TW201937315A

TW201937315A - 運行中目標獲取

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Publication number: TW201937315A
Application number: TW108102108A
Authority: TW
Inventors: 阿農馬那森; 安德鲁希爾; 那達夫古特曼; 由西西門; 亞力山大諾維科夫; 尤金尼馬斯洛維斯基
Original assignee: 美商克萊譚克公司
Priority date: 2018-01-22
Filing date: 2019-01-19
Publication date: 2019-09-16
Also published as: WO2019143371A1; TWI773871B

Abstract

本發明提供計量系統及方法，其等在該系統之載物台上之晶圓之移動期間導出該晶圓上之計量目標位置及可能目標聚焦位置。在目標到達其位置之前(運行中)導出定位資料，從而節省先前技術中獲取階段所需之時間且增加該等系統及方法之處理量。收集通道可經分割以提供包括具有一相關聯分析單元之至少一個TDI (時間延遲及積分)感測器之一額外移動成像通道，該分析單元經組態以在朝向計量目標之晶圓定位移動期間導出晶圓表面資訊、該等計量目標相對於物鏡之定位及/或聚焦資訊。額外移動期間聚焦模組及可能地將所導出位置及/或聚焦資訊回饋至該載物台可增強該載物台之停止之準確性。

Description

運行中目標獲取

本發明係關於半導體計量領域，且更特定言之，係關於量測程序中之目標獲取。

計量系統從局部目標導出高品質信號，此需要晶圓係固定的以實行各量測且接著隨後移動至下一目標。因此，晶圓量測序列之特徵為下列步驟：移動(從目標至目標)、獲取(新目標之精確定位)及量測(來自新目標之資訊之收集)——表示為MAM。此序列需要目標之間的移動之快速且準確加速及減速剖面、新目標之快速且準確橫向定位及聚焦以及目標資訊之最終快速收集。在移動步驟期間，自動化載物台使用整合至載物台中之位置回饋(諸如一位置量測干涉儀或玻璃尺編碼器)將晶圓從一個疊對目標平移至下一目標之預期位置。在獲取步驟期間，系統用感測器頭擷取一影像，將新疊對目標定位於感測器頭視場內，在自動化載物台中進行一校正運動以使新疊對目標位於感測器頭視場內之中心，擷取關於新疊對目標之聚焦位置之資訊，且在晶圓與感測器頭之間的相對分離中進行一校正運動以將新疊對目標帶至焦點中。在量測步驟期間，系統用感測器頭收集來自新疊對目標之疊對資訊。該序列大體上定義計量系統之總處理量，且來自計量系統之要求在處理量、增加目標數目及量測準確性方面不斷提高。

下文係提供對本發明之一初步理解之一簡化概述。該概述未必識別關鍵元素，亦不限制本發明之範疇，而僅充當對下列描述之一介紹。

本發明之一個態樣提供一種方法，其包括在藉由在連續目標之量測之間移動及停止支撐一晶圓之一載物台而量測該晶圓上之多個目標上之疊對之一計量系統中：在該載物台之運動期間獲取複數個晶圓影像；從該等所獲取影像導出晶圓表面資訊；及使用該所導出晶圓表面資訊來增強該載物台之停止之一位置準確性及/或一聚焦準確性。

本發明之此等、額外及/或其他態樣及/或優點在下列實施方式中闡述；可能可從實施方式推導；及/或可藉由本發明之實踐而學習。

相關申請案之交叉參考

此申請案主張2018年1月22日申請之美國臨時專利申請案第62/620,225號之權利，該案之全文以引用之方式併入本文。

在下列描述中，描述本發明之各種態樣。為解釋之目的，闡述特定組態及細節以便提供對本發明之一透徹理解。然而，熟習此項技術者亦將明白，可在無本文呈現之特定細節的情況下實踐本發明。此外，可能已省略或簡化眾所周知的特徵以不致使本發明模糊。具體參考圖式，強調所展示之細節僅係藉由實例且僅為本發明之闡釋性討論之目的，且係為提供咸信為本發明之原理及概念性態樣之最有用且容易理解之描述之目的而呈現。就此而言，未嘗試比基本理解本發明所需更詳細地展示本發明之結構細節，結合圖式進行之描述使熟習此項技術者瞭解本發明之若干形式可如何在實踐中體現。

在詳細解釋本發明之至少一個實施例前，應理解本發明在其應用方面並不限制於在下列描述中闡述或在圖式中繪示之組件之構造及配置的細節。本發明可應用於可以各種方式實踐或執行之其他實施例以及所揭示之實施例之組合。而且，應理解在本文採用之短語及術語係為描述之目的且不應被視為限制性的。

除非另外具體指出，否則如從下列討論明白，應暸解，貫穿說明書論述，利用諸如「處理」、「運算」、「計算」、「判定」、「增強」、「導出」或類似物之術語係指一電腦或運算系統或類似電子運算器件之行動及/或程序，其將表示為該運算系統之暫存器及/或記憶體內之物理(諸如電子)量之資料操縱及/或轉換為類似地表示為該運算系統之記憶體、暫存器或其他此等資訊儲存、傳輸或顯示器件內之物理量之其他資料。

某些實施例提供計量系統及方法，其等在系統之載物台上之晶圓之移動期間(運行中)導出晶圓上之計量目標位置及可能目標聚焦位置。在目標到達其位置之前導出定位資料，從而節省先前技術中獲取階段所需之時間且增加該等系統及方法之處理量。收集通道可經分割以提供包括具有一相關聯分析單元之至少一個TDI (時間延遲及積分)感測器之一額外移動成像通道，該分析單元經組態以在朝向計量目標之晶圓定位移動期間至少導出計量目標相對於物鏡之定位資訊。額外移動期間聚焦模組及可能地將導出位置及/或聚焦資訊回饋至載物台亦可用於改良目標定位以增強載物台之停止之一位置準確性及/或一聚焦準確性。

本發明之實施例提供用於在載物台移動期間獲取計量目標(運行中目標獲取)且藉此提供對半導體計量之技術領域之改良之高效且經濟的方法及機構。例如，所揭示系統及方法可應用於疊對計量以藉由本質上消除先前技術移動-獲取-量測(MAM)序列之「獲取」階段(其通常消耗約100 msec(總MAM時間之約30%))而增加疊對計量系統之處理量。

圖1及圖2係根據本發明之一些實施例之計量系統100之高階示意圖。來自圖1及圖2之元件可組合為任何可操作組合，且某些圖而非其他圖中之某些元件之繪示僅用於一說明性目的且並非限制性。

計量系統100包括相對於一物鏡97之一照明通道120及一收集通道180，該物鏡97經設定以使一晶圓90上之晶圓目標91成像。計量系統100經組態以在朝向計量目標91之晶圓定位移動95期間(運行中；通常減速，但不限於此)，在實際上到達目標91之前且在不實行先前技術目標獲取程序的情況下至少導出計量目標91相對於物鏡97之定位資訊。

計量系統100可經組態以一旦目標91由物鏡97成像便實現定位資訊導出及目標量測兩者。收集通道180可分割成用於擷取固定目標91之影像(例如，用於疊對量測)之一第一固定成像通道182及用於在晶圓運動期間擷取晶圓90之影像(例如，導出關於目標91之定位資訊)之一第二移動成像通道150 (運行中移動期間成像通道)。

第一(固定成像)通道182包括經組態以從晶圓90上之對應計量目標91導出計量參數之一影像感測器170且可進一步包括一固定模式自動聚焦模組132 (見圖2)。應注意，固定模式自動聚焦模組132可放置於系統100中任何處以接收從晶圓90返回之光，而未必作為第一通道182之部分，例如可能在一單獨通道(未展示)中。

第二(移動成像)通道150可包括具有一相關聯分析單元156 (見圖1)之至少一個TDI (時間延遲及積分)感測器154，該分析單元156經組態以在朝向計量目標91之晶圓定位移動95期間至少導出計量目標91相對於物鏡97之定位資訊。(若干) TDI感測器154及分析單元156可組合為一TDI相機154A，或分析單元156之至少部分可與TDI相機154A分開實施，例如在一計量模組190中(與處理器相關聯或包括處理器)。應注意，TDI感測器經組態以累積一相對移動物件之多重曝光以增加可用於收集來自物件之入射光之積分時間，其方式與曝光時序同步以達成運動效應之適當抵消及足夠影像清晰度。在某些實施例中，感測器154可包括一線感測器(或線掃描影像感測器)，該線感測器可類似於一個一行TDI感測器般操作。下文提供效能計算之一非限制性實例，其暗示所揭示方法及系統之可行性。

在某些實施例中，照明通道120可由收集通道180之第一(固定成像)通道182及第二(移動成像)通道150共用，例如具有一相同照明器110 (諸如耦合至(若干)光纖之一雷射持續電漿LSP)且與具有光學元件(例如，透鏡、具有(若干)調整122 (諸如遠心度調整，見下文)之(若干)孔徑124、光闌126 (諸如照明場光闌)等)之相同照明光學路徑相關聯。光學元件172、152 (圖2中以一非限制性方式示意性地指示)可經組態以分別調整第一(固定成像)通道182及第二(移動成像)通道150中之光學路徑。

在某些實施例中，收集通道180可包括經組態以將收集通道180分割成第一(固定成像)通道182及第二(移動成像)通道150 (例如，見圖2)之至少一個光束分割器136及可能經組態以分割第一通道182以將對應輻射遞送至固定模式自動聚焦模組132及固定影像感測器170 (諸如一圖框相機) (在非限制性實施例中，前者作為第一通道182之部分)之至少一個光束分割器138。收集通道180亦可包含一光束分割器134。

在某些實施例中，第二(移動成像)通道150可進一步包括經組態以進一步從一移動晶圓表面90A (圖2中示意性地指示) (其與被接近計量目標91相關)導出聚焦資訊之一移動模式自動聚焦模組160 (運行中移動期間聚焦模組)。應注意，移動模式自動聚焦模組160可放置於系統100中任何處以接收從晶圓90返回之光，而未必作為第二通道150之部分，例如可能在一單獨通道(未展示)中。

移動成像通道150可包括經組態以分割移動成像通道150以將對應輻射遞送至移動模式自動聚焦模組160及至少一個TDI感測器154 (在非限制性實施例中，前者作為第二通道150之部分)之至少一個光束分割器162。若需要，所導出聚焦資訊可用於在載物台移動95期間提供聚焦調整135。移動模式自動聚焦模組160可經組態以根據移動晶圓表面90A之特徵及形貌之較大變化相對於固定聚焦要求來量測及/或調整計量系統100之聚焦位置。移動模式自動聚焦模組160可經組態以提供對晶圓90與感測器頭(例如，物鏡97)之間的相對距離之連續回饋，從而實現持續校正，使得當移動階段(載物台移動95)完成時新的被接近目標91在焦點中以提供聚焦且正確定位之目標91供固定成像通道182量測而無需先前技術中導出此等資料所必須之獲取階段。

發明人已發現，當支撐晶圓90之載物台在移動階段結束時減速95時，可藉由擷取關於被接近新目標91之位置及聚焦資訊而消除大多數或甚至全部獲取階段。此資訊可用於調整晶圓90之減速軌跡(圖1及圖2中由箭頭192示意性地指示)，使得當移動階段結束時，新目標91充分位於(固定成像感測器170之)感測器視場內之中心且充分在焦點中以容許立即收集目標之疊對資訊。

(若干) TDI感測器154經組態以藉由從一像素行上之曝光獲取電荷且由一時脈脈衝將所獲取電荷傳送至下一像素行(電荷在其中繼續累積直至電荷再次被傳送至下一行)而收集移動物件之高品質影像。此程序繼續直至電荷到達最終像素行且隨後從(若干)感測器154讀出。晶圓表面90A可相對於(若干)感測器154沿著與在像素行之間傳送累積電荷同步之一方向且依與在像素行之間傳送累積電荷同步之一速率移動，使得晶圓表面90A之影像在長於用一簡單線掃描相機將可能之一時間框內累積以減小影像中之光子雜訊位準且防止所記錄影像中之模糊。如上文論述，光束分割器136可放置於如圖2中展示之感測器頭之收集通道180中以將從晶圓90收集之光之一部分引導至通道182以擷取靜態影像且將光之另一部分引導至含有TDI感測器154之通道150以收集移動物件(諸如晶圓表面90A)之影像。

在某些實施例中，計量系統100可經進一步組態以從所導出定位資訊調整朝向計量目標91之晶圓定位移動95之參數以在晶圓定位移動95結束時改良計量目標91相對於物鏡97之一所得位置，從而導致與先前技術程序相比更準確之目標91之定位。

第一(固定成像)通道182及第二(移動成像)通道150可進一步包括經組態以分別相對於影像感測器170及TDI感測器154最佳化各自通道中之所獲取影像之光學元件。例如，各通道可具有一專用鏡筒透鏡(例如，分別為光學元件172、152或其等之部分，其等設定在沿各自光學路徑之適當位置處)，使得可分別針對兩種不同類型之感測器170、154之不同像素大小及視場獨立地最佳化放大率。

下列計算為所揭示系統及方法之可行性提供一非限制性實例。清楚地，可在各種實施例中相對於特定實施方案修改參數值。為估計像素大小，使用奈奎斯(Nyquist)取樣像素大小λ/(4 NA，數值孔徑)產生0.7 NA之140 nm及392 nm波長。假定512個像素寬之條帶(swath)針對140 nm像素及512x512 TDI產生0.1 mm之一光學器件FOV (視場) (使用光學器件FOV=[(像素大小×像素行數)² +(像素大小×像素列數)² ]之平方根)。則所需載物台速度將等於像素大小×TDI線速率，即，針對140 nm像素及1.56 MHz線速率係0.22 m/sec。相對光需求可計算為(當前積分時間×TDI線速率/TDI積分級)×(當前像素大小² /TDI像素大小² )，從而針對8 msec相機積分、1.56 MHz線速率、512個TDI級、68 nm當前像素及140 nm TDI像素而產生5.8倍。因此，可憑藉光譜帶寬及照明NA之當前特性，使用512個TDI積分級且使用與當前照明源相比亮5.8倍之(若干)照明源110實現某些實施例。清楚地，可修改系統100之其他參數，或可實行其他修改以依所需效能調整。

下文揭示之計量系統100及方法200可包括下列特徵之任一者：(i)在晶圓載物台運動時，藉由感測器頭收集關於待量測之下一疊對目標之位置之資訊；(ii)在載物台在兩個目標之間運動期間使用(若干) TDI感測器154來收集關於一疊對目標之位置之資訊；(iii)基於關於由感測器頭(例如，物鏡97)獲得之下一疊對目標之位置之資訊來調整載物台運動參數以促進在載物台移動結束時目標在感測器視場內的更精確定位；及/或(iv)監測及調整晶圓與感測器頭(例如，物鏡97)之間的距離，從而實現完成從一個疊對目標至下一疊對目標之移動，其中新目標在指定位置及指定聚焦位置中(例如，在焦點中)。

有利地，導出定位及可能聚焦資訊(視情況包含晶圓行進時之載物台運動校正)相對於先前技術(例如，先前技術中之獲取階段所需之時間數量級)提供移動至且量測連續晶圓目標上之疊對之總時間之約30%的減少。

圖3係根據繪示本發明之一些實施例之一計量方法200之一高階流程圖。可相對於上文描述之系統100實行方法階段，系統100可視情況經組態以實施方法200。方法200可至少部分藉由至少一個電腦處理器(例如，在一計量模組中)實施。某些實施例包括電腦程式產品，該等電腦程式產品包括一電腦可讀儲存媒體，該電腦可讀儲存媒體具有與其一起體現且經組態以實行方法200之相關階段之電腦可讀程式，諸如經組態以在朝向計量目標之晶圓定位移動期間導出被接近計量目標相對於一計量系統之一物鏡之定位資訊之電腦可讀程式及經組態以使用所導出定位資訊來進行計量目標之計量量測之電腦可讀程式。某些實施例包括由方法200之實施例導出之被接近目標之計量定位資訊量測。方法200可包括下列階段，無關於其等順序。

計量方法200可包括：將一計量系統之一收集通道分割成用於擷取固定目標之影像之一第一通道及用於擷取移動晶圓之影像之一第二通道(階段210)，其中第一固定成像通道包括經組態以從晶圓上之對應計量目標導出計量參數之一影像感測器且視情況亦包括一固定模式自動聚焦模組；及組態第二移動成像通道以在朝向計量目標之晶圓定位移動期間至少導出計量目標相對於物鏡之定位資訊(階段220)；及使用所導出定位資訊以透過固定成像通道導出計量參數(階段240)。

計量方法200可進一步包括：在朝向計量目標之晶圓定位移動期間至少導出計量目標之定位資訊(階段230)；及藉由使用載物台在其朝向(若干)計量目標移動之減速期間所獲取之定位資訊來避免先前技術獲取階段(階段235)。

在某些實施例中，方法200可包括在藉由在連續目標之量測之間移動及停止支撐一晶圓之一載物台而量測該晶圓上之多個目標上之疊對之一計量系統中：在載物台之運動期間獲取複數個晶圓影像(階段222)；從所獲取影像導出晶圓表面資訊(階段224)；及使用所導出晶圓表面資訊來增強載物台之停止之一位置準確性及/或一聚焦準確性(階段232)。

可藉由將計量系統之收集通道分割成經組態以量測目標之第一固定成像通道及經組態以導出晶圓表面資訊之第二移動成像通道而實行獲取222 (例如，如針對上文描述之系統100所揭示)。

方法200可進一步包括根據所導出晶圓表面資訊實行載物台之停止以在停止之後立即開始各自疊對量測(階段238)。停止載物台可在適於疊對量測之一位置及一聚焦位置處實行。

在藉由在連續目標之量測之間移動及停止一晶圓而量測該晶圓上之多個目標上之疊對之計量系統中，方法200可在載物台運動時提供晶圓影像之獲取且使用來自此等影像之資訊來改良載物台之停止位置之精確度，使得在開始各目標之疊對量測之前需要較少或無需位置校正(光學或機械)。替代地或補充地，方法200可在載物台運動時提供晶圓聚焦資訊之獲取且在載物台完成其運動時使用此聚焦資訊來改良晶圓聚焦，使得在開始各目標之疊對量測之前需要較少或無需聚焦校正。

計量方法200可進一步包括以至少一個TDI感測器實施該移動成像通道(階段250)，例如，如針對上文描述之系統100所揭示。

計量方法200可進一步包括組態第二移動成像通道以從移動晶圓表面導出與被接近計量目標相關之聚焦資訊(階段260)及/或在晶圓表面之運動期間導出聚焦資訊(階段265)。

計量方法200可進一步包括分別相對於影像感測器及TDI感測器最佳化各自通道中之所獲取影像(階段270)。可相對於諸如聚焦及劑量之成像參數且相對於影像感測器及TDI感測器之不同擷取特性針對兩個通道單獨實行最佳化。

計量方法200可進一步包括調整朝向計量目標之晶圓定位移動之參數以在晶圓定位移動結束時改良計量目標相對於物鏡之一所得位置(階段280)，例如在運動期間調整載物台運動之參數以達到增強位置準確性及/或一聚焦準確性(階段282)，從而導致與先前技術程序所提供相比目標之更準確定位用於進行對其之計量量測(階段285)。

在上文參考根據本發明之實施例之方法、裝置(系統)及電腦程式產品之流程圖圖解及/或部分圖描述本發明之態樣。應理解，可藉由電腦程式指令實施流程圖圖解及/或部分圖之各部分及流程圖圖解及/或部分圖中之部分之組合。此等電腦程式指令可經提供至一通用電腦、專用電腦或其他可程式化資料處理裝置之一處理器以產生一機器，使得經由電腦或其他可程式化資料處理裝置之處理器執行之指令產生用於實施流程圖及/或部分圖或其等之部分中指定之功能/行為之構件。

此等電腦程式指令亦可儲存於一電腦可讀媒體中，該等電腦程式指令可引導一電腦、其他可程式化資料處理裝置或其他器件依一特定方式作用，使得儲存於電腦可讀媒體中之指令產生包含實施流程圖及/或部分圖或其等之部分中指定之功能/動作之指令之一製品。

電腦程式指令亦可載入至一電腦、其他可程式化資料處理裝置或其他器件上以使一系列操作步驟在電腦、其他可程式化裝置或其他器件上執行以產生一電腦實施程序，使得在電腦或其他可程式化裝置上執行之指令提供用於實施流程圖及/或部分圖或其等之部分中指定之功能/動作之程序。

前述流程圖及圖繪示根據本發明之各種實施例之系統、方法及電腦程式產品之可能實施方案之架構、功能性及操作。就此而言，流程圖或部分圖中之各部分可表示程式碼之一模組、區段或部分，其包括用於實施(若干)指定邏輯功能之一或多個可執行指令。亦應注意，在一些替代實施方案中，部分中提及之功能可不按圖中提及之順序發生。例如，事實上，取決於所涉及之功能性，依序展示之兩個部分可實質上同時執行或該等部分有時可按相反順序執行。亦將注意，可藉由執行指定功能或行為之基於專用硬體之系統或專用硬體及電腦指令之組合實施部分圖及/或流程圖圖解之各部分及部分圖及/或流程圖圖解中之部分的組合。

在上文描述中，一實施例係本發明之一實例或實施方案。「一項實施例」、「一實施例」、「特定實施例」或「一些實施例」之各種出現未必皆係指相同實施例。儘管本發明之各種特徵可在一單一實施例之背景內容中描述，但該等特徵亦可單獨提供或以任何適當組合提供。相反地，儘管為簡明起見，在本文中本發明可在單獨實施例之背景內容中描述，但本發明亦可在一單一實施例中實施。本發明之特定實施例可包含來自上文所揭示之不同實施例之特徵，且特定實施例可併入來自上文所揭示之其他實施例之元件。在一特定實施例之背景內容中之本發明之元件之揭示內容並不被視為限制其等單獨用於特定實施例中。此外，應理解，可以各種方式實行或實踐本發明且可在除在以上描述中概述之實施例外之特定實施例中實施本發明。

本發明不限於該等圖或對應描述。例如，流程不必移動穿過各繪示之方框或狀態，或不必完全按如所繪示且描述之相同順序移動。除非另定義，否則本文使用之技術及科學術語之含義將係如本發明所屬領域之一般技術者所普遍理解。雖然本發明已相對於一有限數目個實施例描述，但此等實施例不應被解釋為對本發明之範疇之限制，而應被解釋為一些較佳實施例之例示。其他可能變動、修改及應用亦在本發明之範疇內。因此，本發明之範疇不應為目前為止已描述之內容所限制，而應為隨附發明申請專利範圍及其等合法等效物所限制。

90‧‧‧晶圓

90A‧‧‧移動晶圓表面

91‧‧‧晶圓目標/計量目標

95‧‧‧晶圓定位移動

97‧‧‧物鏡

100‧‧‧計量系統

110‧‧‧照明器/照明源

120‧‧‧照明通道

122‧‧‧調整

124‧‧‧孔徑

126‧‧‧光闌

132‧‧‧固定模式自動聚焦模組

134‧‧‧光束分割器

135‧‧‧聚焦調整

136‧‧‧光束分割器

138‧‧‧光束分割器

150‧‧‧第二移動成像通道

152‧‧‧光學元件

154‧‧‧TDI (時間延遲及積分)感測器

154A‧‧‧TDI (時間延遲及積分)相機

156‧‧‧分析單元

160‧‧‧移動模式自動聚焦模組

162‧‧‧光束分割器

170‧‧‧固定影像感測器

172‧‧‧光學元件

180‧‧‧收集通道

182‧‧‧第一固定成像通道

190‧‧‧計量模組

200‧‧‧方法

210‧‧‧階段

220‧‧‧階段

222‧‧‧階段

224‧‧‧階段

230‧‧‧階段

232‧‧‧階段

235‧‧‧階段

236‧‧‧階段

238‧‧‧階段

240‧‧‧階段

250‧‧‧階段

260‧‧‧階段

265‧‧‧階段

270‧‧‧階段

280‧‧‧階段

282‧‧‧階段

285‧‧‧階段

為更佳理解本發明之實施例且展示可如何實行該等實施例，現將純粹藉由實例參考隨附圖式，其中貫穿全文相同數字指定對應元件或區段。

在隨附圖式中：

圖1及圖2係根據本發明之一些實施例之計量系統之高階示意圖。

圖3係根據繪示本發明之一些實施例之一計量方法之一高階流程圖。

Claims

一種計量系統，其包括相對於一物鏡之一照明通道及一收集通道，該物鏡經設定以使一晶圓上之晶圓目標成像，其中該收集通道分割成用於擷取固定目標之影像之一第一通道及用於在晶圓運動期間擷取該晶圓之影像之一第二通道，該第一通道包括經組態以從該晶圓上之對應計量目標導出計量參數之一固定影像感測器，且該第二通道包括具有一相關聯分析單元之至少一個TDI (時間延遲及積分)感測器，該分析單元經組態以在朝向該等計量目標之晶圓定位移動期間至少導出該等計量目標相對於該物鏡之定位資訊。
如請求項1之計量系統，其中該收集通道包括經組態以將該收集通道分割成該第一通道及該第二通道之至少一個光束分割器及經組態以分割該收集通道以將對應輻射遞送至一固定模式自動聚焦模組及該固定影像感測器之至少一個光束分割器。
如請求項1或2之計量系統，其中該收集通道進一步包括經組態以從一移動晶圓表面進一步導出與該等被接近計量目標相關之聚焦資訊之一移動模式自動聚焦模組。
如請求項3之計量系統，其中該收集通道進一步包括經組態以分割該收集通道以將對應輻射遞送至該移動模式自動聚焦模組及該至少一個TDI感測器之至少一個光束分割器。
如請求項1或2之計量系統，其中該第一通道及該第二通道進一步包括經組態以分別相對於該固定影像感測器及該TDI感測器最佳化該等各自通道中之所獲取影像之光學元件。
如請求項1或2之計量系統，其經進一步組態以從該所導出定位資訊調整朝向該等計量目標之該等晶圓定位移動之參數以在該晶圓定位移動結束時改良該等計量目標相對於該物鏡之一所得位置。
一種計量方法，其包括：將一計量系統之一收集通道分割成一第一通道及一第二通道，其中該第一通道包括經組態以從一晶圓上之對應計量目標導出計量參數之一固定影像感測器，組態該第二通道以在朝向該等計量目標之晶圓定位移動期間至少導出該等計量目標相對於該計量系統之一物鏡之定位資訊，及使用該所導出定位資訊用於該等計量參數之該導出。
如請求項7之計量方法，其進一步包括以至少一個TDI感測器實施該第二通道。
如請求項7或8之計量方法，其進一步包括組態該第二通道以從一移動晶圓表面導出與該等被接近計量目標相關之聚焦資訊。
如請求項8之計量方法，其進一步包括分別相對於該固定影像感測器及該TDI感測器最佳化該等各自通道中之所獲取影像。
如請求項7或8之計量方法，其進一步包括調整朝向該等計量目標之該等晶圓定位移動之參數以在該晶圓定位移動結束時改良該等計量目標相對於該物鏡之一所得位置。
如請求項7或8之計量方法，其中至少該定位資訊之該導出由至少一個電腦處理器實行。
一種計量模組，其經組態以實行如請求項7至12中任一項之計量方法。
被接近目標之計量定位資訊量測，其由如請求項7至12中任一項之計量方法導出。
一種電腦程式產品，其包括一非暫時性電腦可讀儲存媒體，該非暫時性電腦可讀儲存媒體具有與其一起體現之電腦可讀程式，該電腦可讀程式包括：電腦可讀程式，其經組態以在朝向被接近計量目標之晶圓定位移動期間至少導出該等計量目標相對於一計量系統之一物鏡之定位資訊，及電腦可讀程式，其經組態以使用該所導出定位資訊來進行該等計量目標之計量量測。
一種方法，其包括在藉由在連續目標之量測之間移動及停止支撐一晶圓之一載物台而量測該晶圓上之多個目標上之疊對之一計量系統中：在該載物台之運動期間獲取複數個晶圓影像，從該等所獲取影像導出晶圓表面資訊，及使用該所導出晶圓表面資訊來增強該載物台之該停止之一位置準確性及/或一聚焦準確性。
如請求項16之方法，其進一步包括根據該所導出晶圓表面資訊實行該載物台之該停止以在該停止之後立即開始各自疊對量測。
如請求項17之方法，其中該載物台之該停止在適於該疊對量測之一位置及一聚焦位置處實行。
如請求項16至18中任一項之方法，其中藉由將該計量系統之一收集通道分割成經組態以量測該等目標之一固定成像通道及經組態以導出該晶圓表面資訊之一移動成像通道而實行該獲取。
如請求項19之方法，其進一步包括在該運動期間調整該載物台運動之參數以達到該增強位置準確性及/或一聚焦準確性。