至控制裝置4。並且，將顯示藉由壓力計61測量之真空泵3內之壓力值的壓力信號，供給至控制裝置4。並且，將顯示由溫度計62所測量之溫度的溫度信號，供給至控制裝置4。並且，將顯示由振動感測器63所檢測之振動的振動資料，供給至控制裝置4。此外，本實施形態中，控制裝置4係與真空泵3個別地配置，但其他實施形態中，控制裝置4亦可一體地組裝於真空泵3。

換流器39係將供給自電源38之交流電流進行頻率變換，並將頻率變換所得之驅動電流供給至馬達33。藉此，馬達33之轉軸係藉由此驅動電流而旋轉，葉輪31亦隨之旋轉，藉此，從配管2吸入之氣體係隨著葉輪31之旋轉而排出真空泵3之外部。

上述構成之真空泵3中，藉由驅動馬達33使一對葉輪31旋轉，從吸入口(未圖示)吸入之氣體係隨著葉輪31移送至排氣側而從排氣口(未圖示)排氣。並且，藉由將氣體從吸入側連續移送至排氣側，將連接於吸入口之反應室成膜爐11內之氣體真空排氣。

就第1實施形態之真空泵3之葉輪31的一例而言，可為魯氏葉輪。此外，真空泵3亦可為具備螺旋式葉輪者。並且，真空泵3亦可為爪式或渦卷式真空泵。此外，真空泵3亦可為不具備一對葉輪31者(例如渦輪分子泵)。並且，就第1實施形態之真空泵3之一例而言，可為複數段之泵，但不限於此，亦可為一段之泵。

控制裝置4係在要停止成為對象之真空泵3之運轉時，執行停止程序來控制葉輪之旋轉。在此，停止程序係在泵停止步驟開始後，使葉輪31朝正向及/或逆向旋轉之後，停止該葉輪31之程序。

圖5係顯示第1實施形態之資訊處理裝置20之概略構成的方塊圖。如圖5所示，資訊處理裝置20係具備：輸入介面21、輸出介面22、儲存器23、記憶體24、通信迴路25、及處理器26。

輸入介面21係接受來自操作資訊處理裝置20之操作者的輸入。

輸出介面22係將資料輸出外部之介面。

儲存器23儲存有用以供處理器26讀出而執行之第1實施形態之程式及各種之資料，例如為非揮發性記憶體(例如硬碟)。

記憶體24係暫時地保持資料及程式，例如為揮發性記憶體(例如Ram(隨機存取記憶體，Random Access Memory))。通信迴路25係經由通信網路NW而與半導體製造系統10-1、…、10-N之各個控制裝置4通信。此通信可為有線亦可為無線通信，就一例而言，以有線通信來說明。

處理器26係從儲存器23將第1實施形態之程式載入記憶體14，並執行該程式包含之一連串的指令，藉此發揮作為比較部251、輸出部252、判別部253、預測部254之功能。

圖6係顯示驅動電流之電流實效值之時間變化之一例的曲線圖。如圖6所示，連接有真空泵之半導體製造裝置之運轉程序中，具有：準備程序、執行成膜之成膜程序、及後程序。其中，準備程序及後程序包含程序1，且準備程序更包含程序2。成膜程序包含程序3至5。第1實施形態中，就一例而言，判別部253係依據真空泵之馬達之驅動電流，來判別連接有該真空泵之半導體製造裝置之運轉程序。如此，判別部253係依據真空泵之馬達之驅動電流，判別連接有該真空泵之半導體製造裝置之運轉程序。此馬達之驅動電流可為指令值，亦可為感測器之觀測值。

在此，判別部253係依據真空泵之馬達之驅動電流，判別連接有該真空泵之半導體製造裝置之運轉程序，但不限於此，亦可依據真空泵之馬達之驅動電流、該馬達之功率、該真空泵之葉輪之轉速、該真空泵之溫度、該真空泵之壓力、該真空泵之振動、該真空泵之噪音之中的至少一者，來判別連接有該真空泵之半導體製造裝置之運轉程序。在此，真空泵之馬達之驅動電流中，不僅限於驅動電流值本身，亦包含該馬達之電流之實效值、該馬達之電流之峰值。如上所述，真空泵之馬達之驅動電流、該馬達之功率、該真空泵之葉輪之轉速、該真空泵之溫度、該真空泵之壓力、該真空泵之振動、該真空泵之噪音等參數，可為指令值，亦可為觀測值。

如此，判別部253亦可依據真空泵之參數之指令值或該參數之觀測值中的至少一者，判別連接有該真空泵之半導體製造裝置之運轉程序。

圖7係針對相同之真空泵，說明在相同程序中，每一頻帶之振動強度係在初期與運轉時不同的示意圖。圖7中示意顯示初期(例如出貨前性能試驗時或泵出貨後之運轉初期時)之每一頻帶之振動強度之曲線圖及維修時之每一 頻帶之振動強度之曲線圖。縱軸為振動強度，橫軸為頻率。本案發明人係由以往之資料發現，某頻帶之振動強度之變化量超過基準時，係由於特定之零件之異常或故障。同樣地，本案發明人係由以往之資料發現，某頻帶之聲音強度之變化量超出基準時，係由於特定之零件之異常或故障。

圖7之例中，顯示於特定之程序中，維修時之頻率f3至f4之頻帶中的振動強度與初期之頻率f3至f4之頻帶的振動強度之差超出了臨限值。並且，由以往之資料顯示，此頻率f3至f4之頻帶之振動強度之變化量超出基準時，係與零件A之異常或故障有關。

同樣地，顯示於特定之程序中，維修時之頻率f5至f6之頻帶中的振動強度與初期之頻率f5至f6之頻帶的振動強度減算後之變化量超過臨限值。並且，由以往之資料顯示，此頻率f5至f6之頻帶的振動強度之變化量超出基準時，係與零件B之異常或故障有關。

圖8係記憶在資訊處理裝置20之儲存器23之表格之一例。如圖8所示，表格T1中，儲存有真空泵之程序、頻帶、及零件碼之組合的記錄，該零件碼係用以辨識預定的頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件的零件辨識資訊。如此，第1實施形態之資訊處理裝置20之儲存器23中，將真空泵之程序、頻帶、及辨識真空泵之零件且為辨識預定的頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之屬於零件辨識資訊之零件碼賦予關聯性而記憶。例如，如圖8所示，將頻率f3至f4之頻帶與零件碼A賦予關聯性，將頻率f5至f6之頻帶與零件碼B賦予關聯性。

圖9係記憶在資訊處理裝置20之儲存器23之表格之一例。如圖9所示，表格T2中，儲存有針對以往故障之真空泵，辨識真空泵之機種的資訊 之機種碼、真空泵振動資料之經年資料之檔案路徑、驅動電流資料之經年資料之檔案路徑、及使用開始至故障發生時之經過時間之組合的記錄。如此，儲存器23中，例如針對以往故障之真空泵，依每一機種，將真空泵振動資料之經年資料及驅動電流資料之經年資料、及使用開始至故障發生時之經過時間賦予關聯性而記憶。例如，如圖9所示，即使機種碼為00011之相同機種，亦可分別儲存真空泵振動資料之經年資料及從驅動電流資料之經年資料及使用開始至故障發生時之經過時間。

圖10係顯示出貨前性能試驗時之處理流程之一例的流程圖。

(步驟S10)首先，在特定之試驗條件中，振動感測器63檢測出泵振動，試驗者係取得真空泵振動資料，並且從換流器39取得顯示當時之真空泵3之馬達33之驅動電流值的驅動電流資料。

(步驟S20)接著，試驗者係測量泵運轉性能資料(在此就一例而言，例如至到達壓力及額定壓量之到達時間)。

(步驟S30))接著，試驗者係操作以將出貨前性能試驗時之測定資料(例如泵運轉性能資料、真空泵振動資料、及驅動電流資料)儲存於真空泵之記憶體(亦稱為內建記憶體)65。藉此，處理器64係將該測定資料儲存在真空泵3之記憶體65。

並且，試驗者係例如操作資訊處理裝置20，以將此出貨前性能試驗時之測定資料儲存在資訊處理裝置20之儲存器23。藉此，資訊處理裝置20之處理器26係將出貨前性能試驗時之測定資料儲存在儲存器23。

(步驟S40))接著，資訊處理裝置20之預測部254係參照儲存器23，比較成為對象之真空泵3之出貨前性能試驗時之真空泵振動資料及驅動電流資 料與以往同一機種之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料，藉此預測真空泵3之故障發生時期。具體而言，例如，預測部254係抽出以往同一機種之出貨前性能試驗時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料之中，最類似於對象之真空泵3之出貨前性能試驗時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料之資料。並且，預測部254係例如將所抽出之資料與使用開始至故障發生時之經過時間賦予關聯性而輸出作為對象之真空泵3之故障預測時期。預測部254係控制為將如此的對象之真空泵3之故障預測時期，從通信迴路25傳送至試驗者終端機30。試驗者終端機30可在接收到此對象之真空泵3之故障預測時期時，顯示對象之真空泵3之故障預測時期。藉此，試驗者可掌握對象之真空泵3之故障預測時期。

圖11係顯示真空泵運轉中之泵故障時期之預測處理之流程之一例的流程圖。

(步驟S110)首先，真空泵3之處理器64係將真空泵振動資料、當時之真空泵驅動電流資料、零件使用時間之累計資料，儲存至記憶體65。

(步驟S120)接著，真空泵3之處理器64係將真空泵振動資料與真空泵驅動電流資料之組合輸出至控制裝置4。再者，控制裝置4係將此真空泵振動資料與真空泵驅動電流資料之組合傳送至資訊處理裝置20。

(步驟S130)接著，資訊處理裝置20之預測部254係預測泵故障時期。例如，預測部254係參照儲存器23，比較成為對象之真空泵3之運轉時之真空泵振動資料及驅動電流資料與以往同一機種之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料，藉此預測真空泵3之故障發生時期。具體而言，例如預測部254係抽出以往同一機種之出貨前性能試驗時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資 料之中，最類似於對象之真空泵3之運轉時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料之資料。

並且，預測部254係例如將因抽出而與資料賦予關聯性之使用開始至故障發生時之經過時間，輸出作為對象之真空泵3之故障預測時期。

(步驟S140)接著，資訊處理裝置20之預測部254係控制成將如此的對象之真空泵3之故障預測時期，從通信迴路25傳送至使用者終端機40。

(步驟S150)使用者終端機40係在接收到此對象之真空泵3之故障預測時期時，顯示對象之真空泵3之故障預測時期。藉此，使用者端可掌握對象之真空泵3之故障預測時期。

圖12係顯示維修時之更換零件之具體指定處理之流程之一例的流程圖。在此，以對象之真空泵為了維修(例如大翻修)而送回工廠為前提來說明。

(步驟S210)比較部251係將儲存在真空泵3之記憶體65之運轉時之對象之真空泵之振動的強度，與該真空泵之出貨前檢查時之振動的強度，依每一程序、頻帶比較振動。

此外，比較對象之基準資料不限於該真空泵之出貨前檢查時之振動的強度，亦可為該真空泵之初期運轉時之振動的強度，亦可為同一機種之其他真空泵之振動的強度，亦可為同一機種之其他真空泵之振動的強度的統計資料。

(步驟S220)輸出部252係依步驟S210之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料(在此就一例而言，為該真空泵之出貨前檢查時之振動的強度)之差超出基準值時，就該零件更換相關資訊的一例而言，輸出與該頻帶對應之零件辨識資訊。藉此，具體指定應更換之零件。此外，比較部251亦可將對象之真空泵之振動或聲音之強度與預設之基準範圍進行比較，依比較結果，當對象之真空泵 之振動或聲音之強度偏離基準範圍時，輸出部252輸出與該頻帶對應之零件辨識資訊。

(步驟S230)接著，輸出部252係控制為將用以建議更換該具體指定之零件的資訊，從通信迴路25傳送至維修終端機50。

(步驟S240)接著，輸出部252係將某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時之真空泵振動資料及當時之真空泵驅動電流資料，儲存於儲存器23。

(步驟S250)維修終端機50係在接收到從資訊處理裝置20傳送之資訊時，顯示用以建議更換該具體指定之零件的資訊。

藉此，看見此資訊之維修者可更換該具體指定之零件，因此可更換成為故障或異常之原因之零件。

此外，圖2之例中，振動資料亦可為顯示真空泵發生之聲音的聲音資料。

以上，第1實施形態之資訊處理系統S係具備儲存器23，該儲存器23係將頻帶與辨識真空泵之零件且為辨識預定的頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之零件辨識資訊賦予關聯性而記憶。並且，資訊處理系統S係具備比較部251，該比較部251係依每一頻帶，將運轉時之真空泵之振動或聲音之強度，與該真空泵之出貨前檢查時、該真空泵之初期運轉時、同一機種之其他之真空泵之任一者的振動或聲音之強度或振動或聲音之強度之統計資料，進行比較。再者，資訊處理系統S係具備輸出部252，該輸出部252係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23，輸出與該頻帶對應之零件辨識資訊。

藉由此構成，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低由於在真空泵之維修時未將標準更換零件以外之零件更換為新品零件之故而使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率，並且可更進一步抑制更換零件費用。

此外，判別部253依據真空泵之參數之指令值或該參數之觀測值中的至少一者進行判別之判別對象亦可為真空泵之氣體負荷條件而取代運轉程序。

在此，真空泵之運轉狀態係以參數指令值或觀測值表示，例如具有(1)「馬達驅動電流、馬達之功率、葉輪之轉速、泵之溫度、泵內之壓力、泵振動值、泵噪音值」等對應於氣體負荷而變動之狀態量；(2)馬達電流實效值、馬達電流峰值、泵噪音；(3)泵停止至溫度平衡之過渡的運轉狀態或溫度平衡狀態等。真空泵之運轉條件係例如(1)排氣側之壓力條件(亦稱為背壓條件)；(2)半導體製造裝置至泵吸氣口之配管口徑、配管長度、配管配置；(3)泵運轉開始起之運轉時間之至少一者。真空泵之氣體負荷條件係例如(1)氣體流量(例如氣體最大流量、氣體最小流量)；(2)氣體流量之時間變化；(3)累積氣體量中之至少一者。

參數指令值或觀測值表示之泵之運轉狀態係一部分或全部會因外部條件而變化。外部條件係泵起動後之過渡期間、溫度到達平衡後之穩定期間之不同、氣體負荷(氣體流量)、泵個體差(零件、組裝)、及/或運轉中之變化(生成物附著、因腐蝕所致之零件削減、零件之摩耗、背壓等)。儲存器23記憶有外部條件之全部的組合之各個觀測值之值時，判別部253亦可藉由比較現在之觀測值 之值之組合與記憶在儲存器23之儲存器之值之組合，判斷例如與最類似之觀測值之組合對應的外部條件之組合。

就其他之更實際的方法而言，限定於特定之外部條件係為有效者。在此，就一例而言，判別部253係忽略泵個體差、泵運轉中之變化(穩定運轉)，並假設泵之運轉狀態因氣體負荷之變化而變化，若為相同之氣體負荷，則假設泵之運轉狀態係相同。

例如，判別部253亦可依據從泵起動開始起之經過時間及/或泵溫度變化率，判斷真空泵是否處於過渡期間，是否為溫度到達平衡後。

<溫度到達平衡後之狀態>

在此，在溫度到達平衡後之狀態下，若真空泵之馬達電流相同，則假設氣體負荷條件(氣體流量)係相同。此假定之下，例如判別部253亦可在溫度到達平衡後之狀態下，比較每一出貨試驗時之氣體負荷條件之馬達電流觀測值與運轉中之真空泵之馬達電流觀測值，以判別運轉中之泵之氣體負荷條件。

例如判別部253係在溫度到達平衡後之狀態下，若具有包含運轉中之泵之馬達電流觀測值的泵運轉觀測值之資料檔案，則藉由比較其資料檔案與運轉中泵之觀測值，即可判斷運轉狀態為相同或是不同。

此時，比較部251亦可依所判別之每一氣體負荷條件來執行每一氣體負荷條件頻帶的比較，取代依每一運轉程序的比較。再者，此時，儲存器23中，亦可對於前述頻帶與辨識前述應更換之零件的零件辨識資訊之組合，以氣體負荷條件取代前述運轉程序賦予關聯性而記憶。再者，此時，輸出部252亦可依比較部251之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻 帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23，將與該頻帶及所判別之氣體負荷條件之組合對應的零件，具體指定為必須進行更換的零件。

如此，第1實施形態中，資訊處理系統S係具備判別部25，該判別部25係依據真空泵之參數之指令值或該參數之觀測值中之至少一者，判別該真空泵之氣體負荷條件、或連接有真空泵之半導體製造裝置之運轉程序中之至少一者3。比較部251係依前述所判別之氣體負荷條件或運轉程序來執行每一前述頻帶之比較。儲存器23中，前述頻帶與辨識前述應更換零件之零件辨識資訊的組合中，更進一步與氣體負荷條件或前述運轉程序賦予關聯性而記憶。輸出部252係依比較部251之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時，或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23，輸出與該頻帶及前述所判別之氣體負荷條件或運轉程序之組合對應的零件辨識資訊。在此，氣體負荷條件係例如氣體流量。

此外，輸出部252亦可輸出(1)繼續使用零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係(例如表格、曲線圖、數值資料等資訊)、及/或(2)更換零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係(例如表格、曲線圖、數值資料等資訊)。藉此，使用者可預測更換零件時之該零件之成本效益。

藉由此構成，藉由輸出對應於頻帶與程序之組合的零件辨識資訊，可將故障或異常之零件以更高精確度具體指定為必須更換之零件。另一方面，能夠以更高精確度確認不更換到無故障或異常之零件。因此，可更為降低由於在真空泵之維修時未將標準更換零件以外之零件更換為新品零件之故而使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率，並且可更進一步抑制更換零件費用。

此外，本實施形態中，就一例而言，判定基準係比較某頻帶的強度之差與基準值(數值)，以作為屬於一個臨限值之基準值(數值)，但不限於此。例如比較部251亦可從經頻率分析之波形之影像資料(或數值資料)來抽出特徵點，並比較基準之頻率分析波形之特徵點之值與對象泵之頻率分析波形之特徵點之值。在此，頻率分析波形係指例如傅立葉變換後之橫軸為頻率縱軸為強度之曲線圖之波形。再者，特徵點亦可為更換對象之零件之固有頻率之整數倍之頻率之值。

此時，輸出部252亦可依比較結果，當對象泵之頻率分析波形之特徵點之值偏離以基準之頻率分析波形之特徵點之值為基準所設定之範圍或值時，或當對象泵之頻率分析波形之特徵點之值與基準之頻率分析波形之特徵點之值之差超出基準值時，參照儲存器23，輸出與該逸脫之頻帶對應的資訊。

用於此判定之基準值(以下稱為判定基準)亦可為利用新的資料而更精緻化者。例如，基準值為平均值時，亦可藉由使用新的資料來隨時更新此基準值。例如，亦可在其他時間點(定期、不定期)進行更新。就基準值之更新方法而言，例如，可藉由重新審視出貨試驗之泵資料與出貨後因零件劣化要因而故障、未故障之結果，以及該泵之運轉資料等各資料，而進行刪除，或藉由新取得等，而進行更新。

此外，輸出部252亦可輸出成本效益。在此，成本效益之「費用」係例如零件更換費用(例如零件價格及/或更換作業費)。成本效益之「效果」係假設未更換時之風險(期待值之相反)金額，例如真空泵故障發生時之(製品損失金額)×(泵故障機率)。輸出部252能夠以零件更換費用與風險金額之比率來輸出成本效益。或者，儲存器23已預先記錄有以往之零件更換費用時，輸出部252亦能以以往之零件更換費用風險金額之比率來輸出成本效益。

並且，第1實施形態中，於儲存器23中，針對以往故障之真空泵，依每一機種，將真空泵振動資料之經年資料及真空泵驅動電流資料之經年資料與使用開始至故障發生時之經過時間賦予關聯性而記憶。再者，資訊處理系統S係具備預測部254，該預測部254係參照儲存器來比較對象之真空泵之運轉時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料與以往同一機種之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料，藉此預測前述對象之真空泵之故障時期。

藉由此構成，對象之真空泵之使用者可掌握此對象之真空泵之故障預測時期，因此可提升能避免要在半導體製造程序中停止真空泵之前送去維修或更換成新的真空泵等真空泵於半導體製造程序中停止之事態的機率。

本實施形態中，比較部251係例如將振動及/或聲音之時機資料傅立葉變換，且依每一頻帶比較傅立葉變換後之振幅。藉由此構成，來比較振動及/或聲音之強度。

<第2實施形態>

接著，針對第2實施形態進行說明。第1實施形態中，判別部253係判別真空泵之程序，輸出部252係依比較部251之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23，將與該頻帶及前述判別之程序之組合對應的零件具體指定為必須更換的零件。

相對於此，第2實施形態中，不進行真空泵之程序之判別，輸出部252係依比較部251之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23來輸出與該頻帶對應之零件辨識資訊。亦即，本實施形態中，就一例而言，不具體指定程序，而是比較部251在預定之時間範圍內執行每一頻帶之比較。

圖13係顯示第2實施形態之資訊處理系統之概略構成圖。如圖13所示，第2實施形態之資訊處理系統中，與第1實施形態之資訊處理系統S相比較，資訊處理裝置20係變更為資訊處理裝置20b。

圖14係顯示第2實施形態之資訊處理裝置20b之概略構成的方塊圖。相較於第1實施形態之資訊處理裝置20，第2實施形態之資訊處理裝置20b中，儲存器23變更為儲存器23b，處理器26變更為處理器26b。

儲存器23b中，儲存表格T3取代表格T1。並且，處理器26b係從儲存器23將第2實施形態之程式載入記憶體14，並執行該程式包含之一連串的指令，藉此發揮作為比較部251、輸出部252、預測部254之功能。

圖15係顯示記憶在第2實施形態之資訊處理裝置20b之儲存器23b之表格T3的一例。如圖14所示，表格T3中，儲存有頻帶及零件碼之組合之記錄，該零件碼係辨識在該頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之零件辨識資訊。如此，第2實施形態之資訊處理裝置20b之儲存器23b中，將頻帶與辨識真空泵之零件且為該頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之屬於零件辨識資訊的零件碼賦予關聯性而記憶。

比較部251係依每一頻帶，例如在預定之時間範圍內，將運轉時之真空泵之振動或聲音之強度與該真空泵之出貨前檢查時、該真空泵之初期運轉時、相同機種之其他之真空泵之任一者的振動或聲音之強度或振動或聲音之強度之統計資料進行比較。輸出部252係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23b來輸出與該頻帶對應之零件辨識資訊。

如上所述，第2實施形態之資訊處理系統S係具備儲存器23b，該儲存器23b係將頻帶與辨識真空泵之零件且為該頻帶之振動或聲音有異常時應更換之零件之零件辨識資訊賦予關聯性而記憶。再者，資訊處理系統S2係具備比較部251，該比較部251係依每一頻帶，將運轉時之真空泵之振動或聲音之強度，與該真空泵之出貨前檢查時、該真空泵之初期運轉時、相同機種之其他真空泵之任一者之振動或聲音之強度或振動或聲音之強度之統計資料進行比較。再者，資訊處理系統S2係具備輸出部252，該輸出部252係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器23b，將與該頻帶對應之零件辨識資訊輸出。

依據此構成，由於可將故障或異常之可能性高的零件分別具體指定為必須更換之零件，因此可更換故障或異常之可能性高的零件。另一方面，可不更換到故障或異常之可能性低的零件。因此，可降低由於在真空泵之維修時未將標準更換零件以外之零件更換為新品零件之故而使運轉中之真空泵發生故障或異常之頻率，並且可抑制更換零件費用。

此外，各實施形態中說明了於儲存器中記憶有辨識應更換之零件的零件辨識資訊作為是否應更換該零件之判斷材料的資訊，但是否應更換該零件之判斷材料的資訊不限於此。該頻帶之振動或聲音有異常時輸出的資訊亦可為故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵之運轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率。

此時，輸出部252亦可依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超出基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器，輸出與該頻帶 對應之零件辨識資訊、故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵之運轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率。

例如，該頻帶之振動或聲音有異常時輸出之資訊為繼續使用零件時之真空泵之運轉期間及故障發生機率時，具體而言，該輸出之資訊亦可為例如繼續使用零件時之真空泵之運轉期間及故障發生機率之表格。

例如，該頻帶之振動或聲音有異常時輸出之資訊係更換零件時之泵運轉期間及故障發生機率時，具體而言，該輸出之資訊亦可為例如更換零件時之泵運轉期間及故障發生機率之表格。

此外，依據各實施形態，不僅提供決定泵維修時之零件更換的判斷基準，亦可藉由處理器26將故障泵及未故障而送廠之泵之運轉中之振動資料儲存於儲存器23而構築程式庫，推測運轉中泵之零件劣化所致之泵將來的故障。

再者，依據各實施形態，可藉由處理器26將新品泵之振動資料儲存於儲存器23而追加在程式庫，推測在泵製造時因零件劣化所造成之泵將來的故障。

以下係針對因上述運轉中泵之零件劣化所造成之泵故障、及在泵製造時因零件劣化所造成之泵故障之推測方法之一例加以說明。例如，在儲存器23之中，將出貨試驗之泵資料與出貨後因零件劣化要因而故障或未故障之結果及該泵之運轉資料賦予關聯性而儲存。

將程式庫之資料分為四個群組，並抽出並解析各個群組之泵資料之共通條件及/或共通傾向。藉此，可獲得用來判斷是否應更換零件之資訊。在此，四個群組之資料係(1)因零件劣化要因而發生故障之泵之出貨試驗資料、(2)未因零件 劣化要因而發生故障之泵之出貨試驗資料、(3)因零件劣化要因而發生故障之泵之運轉資料、(4)未因零件劣化要因而發生故障之泵之運轉資料。

1：要推測因運轉中之對象泵之零件劣化要因所造成之將來的故障可能性時，處理器26可比較該對象泵之運轉資料與上述(3)、(4)之資訊，使相關性數值化，藉此輸出顯示因運轉中泵之零件劣化要因所造成之泵故障之將來發生可能性之資訊。

2：要推測因出貨試驗中之對象泵之零件劣化要因所造成之將來的故障可能性時，處理器26可比較該對象泵之出貨試驗資料與上述(1)、(2)之資訊，使相關性數值化，藉此輸出顯示因出貨試驗中之對象泵之零件劣化要因所造成之泵故障之將來發生可能性之資訊。

此等1、2之推測亦可僅由(1)、(3)之資訊來進行，但若追加(2)、(4)，則可靠性會提升。

此外，真空泵可具備葉輪、使前述葉輪旋轉之馬達、及賦予使前述馬達旋轉之驅動力的換流器。真空泵亦可具備：測定運轉時之真空泵之振動的振動計；以及將前述振動計所測定之測定資料、前述真空泵之運轉中之前述馬達之驅動電流資料、及泵運轉性能資料賦予關聯性而儲存的記憶媒體。

此外，上述實施形態中所說明之資訊處理裝置20之至少一部分可由硬體構成，亦可由軟體構成。以硬體構成時，將用來實現資訊處理裝置20之至少一部分之功能的程式收納在磁片、CD-ROM等記錄媒體，並且讀入於電腦來執行。記錄媒體不限於磁碟、光碟等可裝卸者，亦可為硬碟裝置、記憶體等固定型之記錄媒體。

並且，亦可經由網際網路等通信迴路(亦包含無線通信)散佈用來實現資訊處理裝置20之至少一部分之功能的程式。再者，亦可使相同程式經加密、施加調變、壓縮之狀態下，經由網際網路等有線迴路、無線迴路或收納於記錄媒體來散佈。

再者，亦可藉由一個或複數個資訊處理裝置發揮資訊處理裝置20之功能。利用複數個資訊處理裝置時，資訊處理裝置中之一可為電腦，以該電腦執行預定之程式，藉此實現資訊處理裝置20之至少一個手段的功能。

並且，方法之發明中，亦可藉由電腦自動地控制來實現全部的程序(步驟)。並且，亦可使電腦實施各程序，而人工地實施程序間之進行控制。並且，亦能人工地實施全程序中之至少一部分。

如上所述，本發明不限於上述實施形態，亦可在實施段階中，於不脫離其要旨的範圍內，變更構成要素而具體化。並且，藉由上述實施形態所揭示之複數個構成要素之適當組合，可形成各種發明。例如，亦可從實施形態所示之全構成要素刪除幾個構成要素。再者，亦可適當地組合不同實施形態的構成要素。

S210~S250:步驟

Claims (9)

1. 一種資訊處理系統，係具備：

   儲存器，係將頻帶與真空泵之零件更換相關資訊賦予關聯性而記憶；

   比較部，係依每一頻帶將運轉時之真空泵之振動或聲音的強度與基準資料或基準範圍進行比較；以及

   輸出部，依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊。
2. 如請求項1所述之資訊處理系統，其中，記憶在前述儲存器之前述零件更換相關資訊包含：辨識應更換之零件的零件辨識資訊、故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵的運轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率；

   前述輸出部輸出之前述資訊包含：零件辨識資訊、故障預測時期、繼續使用零件時之真空泵的運轉期間及/或故障發生機率、或更換零件時之真空泵運轉期間及/或故障發生機率。
3. 如請求項1或2所述之資訊處理系統，係具備：

   判別部，係依據真空泵之參數的指令值或該參數之觀測值中之至少一者，判別該真空泵之氣體負荷條件及連接有真空泵之半導體製造裝置的運轉程序之至少一者；

   前述比較部係依所判別之前述氣體負荷條件或每一前述運轉程序來執行前述每一頻帶之比較；

   前述儲存器中，更將前述運轉狀態、前述運轉條件、前述氣體負荷條件或前述運轉程序，對於前述頻帶與辨識前述應更換之零件的零件辨識資訊之組合賦予關聯性而記憶；

   前述輸出部係依前述比較部之比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出對應於該頻帶與前述判別之氣體負荷條件或運轉程序之組合的零件辨識資訊。
4. 如請求項1所述之資訊處理系統，其中，前述儲存器係針對以往故障之真空泵，依每一機種，將真空泵振動資料之經年資料及真空泵驅動電流資料之經年資料與使用開始至故障發生時之經過時間賦予關聯性而記憶；

   且該資訊處理系統更具備預測部，該預測部係參照前述儲存器來比較對象之真空泵運轉時之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料與以往同一機種之真空泵振動資料及真空泵驅動電流資料，藉此預測前述對象之真空泵的故障時期。
5. 如請求項1所述之資訊處理系統，其中，前述比較部係將振動及/或聲音之時機資料傅立葉變換，且依每一頻帶比較傅立葉變換後之振幅。
6. 如請求項1所述之資訊處理系統，其中，前述輸出部係輸出繼續使用零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係、及/或更換零件時之泵運轉期間與故障發生機率之關係。
7. 如請求項1所述之資訊處理系統，其中，前述基準資料係該真空泵之出貨前檢查時、該真空泵之初期運轉時、同一機種之其他真空泵之任一者的振動或聲音的強度、或該振動或該聲音之強度的統計資料。
8. 一種資訊處理方法，係具有下述步驟：

   依每一頻帶將運轉時之真空泵的振動或聲音之強度與基準資料或基準範圍比較；並且

   依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊；

   前述儲存器中，將頻帶與真空泵之零件更換相關資訊賦予關聯性而記憶。
9. 一種程式，係用以使電腦發揮作為比較部及輸出部的功能，該電腦係可參照將頻帶與真空泵之零件更換相關資訊賦予關聯性而記憶之儲存器；

   該比較部係依每一頻帶將運轉時之真空泵的振動或聲音之強度與基準資料或基準範圍比較；

   該輸出部係依比較結果，在某頻帶的強度與基準資料之差超過基準值時或某頻帶的強度偏離基準範圍時，參照前述儲存器來輸出與該頻帶對應之資訊。

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