TW202102794A - 高壓氣罐的位置決定用對齊塊 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及一種高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其能夠使內置於儲藏櫃的高壓氣罐的閥連接件與供氣管路的連接器座對齊，通過按照可拆卸方式設置對齊塊，使對齊塊裹住高壓氣罐的閥門，當自動耦接器下降時，通過對齊塊對高壓氣罐的位置以進行修正。為此，本發明的特徵在於由以下部件構成：本體(60)，形成有半球形的上側開口部(61)及側面開口部(62)，用於裹住高壓氣罐(50)的閥門(51)，而上面至少配備有二個以上的結合裝置；蓋子(70)，以軸(63)為中心而按照可開閉方式設置在本體(60)的一側；鎖定裝置，在本體(60)的上側開口部(61)裹住高壓氣罐(50)的閥門(51)且側面開口部(62)裹住閥連接件(52)的狀態下，保持蓋子(70)的關閉狀態。

Description

高壓氣罐的位置決定用對齊塊
本發明涉及一種高壓氣罐的位置決定用對齊塊，能夠使內置於儲藏櫃內的高壓氣罐的閥連接件與供氣管路的連接器座對齊，更具體地說，通過按照可拆卸方式設置對齊塊，使其裹住高壓氣罐的閥門，當自動耦接器下降時，通過對齊塊對高壓氣罐的位置以進行修正。
一般來說，在製造半導體的工藝中，會根據用途供應各種類型的氣體，大部分這些氣體若被人體吸入或者洩漏到大氣中，就會引發安全事故及環境污染等較大的危害，因此需要特別注意。
例如：作為用於離子注入工藝的氣體種類，包括砷化氫(AsH3 ：Arsine)、磷化氫(PH3 ：Phosphine)或三氟化硼(BF3 ：Boron Fluoride)等有毒性氣體，這些氣體的毒性非常強，如果操作人員吸入到呼吸器官，就會造成致命的後果，因此應當精心管理，以防在向生產線供應的過程中發生洩漏。
這種用於半導體製造工藝的氣體，其管理非常重要，這些氣體都以高壓充裝到氣罐(以下簡稱「高壓氣罐」)中的狀態安放在儲藏櫃中，通過供氣管路向生產線供給，當充裝到高壓氣罐中的氣體的約90%被耗盡之後，為了防止殘留在高壓氣罐內部的異物向晶圓加工工藝供應，操作人員就需要更換新的高壓氣罐，以便使氣體繼續通過供氣管路供應。
圖1是概略顯示依據現有技術的半導體設備氣體供應裝置的立體圖，在FAB(wafer fabrication，晶圓製造區)7外部的規定場所設置有儲藏櫃1，該儲藏櫃1用於安放分別充裝有FAB 7內的各種設備8所需的SiH4 、PH3 、NF3 、CF4 等工藝氣體的多個高壓氣罐(省略圖示)。為了確保能夠對分別與其高壓氣罐連接的供氣管路3進行引導，在儲藏櫃1的一側設置有管道4。
為了確保能夠供應沿著供氣管路3流入的工藝氣體，在管道4的另一側按照與高壓氣罐對應的個數設置有調壓箱5，在各個調壓箱5的上端部連接有個數與設備8的個數相同的供應管9，以確保能夠與FAB 7內各個設備8對應連接。
因此，如果從安裝在儲藏櫃1內的各個高壓氣罐供應工藝氣體，各種工藝氣體就會沿著通過管道4內部的供氣管路3流入各自的調壓箱5內。
然後，流入各自的調壓箱5內部的各種工藝氣體經由篩檢程式(省略圖示)淨化後，再沿著按照對應的個數而與FAB 7內設備8分歧連接的各個供應管9流動供應，從而可以加工晶圓。
如上所述，在使氣體向供氣管路3供應的過程中，當氣體耗盡而通過控制部(省略圖示)以檢測出已經到了高壓氣罐的更換時機時，操作人員將使用過的高壓氣罐閥門關閉之後，便與外部的氣體管道分離。
然後，操作人員將與氣體管道分離的高壓氣罐從儲藏櫃1中取出並用新的高壓氣罐更換之後，再將更換的高壓氣罐的閥連接件與連接器座螺紋式結合，使其高壓氣罐重新與外部的氣體管道連接。然後，將關閉氣體噴嘴的閥柄打開，從而完成高壓氣罐的更換。
先前技術文獻： 專利文獻1：大韓民國註冊專利公報 10-0242982(1998年11月15日註冊) 專利文獻2：大韓民國註冊專利公報 10-0649112(2006年11月16日註冊) 專利文獻3：大韓民國註冊專利公報 10-0985575(2010年09月29日註冊)
(發明所欲解決之問題)
但是，這種現有裝置存在致命缺陷，將高壓氣罐從儲藏櫃更換之後，操作人員通過肉眼識別將更換的高壓氣罐的閥連接件對齊於與供氣管路連接的連接器座，並通過螺絲結合，這樣不僅不能夠實現高壓氣罐的迅速更換，還會根據操作人員熟練度的不同而產生人為失誤(human error)。此外，在進行更換作業的過程中，如果不小心導致氣體從高壓氣罐中的洩漏，就會發生氣體爆炸或者導致操作人員因洩漏的氣體而中毒。
本發明就是為解決現有技術存在的上述問題而研發的，本發明的目的在於，以裹住高壓氣罐的閥門的方式可拆卸地設置對齊塊，當自動耦接器下降時，導塊與對齊塊結合，同時可以自動對高壓氣罐的位置進行修正。 (解決問題之技術手段)
為了實現上述目的，依據本發明的高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其特徵在於，由以下幾個部件構成：本體，其形成有半球形的上側開口部及側面開口部，用於裹住高壓氣罐的閥門，上面至少配備有2個以上的結合裝置；蓋子，其以軸為中心按照可開閉方式設置在該本體一側；鎖定裝置，其在該本體的上側開口部裹住高壓氣罐的閥門、側面開口部裹住閥連接件的狀態下，保持蓋子的關閉狀態。 (對照先前技術之功效)
依據本發明，將高壓氣罐放入儲藏櫃的內部之後，只要使自動耦接器下降，固定在自動耦接器上的導塊就能夠與以裹住高壓氣罐閥門的方式固定的對齊塊結合，同時自動完成高壓氣罐的對準。因此，能夠通過連接單元將高壓氣罐的閥連接件準確地連接到連接器座上，由此不僅能夠預防因操作人員的疏忽而導致的人為失誤(human error)的發生，而且還能夠預防在進行更換作業的過程中不小心而導致氣體從高壓氣罐洩漏的事故。
下面，將參照附圖對本發明的實施例進行詳細說明，以確保具有本發明所屬技術領域一般知識的技術人員能夠容易地實施。本發明可以通過多種不同的形態實現，並非僅僅限定於這裡介紹的實施例。需要注意的是，這些附圖只是概略顯示本發明的結構，並非按照尺寸比例繪製。為了繪圖時的明確性與便利性，附圖中部件的相對尺寸及比例對其大小進行了擴大或者縮小顯示，且任意的尺寸僅僅是示例性的並非是限定性的。另外，為了表示相似的特徵，在兩個以上附圖中顯示的相同結構、要素或部件使用了相同的元件符號。
圖2是示出本發明之對齊塊的立體圖，圖3是圖2所示結構的底部立體圖，圖4是將蓋子從本體開放狀態的立體圖。本發明由以下部件構成：本體60，形成有半球形的上側開口部61及側面開口部62，用於裹住高壓氣罐50的閥門51，而在本體60上面至少配備有二個以上的結合裝置；蓋子70，以軸63為中心而按照能夠開閉的方式設置在本體60的一側；鎖定裝置，在本體60的上側開口部61裹住高壓氣罐50的閥門51且側面開口部62裹住閥連接件52的狀態下，保持蓋子70的關閉狀態。
在本發明的一個實施例中，鎖定裝置係由以下部件構成：控制桿80，按照以銷釘82為中心而可升降的方式設置在本體60上，而在其前端形成有掛接在蓋子70一面的掛接突起83；延長片81，形成於控制桿80的後端；盤簧84，設置在本體60的上部，賦予控制桿80復原力。
但是，此領域的專業人士可以將該鎖定裝置改變成多種形態使用。
在圖2至圖4所示的本發明一個實施例中，其結合裝置係顯示為對齊孔64，在固定於自動耦接器(省略圖示)下部的導塊90上固定有導銷91，隨著該導銷91插入對齊孔64，即可完成高壓氣罐50的對齊。但是，也可以將它們相互反用。
另外，在本體60的底部彈性地設置有盤簧66，用於確保與閥門51的外周面接觸的滑件65能夠進退。這是因為，在加工閥門51之頸部51a過程中，加工精度各不相同，其目的是為了使滑件65始終與閥門51之頸部51a緊密接觸。
在蓋子70的內側面設置有矽膠材質的擠壓用彈性構件71，而在該擠壓用彈性構件71的上部設置有回避孔72，閥門51的呼吸孔 (省略圖示)則位於該回避孔72。
下面，將對本發明的作用進行說明。
首先，本發明的對齊塊裹住內置於儲藏櫃的各個高壓氣罐50的閥門51，當高壓氣罐50內的氣體全部供應完之後，就從高壓氣罐50分離，然後再設置到新放入儲藏櫃內的高壓氣罐的閥門上。
即，如圖6所示，在對齊塊係以將高壓氣罐50的閥門51裹住的方式設置的狀態下，隨著高壓氣罐50的更換而想要將對齊塊與閥門51分離時，只要操作人員將控制桿80向上抬起，就可以將掛接在蓋子70外面的掛接突起83的掛接狀態解除，如圖4所示，蓋子70就會從本體60打開。
在這種狀態下，如果從控制桿80撤除外力，控制桿80就會在盤簧84的復原力作用下恢復到最初的狀態。
因此，就可以將對齊塊從高壓氣罐50的閥門51撤除。
當上述撤除的對齊塊將新放入儲藏櫃內的高壓氣罐50的閥門51裹住並與之結合之後，上側開口部61就將閥門51裹住，側面開口部62將閥連接件52裹住，滑件65將閥門51之頸部51a裹住。
通過上述操作，本體60將閥門51裹住之後，只要將開放的蓋子70關閉，固定在蓋子70內側面的擠壓用彈性構件71就能夠與閥門51緊密接觸。同時，閥門51的呼吸孔會處於回避孔72的位置。並且，作為鎖定裝置的控制桿80之掛接突起83會與蓋子70的外面接觸，從而可以完成對齊塊的組裝作業。
在這種狀態下，將高壓氣罐50內置於儲藏櫃，操作人員通過肉眼識別使自動耦接器下降，使固定在自動耦接器下部的導塊90之導銷91插入位於對齊塊的本體60上的對齊孔64內。導塊會與對齊塊結合，由此完成高壓氣罐50的對齊。因此，在將端蓋53從閥連接件52撤除之後，就能夠將閥連接件52準確地螺紋式結合至與供氣管路連接的連接器座上。
以上，參照附圖對本發明的實施例進行了說明。但是，具有本發明所屬技術領域一般知識的技術人員，完全可以在不改變本發明技術思想或者必要特徵的前提下，通過其它具體的形態實施。
因此，以上介紹的實施例應當理解為在所有方面都是示例性的、而不是限定性的，本發明並非僅僅局限於上述實施例。在上述詳細說明中介紹的本發明的範圍通過隨附的申請專利範圍進行體現，申請專利範圍的意義與範圍以及通過其等價概念匯出的所有變更或變形的形態，均包含在本發明的範圍之內。
1:(先前技術)儲藏櫃 3:(先前技術)供氣管路 4:(先前技術)管道 5:(先前技術)調壓箱 7:(先前技術)FAB 8:(先前技術)(FAB)設備 9:(先前技術)供應管 50:高壓氣罐 51:閥門 51a:(閥門)頸部 52:閥連接件 53:端蓋 60:本體 61:(上側)開口部 62:(側面)開口部 63:軸 64:對齊孔 65:滑件 66:盤簧 70:蓋子 71:(擠壓用)彈性構件 72:回避孔 80:控制桿 81:延長片 82:銷釘 83:掛接突起 84:盤簧 90:導塊 91:導銷
圖1是概略顯示依據現有技術的半導體設備供氣裝置之立體圖。 圖2是示出本發明之對齊塊的立體圖。 圖3是圖2的底部立體圖。 圖4是從本體開放蓋子的狀態的立體圖。 圖5是對齊塊與高壓氣罐的閥門結合狀態的局部縱剖面圖。 圖6是示出自動耦接器的導塊與本發明的對齊塊結合狀態的立體圖。
50:高壓氣罐
51:閥門
52:閥連接件
53:端蓋
60:本體
64:對齊孔
70:蓋子
80:控制桿
83:掛接突起
90:導塊
91:導銷

Claims (5)

  1. 一種高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其特徵在於由以下幾個部件構成： 本體(60)，形成有半球形的上側開口部(61)及側面開口部(62)，用於裹住高壓氣罐(50)的閥門(51)，而該本體(60)上面至少配備有二個以上的結合裝置； 蓋子(70)，以軸(63)為中心而按照能夠開閉方式設置在該本體(60)的一側；以及 鎖定裝置，在該本體(60)的該上側開口部(61)裹住該高壓氣罐(50)的該閥門(51)且該側面開口部(62)裹住閥連接件(52)的狀態下，保持該蓋子(70)的關閉狀態。
  2. 如請求項1之高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其中，該鎖定裝置係由以下幾個部件構成： 控制桿(80)，按照以銷釘(82)為中心而能夠升降的方式設置在該本體(60)上，在該控制桿(80)的前端形成有掛接在蓋子(70)的一面的掛接突起(83)； 延長片(81)，形成於該控制桿(80)的後端；以及 盤簧(84)，設置在該本體(60)的上部，賦予該控制桿(80)復原力。
  3. 如請求項1之高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其中，在該本體(60)的底部彈性地設置有盤簧(66)，而該盤簧(66)係使與閥門(51)的頸部(51a)接觸的滑件(65)能夠進退。
  4. 如請求項1之高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其中，在該蓋子(70)的內側面設置有擠壓用彈性構件(71)，而在該擠壓用彈性構件(71)的上部係形成有回避孔(72)。
  5. 如請求項1之高壓氣罐的位置決定用對齊塊，其中，該結合裝置為對齊孔(64)或導銷(91)。
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