TW201627092A - 分割槽形成裝置及分割槽形成方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供可以一定深度高精確度地形成分割槽的分割槽形成裝置及分割槽形成方法。該分割槽形成裝置10具備：第1刀具20，具有複數片第1旋轉刃32；第2刀具22，具有複數片第2旋轉刃52；第1旋轉驅動手段72，用以旋轉驅動第1刀具20；第2旋轉驅動手段74，用以旋轉驅動第2刀具22；刀具支持手段76，以使旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式支持第1刀具20及第2刀具22；相位調整手段104，用以調整第1刀具20及第2刀具22至少一個的相位，使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52在第1刀具20與第2刀具22相對的對向區域形成相對向。

Description

分割槽形成裝置及分割槽形成方法
本發明係關於在基板的一面及另一面彼此對應的位置形成用以分割基板之分割槽的分割槽形成裝置及分割槽形成方法。
傳統上，電器設備等之基板的製造方法中，有一種是將複數個單位基板統一集製在1片基板上，並將分割槽從表背兩面形成在該基板的各單位基板間，再以分割槽將該基板分割成複數個單位基板。專利文獻1中就記載了這種基板製造方法所用的一個分割槽形成裝置例。該分割槽形成裝置具備了具有複數片旋轉刃的2組刀具。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1 日本特開2012-86353號公報
專利文獻1所記載的先前技術中，完全未就2組刀具的旋轉刃彼此間的位置關係加以考量。因此，在大部分的旋轉驅動時間裡，於2組刀具彼此相對的對向區域，會有各旋轉刃的位置從彼此相對向的位置偏移的顧慮，而在基板上發生拍浪現象之虞。
茲就拍浪現象詳細加以說明。第6圖係為和上述先前技術同類的傳統分割槽形成裝置1中之第1旋轉刃2a和第2旋轉刃3a的位置關係前視圖。第6圖中，第1刀具2的第1旋轉刃2a和第2刀具3的第2旋轉刃3a係從彼此相對的位置偏移配置。因而，在基板4中，與第1旋轉刃2a接觸的基板第1部分4a會被向下方推壓而變形，而與第2旋轉刃3a接觸的基板第2部分4b則被向上方推壓而變形。結果，就在基板4上發生拍浪現象，使第1旋轉刃2a及第2旋轉刃3a分別所形成的分割槽深度變成不均一。 而且，拍浪幅度較大時，會有分割槽本身不能形成，或分割槽貫穿基板4的情形。分割槽貫穿基板4時，不僅基板4的強度會顯著降低，且在後加工中發生不順利的情形，最差的情況中，還會有分割槽形成時造成基板破裂之虞。
本發明係為了解決上述問題而研發者，其目的在提供可以以一定深度高精確度地形成分割槽的分割槽形成裝置及分割槽形成方法。
為了達成上述目的，本發明的分割槽形成裝置係為在基板的一面及另一面彼此對應的位置上同時形成用以分割前述基板的第1分割槽及第2分割槽所需的分割槽形成裝置，其特徵在於，具備：第1刀具，具有用以形成前述第1分割槽的複數片第1旋轉刃；第2刀具，具有用以形成前述第2分割槽的複數片第2旋轉刃；第1旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第1刀具；第2旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第2刀具；刀具支持手段，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；以及相位調整手段，用以調整前述第1刀具及前述第2刀具至少一個的相位，使前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前述第1刀具與前述第2刀具相對的對向區域相對向。
該構成中，由於第1旋轉刃和第2旋轉刃會在第1刀具與第2刀具相對的對向區域相對向，故可在形成第1分割槽及第2分割槽之際防止基板的拍浪現象，且可以一定深度高精確度地形成第1分割槽及第2分割槽。
本發明的另一特徵為具備X方向驅動手段，其係用以使前述第1刀具及前述第2刀具在前述第1分割槽及前述第2分割槽的延伸方向對著前述基板相對地移動。
該構成中，由於可藉X方向驅動手段使第1刀具及第2刀具對著基板相對地移動，故可順利形成第1分割槽及第2分割槽。
本發明的又一特徵為前述第1旋轉驅動手段具有第1馬達；前述第2旋轉驅動手段具有第2馬達；前述相位調整手段具有用以控制前述第1馬達及前述第2馬達之至少一個的控制部；前述控制部係控制前述第1馬達及前述第2馬達的至少一個，使前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前 述對向區域相對向。
該構成中，由於採用控制部來控制第1馬達及第2馬達之至少一個的方式，故可迅速且正確地調整第1刀具及第2刀具至少一個的相位。
本發明的再一特徵為前述複數片第1旋轉刃和前述複數片第2旋轉刃係為以相同數量且以相同傾角設置；前述相位調整手段具有用以檢測前述第1刀具及前述第2刀具之各相位的相位檢測部；前述控制部係控制前述第1馬達及前述第2馬達的至少一個，使前述第1刀具及前述第2刀具的各相位之差為前述傾角的整數倍。
該構成中，由於複數片第1旋轉刃和複數片第2旋轉刃係為相同數量且以相同傾角設置，故只要第1刀具與第2刀具的相位差為傾角的整數倍，就可使第1旋轉刃與第2旋轉刃在對向區域相對向。因而，只要以相位差為傾角整數倍的方式控制第1馬達及第2馬達的至少一個，就可簡單的使第1旋轉刃和第2旋轉刃在對向區域相對向。
為了達成上述目的，本發明分割槽形成方法係為在基板的一面及另一面彼此對應的位置同時形成用以分割前述基板的第1分割槽及第2分割槽的分割槽形成方法，其特徵在於，包括下列步驟：(a)將具有用以形成前述第1分割槽的複數片第1旋轉刃的第1刀具、及具有用以形成前述第2分割槽的複數片第2旋轉刃的第2刀具，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式配置；(b)以前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前述第1刀具和前述第2刀具相對的對向區域形成相對向的方式，使前述第1刀具及前述第2刀具旋轉；以及(c)在前述第1分割槽及前述第2分割槽的延伸的X方向上，使前述第1刀具及前述第2刀具一面對著前述基板相對地移動，一面形成前述第1分割槽及前述第2分割槽。
該構成中，由於第1旋轉刃和第2旋轉刃會在第1刀具與第2刀具相對的對向區域形成相對向，故可在形成第1分割槽及第2分割槽之際防止基板的拍浪現象，且可以一定深度高精確度地形成第1分割槽及第2分割槽。
10‧‧‧分割槽形成裝置
12‧‧‧基板
12a‧‧‧基板的一面
12b‧‧‧基板的另一面
14、16‧‧‧分割槽
18‧‧‧單位基板
20‧‧‧第1刀具
22‧‧‧第2刀具
24‧‧‧旋轉台
26‧‧‧工件夾盤
30、50‧‧‧刃座
32‧‧‧第1旋轉刃
34‧‧‧第1馬達
34a‧‧‧旋轉軸
36、40、44‧‧‧貫通孔
38、58‧‧‧螺栓
42、62‧‧‧定位銷
52‧‧‧第2旋轉刃
54‧‧‧第2馬達
54a‧‧‧第2馬達轉軸
56、60、64‧‧‧貫通孔
68‧‧‧旋轉台驅動手段
70‧‧‧控制部
72‧‧‧第1旋轉驅動手段
74‧‧‧第2旋轉驅動手段
76‧‧‧刀具支持手段
78‧‧‧Z方向驅動手段
80‧‧‧X方向驅動手段
82‧‧‧Y方向驅動手段
84‧‧‧第1馬達驅動器
86、94‧‧‧凸緣
88、96‧‧‧螺孔
90‧‧‧第1相位檢測部
92‧‧‧第2馬達驅動器
98‧‧‧第2相位檢測部
102‧‧‧支持台
104‧‧‧相位調整手段
L1、L2‧‧‧分割線
M‧‧‧基準線
P1‧‧‧起點
P2‧‧‧終點
Q‧‧‧對向區域
第1圖為本發明一實施形態的分割槽形成裝置的構成前視圖。
第2圖為本發明一實施形態的分割槽形成裝置的構成方塊圖。
第3圖為在基板上形成分割槽所需步驟的立體圖。
第4圖為第1旋轉刃與第2旋轉刃相對狀態的放大前視圖。
第5圖為本發明一實施形態的分割槽形成方法的各步驟流程圖。
第6圖為習知分割槽形成裝置的第1旋轉刃和第2旋轉刃的位置關係前視圖。
[發明的實施形態]
以下，一面參佐圖式，一面就本發明分割槽形成裝置及分割槽形成方法的各實施形態加以說明。
[分割槽形成裝置]
第1圖為本發明一實施形態的分割槽形成裝置10的構成前視圖。第2圖為分割槽形成裝置10的構成方塊圖。第3圖為用以在基板12上形成分割槽14、16的步驟的立體圖。如第3圖所示，以下的說明中，分割槽14、16在水平面內延伸的方向設為X方向，鉛直方向設為Z方向，對X方向及Z方向成正交的方向設為Y方向。
如第2圖所示，分割槽形成裝置10係為在基板12的一面12a及另一面12b彼此對應的位置同時形成用以分割基板12的第1分割槽14及第2分割槽16的設備。如第3圖所示，本實施形態中所用的基板12係為統一集製有電器設備(例如行動電話)等所用之複數個(本實施形態為9個)單位基板18的薄板(厚度0.3至0.4mm左右)式集合基板。第1分割槽14及第2分割槽16係以0.1mm左右的深度形成V字形。此外，基板12的厚度、或第1分割槽14及第2分割槽16的深度並不限於本實施形態所揭示者。
如第1圖所示，分割槽形成裝置10具備：圓板狀的第1刀具20、圓板狀的第2刀具22、旋轉台24、及工件夾盤26。
如第1圖所示，第1刀具20具有圓板狀的刃座30、及設於刃座30外周部的複數片(本實施形態為20片)第1旋轉刃32。如第2圖所示， 刃座30的中心部形成有供後述第1馬達34的旋轉軸34a穿過的貫通孔36。刃座30在貫通孔36的附近部位形成有供螺栓38穿過的複數個(本實施形態為4個)貫通孔40。刃座30在貫通孔40的附近部位形成有供定位銷42穿過的至少1個(本實施形態為1個)貫通孔44。
第1圖所示的各第1旋轉刃32係為藉由切削基板12以形成第1分割槽14(第2圖)所需的切削刃，複數片第1旋轉刃32係以等間隔(本實施形態為18度的角度間隔)設在刃座30的外周部。本實施形態中，第1刀具20係構成為從正面視之朝順時鐘方向旋轉的形態，各第1旋轉刃32則設成朝順時鐘方向的前方。
如第1圖所示，第2刀具22具有：圓板狀的刃座50、及設於刃座50外周部的複數片(本實施形態為20片)第2旋轉刃52。如第2圖所示，刃座50的中心部形成有供後述第2馬達54的旋轉軸54a穿過的貫通孔56。刃座50在貫通孔56的附近部位形成有供螺栓58穿過的複數個(本實施形態為4個)貫通孔60。刃座50在貫通孔60的附近部位形成有供定位銷62穿過的至少1個(本實施形態為1個)貫通孔64。
第1圖所示的各第2旋轉刃52係為藉由切削基板12以形成第2分割槽16(第2圖)所需的切削刃，複數片第2旋轉刃52係以等間隔(本實施形態為18度的角度間隔)設在刃座50的外周部。本實施形態中，第2刀具22係構成為從正面視之朝反時鐘方向旋轉的形態，各第2旋轉刃52則設成朝反時鐘方向的前方。
如第1圖所示，旋轉台24係為在形成第1分割槽14及第2分割槽16(第2圖)的步驟中用以支持基板12的組件。旋轉台24設有用以使其在朝向X方向及Y方向之間變換的旋轉台驅動手段68(第2圖)。因而，即使在彼此正交的分割線L1及分割線L2上切削支持於旋轉台24的基板12時，第1刀具20及第2刀具22的移動方向只要是X方向及Y方向的任一方向(本實施形態為X方向)均可。旋轉台驅動手段68具有伺服馬達(圖示省略)。如第2圖所示，旋轉台驅動手段68係電連接於控制部70，且根據自控制部70輸入的控制訊號來控制旋轉台驅動手段68的伺服馬達(圖示省略)等。
如第1圖所示，工件夾盤26係為將基板12固定在旋轉台24 的組件。本實施形態的工件夾盤26係構成為可用負壓吸附基板12的真空夾盤。工件夾盤26具有用以切換吸附狀態與吸附解除狀態的電磁閥(圖示省略)。如第2圖所示，工件夾盤26係電連接於控制部70，並根據自控制部70輸入的控制訊號來控制工件夾盤26的電磁閥(圖示省略)等。
再者，如第2圖所示，分割槽形成裝置10具備有：第1旋轉驅動手段72、第2旋轉驅動手段74、刀具支持手段76、X方向驅動手段80、Y方向驅動手段82、及相位調整手段104。
如第2圖所示，第1旋轉驅動手段72為用以旋轉驅動第1刀具20的裝置，具有第1馬達34、及第1馬達驅動器84。本實施形態的第1馬達34為伺服馬達，並構成為以8000至10000轉/分鐘的轉速旋轉驅動。第1馬達34的旋轉軸34a設有供固定第1刀具20的凸緣(flange)86。凸緣86上設有：供穿過第1刀具20之貫通孔40的螺栓38螺合的螺孔88；及穿過第1刀具20之貫通孔44的定位銷42。在第1刀具20固定於凸緣86的狀態下，第1馬達34的旋轉軸34a即為第1刀具20的旋轉軸。
如第2圖所示，第1馬達34設有用以檢測旋轉軸34a之相位(亦即，第1刀具20的相位)的第1相位檢測部90。本實施形態的第1相位檢測部90具有旋轉編碼器，且使第1相位檢測部90和控制部70電連接。
第2圖所示的第1馬達驅動器84係為對第1馬達34供給驅動電流的裝置，且電連接於控制部70。控制訊號從控制部70輸入到第1馬達驅動器84時，第1馬達驅動器84會將與該控制訊號相應的驅動電流供給至第1馬達34。
如第2圖所示，第2旋轉驅動手段74為用以旋轉驅動第2刀具22的裝置，具有第2馬達54及第2馬達驅動器92。本實施形態的第2馬達54為伺服馬達，並構成為以8000至10000轉/分鐘的轉速旋轉驅動。第2馬達54的旋轉軸54a設有供固定第2刀具22的凸緣94。凸緣94設有：供穿過第2刀具22之貫通孔60的螺栓58螺合的螺孔96；及穿過第2刀具22之貫通孔64的定位銷62。在第2刀具22固定於凸緣94的狀態下，第2馬達54的旋轉軸54a即為第2刀具22的旋轉軸。
如第2圖所示，第2馬達54設有用以檢測旋轉軸54a之相位 (亦即，第2刀具22的相位)的第2相位檢測部98。本實施形態的第2相位檢測部98具有旋轉編碼器，且使第2相位檢測部98和控制部70電連接。
第2圖所示的第2馬達驅動器92係為對第2馬達54供給驅動電流的單元，且電連接於控制部70。控制訊號自控制部70輸入到第2馬達驅動器92時，第2馬達驅動器92會將與該控制訊號相應的驅動電流供給至第2馬達54。
如第2圖所示，刀具支持手段76係為用以支持第1刀具20及第2刀具22，使各刀具的旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的裝置。本實施形態的刀具支持手段76具有：安裝有第1刀具20的第1馬達34；安裝有第2刀具22的第2馬達54；支持第1馬達34及第2馬達54的Z方向驅動手段78；及支持Z方向驅動手段78的支持台102。Z方向驅動手段78係為使第1馬達34及第2馬達54移動於Z方向的手段，具有線性導件及伺服馬達(圖示省略)。Z方向驅動手段78係電連接於控制部70，並根據自控制部70輸入的控制訊號來控制Z方向驅動手段78的伺服馬達(圖示省略)等。
第2圖所示的X方向驅動手段80係為使第1刀具20及第2刀具22與刀具支持手段76一起移動於X方向的裝置。第2圖所示的Y方向驅動手段82係為使第1刀具20及第2刀具22和刀具支持手段76一起移動於Y方向的裝置。X方向驅動手段80及Y方向驅動手段82具有線性導件及伺服馬達(圖示省略)。X方向驅動手段80及Y方向驅動手段82均電連接於控制部70，並根據自控制部70輸入的控制訊號來控制X方向驅動手段80及Y方向驅動手段82的各伺服馬達(圖示省略)等。
第4圖係為顯示第1旋轉刃32與第2旋轉刃52相對狀態的放大前視圖。第2圖所示的相位調整手段104係為以使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52在第1刀具20與第2刀具22相對的對向區域Q(第4圖)相對向的方式調整第1刀具20及第2刀具22之至少一個相位的裝置。
如第2圖所示，本實施形態的相位調整手段104具有：第1馬達34、第1相位檢測部90、第1馬達驅動器84、第2馬達54、第2相位檢測部98、第2馬達驅動器92、及控制部70。控制部70具有執行各種運算處理的中央運算處理裝置(CPU)、及記憶程式及資料的記憶裝置(ROM、 RAM)。相位調整手段104的控制部70會為了調整相位而控制第1馬達34及第2馬達54的至少一個。
第4圖中的基準線M係為與基板12正交，且通過第1刀具20的旋轉中心及第2刀具22的旋轉中心的假想直線。第1相位檢測部90及第2相位檢測部98在輸出表示原點位置的訊號時，在對向區域Q中，第1旋轉刃32及第2旋轉刃52的各前端會位在基準線M上。
本實施形態中，由於複數片第1旋轉刃32和複數片第2旋轉刃52係為相同數量且以相同傾角設置，故只要第1刀具20和第2刀具22的相位差為傾角(本實施形態為18度)的整數倍，就可使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52在對向區域Q於Z方向上相對向。因此，第2圖所示的控制部70係以上述相位差成為傾角(本實施形態為18度)之整數倍的方式控制第1馬達34及第2馬達54的至少一個。
[分割槽形成方法]
沿第3圖所示的分割線L1、L2在基板12形成第1分割槽14及第2分割槽16之際，首先，將基板12載置於第1圖所示的旋轉台24上，並用工件夾盤26固定該基板12。接著，旋轉驅動第1刀具20及第2刀具22，一面使各刀具移動於X方向及Y方向，一面沿各分割線L1(第3圖)形成第1分割槽14及第2分割槽16。
依第3圖所示的複數條分割線L1完成第1分割槽14及第2分割槽16的形成作業時，接著使第1圖所示的旋轉台24旋轉，將基板12的各分割線L2(第3圖)延伸方向從Y方向變換為X方向。然後，一面使第1刀具20及第2刀具22移動於X方向及Y方向，一面沿各分割線L2(第3圖)形成第1分割槽14及第2分割槽16。此外，第3圖中的兩點鏈線係表示方向變換後的基板12的狀態。
以下，依照第5圖的流程圖分別就分割線L1、L2的第1分割槽14及第2分割槽16的形成方法(分割槽形成方法)詳細加以說明。
第2圖所示的控制部70開始執行分割槽形成程式時，控制部70會依序執行第5圖所示的各步驟S1至S7。首先，在步驟S1中，控制 部70會控制第1馬達34及第2馬達54以旋轉驅動第1刀具20及第2刀具22。此時，第1刀具20及第2刀具22係因Z方向驅動手段78而在Z方向上處於彼此分開的狀態。
形成第1分割槽14及第2分割槽16之際，在第4圖所示的對向區域Q，各個第1旋轉刃32及第2旋轉刃52的位置朝X方向發生偏移時，基板12會產生拍浪現象，使第1分割槽14及第2分割槽16的深度不均一。因此，第2圖所示的相位調整手段104的控制部70即在步驟S2及S3中調整第2刀具22的相位，使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52相對向。
亦即，在步驟S2中，控制部70會取得第1相位檢測部90及第2相位檢測部98(第2圖)檢測所得的第1刀具20及第2刀具22的各相位。在步驟S3中，控制部70會控制第2馬達54(第2圖)以調整第2刀具22的相位，使第1旋轉刃32與第2旋轉刃52在對向區域Q(第4圖)相對向。控制部70會持續執行步驟S2及S3的各步驟，直到分割槽形成程式結束。此外，在步驟S3中，也可控制第1馬達34(第2圖)以調整第2刀具22的相位。而且，也可控制第1馬達34及第2馬達54(第2圖)雙方，以調整第1刀具20及第2刀具22雙方的相位。
在步驟S4中，控制部70會控制X方向驅動手段80、Y方向驅動手段82及Z方向驅動手段78，將第1刀具20及第2刀具22定位於第3圖所示的起點P1。此時，Z方向驅動手段78係使第1刀具20及第2刀具22朝彼此接近的方向移動。在步驟S5中，控制部70則控制X方向驅動手段80，藉由使第1刀具20及第2刀具22往X方向移動，而在基板12上形成第1分割槽14及第2分割槽16。
在步驟S6中，控制部70會判斷第1刀具20及第2刀具22是否已到達X方向的終點P2(第3圖)，若判斷為「未到達」，就繼續執行步驟S5的動作(往X方向的移動)；判斷為「已到達」時，則進到步驟S7。此外，第1刀具20及第2刀具22是否到達終點P2，可根據例如被刀具支持手段76(第2圖)按壓的極限開關(圖示省略)的輸出來判斷。
步驟S7中，控制部70會控制X方向驅動手段80、Y方向驅動手段82及Z方向驅動手段78(第2圖)，使第1刀具20及第2刀具22 往下一個起點移動。藉此動作，針對複數條分割線L1及複數條分割線L2中之1條形成第1分割槽14及第2分割槽16的步驟就告結束。
[本實施形態的功效]
若依本實施形態，可藉上述構成達到以下的各種功效。亦即，如第4圖所示，在第1刀具20和第2刀具22相對的對向區域Q，由於第1旋轉刃32會和第2旋轉刃52相對向，故可防止基板12的拍浪現象。藉此功效，可以一定深度高精確度地形成第1分割槽14及第2分割槽16(第2圖)。
藉由第2圖所示的X方向驅動手段80，可使第1刀具20及第2刀具22對著基板12相對地移動，故可順利形成第1分割槽14及第2分割槽16。而且，第1馬達34及第2馬達54係以控制部70進行控制，所以第1刀具20及第2刀具22至少一個的相位可迅速且正確地獲得調整。
如第1圖所示，由於複數片第1旋轉刃32及複數片第2旋轉刃52係為相同數量且以相同傾角設置，所以只要控制第1馬達34及第2馬達54的至少一個，使相位差達到傾角的整數倍，就可簡單的使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52相對向。
[變化例]
此外，實施本發明時，並不限定於上述實施形態，只要不逸離本發明目的的範圍內，可加入種種的變更。例如，如第3圖所示，上述實施形態中，係使第1刀具20及第2刀具22相對於基板12移動於X方向。惟，也可與此相反，使基板12相對於第1刀具20及第2刀具22移動於X方向(圖示省略)。
此外，如第2圖所示，上述實施形態中，係使用具有控制部70的相位調整手段104作為用以調整第1刀具20及第2刀具22之至少一個相位的相位調整手段，但也可使用由齒輪或正時皮帶等構成的機械式相位調整手段(圖示省略)來替代。
10‧‧‧分割槽形成裝置
12‧‧‧基板
12a‧‧‧基板的一面
12b‧‧‧基板的另一面
14、16‧‧‧分割槽
20‧‧‧第1刀具
22‧‧‧第2刀具
26‧‧‧工件夾盤
32‧‧‧第1旋轉刃
34‧‧‧第1馬達
34a‧‧‧第1馬達的旋轉軸
36、40、44‧‧‧貫通孔
38、58‧‧‧螺栓
42、62‧‧‧定位銷
52‧‧‧第2旋轉刃
54‧‧‧第2馬達
54a‧‧‧第2馬達轉軸
56、60、64‧‧‧貫通孔
68‧‧‧旋轉台驅動手段
70‧‧‧控制部
72‧‧‧第1旋轉驅動手段
74‧‧‧第2旋轉驅動手段
76‧‧‧刀具支持手段
78‧‧‧Z方向驅動手段
80‧‧‧X方向驅動手段
82‧‧‧Y方向驅動手段
84‧‧‧第1馬達驅動器
86、94‧‧‧凸緣
88、96‧‧‧螺孔
90‧‧‧第1相位檢測部
92‧‧‧第2馬達驅動器
98‧‧‧第2相位檢測部
102‧‧‧支持台
104‧‧‧相位調整手段

Claims (5)

  1. 一種分割槽形成裝置，係為在基板的一面及另一面彼此對應的位置同時形成用以分割前述基板的第1分割槽及第2分割槽所需的分割槽形成裝置，其特徵在於，具備：第1刀具，具有用以形成前述第1分割槽的複數片第1旋轉刃；第2刀具，具有用以形成前述第2分割槽的複數片第2旋轉刃；第1旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第1刀具；第2旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第2刀具；刀具支持手段，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；以及相位調整手段，用以調整前述第1刀具及前述第2刀具之至少一個的相位，使前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前述第1刀具與前述第2刀具相對的對向區域相對向。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的分割槽形成裝置，其中，具備X方向驅動手段，其係用以使前述第1刀具及前述第2刀具在前述第1分割槽及前述第2分割槽的延伸方向上對著前述基板相對地移動。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所記載的分割槽形成裝置，其中，前述第1旋轉驅動手段具有第1馬達；前述第2旋轉驅動手段具有第2馬達；前述相位調整手段具有用以控制前述第1馬達及前述第2馬達之至少一個的控制部；前述控制部係控制前述第1馬達及前述第2馬達的至少一個，使前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前述對向區域相對向。
  4. 如申請專利範圍第3項所記載的分割槽形成裝置，其中，前述複數片第1旋轉刃和前述複數片第2旋轉刃係為相同數量且以相同傾角設置；前述相位調整手段具有用以檢測前述第1刀具及前述第2刀具之各相位的相位檢測部；前述控制部係控制前述第1馬達及前述第2馬達的至少一個，使 前述第1刀具及前述第2刀具的各相位之差為前述傾角的整數倍。
  5. 一種分割槽形成方法，係為在基板的一面及另一面彼此對應的位置同時形成用以分割前述基板的第1分割槽及第2分割槽的分割槽形成方法，其特徵在於，包括下列步驟：(a)將具有用以形成前述第1分割槽的複數片第1旋轉刃的第1刀具、及具有用以形成前述第2分割槽的複數片第2旋轉刃的第2刀具，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式配置；(b)以前述第1旋轉刃和前述第2旋轉刃在前述第1刀具與前述第2刀具相對的對向區域形成相對向的方式，使前述第1刀具及前述第2刀具旋轉；以及(c)在前述第1分割槽及前述第2分割槽的延伸方向上，使前述第1刀具及前述第2刀具一面對著前述基板相對地移動，一面形成前述第1分割槽及前述第2分割槽。
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