TW201634912A - 多點溫度元件加溫檢測方法 - Google Patents

Abstract

一種多點溫度加溫檢測方法，包括：備有一標準溫度元件及多個被測溫度元件，將檢測裝置與標準溫度元件及多個被測溫度元件電性連結，再於檢測裝置上建立資料。建立資料完畢，檢測裝置運算所建立資料並儲存運算的資料數據，將標準溫度元件及多個被測溫度元件放入加熱爐中加熱。將標準溫度元件量測的實際溫度與多個被測溫度元件量測的測試溫度傳至檢測裝置，進行誤差分析，若判定誤差值在設定範圍內，判定合格，若判定誤差值不在設定範圍內，判定不合格，並記錄數據製成校正曲線及報告，以分析數據來判斷加熱爐內所安裝的感應溫元件是否正常。

Description

多點溫度元件加溫檢測方法 【0001】

本發明係有關一種加溫校正方法，尤指一種用以檢測加熱爐內部所安裝的感應溫度元件是否正常或損壞。

【0002】

目前在半導體工廠、化學工廠中都具備有的加熱爐(或恆溫爐)，該加熱爐是利用溫度控制器控制加熱爐中的加熱器，使加熱器可以對加熱爐中的物品進行加熱處理。

【0003】

一般的加熱爐內部都具有一感應溫度元件，以感應加熱爐的加熱溫度是否有達到所需的溫度。在加熱爐使用一段時間後，爐中的感應溫度元件勢必會發生老化或損壞的情事，導致在感應加熱爐內部的加熱溫度時無法精確的感應，此時就必需將感應溫度元件拆下進行檢測，以檢測感應元件是否有問題。

【0004】

由於加熱爐會因為使用的場所不同，而有不同的加熱溫度，因此檢測單位在檢測時，就必需準備不同加熱溫度的加熱爐(例如常溫為實際量測加熱爐內時際量測溫度，在25%時為量測溫度為125℃，在50%時為量測溫度為250℃，在75%時為量測溫度為375℃，在100%時為量測溫度為500℃)。在檢測時，將必須將感應溫度元件拆下放在不同的加熱爐中進行加溫檢測，如此一來，檢測設備投資成本過高，而且檢測過程中所花費的工時及工序也較多。

【0005】

因此，本發明之主要目的，在於解決傳統缺失，避免缺失存在，本發明只要利用一只標準溫度元件及多個被測溫度元件排列在特定間距中，並放進於一只加熱爐(或恆溫爐)中，進可進行不同溫度的感應檢測，以降低檢測設備成本，使檢測過程更加容易簡單化，可降低檢測時所花費的工時及工序。

【0006】

本發明之另一目的，在於標準溫度元件及多個被測溫度元件可自我檢測，判定檢測是否正確。

【0007】

為達上述之目的，本發明提供一種多點溫度加溫檢測方法，用以檢測加熱爐內部所安裝的感應溫度元件是否正常，包括：備有一標準溫度元件及多個被測溫度元件，再備有一檢測裝置，該檢測裝置與該標準溫度元件及該些被測溫度元件電性連結後，於該檢測裝置在建立資料。接著，在建立資料完畢後，該檢測裝置的運算所建立資料，在運算完畢後，並將運算後的資料數據儲存，再將標準溫度元件及該些被測溫度元件放入於加熱爐中。最後，在加熱爐在加熱過程中，該標準溫度元件所量測到的實際溫度與該些被測溫度元件所量測到的測試溫度傳至該檢測裝置中，由該檢測裝置進行實際溫度與測試溫度的誤差分析，若判定誤差值在設定範圍內，就判定合格，若判定誤差值不在設定範圍內，就在判定不合格，並以分析數據來判斷加熱爐內所安裝的感應溫元件是否正常。

【0008】

在本發明之一實施例中，該標準溫度元件及該些被測溫度元件在排列時，以標準溫度元件為中心，該些被測溫度元件以環設於該標準溫度元件外圍，該些被測溫度元件與該標準溫度元件之間具有一特定間距，該特定間距為5cm；該標準溫度元件及該些被測溫度元件為長條狀或不規則狀的感測溫度元件。

【0009】

在本發明之一實施例中，該檢測裝置建立資料時，該檢測裝置顯示建立資料畫面，該建立資料上的各欄位包含有一客戶名稱欄位、一工程名稱欄位、一檔案名稱欄位、一編號選擇欄位、一資料輸入欄位、一類型欄位、一設定溫度欄位、一容許誤差欄位、一目前實際值(常溫)欄位、一目前測試值、一目前誤差值、一連線鍵、一存檔鍵、一單筆設定鍵、一全部設定鍵、一欄位選擇鍵及一確認更新鍵；在前述的資料輸入欄位中更包含有一編號欄位、一廠牌欄位及一序號欄位。

【0010】

在本發明之一實施例中，在資料建立後，按下該單筆設定鍵時，會在單一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判定結果。

【0011】

在本發明之一實施例中，在資料建立後，按下該全部設定鍵時，會在每一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判定結果。

【0012】

在本發明之一實施例中，更包括在分析判斷後，以檢測裝置記錄數據或由用目視記錄數據，並顯示合格或不合格於檢測裝置的顯示幕上。

【0013】

在本發明之一實施例中，更包括在根據記錄數據畫出校正曲線圖，並顯示於該顯示幕上。

【0014】

在本發明之一實施例中，更包括在記錄分析數據及校正曲線圖傳至該印表機上，由印表機印出記錄分析數據及校正曲線圖製成報表。

【0015】

在本發明之一實施例中，更包含在於該標準溫度元件與該些被測溫度元件之間的自我檢測，在該標準溫度元件量測的溫度數據與該些被測溫度元件各量測的溫度數據不在設定範圍內，即表示標準溫度元件故障或損壞。

【0016】

在本發明之一實施例中，該檢測裝置包括：一運算單元、一操作界面、一儲存單元、一顯示幕及一輸出界面。該運算單元與該標準溫度元件及該些被測溫度元件電性連結，用以運算所建立資料及該標準溫度元件與該些被測溫度元件所量測到的實際溫度與測試溫度，並分析實際溫度與測試溫度的誤差值，並根據誤差值判定溫度元件合格或不合格，並記錄數據，再根據記錄數據畫製成校正曲線圖。該操作界面由複數按鍵所組成，並與該運算單元電性連結，以該複數按鍵輸入被檢測加熱爐的資料，並傳至於該運算單元中運算。該儲存單元與該運算單元電性連結，以儲存運算單元所運算後的各種記錄分析數據。該顯示幕與該運算單元電性連結，用以顯示建立資料畫面、校正資料表及校正曲線圖。該輸出界面與該運算單元電性連結，該輸出界面與外部的印表機電性連結，將該運算單元所分析合格或不合格的記錄分析數據及校正曲線圖傳至印表機上，以印出該記錄分析數據及曲線圖製成報告。

【0047】

1‧‧‧標準溫度元件

【0048】

2a~2h‧‧‧被測溫度元件

【0049】

3‧‧‧檢測裝置

【0050】

31‧‧‧運算單元

【0051】

32‧‧‧操作界面

【0052】

33‧‧‧儲存單元

【0053】

34‧‧‧顯示幕

【0054】

35‧‧‧輸出界面

【0055】

36‧‧‧建立資料畫面

【0056】

361‧‧‧客戶名稱欄位

【0057】

362‧‧‧工程名稱欄位

【0058】

363‧‧‧檔案名稱欄位

【0059】

364‧‧‧編號選擇欄位

【0060】

365‧‧‧資料輸入欄位

【0061】

3651‧‧‧編號欄位

【0062】

3652‧‧‧廠牌欄位

【0063】

3653‧‧‧序號欄位

【0064】

366‧‧‧類型欄位

【0065】

367‧‧‧設定溫度欄位

【0066】

368‧‧‧容許誤差欄位

【0067】

369‧‧‧目前實際值欄位

【0068】

360‧‧‧目前測試值

【0069】

3601‧‧‧目前誤差值

【0070】

3602‧‧‧連線鍵

【0071】

3603‧‧‧存檔鍵

【0072】

3604‧‧‧單筆設定鍵

【0073】

3605‧‧‧全部設定鍵

【0074】

3606‧‧‧欄位選擇鍵

【0075】

3607‧‧‧確認更新鍵

【0076】

4‧‧‧加熱爐

【0077】

41‧‧‧溫度控制器

【0078】

42‧‧‧加熱器

【0079】

5‧‧‧報告

【0080】

51‧‧‧建立資料

【0081】

52‧‧‧校正資料

【0082】

53‧‧‧校正曲線圖

【0083】

54‧‧‧檢測者

【0084】

55‧‧‧檢驗者

【0085】

56‧‧‧日期

【0086】

57‧‧‧測試單位

【0017】

圖1，係本發明之多點溫度加溫檢測方法流程示意圖。

【0018】

圖2，係本發明之標準溫度元件與多個被測溫度元件排列示意圖。

【0019】

圖3，係本發明之檢測裝置、標準溫度元件、被測溫度元件與加熱爐配置連結示意圖。

【0020】

圖4，係本發明之建立資料畫面示意圖。

【0021】

圖5，係本發明之校正曲線示意圖。

【0022】

圖6，係本發明之溫度元件測試/校正表示意圖。

【0023】

茲有關本發明之技術內容及詳細說明，現在配合圖式說明如下：

【0024】

請參閱圖1及圖2，係本發明之多點溫度加溫檢測方法流程及標準溫度元件與多個被測溫度元件排列示意圖。如圖所示：本發明之多點溫度加溫檢測方法，在檢測加熱爐(或恆溫爐)加溫狀態來判斷加熱爐內部的感應溫度元件是否正常或損壞，並且來分析加熱爐是否合格或不合格，並且可將分析數據記錄，並畫成校正曲線圖及製成報告， 以分析數據來判斷加熱爐內所安裝的感應溫元件是否正常。

【0025】

首先，步驟100，備有一標準溫度元件1及多個被測溫度元件2a~2h，在排列時，以標準溫度元件1為中心，該些被測溫度元件2a~2h以環設於該標準溫度元件1外圍，該些被測溫度元件2a~2h與該標準溫度元件1之間具有一特定間距d，該特定間距為5cm，以避免該些被測溫度元件2a~2h之間的溫度干擾。且，本發明之標準溫度元件1是經過全國認證基金會(Taiwan Accreditation Foundation，TAF)認證。在本圖式中，該標準溫度元1及該些被測溫度元件2a~2h為長條狀或不規則狀的感測溫度元件。

【0026】

步驟102，再備有一檢測裝置，在建立資料時，該檢測裝置(圖中未示)的顯示幕上會顯示建立資料畫面，該建立資料畫面上的各欄位包含有一客戶名稱欄位、一工程名稱欄位、一檔案名稱欄位、一編號選擇欄位、一資料輸入欄位、一類型欄位、一設定溫度欄位、一容許誤差欄位、一目前實際值(常溫)欄位、一目前測試值、一目前誤差值、一連線鍵、一存檔鍵、一單筆設定鍵、一全部設定鍵、一欄位選擇鍵及一確認更新鍵。在前述的資料輸入欄位中更包含有一編號欄位、一廠牌欄位及一序號欄位。在資料建立後，按下該單筆設定鍵時，會在單一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判斷結果。且，在資料建立後，按下該全部設定鍵時，會在每一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判斷結果。又，在量測溫度範圍在常溫、25%、50%、75%及100%，例如當溫度設定在500℃時，常溫為實際量測加熱爐內時際量測溫度，在25%時為量測溫度為125℃，在50%時為量測溫度為250℃，在75%時為量測溫度為375℃，在100%時為量測溫度為500℃。

【0027】

步驟104，運算建立資料，在建立資料完畢後，該檢測裝置的運算單元根據所輸入的資料開始運算。在本圖式中，該運算單元為微處理器。

【0028】

步驟106，在運算單元運算完畢後，並將運算後的資料數據儲存在儲存單元中。在本圖式中，該儲存單元為記憶體。

【0029】

步驟108，將標準溫度元件1及該些被測溫度元件2a~2h放入於加熱爐(圖中未示)當中，並將該標準溫度元件1及多個被測溫度元件2a~2h與檢測裝置電性連結。

【0030】

步驟110，在上述的標準溫度元件1及該些被測溫度元件2a~2h被放置於加熱爐後，該加熱爐開始加熱。

【0031】

步驟112，在加熱過程中，該標準溫度元件1所量測到的實際溫度與該些被測溫度元件2a~2h所量測到的測試溫度傳至該檢測裝置中，由該檢測裝置進行實際溫度與測試溫度的誤差分析，若判定誤差值(%)在設定範圍內，就在判定結果欄位中記載「合格」，若判定誤差值(%)不在設定範圍內，就在判定結果欄位中記載「不合格」。

【0032】

步驟114，在分析判定後，由檢測裝置記錄數據或者由件測者用目視記錄數據，並顯示合格或不合格於檢測裝置的顯示幕上。

【0033】

步驟116，在根據記錄分析數據畫出校正曲線圖，並顯示於該顯示幕上。

【0034】

步驟118，製成報告，在上述記錄數據及校正曲線圖傳至該印表機上，由印表機印出記錄分析數據及校正曲線圖。

【0035】

進一步，在該標準溫度元件1與該些被測溫度元件2a~2h之間可進行自我檢測，當標準溫度元件1量測的溫度數據與該些被測溫度元件2a~2h各量測的溫度數據不在設定範圍內，即表示標準溫度元件1故障或損壞，例如當標準溫度元件1量測的溫度數據100℃，該些被測溫度元件2a~2h各量測的溫度數據為50℃時即可表示標準溫度元件1故障或損壞。

【0036】

請參閱圖3，係本發明之檢測裝置與標準溫度元件、被測溫度元件與加熱爐配置連結電路方塊示意圖。如圖所示：該檢測裝置3包括有：一運算單元31、一操作界面32、一儲存單元33、一顯示幕34及一輸出界面35。

【0037】

該運算單元31，係與該標準溫度元件1及該些被測溫度元件2a~2h電性連結，用以運算所建立資料及該標準溫度元件1與該些被測溫度元件2a~2h所量測到的實際溫度與測試溫度，並分析實際溫度與測試溫度的誤差值，並根據誤差值判定溫度元件合格或不合格，並記錄分析數據，再根據記錄分析數據畫製成校正曲線圖，再根據記錄分析數據及畫製成校正曲線圖製成報告。

【0038】

該操作界面32，係由複數按鍵所組成，並與該運算單元31電性連結，以該複數按鍵輸入被檢測加熱爐的資料，並傳至於該運算單元31中運算。

【0039】

該儲存單元33，係與該運算單元31電性連結，以儲存運算單元31所運算後的各種記錄分析數據。在本圖式中，該儲存單元33為記憶體。

【0040】

該顯示幕34，係與該運算單元31電性連結，用以顯示建立資料畫面、校正資料表及校正曲線圖。

【0041】

該輸出界面35，係與該運算單元31電性連結，該輸出界面35與外部的印表機(圖中未示)電性連結，可以將該運算單元31所分析分合格或不合格的記錄分析數據及校正曲線圖傳至印表機上，以印出該分析數據及曲線圖製成報告。在本圖式中，該輸出界面為連接器(USB)或無線傳輸模組。

【0042】

請參閱圖3~圖5，係本發明之檢測裝置與標準溫度元件、被測溫度元件與加熱爐配置連結及建立資料畫面與校正曲線示意圖，同時一併請參閱圖2所示。如圖所示：在本發明進行加熱爐4量測時，先將該標準溫度元件1及該些被測溫度元件2a~2h放置於該加熱爐4內部，並將該標準溫度元件1及該些被測溫度元件2a~2h與檢測裝置3的運算單元31電性連結，在進行量測時，檢測裝置3的顯示幕34上會顯示建立資料畫面36，該建立資料畫面36上的各欄位包含有一客戶名稱欄位361、一工程名稱欄位362、一檔案名稱欄位363、一編號選擇欄位364、一資料輸入欄位365、一類型欄位366、一設定溫度欄位367、一容許誤差欄位368、一目前實際值(常溫)欄位369、一目前測試值360、一目前誤差值3601、一連線鍵3602、一存檔鍵3603、一單筆設定鍵3604、一全部設定鍵3605、一欄位選擇鍵3606及一確認更新鍵3607。在前述的資料輸入欄位365中更包含有一編號欄位3651、一廠牌欄位3652及一序號欄位3653。在建立資料下方更具有一校正資料表(如下表所示)，前述所建立資料及量測分析的數據都自動記錄在該校正資料表中(本發明針對下列校正資料表做單一列欄位說明)。

【0043】

在建立資料後，標準溫度元件1量測常溫為33.333℃，該被測溫度元件2a量測的測試溫度為33.335℃，經檢測裝置3運算後誤差值為0.002。在常溫量測完畢後接著量測25%溫度範圍，此時加熱爐4的溫度控制器41對加熱器(heater)42驅動，使該加熱器42加溫至125時，該標準溫度元件1量測常溫為249.333℃，該被測溫度元件2a量測的測試溫度為249.335℃，經檢測裝置3運算後誤差值為0.002。依此類推做完不同溫度的量測後，並判定測誤差值在設定範圍內就判定為合格，並顯示在判定結果欄位中，若判定測誤差值不在設定範圍內就判定為不合格

，並顯示在判定結果欄位中。在量測完成後，該檢測裝置1會根據記錄數據畫製成校正曲線圖。

【0044】

校正資料表：

【0045】

請參閱圖6，係本發明之溫度元件測試/校正表示意圖。如圖所示：當本發明之加熱爐檢測校正檢測後，檢測者或委託者可以將此資料傳輸至到印表機上，經由印表機將該溫度元件測試/校正表印出來成為報告5。在本圖式中，該溫度元件測試/校正表內容至少包含有一建立資料51、一校正資料52、一校正曲線圖53、一檢測者54、一檢驗者55、一日期56及一測試單位57。

【0046】

上述僅為本發明之較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍。即凡依本發明申請專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

100~112‧‧‧步驟

Claims (10)

1. 【第1項】

   一種多點溫度加溫檢測方法，用以檢測加熱爐內部安裝的感應溫度元件是否正常，包括：
   備有一標準溫度元件及多個被測溫度元件；
   再備有一檢測裝置，該檢測裝置與該標準溫度元件及該些被測溫度元件電性連結後，於該檢測裝置在建立資料；
   在建立資料完畢後，該檢測裝置的運算所建立資料；
   在運算完畢後，並將運算後的資料數據儲存；
   將標準溫度元件及該些被測溫度元件放入於加熱爐中；
   在上述的標準溫度元件及該些被測溫度元件被放置於加熱爐後，該加熱爐開始加熱；
   在加熱過程中，該標準溫度元件所量測到的實際溫度與該些被測溫度元件所量測到的測試溫度傳至該檢測裝置中，由該檢測裝置進行實際溫度與測試溫度的誤差分析，若判斷誤差值在設定範圍內，就判定合格，若判定誤差值不在設定範圍內，就在判定不合格，以分析數據來判斷加熱爐內所安裝的感應溫元件是否正常。
2. 【第2項】

   如申請專利範圍第1項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟a的該標準溫度元件及該些被測溫度元件在排列時，以標準溫度元件為中心，該些被測溫度元件以環設於該標準溫度元件外圍，該些被測溫度元件與該標準溫度元件之間具有一特定間距，該特定間距為5cm；該標準溫度元及該些被測溫度元件為長條狀或不規則狀的感測溫度元件。
3. 【第3項】

   如申請專利範圍第2項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟b的檢測裝置建立資料時，該檢測裝置顯示建立資料畫面，該建立資料上的各欄位包含有一客戶名稱欄位、一工程名稱欄位、一檔案名稱欄位、一編號選擇欄位、一資料輸入欄位、一類型欄位、一設定溫度欄位、一容許誤差欄位、一目前實際值(常溫)欄位、一目前測試值、一目前誤差值、一連線鍵、一存檔鍵、一單筆設定鍵、一全部設定鍵、一欄位選擇鍵及一確認更新鍵；在前述的資料輸入欄位中更包含有一編號欄位、一廠牌欄位及一序號欄位。
4. 【第4項】

   如申請專利範圍第3項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在資料建立後，按下該單筆設定鍵時，會在單一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判定結果。
5. 【第5項】

   如申請專利範圍第4項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在資料建立後，按下該全部設定鍵時，會在每一列欄位中顯示編號、廠牌、序號，在檢測時會在同一列中顯示實際溫度、測試溫度、誤差及判定結果。
6. 【第6項】

   如申請專利範圍第5項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟g之後更包括步驟h，在分析判斷後，以檢測裝置記錄數據或由用目視記錄數據，並顯示合格或不合格於檢測裝置的顯示幕上。
7. 【第7項】

   如申請專利範圍第6項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟h後更包括有步驟i在根據記錄數據畫出校正曲線圖，並顯示於該顯示幕上。
8. 【第8項】

   如申請專利範圍第7項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟i後更包括有步驟j在記錄分析數據及校正曲線圖傳至該印表機上，由印表機印出記錄分析數據及校正曲線圖製成報表。
9. 【第9項】

   如申請專利範圍第8項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟j後更包含有步驟k在於該標準溫度元件與該些被測溫度元件之間的自我檢測，在該標準溫度元件量測的溫度數據與該些被測溫度元件各量測的溫度數據不在設定範圍內，即表示標準溫度元件故障或損壞。
10. 【第10項】

    如申請專利範圍第9項所述之多點溫度加溫檢測方法，其中，在步驟b的檢測裝置包括：
    一運算單元，係與該標準溫度元件及該些被測溫度元件電性連結，用以運算所建立資料及該標準溫度元件與該些被測溫度元件所量測到的實際溫度與測試溫度，並分析實際溫度與測試溫度的誤差值，並根據誤差值判定溫度元件合格或不合格，並記錄數據，再根據記錄數據畫製成校正曲線圖；
    一操作界面，係由複數按鍵所組成，並與該運算單元電性連結，以該複數按鍵輸入被檢測加熱爐的資料，並傳至於該運算單元中運算；
    一儲存單元，係與該運算單元電性連結，以儲存運算單元所運算後的各種記錄分析數據；
    一顯示幕，係與該運算單元電性連結，用以顯示建立資料畫面、校正資料表及校正曲線圖；及
    一輸出界面，係與該運算單元電性連結，該輸出界面與外部的印表機電性連結，將該運算單元所分析合格或不合格的記錄分析數據及校正曲線圖傳至印表機上，印出該記錄分析數據及曲線圖製成報告。