TW201809843A - 用以改良epi均勻微調的加熱調變器 - Google Patents

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Abstract

於此所揭露的實施例通常關於一種處理腔室，且更具體地關於用於在處理腔室中使用的加熱調變器組件。加熱調變器組件包括加熱調變器殼體和複數個加熱調變器。加熱調變器殼體包括殼體構件，殼體構件界定殼體平面、側壁和環形延伸部。側壁垂直於殼體平面而延伸。環形延伸部從側壁向外延伸。複數個加熱調變器定位在殼體構件中。

Description

用以改良EPI均勻微調的加熱調變器
於此所描述的實施例通常關於處理腔室，且更具體地關於用於在處理腔室中使用的加熱調變器組件。
在製造積體電路中，使用沉積製程以將各種材料的膜沉積在半導體基板上。這些沉積製程可能發生在封閉的處理腔室中。磊晶是一種其在基板的表面上生長通常為矽或鍺的薄的、超純的層的沉積製程。在越過基板的表面以均勻的厚度在基板上形成磊晶層可能是具有挑戰性的。例如，通常存在有磊晶層的一部分，其中由於未知原因導致厚度下降或上升。這些厚度變化會降低磊晶層的品質並增加生產成本。
因此，存在有一種改進基板溫度輪廓的改進的處理腔室的需求。
於此所揭露的實施例通常關於一種處理腔室，且更具體地關於用於在處理腔室中使用的加熱調變器組件。加熱調變器組件包括加熱調變器殼體和複數個加熱調變器。加熱調變器殼體包括殼體構件，殼體構件界定殼體平面、側壁和環形延伸部。側壁垂直於殼體平面而延伸。環形延伸部從側壁向外延伸。複數個加熱調變器定位在殼體構件中。
在另一個實施例中，於此揭露了一種處理腔室。處理腔室包括腔室主體、基板支撐件、上部內反射器和加熱調變器組件。腔室主體界定內部容積。基板支撐件設置在腔室主體中。基板支撐件經配置以支撐用於處理的基板。上部內反射器設置在腔室主體中，在基板支撐件之上方。加熱調變器組件設置在上部內反射器中。加熱調變器組件包括加熱調變器殼體和複數個加熱調變器。加熱調變器殼體包括殼體構件，殼體構件界定殼體平面、側壁和環形延伸部。側壁垂直於殼體平面而延伸。環形延伸部從側壁向外延伸。複數個加熱調變器定位在殼體構件中。
在另一個實施例中，於此揭露了一種處理基板的方法。在基板的表面上形成磊晶層。複數個加熱燈加熱基板。一或多個加熱調變器藉由加熱目標區域來微調目標區域中的基板的溫度。
第1圖是根據一個實施例的處理腔室100的側剖視圖。處理腔室100經配置以在其中設置的基板101上沉積磊晶膜。處理腔室100包括具有一或多個側壁103、底部104、頂部106、上部圓頂108和下部圓底110的腔室主體102。腔室主體102界定內部容積111。
處理腔室100可進一步包括設置在其中的基板支撐件112，其可為基座。基板支撐件112經配置以在處理期間支撐基板101。處理腔室100進一步包括一或多個燈114。一或多個燈114可設置在基板支撐件112的上方及/或下方。在一個實施例中，燈114可為鎢絲燈。燈114經配置以透過下部圓底110引導輻射(諸如紅外輻射)，以加熱基板101及/或基板支撐件112。下部圓底110可由透明材料(諸如石英)所製成。處理腔室可進一步包括下部外反射器116和下部內反射器118。下部外反射器116位於下部圓底110的下方，至少部分地圍繞下部內反射器118。下部外反射器116和下部內反射器118可由鋁形成並鍍有的反射材料(諸如金)。溫度感測器120(諸如高溫計)可安裝在下部內反射器118中，以偵測基板支撐件112或基板101的背側的溫度。
位於基板支撐件112之上方的燈114經配置以將輻射（諸如紅外輻射）引導透過上部圓頂108朝向基板支撐件112。上部圓頂108可由透明材料(諸如石英)所形成。處理腔室100可進一步包括上部內反射器122和上部外反射器124。上部外反射器124可至少部分地圍繞上部內反射器122。上部內反射器122和上部外反射器124可由鋁所形成並鍍有反射材料(諸如金)。在一個實施例中，燈114可定位在上部外反射器124中，但位於上部內反射器122的外部。
處理腔室100可進一步包括具有一或多個加熱調變器126的加熱調變器組件125。加熱調變器組件125可定位在上部內反射器122內。加熱調變器126經配置以藉由微調基板溫度而在基板101的某些區域處增加基板101的溫度。加熱調變器126能夠補償基板101上的冷點/環，從而導致更均勻的磊晶生長。例如，SiP和SEG Si製程的厚度輪廓表明冷點及/或環的寬度為40-80mm，幅度為1-8℃。下面結合第8-10圖更詳細地論述加熱調變器126（加熱調變器800、900和1000）的三個例子。三種加熱調變器可用於處理基板101的不同寬度。
處理腔室100可耦接到一或多個處理氣體源130，其可供應在磊晶沉積中使用的處理氣體。處理腔室100可進一步耦接到排氣裝置132(諸如真空泵)。在一些實施例中，處理氣體可在處理腔室100的一側（如，第1圖的左側）上供應。氣體可在相對側（如，第1圖的右側）上從處理腔室100排出，以在基板101之上方產生處理氣體的交叉流。處理腔室100還可連接到淨化氣體源134。
第2圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件125的橫截面圖。加熱調變器組件125包括界定殼體平面294、側壁291、環形延伸部293和一或多個加熱調變器126的加熱調變器殼體200。側壁291垂直於殼體平面294而延伸。環形延伸部從側壁291向外延伸。加熱調變器殼體200可定位在上部內反射器122的內部容積中。加熱調變器殼體200經配置以在上部內反射器122中進行翻新。翻新設計經配置以延長電流硬體的能力。在第2圖所示的實施例中，一或多個加熱調變器126是垂直燈202，亦即，一或多個加熱調變器126具有平行於加熱調變器殼體200的側壁291的長軸299。垂直燈202設置在加熱調變器殼體200中。在一個實施例中，垂直燈202可定位在管204中。管204可由反射材料(諸如金)所形成。在另一個實施例中，管204可包括反射材料的塗層。在又另一個實施例中，殼體200的下表面亦可包括反射塗層。垂直燈202可位於上部圓頂108附近。在一個實施例中，垂直燈202可定位成儘可能靠近上部圓頂108。
幾個因素可能影響垂直燈202的微調能力。在一個實施例中，垂直燈202之間的間隔S可影響將接收來自燈202的輻射的基板101上的關注區域。對於例如，將間距S增加約20％的變化。在另一個實施例中，管204的直徑D影響朝向基板101的輻射的強度。例如，將直徑D降低約20％的變化。通常，垂直燈之間的間隔S可為恆定的或不恆定的。例如，與上部內反射器的周邊附近的垂直燈202之間的間隔相比，上部內反射器122的中心附近的垂直燈202之間的間距可更靠近。替代地，與上部內反射器122的中心附近的垂直燈202的間隔相比，上部內反射器122的周邊附近的垂直燈202之間的間隔可更靠近。在一個實施例中，較靠近上部內反射器122的中心的垂直燈202之間的間隔為約2cm，而上部內反射器122的周邊附近的垂直燈202之間的間隔為約4cm。另外，管204可包括與垂直燈122相似的間隔。例如，與上部內反射器122的周邊附近的管204之間的間隔相比，上部內反射器122的中心附近的管204之間的間隔可更靠近。替代地，與上部內反射器122的中心附近的管204的間隔相比，上部內反射器122的周邊附近的管204之間的間隔可更靠近。
如第2圖所示，加熱燈114可繞上部內反射器122而定位。在一個實施例中，垂直燈202可定位在與加熱燈114相同的水平面上。垂直燈202相對於加熱燈114的定位亦可對基板101的輻照度分佈有影響。
每個垂直燈202通常沿著管204的縱向軸線從垂直燈202的第一端延伸到其第二端。第一端可距離管204的相應端部1-10mm，且第二端可距離管開口為1-20mm。管204內的垂直燈202的凹陷深度可為恆定的，或可根據任何圖案或關係而變化。例如，在一個實施例中，複數個第一垂直燈202在它們各自的管204內凹入第一深度，且複數個第二垂直燈202在它們各自的管204內凹入與第一深度不同的第二深度。在一個實施例中，殼體200可包括形成在其中的導管280。導管280可經配置以使冷卻流體流動透過殼體200的側壁。在另一個實施例中，殼體的導管280可與殼體200中的第二流體導管（未顯示）流體連通。還可將任選的導管投入殼體200，以流動冷卻流體。他們可能最終想要這個。流體在頂部進出。還可透過內反射器的壁向下流動到殼體200。
第3圖顯示了根據一個實施例的具有加熱調變器組件125的處理腔室100的頂視圖。燈114顯示為水平地圍繞上部內反射器122。在一個實施例中，燈114沿著腔室半徑以長軸定向。燈114在上部外反射器124和上部內反射器122之間延伸。在第3圖的實施例中，上部內反射器122具有圓形形狀，且上部外反射器124具有帶角部的截面線性形狀，因而形成圍繞燈114的殼體。加熱調變器殼體200顯示為具有單軸型態302。加熱調變器殼體200以垂直方式沿著單軸將加熱調變器126容納在上部內反射器122的內部中。在一個實施例中，加熱調變器126以兩列322、324和6行326、327、328、329、330、331而佈置，沿垂直於第3圖中的平面的方向延伸。六行326-331的三行（326-328）位於加熱調變器殼體200的第一側334上。六行326-331的三行（329-331）位於加熱調變器殼體200的第二側336上。在第一側334上的加熱調變器126的第一行326和在第二側336上的加熱調變器126的第一行331位於遠離加熱調變器殼體200的中心C大約75mm處。第一側334上的加熱調變器126的最後一行328和第二側336上的加熱調變器126的最後一行329位於距加熱調變器殼體200的中心C大約25mm處。加熱調變器126可間隔開，使得加熱調變器126可將輻射引導到基板101上的特定關注區域。例如，如第2圖所示，加熱調變器126佈置在兩個叢集304、306中。每個叢集304、306包括三對加熱調變器126。在一個實施例中，該等加熱調變器對126間隔開約30mm。具有單軸型態302的加熱調變器殼體200能夠具有其他光調變器佈置。
第4圖顯示了根據另一實施例的處理腔室100的頂視圖。加熱調變器殼體200具有雙軸型態400。雙軸型態400經配置以使得加熱調變器126可沿著加熱調變器殼體200的第一軸線402和第二軸線404而定位。不同的加熱調變器殼體200的形狀影響由加熱調變器126所產生的輻照度輪廓。雙軸型態具有四個臂結構412-416，每個臂結構412-416具有相同數量的加熱調變器-在第4圖的實施例中，三個加熱調變器-儘管每個臂結構中的加熱調變器的數量可能不同。在一個實施例中，從型態400的中心到每個臂結構中的第一加熱調變器126的距離可為75mm。在一個實施例中，從每個臂結構410-416中的最後一個加熱調變器126（最靠近相應臂結構的端部）到相應臂結構的端部的距離為0.1mm至20mm。
第5圖顯示了根據另一實施例的處理腔室100的頂視圖。加熱調變器殼體200具有多軸型態500。多軸型態500經配置以使得加熱調變器可沿著上部內反射器122的內部中的兩或更多個軸而定位。在多軸型態500中，加熱調變器126可間隔開約50mm，使得位於兩個不同軸線的加熱調變器126不對準。如第5圖的例子所示，多軸型態500包括以四組三個一組佈置的十二個加熱調變器126。每三個一組沿著從型態500的中心附近的位置到型態500的周邊附近的位置的螺旋曲線而對準。靠近中心的位置是從中心到上部內反射器122的邊緣的距離的約40％。每組具有最內加熱調變器510、中間加熱調變器512和最外加熱調變器514。最內加熱調變器510佈置在第一方形520（以虛線顯示）中，中間加熱調變器512佈置在第二方形522（以虛線顯示）中，且最外加熱調變器514佈置在第三方形524(以虛線顯示）中。第一方形520具有第一長度和第一寬度。第二方形522具有第二長度和第二寬度。第三方形524具有第三長度和第三長度。第一長度小於第二長度。第一寬度小於第二寬度。第二長度小於第三長度。第二寬度小於第三寬度。在一個實施例中，第一方形520、第二方形522和第三方形524共享相同的中心。第二方形522相對於第一方形520和第三方形524而旋轉。第三方形524相對於第一方形520和第二方形522而旋轉。在第5圖的實施例中，第二方形522相對於第一方形520的角度為約40°，且第三方形524相對於第二方形522的角度為約30°。可調節加熱調變器126在型態500中的相對位置，以實現關於螺旋曲線和方形的任何所欲的間隔或定向，包括在某些情況下使方形為矩形。
第6圖顯示了根據另一實施例的加熱調變器組件125的橫截面圖。加熱調變器組件125包括加熱調變器殼體600和一或多個加熱調變器126。加熱調變器殼體600基本上類似於加熱調變器殼體200。在第6圖所示的實施例中，一或多個加熱調變器126是水平燈602，亦即，一或多個加熱調變器126具有垂直於加熱調變器殼體600的側壁的長軸630。水平燈602設置在加熱調變器殼體600中。在一個實施例中，水平燈602設置在管604中。一或多個水平燈602可設置在每個管604中。管604可由反射材料(諸如金)所形成。水平燈602可經定位以使得管604與形成在加熱調變器殼體600中的開口606連通。管604可以階梯式方式而堆疊在加熱調變器殼體600中。在一個實施例中，管604可圍繞中心開口606而堆疊。例如，可存在堆疊在中心開口606的第一側上的三個管604和堆疊在中心開口606的第二側上的三個管604。階梯型態允許每個開口在給定的管604與加熱調變器殼體600的出口表面之間流體連通。在一個實施例中，每個管604與單個開口606連通。在另一個實施例中，一或多個管604與單個開口606連通。水平燈602經配置以將輻射沿著開口606向下朝基板101的表面而引導。
第7A圖顯示了根據另一實施例的加熱調變器組件125的橫截面圖。加熱調變器組件125包括加熱調變器殼體700和一或多個加熱調變器126。加熱調變器殼體700基本上類似於加熱調變器殼體200和600。加熱調變器殼體700包括一或多個環形開口704。一或多個環形開口704容納一或多個加熱調變器126。在第7A圖所示的實施例中，一或多個加熱調變器126為線性燈702的形式。線性燈702可繞每個環形開口704的圓周而分段地佈置。如第7A圖所示，線性燈的佈置是軸對稱的。一或多個環形開口704包括可由金所形成的反射表面706。環形開口704具有橫截面形狀，其形成在環形開口704附近所發射的輻射的焦點。該形狀可為圓形、橢圓形、拋物線形、雙曲線、多邊形，或其任何混合物或中間物。例如，第7B圖顯示了加熱調變器組件125的橫截面圖，該加熱調變器組件125具有多邊形的開口714。環形開口704可為具有相同的焦點特徵的相同形狀，或具有不同的焦點特徵的不同形狀。例如，環形開口704的焦點可與設置在環形開口704中的燈絲702一起界定一條線，其平行於上部內反射器122的側面720，或不平行於上部內反射器122的側面720，根據任何程度。環形開口704的橫截面形狀在其整個長度上可為恆定的，或者可根據任何圖案而變化。線性燈702可位於加熱調變器殼體700中的不同焦點處。在一個實施例中，線性燈702的燈絲（未顯示）將為小的，且焦點接近反射表面706。這導致藉由將燈絲定位在拋物面溝槽的焦點附近來實現均勻的覆蓋。例如，燈絲的直徑將約為2.5mm，且焦距為遠離反射表面706 5mm。在一個實施例中，線狀燈702位於物體的平面處，且基板101位於成像平面。
在一個實施例中(諸如第7C圖所示的實施例)，加熱調變器組件125包括位於開口704中的一或多個發光二極體（LED）加熱源720。例如，一或多個LED加熱源720可圍繞冷卻管212而定位。
第8圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器800。可使用加熱調變器800代替任何上述參考實施例中的加熱調變器126。加熱調變器800包括主體802。主體802界定內部容積803。加熱調變器800進一步包括設置在內部容積803中的燈804、第一凸透鏡806和第二凸透鏡808。第一凸透鏡806經配置以收集和準直來自燈804的射線。第二凸透鏡808經配置以將準直射線會聚在基板101上。加熱調變器800經定位以使得基板101位於第二凸透鏡808的焦點處。因為加熱調變器800位於管反射器中，管反射器有助於將射線的能量耗散到第一凸透鏡806的收集角度之外側。加熱調變器800能夠將低能量傳遞到基板101上的中等尺寸的區域。
第9圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器900。加熱調變器900包括燈902和橢圓反射器904。在一個實施例中，燈902是快速熱處理（RTP）燈。燈902和基板101被定位成使得它們位於橢圓反射器904的焦點處。從燈902發射並藉由橢圓反射器而收集的射線會聚在第二焦點處，亦即，在基板101上。基板將從燈902接收一部分直接和分散的照射，而不進行任何聚焦。加熱調變器900經配置以向基板101的大區域輸送高能量。
第10圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器1000。加熱調變器1000包括二極體雷射1002、光纖1004和凸透鏡1006。二極體雷射1002透過光纖1004而輸送。凸透鏡1006安裝在光纖1004的前面。凸透鏡經配置以控制基板101上的雷射光斑尺寸。加熱調變器1000經配置以將高能量傳送到基板101的小區域。
在第8-10圖中論述於上的任何加熱調變器（800、900、1000）可用在第1-7圖中所論述的加熱調變器組件中。此外，可在井處使用加熱調變器（800-1000）的任何組合。
在操作中，處理腔室在基板的表面上形成磊晶層。一或多個加熱燈114經配置以加熱至少基板的頂表面。在一個實施例中，一或多個加熱燈114還經配置以加熱基板的底表面。加熱調變器組件125選擇性地加熱基板上的關注區域。例如，加熱調變器經配置以微調基板溫度，使得避免在傳統處理期間發生的典型冷點。
儘管前述內容涉及具體實施例，但是其他和另外的實施例可經設計而不背離其基本範圍，且其範圍由以下的申請專利範圍而決定。
100‧‧‧處理腔室
101‧‧‧基板
102‧‧‧腔室主體
103‧‧‧側壁
104‧‧‧底部
106‧‧‧頂部
108‧‧‧上部圓頂
110‧‧‧下部圓底
111‧‧‧內部容積
112‧‧‧基板支撐件
114‧‧‧燈
116‧‧‧下部外反射器
118‧‧‧下部內反射器
120‧‧‧溫度感測器
122‧‧‧反射器/垂直燈
124‧‧‧上部外反射器
125‧‧‧加熱調變器組件
126‧‧‧加熱調變器
130‧‧‧處理氣體源
132‧‧‧排氣裝置
134‧‧‧淨化氣體源
200‧‧‧殼體
202‧‧‧垂直燈
204‧‧‧管
280‧‧‧導管
291‧‧‧側壁
293‧‧‧環形延伸部
294‧‧‧殼體平面
299‧‧‧長軸
302‧‧‧單軸型態
304‧‧‧叢集
306‧‧‧叢集
320
322‧‧‧列
324‧‧‧列
326‧‧‧行
327‧‧‧行
328‧‧‧行
329‧‧‧行
330‧‧‧行
331‧‧‧行
334‧‧‧第一側
336‧‧‧第二側
400‧‧‧型態
402‧‧‧第一軸線
404‧‧‧第二軸線
410‧‧‧臂結構
412‧‧‧臂結構
414‧‧‧臂結構
416‧‧‧臂結構
500‧‧‧型態
510‧‧‧最內加熱調變器
512‧‧‧中間加熱調變器
514‧‧‧最外加熱調變器
520‧‧‧第一方形
522‧‧‧第二方形
524‧‧‧第三方形
600‧‧‧加熱調變器殼體
602‧‧‧水平燈
604‧‧‧管
606‧‧‧開口
630‧‧‧長軸
700‧‧‧加熱調變器殼體
702‧‧‧線性燈/燈絲
704‧‧‧開口
706‧‧‧反射表面
712
714‧‧‧開口
720‧‧‧側面/加熱源
800‧‧‧加熱調變器
802‧‧‧主體
803‧‧‧內部容積
804‧‧‧燈
806‧‧‧第一凸透鏡
808‧‧‧第二凸透鏡
900‧‧‧加熱調變器
902‧‧‧燈
904‧‧‧橢圓反射器
1000‧‧‧加熱調變器
1002‧‧‧二極體雷射
1004‧‧‧光纖
1006‧‧‧凸透鏡
因此，可詳細地理解本揭露書的上述特徵的方式，可藉由參考實施例來對簡要概述於上的本揭露書的更具體的描述而獲得，其中一些實施例顯示在附隨的圖式中。然而，應當注意附隨的圖式僅顯示了這份揭露書的典型實施例，且因此不應將視為限制其範圍，因為本揭露可允許其他等效的實施例。
第1圖顯示了根據一個實施例的處理腔室100的側剖視圖。
第2圖顯示了根據一個實施例的第1圖的處理腔室的上部光調變器組件的側剖視圖。
第3圖顯示了根據一個實施例的具有加熱調變器組件的第1圖的處理腔室的頂視圖。
第4圖顯示了根據一個實施例的具有加熱調變器組件的第1圖的處理腔室的頂視圖。
第5圖顯示了根據一個實施例的具有加熱調變器組件的第1圖的處理腔室的頂視圖。
第6圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的橫截面圖。
第7A圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的橫截面圖。
第7B圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的橫截面圖。
第7C圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的橫截面圖。
第8圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的加熱調變器。
第9圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的加熱調變器。
第10圖顯示了根據一個實施例的加熱調變器組件的加熱調變器。
為了清楚起見，在適用的情況下已經使用相同的元件符號，以表示在圖式之間共用的相同元件。另外，一個實施例的元件可有利地適於在於此所述的其它實施例中利用。
國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無
國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
100‧‧‧處理腔室
101‧‧‧基板
102‧‧‧腔室主體
103‧‧‧側壁
104‧‧‧底部
106‧‧‧頂部
108‧‧‧上部圓頂
110‧‧‧下部圓底
111‧‧‧內部容積
112‧‧‧基板支撐件
114‧‧‧燈
116‧‧‧下部外反射器
118‧‧‧下部內反射器
120‧‧‧溫度感測器
122‧‧‧反射器/垂直燈
125‧‧‧加熱調變器組件
126‧‧‧加熱調變器
130‧‧‧處理氣體源
132‧‧‧排氣裝置
134‧‧‧淨化氣體源

Claims (20)

  1. 一種用於在一磊晶腔室中使用的加熱調變器組件，包含： 一加熱調變器殼體，包含一殼體構件，該殼體構件界定一殼體平面、一側壁和一環形延伸部，該側壁垂直於該殼體平面而延伸，該環形延伸部從該側壁向外延伸；及複數個加熱調變器，定位在該殼體構件中。
  2. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器經定位成使得該等加熱調變器的一長軸平行於該側壁。
  3. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器經定位成使得該等加熱調變器的一長軸平行於該殼體平面。
  4. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器被軸對稱地佈置。
  5. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器之每一個包含： 一主體；一燈絲，設置在該主體中；一第一凸透鏡，設置在該主體中，以收集和準直來自該燈絲的多個射線；及一第二凸透鏡，設置在該主體中，將準直的該等射線會聚到一基板上。
  6. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器之每一個包含： 一燈；及一橢圓反射器，圍繞該燈而定位，使得該燈被定位在該橢圓反射器的一焦點處。
  7. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器之至少一個包含： 一個二極體雷射；一光纖，位於該二極體雷射附近；及一凸透鏡，安裝在該光纖之間，以控制一雷射光斑尺寸。
  8. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該等加熱調變器沿著一單個軸線而佈置。
  9. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該加熱調變器殼體是呈現一雙軸佈置，其中該等加熱調變器沿著一第一軸線和一第二軸線而佈置。
  10. 如請求項1所述之加熱調變器組件，其中該加熱調變器殼體是呈現一多軸佈置，其中該等加熱調變器沿著兩或更多個軸線而佈置。
  11. 一種處理腔室，包含： 一腔室主體，界定一內部容積；一基板支撐件，設置在該腔室主體中，該基板支撐件經配置以支撐用於處理的一基板；一上部內反射器，設置在該腔室主體中，在該基板支撐件之上方；及一加熱調變器組件，設置在該上部內反射器中，該加熱調變器組件包含：一加熱調變器殼體，包含一殼體構件，該殼體構件界定一殼體平面、一側壁和一環形延伸部，該側壁垂直於該殼體平面而延伸，該環形延伸部從該側壁向外延伸；及複數個加熱調變器，定位在該殼體構件中。
  12. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器經定位成使得該等加熱調變器的一長軸平行於該側壁。
  13. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器經定位成使得該等加熱調變器的一長軸平行於該殼體平面。
  14. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器被軸對稱地佈置。
  15. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器之至少一個包含： 一主體；一燈絲，設置在該主體中；一第一凸透鏡，設置在該主體中，以收集和準直來自該燈絲的多個射線；及一第二凸透鏡，設置在該主體中，將準直的該等射線會聚到一基板上。
  16. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器之至少一個包含： 一燈；及一橢圓反射器，圍繞該燈而定位，使得該燈被定位在該橢圓反射器的一焦點處。
  17. 如請求項11所述之處理腔室，其中該等加熱調變器之至少一個包含： 一個二極體雷射；一光纖，位於該二極體雷射附近；及一凸透鏡，安裝在該光纖之間，以控制一雷射光斑尺寸。
  18. 一種處理一基板的方法，包含以下步驟： 在一基板的一表面上形成一磊晶層；以複數個加熱燈加熱該基板；及藉以複數個加熱調變器加熱一目標區域來微調該目標區域中的該基板的溫度。
  19. 如請求項18所述之方法，其中加熱該基板的該目標區域之步驟包含以下步驟： 以該等加熱調變器向該基板的該表面供應熱量，其中每個加熱調變器包含：一主體；一燈絲，設置在該主體中；一第一凸透鏡，設置在該主體中，以收集和準直來自該燈絲的多個射線；及一第二凸透鏡，設置在該主體中，將準直的該等射線會聚到一基板上。
  20. 如請求項18所述之方法，其中加熱該基板的該目標區域之步驟包含以下步驟： 以複數個加熱調變器向該基板的該表面供應熱量，其中每個加熱調變器包含：一燈；及一橢圓反射器，圍繞該燈而定位，使得該燈被定位在該橢圓反射器的一焦點處。
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