TW202035977A - 樣品固定架、系統及方法 - Google Patents

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蘇珊 坎戴爾
娜歐咪 寇特沃爾
亞倫 古
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Abstract

本發明揭示一種用於在X光成像處理中固定一樣品的樣品固定架，所述樣品固定架包括一樣品置放面，其上置放該樣品以在該樣品固定架的深度方向上定位該樣品；一第一對準部，用於在該樣品固定架的寬度方向上對準該樣品；以及一第二對準部，用於在該樣品固定架的高度方向上對準該樣品。

Description

樣品固定架、系統及方法
本發明係有關一種用於在X光成像處理期間固定樣品的樣品固定架，有關一種包括此一樣品固定架的系統，及有關一種使用此一樣品固定架以執行X光成像處理的方法。
本申請案主張德國專利申請案第DE 10 2019 120 109.8號之權利，其整個內容通過引用併入本文供參考。
本申請案係併入整個共同擁有之美國臨時專利申請案名稱「利用X光斷層掃描顯微鏡、顯微鏡和電腦程式以成像樣品意欲區域之方法(Method for imaging a region of interest of a sample using a tomographic X-ray microscope, microscope, system and computer program)」供參考。
3D X光成像技術(例如X光顯微鏡(XRM)和microCT)已成為連接故障隔離和物理故障分析(Physical Failure Analysis，PFA)的故障分析(Failure Analysis，FA)工具，因為其不必破壞受測裝置即可缺陷可視化。此外，這些工具為FA分析人員針對根本原因分析提供決定進行PFA之最佳方式的更好資訊。無損高解析成像的XRM優勢使其成為常規檢查諸如線路、C4凸點、和微凸點等半導體封裝特徵之極佳選擇。MicroCT也很有價值，儘管應用於大尺寸樣品時的解析度低於使用XRM可實現的解析度。由於XRM和microCT具有很大的相似性，因此在本說明書的其餘部分中將可互換使用這些術語。
XRM的設定和獲取時間限制了其在FA和手動測量應用程式之外的擴散和採用，XRM工作流程改善提供實現自動化設備處理的效率和產率優勢之機會，從而提高以高解析度、特定地點檢查和測量應用程式進行之生產率。
為執行XRM，需要將一或多個樣品 (例如積體電路(Integrated Circuit，IC)封裝) 準確且可重複固定到樣品固定架，使得該樣品在X光輻射存在下牢固地固定不移動。不可缺少的是，樣品固定架上的樣品置放在不同樣品固定架之間所有三個空間尺寸上不會有顯著變化，或在相同樣品固定架上重複使用。
在此背景下，本發明的一目的在於提供一種改良的樣品固定架。
因此，提供用於在X光成像處理中固定樣品的樣品固定架。該樣品固定架包括：一樣品置放面，其上置放該樣品以在該樣品固定架的深度方向上定位該樣品；一第一對準部，用於在該樣品固定架的寬度方向上對準該樣品；及一第二對準部，用於在該樣品固定架的高度方向上對準該樣品。
由於實際上該樣品固定架具有該樣品置放面和兩對準部，因此可在所有三個空間方向上精確且可重複定位樣品。因此，樣品在X光輻射的情況下緊密固定不會移動。該樣品的置放在不同樣品固定架之間三個空間尺寸上不會有顯著變化，或在相同樣品固定架上重複使用。
該X光成像處理最好為XRM。該樣品可為電子裝置，尤其是IC封裝。該樣品置放面最好為該樣品固定架的平坦表面，其上可置放該樣品。該對準部最好為條狀並且配置在該樣品置放面的兩不同邊緣上，該樣品置放面最好為矩形，該樣品置放面可容易調整成不同的樣品大小，該樣品置放面特別是由該寬度方向與該高度方向所界定的平面。
該第一對準部沿著該高度方向延伸。該第二對準部沿著該寬度方向延伸。該第一對準部可稱為垂直壁架。該第二對準部可稱為水平壁架。在使用該樣品固定架時，該樣品的第一邊緣鄰接該第一對準部，並且該樣品的第二邊緣鄰接該第二對準部。因此，該樣品通過該對準部引導到該樣品固定架的樣品接受部之一角落。在該樣品置放面的前視圖中，該角落是該樣品接受部的右下角。該對準部也可當成X光對準標誌，尤其是當成所謂的基準。
該樣品固定器最好具有一坐標系統，該坐標系統具有一第一空間方向或x-方向、一第二空間方向或y-方向及一第三空間方向或z-方向。該等空間方向彼此垂直配置。該z-方向必須理解為深度方向。該x-方向必須理解為寬度方向。該y-方向必須理解為長度方向。
可按以下方式將該樣品置放在該樣品固定架上。在一第一步驟中，將該樣品置放在該樣品置放面上，以將該樣品沿該樣品固定架的該深度方向定位。在一第二步驟中，將該樣品與該第一對準部相鄰，以讓該樣品在該樣品固定架的該寬度方向上對準。在一第三步驟中，將該樣品與該第二對準部相鄰，以讓該樣品在該樣品固定架的該高度方向上對準。上述步驟可同時或逐一執行。該第三步驟可在該第二步驟之後執行，反之亦然。
根據一具體實施例，該第一對準部配置成垂直於該樣品置放面，其中該第二對準部配置成垂直於該樣品置放面並且垂直於該第一對準部。
如此，該樣品置放面、該第一對準部和該第二對準部形成該盒狀樣品接受部，其在所有三個空間方向上接受和對準樣品。最好是，該樣品接受部的兩邊是敞開的，而另外兩邊由當成該樣品接受部側壁的該等對準部封閉。
根據一進一步具體實施例，在該第一對準部和該第二對準部的相交處設置一切口。
最好是，該切口為圓形。該切口可為位於該等兩對準部的相交處之孔。該切口接受該樣品的一角部。
根據一進一步具體實施例，該樣品固定架更包括用於將該樣品壓在該樣品置放面、該第一對準部和該第二對準部上的一固定元件。
該固定元件允許使用者在該樣品與該樣品固定架之間施加足夠的固定力。使用該樣品固定架時，可通過該固定元件快速組裝、快速釋除樣品，從而節省時間。因為不使用黏著劑將樣品固定到樣品固定架上，因此無需清潔樣品及/或樣品固定架。該固定元件可多次重複使用。
根據一進一步具體實施例，該固定元件在該樣品置放面上對角線延伸。
「對角線」是指該固定元件在該樣品置放面的兩橫向對角之間延伸。因此，該固定元件也對角延伸通過該樣品，從而將其牢牢固定在該樣品固定架上。
根據進一步具體實施例，該固定元件由柔性且不受輻射影像的材料製成，特別是由乙烯丙烯二烯亞甲基橡膠製成。
因此，該固定元件是柔性的或彈性的。換句話說，該固定元件可拉伸。該固定元件可稱為彈性固定元件。該固定元件可為O形環。
根據進一步具體實施例，該樣品固定架更包括一第一鉤部和一第二鉤部，其中該固定元件鉤入該第一鉤部和該第二鉤部。
該第一鉤部和該第二鉤部最好配置在該樣品置放面的兩對角處。
根據一進一步具體實施例，該樣品置放面配置在該第一鉤部與該第二鉤部之間。
該等鉤部對角配置，使得該固定元件在該樣品上對角延伸並將其固定到該樣品固定架上。
根據一進一步具體實施例，該樣品固定架更包括在該樣品置放面背面的一背面，其中該第一鉤部具有設置在該背面中用於接受該固定元件的一第一缺口，並且其中該第二鉤部具有設置在該背面中用於接受該固定元件的一第二缺口。
如此，確保該固定元件有良好的固定。因此，防止該固定元件從該鉤部滑落。
根據一進一步具體實施例，該第一鉤部配置成與該樣品置放面齊平，其中該第二鉤部從該樣品置放面往該深度方向突出。
此具有該固定元件相對於該樣品置放面傾斜之效果。這確保將該樣品牢牢壓在該樣品置放面以及該對準部上。「齊平」是指該第一鉤部不突出該樣品置放面。
根據一進一步具體實施例，該樣品固定架更包括一具有複數個樣品接受部的樣品托座，其中每一樣品接受部具有一樣品置放面、一第一對準部和一第二對準部。
樣品接受部可為任意數量。例如，可設置三個樣品接受部。每一樣品接受部可接受一樣品。每一樣品接受部具有一固定元件。當沿該高度方向看時，該樣品接受部排成一排。
根據一進一步具體實施例，該樣品托座一體成形。
術語「一體成形」是指使由一或多種相同材料用單一連續處理形成之結構。例如，當使用3D印表機形成該樣品托座時，該3D印表機可在列印過程中射出相同的一或多種材料，以形成單一件的樣品托座。該樣品托座最好由允許輻射容易穿過該樣品托座的材料所製成。用於產生該樣品托座的材料可包括鋁、玻璃碳、填充有玻璃纖維的環氧樹脂或其他低衰減且結構穩定的材料。
根據一進一步具體實施例，該樣品固定架更包括一所述樣品托座附接到其上的柱體及一附接所述柱體的夾持盤，其中該柱體藉由一凸鍵連接通過形狀鎖合的方式固定到該夾持盤。
該柱體可由鋁或任何其他合適材料製成。該柱體最好具有圓形截面。該樣品托座可藉由像是螺絲之類的固定元件附接至該柱體。另外，可在該樣品托座與該柱體之間提供一插銷連接。該插銷連接包括一對準插銷及用於接受該對準插銷的兩孔。一孔設置在該樣品托座上，並且一孔設置在該柱體上。該夾持盤適合由夾持器或機器人所夾持。該夾持盤具有一用以接受該柱體的末端之中央孔。該樣品固定架更包括一附接該夾持盤的基座盤。一「形狀鎖定」連接可通過兩元件相互接合和鎖定形成。該柱體可具有一用於接受凸鍵(特別是半圓凸鍵(Woodruff key))的凸鍵槽。該夾持盤的該中央孔具有用於接受該凸鍵的缺口。該凸鍵連接牢固防止該柱體相對於該夾持盤旋轉。
此外，提供一種用於執行X光成像處理的系統。該系統包括：一輻射源，其發出輻射；一輻射偵測器，其接收從該輻射源發出的該輻射；及至少一如上述的樣品固定架，其中該樣品固定架配置在該輻射源與該輻射偵測器之間。
該系統最好為一XRM系統。該系統具有複數個樣品固定架，每一樣品固定架固定複數個樣品。該樣品固定架固定至少一樣品。特別是，該輻射偵測器接收或偵測通過該樣品與該樣品固定架的輻射。
此外，提供使用此一樣品固定架以執行X光成像處理之方法。該方法包括下列方法步驟：a) 將該樣品置放在該樣品固定架上；b) 藉由一輻射源發出輻射；及c) 藉由一輻射偵測器接收通過該樣品的輻射。
特別是，該輻射也通過該樣品固定架。該方法步驟a)至c)可同時或逐一執行。在執行該X光成像處理期間，最好將具有所述一或多個樣品的該樣品固定架逐步旋轉到複數個位置。在每一位置中，拍攝至少一X光影像。所有收集的X光影像一起形成該樣品的三維資料集，特別是該樣品意欲區域的三維資料集。
所揭露有關該樣品固定架的特徵適用於該系統以及該方法，反之亦然。
本發明的其他可能實施方式或替代解決方案亦包括以上或以下關於該等具體實施例所描述特徵之組合(在本說明書未明確提及)。熟習該項技藝者還可在本發明的最基本形式中添加單獨或獨立的態樣與特徵。
在圖式中，除非另外指出，否則相同的參考編號表示相同或功能上等效的元件。
圖1顯示在樣品(未顯示)的X光成像期間，特別是X光CT成像期間，用於固定樣品的一樣品固定架100之一具體實施例示意透視圖。圖2顯示樣品固定架100的分解圖。圖3顯示樣品固定架100的剖面圖。以下，將同時參考圖1至圖3。
特別是，樣品固定架100用於半導體封裝互連的高解析度3D X光顯微鏡(XRM)。樣品固定架100具有一基座盤102。基座盤102具有扁平圓筒形並且具有一橫向平面104。基座盤102進一步具有一上側106與一下側108。上側106和下側108彼此平行配置。基座盤102具有一階梯孔110，其置中配置在基座盤102內。孔110貫穿基座盤102。在基座盤102中另提供階梯孔112。孔112可為任意數量。例如，可設置三個孔112。
固定元件114、116涵蓋在孔110、112內。固定元件114、116可為螺絲。下側108置放在一平台(未顯示)上，該平台可沿著一第一空間方向或x-方向x、一第二空間方向或y-方向y及一第三空間方向或z-方向z橫向移動樣品固定架100。以下，該x-方向x稱為樣品固定架100的寬度方向，該y-方向y稱為樣品固定架100的高度方向並且該z-方向z稱為樣品固定架100的深度方向。該平台也可繞著該高度方向y旋轉樣品固定架100。基座盤102最好由金屬製成。基座盤102可由鋁、鋼或其他合適材料製成。
樣品固定架100更包括一夾持盤118。夾持盤118具有含一上側120和一下側122的扁平圓筒形。上側120和下側122彼此平行配置。下側122位於基座盤102的上側106之上。夾持盤在兩側為橫向平面。該等側部之一者具有一缺口124，而另一側有一錐形孔126。缺口124和孔126可用於通過夾持機器人(未示出)夾持樣品固定架100。
夾持盤118具有多個螺紋孔128，固定元件116可通過其中將夾持盤118固定至基座盤102。孔128可貫穿夾持盤118。夾持盤118包括一中心孔130，其貫穿夾持盤118。孔130具有一缺口132，往該高度方向y延伸。夾持盤118由金屬製成。最好是，夾持盤118由鋁製成。夾持盤118也可由鋼或其他合適材料製成。
柱體134接受於孔130內。柱體134具有一凸鍵槽136，其可接受一凸鍵138。凸鍵138為一半圓凸鍵(Woodruff key)。凸鍵138與夾持盤118的缺口132接合，並防止柱體134相對於夾持盤118旋轉。柱體134通過固定元件114固定到基座盤102，而固定元件則旋入柱體134的中心孔140中。也可使用其他凸鍵取代半圓凸鍵138。
柱體134最好由金屬製成。柱體134可由鋁製成。相對於鍵槽136，柱體134具有含兩螺紋孔144、146的橫向平面142。孔144、146接受固定元件148、150。固定元件148、150可為螺絲。在孔144、146之間配置另一孔152。孔152接受一對準銷或對準插銷154。樣品固定架100具有一面對輻射源500(特別是X光源)的來源側156、及一面對輻射偵測器600(尤其是X光偵測器)的偵測器側158。輻射源500發出輻射502，特別是X光。輻射偵測器602偵測穿過樣品固定架100的輻射504及置放在樣品固定架100中的樣品。樣品固定架100、輻射源500和輻射偵測器600是用於執行X光成像處理(特別是XRM處理)的系統1000之一部分。系統1000為一XRM系統或一X光CT系統。
樣品固定架100包括一樣品托座200，該托座通過對準插銷154和固定元件148、150固定到柱體134。圖4至圖7以不同圖式顯示樣品托座200。以下，將同時參考圖4至圖7。
樣品托座200由允許輻射502容易穿過樣品托座200的材料所製成。例如，樣品托座200可由諸如塑膠的聚合材料形成。就這一點而言，可使用3D列印設備(3D印表機)來形成樣品托座200，允許樣品托座200包括各種可自訂尺寸和形狀以承載各種樣品。「3D印表機」係指發出聚合材料以形成3D結構的列印設備。
不過，樣品托座200可由其他方法形成。例如，樣品托座200可包括聚合材料，該聚合物材料將注模到限定樣品托座200的尺寸和形狀之模腔中。此外，樣品托座200可由經過材料去除處理的聚合物或金屬材料塊形成。用於產生樣品托座200的材料可包括鋁、玻璃碳、填充有玻璃纖維的環氧樹脂或其他低衰減且結構穩定的材料。
樣品托座200最好是一體成形。樣品托座200為條狀並且具有一固定至柱體134的基座部分202。基座部分202具有兩用於接受固定元件148、150的階梯孔204、206和一用於接受對準插銷154的孔208。對準插銷154用於將樣品托座200確切定位在柱體134上。固定元件148、150用於將樣品托座200附接至柱體134。
樣品托座200包括多個樣品接受部210、212、214。樣品接受部210、212、214可為任意數量。例如，可設置三個樣品接受部210、212、214。根據系統1000的掃描範圍，樣品托座200可容納更多或更少的樣品接受部210、212、214。每一樣品接受部210、212、214可接受一樣品300 (請參考圖5)。樣品300可為類似積體電路之類的電子裝置。當沿該高度方向y觀看時，樣品接受部210、212、214排成一排。樣品接受部210、212、214彼此附接。樣品接受部210、212、214一體成形。所有樣品接受部210、212、214具有相同技術特徵。因此，以下僅參考樣品接受部214。
樣品接受部214通常是板狀，並具有一樣品置放面216和一背面218。在使用樣品固定架100時，樣品置放面216朝向輻射偵測器600定向，而背面218朝向輻射源500定向。樣品300置放在樣品置放面216上。樣品接受部214具有一第一對準部220及一第二對準部222。當將樣品300置放在樣品置放面216上時，樣品300可定位在該深度方向z上。然而，樣品固定架100可置放成使得樣品置放面216面對輻射源500，並且背面218面對輻射偵測器600。因此，樣品300可定位成面對輻射偵測器600或面對輻射源500。
第一對準部220沿著該高度方向y延伸，並且能夠在該寬度方向x上定位樣品300。第一對準部220可為垂直壁架或可稱為垂直壁架。第二對準部222沿著該寬度方向x延伸，並且能夠在該高度方向y上定位樣品300。第二對準部222可為水平壁架或可稱為水平壁架。對準部220、222彼此垂直配置。對準部220、222也可當成X光對準標誌，尤其是當成所謂的基準。
樣品300可具有四個橫向邊緣302、304、306、308。當樣品300置放在樣品置放面216上時，樣品300的兩邊緣306、308沿著第一對準部220和第二對準部222引導，直到樣品300位於樣品接受部214的右下角(請參考圖5)。因此，藉助於樣品置放面216和兩對準部220、222，樣品接受部214能夠在所有三個空間方向x、y、z上定位樣品300。可使用其他對準部，使得樣品300的原點位於樣品接受部214的右下角以外之地方。
圓形切口224配置在對準部220、222相交之處。切口224接受樣品300的一角。樣品置放面216可由一上緣226作為邊界。樣品接受部210不具有此一上緣226。圓形切口228配置在上緣226與第一對準部220彼此相交之處。
樣品接受部214更包括對角配置的一第一鉤部230及一第二鉤部232。在背面218上，每一鉤部230、232具有一凹槽234、236。第一鉤部230具有一第一缺口234。第二鉤部232具有一第二缺口236。第一鉤部230和第二鉤部232是可接受一彈性固定元件400 (請參見圖5)。第二鉤部232配置在貫穿對準部220、222的兩缺口238、240之間。固定元件400延伸通過缺口238、240。藉助於固定元件400，可將樣品300壓在樣品置放面216上並且壓在對準部220、222上。
在背面218上，固定元件400延伸通過缺口234、236。固定元件400可為一O形環。固定元件400由柔性並且輻射穩定的材料所製成。例如，固定元件400可由乙烯丙烯二烯亞甲基橡膠(EPDM)製成。藉助於固定元件400，可容易以非永久方式將樣品300固定到樣品固定架100。固定元件400施加固定力，以使樣品300壓在樣品置放面216和對準部220、222上。
樣品固定架100的功能如下。在第一步驟，樣品300置放在樣品置放面216上，以將樣品300定位在品固定架100的深度方向z。在第二步驟，樣品300與第一對準部220相鄰，以在樣品固定架100的該寬度方向x上對準樣品300。在第三步驟，樣品300與第二對準部222相鄰，以在樣品固定架100的該長度方向y上對準樣品300。該第三步驟可在該第二步驟之後執行，反之亦然。上述步驟可同時或逐一執行。尤其是，可通過施加固定元件400來執行最後兩步驟。換句話說，固定元件400將樣品300壓在對準部200、222上。或者，可在執行對準樣品300之後施加固定元件400。
在每一樣品接受部210、212、214上，置放一樣品300。樣品300通過對準部220、222在每個樣品接受部210、212、214的樣品置放面216上對準。在對準樣品300之前或之後，將固定元件400鉤入每個樣品接受部210、212、214的鉤部230、232中。固定元件400將樣品300壓在樣品置放面216和對準部220、222上。因此，確保樣品300的安全且可重複定位。在固定樣品300之後，完成該X光掃描程序。最好是，多個(例如十四)樣品固定架100具有樣品300。這些樣品固定架100可在系統100內逐一測試，因此明顯縮短操作員設定時間。
藉助於前述的樣品固定架100，可精確且可重複地固定一或多個樣品300，特別是IC封裝，以進行X光成像，使得一或多個樣品300在輻射502存在時穩固不動。一或多個樣品300的置放在不同樣品固定架100之間的三個空間方向x、y、z上不會有明顯變化，或在相同樣品固定架100上重複使用。
樣品固定架100允許對相似樣品300進行重複X光CT成像的效率、已針對最大通量最佳化、易於使用、並且無需改變該實際樣品300。如此，樣品固定架100可自動化X光CT成像工作流程。在3D斷層攝影期間，樣品固定架100在暴露於輻射502(特別是X射線的過程中)支援高解析度成像。由於該等材料用於樣品固定架100和固定元件400，可預期樣品固定架100及其部件不會隨著時間而明顯退化。樣品固定架100有利適於垂直固定樣品300。固定元件400允許使用者在樣品300與樣品托座200之間施加足夠的固定力。
用於固定元件400的抗輻射材料使得壽命和穩定性能夠調適高解析度X光成像。如前所述，EPDM橡膠是用於固定元件400的合適材料。樣品固定架100能夠將樣品300準確且可重複地定位在樣品固定架100上，其中該定位通過對準部220、222完成。使用樣品固定架100時，每個樣品固定架100可收容一或多個樣品300。樣品固定架100設計用於在樣品固定架100上的可重複樣品安裝精準度，特別是用於樣品對樣品、固定架對固定架及固定架對系統。
不需要固定樣品300的工具。此容易安裝。樣品固定架100係經最佳化用於最大X光成像產量。此由使用樣品托座200的低衰減材料和最小輪廓深度所完成。樣品固定架100不會損壞或修改要固定和掃描的樣品300。樣品固定架100最好完全由無磁性材料製成。如此，樣品固定架100不會影響該X光。
熱穩定材料用於樣品固定架100。材料的熱膨脹係數可調適最高解析度掃描。凸鍵138使得能夠精確且可重複地組裝樣品固定架100。凸鍵138確保樣品300在X光束路徑中保持可重複的角度定向。樣品固定架100可形狀最佳化成將X光傳輸最佳化。這可由使用切口來完成。可將稱為基準的定位特徵(Registration feature)添加到樣品固定架100，以將其對準。可添加唯一標識符(例如條碼)，以自動識別樣品固定架100和樣品300。另外，也可使用雷射雕刻識別符。
樣品固定架100具有可擴充的設計，可針對每種新樣品幾何形狀輕鬆自訂該樣品固定架。樣品固定架100的CAD模型可當成儀器上避免碰撞指導的輸入。樣品固定架100可與3D印表機和設計模板庫一起封裝。可塑性設計允許以最小努力快速建立新設計，以最佳化略有不同幾何形狀的樣品300之快速X光成像。
當使用樣品固定架100時，可通過樣品300的快速組裝、快速釋除，從而節省時間。由於不使用黏著劑，因此不需要清潔樣品300及/或樣品固定架100。因為將樣品300置放在樣品固定架100上可重複位置，所以在樣品300上定位相關區域以進行X光成像就更加容易。此位置由樣品托座200的設計所界定。樣品300的手動對準步驟可自動化取代。因為由於樣品300的精確定位，不太可能出現掃描失敗和需要重新成像的情況，因此可實現更高的成像產量。樣品固定架100的諸如對準部220、222之內建特徵可於自動化任務(Automation recipe)中當成用於對準的基準標誌。此提高所有樣品300的X光掃描位置精準度，從而節省重新掃描或置放手動基準標誌的時間和勞力。
圖8顯示一種用於使用樣品固定架100以執行X光成像處理的方法之方塊圖。該X光成像處理為重複3D成像及/或測量處理。在方法步驟S1，如前所述，樣品300置放在樣品固定架100上。可通過多個固定元件400將多個樣品300附接到樣品固定架100。在方法步驟S2，通過輻射源500發射輻射502。在方法步驟S3，通過樣品300的輻射504由輻射偵測器600所接收。
方法步驟S1至S3可同時或逐一執行。在執行該X光成像處理期間，最好將具有該等一或多個樣品300的樣品固定架100逐步旋轉到複數個位置。在每一位置中，拍攝至少一X光影像。所有收集的X光影像一起形成樣品300的三維資料集，特別是樣品300意欲區域的三維資料集。
儘管已經根據較佳具體實施例描述本發明，但是熟習該項技藝者應明白在所有具體實施例中可進行修改。
100:樣品固定架 102:基座盤 104、142:橫向平面 106、120:上側 108、122:下側 110、112:階梯孔 114、116、148、150:固定元件 118:夾持盤 124、132:缺口 126、128:孔 130、140:中心孔 134:柱體 136:凸鍵槽 138:凸鍵 144、146:螺紋孔 152:另一孔 154:對準插銷 156:來源側 158:偵測器側 200:樣品托座 202:基座部分 204、206:階梯孔 208:孔 210、212、214::樣品接受部 216:樣品置放面 218:背面 220:第一對準部 222:第二對準部 224、228:圓形切口 226:上側緣 230:第一鉤部 232:第二鉤部 234:第一缺口 236:第二缺口 238、240:缺口 300:樣品 302、304、306、308:橫向邊緣 400:彈性固定元件 500:輻射源 502、504:輻射 600、602:輻射偵測器 1000:系統
從隨後的描述和引用形式請求項、連同附圖，將明白本發明的進一步具體實施例、特徵和優點，其中：
圖1顯示一樣品固定架的具體實施例之示意透視圖；
圖2顯示根據圖1所示的該樣品固定架之示意分解圖；
圖3顯示根據圖1所示該樣品固定架之示意剖面圖；
圖4顯示有關根據圖1所示該樣品固定架的一樣品托座具體實施例之示意透視圖；
圖5顯示根據圖4所示該樣品托座之示意正面圖；
圖6顯示根據圖4所示該樣品托座之示意背面圖；
圖7顯示根據圖5所示交叉線VII-Vii的該樣品托座之示意剖面圖；及
圖8顯示一用於使用根據圖1所示該樣品固定架以執行X光成像處理之方法的具體實施例之示意方塊圖。
100:樣品固定架
102:基座盤
104:橫向平面
106、120:上側
148、150:固定元件
118:夾持盤
124:缺口
134:柱體
200:樣品托座

Claims (15)

  1. 一種用於在X光成像處理中固定樣品的樣品固定架，該樣品固定架包括： 一樣品置放面，其上置放該樣品以在該樣品固定架的深度方向上定位該樣品； 一第一對準部，用於在該樣品固定架的寬度方向上對準該樣品；及 一第二對準部，用於在該樣品固定架的高度方向上對準該樣品。
  2. 如請求項1所述之樣品固定架，其中該第一對準部配置成垂直於該樣品置放面，並且其中該第二對準部配置成垂直於該樣品置放面並且垂直於該第一對準部。
  3. 如請求項1所述之樣品固定架，其中在該第一對準部和該第二對準部的相交處設置一切口。
  4. 如請求項1所述之樣品固定架，其更包括一用於將該樣品壓在該樣品置放面、該第一對準部和該第二對準部上的固定元件。
  5. 如請求項4所述之樣品固定架，其中該固定元件在該樣品置放面之上對角配置。
  6. 如請求項4所述之樣品固定架，其中該固定元件由柔性且不受輻射影像的材料製成，特別是由乙烯丙烯二烯亞甲基橡膠製成。
  7. 如請求項4所述之樣品固定架，其更包括一第一鉤部和一第二鉤部，其中該固定元件鉤入該第一鉤部和該第二鉤部。
  8. 如請求項7所述之樣品固定架，其中該樣品置放面配置在該第一鉤部與該第二鉤部之間。
  9. 如請求項7所述之樣品固定架，其更包括在該樣品置放面背面的一背面，其中該第一鉤部具有設置在該背面中用於接受該固定元件的一第一缺口，並且其中該第二鉤部具有設置在該背面中用於接受該固定元件的一第二缺口。
  10. 如請求項7所述之樣品固定架，其中該第一鉤部配置成與該樣品置放面齊平，並且其中該第二鉤部從該樣品置放面往該深度方向突出。
  11. 如請求項1所述之樣品固定架，其更包括一具有複數個樣品接受部的樣品托座，其中每一樣品接受部具有一樣品置放面、一第一對準部和一第二對準部。
  12. 如請求項11所述之樣品固定架，其中該樣品托座為一體成形。
  13. 如請求項11所述之樣品固定架，其更包括將該樣品托座附接到其上的一柱體及附接該柱體的一夾持盤，其中該柱體藉由一凸鍵連接通過形狀鎖合的方式固定到該夾持盤。
  14. 一種用於執行X光成像處理之系統，該系統包括 一輻射源，其發出一輻射； 一輻射偵測器，其接受從該輻射源發出的該輻射；及 至少一如申請專利範圍第1項之樣品固定架； 其中該樣品固定架配置在該輻射源與該輻射偵測器之間。
  15. 一種使用如申請專利範圍第1項所述之樣品固定架以執行X光成像處理之方法，該方法包括下列方法步驟： a) 將該樣品置放在該樣品固定架上； b) 藉由一輻射源發出輻射；及 c) 藉由一輻射偵測器接收通過該樣品的輻射。
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