TW201734405A - 三維測量裝置 - Google Patents

三維測量裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201734405A
TW201734405A TW105130279A TW105130279A TW201734405A TW 201734405 A TW201734405 A TW 201734405A TW 105130279 A TW105130279 A TW 105130279A TW 105130279 A TW105130279 A TW 105130279A TW 201734405 A TW201734405 A TW 201734405A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
imaging
light
illumination
range
image data
Prior art date
Application number
TW105130279A
Other languages
English (en)
Inventor
Ikuo Futamura
Tsuyoshi Ohyama
Norihiko Sakaida
Original Assignee
Ckd Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ckd Corp filed Critical Ckd Corp
Publication of TW201734405A publication Critical patent/TW201734405A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本發明的目的在於提供能夠在進行三維測量時謀求測量精度的提升等的三維測量裝置。本發明的基板檢查裝置10係具備：輸送機13，係搬送印刷基板1；照明裝置14，係對印刷基板1的表面照射預定的光；及攝像機15，係對受到該光照射的印刷基板1進行攝像。此外，在複數個時序對連續搬送的印刷基板1於同一照明的光下進行攝像，執行將該攝像結果按印刷基板1上各座標位置相加並取平均的處理，藉此，取得用於三維測量等預定用途的1個圖像資料。

Description

三維測量裝置
本發明係有關進行三維測量的三維測量裝置。
一般而言，在印刷基板上安裝電子零件時，首先係在配設於印刷基板上的預定的電極圖案上印刷銲膏。接著，基於該銲膏的黏性而將電子零件初步固定於印刷基板上。然後，將前述印刷基板送進迴銲(reflow)爐，經預定的迴銲步驟，藉此進行銲接。最近，係有必須在送進迴銲爐的前階段檢測銲膏的印刷狀態，而於進行該檢查時使用三維測量裝置的情形。
近年來，已有各種使用光的非接觸式的三維測量裝置被提出。例如使用相移法的三維測量裝置普遍為人所知。
就使用相移法的三維測量裝置而言，例如已知有一種三維測量裝置，係具備：搬送手段，係搬送被測量物；照射手段，係對該被測量物照射條紋狀的圖案光；及攝像手段，係對受到該圖案光照射的被測量物進行攝像(參照例如下述之專利文獻1、2)。就攝像手段而言，係使用由透鏡(lens)及攝像元件等構成的CCD(Charge Coupled Device；電荷耦合元件)攝像機 (camera)等。
在上述的三維測量裝置中，係在複數個時序對所搬送的被測量物進行攝像，藉此，能夠取得被測量物上的光強度分布逐個相差圖案光的預定相位量的複數個圖像資料。此外，能夠根據該些複數個圖像資料，以相移法進行被測量物的三維測量。
例如在取得被測量物上的光強度分布逐個相差圖案光的90°相位量的4種圖像資料的情形中，該4種圖像資料的被測量物上的預定的座標位置的亮度值I0至I3係能夠分別以下式(1)至(4)表示。
I0=αsinθ+β．．．(1)
I1=αsin(θ+90°)+β=αcosθ+β．．．(2)
I2=αsin(θ+180°)+β=-αsinθ+β．．．(3)
I3=αsin(θ+270°)+β=-αcosθ+β．．．(4)
其中，α：增益(gain)，β：偏移(offset)，θ：圖案光的相位。
針對相位θ求解上述式(1)至(4)，便能夠導出下式(5)。
θ=tan-1{(I0-I2)/(I1-I3)}…(5)
接著，能夠使用如上述算出的相位θ，根據三角測量的原理求取被測量物上各座標(X,Y)的高度(Z)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2012-247375號公報
專利文獻2：日本特開2013-156045號公報
然而，在習知技術中，係在複數個時序對所搬送的被測量物進行攝像，故係以攝像元件的不同像素分別對被測量物上的預定的座標位置進行攝像。因此，當攝像元件各像素的感度等性能具有變異時，會成為測量誤差的原因。尤其在使用相移法的三維測量中，係根據以攝像元件的不同像素取得的亮度值進行被測量物上的預定的座標位置的運算，故有每個像素的性能的變異直接涉及測量誤差之虞。
另外，上述課題並不一定僅存在於進行印刷在印刷基板上的銲膏等的高度測量，亦存在於其他三維測量裝置的領域中。當然，並非僅限定於相移法的問題。
本發明乃係鑒於上述情事而研創，目的在於提供能夠在進行三維測量時謀求測量精度的提升等的三維測量裝置。
以下，針對解決上述課題的各較佳手段，分項進行說明。另外，必要時並附記手段所特有的相對應作用效果。
手段1.一種三維測量裝置，其特徵為：具備：照射手段，係具有能夠對被測量物(例如印刷基板) 照射預定的光的至少一個照明；攝像手段，係能夠對受到前述光照射的前述被測量物進行攝像；及移動手段，係能夠使前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動；一邊令前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動，一邊在預定的時序從前述照射手段對該被測量物照射預定的光，能夠根據藉由前述攝像手段攝得的攝像結果，執行前述被測量物的三維測量；在前述三維測量裝置中，係具備：圖像資料取得手段，係能夠根據藉由前述攝像手段攝得的攝像結果，取得用於預定用途(例如上述三維測量)的圖像資料；及圖像處理手段，係能夠根據藉由前述圖像資料取得手段取得的至少一個圖像資料，執行預定處理(例如三維測量處理)；在前述圖像資料取得手段取得1個圖像資料時，係：在前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物間的相對位置關係相異的複數個時序，執行從前述照射手段的同一照明照射的光下的攝像(曝光)；執行將該攝像結果(攝得的複數個圖像資料各像素的亮度值)按前述被測量物上各座標位置(先令座標位置對齊)相加或取平均的處理。
依據上述手段1，係構成為在複數個時序對相對移動的被測量物於同一照明的光下進行攝像，執行將 該攝像結果按被測量物上各座標位置相加或取平均的處理，藉此，取得用於預定用途的1個圖像資料。
藉此，係成為將以攝像手段(攝像元件)的不同像素攝得的攝像結果(亮度值)進行相加等，故能夠緩和攝像元件的每個像素的性能變異對測量結果造成的影響。
另外，在前述專利文獻1、2中，係構成為改變照明的亮度進行攝像，藉此取得適於被測量物上各部位(亮部和暗部)的圖像資料，但在進行被測量物上的預定部位的運算時，需要進行從亮度不同的複數個圖像資料之中選擇適於該部位的任一圖像資料之處理，有處理複雜化之虞。
對於此點，依據本手段，不需進行如上述的複雜處理，只要單純地將複數次攝像所得的結果(亮度值)進行相加等，便能夠取得與被測量物上全部部位(從亮部到暗部)對應的亮度的動態範圍(dynamic range)寬的圖像資料。
一般而言，攝像元件感光的光量(感光量)愈多，能夠獲得更適於進行測量的畫質愈佳的圖像、亦即雜訊(noise)和量化誤差的影響愈小的圖像。然而，當攝像(曝光)時間一長，攝像元件便達到飽和等級(level)，圖像成為所謂的「過度曝光」。對此，將攝像(曝光)進行複數次，再將亮度值按像素相加，藉此，能夠在不造成飽和下獲得感光量較多的圖像。
除此之外，藉由將複數次攝像所得的結果進 行相加等，能夠提升S/N比。針對此點，根據第52圖所示的模擬結果詳細進行說明。此處，係將雜訊予以模型化(modeling)，假設在一次的攝像中，「1(V)」、「0(V)」、「-1(V)」三種雜訊的其中一種以相等的機率摻疊、假設在兩次的攝像中係以同樣的機率摻疊兩次，計算S/N比，結果，原本在一次的攝像中為「1.22×A(A：信號位準(level))」的值因兩次的攝像而改善成「1.73×A」。另外，第52圖中的「σ」係表示標準差。
結果，能夠謀求測量精度比使用以一次的攝像取得的圖像資料時提升等。
手段2.如上述手段1之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備能夠照射具有條紋狀(例如正弦波狀)光強度分布的圖案光之照明； 前述圖像資料取得手段係構成為能夠根據於至少前述圖案光下攝得的攝像結果，取得前述被測量物上的光強度分布逐個相差前述圖案光的預定相位量(例如相當於90°相位量的程度)的複數個圖像資料(例如4個圖像資料)； 前述圖像處理手段係構成為能夠根據藉由前述圖像資料取得手段取得的前述複數個圖像資料，藉由相移法執行前述被測量物的三維測量。
依據上述手段2，在一邊令被測量物相對移動一邊進行三維測量的三維測量裝置中，亦能夠根據亮度的動態範圍寬、雜訊少的圖像資料，進行以相移法進行的三維測量。以下，針對其原理，參照第53圖進行說明。
第53圖係顯示被測量物上各座標位置、與相位逐個相差90°的4個正弦波狀圖案光的亮度值之關係的曲線圖。此處，作為橫軸顯示的相位值係代表被測量物上的各座標位置，係指與作為基準的sinθ的圖案光的各相位對應的被測量物上的位置。此外，此處設亮度的最大值為「1」、設亮度的最小值為「0」。
在第53圖的例子中，在亮度值在攝像時序t1的攝像成為sinθ=a1、亮度值在攝像時序t2的攝像成為sinθ=a2的情形中，將該值單純相加進行處理，亮度值便成為[a1+a2]。此值為[a1與a2之平均的兩倍]，成為相當於[攝像時序t1.5的亮度值的兩倍]之值。
上述關係不僅存在於sinθ的圖案光，在sin(θ+π/2)、sin(θ+π)、sin(θ+3π/2)各圖案光中亦同，因此，實質等同於在公知的相移法的算式(參照前述「先前技術」)中僅增益α與偏移β的值改變而藉由攝像時序t1.5的亮度值求取相位θ。亦即，在使用相移法的三維測量中，將所照射的圖案光的相位相異的圖像資料(亮度值)複數個相加，亦能夠視為是照射其平均的相位的圖案光來進行測量。
手段3.如上述手段2之三維測量裝置，其中在能夠在每次前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動至少比前述預定相位量小的預定量(例如相當於圖案光的6°相位量的程度)的時序執行以前述攝像手段進行的攝像處理之構成下，以能夠執行前述攝像處理的時序當中的連續的複數次份的時序，作為進行從前 述同一照明照射的圖案光下的攝像的複數個時序。
依據上述手段3，在取得進行以相移法進行的三維測量所必要的複數個圖像資料其中1個圖像資料時，係於圖案光下，於每次被測量物相對移動預定量連續進行複數次攝像，執行將該攝像結果按被測量物上各座標位置相加或取平均的處理。
此外，藉由在連續的時序進行攝像，抑制公知的相移法的算式中的增益α的表觀值變小(參照第53圖的攝像時序t1.5)。結果，實現更高精度的三維測量。
手段4.如上述手段2或3之三維測量裝置，其中在前述圖像資料取得手段取得前述複數個圖像資料(例如4個圖像資料)方面，對前述被測量物照射的圖案光係皆由差180°相位的一對圖案光之組合組成。
依據上述手段4，能夠將複數個時序攝得的複數個攝像結果中，被測量物上的預定的座標位置的基於圖案光的相位相異之誤差，在以相移法進行計算的過程(參照前述「先前技術」)抵消掉，從而能夠減小該影響。
例如在第53圖中，在亮度值在攝像時序t3的攝像成為sinθ=b1、亮度值在攝像時序t4的攝像成為sinθ=b2的情形中，將該值單純相加進行處理，亮度值便成為[b1+b2]。然而，此時，[b1與b2之平均的兩倍]並不等於[攝像時序t3.5的亮度值的兩倍]。
惟此時，sin(θ+π)的圖案光的[c1+c2]也不等於[攝像時序t3.5的亮度值的兩倍]，成為[b1+b2]-[攝像時序t3.5的sinθ的值]=[攝像時序t3.5的sin(θ+π)的值 ]-[c1+c2]，因此，實質等同於在公知的相移法的算式中僅增益α稍微變小而藉由攝像時序t3.5的亮度值求取相位θ。結果，能夠謀求測量精度更進一步的提升。
手段5.如上述手段1至4中任一者之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備能夠照射光強度為一定的均一光的至少一個照明； 前述圖像資料取得手段係構成為能夠根據於至少前述均一光下攝得的攝像結果取得亮度圖像資料。
依據上述手段5，前述圖像處理手段例如能夠根據所取得的亮度圖像資料，對藉由三維測量獲得的三維資料進行映射(mapping)和進行測量區域的抽出等。結果，能夠謀求測量精度更進一步的提升等。
另外，一般而言，相較於在三維測量裝置中起主要作用的三維測量(圖案光)用的照明機構，起輔助性作用的亮度圖像(均一光)用的照明機構係因空間上的問題而不得不簡潔化，故有照明的亮度的變異(亮度不均)容易產生之虞。對於此點，依據本手段，在上述手段1的構成之下，能夠緩和均一光照明的亮度不均造成的影響。尤其在不使用遠心光學系統的情形中，因容易受均一光照明的亮度不均影響，故效果更加顯著。
手段6.如上述手段5之三維測量裝置，其中在能夠在每次前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動預定量的時序執行以前述攝像手段進行的攝像處理之構成下，以能夠執行前述攝像處理的時序當中的不連續的複數次份的時序，作為進行從前述同一照明 照射的均一光下的攝像的複數個時序。
依據上述手段6，相較於在連續的時序進行攝像而將比較近的位置的攝像結果進行相加等的情形，能夠將相距較遠的位置的攝像結果進行相加等，能夠更加平均化。結果，能夠進一步緩和均一光照明的亮度不均的影響，能夠進一步提高上述手段5的作用效果。
具體而言，在上述手段2的構成之下，當將從同一照明照射的均一光下的攝像次數設為n次、將圖案光的1週期(前進1個波長所要的時間)設為T時，較佳為每隔時序[T/n]，於均一光下進行攝像。
手段7.如上述手段1至6中任一者之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備分別照射預定的光的複數個照明；構成為照預定的順序切換前述複數個照明，能夠在預定的時序照射預定的光(來自複數個照明其中任一照明的光)。
另外，從複數個照明照射的光係例如亦包括均一光和圖案光等照射態樣相異的不同型的光、亮度相異的兩種圖案光等亮度相異的同一型的光、亮度和照射態樣相同且僅照射方向相異的光等。
依據上述手段7，例如能夠在進行複數次從第1照明照射的光下的攝像的空檔，進行從第2照明照射的光下的攝像。
就具體例而言，例如可舉出在以三維測量為目的而於預定的圖案光下取得複數個圖像資料的空檔( 進行複數次與1個圖像資料的取得關聯的一連串攝像的空檔)分別進行以取得1個亮度圖像資料為目的的於預定的均一光下的複數次攝像之中的一次之構成。
此時，不需延長取得進行三維測量所必要全部圖像資料所要的時間，就能夠除了取得該三維測量用的圖像資料外，還能夠另外取得用於與該三維測量不同的其他用途的圖像資料(供以圖像處理手段執行預定處理之用的圖像資料)。
結果，成為能夠將複數種測量組合進行，在進行三維測量時，既抑制測量效率的降低，也能夠謀求測量精度的提升等。
能夠改為或再加上例如在以三維測量為目的而於從第1方向照射的第1圖案光下取得複數個圖像資料的空檔(進行複數次與1個圖像資料的取得關聯的一連串攝像的空檔)分別以三維測量為目的而於從第2方向照射的第2圖案光下取得1個圖像資料(進行與1個圖像資料的取得關聯的一連串攝像)之構成。
藉由從不同方向照射圖案光，能夠極力防止在被測量物產生沒照射圖案光的陰影部分。
手段8.如上述手段1至7中任一者之三維測量裝置，其中前述被測量物乃係印刷有銲膏的印刷基板或形成有銲料凸塊的晶圓基板。
依據上述手段8，能夠進行印刷在印刷基板的銲膏或形成在晶圓基板的銲料凸塊的高度測量等。甚而能夠在銲膏或銲料凸塊的檢查中，根據該測量值進行銲 膏或銲料凸塊的良否判定。因此，在該檢查中，達成上述各手段的作用效果，能夠高精度地進行良否判定。結果，能夠謀求銲料印刷檢查裝置或銲料凸塊檢查裝置的檢查精度的提升。
1‧‧‧印刷基板
4‧‧‧銲膏
10‧‧‧基板檢查裝置
13‧‧‧輸送機
14‧‧‧照明裝置
14A至14G‧‧‧照明
15‧‧‧攝像機
16‧‧‧控制裝置
24‧‧‧圖像資料記憶裝置
25‧‧‧運算結果記憶裝置
W‧‧‧攝像範圍
第1圖係示意性顯示基板檢查裝置之概略立體圖。
第2圖係印刷基板的剖面圖。
第3圖係顯示基板檢查裝置的電性構成之方塊(block)圖。
第4圖係示意性顯示照射在印刷基板上的圖案光的態樣之圖。
第5圖係用以說明隨時間經過而變化的攝像機的攝像範圍與印刷基板上的座標位置之關係的示意圖。
第6圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t15)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X46至X60)之關係的對應表。
第7圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t15)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X31至X45)之關係的對應表。
第8圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的 1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t15)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X16至X30)之關係的對應表。
第9圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t15)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X15)之關係的對應表。
第10圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t16至t30)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X46至X60)之關係的對應表。
第11圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t16至t30)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X31至X45)之關係的對應表。
第12圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t16至t30)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X16至X30)之關係的對應表。
第13圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的 1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t16至t30)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X15)之關係的對應表。
第14圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t31至t45)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X46至X60)之關係的對應表。
第15圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t31至t45)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X31至X45)之關係的對應表。
第16圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t31至t45)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X16至X30)之關係的對應表。
第17圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t31至t45)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X15)之關係的對應表。
第18圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的 1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t46至t60)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X46至X60)之關係的對應表。
第19圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t46至t60)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X31至X45)之關係的對應表。
第20圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t46至t60)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X16至X30)之關係的對應表。
第21圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t46至t60)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X15)之關係的對應表。
第22圖係示意性顯示將在攝像時序t1至t15攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第23圖係示意性顯示將在攝像時序t16至t30攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第24圖係示意性顯示將在攝像時序t31至t45攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第25圖係示意性顯示將在攝像時序t46至t60攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第26圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種資料按各種類別(第1圖案光的4個相位群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第27圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種資料按各種類別(第2圖案光的4個相位群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第28圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種資料按各種類別(各均一光的5個顏色群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第29圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t9)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X55至X72)之關係的對應表。
第30圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t9)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X54至X37)之關係的對應表。
第31圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t9)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位 置(X36至X19)之關係的對應表。
第32圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t9)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X18至X1)之關係的對應表。
第33圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t10至t18)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X55至X72)之關係的對應表。
第34圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t10至t18)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X54至X37)之關係的對應表。
第35圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t10至t18)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X36至X19)之關係的對應表。
第36圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t10至t18)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座 標位置(X18至X1)之關係的對應表。
第37圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t19至t27)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X55至X72)之關係的對應表。
第38圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t19至t27)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X54至X37)之關係的對應表。
第39圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t19至t27)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X36至X19)之關係的對應表。
第40圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t19至t27)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X18至X1)之關係的對應表。
第41圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t28至t36)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座 標位置(X55至X72)之關係的對應表。
第42圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t28至t36)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X54至X37)之關係的對應表。
第43圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t28至t36)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X36至X19)之關係的對應表。
第44圖係用以說明在印刷基板移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離的期間中，隨時間經過(t28至t36)而變化的照射光的種類、及印刷基板上各座標位置的照射光的態樣、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X18至X1)之關係的對應表。
第45圖係示意性顯示將在攝像時序t1至t9攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第46圖係示意性顯示將在攝像時序t10至t18攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第47圖係示意性顯示將在攝像時序t19至t27攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第48圖係示意性顯示將在攝像時序t28至t36攝得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
第49圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種 資料按各種類別(第1圖案光的4個相位群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第50圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種資料按各種類別(第2圖案光的4個相位群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第51圖係示意性顯示將印刷基板各座標位置的各種資料按各種類別(各均一光的三個顏色群)進行整理重新排列後的狀態之表。
第52圖係顯示關於S/N比的模擬結果之表。
第53圖係顯示被測量物上各座標位置、與相位逐個相差90°的4個正弦波狀圖案光的亮度值之關係的曲線圖。
〔第1實施形態〕
以下，針對一實施形態，參照圖式進行說明。首先，針對作為被測量物的印刷基板的構成詳細進行說明。
如第2圖所示，印刷基板1係呈平板狀，在由玻璃環氧(glass epoxy)樹脂等構成的底座(base)基板2設置有由銅箔構成的電極圖案3。此外，在預定的電極圖案3上係印刷形成有銲膏4。將該印刷有銲膏4的區域稱為「銲料印刷區域」。將銲料印刷區域以外的部分總稱為「背景區域」，該背景區域係包含：電極圖案3露出的區域(代號A)、底座基板2露出的區域(代號B)、底座基板2上塗覆(coating)有阻劑(resist)膜5的區域(代號C)、及電極圖案3上塗覆有阻劑膜5的區域(代號D)。另外，阻劑膜5乃係為了防止銲膏4漫開至預定配線部分以外部分而塗 覆在印刷基板1的表面。
接著，針對具備本實施形態的三維測量裝置的基板檢查裝置的構成詳細進行說明。第1圖係示意性顯示基板檢查裝置10之概略構成圖。
基板檢查裝置10係具備：作為搬送手段(移動手段)的輸送機(conveyor)13，係搬送印刷基板1；作為照射手段的照明裝置14，係對印刷基板1的表面從斜上方照射預定的光；作為攝像手段的攝像機15，係對受到該光照射的印刷基板1進行攝像；及控制裝置16(參照第3圖)，係用以實施輸送機13和照明裝置14、攝像機15的驅動控制等基板檢查裝置10內的各種控制和圖像處理、運算處理。控制裝置16係構成本實施形態的圖像資料取得手段和圖像處理手段。
在輸送機13係設置有未圖示的馬達(motor)等驅動手段，由控制裝置16驅動控制該馬達，藉此，以定速將載置在輸送機13上的印刷基板1往預定方向(第1圖的右方向)連續搬送。藉此，攝像機15的攝像範圍W便成為相對於印刷基板1往反方向(第1圖的左方向)相對移動下去。
照明裝置14係具備7個照明，藉由控制裝置16切換控制照射的光。具體而言，係具備：第1照明14A，係能夠照射條紋狀的圖案光(第1圖案光)；第2照明14B，係能夠照射條紋狀的圖案光(第2圖案光)；第3照明14C，係能夠照射光強度於全範圍為一定的紅色均一光；第4照明14D，係能夠照射光強度於全範圍為一定的綠色均一 光；第5照明14E，係能夠照射光強度於全範圍為一定的藍色均一光；第6照明14F，係能夠照射光強度於全範圍為一定的近紅外線色均一光；及第7照明14G，係能夠照射光強度於全範圍為一定的近紫外線色均一光。
第1照明14A至第7照明14G乃係公知技術，故省略使用圖式的詳細說明。例如第1照明14A及第2照明14B係具備發出預定的光的光源、與將來自該光源的光轉換成圖案光的液晶光學遮光器(shutter)。
此處，乃係從光源發出的光係導往聚光透鏡，藉聚光透鏡而形成為平行光後，經介液晶光學遮光器導往投影透鏡，而以條紋狀的圖案光進行照射。
藉由使用液晶光學遮光器，能夠產生具有接近理想正弦波光強度分布的圖案光，使三維測量的測量解析度提升。此外，能夠以電控的方式進行圖案光的相移的控制，從而能夠謀求控制系統的小型(compact)化。
在沿攝像機15的光軸方向即大致鉛直方向(Z軸方向)俯視的平面(X-Y平面)，第1照明14A及第2照明14B係配置在沿印刷基板1的搬送方向(X方向)夾著攝像機15而相對向的位置。此外，在本實施形態中，從第1照明14A照射的第1圖案光與從第2照明14B照射的第2圖案光係形成為亮度及週期相同的圖案光。
如第4圖所示，在本實施形態中，係照射條紋的方向正交於印刷基板1搬送方向(X方向)的圖案光。亦即，在被搬送的印刷基板1上照射與正交於搬送方向(X方向)的方向平行(Y方向)的圖案光。藉此，便對印刷基 板1照射沿其搬送方向具有條紋狀(正弦波狀)光強度分布的圖案光。但在第4圖中係為求簡化而省略了中間色調區，以明暗二值的條紋圖樣表示圖案光。
除了上述公知的構成之外，亦可構成為在聚光透鏡和投影透鏡等第1照明14A和第2照明14B等的光學系統使用遠心光學系統。關於印刷基板1，在藉由輸送機13搬送時，高度位置有細微變化之虞。只要使用遠心光學系統，便能夠不受該變化影響而高精度地進行測量。
攝像機15係具備透鏡和攝像元件等，其光軸沿與載置在輸送機13上的印刷基板1垂直的方向(Z方向)設定。在本實施形態中，係採用CCD感測器(sensor)作為攝像元件。
由攝像機15攝得的圖像資料係在該攝像機15內部轉換成數位(digital)信號後，以數位信號的形式輸入至控制裝置16，記憶在後述的圖像資料記憶裝置24。此外，控制裝置16係根據該圖像資料，實施如後述的圖像處理和運算處理等。
接著，針對控制裝置16的電性構成，參照第3圖詳細進行說明。第3圖係顯示基板檢查裝置10的概略之方塊圖。
如第3圖所示，控制裝置16係具備下述等元件：CPU(Central Processing Unit；中央處理器)及輸入輸出介面(interface)21，係掌控基板檢查裝置10全體的控制；作為「輸入手段」的輸入裝置22，係以鍵盤(keyboard)和滑鼠(mouse)、觸控面板(touch panel)等構成；作為「 顯示手段」的顯示裝置23，係具有CRT(Cathode Ray Tube；陰極射線管)和液晶等顯示畫面；圖像資料記憶裝置24，係用以記憶由攝像機15攝得的圖像資料等；運算結果記憶裝置25，係用以記憶根據該圖像資料而得的三維測量結果等各種運算結果；及設定資料記憶裝置26，係用以預先記憶設計資料等各種資訊。另外，上述各裝置22至26係電性連接至CPU及輸入輸出介面21。
接著，針對以基板檢查裝置10執行的三維測量處理等各種處理詳細進行說明。
控制裝置16係驅動控制輸送機13，以定速將印刷基板1連續搬送。此外，控制裝置16係根據從設置在輸送機13的未圖示的編碼器(encoder)而來的信號，驅動控制照明裝置14及攝像機15。
更詳言之，每搬送印刷基板1預定量Δx、亦即每經過預定時間Δt，以預定的順序切換從照明裝置14照射的光，並且執行以攝像機15對受到該光照射的印刷基板1進行攝像的攝像處理。每經過預定時間Δt由攝像機15攝得的圖像資料係隨時轉送至圖像資料記憶裝置24記憶。
另外，在本實施形態中，係將前述預定量Δx設定為相當於從第1照明14A及第2照明14B照射的圖案光的6°相位量之距離。此外，係將攝像機15於印刷基板1的搬送方向(X方向)之攝像範圍W設定為相當於圖案光的1週期(相位360°)之長度。當然，預定量Δx和攝像機15的攝像範圍W並不限於上述，可更長，亦可更短。
此處，針對從照明裝置14照射的光與由攝像 機15進行攝像的印刷基板1之關係，舉具體例詳細進行說明。
第5圖係用以說明隨時間經過而相對移動的攝像機15的攝像範圍W與印刷基板1上的座標位置之關係的示意圖。第6圖至第21圖係用以說明在印刷基板1移動相當於圖案光的1週期(相位360°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t60)而變化的照射光的種類、及印刷基板1上各座標位置的照射光的態樣(圖案光的相位和均一光的顏色)、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X60)之關係的對應表。
另外，關於印刷基板1上的與搬送方向(X方向)正交的方向(Y方向)，印刷基板1的Y方向全範圍係涵蓋在攝像機15的攝像範圍內，關於在相同X方向座標位置的Y方向的各座標位置，照射光的種類及態樣沒有不同。
此外，由於攝像機15與照明裝置14的位置關係固定，故對於攝像元件的各座標X1至X60，從照明裝置14照射的圖案光的相位係固定。例如在攝像元件的座標X60為「0°」、在座標X59為「6°」、在座標X58為「12°」、......、在座標X1為「354°」。另一方面，在被搬送的印刷基板1上的各座標位置(例如座標P60)，如後述，圖案光的相位係隨時間經過(t1至t60)逐次變化「6°」下去。其中，第6圖至第21圖中所示圖案光的相位乃係設想照射至高度位置「0」且呈平面的基準面時的相位。
如第6圖至第9圖所示，在攝像時序t1，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範 圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P1至P60的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在自攝像時序t1經過預定時間Δt的攝像時序t2(參照第6圖至第9圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P2至P61的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t3(參照第6圖至第9圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P3至P62的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t4(參照第6圖至第9圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P4至P63的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t5(參照第6圖至第9圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P5至P64的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t6(參照第6圖至第9圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當 於座標P6至P65的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t7(參照第6圖至第9圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P7至P66的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t8(參照第6圖至第9圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P8至P67的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t9(參照第6圖至第9圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P9至P68的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t10(參照第6圖至第9圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P10至P69的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t11(參照第6圖至第9圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P11至P70的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝 像。另外，在第6圖至第9圖中的各座標位置為「R1」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t12(參照第6圖至第9圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P12至P71的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第6圖至第9圖中的各座標位置為「G1」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t13(參照第6圖至第9圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P13至P72的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第6圖至第9圖中的各座標位置為「B1」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t14(參照第6圖至第9圖)，係從第6照明14F照射近紅外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P14至P73的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第6圖至第9圖中的各座標位置為「NIR1」係指照射至該位置的光為「近紅外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t15(參照第6圖至第9圖)，係從第7照明14G照射近紫外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P15至P74的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第6圖至第9圖中的各座標位置為「 NUV1」係指照射至該位置的光為「近紫外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t16(參照第10圖至第13圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P16至P75的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t17(參照第10圖至第13圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P17至P76的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t18(參照第10圖至第13圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P18至P77的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t19(參照第10圖至第13圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P19至P78的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t20(參照第10圖至第13圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P20至P79的範圍落於其中，成為對該範圍 進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t21(參照第10圖至第13圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P21至P80的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t22(參照第10圖至第13圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P22至P81的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t23(參照第10圖至第13圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P23至P82的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t24(參照第10圖至第13圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P24至P83的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t25(參照第10圖至第13圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P25至P84的範圍落於其中，成為對該範圍 進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t26(參照第10圖至第13圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P26至P85的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第10圖至第13圖中的各座標位置為「R2」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t27(參照第10圖至第13圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P27至P86的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第10圖至第13圖中的各座標位置為「G2」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t28(參照第10圖至第13圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P28至P87的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第10圖至第13圖中的各座標位置為「B2」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t29(參照第10圖至第13圖)，係從第6照明14F照射近紅外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P29至P88的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第10圖至第13圖中的各座標位置為「NIR2」係指照射至該位置的光為「近紅外線色均一 光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t30(參照第10圖至第13圖)，係從第7照明14G照射近紫外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P30至P89的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第10圖至第13圖中的各座標位置為「NUV2」係指照射至該位置的光為「近紫外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t31(參照第14圖至第17圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P31至P90的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t32(參照第14圖至第17圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P32至P91的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t33(參照第14圖至第17圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P33至P92的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t34(參照第14圖至第17圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此 時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P34至P93的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t35(參照第14圖至第17圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P35至P94的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t36(參照第14圖至第17圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P36至P95的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t37(參照第14圖至第17圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P37至P96的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t38(參照第14圖至第17圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P38至P97的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t39(參照第14圖至第17圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此 時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P39至P98的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t40(參照第14圖至第17圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P40至P99的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t41(參照第14圖至第17圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P41至P100的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第14圖至第17圖中的各座標位置為「R3」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t42(參照第14圖至第17圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P42至P101的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第14圖至第17圖中的各座標位置為「G3」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t43(參照第14圖至第17圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P43至P102的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第14圖至第17圖中的各座標位置為「 B3」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t44(參照第14圖至第17圖)，係從第6照明14F照射近紅外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P44至P103的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第14圖至第17圖中的各座標位置為「NIR3」係指照射至該位置的光為「近紅外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t45(參照第14圖至第17圖)，係從第7照明14G照射近紫外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P45至P104的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第14圖至第17圖中的各座標位置為「NUV3」係指照射至該位置的光為「近紫外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t46(參照第18圖至第21圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P46至P105的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t47(參照第18圖至第21圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P47至P106的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t48(參照第18圖至第21圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P48至P107的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t49(參照第18圖至第21圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P49至P108的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t50(參照第18圖至第21圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P50至P109的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t51(參照第18圖至第21圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P51至P110的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t52(參照第18圖至第21圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P52至P111的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t53(參照第18圖至第21圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P53至P112的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t54(參照第18圖至第21圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P54至P113的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t55(參照第18圖至第21圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P55至P114的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t56(參照第18圖至第21圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P56至P115的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第18圖至第21圖中的各座標位置為「R4」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t57(參照第18圖至第21圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P57至P116的範圍落於其中，成為對該範圍進 行攝像。另外，在第18圖至第21圖中的各座標位置為「G4」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t58(參照第18圖至第21圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P58至P117的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第18圖至第21圖中的各座標位置為「B4」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t59(參照第18圖至第21圖)，係從第6照明14F照射近紅外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P59至P118的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第18圖至第21圖中的各座標位置為「NIR4」係指照射至該位置的光為「近紅外線色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t60(參照第18圖至第21圖)，係從第7照明14G照射近紫外線色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X60)，係印刷基板1上相當於座標P60至P119的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第18圖至第21圖中的各座標位置為「NUV4」係指照射至該位置的光為「近紫外線色均一光」。
當如上述進行而取得印刷基板1的預定的座標位置(例如座標P60)的全部資料，便執行將上述各圖像資料的座標位置進行對位(將各圖像資料彼此間的座標 系對齊)的對位處理(參照第22圖至第25圖)。執行該處理的功能係構成本實施形態的對位手段。第22圖至第25圖係示意性顯示將在攝像時序t1至t60取得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
接著，在將複數個圖像資料的同一座標位置的各種資料按各座標位置彙整後，按預先設定的各群(類別)進行整理，記憶至運算結果記憶裝置25(參照第26圖至第28圖)。第26圖至第28圖係示意性顯示將第22圖至第25圖所示印刷基板1各座標位置的各種資料按預先設定的群進行整理重新排列後的狀態之表。但在第26圖至第28圖中係僅例示出印刷基板1的座標P60的部分。
如第26圖至第28圖所示，在本實施形態中係區分成13個群。詳言之，係區分整理成：與第1圖案光關聯的第1相位群[θ]、第2相位群[θ+90°]、第3相位群[θ+180°]、第4相位群[θ+270°]的4個群；與第2圖案光關聯的第1相位群[θ]、第2相位群[θ+90°]、第3相位群[θ+180°]、第4相位群[θ+270°]的4個群；與各均一光關聯的紅色群[R]、綠色群[G]、藍色群[B]、近紅外線色群[NIR]、近紫外線色群[NUV]的5個群，共計13個群。
與第1圖案光關聯的第1相位群[θ]係由在攝像時序t1至t5攝得的相位0°至相位24°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第26圖)。
與第1圖案光關聯的第2相位群[θ+90°]係由在攝像時序t16至t20攝得的相位90°至相位114°(相當於 相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第26圖)。
與第1圖案光關聯的第3相位群[θ+180°]係由在攝像時序t31至t35攝得的相位180°至相位204°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第26圖)。
與第1圖案光關聯的第4相位群[θ+270°]係由在攝像時序t46至t50攝得的相位270°至相位294°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第26圖)。
與第2圖案光關聯的第1相位群[θ]係由在攝像時序t6至t10攝得的相位30°至相位54°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第27圖)。
與第2圖案光關聯的第2相位群[θ+90°]係由在攝像時序t21至t25攝得的相位120°至相位144°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第27圖)。
與第2圖案光關聯的第3相位群[θ+180°]係由在攝像時序t36至t40攝得的相位210°至相位234°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值組成(參照第27圖)。
與第2圖案光關聯的第4相位群[θ+270°]係由在攝像時序t51至t55攝得的相位300°至相位324°(相當於相位逐個差6°的30°相位量的程度)之範圍的5個亮度值 組成(參照第27圖)。
紅色群[R]係由在攝像時序t11、t26、t41、t56於紅色均一光下攝得的4個亮度值(R1至R4)組成(參照第28圖)。
綠色群[G]係由在攝像時序t12、t27、t42、t57於綠色均一光下攝得的4個亮度值(G1至G4)組成(參照第28圖)。
藍色群[B]係由在攝像時序t13、t28、t43、t58於藍色均一光下攝得的4個亮度值(B1至B4)組成(參照第28圖)。
近紅外線色群[NIR]係由在攝像時序t14、t29、t44、t59於近紅外線色均一光下攝得的4個亮度值(NIR1至NIR4)組成(參照第28圖)。
近紫外線色群[NUV]係由在攝像時序t15、t30、t45、t60於近紫外線色均一光下攝得的4個亮度值(NUV1至NUV4)組成(參照第28圖)。
當上述分群結束，控制裝置16便執行將與上述各圖案光關聯的各相位群所含的5個亮度值相加算出其平均值的平均處理。此外，控制裝置16係將藉由前述平均處理取得的值記憶至運算結果記憶裝置25。
藉此，便能夠按印刷基板1各座標位置分別取得與第1圖案光關聯的4種亮度值(各相位群的亮度平均值)及與第2圖案光關聯的4種亮度值(各相位群的亮度平均值)。結果，能夠取得與第1圖案光關聯的針對印刷基板1全體的光強度分布相異的4種圖像資料、及與第2圖案 光關聯的針對印刷基板1全體的光強度分布相異的4種圖像資料。另外，藉由上述構成，此處所取得的與第1圖案光關聯的4種圖像資料、及與第2圖案光關聯的4種圖像資料係分別成為與令具有正弦波狀光強度分布的圖案光的相位逐次相移90°進行攝像所得的4種圖像資料相同的圖像資料。
接著，控制裝置16係根據如上述方式取得的與第1圖案光關聯的4種圖像資料(各座標的4種亮度值)、及與第2圖案光關聯的4種圖像資料(各座標的4種亮度值)，分別藉由在前述先前技術中已說明的公知的相移法進行三維測量(高度測量)，將該測量結果記憶至運算結果記憶裝置25。
另外，在本實施形態中，係構成為以藉由其中一方(例如第1圖案光)的照射而得的測量結果作為主要測量結果進行記憶，關於其資料缺漏部分，由藉由另一方(例如第2圖案光)的照射而得的測量結果補足。如上述，藉由從兩個方向照射圖案光，能夠極力防止在印刷基板1產生沒照射圖案光的陰影部分。
此外，控制裝置16係當上述分群結束，便執行將上述各顏色群所含的4個亮度值相加算出其平均值的平均處理。此外，控制裝置16係將藉由前述平均處理取得的值記憶至運算結果記憶裝置25。
此外，控制裝置16係根據如上述方式取得的各值，產生具有紅色、綠色、藍色、近紅外線色、近紫外線色各顏色成分的印刷基板1全體的圖像資料(以下， 稱為亮度圖像資料)，記憶至運算結果記憶裝置25。
接著，判別上述亮度圖像資料的各像素的顏色資訊，進行各種測量對象區域的抽出。例如將「白色」的像素的範圍抽出作為銲料印刷區域、將「紅色」的像素的範圍抽出作為電極圖案3露出的電極區域(背景區域)、將「綠色」的像素的範圍抽出作為底座基板2或阻劑膜5露出的基板區域(背景區域)。
接著，控制裝置16係根據如上述方式取得的測量結果進行銲膏4的印刷狀態的良否判定。具體而言，控制裝置16係檢測比高度基準面高預定高度以上的銲膏4的印刷範圍，對該範圍內的各部位的高度進行積分，藉此算出所印刷的銲膏4的量。
接著，控制裝置16係將如上述方式求得的銲膏4的位置、面積、高度或量等資料，與預先記憶在設定資料記憶裝置26的基準資料(Gerber資料等)進行比較判定，依據該比較結果是否在容許範圍內來判定銲膏4的印刷狀態的良否。
如以上詳述，在本實施形態中，係構成為在複數個時序對連續搬送的印刷基板1於同一照明的光下進行攝像，執行將該攝像結果按印刷基板1上各座標位置相加並取平均的處理，藉此，取得用於預定用途的1個圖像資料。
例如，在取得進行以相移法進行的三維測量所必要的相位逐個差90°的4種圖像資料其中1個圖像資料時，係將於第1圖案光或第2圖案光下、於每搬送印刷 基板1預定量Δx連續攝得的5次份的圖像資料的亮度值，按印刷基板1各座標位置相加，算出其平均值。
此外，在取得印刷基板1的亮度圖像資料時，係將印刷基板1每移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離、於各顏色成分的均一光下攝得的4次份的圖像資料的亮度值，按印刷基板1各座標位置相加，算出其平均值。
藉由該構成，係成為將以攝像機15(攝像元件)的不同像素攝得的攝像結果(亮度值)進行相加等，故能夠緩和攝像元件的每個像素的性能變異對測量結果造成的影響。
此外，不需進行複雜處理，只要單純地將複數次攝像所得的結果(亮度值)進行相加等，便能夠取得與印刷基板1上全部部位(從亮部到暗部)對應的亮度的動態範圍寬的圖像資料。此外，藉由將複數次攝像所得的結果進行相加等，能夠提升S/N比。
結果，相較於使用以一次攝像取得的圖像資料的情形，能夠更進一步謀求測量精度的提升等。
此外，係構成為在取得三維測量用的圖像資料時，係在能夠藉由攝像機15執行攝像處理的每經過預定時間Δt的攝像時序當中的連續的複數次份的時序，於圖案光下進行攝像。藉此，能夠抑制以相移法進行的計算方面的增益(參照前述「先前技術」)的表觀值變小。結果，實現更高精度的三維測量。
此外，係構成為在取得亮度圖像資料時，係 在能夠藉由攝像機15執行攝像處理的每經過預定時間Δt的攝像時序當中的沒連續的複數次份的時序，於各顏色成分的均一光下進行攝像。藉此，相較於在連續的時序進行攝像而將比較近的位置的攝像結果進行相加算等的情形，能夠將相距較遠的位置的攝像結果進行相加等，能夠更加平均化。結果，能夠進一步緩和均一光照明的亮度不均的影響。
〔第2實施形態〕
以下，針對第2實施形態，參照圖式進行說明。另外，針對與第1實施形態相同的構成部分係標柱相同的元件符號並省略其詳細說明。
本實施形態的照明裝置14係構成為省略了能夠照射近紅外線色均一光的第6照明14F及能夠照射近紫外線色均一光的第7照明14G。
亦即，本實施形態的照明裝置14係具備：第1照明14A，係能夠照射第1圖案光；第2照明14B，係能夠照射第2圖案光；第3照明14C，係能夠照射光強度於全範圍為一定的紅色均一光；第4照明14D，係能夠照射光強度於全範圍為一定的綠色均一光；及第5照明14E，係能夠照射光強度於全範圍為一定的藍色均一光；構成為藉由控制裝置16切換控制照射的光。
另外，在本實施形態中，攝像機15於印刷基板1的搬送方向(X方向)之攝像範圍W的攝像元件的像素數係設定為72像素(X1至X72)，並且從第1照明14A及第2照明14B照射的各圖案光的1週期(相位360°)的長度亦設 定為相當於72像素的長度。此外，每經過預定時間Δt的印刷基板1的搬送量(預定量Δx)係設定為相當於各圖案光的10°相位量的程度之距離。亦即，在本實施形態中，係將印刷基板1逐次搬送攝像元件的兩像素份。
此處，針對從照明裝置14照射的光與由攝像機15進行攝像的印刷基板1之關係，舉具體例詳細進行說明。
第29圖至第44圖係用以說明在印刷基板1移動相當於圖案光的1週期(相位360°)之距離的期間中，隨時間經過(t1至t36)而變化的照射光的種類、及印刷基板1上各座標位置的照射光的態樣(圖案光的相位和均一光的顏色)、以及上述兩者與攝像元件各像素的座標位置(X1至X72)之關係的對應表。
此外，由於攝像機15與照明裝置14的位置關係固定，故對於攝像元件各座標X1至X72，從照明裝置14照射的圖案光的相位係固定。例如在攝像元件的座標X72為「0°」、在座標X71為「5°」、在座標X70為「10°」、......、在座標X1為「355°」。另一方面，在被搬送的印刷基板1上的各座標位置(例如座標P72)，如後述，圖案光的相位係隨時間經過(t1至t36)逐次變化「10°」。
如第29圖至第32圖所示，在攝像時序t1，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P1至P72的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在自攝像時序t1經過預定時間Δt的攝像時序 t2(參照第29圖至第32圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P3至P74的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t3(參照第29圖至第32圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P5至P76的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t4(參照第29圖至第32圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P7至P78的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t5(參照第29圖至第32圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P9至P80的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t6(參照第29圖至第32圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P11至P82的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t7(參照第 29圖至第32圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P13至P84的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第29圖至第32圖中的各座標位置為「R1」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t8(參照第29圖至第32圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P15至P86的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第29圖至第32圖中的各座標位置為「G1」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t9(參照第29圖至第32圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P17至P88的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第29圖至第32圖中的各座標位置為「B1」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t10(參照第33圖至第36圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P19至P90的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t11(參照第33圖至第36圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1 上相當於座標P21至P92的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t12(參照第33圖至第36圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P23至P94的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t13(參照第33圖至第36圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P25至P96的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t14(參照第33圖至第36圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P27至P98的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t15(參照第33圖至第36圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P29至P100的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t16(參照第33圖至第36圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相 當於座標P31至P102的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第33圖至第36圖中的各座標位置為「R2」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t17(參照第33圖至第36圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P33至P104的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第33圖至第36圖中的各座標位置為「G2」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t18(參照第33圖至第36圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P35至P106的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第33圖至第36圖中的各座標位置為「B2」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t19(參照第37圖至第40圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P37至P108的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t20(參照第37圖至第40圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P39至P110的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t21(參照第37圖至第40圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P41至P112的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t22(參照第37圖至第40圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P43至P114的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t23(參照第37圖至第40圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P45至P116的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t24(參照第37圖至第40圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P47至P118的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t25(參照第37圖至第40圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P49至P120的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第37圖至第40圖中的各座標位置為「R3 」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t26(參照第37圖至第40圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P51至P122的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第37圖至第40圖中的各座標位置為「G3」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t27(參照第37圖至第40圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P53至P124的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第37圖至第40圖中的各座標位置為「B3」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t28(參照第41圖至第44圖)，係從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P55至P126的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t29(參照第41圖至第44圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P57至P128的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t30(參照第41圖至第44圖)，再次從第1照明14A照射第1圖案光。此 時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P59至P130的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t31(參照第41圖至第44圖)，係從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P61至P132的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t32(參照第41圖至第44圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P63至P134的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t33(參照第41圖至第44圖)，再次從第2照明14B照射第2圖案光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P65至P136的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t34(參照第41圖至第44圖)，從第3照明14C照射紅色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P67至P138的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第41圖至第44圖中的各座標位置為「R4」係指照射至該位置的光為「紅色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t35(參照第 41圖至第44圖)，係從第4照明14D照射綠色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P69至P140的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第41圖至第44圖中的各座標位置為「G4」係指照射至該位置的光為「綠色均一光」。
在又經過預定時間Δt的攝像時序t36(參照第41圖至第44圖)，係從第5照明14E照射藍色均一光。此時，在攝像機15的攝像範圍W(X1至X72)，係印刷基板1上相當於座標P71至P142的範圍落於其中，成為對該範圍進行攝像。另外，在第41圖至第44圖中的各座標位置為「B4」係指照射至該位置的光為「藍色均一光」。
當如上述進行而取得印刷基板1的預定的座標位置(例如座標P71、P72)的全部資料，便執行將上述各圖像資料的座標位置進行對位(將各圖像資料彼此間的座標系對齊)的對位處理(參照第45圖至第48圖)。第45圖至第48圖係示意性顯示將在攝像時序t1至t36取得的複數個圖像資料的座標位置進行對位後的狀態之表。
接著，在將複數個圖像資料的同一座標位置的各種資料按各座標位置彙整後，按預先設定的各群(類別)進行整理，記憶至運算結果記憶裝置25(參照第49圖至第51圖)。第49圖至第51圖係示意性顯示將第45圖至第48圖所示印刷基板1各座標位置的各種資料按預先設定的群進行整理重新排列後的狀態之表。但在第49圖至第51圖中係僅例示出印刷基板1的座標P71、P72的部分。
如第49圖至第51圖所示，在本實施形態中係 區分成11個群。詳言之，係區分整理成：與第1圖案光關聯的第1相位群[θ]、第2相位群[θ+90°]、第3相位群[θ+180°]、第4相位群[θ+270°]的4個群；與第2圖案光關聯的第1相位群[θ]、第2相位群[θ+90°]、第3相位群[θ+180°]、第4相位群[θ+270°]的4個群；與各均一光關聯的紅色群[R]、綠色群[G]、藍色群[B]的3個群，共計11個群。
與第1圖案光關聯的第1相位群[θ]係由在攝像時序t1至t3攝得的相位0°至20°或相位5°至25°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第49圖)。
與第1圖案光關聯的第2相位群[θ+90°]係由在攝像時序t10至t12攝得的相位90°至110°或相位95°至115°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第49圖)。
與第1圖案光關聯的第3相位群[θ+180°]係由在攝像時序t19至t21攝得的相位180°至200°或相位185°至205°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第49圖)。
與第1圖案光關聯的第4相位群[θ+270°]係由在攝像時序t28至t30攝得的相位270°至290°或相位275°至295°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第49圖)。
與第2圖案光關聯的第1相位群[θ]係由在攝像時序t4至t6攝得的相位30°至50°或相位35°至55°(相當 於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第50圖)。
與第2圖案光關聯的第2相位群[θ+90°]係由在攝像時序t13至t15攝得的相位120°至140°或相位125°至145°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第50圖)。
與第2圖案光關聯的第3相位群[θ+180°]係由在攝像時序t22至t24攝得的相位210°至230°或相位215°至235°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第50圖)。
與第2圖案光關聯的第4相位群[θ+270°]係由在攝像時序t31至t33攝得的相位300°至320°或相位305°至325°(相當於相位逐個差10°的30°相位量的程度)之範圍的3個亮度值組成(參照第50圖)。
紅色群[R]係由在攝像時序t7、t16、t25、t34於紅色均一光下攝得的4個亮度值(R1至R4)組成(參照第51圖)。
綠色群[G]係由在攝像時序t8、t17、t26、t35於綠色均一光下攝得的4個亮度值(G1至G4)組成(參照第51圖)。
藍色群[B]係由在攝像時序t9、t18、t27、t36於藍色均一光下攝得的4個亮度值(B1至B4)組成(參照第51圖)。
當上述分群結束，控制裝置16便執行將與上述各圖案光關聯的各相位群所含的3個亮度值相加算出 其平均值的平均處理。此外，控制裝置16係將藉由前述平均處理取得的值記憶至運算結果記憶裝置25。
藉此，便能夠按印刷基板1各座標位置分別取得與第1圖案光關聯的4種亮度值(各相位群的亮度平均值)及與第2圖案光關聯的4種亮度值(各相位群的亮度平均值)。結果，能夠取得與第1圖案光關聯的針對印刷基板1全體的光強度分布相異的4種圖像資料、及與第2圖案光關聯的針對印刷基板1全體的光強度分布相異的4種圖像資料。另外，藉由上述構成，此處所取得的與第1圖案光關聯的4種圖像資料、及與第2圖案光關聯的4種圖像資料係分別成為與令具有正弦波狀光強度分布的圖案光的相位逐次相移90°進行攝像所得的4種圖像資料相同的圖像資料。
接著，控制裝置16係根據如上述方式取得的與第1圖案光關聯的4種圖像資料(各座標的4種亮度值)、及與第2圖案光關聯的4種圖像資料(各座標的4種亮度值)，分別藉由在前述先前技術中已說明的公知的相移法進行三維測量(高度測量)，將該測量結果記憶至運算結果記憶裝置25。
此外，控制裝置16係當上述分群結束，便執行將上述各顏色群所含的4個亮度值相加算出其平均值的平均處理。此外，控制裝置16係將藉由前述平均處理取得的值記憶至運算結果記憶裝置25。
此外，控制裝置16係根據如上述方式取得的各值，產生具有紅色、綠色、藍色、近紅外線色、近紫 外線色各顏色成分的印刷基板1全體的圖像資料(以下，稱為亮度圖像資料)，記憶至運算結果記憶裝置25。
然後，根據上述的圖像資料，同上述第1實施形態地進行印刷基板1的三維測量和銲膏4的印刷狀態的檢查等。
如以上詳述，依據本實施形態，達成與上述第1實施形態相同的作用效果。此外，在本實施形態中，係構成為每經過預定時間Δt，逐次搬送印刷基板1相當於圖案光的10°相位量的程度(攝像元件的兩像素份)進行攝像處理，故測量精度較第1實施形態稍差，但另一方面，能夠提高測量效率。
另外，並不限於上述實施形態的記載內容，例如亦可如下述方式實施。無庸贅言，亦當能夠實施未例示於下的其他應用例、變更例。
(a)在上述各實施形態中，係將三維測量裝置具體化成對印刷形成在印刷基板1的銲膏4的高度進行測量的基板檢查裝置10，但並不以此為限，例如亦可具體化成對印刷在基板上的銲料凸塊和安裝在基板上的電子零件等其他物品的高度進行測量的構成。
(b)在上述各實施形態中，係構成為在進行以相移法進行的三維測量時取得相位逐個差90°的4種圖像資料，但相移次數及相移量並不以上述為限。亦能夠採用能夠藉由相移法進行三維測量的其他相移次數及相移量。
例如亦可構成為取得相位逐個差120°(或90°) 的三種圖像資料來進行三維測量，亦可構成為取得相位逐個差180°(或90°)的兩種圖像資料來進行三維測量。
但在如上述各實施形態所示取得進行以相移法進行的三維測量所必要的複數個圖像資料(在上述各實施形態中為4個圖像資料)方面，較佳為對印刷基板1照射的圖案光(第1圖案光或第2圖案光)係皆由差180°相位的一對圖案光之組合組成。若構成如上述，便能夠將複數個時序攝得的複數個攝像結果中，印刷基板1上的預定的座標位置的基於圖案光的相位相異之誤差，在以相移法進行計算的過程(參照前述「先前技術」)抵消掉，從而能夠減小該影響。
(c)在上述各實施形態中，係構成為在取得三維測量用的圖像資料時，係於第1圖案光或第2圖案光下、於每搬送印刷基板1預定量Δx連續進行5次(或3次)攝像。但與三維測量用的圖像資料的取得關聯的攝像次數和攝像時序並不限於上述。例如亦可構成為在每經過預定時間Δt的攝像時序當中的沒連續的複數個時序進行圖案光的攝像。
另一方面，在上述各實施形態中，係構成為在取得亮度圖像資料時，係印刷基板1每移動相當於圖案光的1/4週期(相位90°)之距離，進行於各顏色成分的均一光下的攝像，共計4次。但與亮度圖像資料的取得關聯的攝像次數和攝像時序並不限於上述。例如亦可構成為在每經過預定時間Δt的攝像時序當中的連續的複數個時序進行均一光的攝像。
(d)從各照明照射的光的種類等照射手段的構成並不限於上述各實施形態的照明裝置14。
例如在上述各實施形態的第1照明14A及第2照明14B中係構成為使用液晶光學遮光器，照射具有接近理想正弦波光強度分布的圖案光。但並不限於此，亦可採用光柵板作為將來自光源的光轉換成圖案光的光柵。此外，亦可構成為改照射具有矩形波狀和梯形波狀等光強度分布的圖案光作為條紋狀的圖案光，取代具有正弦波狀光強度分布的圖案光。
此外，在上述各實施形態中，係構成為不僅具備照射圖案光的第1照明14A及第2照明14B，還具備第3照明14C等照射均一光的複數個均一光照明，但並不此為限，只要足以取得進行以相移法進行的三維測量所必要的圖像資料，亦可構成為僅具備第1照明14A及第2照明14B。當然，亦可構成為僅具備第1照明14A或第2照明14B其中任一者。
(e)在上述各實施形態中，從第1照明14A照射的第1圖案光與從第2照明14B照射的第2圖案光係形成為亮度及週期相同的圖案光。
但並不以此為限，亦可構成為各圖案光的週期(條紋間距(pitch))相異。例如將第1圖案光採用第1週期(例如600μm)的圖案光，並且將第2圖案光採用比前述第1週期長的第2週期(例如800μm)的圖案光。如此，只要組合週期短的第1圖案光與週期長的第2圖案光進行測量，則關於照射兩圖案光的區域，便能夠獲得利用長週期的 第2圖案光的好處亦即能夠擴大所能夠測量的高度範圍、及利用短週期的第1圖案光的好處亦即能夠實現解析度高的高精度測量兩種好處的效果。結果，能夠以寬動態範圍進行高解析度的測量，能夠實現更高精度的測量。
此外，亦可構成為同前述專利文獻1、2，照射亮度不同的圖案光(或均一光)而獲得相同的作用效果。惟依據本發明，係將複數次攝像所得的結果(亮度值)進行相加等，藉此，能夠取得與印刷基板1上全部部位(從亮部到暗部)對應的亮度的動態範圍寬的圖像資料，故不需照射亮度不同的光即能夠抑制基於印刷基板1上各部位明暗差異的各種缺陷的發生。
(f)在上述各實施形態中，係採用相移法作為三維測量方法，但除此之外亦能夠採用空間編碼法和疊紋法、對焦法等各種三維測量方法。因此，亦可構成為改照射其他三維測量用的光取代條紋狀的圖案光、或在條紋狀的圖案光之外加上其他三維測量用的光。
(g)在上述各實施形態中，係構成為以輸送機13將印刷基板1連續搬送，藉此使照明裝置14及攝像機15與印刷基板1間的位置關係相對移動，但並不以此為限，亦可構成為移動由照明裝置14及攝像機15構成的測量頭(head)使該測量頭與印刷基板1之間的位置關係相對移動。此外，亦可改採用其他的移動手段取代輸送機13，亦可構成為將印刷基板1間歇移動而非連續移動。
(h)在上述各實施形態中，係構成為在取得進行以相移法進行的三維測量所必要的4種圖像資料其 中1個圖像資料時，將於第1圖案光或第2圖案光下、於每搬送印刷基板1預定量Δx攝得的複數次份(例如攝像時序t1至t5)的圖像資料的亮度值，按印刷基板1各座標位置相加，算出其平均值。
但並不限於上述，亦可省略算出平均值的處理，構成為根據將複數次份的圖像資料的亮度值按印刷基板1各座標相加而得的加算資料(圖像資料)來進行三維測量。
此外，亦可構成為在印刷基板1的移動中(例如攝像時序t1至t5)連續照射圖案光。
(i)在上述各實施形態中，係採用CCD感測器作為攝像機15的攝像元件，但攝像元件並不以此為限，例如亦可採用CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor；互補式金屬氧化物半導體)感測器等。
另外，在使用一般的CCD攝像機等的情形中，並無法於曝光中進行資料轉送，故在如上述各實施形態於每搬送印刷基板1預定量進行攝像(曝光)的情形中，係必須在攝像間進行資料轉送(讀取)。
對此，當使用CMOS攝像機和具有能夠在資料轉送中進行曝光之功能的CCD攝像機等作為攝像機15時，由於能夠將攝像(曝光)與資料轉送局部重疊進行，故適於印刷基板1的連續搬送，能夠謀求測量時間的縮短化。
(j)在上述各實施形態中，係將亮度圖像資料利用於進行各種測量對象區域的抽出處理，但亦可改用於或復用於其他用途。例如，亦可構成為將亮度圖像 資料對藉由三維測量獲得的三維資料進行映射。若構成為上述，便能夠表現被測量物的濃淡，能夠提高三維圖像的質感。結果，容易瞬間掌握被測量物的形狀，能夠使確認作業所要的時間顯著地減少。
1‧‧‧印刷基板
10‧‧‧基板檢查裝置
13‧‧‧輸送機
14‧‧‧照明裝置
14A至14G‧‧‧照明
15‧‧‧攝像機
W‧‧‧攝像範圍

Claims (8)

  1. 一種三維測量裝置，係具備：照射手段，係具有能夠對被測量物照射預定的光的至少一個照明；攝像手段，係能夠對受到前述光照射的前述被測量物進行攝像；及移動手段，係能夠使前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動；一邊令前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動，一邊在預定的時序從前述照射手段對該被測量物照射預定的光，能夠根據藉由前述攝像手段攝得的攝像結果，執行前述被測量物的三維測量，在前述三維測量裝置中，其特徵為：具備：圖像資料取得手段，係能夠根據藉由前述攝像手段攝得的攝像結果，取得用於預定用途的圖像資料；及圖像處理手段，係能夠根據藉由前述圖像資料取得手段取得的至少一個圖像資料，執行預定處理，在前述圖像資料取得手段取得1個圖像資料方面，係：在前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物間的相對位置關係相異的複數個時序，執行從前述照射手段的同一照明照射的光下的攝像；執行將該攝像結果按前述被測量物上各座標位置 相加或取平均的處理。
  2. 如請求項1之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備能夠照射具有條紋狀光強度分布的圖案光之照明；前述圖像資料取得手段係構成為能夠根據於至少前述圖案光下攝得的攝像結果，取得前述被測量物上的光強度分布逐個相差前述圖案光的預定相位量的複數個圖像資料；前述圖像處理手段係構成為能夠根據藉由前述圖像資料取得手段取得的前述複數個圖像資料，藉由相移法執行前述被測量物的三維測量。
  3. 如請求項2之三維測量裝置，其中在能夠在每次前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動至少比前述預定相位量小的預定量的時序執行以前述攝像手段進行的攝像處理之構成下，以能夠執行前述攝像處理的時序當中的連續的複數次份的時序，作為進行從前述同一照明照射的圖案光下的攝像的複數個時序。
  4. 如請求項2或3之三維測量裝置，其中在前述圖像資料取得手段取得前述複數個圖像資料方面，對前述被測量物照射的圖案光係皆由差180°相位的一對圖案光之組合組成。
  5. 如請求項1至4中任一項之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備能夠照射光強度為一定的均一光的至少1個照明；前述圖像資料取得手段係構成為能夠根據於至少前述均一光下攝得的攝像結果取得亮度圖像資料。
  6. 如請求項5之三維測量裝置，其中在能夠在每次前述照射手段及前述攝像手段與前述被測量物相對移動預定量的時序執行以前述攝像手段進行的攝像處理之構成下，以能夠執行前述攝像處理的時序當中的不連續的複數次份的時序，作為進行從前述同一照明照射的均一光下的攝像的複數個時序。
  7. 如請求項1至6中任一項之三維測量裝置，其中前述照射手段係具備分別照射預定的光的複數個照明；構成為照預定的順序切換前述複數個照明，能夠在預定的時序照射預定的光。
  8. 如請求項1至7中任一項之三維測量裝置，其中前述被測量物乃係印刷有銲膏的印刷基板或形成有銲料凸塊的晶圓基板。
TW105130279A 2016-01-07 2016-09-20 三維測量裝置 TW201734405A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016001622A JP2017122641A (ja) 2016-01-07 2016-01-07 三次元計測装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201734405A true TW201734405A (zh) 2017-10-01

Family

ID=59273919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105130279A TW201734405A (zh) 2016-01-07 2016-09-20 三維測量裝置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2017122641A (zh)
TW (1) TW201734405A (zh)
WO (1) WO2017119155A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113767263A (zh) * 2019-05-29 2021-12-07 Ckd株式会社 三维测量装置以及三维测量方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6970376B2 (ja) * 2017-12-01 2021-11-24 オムロン株式会社 画像処理システム、及び画像処理方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5620807B2 (ja) * 2010-12-22 2014-11-05 ヤマハ発動機株式会社 三次元形状計測装置、部品移載装置および三次元形状計測方法
JP5430612B2 (ja) * 2011-05-31 2014-03-05 Ｃｋｄ株式会社 三次元計測装置
JP5643241B2 (ja) * 2012-02-14 2014-12-17 Ckd株式会社 三次元計測装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113767263A (zh) * 2019-05-29 2021-12-07 Ckd株式会社 三维测量装置以及三维测量方法
CN113767263B (zh) * 2019-05-29 2024-05-07 Ckd株式会社 三维测量装置以及三维测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2017119155A1 (ja) 2017-07-13
JP2017122641A (ja) 2017-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI622754B (zh) Three-dimensional measuring device
US8064068B2 (en) Multi-source sensor for three-dimensional imaging using phased structured light
WO2012050378A2 (ko) 기판 검사방법
KR101527525B1 (ko) 삼차원 계측 장치
US8059280B2 (en) Method for three-dimensional imaging using multi-phase structured light
CN107238608B (zh) 基板检查装置
CN107219237B (zh) 基板检查装置
WO2009107981A2 (ko) 3차원형상 측정장치 및 측정방법
WO2012050375A2 (ko) 측정장치 및 이의 보정방법
CN103718210A (zh) Tdi传感器、拍摄装置、元件安装装置、元件测试装置及基板检查装置
US20150204660A1 (en) Continuous scan type measuring apparatus
TWI613416B (zh) 三維測量裝置
JP5957575B1 (ja) 三次元計測装置
TW201734405A (zh) 三維測量裝置
JP2001124700A (ja) ラインセンサーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法
TWI606227B (zh) Three-dimensional measuring device
TWI481814B (zh) 三維測定裝置
JP7437188B2 (ja) 検査装置
WO2023236069A1 (zh) 对位校正系统及其方法
TWI752558B (zh) 晶粒接合裝置及半導體裝置之製造方法
TW201719112A (zh) 三維測量裝置
JP2022122698A (ja) 表面形状測定装置、表面形状測定方法
JPH0791917A (ja) 回路基板の位置ずれ計測方法
JPH0235305A (ja) 移動物体の寸法測定方法