TW201902945A - 著色感光樹脂組合物及由其製備之光屏蔽隔離物 - Google Patents
著色感光樹脂組合物及由其製備之光屏蔽隔離物 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201902945A TW201902945A TW107118810A TW107118810A TW201902945A TW 201902945 A TW201902945 A TW 201902945A TW 107118810 A TW107118810 A TW 107118810A TW 107118810 A TW107118810 A TW 107118810A TW 201902945 A TW201902945 A TW 201902945A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- group
- resin composition
- photosensitive resin
- colored photosensitive
- meth
- Prior art date
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 86
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 title claims abstract description 50
- -1 oxime ester Chemical class 0.000 claims abstract description 192
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 39
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 30
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 100
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 55
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 54
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 32
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 23
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 21
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 21
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 19
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 16
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 15
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 claims description 14
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 14
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 13
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims description 12
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 12
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 12
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims description 12
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 12
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 11
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 11
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 claims description 10
- 125000006651 (C3-C20) cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 claims description 9
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 9
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 claims description 8
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 claims description 8
- YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Diphenylbenzene Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000004491 isohexyl group Chemical group C(CCC(C)C)* 0.000 claims description 7
- 125000002178 anthracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 claims description 6
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 claims description 6
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 claims description 6
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 6
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 6
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 6
- 125000003837 (C1-C20) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 claims description 4
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 7
- PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N Maleimide Chemical compound O=C1NC(=O)C=C1 PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 claims 1
- 125000004970 halomethyl group Chemical group 0.000 claims 1
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N hydrazine Substances NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000005429 oxyalkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 abstract description 16
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 15
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 8
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 6
- 238000001723 curing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 abstract description 4
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 abstract description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 abstract 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 121
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 45
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 24
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 22
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 21
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 20
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 238000011161 development Methods 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 14
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 14
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N anhydrous diethylene glycol Natural products OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 9
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1 HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 6
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 6
- IYMZEPRSPLASMS-UHFFFAOYSA-N 3-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1NC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)=C1 IYMZEPRSPLASMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 5
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Substances C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 2-ethenylphenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1C=C JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 4
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 4
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 4
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 4
- BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 1-cyclohexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1CCCCC1 BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VTRZMLZNHGCYLK-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2-(methoxymethyl)benzene Chemical compound COCC1=CC=CC=C1C=C VTRZMLZNHGCYLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HDEWQSUXJCDXIX-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-3-(methoxymethyl)benzene Chemical compound COCC1=CC=CC(C=C)=C1 HDEWQSUXJCDXIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XVXKXOPCFWAOLN-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-(methoxymethyl)benzene Chemical compound COCC1=CC=C(C=C)C=C1 XVXKXOPCFWAOLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JFWFAUHHNYTWOO-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1COCC1OC1 JFWFAUHHNYTWOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZADXFVHUPXKZBJ-UHFFFAOYSA-N 2-[(4-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C1=CC(C=C)=CC=C1COCC1OC1 ZADXFVHUPXKZBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000006374 C2-C10 alkenyl group Chemical group 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 3
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N para-benzoquinone Natural products O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 3
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 150000004060 quinone imines Chemical class 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N (4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) prop-2-enoate Chemical compound C1CC2(C)C(OC(=O)C=C)CC1C2(C)C PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 2
- FPZQYYXSOJSITC-UHFFFAOYSA-N 1-(4-chlorophenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O FPZQYYXSOJSITC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIXZBXRQFZHIT-UHFFFAOYSA-N 1-[1-(1-hydroxypropan-2-yloxy)propan-2-yloxy]-3-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(O)COC(C)COC(C)CO XUIXZBXRQFZHIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C=C)C=C1 UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IHWDSEPNZDYMNF-UHFFFAOYSA-N 1H-indol-2-amine Chemical compound C1=CC=C2NC(N)=CC2=C1 IHWDSEPNZDYMNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dinitroanilino)-4-methylpentanoic acid Chemical compound CC(C)CC(C(O)=O)NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 2-(3-hydroxyphenyl)phenol Chemical compound OC1=CC=CC(C=2C(=CC=CC=2)O)=C1 XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OCKQMFDZQUFKRD-UHFFFAOYSA-N 2-[(3-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C=CC1=CC=CC(COCC2OC2)=C1 OCKQMFDZQUFKRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethenylbenzene Chemical compound ClC=CC1=CC=CC=C1 SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZHNODDFDJBMAS-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethenylbenzene Chemical compound CCOC=CC1=CC=CC=C1 FZHNODDFDJBMAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DDBYLRWHHCWVID-UHFFFAOYSA-N 2-ethylbut-1-enylbenzene Chemical group CCC(CC)=CC1=CC=CC=C1 DDBYLRWHHCWVID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBKNKFIRGXQLDB-UHFFFAOYSA-N 2-fluoroethenylbenzene Chemical compound FC=CC1=CC=CC=C1 KBKNKFIRGXQLDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethenylbenzene Chemical compound COC=CC1=CC=CC=C1 CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004200 2-methoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- BTOVVHWKPVSLBI-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-1-enylbenzene Chemical group CC(C)=CC1=CC=CC=C1 BTOVVHWKPVSLBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ILYSKJPEZAABAA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethenylbenzene Chemical compound CCCOC=CC1=CC=CC=C1 ILYSKJPEZAABAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZTHJQCDAHYOPIK-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-2-en-2-ylbenzene Chemical group CC(C)=C(C)C1=CC=CC=C1 ZTHJQCDAHYOPIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical group CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CFZDMXAOSDDDRT-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylmorpholine Chemical compound C=CN1CCOCC1 CFZDMXAOSDDDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YAXPDWVRLUOOBJ-UHFFFAOYSA-N 4-ethylhex-3-en-3-ylbenzene Chemical group CCC(CC)=C(CC)C1=CC=CC=C1 YAXPDWVRLUOOBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NCAVPEPBIJTYSO-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate;2-(oxiran-2-ylmethoxymethyl)oxirane Chemical compound C1OC1COCC1CO1.OCCCCOC(=O)C=C NCAVPEPBIJTYSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004203 4-hydroxyphenyl group Chemical group [H]OC1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JAGRUUPXPPLSRX-UHFFFAOYSA-N 4-prop-1-en-2-ylphenol Chemical compound CC(=C)C1=CC=C(O)C=C1 JAGRUUPXPPLSRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNEFHDKYZXPNMT-UHFFFAOYSA-N C(C1CO1)OC1=C(C=C(C=C1C)CCCNC=CC)C Chemical compound C(C1CO1)OC1=C(C=C(C=C1C)CCCNC=CC)C ZNEFHDKYZXPNMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 2
- MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N Decylamine Chemical compound CCCCCCCCCCN MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000752241 Homo sapiens Rho guanine nucleotide exchange factor 4 Proteins 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N Propene Chemical compound CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100021709 Rho guanine nucleotide exchange factor 4 Human genes 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YMOONIIMQBGTDU-VOTSOKGWSA-N [(e)-2-bromoethenyl]benzene Chemical compound Br\C=C\C1=CC=CC=C1 YMOONIIMQBGTDU-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 2
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WEXOBAIZDAHLOL-UHFFFAOYSA-N [I].C=Cc1ccccc1 Chemical compound [I].C=Cc1ccccc1 WEXOBAIZDAHLOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005529 alkyleneoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N but-1-enylbenzene Chemical group CCC=CC1=CC=CC=C1 MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 2
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- RTVSUIOGXLXKNM-UHFFFAOYSA-N dec-1-enylbenzene Chemical group CCCCCCCCC=CC1=CC=CC=C1 RTVSUIOGXLXKNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005567 fluorenylene group Chemical group 0.000 description 2
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003976 glyceryl group Chemical group [H]C([*])([H])C(O[H])([H])C(O[H])([H])[H] 0.000 description 2
- KETWBQOXTBGBBN-UHFFFAOYSA-N hex-1-enylbenzene Chemical group CCCCC=CC1=CC=CC=C1 KETWBQOXTBGBBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229920001427 mPEG Polymers 0.000 description 2
- 229910052943 magnesium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N mesaconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C/C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N methylfumaric acid Natural products OC(=O)C(C)=CC(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N n-vinylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(C=C)C3=CC=CC=C3C2=C1 KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- KNZIIQMSCLCSGZ-UHFFFAOYSA-N non-1-enylbenzene Chemical group CCCCCCCC=CC1=CC=CC=C1 KNZIIQMSCLCSGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RCALDWJXTVCBAZ-UHFFFAOYSA-N oct-1-enylbenzene Chemical group CCCCCCC=CC1=CC=CC=C1 RCALDWJXTVCBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- KHMYONNPZWOTKW-UHFFFAOYSA-N pent-1-enylbenzene Chemical group CCCC=CC1=CC=CC=C1 KHMYONNPZWOTKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004817 pentamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 2
- 229920005646 polycarboxylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- HOSJNFCDDCLEBM-UHFFFAOYSA-N (2-phenyloxetan-3-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1COC1C1=CC=CC=C1 HOSJNFCDDCLEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POTYORUTRLSAGZ-UHFFFAOYSA-N (3-chloro-2-hydroxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound ClCC(O)COC(=O)C=C POTYORUTRLSAGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSHKWPIEJYAPCL-UHFFFAOYSA-N (3-ethyloxetan-3-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1(CC)COC1 RSHKWPIEJYAPCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- 125000000027 (C1-C10) alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004178 (C1-C4) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)cyclohexane Chemical compound CC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)C)CCCCC1 HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMOUUZVZFBCRAM-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride Chemical compound C1C=CCC2C(=O)OC(=O)C21 KMOUUZVZFBCRAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCCAOOJIWMTVGN-UHFFFAOYSA-N 1,6-diisocyanatohexane;[2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O.C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C ZCCAOOJIWMTVGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJDGDRYFCIHDPX-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methoxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound COC1=CC=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O LJDGDRYFCIHDPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYOJZFBQEAZNEW-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methylphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound CC1=CC=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O QYOJZFBQEAZNEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWODHBPFOGXUFX-UHFFFAOYSA-N 1-(3-hydroxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound OC1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 YWODHBPFOGXUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNCUTNPWBZKJHD-UHFFFAOYSA-N 1-(3-methoxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound COC1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 UNCUTNPWBZKJHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRZFFHNZHXGTRC-UHFFFAOYSA-N 1-(3-methylphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound CC1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 PRZFFHNZHXGTRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLLFPKZTBLMEFG-UHFFFAOYSA-N 1-(4-hydroxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O BLLFPKZTBLMEFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCFXNGDHQPMIAQ-UHFFFAOYSA-N 1-(4-methylphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O KCFXNGDHQPMIAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKRBAPNEJMFMHU-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1CC1=CC=CC=C1 MKRBAPNEJMFMHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1 KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGJCFVYMIJLQJO-UHFFFAOYSA-N 1-dodecylperoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOOCCCCCCCCCCCC LGJCFVYMIJLQJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXHBDVTZNMBEW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-hydroxyethoxy)ethanol Chemical compound CCOC(O)COCCO SDXHBDVTZNMBEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IISHLYLZTYTIJJ-UHFFFAOYSA-N 1-hydroxyethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(O)OC(=O)C(C)=C IISHLYLZTYTIJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUIPOEWADWHGSP-UHFFFAOYSA-N 1-hydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC(O)OC(=O)C(C)=C NUIPOEWADWHGSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 1-octene Chemical group CCCCCCC=C KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 1
- GWCJNVUIVCCXER-UHFFFAOYSA-N 2-(1-phenylprop-2-enoxymethyl)oxirane Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=C)OCC1CO1 GWCJNVUIVCCXER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)-1-phenoxyethanol Chemical compound OCCOCC(O)OC1=CC=CC=C1 HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AQKDMKKMCVJJTC-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylpropoxymethyl)oxirane Chemical compound CC(C)COCC1CO1 AQKDMKKMCVJJTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 2-(butoxymethyl)oxirane Chemical compound CCCCOCC1CO1 YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVNVAWHJIKLAGL-UHFFFAOYSA-N 2-(cyclohexen-1-yl)cyclohexan-1-one Chemical compound O=C1CCCCC1C1=CCCCC1 GVNVAWHJIKLAGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKMJVFRMDSNFRT-UHFFFAOYSA-N 2-(methoxymethyl)oxirane Chemical compound COCC1CO1 LKMJVFRMDSNFRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWLUZGJDEZBBRH-UHFFFAOYSA-N 2-(propan-2-yloxymethyl)oxirane Chemical compound CC(C)OCC1CO1 NWLUZGJDEZBBRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWNOEVURTVLUNV-UHFFFAOYSA-N 2-(propoxymethyl)oxirane Chemical compound CCCOCC1CO1 CWNOEVURTVLUNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOVCZPMFRPKCTN-UHFFFAOYSA-N 2-[[4-[9-[4-(oxiran-2-ylmethoxy)phenyl]-10H-anthracen-9-yl]phenoxy]methyl]oxirane Chemical compound C(OC1=CC=C(C=C1)C1(C2=CC=C(OCC3CO3)C=C2)C2=CC=CC=C2CC2=C1C=CC=C2)C1CO1 YOVCZPMFRPKCTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZTBMYHIYNGYIA-UHFFFAOYSA-N 2-chloroacrylic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)=C SZTBMYHIYNGYIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl prop-2-enoate Chemical compound COCCOC(=O)C=C HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC1=CC=CC=C1 CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- MZXIKGMZSVMKJX-UHFFFAOYSA-N 3-(2-hydroxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound OC1=CC=CC=C1C1=CC(=O)NC1=O MZXIKGMZSVMKJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFGVQLJUXSRVEG-UHFFFAOYSA-N 3-amino-4-[[4-[4-[(2-amino-6-sulfonaphthalen-1-yl)diazenyl]-3-methylphenyl]-2-methylphenyl]diazenyl]naphthalene-2,7-disulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=C2C(N=NC3=CC=C(C=C3C)C=3C=C(C(=CC=3)N=NC=3C4=CC=C(C=C4C=CC=3N)S(O)(=O)=O)C)=C(N)C(S(O)(=O)=O)=CC2=C1 OFGVQLJUXSRVEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QASXOBYXEGLENV-UHFFFAOYSA-N 3-fluoropropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCF QASXOBYXEGLENV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 3-methylfuran-2,5-dione Chemical compound CC1=CC(=O)OC1=O AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJMPOXUWPWEILS-UHFFFAOYSA-N 3a,4,4a,7a,8,8a-hexahydrofuro[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1C2C(=O)OC(=O)C2CC2C(=O)OC(=O)C21 LJMPOXUWPWEILS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWTBRYBHCBCJEQ-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-phenyldiazenylnaphthalen-1-yl)diazenyl]phenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1N=NC(C1=CC=CC=C11)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 FWTBRYBHCBCJEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCOC(=O)C=C NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDDLEVPIDBLVHC-UHFFFAOYSA-N Bisphenol Z Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)CCCCC1 SDDLEVPIDBLVHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDBGQEHUEKXYAV-UHFFFAOYSA-N C(C1CO1)OC1=C(C=C(CCC=CN)C=C1C)C Chemical compound C(C1CO1)OC1=C(C=C(CCC=CN)C=C1C)C KDBGQEHUEKXYAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005915 C6-C14 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- GVVIACHRLHGLMG-UHFFFAOYSA-N CC(=COCCOC(CCC(=O)O)=O)C Chemical compound CC(=COCCOC(CCC(=O)O)=O)C GVVIACHRLHGLMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZDGJFKNCICEKM-UHFFFAOYSA-N COC(CC(C#N)C)(C)C.COC(CC(C#N)C)(C)C.[N] Chemical compound COC(CC(C#N)C)(C)C.COC(CC(C#N)C)(C)C.[N] YZDGJFKNCICEKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150065749 Churc1 gene Proteins 0.000 description 1
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002551 Fe-Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 235000000177 Indigofera tinctoria Nutrition 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M N,N,N-Trimethylmethanaminium chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)C OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100038239 Protein Churchill Human genes 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FARWYUGFTNOIPS-UHFFFAOYSA-N [2-(trifluoromethyl)oxetan-3-yl]methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1COC1C(F)(F)F FARWYUGFTNOIPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VUGKXJFTPZXBTJ-UHFFFAOYSA-N [2-hydroxy-3-[4-[9-[4-(2-hydroxy-3-prop-2-enoyloxypropoxy)phenyl]fluoren-9-yl]phenoxy]propyl] prop-2-enoate Chemical compound C1=CC(OCC(COC(=O)C=C)O)=CC=C1C1(C=2C=CC(OCC(O)COC(=O)C=C)=CC=2)C2=CC=CC=C2C2=CC=CC=C21 VUGKXJFTPZXBTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDNJLJOPWXDNJW-UHFFFAOYSA-N [4-(trifluoromethyl)oxetan-2-yl]methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CC(C(F)(F)F)O1 IDNJLJOPWXDNJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical class C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWHOZHOGCMHOBV-UHFFFAOYSA-N benzylideneacetone Chemical group CC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 BWHOZHOGCMHOBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- LURWKUGJSQJYGY-UHFFFAOYSA-N but-1-enylbenzene styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC=CC1=CC=CC=C1 LURWKUGJSQJYGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000006255 coating slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 125000004976 cyclobutylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004977 cycloheptylene group Chemical group 0.000 description 1
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004956 cyclohexylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004979 cyclopentylene group Chemical group 0.000 description 1
- BOTLEXFFFSMRLQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentyloxycyclopentane Chemical group C1CCCC1OC1CCCC1 BOTLEXFFFSMRLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004980 cyclopropylene group Chemical group 0.000 description 1
- OCBMNKXTDPSDKN-UHFFFAOYSA-N decan-1-amine;phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O.CCCCCCCCCCN OCBMNKXTDPSDKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 150000008049 diazo compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N diethyl phthalate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005594 diketone group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclopentane Chemical compound C=CC1CCCC1 BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000002290 gas chromatography-mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 1
- UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)iron;iron Chemical compound [Fe].O[Fe]=O.O[Fe]=O UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229940097275 indigo Drugs 0.000 description 1
- COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N indigo powder Natural products N1C2=CC=CC=C2C(=O)C1=C1C(=O)C2=CC=CC=C2N1 COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000904 isoindolyl group Chemical group C=1(NC=C2C=CC=CC12)* 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000005699 methyleneoxy group Chemical group [H]C([H])([*:1])O[*:2] 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000002763 monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- ZEOQPNRYUCROGZ-UHFFFAOYSA-N n,n-dibutylbutan-1-amine;hydrobromide Chemical compound [Br-].CCCC[NH+](CCCC)CCCC ZEOQPNRYUCROGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLXPTFQGYWXIEA-UHFFFAOYSA-N nitroformonitrile Chemical compound [O-][N+](=O)C#N PLXPTFQGYWXIEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- SFBTTWXNCQVIEC-UHFFFAOYSA-N o-Vinylanisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1C=C SFBTTWXNCQVIEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N omega-Hydroxydodecanoic acid Natural products OCCCCCCCCCCCC(O)=O ZDHCZVWCTKTBRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- AMLFJZRZIOZGPW-UHFFFAOYSA-N prop-1-en-1-amine Chemical compound CC=CN AMLFJZRZIOZGPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004368 propenyl group Chemical group C(=CC)* 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 125000005920 sec-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004334 sorbic acid Substances 0.000 description 1
- 235000010199 sorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229940075582 sorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 150000003431 steroids Chemical class 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- ADXGNEYLLLSOAR-UHFFFAOYSA-N tasosartan Chemical compound C12=NC(C)=NC(C)=C2CCC(=O)N1CC(C=C1)=CC=C1C1=CC=CC=C1C=1N=NNN=1 ADXGNEYLLLSOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,2-dimethylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C(C)(C)C OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol monomethyl ether Chemical compound COCCOCCOCCO JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002888 zwitterionic surfactant Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/105—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13398—Spacer materials; Spacer properties
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/126—Shielding, e.g. light-blocking means over the TFTs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Abstract
本發明係關於一種著色感光樹脂組合物及由其製成之光屏蔽隔離物。所述著色感光樹脂組合物包括呈特定莫耳比之環氧基及雙鍵以及相比習知肟酯類光聚合引發劑較少量之肟酯茀類光聚合引發劑,使得其具有優異的光固化特徵。由此,即使在光量較少之情況下,如解析度及階差之高靈敏度特徵亦可得以改良。具體而言,由於膜表面之所述固化特徵得到改良,因此可減少排氣之產生,所述排氣為乾燥所述膜時可能產生之污染源。另外,所述著色感光樹脂組合物能夠形成使其表面上之不均勻褶皺之產生降至最低的固化膜。因此,所述著色感光樹脂組合物可以有利地用作用於形成如黑色柱狀隔離物之光屏蔽隔離物的材料,以用於各種電子零件中,包含液晶顯示器(LCD)面板及有機發光二極體(OLED)顯示面板。
Description
本發明係關於一種著色感光樹脂組合物,其能夠降低在製造過程中作為污染源之排氣之產生;其具有以下優異性質:靈敏度、彈性恢復率、解析度、防滲出性、階差形成等;且能夠形成固化膜,所述固化膜使其表面上的不均勻褶皺之產生降至最低,並且係關於用於液晶顯示器、有機EL顯示器等的由其製造之光屏蔽隔離物。
近來,為了在液晶顯示器(LCD)之液晶單元中的上透明基板與下透明基板之間保持恆定距離,採用由感光樹脂組合物製備之隔離物。在LCD中(所述LCD係由向注入至兩個透明基板之間的恆定間隙中之液晶材料施加之電壓所驅動的電光器件),使兩個基板之間的間隙保持恆定係非常關鍵的。若存在一個於其中透明基板之間的間隙不為恆定之區域,則施加至其上之電壓以及穿透此區域之光的透射率可能變化,導致空間上亮度不均勻之缺陷。根據最近對大型LCD面板之需求,在LCD中在兩個透明基板之間保持恆定間隙更為關鍵。
此類隔離物可以藉由以下來製備:將感光樹脂組合物塗佈至基板上,並使其上置放有掩模的經塗佈基板暴露於紫外線等,然後使其顯影。近來,已做出努力將光屏蔽材料用於隔離物;相應地,已經積極研發各種著色感光樹脂組合物。
近年來,其中使用著色感光樹脂組合物將柱狀隔離物與黑色矩陣整合為單個模組之黑色柱狀隔離物(BCS)旨在簡化製程步驟。用於製造此類黑色柱狀隔離物之著色感光樹脂組合物不僅要求易於形成階差,而且要求同時滿足彈性恢復率以耐受上板之壓力。
此外,當在顯示面板中由著色感光樹脂組合物形成邊框時,若固化膜在其表面上具有不均勻褶皺,則可能造成以下嚴重缺點:由於在其組裝期間上板與下板之間的間隙存在缺陷,因此注入之液晶的量可能不均勻,或者可能由於電信號傳輸不良而在顯示屏上產生斑點。
為了解決此問題,韓國專利第1291480號揭示了一種感光樹脂組合物,其包括丙烯酸樹脂(或黏合劑)以抑制褶皺之產生。然而,在所述專利之情況下,由於如此使用之丙烯酸樹脂包括60-85莫耳%之大量的(甲基)丙烯酸單元,因此存在以下缺點:由於丙烯酸樹脂之此類高酸值而難以在製造光屏蔽隔離物時形成圖案之階差。
同時,由於用於光屏蔽隔離物之著色感光樹脂組合物必須包括著色顏料以實現光屏蔽性質,所以光固化度相對於透明隔離物之程度相對不足。若膜表面之光固化程度不足,則在曝光後固化膜最終乾燥的後烘烤處理以及顯影過程期間,著色感光樹脂組合物中含有之雜質可容易地經由膜表面釋放,從而產生大量稱為排氣之污染源。排氣可能造成如後處理中設備污染等問題。先前技術檔案 專利檔案
(專利文獻1)韓國專利第1291480號
技術問題
因此,本發明之目的在於提供一種著色感光樹脂組合物,其抑制固化膜表面上之不均勻褶皺之產生;具有優異的以下性質:靈敏度、彈性恢復率、解析度、防滲出性、階差形成等;並且降低了在製造過程中作為污染源之排氣的產生以及由此產生之光屏蔽隔離物。問題之解決方案
為實現以上目標,本發明提供一種著色感光樹脂組合物,其包括(A)包括環氧基之共聚物;(B)包括雙鍵之可光聚合化合物;(C)光聚合引發劑;以及(D)著色劑,
其中所述可光聚合化合物(B)中之雙鍵與所述共聚物(A)中之環氧基的莫耳比滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35;且 所述光聚合引發劑(C)包括下式1之肟酯茀類引發劑: [式1]在以上式1中,R1
各自獨立地為氫、鹵素、C1-20
烷基、C3-20
環烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基、C1-20
烷氧基、C1-20
羥烷基或C1-20
羥烷氧基烷基, R2
及R3
各自獨立地為氫、鹵素、C1-20
烷基、C3-20
環烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基、C1-20
烷氧基、C1-20
羥烷基、C1-20
羥烷氧基烷基或C4-20
雜環, X為單鍵或羰基, A為氫、C1-20
烷基、C6-30
芳基、C1-20
烷氧基、C7-30
芳烷基、C1-20
羥烷基、C1-20
羥烷氧基烷基、C3-20
環烷基、胺基、羥基、硝基、氰基或, R4
為R5
、OR5
、SR5
、COR5
、CONR5
R5
、NR5
COR5
、OCOR5
、COOR5
、SCOR5
、OCSR5
、COSR5
、CSOR5
、CN、鹵素或羥基, R5
各自獨立地為C1-20
烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基或C4-20
雜環, n為0至4之整數。
為了實現另一目標,本發明提供一種由所述著色感光樹脂組合物製成之光屏蔽隔離物。發明之有利影響
本發明之著色感光樹脂組合物包括呈特定莫耳比之環氧基及雙鍵,以及相比習知肟酯類光聚合引發劑較少量之肟酯茀類光聚合引發劑,以使得其具有優異的光固化特徵。由此,即使在光量較少之情況下,諸如解析度及階差形成之高靈敏度特徵亦可得以改良。具體而言,由於膜表面之固化特徵得到改良,因此可減少排氣之產生,所述排氣為乾燥膜時可能產生之污染源。另外,著色感光樹脂組合物能夠形成使其表面上之不均勻褶皺之產生降至最低的固化膜。因此,著色感光樹脂組合物可以有利地用作用於形成諸如黑色柱狀隔離物之光屏蔽隔離物之材料,以用於各種電子零件中,包含液晶顯示器(LCD)面板及有機發光二極體(OLED)顯示面板。
本發明之著色感光樹脂組合物包括(A)包括環氧基之共聚物、(B)包括雙鍵之可光聚合化合物、(C)光聚合引發劑及(D)著色劑,並且亦可以包括(E)衍生自環氧樹脂並具有雙鍵之化合物、(F)環氧化合物、(G)界面活性劑及/或(H)溶劑(視需要)。
在本發明中,「(甲基)丙烯酸」意指「丙烯酸」及/或「甲基丙烯酸」且「(甲基)丙烯酸酯」意指「丙烯酸酯」及/或「甲基丙烯酸酯」。
在下文中,將詳細解釋著色感光樹脂組合物之各組分。( A )包括環氧基之共聚物
在本發明中採用之共聚物包括(a-1)結構單元,其衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸酐或其組合;(a-2)結構單元,其衍生自含有芳環之烯屬不飽和化合物;以及(a-3)結構單元,其衍生自含有環氧基之烯屬不飽和化合物,並且亦可包括(a-4)結構單元,其衍生自不同於結構單元(a-1)、(a-2)及(a-3)之烯屬不飽和化合物。
所述共聚物係用於實現顯影性之鹼溶性樹脂,且亦起到在塗佈時形成膜之基底及用於形成最終圖案之結構的作用。 (a-1)衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸酐或其組合之結構單元
結構單元(a-1)衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸酐或其組合。烯屬不飽和羧酸及烯屬不飽和羧酸酐為可聚合不飽和單體,其分子中含有至少一個羧基。其特定實例可包含不飽和單羧酸,諸如(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸及肉桂酸;不飽和二羧酸及其酸酐,諸如順丁烯二酸、順丁烯二酸酐、反丁烯二酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、檸康酸酐及中康酸;三價或更高價之不飽和聚羧酸及其酸酐;以及二價或更高價的聚羧酸之單[(甲基)丙烯醯氧基烷基]酯,諸如單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]丁二酸酯、單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]鄰苯二甲酸酯等。
衍生自上述示例性化合物之結構單元可以單獨包括於共聚物中,或者可以作為兩種或更多種之組合包括於共聚物中。
以構成共聚物之結構單元之總莫耳數計,結構單元(a-1)之量可為5至65莫耳%,較佳10至50莫耳%。在上述量範圍內,顯影性可為有利的。 (a-2)衍生自含有芳環之烯屬不飽和化合物的結構單元
結構單元(a-2)衍生自含有芳環之烯屬不飽和化合物。含有芳環之烯屬不飽和化合物之特定實例可以包含:(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯;苯乙烯;含有烷基取代基之苯乙烯,如甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、三乙基苯乙烯、丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、庚基苯乙烯以及辛基苯乙烯;含有鹵素之苯乙烯,如氟苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯以及碘苯乙烯;含有烷氧基取代基之苯乙烯,如甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯以及丙氧基苯乙烯;4-羥基苯乙烯、對羥基-α-甲基苯乙烯、乙醯基苯乙烯;以及乙烯基甲苯、二乙烯基苯、乙烯基苯酚、鄰乙烯基苯甲基甲基醚、間乙烯基苯甲基甲基醚、對乙烯基苯甲基甲基醚、鄰乙烯基苯甲基縮水甘油醚、間乙烯基苯甲基縮水甘油醚、對乙烯基苯甲基縮水甘油醚等。
衍生自上述示例性化合物之結構單元可以單獨包括於共聚物中,或者可以作為兩種或更多種之組合包括於共聚物中。考慮到可聚合性,在上述化合物中較佳為衍生自苯乙烯類化合物之結構單元。
以構成共聚物之結構單元之總莫耳數計,結構單元(a-2)之量可為2至70莫耳%,較佳3至60莫耳%。在上述量範圍內,共聚性及耐顯影性可能更為有利。 (a-3)衍生自含有環氧基之烯屬不飽和化合物之結構單元
結構單元(a-3)衍生自含有環氧基之烯屬不飽和化合物。含有環氧基之烯屬不飽和化合物之特定實例可以包含:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基丁酯、(甲基)丙烯酸4,5-環氧基戊酯、(甲基)丙烯酸5,6-環氧基己酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧基庚酯、(甲基)丙烯酸2,3-環氧基環戊酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基環己酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、N
-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲苯甲基)丙烯醯胺、N
-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苯基丙基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯縮水甘油醚、丙烯酸4-羥丁酯縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、2-甲基烯丙基縮水甘油醚等。
衍生自上述示例性化合物之結構單元可以單獨包括於共聚物中,或者可以作為兩種或更多種之組合包括於共聚物中。考慮到藉由優異的熱固化程度來提高彈性恢復率及靈敏度,衍生自上述中(甲基)丙烯酸縮水甘油酯及/或(甲基)丙烯酸4-羥丁酯縮水甘油醚之結構單元為更佳的。
以構成共聚物之結構單元的總莫耳數計,結構單元(a-3)之量可為1至40莫耳%,或5至20莫耳%。在上述量範圍內,過程中之殘留物及預烘烤時之裕度可為更有利的。 (a-4)衍生自不同於結構單元(a-1)、(a-2)及(a-3)之烯屬不飽和化合物的結構單元
除結構單元(a-1)、(a-2)及(a-3)外,用於本發明之共聚物可以包括進一步衍生自不同於結構單元(a-1)、(a-2)及(a-3)之烯屬不飽和化合物之結構單元。
衍生自不同於結構單元(a-1)、(a-2)及(a-3)之烯屬不飽和化合物之結構單元的特定實例可以包含不飽和羧酸酯,諸如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃甲酯、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、α-羥基甲基丙烯酸甲酯、α-羥基甲基丙烯酸乙酯、α-羥基甲基丙烯酸丙酯、α-羥基甲基丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三丙二醇酯、聚(乙二醇)甲基醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊醇基氧基乙酯以及(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧基乙酯;含有N
-乙烯基之叔胺,諸如N
-乙烯基吡咯啶酮、N
-乙烯基咔唑以及N
-乙烯基嗎啉;不飽和醚,如乙烯基甲基醚及乙烯基乙基醚;不飽和醯亞胺,諸如N
-苯基馬來醯亞胺、N
-(4-氯苯基)馬來醯亞胺、N
-(4-羥苯基)馬來醯亞胺、N
-環己基馬來醯亞胺等。
衍生自上述示例性化合物之結構單元可以單獨包括於共聚物中,或者可以作為兩種或更多種之組合包括於共聚物中。就改良共聚性、控制圖案之可流動性之及對顯影不足之補充而言,衍生自上述中之不飽和醯亞胺、尤其N-取代馬來醯亞胺之結構單元為更佳的。
以構成共聚物之結構單元之總莫耳數計,結構單元(a-4)之量可為0至80莫耳%,較佳10至75莫耳%。在上述量範圍內,可以保持著色感光樹脂組合物之儲存穩定性,並且可以更有利地改良膜保持率。
具有結構單元(a-1)至(a-4)之共聚物之實例可包含:(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/N
-苯基馬來醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸甲酯/N
-環己基馬來醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸正丁酯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/N
-苯基馬來醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/N
-苯基馬來醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸4-羥丁酯縮水甘油醚/N
-苯基馬來醯亞胺之共聚物等。
可將一種、兩種或更多種共聚物包括在著色感光樹脂組合物中。
當藉由凝膠滲透色譜法(溶離劑:四氫呋喃)以聚苯乙烯為參照測定時,共聚物之重均分子量(Mw)可以在5,000至30,000、較佳10,000至20,000之範圍內。在上述範圍內,可有利地改良由較低圖案形成之階差,並且顯影時之圖案輪廓可為有利的,並且就對基板之黏附性、物理及化學性質以及黏度而言可能更有利。
以著色感光樹脂組合物之固體含量之總重量(亦即,不包含溶劑之重量)計,著色感光樹脂組合物中之共聚物之量可為5至60重量%、較佳8至45重量%。在上述範圍內,顯影時之圖案輪廓可為有利的,並且可改良諸如膜保持率及耐化學性之性質。
共聚物可以藉由將自由基聚合引發劑、溶劑及結構單元(a-1)至(a-4)饋入至反應器中,接著向其中饋入氮氣並緩慢攪拌用於聚合之混合物來製備。
自由基聚合引發劑可為偶氮化合物,如2,2'-偶氮雙異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)及2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈);或過氧化苯甲醯、過氧化十二醯(lauryl peroxide)、過氧化新戊酸叔丁酯及1,1-雙(第三丁基過氧基)環己烷等,但不限於此。自由基聚合引發劑可以單獨使用或以兩種或更多種之組合形式使用。
溶劑可為製備共聚物時常用之任何習知溶劑,並且可以包含例如丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)。( B )包括雙鍵之可光聚合化合物
本發明中使用之可光聚合化合物係具有雙鍵且藉由聚合引發劑之作用為可聚合的化合物。具體而言,可光聚合化合物可以包括具有至少一個烯屬不飽和雙鍵之單官能或多官能酯化合物,並且自耐化學性之觀點來看,可較佳包括具有至少兩個官能基之多官能化合物。
可光聚合化合物可以選自由以下組成之群組:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與琥珀酸之單酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯及琥珀酸之單酯、季戊四醇三丙烯酸酯六亞甲基二異氰酸酯(季戊四醇三丙烯酸酯及六亞甲基二異氰酸酯之反應產物)、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、雙酚A環氧基丙烯酸酯及乙二醇單甲醚丙烯酸酯以及其混合物,但不限於此。
市售之可光聚合化合物之實例可以包含:(i)單官能(甲基)丙烯酸酯,諸如東亞合成株式會社(Toagosei Co., Ltd.)製造之Aronix M-101、M-111及M-114,日本化藥株式會社(Nippon Kayaku Co., Ltd.)製造之KAYARAD T4-110S及T4-120S,以及Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.製造之V-158及V-2311;(ii)雙官能(甲基)丙烯酸酯,諸如東亞合成株式會社製造之Aronix M-210、M-240及M-6200,日本化藥株式會社製造之KAYARAD HDDA、HX-220及R-604,以及Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.製造之V-260、V-312及V-335HP;以及(iii)三官能及更多官能之(甲基)丙烯酸酯,諸如東亞合成株式會社製造之Aronix M-309、M-400、M-403、M-405、M-450、M-7100、M-8030、M-8060及TO-1382,日本化藥株式會社製造之KAYARAD TMPTA、DPHA及DPHA-40H,以及Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.製造之V-295、V-300、V-360、V-GPT、V-3PA、V-400及V-802。
按100重量份共聚物(A)計,可光聚合化合物之量可為10至400重量份,較佳50至300重量份。在上述量範圍內,可以容易地使圖案顯影,並且可改良如耐化學性及彈性恢復力之性質。若所述量小於10重量份,則顯影時間可能會延長,此可能影響製程及殘留物。若所述量超過400重量份,則其可能導致圖案解析度差並且產生褶皺。
可光聚合化合物(B)中之雙鍵與共聚物(A)中之環氧基的莫耳比可滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35 或 11 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35。
若在顯示器邊框之表面上產生不均勻褶皺,則其可能造成以下缺點:由於在其組裝期間上板與下板之間的間隙中存在缺陷,因此注入之液晶之量可能不均勻,或者由於電信號傳輸不良而可能在顯示屏上產生斑點。在上述範圍內,可在由著色感光樹脂組合物形成固化膜表面時使固化膜表面上之不均勻褶皺之產生降至最低,並且可形成階差及高解析度之圖案。
若莫耳比超過35,則在暴露於光之期間塗佈膜表面之固化劇烈進行,同時具有未反應雙鍵之物質保留在其內部,其提高了此類未反應物質在隨後之熱固化過程中之流動性(亦即,移動性)。由此,表面附近之聚合物及圖案內部深處之聚合物在熱固化期間將具有不同之移動性,導致在固化膜表面上產生不均勻褶皺。另外,若莫耳比小於4,則由於環氧基之莫耳數相對地大於雙鍵之莫耳數,因此難以根據溫度之變化來控制交聯度,此使得過程期間根據溫度變化之顯影裕度較差,並且因此降低了解析度。( C )光聚合引發劑
本發明之著色感光樹脂組合物包括作為光聚合引發劑之由下式1表示之肟酯茀類引發劑: [式1]在以上式1中,R1
各自獨立地為氫、鹵素、C1-20
烷基、C3-20
環烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基、C1-20
烷氧基、C1-20
羥烷基或C1-20
羥烷氧基烷基, R2
及R3
各自獨立地為氫、鹵素、C1-20
烷基、C3-20
環烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基、C1-20
烷氧基、C1-20
羥烷基、C1-20
羥烷氧基烷基或C4-20雜環, X為單鍵或羰基, A為氫、C1-20
烷基、C6-30
芳基、C1-20
烷氧基、C7-30
芳烷基、C1-20
羥烷基、C1-20
羥烷氧基烷基、C3-20
環烷基、胺基、羥基、硝基、氰基或, R4
為R5
、OR5
、SR5
、COR5
、CONR5
R5
、NR5
COR5
、OCOR5
、COOR5
、SCOR5
、OCSR5
、COSR5
、CSOR5
、CN、鹵素或羥基, R5
各自獨立地為C1-20
烷基、C6-30
芳基、C7-30
芳烷基或C4-20
雜環, n為0至4之整數。 雜環可為含有1至3個選自O、N及S之雜原子之5員或6員單環。 較佳地,R1
可各自獨立地為氫、溴、氯、碘、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥基正丙基、羥基正丁基、羥基異丁基、羥基正戊基、羥基異戊基、羥基正己基、羥基異己基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、羥基乙氧基戊基、羥基乙氧基己基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基或異己基;並且 R2
及R3
可各自獨立為氫、溴、氯、碘、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥基正丙基、羥基正丁基、羥基異丁基、羥基正戊基、羥基異戊基、羥基正己基、羥基異己基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、羥基乙氧基戊基、羥基乙氧基己基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基、異己基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基或菲基。 A可為氫、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥丙基、羥丁基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、胺基、硝基、氰基或羥基。 更佳地,R1
可各自獨立地為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基或異己基;並且 R2
及R3
可各自獨立為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基、異己基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基或菲基。
A可為硝基、氰基或羥基。
肟酯茀類光聚合引發劑可以按照習知方法合成,亦可商購。
以上式1之肟酯茀類光聚合引發劑用作交聯劑以及用於著色感光樹脂組合物之高靈敏度引發劑。著色感光樹脂組合物中之肟酯茀類光聚合引發劑提高了對光之利用效率(或者提高感光度),因此能夠抑制在過程期間作為污染源之排氣之產生。另外,即使在其僅使用少量之情況下,上述式1之肟酯茀類光聚合引發劑亦能夠提供充分的高靈敏度特徵,例如彈性恢復率、解析度、階差形成等,從而彌補了著色樹脂組合物光學效率不足之缺點。
以100重量份之共聚物(A)計,以上式1之光聚合引發劑之用量可以為0.01至15重量份,較佳為0.01至10重量份,更佳為0.1至10重量份。在上述量範圍內,由於可以彌補靈敏度,因此可以獲得在整個圖案中具有優異固化程度之塗膜。
光聚合引發劑(C)亦可包括由下式2表示之三嗪類引發劑: [式2]在以上式2中,R5
及R6
各自獨立地為鹵代甲基;R7
各自獨立地為C1-4
烷基或C1-4
烷氧基;並且n為0至3之整數。
具體地,以上式2之三嗪類化合物可為由下式2a表示之化合物: [式2a]以上式1之肟酯茀類光聚合引發劑為高靈敏度之短波長引發劑,而以上式2之三嗪類光聚合引發劑為長波長引發劑。因此,在同時使用肟酯茀類光聚合引發劑及三嗪類光聚合引發劑之情況下,在黑色柱狀隔離物中更容易形成階差,並且其可同時提高曝光裕度及靈敏度。在此種情況下,上述式1之化合物及上述式2之化合物可以按2:8至8:2、較佳2.5:7.5至7.5:2.5、更佳3:7至7:3之重量比使用。在上述範圍內,藉由曝光可以充分地進行固化,此對於獲得優異之感光度及曝光裕度可能係更有利的。
本發明之著色感光樹脂組合物亦可含有除上述彼等以外之其他光聚合引發劑。此處,其他光聚合引發劑可為任何已知之光聚合引發劑。
光聚合引發劑可以選自由以下組成之群組:苯乙酮類化合物、非咪唑類化合物、鎓鹽類化合物、安息香類化合物、二苯甲酮類化合物、二酮類化合物、α-二酮類化合物、多核醌類化合物、噻噸酮類化合物、重氮類化合物、醯亞胺磺酸鹽類化合物、咔唑類化合物、硼酸鋶類化合物,及其混合物。( D )著色劑
本發明之著色感光樹脂組合物包括向其賦予光屏蔽性質之著色劑。著色劑可為兩種或更多種無機或有機著色劑之混合物。其較佳具有高顯色性及高耐熱性。
具體地,著色劑可為選自由黑色著色劑及除黑色以外之著色劑組成之群組中之至少一者。黑色著色劑可為選自由黑色無機著色劑及黑色有機著色劑組成之群組中之至少一者。除黑色以外之著色劑可為選自由藍色著色劑及紫色著色劑組成之群組中之至少一者。
可以使用本領域中已知之任何黑色無機著色劑及任何除黑色以外的著色劑。舉例而言,可以使用在《顏色索引(Color Index)》(由染色師與色彩師協會(The Society of Dyers and Colourists)出版)中分類為顏料的任何化合物及本領域中已知之任何染料。
黑色無機著色劑之具體實例可以包含炭黑、鈦黑、金屬氧化物諸如Cu-Fe-Mn類氧化物及合成鐵黑等。考慮到圖案特徵及耐化學性,其中較佳為炭黑。
黑色有機著色劑之特定實例可包含苯胺黑、內醯胺黑、苝黑等。考慮到光學密度、介電性等,其中較佳為內醯胺黑(例如來自巴斯夫(BASF)之Black 582)。
除黑色之外的著色劑的特定實例可以包含C.I.顏料黃20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、180及185;C.I.顏料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65及71;C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、179、180、192、215、216、224、242、254、255及264;C.I.顏料紫13、14、19、23、25、27、29、32、33、36、37及38;C.I.顏料藍15(15:3、15:4、15:6等)、16、21、28、60、64及76;C.I.顏料綠7、10、15、25、36、47及58;C.I.顏料棕28等。
出於防止光洩漏及光模糊現象之目的以及就著色感光樹脂組合物之可分散性及耐化學性而言,其中最佳的係C.I.顏料藍15:6及60,以及C.I.顏料紫23。
以著色感光樹脂組合物之固體含量之總重量(亦即,不包含溶劑之重量)計,著色劑之量可為5至70重量%,或8至50重量%。具體地,以著色感光樹脂組合物之固體成分之總重量(亦即不含溶劑之重量)計,著色劑可包括0至15重量%之黑色無機著色劑、0至40重量%之黑色有機著色劑及0至20重量%之除黑色以外的著色劑。若著色劑之量在上述範圍內,則顯影時之圖案輪廓可為有利之,如耐化學性及彈性恢復力之性質可得到改良,並且可實現所需要之光密度及光透射率。
同時,本發明中使用之著色劑可以按如與分散樹脂、溶劑等混合之漆漿形式添加至著色感光樹脂組合物中。
分散樹脂用於使顏料均勻地分散在溶劑中,並且可具體地為選自由分散劑及分散黏合劑組成之群組中的至少一者。
分散劑之實例可以包含用於著色劑之任何已知分散劑。作為其特定實例,分散劑可選自由以下組成之群組:陽離子界面活性劑、陰離子界面活性劑、非離子界面活性劑、兩性離子界面活性劑、矽類界面活性劑、氟類界面活性劑、聚酯類化合物、聚羧酸酯類化合物、不飽和聚醯胺類化合物、聚羧酸類化合物、聚羧酸烷基鹽化合物、聚丙烯酸化合物、聚乙烯亞胺類化合物、聚氨酯類化合物、聚氨酯、由聚丙烯酸酯代表之聚羧酸酯、不飽和聚醯胺、聚羧酸、聚羧酸之胺鹽、聚羧酸之銨鹽、聚羧酸之烷基胺鹽、聚矽氧烷、長鏈聚胺基醯胺磷酸鹽、羥基被取代之聚羧酸之酯及其改性產物、由具有自由羧基之聚酯與聚(低級亞烷基亞胺)或其鹽反應形成之醯胺、(甲基)丙烯酸-苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸-(甲基)丙烯酸酯共聚物、苯乙烯-馬來酸共聚物、聚乙烯醇、水溶性樹脂或水溶性聚合物化合物諸如聚乙烯吡咯啶酮、改性聚丙烯酸酯、環氧乙烷/環氧丙烷之加合物、磷酸酯以及其組合。市售之分散劑可以包含來自BYK公司(BYK Co.)之Disperbyk-182、-183、-184、-185、-2000、-2150、-2155、-2163及-2164。此等化合物可以單獨使用或者以兩種或更多種之組合形式使用。分散劑可以具有胺基及/或酸基作為顏料親和性基團,並且可以視情況具有銨鹽型。
在製備著色感光樹脂組合物時,分散劑可以藉由用其對著色劑進行表面處理而提前添加至著色劑中,或者與著色劑一起添加。
分散劑之胺值可以及10至200 mg KOH/g、40至200 mg KOH/g或50至150 mg KOH/g。若分散劑之胺值在上述範圍內,則著色劑之分散性及儲存穩定性優異,並且由樹脂組合物形成之固化膜之表面粗糙度得到改良。
以著色分散液之總重量計,分散劑可以按1至20重量%或2至15重量%之量使用。若分散劑之量在上述範圍內,則著色劑經有效地分散以改良分散穩定性,並且由於在施用時保持適當黏度而改良光學、物理及化學性質。因此,就分散穩定性及黏度之間的優異平衡而言,此為所期望的。
此外,著色劑包括分散樹脂,並且分散樹脂之胺值為3 mg KOH/g或更小,並且以組成單元之總莫耳數計,分散樹脂可以包括30莫耳%或更少的馬來醯亞胺單體。在此類情況下,分散樹脂可為分散黏合劑。
此外,若分散黏合劑之胺值超過3 mg KOH/g,則包圍顏料之分散劑之穩定性可能受到不利影響,此可能繼而對整個樹脂組合物之儲存穩定性造成不利影響。因此,分散黏合劑之胺值較佳為3 mg KOH/g或更小。若分散黏合劑之胺值在上述範圍內,則未曝光部分可在顯影過程中容易地顯影,並且可以改良如產生殘留物等問題。
若分散黏合劑具有酸值,則它可以包括具有羧基及不飽和鍵之單體。具有羧基及不飽和鍵之單體之特定實例包含:單羧酸諸如丙烯酸、甲基丙烯酸及巴豆酸;二羧酸諸如反丁烯二酸、中康酸及衣康酸,以及二羧酸之酸酐;在兩個末端上具有羧基和羥基之聚合物之單(甲基)丙烯酸酯,諸如ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯等。較佳為丙烯酸及甲基丙烯酸。
此外,分散黏合劑可以包括具有羧基及不飽和鍵之單體以及具有可共聚不飽和鍵之單體。
具有可共聚不飽和鍵之單體之實例可以例如包含:芳族乙烯基化合物,諸如苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、對氯苯乙烯、鄰甲氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、鄰乙烯基苄基甲基醚等、間乙烯基苄基甲基醚、對乙烯基苄基甲基醚、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚及對乙烯基苄基縮水甘油醚;(甲基)丙烯酸烷基酯,諸如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯及(甲基)丙烯酸叔丁酯;脂環族(甲基)丙烯酸酯,諸如(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、三環[5.2.1.0.2.6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-二環戊氧基乙酯及(甲基)丙烯酸異冰片酯;(甲基)丙烯酸芳基酯諸如(甲基)丙烯酸苯酯及(甲基)丙烯酸苄酯;(甲基)丙烯酸羥烷酯,諸如(甲基)丙烯酸2-羥乙酯及(甲基)丙烯酸2-羥丙酯;N
-取代之馬來醯亞胺化合物,諸如N
-環己基馬來醯亞胺、N
-苄基馬來醯亞胺、N
-苯基馬來醯亞胺、N
-鄰羥基苯基馬來醯亞胺、N
-間羥基苯基馬來醯亞胺、N
-對羥基苯基馬來醯亞胺、N
-鄰甲基苯基馬來醯亞胺、N
-間甲基苯基馬來醯亞胺、N
-對甲基苯基馬來醯亞胺、N
-鄰甲氧基苯基馬來醯亞胺、N
-間甲氧基苯基馬來醯亞胺及N
-對甲氧基苯基馬來醯亞胺;不飽和醯胺化合物,諸如(甲基)丙烯醯胺及N
,N
-二甲基(甲基)丙烯醯胺;不飽和氧雜環丁烷化合物,諸如3-(甲基丙烯醯氧基甲基)氧雜環丁烷、3-(甲基丙烯醯氧基甲基)-3-乙基氧雜環丁烷、3-(甲基丙烯醯氧基甲基)-2-三氟甲基氧雜環丁烷、3-(甲基丙烯醯氧基甲基)-2-苯基氧雜環丁烷、2-(甲基丙烯醯氧基甲基)氧雜環丁烷、以及2-(甲基丙烯醯氧基甲基)-4-三氟甲基氧雜環丁烷,其可以單獨使用或以兩種或更多種之組合形式使用。
分散黏合劑之酸值可為30至200 mg KOH/g。具體而言,分散黏合劑之酸值可為50至150 mg KOH/g。若分散黏合劑之酸值在上述範圍內,則包圍顏料之分散劑對胺值之影響降低,由此產生著色分散液之優異穩定性和均一粒度之效果。
以著色分散液之總重量計,分散黏合劑可以按1至20重量%或2至15重量%之量使用。若分散黏合劑在上述量範圍內使用,則樹脂組合物可以保持適當之黏度水平,並且就分散穩定性及顯影性而言其為較佳的。
以100重量份之共聚物(A)計,著色劑之總量可為50至500重量份,較佳100至400重量份。在上述量範圍內,顯影時之圖案輪廓可為有利的。若所述量小於50重量份或超過500重量份,則不能獲得所需之光密度和透射率。( E )衍生自環氧樹脂並具有雙鍵之化合物
本發明之著色感光樹脂組合物可以進一步包括衍生自環氧樹脂並具有雙鍵之化合物。衍生自環氧樹脂之化合物具有至少一個雙鍵並且可以具有卡哆(cardo)主鏈結構。另外,其亦可為在其側鏈中含有雙鍵之樹脂,所述雙鍵衍生自酚醛清漆類樹脂或丙烯酸類樹脂中含有之官能基。
當以聚苯乙烯為參照藉由凝膠滲透色譜法測定時,衍生自環氧樹脂之化合物之重均分子量(Mw)可以在3,000至18,000,較佳5,000至10,000之範圍內。在上述範圍內,由較低圖案形成之階差可有利地得以改良,並且顯影時之圖案輪廓可為有利的。
具體地說,環氧樹脂可為由下式3表示的具有卡哆主鏈結構之化合物。 [式3]在以上式3中,X各自獨立地為、、或;L1
各自獨立地為C1-10
亞烷基、C3-20
亞環烷基或C1-10
亞烷氧基;R1
至R7
各自獨立地為H、C1-10
烷基、C1-10
烷氧基、C2-10
烯基或C6-14
芳基;R8
為H、甲基、乙基、CH3
CHCl-、CH3
CHOH-、CH2
=CHCH2
-或苯基;並且n為0至10之整數。
C1-10
亞烷基之特定實例可以包含:亞甲基、亞乙基、亞丙基、異亞丙基、亞丁基、異亞丁基、仲亞丁基、叔亞丁基、亞戊基、異亞戊基、叔亞戊基、亞己基、亞庚基、亞辛基、異亞辛基、叔亞辛基、2-乙基亞己基、亞壬基、異亞壬基、亞癸基、異亞癸基等。
C3-20
亞環烷基之特定實例可以包含:亞環丙基、亞環丁基、亞環戊基、亞環己基、亞環庚基、十氫亞萘基、亞金剛烷基等。
C1-10
亞烷基氧基之特定實例可以包含:亞甲氧基、亞乙氧基、亞丙氧基、亞丁氧基、仲亞丁氧基、叔亞丁氧基、亞戊氧基、亞己氧基、亞庚氧基、亞辛氧基、2-乙基-亞己基氧基等。
C1-10
烷基之特定實例可以包含:甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、異戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、異辛基、叔辛基、2-乙基己基、壬基、異壬基、癸基、異癸基等。
C1-10
烷氧基之特定實例可以包含:甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、戊氧基、己氧基、庚氧基、辛氧基、2-乙基-己氧基等。
C2-10
烯基之特定實例可以包含乙烯基、烯丙基、丁烯基、丙烯基等。
C6-14芳基之特定實例可以包含苯基、甲苯基、二甲苯基、萘基等。
作為實例,具有卡哆主鏈結構之環氧樹脂可以藉由以下合成路線製備: [反應方案1]在上述反應方案1中,Hal為鹵素;並且X、R1
、R2
及L1
與式2中所定義之相同。
衍生自具有卡哆主鏈結構之環氧樹脂的化合物可以藉由使具有卡哆主鏈結構之環氧樹脂與不飽和鹼性酸反應以產生環氧加合物,然後使如此獲得之環氧加合物與多元酸酐反應來獲得,或藉由進一步使如此獲得之產物與單官能或多官能環氧化合物反應來獲得。可以使用本領域中已知之任何不飽和鹼性酸,例如丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、肉桂酸、山梨酸等。可以使用本領域中已知之任何多元酸酐,例如琥珀酸酐、馬來酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐、1,2,4,5-環己烷四甲酸二酐、六氫鄰苯二甲酸酐等。可以使用此項技術中已知之任何單官能或多官能環氧化合物,例如甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基縮水甘油醚、乙基縮水甘油醚、丙基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、丁基縮水甘油醚、異丁基縮水甘油醚、雙酚Z縮水甘油醚等。
作為實例,衍生自具有卡哆主鏈結構之環氧樹脂之化合物可以藉由以下合成路線製備: [反應方案2]在反應方案2中,R9
各自獨立地為H、C1-10
烷基、C1-10
烷氧基、C2-10
烯基或C6-14
芳基;R10
及R11
各自獨立地為飽和或不飽和之C6
脂族環或苯環;n為1至10之整數;X、R1
、R2
及L1
與式2中所定義之相同。
當使用衍生自具有卡哆主鏈結構之環氧樹脂之化合物時,卡哆主鏈結構可以改良固化材料對基板之黏附性、耐鹼性、可加工性和強度等。此外,一旦在顯影時移除未固化部分,具有高解析度之圖像可以按圖案形式形成。
酚醛清漆基樹脂之實例可包含例如酚醛清漆類環氧化合物、聯苯酚醛清漆類環氧化合物、甲酚酚醛清漆類環氧化合物、雙酚A酚醛清漆類環氧化合物、雙環戊二烯酚醛清漆類環氧化合物等。
按100重量份之共聚物(A)計,衍生自環氧樹脂之化合物之量可為10至300重量份,較佳50至250重量份。在上述量範圍內,顯影時之圖案輪廓可為有利的,靈敏度及彈性恢復率得到改良,並且可以控制顯影特性。
在本發明之著色感光樹脂組合物中,可光聚合化合物(B)及衍生自環氧樹脂之化合物(E)中之雙鍵與共聚物(A)中之環氧基的莫耳比滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35 或 11 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35。( F )環氧化合物
本發明之著色感光樹脂組合物可以進一步包括環氧化合物以增加樹脂之內部密度,以由此改良由其製備之固化膜之耐化學性。
環氧化合物可以是含有至少一個環氧基之不飽和單體,或其均聚低聚物或異聚低聚物。含有至少一個環氧基之不飽和單體之實例可以包含:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、4-羥丁基丙烯酸酯縮水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸4,5-環氧戊酯、(甲基)丙烯酸5,6-環氧己酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯、(甲基)丙烯酸2,3-環氧環戊酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、N
-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苄基)丙烯醯胺、N
-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苯基丙基)丙烯醯胺、烯丙基縮水甘油醚、2-甲基烯丙基縮水甘油醚、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚、對乙烯基苄基縮水甘油醚或其混合物。較佳地,可使用(甲基)丙烯酸縮水甘油酯。
市售的含有至少一個環氧基之不飽和單體之均聚低聚物的實例可以包含GHP03(甲基丙烯酸縮水甘油酯,韓國美源商事株式會社(Miwon Commercial Co., Ltd.))。
環氧化合物可以根據已知方法合成。
環氧化合物(F)可以進一步包括以下結構單元。
特定實例可以包含任何衍生自苯乙烯之結構單元;具有烷基取代基之苯乙烯,諸如甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、三乙基苯乙烯、丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、庚基苯乙烯及辛基苯乙烯;具有鹵素之苯乙烯,諸如氟苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯及碘苯乙烯;具有烷氧基取代基之苯乙烯,諸如甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯及丙氧基苯乙烯;對羥基-α-甲基苯乙烯、乙醯苯乙烯;具有芳環之烯屬不飽和化合物,諸如二乙烯基苯、乙烯基苯酚、鄰乙烯基苄基甲基醚、間乙烯基苄基甲基醚及對乙烯基苄基甲基醚;不飽和羧酸酯,諸如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、α-羥基甲基丙烯酸甲酯、α-羥基甲基丙烯酸乙酯、α-羥基甲基丙烯酸丙酯、α-羥基甲基丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三丙二醇酯、聚(乙二醇)甲基醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯及(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯;具有N
-乙烯基之叔胺,諸如N
-N
-乙烯基吡咯啶酮、N
-乙烯基咔唑及N
-乙烯基嗎啉;不飽和醚,諸如乙烯基甲基醚及乙烯基乙基醚;不飽和醯亞胺,諸如N
-苯基馬來醯亞胺、N
-(4-氯苯基)馬來醯亞胺、N
-(4-羥基苯基)馬來醯亞胺、N
-環己基馬來醯亞胺等。衍生自於上述示例性化合物之結構單元可以單獨或以其兩種或更多種之組合含於環氧化合物(F)中。
環氧化合物(F)之重均分子量較佳為100至30,000,其重均分子量更佳可為1,000至15,000。若環氧化合物之重均分子量為100或更高,則薄膜之硬度會更優異。若環氧化合物之重均分子量為30,000或更少,則薄膜之厚度變得均勻且階差更小,此更適於平面化。以聚苯乙烯為參照藉由凝膠滲透色譜法(溶離劑:四氫呋喃)測定重均分子量。
以100重量份之共聚物(A)計,環氧化合物之量可為0至30重量份,或0至20重量份。在上述量範圍內,顯影時之圖案輪廓可為有利的,並且如耐化學性及彈性恢復力之性質可得以改良。
在本發明之著色感光樹脂組合物中,可光聚合化合物(B)中之雙鍵與共聚物(A)及環氧化合物(F)中之環氧基的莫耳比可滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35 或 11 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35。
在本發明之著色感光樹脂組合物中,可光聚合化合物(B)及衍生自環氧樹脂之化合物(E)中之雙鍵與共聚物(A)及環氧化合物(F)中之環氧基的莫耳比可滿足以上關係。( G )界面活性劑
本發明之著色感光樹脂組合物可以進一步包括界面活性劑,以改良可塗佈性並且防止缺陷產生。
雖然界面活性劑之種類不受特定限制,但可使用例如基於氟之界面活性劑或基於矽之界面活性劑。
市售之矽類界面活性劑可以包含來自道康寧東麗矽(Dow Corning Toray Silicon)之DC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA及SH8400,來自GE東芝聚矽氧(GE Toshiba Silicone)之TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460及TSF-4452,來自BYK之BYK-333、BYK-307、BYK-3560、BYK UV-3535、BYK-361N、BYK-354及BYK-399等。此類界面活性劑可以單獨使用或以兩種或更多種之組合形式使用。
市售之氟類界面活性劑可以包含來自大日本油墨化學工業有限公司(Dainippon Ink Kagaku Kogyo Co.(DIC))之Megaface F-470、F-471、F-475、F-482、F-489及F-563。考慮至組合物之可塗佈性,此等界面活性劑中可以較佳來自BYK之BYK-333及BYK-307以及來自DIC之F-563。
以100重量份之共聚物(A)計,可以按0.01至10重量份、較佳0.1至1重量份之量採用界面活性劑。在上述量範圍內,可平滑地塗佈著色感光樹脂組合物。( H )溶劑
較佳地,可以將本發明之著色感光樹脂組合物製備成液體組合物,其中上文組分與溶劑混合。可以使用本領域中已知並且用於製備著色感光樹脂組合物之任何溶劑,所述溶劑與所述著色感光樹脂組合物之組分相容但不反應。
溶劑之實例可以包含二醇醚,諸如乙二醇單乙醚;乙二醇烷基醚乙酸酯,如乙酸溶纖劑乙酯;酯,諸如2-羥基丙酸乙酯;二乙二醇,諸如二乙二醇單甲醚;丙二醇烷基醚乙酸酯,諸如丙二醇單甲醚乙酸酯及丙二醇丙醚乙酸酯;以及乙酸烷氧基烷基酯,諸如乙酸3-甲氧基丁酯。溶劑可以單獨使用或以兩種或更多種之組合形式使用。
溶劑之量不受具體限制,但考慮至最終獲得之著色感光樹脂組合物之可塗佈性及穩定性,以著色感光樹脂組合物之總重量計,其可為50至90重量%,或70至85重量%。
另外,本發明之著色感光樹脂組合物可以包括其他添加劑,諸如抗氧化劑、穩定劑,只要不對著色感光樹脂組合物之實體特性造成不良影響亦即可。
因此,如上所述之本發明之著色感光樹脂組合物包括呈特定之莫耳比環氧基及雙鍵,以及相比習知肟酯類光聚合引發劑較少量之肟酯茀類光聚合引發劑,以使得可減少排氣之產生,所述排氣為在所述過程中可能產生之污染源。由於著色感光樹脂組合物具有優異之表面平滑性、靈敏度、彈性恢復率、解析度、耐化學性、電壓保持率、耐滲出性等性質,並且能夠形成使其表面上之不均勻褶皺之產生降至最低之固化膜,其可有利地用作用於形成光屏蔽隔離物(諸如黑色柱狀隔離物)之材料,以用於包含LCD及OLED顯示面板之各種電子部件面板。
包括上述組分之本發明之著色感光樹脂組合物可以藉由常用方法例如藉由以下方法來製備。
首先,著色劑預先與溶劑混合並使用珠磨機分散在其中,直至著色劑之平均粒徑達至期望水平為止。在此種情況下,可以使用界面活性劑,並且可以與共聚物之一部分或全部共混。向如此獲得之分散液中添加剩餘之共聚物及界面活性劑、可光聚合化合物及光聚合引發劑。若需要,將添加劑如環氧化合物或額外溶劑進一步摻混至一定濃度,接著充分攪拌它們以獲得期望之著色感光樹脂組合物。
本發明亦提供了一種由著色感光樹脂組合物製得之光屏蔽隔離物。具體地說,本發明提供一種由著色感光樹脂組合物製得之黑色柱狀隔離物(BCS),其中柱狀隔離物及黑色矩陣被整合成單個模組。圖1中說明黑色柱狀隔離物之圖案之實施例。
光屏蔽隔離物可具有0.5至2.0 /μm之光密度以及90%或更高之彈性恢復率。此外,當以3 μm之厚度形成固化膜時,光屏蔽隔離物在700 nm之波長處的透射率必須為5%或更小,以防止在其中光屏蔽隔離物被用於顯示器中之情況下紅色或綠色之光模糊現象。另外,為了便於在置放用於曝光之掩模之過程中關鍵之對準識別,在900 nm至950 nm範圍內之透射率必須為10%或更高。
柱狀隔離物、黑色矩陣或黑色柱狀隔離物可以藉由塗層形成步驟、曝光步驟、顯影步驟及熱處理步驟來製備。
在塗層形成步驟中,將根據本發明之著色感光樹脂組合物藉由旋塗法、狹縫塗佈法、輥塗法、絲網印刷法、塗佈器法等以期望厚度,例如1至25 μm,塗佈在經預處理之基板上,然後將其在70℃至100℃之溫度下預固化1至10分鐘,以藉由自中移除溶劑而形成塗層。
為了在塗佈膜中形成圖案,將具有預定形狀之掩模置於其上,然後用200至500 nm之活化射線照射。在此類情況下,為了製造整合型黑色柱狀隔離物,可以使用具有不同透射率之圖案之掩模來同時製備柱狀隔離物及黑色矩陣。作為用於照射之光源,可以使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬鹵化物燈、氬氣雷射器等;若需要,亦可以使用X射線、電子射線等。曝光率可以根據組合物之組分的種類及組成比以及乾燥塗層之厚度而變化。若使用高壓汞燈,則曝光率可為500 mJ/cm2
或更小(在365 nm之波長下)。
在曝光步驟之後,可以使用鹼性水溶液諸如碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、四甲基氫氧化銨等作為顯影溶劑以溶解並且移除不必要之部分,從而僅保留曝光部分以形成圖案。將藉由顯影獲得之圖像圖案冷卻至室溫,並在180℃至250℃溫度下之熱空氣循環型乾燥爐中後烘烤10至60分鐘,由此獲得最終圖案。
如此製得之光屏蔽隔離物因其優異的物理特性而可用於製造LCD、OLED顯示器等電子零件。因此,本發明提供包括光屏蔽隔離物之電子零件。
除了具備本發明之光屏蔽隔離物以外,LCD、OLED顯示器等可以包括本領域技術人員已知之其他組件。亦即,可以應用本發明之光屏蔽隔離物之LCD、OLED顯示器等可落入本發明之範疇內。
在下文中,將參照以下實例更詳細地描述本發明。然而,闡述此等實例係為了說明本發明,且本發明之範疇不限於此。製備實例 1 :共聚物( A )之製備
向配有回流冷凝器及攪拌器之500 ml圓底燒瓶中饋入100 g由51莫耳%N
-苯基馬來醯亞胺(N
-PMI)、4莫耳%苯乙烯(Sty)、10莫耳%丙烯酸4-羥丁基縮水甘油醚(4-HBAGE)及35莫耳%甲基丙烯酸(MAA)組成之單體混合物,以及作為溶劑之300 g丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)及作為自由基聚合引發劑之1.8 g2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)。然後將所述混合物加熱至70℃並攪拌5小時以獲得固體含量為31重量%之共聚物溶液(A)。如此製備之共聚物之酸值為100 mg KOH/g,並且在以聚苯乙烯為參照藉由凝膠滲透色譜法量測時重均分子量(Mw)為10,000。製備實例 2 :衍生自環氧樹脂並具有卡哆主鏈結構之化合物( E )之製備 步驟(1):9,9-雙[4-(縮水甘油氧基)苯基]茀之製備
向3000 ml之三頸圓底燒瓶中饋入200 g之甲苯、125.4 g之4,4'-(9-亞茀基)二酚及78.6 g之表氯醇,並將混合物加熱至40℃,同時攪拌以溶解。在容器中混合0.1386 g之第三丁基溴化銨及50% NaOH水溶液(3當量),並且將混合物緩慢添加至燒瓶中之攪拌溶液中。
將如此獲得之反應混合物加熱至90℃並反應1小時以完全消耗4,4'-(9-亞茀基)二酚,此藉由HPLC或TLC得到證實。將反應混合物冷卻至30℃,並且在攪拌下向其中添加400 ml之二氯甲烷及300 ml之1 N HCl。然後,分離有機層,用300 ml蒸餾水洗滌兩次或三次,用硫酸鎂乾燥,並且在減壓下蒸餾以移除二氯甲烷。所得物用二氯甲烷及甲醇之混合物重結晶,以由此獲得標題化合物,其為環氧樹脂化合物。 步驟(2):(((9H-茀-9,9-二基)雙(4,1-亞苯基))雙(氧))雙(2-羥基丙烷-3,1-二基)二丙烯酸酯(CAS 編號143182-97-2)之製備
向1,000 ml三頸燒瓶中饋入115 g之步驟(1)中獲得之化合物、50 mg之四甲基氯化銨、50 mg之2,6-雙(1,1-二甲基乙基)-4-甲基苯酚和35 g之丙烯酸。將混合物加熱至95℃,同時以25 ml/min之流速吹入空氣,並將其進一步加熱至120℃以完全溶解。攪拌所得反應混合物約12小時,直至其酸值降至小於1.0 mg KOH/g為止,並且然後冷卻至室溫。此後,在攪拌下將300 ml之二氯甲烷和300 ml之蒸餾水添加至反應混合物中。分離有機層,用300 ml之蒸餾水洗滌兩次或三次,經硫酸鎂乾燥,並且在減壓下蒸餾以移除二氯甲烷,由此獲得標題化合物。 步驟(3):衍生自環氧樹脂並具有卡哆主鏈結構之化合物之製備
向1,000 ml之三頸燒瓶中饋入於PGMEA中之在步驟(2)中獲得之化合物,並進一步向其中饋入1,2,4,5-苯四甲酸二酐(0.75當量)、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐(0.5當量)及三苯基膦(0.01當量)。在攪拌下將反應混合物加熱至120-130℃持續2小時,然後冷卻至85℃,隨後攪拌並加熱6小時。在混合物冷卻至室溫後,獲得衍生自環氧樹脂(E)之重均分子量(Mw)為6000且酸值為107 mg KOH/g(以固體含量計)之化合物之溶液(固體含量為49重量%)。製備實例 3 :著色分散液( D-1 )之製備
著色分散液由Tokushiki Co., Ltd.供應,所述分散液如下製備。
使用油漆振動器在25℃下將重均分子量為12,000至20,000 g/mol並且酸值為80至150 mg KOH/g之8 g丙烯酸共聚物溶液(甲基丙烯酸苄酯、苯乙烯及甲基丙烯酸之共聚物)(Tokushiki Co., Ltd.)、胺值為100至140 mg KOH/g之8 g丙烯酸聚合物分散劑(Tokushiki Co., Ltd.)、18 g炭黑、65 g內醯胺黑(Black 582,巴斯夫)及作為溶劑之384 g之PGMEA分散6小時。此分散步驟用0.3 mm氧化鋯珠粒進行。在完成分散步驟後,藉由過濾器將珠粒自分散液中移除,由此獲得固體含量為23重量%之著色分散液。製備實例 4 :著色分散液( D-2 )之製備
以與製備實例3相同之方式製備固體含量為23重量%之著色分散液,不同之處在於採用12 g炭黑、53 g內醯胺黑(Black 582,巴斯夫)作為有機黑且16 g C.I.顏料藍15:6用作著色劑(或顏料)。實例及比較實例:著色感光樹脂組合物之製備
使用以上製備實例中製備之化合物來製備如下文實例及比較實例中之感光樹脂組合物。
在實例及比較實例中使用以下額外組分。 [表1] 實例 1 :著色感光樹脂組合物之製備
以固體含量之重量計,將100重量份作為共聚物(A)之製備實例1中獲得之化合物、300重量份作為可光聚合化合物(B)之DPHA、2重量份作為光聚合引發劑(C-4)之SPI-02、385重量份作為著色劑之在製備例3中製備之著色分散液(D-1)及1.0重量份之界面活性劑(G)混合,接著添加作為溶劑(H)之PGMEA,使得固體含量達至19重量%,並且總重量為30 g。隨後將所得物均勻混合1小時,由此製備液相之著色感光樹脂組合物。實例 2 至 5 及比較實例 1 至 6 :著色感光樹脂組合物之製備
以與實施例1相同之方式製備著色感光樹脂組合物,不同之處在於如以下表2所示改變樹脂組合物之組成及/或組分之量。 [表2] 光屏蔽隔離物及固化膜之製備
將實例及比較實例中獲得之著色感光樹脂組合物各自用旋塗器塗佈在玻璃基板上,並在95℃下預烘烤150秒以形成厚度為3.8 μm之塗佈膜。將全色調掩模置放在如此形成之塗佈膜上,使得塗佈膜之5 cm×5 cm的區域100%暴露於光下,並且與基板之間隙保持在50 μm。此後,基於365 nm之波長,使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器(型號:MA6)以照射率為100 mJ/cm2
之光對塗佈膜照射一定時間段。然後在23℃下用稀釋至0.04重量%濃度之氫氧化鉀水溶液顯影,直至完全洗掉未曝光部分。將如此形成之圖案在230℃之烘箱中後烘烤30分鐘以獲得厚度為3.5 μm(± 0.1 µm)之光屏蔽隔離物。另外,在沒有掩模之情況下進行相同步驟以獲得其中未形成圖案之固化膜。測試實例 1 :靈敏度之評估
使用具有彼此不同透射率之全色調及半色調掩模代替上述全色調掩模,來製備其中隔離物厚度為3.5 μm並且光屏蔽膜厚度為2 μm之黑色柱狀隔離物(BCS),使其顯影10秒至20秒之顯影時間。量測形成隔離物圖案之最低曝光劑量。測試實例 2 :彈性之量測
根據如上所述用於製備固化膜之方法,製備在後烘烤時總厚度為3.5 μm(±0.1 μm)且隔離物點圖案直徑為35 μm之固化膜。使用彈性儀器(FISCHERSCOPE® HM2000LT,費希爾技術(Fisher Technology))根據以下量測條件量測壓縮位移及彈性恢復率。具體而言,使用四邊形形狀之50 μm × 50 μm平面維氏壓頭(Vickers indenter)作為用於壓製圖案之壓頭。藉由加載-卸載方法進行量測。在使用上述彈性儀器對點圖案施加1.96 mN之載荷之後,將其定義為用於量測機械特性-亦即壓縮位移及彈性恢復率-之初始條件(H0)。然後,將施加至每個圖案樣品上之載荷在厚度方向上以5兆牛頓/秒之速率增加至100 mN並保持5秒,並量測壓頭移動之距離(H1)。在保持5秒結束時,沿厚度方向以5兆牛頓/秒之速率釋放載荷。當藉由壓頭施加至點上之力達至1.96 mN時,將力保持5秒。量測壓頭移動之距離(H2)。根據以下公式1計算彈性恢復率。 [公式1] 彈性恢復率(%)= [(H1-H2)/(H1-H0) × 100]測試實例 3 :過程中排氣之量測
以與上述相同之方式製備厚度為3.0 μm、寬度為0.3 cm並且長度為0.7 cm之基板。隨後,量測使用熱解器(GC/MS)偵測之雜質總量作為排氣計數。測試實例 4 :表面特徵之評估
為了評估測試實例1之BCS中是否存在褶皺,用光學顯微鏡(STM6,奧林巴斯(Olympus))對其表面進行拍攝,並且照片如圖2所示。另外,若表面不平滑或沿厚度方向存在褶皺,則將其評價為不好;若表面光滑並且在厚度方向沒有褶皺,則評價為好。結果在下表3中示出。測試實例 5 :階差之評估
使用具有彼此不同之透射率之全色調及半色調掩模代替上述全色調掩模以使得圖案形成之曝光劑量製備BCS,其中隔離物之厚度為3.5 μm並且光屏蔽膜之厚度為2 μm,用光學顯微鏡(STM6,奧林巴斯)觀察其圖像。結果展示於表3及圖3中:測試實例 6 :光學密度之量測
以與上述相同之方式製備厚度為3.5 μm之固化膜。使用光學密度計(由Xlite製造之361T)量測固化膜在550 nm下之透射率,並且基於1 μm之厚度測定光學密度。 [表3]
* NM:不可量測;ND:未顯影
如圖2及3以及表3所示,由本發明範籌內之實施例組合物製備之固化膜(例如,光屏蔽隔離物(或黑色柱狀隔離物))產生相對少量之排氣,所述排氣在此過程中可能會造成污染問題;在靈敏度、彈性恢復率及光密度態樣總體上為優異的;沒有表面褶皺及可能由高度差異引起之不規則;並且有明顯階差。相反,由比較實例之組合物製備之固化膜的大部分物理性質差;具有不光滑表面、褶皺及/或不規則;階差不明顯或不能形成;並在過程中產生了相當大量排氣。附圖之參考符號
A:柱狀隔離物部分之厚度 B:黑色矩陣部分之厚度 C:柱狀隔離物部分之臨界尺寸(CD)
A‧‧‧厚度
B‧‧‧厚度
C‧‧‧臨界尺寸(CD)
圖1為光屏蔽隔離物(或黑色柱狀隔離物)之橫截面之實施例的示意圖。 圖2為由實例及比較實例之組合物形成的固化膜表面的照片,以評估其表面特徵。 圖3為由實例及比較實例之組合物形成的光屏蔽隔離物沿厚度方向之照片,以評估其中之階差形成。
Claims (16)
- 一種著色感光樹脂組合物,其包括: (A)包括環氧基之共聚物; (B)包括雙鍵之可光聚合化合物; (C)光聚合引發劑;及 (D)著色劑, 其中所述可光聚合化合物(B)中之雙鍵與所述共聚物(A)中之環氧基的莫耳比滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35;且 所述光聚合引發劑(C)包括下式1之肟酯茀類引發劑: [式1]其中R1 各自獨立地為氫、鹵素、C1-20 烷基、C3-20 環烷基、C6-30 芳基、C7-30 芳烷基、C1-20 烷氧基、C1-20 羥烷基或C1-20 羥烷氧基烷基, R2 及R3 各自獨立地為氫、鹵素、C1-20 烷基、C3-20 環烷基、C6-30 芳基、C7-30 芳烷基、C1-20 烷氧基、C1-20 羥烷基、C1-20 羥烷氧基烷基或C4-20 雜環, X為單鍵或羰基, A為氫、C1-20 烷基、C6-30 芳基、C1-20 烷氧基、C7-30 芳烷基、C1-20 羥烷基、C1-20 羥烷氧基烷基、C3-20 環烷基、胺基、羥基、硝基、氰基或, R4 為R5 、OR5 、SR5 、COR5 、CONR5 R5 、NR5 COR5 、OCOR5 、COOR5 、SCOR5 、OCSR5 、COSR5 、CSOR5 、CN、鹵素或羥基, R5 各自獨立地為C1-20 烷基、C6-30 芳基、C7-30 芳烷基或C4-20 雜環, n為0至4之整數。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其中R1 各自獨立地為氫、溴、氯、碘、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥基正丙基、羥基正丁基、羥基異丁基、羥基正戊基、羥基異戊基、羥基正己基、羥基異己基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、羥基乙氧基戊基、羥基乙氧基己基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基或異己基; R2 及R3 各自獨立為氫、溴、氯、碘、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥基正丙基、羥基正丁基、羥基異丁基、羥基正戊基、羥基異戊基、羥基正己基、羥基異己基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、羥基乙氧基戊基、羥基乙氧基己基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基、異己基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基或菲基;並且 A為氫、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、羥甲基、羥乙基、羥丙基、羥丁基、羥基甲氧基甲基、羥基甲氧基乙基、羥基甲氧基丙基、羥基甲氧基丁基、羥基乙氧基甲基、羥基乙氧基乙基、羥基乙氧基丙基、羥基乙氧基丁基、胺基、硝基、氰基或羥基。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其中R1 各自獨立地為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基或異己基; R2 及R3 各自獨立為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基、異己基、苯基、萘基、聯苯基、三聯苯基、蒽基、茚基或菲基;且 A為硝基、氰基或羥基。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述光聚合引發劑(C)進一步包括由下式2表示之三嗪類引發劑: [式2]其中R5 及R6 各自獨立地為鹵代甲基, R7 各自獨立地為氫、C1-4 烷基或C1-4 烷氧基,且 n為0至3之整數。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其進一步包括(E)衍生自環氧樹脂且具有雙鍵之化合物。
- 如申請專利範圍第5項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述可光聚合化合物(B)及衍生自環氧樹脂之所述化合物(E)中之雙鍵與所述共聚物(A)中之環氧基的莫耳比滿足以下關係: 4 ≤雙鍵莫耳數/環氧基莫耳數≤ 35。
- 如申請專利範圍第5項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述衍生自環氧樹脂並且具有雙鍵之化合物(E)具有卡哆(cardo)主鏈結構。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其包括按100重量份之所述共聚物(A)計,0.01至10重量份之量的所述光聚合引發劑(C)。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述著色劑為選自由黑色著色劑及除黑色以外之著色劑組成之群組中的至少一者。
- 如申請專利範圍第9項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述黑色著色劑包括選自由黑色無機著色劑及黑色有機著色劑組成之群組中之至少一種著色劑。
- 如申請專利範圍第9項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述除黑色以外之著色劑包括選自由藍色著色劑及紫色著色劑組成之群組中的至少一種著色劑。
- 如申請專利範圍第11項所述之著色感光樹脂組合物,其中以所述著色感光樹脂組合物之固體含量之總重量計,所述著色劑包括0至15重量%黑色無機著色劑、0至40重量%黑色有機著色劑及0至20重量%除黑色以外的著色劑。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物,其中所述著色劑包括分散樹脂,並且所述分散樹脂之胺值為3 mg KOH/g或更小,並且以組成單元之總莫耳數計,包括30莫耳%或更少的馬來醯亞胺單體。
- 一種光屏蔽隔離物,其由如申請專利範圍第1項所述之著色感光樹脂組合物製成。
- 如申請專利範圍第14項所述之光屏蔽隔離物,其具有0.5至2.0/ μm之光密度。
- 如申請專利範圍第14項所述之光屏蔽隔離物,其具有90%或更高的彈性恢復率。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
??10-2017-0073410 | 2017-06-12 | ||
KR1020170073410A KR20180135370A (ko) | 2017-06-12 | 2017-06-12 | 착색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 차광성 스페이서 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201902945A true TW201902945A (zh) | 2019-01-16 |
Family
ID=64563573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107118810A TW201902945A (zh) | 2017-06-12 | 2018-05-31 | 著色感光樹脂組合物及由其製備之光屏蔽隔離物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180356722A1 (zh) |
JP (1) | JP2019003180A (zh) |
KR (1) | KR20180135370A (zh) |
CN (1) | CN109031888A (zh) |
TW (1) | TW201902945A (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7331371B2 (ja) * | 2019-02-04 | 2023-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | 感光性着色樹脂組成物、硬化物、及び画像表示装置 |
JP7229187B2 (ja) * | 2020-01-29 | 2023-02-27 | Jsr株式会社 | 重合体組成物、硬化膜及び有機el素子 |
US20220112321A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | High refractive index materials |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4818458B2 (ja) * | 2009-11-27 | 2011-11-16 | 株式会社Adeka | オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤 |
EP2845845B1 (en) * | 2012-05-03 | 2019-07-03 | Korea Research Institute of Chemical Technology | Novel oximester fluorine compound, and photopolymerization initiator and photoresist composition comprising same |
JP6065596B2 (ja) * | 2013-01-16 | 2017-01-25 | Jsr株式会社 | 感放射線性着色組成物、着色硬化膜及び表示素子 |
KR101435652B1 (ko) * | 2014-01-17 | 2014-08-28 | 주식회사 삼양사 | 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물 |
KR20150134989A (ko) * | 2014-05-23 | 2015-12-02 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 컬럼 스페이서 및 블랙 매트릭스를 동시에 구현할 수 있는 착색 감광성 수지 조성물 |
-
2017
- 2017-06-12 KR KR1020170073410A patent/KR20180135370A/ko active Search and Examination
-
2018
- 2018-05-31 US US15/993,645 patent/US20180356722A1/en not_active Abandoned
- 2018-05-31 TW TW107118810A patent/TW201902945A/zh unknown
- 2018-06-01 JP JP2018106510A patent/JP2019003180A/ja active Pending
- 2018-06-11 CN CN201810595056.4A patent/CN109031888A/zh not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180135370A (ko) | 2018-12-20 |
JP2019003180A (ja) | 2019-01-10 |
US20180356722A1 (en) | 2018-12-13 |
CN109031888A (zh) | 2018-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI667336B (zh) | 適用於柱狀間隔子及黑色矩陣兩者之有色光敏樹脂組成物 | |
JP2022028693A (ja) | カラムスペーサを調製するための方法 | |
JP2023093544A (ja) | 着色感光性樹脂組成物及びそれから調製される遮光スペーサ | |
TWI775785B (zh) | 著色感光性樹脂組合物及由其製備之遮光間隔區 | |
TW201902945A (zh) | 著色感光樹脂組合物及由其製備之光屏蔽隔離物 | |
KR102437844B1 (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 | |
TWI723061B (zh) | 著色感光性樹脂組合物及由其製備之遮光隔片 | |
JP7079198B2 (ja) | 黒色感光性樹脂組成物及びそれから調製される黒色カラムスペーサ | |
TWI788367B (zh) | 著色感光性樹脂組合物及由其製備之遮光間隔物 | |
TWI801387B (zh) | 著色感光性樹脂組合物及由其製備之遮光間隔物 | |
TWI751966B (zh) | 著色感光性樹脂組成物以及由其製備之遮光隔片 | |
US10747110B2 (en) | Colored photosensitive resin composition and light shielding spacer prepared therefrom | |
KR20210076490A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 착색 스페이서 |