TW201621393A - 遞色顯示器及遞色方法與裝置 - Google Patents

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TW201621393A
TW201621393A TW104127552A TW104127552A TW201621393A TW 201621393 A TW201621393 A TW 201621393A TW 104127552 A TW104127552 A TW 104127552A TW 104127552 A TW104127552 A TW 104127552A TW 201621393 A TW201621393 A TW 201621393A
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松本克巳
小林勉
艾德華 布克利
相東 閔
吉安魯 席
吉奈許 甘徳席
堤摩西 布洛斯尼漢
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皮克斯特隆尼斯有限公司
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    • GPHYSICS
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/70425Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
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Abstract

在本發明之一新穎態樣中,一種方法包括使用一第一光罩圖案化一基板之一第一區及一第二區之一第一部分。該方法亦包括使用一第二光罩圖案化該第二區及該第一區之一第一部分。該方法另外包括基於藉由該第一光罩之該圖案化形成第一經圖案化元件之一第一陣列,及基於藉由該第二光罩之該圖案化形成第二經圖案化元件之一第二陣列。在一些實施中,該第一陣列及該第二陣列中之每一者在該等第一部分中之每一者中不完整。然而,該第二區之該第一部分中的該等第一經圖案化元件與該第二區之該第一部分中的該等第二經圖案化元件互補。類似地,該第一區之該第一部分中的該等第一經圖案化元件與該第一區之該第一部分中的該等第二經圖案化元件互補。在一些此等實施中,該第一陣列與該第二陣列之組合形成一完整的經圖案化元件陣列。

Description

遞色顯示器及遞色方法與裝置
本發明大體上係關於顯示器,且更特定而言,係關於使用一或多個遞色操作以改良顯示器之影像品質。
機電系統(EMS)包括具有電及機械元件、致動器、換能器、感測器、光學組件(諸如,鏡面及光學薄膜)及電子元件之器件。EMS器件或元件可以多種尺度來製造,包括(但不限於)微尺度及奈米尺度。舉例而言,微機電系統(MEMS)器件可包括具有範圍為約一微米至數百微米或更大之大小的結構。奈米機電系統(NEMS)器件可包括具有小於一微米之大小(包括(例如)小於數百奈米之大小)的結構。可使用沈積、蝕刻、微影及/或蝕刻掉基板及/或所沈積材料層之部分或添加層以形成電及機電器件的其他微機械加工製程來產生機電元件。
一些基於MEMS之顯示器件包括形成於基板上且配置於陣列中的複數個基於MEMS之顯示元件。基於MEMS之顯示元件中之每一者可調變通過顯示元件之光。在一些此等顯示器件中,穿過顯示元件之經調變光向著對應孔隙之陣列行進。穿過該等孔隙之光形成影像。在一些情況下,所顯示之影像的品質取決於基於MEMS之顯示元件與對應孔隙間的對準。舉例而言,基於MEMS之顯示元件與對應孔隙未對準可藉由引入靜態影像假影而不利地影響所顯示之影像的品質。
在本發明之一新穎態樣中,描述一種器件,該器件包括一基板,該基板包括一第一區及一第二區,該第一區之一邊界接近該第二區之一邊界。該器件包括位於該基板上方之一第一層。該第一層在該第一區中且在該第二區之一第一部分中用第一經圖案化元件之一第一陣列進行圖案化。該第一層進一步在該第二區中且在該第一區之一第一部分中用第二經圖案化元件之一第二陣列進行圖案化。該第一陣列及該第二陣列中之每一者在該等第一部分中之每一者中不完整。然而,該第二區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第二區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補。類似地,該第一區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第一區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補。該第一區及該第二區之該等第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
在一些實施中,第一經圖案化元件之該第一陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元。第二經圖案化元件之該第二陣列亦可包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元。該第一圖案類型之該等第一陣列單元與該第一圖案類型之該等第二陣列單元互補,且該第二圖案類型之該等第一陣列單元與該第二圖案類型之該等第二陣列單元互補。在一些此等實施中,該第一圖案類型之該等第一陣列單元不包括經圖案化元件,而該第二圖案類型之該等第一陣列單元包括完整的經圖案化元件。在此等實施中,該第一圖案類型之該等第二陣列單元可包括完整的經圖案化元件,而該第二圖案類型之該等第二陣列單元不包括經圖案化元件。
在一些其他實施中,該第一圖案類型之每一第一陣列單元包括 該等經圖案化元件之一第一部分,且該第二圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第二部分。類似地,該第一圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第二部分,且該第二圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第一部分。
在一些實施中,第一經圖案化元件之該第一陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元。第二經圖案化元件之該第二陣列亦可包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元。該第三圖案類型之該等第一陣列單元與該第三圖案類型之該等第二陣列單元互補,且該第四圖案類型之該等第一陣列單元與該第四圖案類型之該等第二陣列單元互補。在一些實施中,該第三圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第三部分,且該第四圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第四部分。類似地,該第三圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第四部分,且該第四圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第三部分。
在一些實施中,該器件進一步包括位於該基板上方的一第二層。該第二層可在該第一區中且在該第二區之該第一部分中用第三經圖案化元件之一第三陣列進行圖案化。該第二層可在該第二區中且在該第一區之該第一部分中用第四經圖案化元件之一第四陣列進一步進行圖案化。類似於第一層之該第一陣列及該第二陣列,該第三陣列及該第四陣列中之每一者可在該第一區及該第二區之該等第一部分中不完整。然而,該第二區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第二區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補,且該第一區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第一區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。該第一區及該第二區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣 列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的第二經圖案化元件陣列。
在一些實施中,該器件進一步包括一第二基板,該第二基板包括一第三區及一第四區,其中該第三區之一邊界接近該第四區之一邊界。該器件包括位於該第二基板上方的一第二層,其中該第二層在該第三區中且在該第四區之一第一部分中用第三經圖案化元件之一第三陣列進行圖案化。該第二層進一步在該第四區中且在該第三區之一第一部分中用第四經圖案化元件之一第四陣列進行圖案化。該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第三區及該第四區之該等第一部分中不完整。然而,該第四區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第四區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補,且該第三區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第三區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。該第三區及該第四區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
在一些實施中,該基板為一顯示器之包括顯示元件之一陣列的一面板。第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合可形成至少該等顯示元件之部分。在一些實施中,該器件進一步包括:一處理器,其能夠處理影像資料;及一記憶體器件,其能夠與該處理器通信。該器件可進一步包括:一驅動器電路,其能夠將至少一個信號發送至該等顯示元件;及一控制器,其能夠將該影像資料之至少一部分發送至該驅動器電路。該器件可進一步包括一能夠將該影像資料發送至該處理器的影像源模組,該影像源模組包括接收器、收發器,及傳輸器中之至少一者。該器件可進一步包括一輸入器件,其能夠接收輸入資料且將該輸入資料傳達至該處理器。
在本發明之另一新穎態樣中,描述一種方法,該方法包括使用一第一光罩圖案化一基板之一第一區及一第二區之一第一部分,該第一區之一邊界接近該第二區之一邊界。該方法亦包括使用一第二光罩圖案化該基板之該第二區及該第一區之一第一部分。該方法另外包括基於藉由該第一光罩之圖案化而形成第一經圖案化元件之一第一陣列。該方法進一步包括基於藉由該第二光罩之該圖案化而形成第二經圖案化元件之一第二陣列。該第一陣列及該第二陣列中之每一者在該等第一部分中之每一者中不完整。然而,該第二區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第二區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補。類似地,該第一區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第一區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補。該第一區及該第二區之該等第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
在一些實施中,該基板為一顯示器之包括顯示元件之一陣列的一面板。第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合可形成至少該等顯示元件之部分。
在一些實施中,第一經圖案化元件之該第一陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元。第二經圖案化元件之該第二陣列亦包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元。該第一圖案類型之該等第一陣列單元與該第一圖案類型之該等第二陣列單元互補。類似地,該第二圖案類型之該等第一陣列單元與該第二圖案類型之該等第二陣列單元互補。在一些此等實施中,該第一圖案類型之該等第一陣列單元不包括經圖案化元件,而該第二圖案類型之該等第一陣列單元包括完整的經圖案化元件。在此等實施中,該第一圖案類型之該等第二陣列單元可包括完整的經圖案化元件,而該第二圖案類 型之該等第二陣列單元不包括經圖案化元件。
在一些其他實施中,該第一圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第一部分,而該第二圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第二部分。類似地,該第一圖案類型之每一第二陣列單元可包括該等經圖案化元件之該第二部分,而該第二圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第一部分。
在一些實施中,第一經圖案化元件之該第一陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元。類似地,第二經圖案化元件之該第二陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元。該第三圖案類型之該等第一陣列單元與該第三圖案類型之該等第二陣列單元互補,且該第四圖案類型之該等第一陣列單元與該第四圖案類型之該等第二陣列單元互補。在一些此等實施中,該第三圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第三部分,而該第四圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第四部分。類似地,該第三圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第四部分,而該第四圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第三部分。
在一些實施中,該方法進一步包括使用一第三光罩圖案化該基板之該第一區及該第二區之該第一部分。該方法亦包括使用一第四光罩圖案化該基板之該第二區及該第一區之該第一部分。該方法另外包括基於藉由該第三光罩之該圖案化形成第三經圖案化元件之一第三陣列。該方法進一步包括基於藉由該第四光罩之該圖案化而形成第四經圖案化元件之一第四陣列。該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第一區及該第二區之該等第一部分中不完整。然而,該第二區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第二區之該第一部分 中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。類似地,該第一區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第一區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。該第一區及該第二區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
在一些實施中,該方法進一步包括使用一第三光罩圖案化一第二基板之一第三區及一第四區之一第一部分,該第三區之一邊界接近該第四區之一邊界。該方法亦包括使用一第四光罩圖案化該第二基板之該第四區及該第三區之一第一部分。該方法另外包括基於藉由該第三光罩之該圖案化而形成第三經圖案化元件之一第三陣列。該方法進一步包括基於藉由該第四光罩之該圖案化而形成第四經圖案化元件之一第四陣列。該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第三區及該第四區之該等第一部分中不完整。然而,該第四區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第四區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。類似地,該第三區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第三區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補。該第三區及該第四區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
21‧‧‧處理器
22‧‧‧陣列驅動器
27‧‧‧網路介面
28‧‧‧圖框緩衝器
29‧‧‧驅動器控制器
30‧‧‧顯示器陣列
40‧‧‧顯示器件
41‧‧‧外殼
43‧‧‧天線
45‧‧‧揚聲器
46‧‧‧麥克風
47‧‧‧收發器
48‧‧‧輸入器件
50‧‧‧電源供應器
52‧‧‧調節硬體
100‧‧‧顯示裝置
102a至102d‧‧‧光調變器
104‧‧‧影像
105‧‧‧燈
106‧‧‧像素
108‧‧‧快門
109‧‧‧孔隙
110‧‧‧寫入啟用互連件
112‧‧‧資料互連件
114‧‧‧共用互連件
120‧‧‧主機器件
122‧‧‧主機處理器
124‧‧‧環境感測器
126‧‧‧使用者輸入模組
128‧‧‧顯示裝置
130‧‧‧掃描驅動器
131‧‧‧掃描線互連件
132‧‧‧資料驅動器
133‧‧‧資料互連件
134‧‧‧控制器
138‧‧‧共同驅動器
140至146‧‧‧燈
148‧‧‧燈驅動器
150‧‧‧顯示元件陣列
200‧‧‧快門總成
202‧‧‧致動器
204‧‧‧致動器
206‧‧‧快門
207‧‧‧孔隙層
208‧‧‧錨定件/深色層
209‧‧‧孔隙
212‧‧‧快門孔隙
216‧‧‧重疊
400‧‧‧顯示面板
400a至400d‧‧‧區/子面板
402‧‧‧背板
404‧‧‧第一表面
406‧‧‧第二表面
408‧‧‧深色層
410‧‧‧孔隙
412‧‧‧顯示元件
414‧‧‧可視表面
416‧‧‧內表面
418‧‧‧孔隙面板
420‧‧‧背光
422‧‧‧保護面板
424‧‧‧孔隙層
426‧‧‧孔隙
428‧‧‧致動器
430‧‧‧快門
432‧‧‧孔隙
434‧‧‧MEMS層
540‧‧‧步進處理機
542‧‧‧基板
544‧‧‧平台
546‧‧‧光源
548‧‧‧光學器件
550‧‧‧光罩
552‧‧‧方向
554‧‧‧方向
660‧‧‧垂直點線
662‧‧‧水平點線
701‧‧‧顯示器件
702‧‧‧顯示面板
702a‧‧‧區
702b‧‧‧子面板
703‧‧‧縫合線
704‧‧‧曲線
705‧‧‧不連續梯階
707‧‧‧顯示器件
708‧‧‧顯示面板
708a‧‧‧區/子面板
708b‧‧‧區/子面板
709‧‧‧經遞色區
709a‧‧‧第一部分
709b‧‧‧第二部分
710‧‧‧曲線
812a‧‧‧第一光罩
812b‧‧‧第二光罩
814a‧‧‧遞色部分
814b‧‧‧遞色部分
8161‧‧‧部分
8162‧‧‧部分
8181‧‧‧部分
8182‧‧‧部分
820a‧‧‧遞色元件
820b‧‧‧遞色元件
920‧‧‧遞色元件
920a‧‧‧遞色元件
920b‧‧‧遞色元件
924‧‧‧像素
1026‧‧‧經遞色區
1130a‧‧‧第一遞色元件
1130b‧‧‧第二遞色元件
1132a‧‧‧元件
1132b‧‧‧元件
11341至11344‧‧‧像素元件
11361至11364‧‧‧像素元件
1240‧‧‧光罩
1242‧‧‧遞色元件
1244‧‧‧遞色部分
1246a至1246d‧‧‧像素元件
1248‧‧‧孔隙圖案
1250‧‧‧佈線圖案
1340‧‧‧光罩
1342‧‧‧遞色元件
1344‧‧‧遞色部分
1346a至1346d‧‧‧像素元件
1348‧‧‧孔隙圖案
1350‧‧‧佈線圖案
1460a‧‧‧第一遞色元件
1460b‧‧‧第二遞色元件
1462a‧‧‧元件
1462b‧‧‧元件
14641至14644‧‧‧像素元件
14661至14664‧‧‧像素元件
1570a‧‧‧第一遞色元件
1570b‧‧‧第二遞色元件
1572a‧‧‧元件
1572b‧‧‧元件
15741至15744‧‧‧像素元件
15761至15764‧‧‧像素元件
1680a‧‧‧第一區/左區
1680b‧‧‧第二區/中間區
1680c‧‧‧第三區/右區
1682‧‧‧第一經遞色區
1684‧‧‧第二經遞色區
1686a‧‧‧第一區/左上區
1686b‧‧‧第二區/右上區
1686c‧‧‧第三區/左下區
1686d‧‧‧第四區/右下區
1688‧‧‧第一經遞色區
1690‧‧‧第二經遞色區
1692‧‧‧第三經遞色區
1694‧‧‧第四經遞色區
1700‧‧‧用於在基板上形成經遞色區之實例程序
d1‧‧‧距離
d2‧‧‧距離
圖1A展示實例直觀式基於微機電系統(MEMS)之顯示裝置之示意圖。
圖1B展示實例主機器件之方塊圖。
圖2A及圖2B展示實例雙致動器快門組合件之視圖。
圖3為根據一些實施的實例雙致動器快門組合件之透視圖。
圖4A展示根據一些實施的包括四個基於MEMS之顯示元件之多 片式顯示面板的橫截面。
圖4B至圖4D展示根據一些實施的圖4A之顯示面板之其他配置的橫截面。
圖5展示根據一些實施的用於圖案化基板之步進處理機的實例表示。
圖6A展示根據一些實施的疊置於包括具有槽狀孔隙之快門之實例MEMS層的一部分上方的具有矩形孔隙之實例深色層的一部分。
圖6B展示圖6A之配置,但在圖6B中,實例深色層及MEMS層之實例快門展示為黑色。
圖6C展示根據一些實施的疊置於具有槽狀孔隙之實例孔隙層上方的包括具有槽狀孔隙之快門的實例MEMS層。
圖6D展示圖6C之配置,但在圖6D中,實例孔隙層及MEMS層之實例快門及致動器展示為黑色。
圖7A展示包括顯示面板之實例顯示器件,該顯示面板包括兩個區。
圖7B展示根據一些實施的包括顯示面板708之實例顯示器件707,該顯示面板708包括兩個區708a及708b。
圖8展示圖7B之顯示面板以及用以圖案該等區中之每一者之第一及第二光罩的表示的單獨視圖。
圖9展示根據一些實施的實例遞色元件之表示。
圖10展示根據一些實施的用於使用第一光罩圖案化經遞色之區的遞色元件、用於使用第二光罩圖案化經遞色之區的互補遞色元件,及在藉由遞色元件中之兩者進行圖案化之後產生的經遞色之區的表示。
圖11展示根據一些實施的可如何使用遞色來形成多層MEMS層之第一金屬層的經遞色部分。
圖12展示根據一些實施的用於在右區上圖案化且形成MEMS層之第一金屬層之右光罩的另一實例。
圖13展示根據一些實施的用於在左區上圖案化且形成MEMS層之第一金屬層之左光罩的另一實例。
圖14展示根據一些實施可如何使用遞色來形成多層MEMS層之第二金屬層的經遞色部分。
圖15展示根據一些實施可如何使用遞色來形成孔隙層之經遞色部分。
圖16A展示根據一些實施的包括三個區之實例顯示面板的一部分。
圖16B展示根據一些實施的包括四個區之實例顯示面板的一部分。
圖17展示說明用於在基板上形成經遞色之區的實例程序的流程圖。
圖18A及圖18B展示包括複數個顯示元件之實例顯示器件的系統方塊圖。
各個圖式中相同參考數字及名稱均指示相同元件。
以下描述係有關出於描述本發明之創新態樣之目的的某些實施。然而,一般熟習此項技術者將易於認識到,可以眾多不同方式來應用本文之教示。所描述之實施可實施於能夠顯示影像(無論係運動(諸如,視訊)抑或固定(諸如,靜止影像)的,且無論係文字、圖形抑或圖像)的任何器件、裝置或系統。本發明中提供之概念及實例中的一些概念及實例尤其適用於本文中所描述的基於機電系統(EMS)及微機電(MEMS)之顯示器,諸如基於快門之顯示器。然而,一些實施亦可適用於其他類型之顯示器,諸如液晶顯示器(LCD)、有機發光二極 體(OLED)顯示器,及場發射顯示器,以及併入有來自一或多個顯示技術之特徵的顯示器。
所描述實施可包括於諸如(但不限於)以下各者之多種電子器件中或與該等電子器件相關聯:行動電話、具備多媒體網際網路功能之蜂巢式電話、行動電視接收器、無線器件、智慧型手機、Bluetooth®器件、個人資料助理(PDA)、無線電子郵件接收器、手持型或攜帶型電腦、迷你筆記型電腦、筆記型電腦、智慧筆記型電腦、平板電腦、印表機、影印機、掃描器、傳真器件、全球定位系統(GPS)接收器/導航器、攝影機、數位媒體播放器(諸如,MP3播放器)、攝錄影機、遊戲機、手錶、可穿戴式器件、時鐘、計算器、電視監視器、平板顯示器、電子閱讀器件(例如,電子閱讀器)、電腦監視器、汽車顯示器(諸如里程錶及速度計顯示器)、座艙控制器及/或顯示器、攝影機景觀顯示器(諸如,車輛中的後視攝影機之顯示器)、電子相片、電子廣告牌或標識、投影儀、建築結構、微波爐、冰箱、立體聲系統、匣式錄音機或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、收音機、攜帶型記憶體晶片、洗衣機、乾燥器、洗衣機/乾燥器、停車計時錶、封裝(諸如,在除非EMS應用外,包括微機電系統(MEMS)應用之機電系統(EMS)應用中)、美學結構(諸如,在一件珠寶或服裝上顯示影像)及多種EMS器件。
本文之教示亦可用於非顯示應用中,諸如(但不限於)電子開關器件、射頻濾波器、感測器、加速計、迴轉儀、運動感測器件、磁力計、用於消費型電子裝置之慣性組件、消費型電子產品之零件、變容器、液晶器件、電泳器件、驅動方案、製造製程及電子測試設備。因此,該等教示並不意欲僅僅限於圖式中所描繪之實施,而係具有廣泛適用性,如一般熟習此項技術者將容易地顯而易見。
各種實施大體上涉及用於在顯示元件之結構中引入遞色的遞色 程序及相關裝置,且在一些更具體實施中,顯示元件接近區邊界線。各種實施亦涉及使用此等遞色程序所形成之顯示面板及構成顯示元件。遞色可廣泛定義為雜訊之有意應用或應用此雜訊之結果。在一些實施中,可根據經具體設計而非隨機設計之圖案來應用雜訊。在一些實施中,(例如)在圖案化形成顯示元件之各種層期間,使用經專門設計之光罩引入遞色。
可實施本發明中所描述之標的物的特定實施以實現以下潛在優勢中之一或多者。本文中所描述之遞色程序可廣泛用以減少在顯示面板之相鄰區之間出現邊界線。在一些實施中,本文中所描述之各種遞色程序亦可用以減少在顯示面板之不同區出現發光度差異。
圖1A展示實例直觀式基於MEMS之顯示裝置100的示意圖。顯示裝置100包括以列及行配置之複數個光調變器102a至102d(大體上為光調變器102)。在顯示裝置100中,光調變器102a及102d在打開狀態下,從而允許光通過。光調變器102b及102c在關閉狀態中,從而阻礙光之通過。藉由選擇性地設定光調變器102a至102d之狀態,顯示裝置100可用以在(例如)由包括一或多個燈或LED陣列105之背光照明時形成影像104。在另一實施中,裝置100可藉由反射源自裝置之前面的環境光而形成影像。在另一項實施中,裝置100可藉由反射來自定位於顯示器的前面的一或多個燈之光(亦即,藉由使用前光)來形成影像。
在一些實施中,每一光調變器102對應於影像104中之一像素106。在一些其他實施中,顯示裝置100可利用複數個光調變器102形成影像104中的像素106。舉例而言,顯示裝置100可包括用於每一像素106之三個色彩特定光調變器102。藉由選擇性打開對應於一特定像素106的色彩特定光調變器102中之一或多者,顯示裝置100可產生影像104中的一色彩像素106。在另一實例中,顯示裝置100包括每個像素106兩個或兩個以上光調變器102以在影像104中提供所要明度位 準。關於影像,像素對應於由影像之解析度定義的最小像元。關於顯示裝置100之結構組件,術語像素指用以調變形成影像之單一像素之光的機械與電組件的組合。
顯示裝置100為直觀式顯示器,此係因為該顯示裝置可不包括通常可見於投影應用中之成像光學器件。在投影顯示器中,形成於顯示裝置之表面上的影像被投影至螢幕上或投影至牆壁上。顯示裝置實質上小於所投影影像。在直觀式顯示器中,可藉由直接查看顯示裝置而看到影像,顯示裝置含有光調變器且視情況含有用於增強在顯示器上見到的亮度或對比度的背光或前光。
直觀式顯示器可以透射模式或反射模式中任一者來操作。在透射性顯示器中,光調變器過濾或選擇性地阻擋源自定位於顯示器後方之一或多個燈之光。來自燈之光視情況而注入至光導或背光中,使得每一像素可得到均勻照明。透射性直觀式顯示器常常建置至透明基板上以促進含有光調變器之一個基板定位於背光之上的層組合件配置。在一些實施中,透明基板可為玻璃基板(有時被稱作玻璃板或面板)或塑膠基板。玻璃基板可為或包括(例如)硼矽酸鹽玻璃、紫紅玻璃(wine glass)、熔融二氧化矽、鹼石灰玻璃、石英、人造石英、派熱司玻璃或其他合適之玻璃材料。
每一光調變器102包括至少一快門108及至少一孔隙109。為照明影像104中之像素106,快門108經定位使得其允許光通過孔隙109。為維持像素106處於或將其轉變至不被照亮(或暗或黑色)之狀態,快門108經定位使得其阻礙光穿過孔隙109。孔隙109係藉由被圖案化穿過每一光調變器102中之反射或光吸收材料的開口界定。
顯示裝置100亦包括耦接至基板及光調變器102以用於控制快門108之移動的控制矩陣。控制矩陣包括一系列電互連件(諸如互連件110、112及114),該等電互連件包括:每像素列至少一寫入啟用互連 件110(亦稱為掃描線互連件);用於每一像素行之一資料互連件112;及一共同互連件114,其將共同電壓提供至所有像素或至少提供至顯示裝置100中之多個行及多個列的像素。回應於適當電壓(寫入啟用電壓VWE)之施加,用於給定像素列之寫入啟用互連件110使該列中之像素預備接受新快門移動指令。資料互連件112以資料電壓脈衝之形式傳達新移動指令。在一些實施中,施加至資料互連件112之資料電壓脈衝直接對快門108之靜電移動有影響。在一些其他實施中,資料電壓脈衝控制著開關(諸如控制獨立驅動電壓對光調變器102之施加的電晶體或其他非線性電路元件)。此類獨立驅動電壓的量值可有利地高於或大於資料電壓。在此等實施中,施加驅動電壓導致快門108之經靜電驅動之移動。
控制矩陣亦可包括(但不限於)電路,諸如與每一快門組合件相關聯之電晶體及電容器。在一些實施中,每一電晶體之閘極可電連接至掃描線互連件。在一些實施中,每一電晶體之源極可電連接至對應資料互連件。在一些實施中,每一電晶體之汲極可並聯電連接至對應電容器之電極及對應致動器之電極。在一些實施中,與每一快門組合件相關聯的電容器及致動器之另一電極可連接至一共同或接地電位。在一些其他實施中,電晶體可替換為半導體二極體或金屬-絕緣體-金屬切換元件。
圖1B展示實例主機器件120(亦即,蜂巢式電話、智慧型手機、PDA、MP3播放器、平板電腦、電子閱讀器、迷你筆記型電腦、筆記型電腦、手錶、可穿戴式器件、膝上型電腦、電視或其他電子器件)之方塊圖。主機器件120包括顯示裝置128(諸如圖1A中所示之顯示裝置100)、主機處理器122、環境感測器124、使用者輸入模組126及電源。
顯示裝置128包括複數個掃描驅動器130(亦被稱作寫入啟用電壓 源)、複數個資料驅動器132(亦被稱作資料電壓源)、控制器134、共同驅動器138、燈140至146、燈驅動器148及顯示元件陣列150(諸如圖1A中所示之光調變器102)。掃描驅動器130施加寫入啟用電壓至掃描線互連件131。資料驅動器132施加資料電壓至資料互連件133。
在顯示裝置之一些實施中,資料驅動器132能夠將類比資料電壓提供至顯示元件陣列150,尤其在影像之明度位準將以類比方式導出之情況下。在類比操作中,顯示元件經設計,使得當經由資料互連件133施加一系列中間電壓時,在所得影像中產生一系列中間照明狀態或明度位準。在一些其他實施中,資料驅動器132能夠施加縮減集合(諸如2、3或4個)之數位電壓位準至資料互連件133。在顯示元件為基於快門之光調變器(諸如圖1A中所示光調變器102)的實施中,此等電壓位準經設計來以數位方式設定快門108中之每一者的打開狀態(本文中亦稱為「組態」)、關閉狀態或其他離散狀態。在一些實施中,驅動器能夠在類比與數位模式之間切換。
掃描驅動器130及資料驅動器132連接至數位控制器電路134(亦被稱作控制器134)。控制器134以主要串列方式發送按序列組織(在一些實施中,其可經預定)、按列及按影像圖框而分組之資料至資料驅動器132。資料驅動器132可包括串列至並列資料轉換器、位準偏移及(對於一些應用)數位至類比電壓轉換器。
顯示裝置視情況包括一組共同驅動器138,亦被稱作共同電壓源。在一些實施中,共同驅動器138提供DC共同電位至顯示元件陣列150內的所有顯示元件,例如,藉由供應電壓至一系列共同互連件139。在一些其他實施中,共同驅動器138按照來自控制器134之命令發出電壓脈衝或信號至顯示元件陣列150,該等電壓脈衝或信號例如為能夠驅動及/或起始陣列之多個列及行中的所有顯示元件之同時致動的全域致動脈衝。
用於不同顯示器功能之驅動器(諸如掃描驅動器130、資料驅動器132及共同驅動器138)中之每一者可被控制器134時間同步化。來自控制器134之計時命令協調經由燈驅動器148對紅燈、綠燈、藍燈及白燈(分別為140、142、144及146)的照明、顯示元件陣列150內的特定列之寫入啟用及定序、來自資料驅動器132之電壓輸出及為顯示元件致動提供之電壓輸出。在一些實施中,該等燈為發光二極體(LED)。
控制器134判定顯示元件108中之每一者可藉以重設至適於新影像104之照明位準的定序或定址方案。可以週期性時間間隔來設定新影像104。舉例而言,對於視訊顯示器,按範圍為10赫茲至300赫茲(Hz)之頻率再新彩色影像或視訊之圖框。在一些實施中,至顯示元件陣列150之影像圖框的設定與燈140、142、144及146之照明同步,使得交替影像圖框由交替系列之色彩(諸如,紅色、綠色、藍色及白色)照明。每一各別色彩之影像圖框被稱作色彩子圖框。在此方法(被稱作場序色彩方法)中,若色彩子圖框以超過20Hz之頻率交替,則人類視覺系統(HVS)將交替的圖框影像平均化而感知到具有廣泛及連續色彩範圍的影像。在一些其他實施中,燈可使用除紅色、綠色、藍色及白色以外的原色。在一些實施中,小於四個或大於四個具有原色之燈可用於顯示裝置128中。
在一些實施中,其中顯示裝置128經設計用於在打開與關閉狀態(組態)之間數位切換快門(諸如圖1A中所示之快門108),控制器134藉由分時灰階方法形成影像。在一些其他實施中,顯示裝置128可經由每一像素使用多個顯示元件來提供灰階。
在一些實施中,影像狀態之資料係由控制器134按個別列(亦被稱作掃描線)之順序定址而載入至顯示元件陣列150。對於序列中之每一列或掃描線,掃描驅動器130將寫入啟用電壓施加至用於顯示元件陣列150之彼列的寫入啟用互連件131,且隨後資料驅動器132為陣列之 選定列中的每一行供應對應於所要快門狀態之資料電壓。此定址程序可重複直至顯示元件陣列150中的所有列的資料都已載入為止。在一些實施中,用於資料載入之選定列的序列為線性的,在顯示元件陣列150中自頂部進行至底部。在一些其他實施中,選定列之序列為偽隨機的,以便減輕可能的視覺假影。且在一些其他實施中,定序係按區塊組織,其中對於一區塊,僅用於影像之某一部分的資料被載入至顯示元件陣列150。舉例而言,序列可經實施以按順序定址顯示元件陣列150的每第五列。
在一些實施中,用於將影像資料載入至顯示元件陣列150之定址程序與致動顯示元件的程序在時間上係分開的。在此實施中,顯示元件陣列150可包括用於每一顯示元件之資料記憶體元件,且控制矩陣可包括用於攜載來自共同驅動器138之觸發信號以根據儲存於記憶體元件中之資料來起始顯示元件之同時致動的全域致動互連件。
在一些實施中,顯示元件之陣列150及控制該等顯示元件之控制矩陣可以除矩形列及行以外的組態來配置。舉例而言,可按六邊形陣列或曲線列及行來配置顯示元件。
主機處理器122大體上控制主機器件120之操作。舉例而言,主機處理器122可為用於控制攜帶型電子器件的通用或專用處理器。關於包括於主機器件120中之顯示裝置128,主機處理器122輸出影像資料以及關於主機器件120之額外資料。此資訊可包括來自環境感測器124之資料(諸如,環境光或溫度);關於主機器件120之資訊(包括(例如)主機之操作模式或主機器件之電源中剩餘的電力量);關於影像資料之內容的資訊;關於影像資料之類型的資訊;及/或用於顯示裝置128的用於選擇成像模式之指令。
在一些實施中,使用者輸入模組126允許實現直接或經由主機處理器122傳送使用者個人偏好至控制器134。在一些實施中,該使用者 輸入模組126由軟體控制,在該軟體中使用者輸入個人偏好(例如,色彩、對比度、功率、亮度、內容及其他顯示設定及參數偏好)。在一些其他實施中,使用者輸入模組126由使用者在其中輸入個人偏好之硬體控制。在一些實施中,使用者可經由話音命令、一或多個按鈕、開關或撥號盤或通過觸控能力輸入此等偏好。至控制器134之複數個資料輸入引導控制器將資料提供至對應於最佳成像特性之各種驅動器130、132、138及148。
環境感測器模組124亦可被包括作為主機器件120之部分。環境感測器模組124可能能夠接收關於周圍環境之資料(諸如,溫度及或環境照明條件)。感測器模組124可經程式化以(例如)區分器件是在室內或辦公室環境中還是在明亮白天之戶外環境中還是在夜間室外環境中操作。感測器模組124將此資訊傳達至顯示器控制器134,使得控制器134可回應於周圍環境而使檢視條件最佳化。
圖2A及圖2B展示實例雙致動器快門組合件200之視圖。如圖2A中所描繪之雙致動器快門組合件200在打開狀態(組態)中。圖2B展示處在關閉狀態(組態)的雙致動器快門組合件200。快門組合件200包括在快門206之任一側上的致動器202及204。每一致動器202及204經獨立地控制。第一致動器(快門打開致動器202)用以打開快門206。第二相對致動器(快門關閉致動器204)用以關閉快門206。致動器202及204中之每一者可實施為柔性樑電極致動器。致動器202及204藉由實質上在平行於孔隙層207(快門懸浮於孔隙層之上)之平面中驅動快門206來打開及關閉快門206。藉由附接於致動器202及204之錨定件208將快門206懸掛於孔隙層207上方之一短距離處。使致動器202及204沿快門206之移動軸線附接於快門206之相對末端減少了快門206之平面外運動,且將運動實質上限制至平行於基板(未描述)之平面。
在所描繪之實施中,快門206包括光可通過的兩個快門孔隙 212。孔隙層207包括一組三個孔隙209。在圖2A中,快門組合件200在打開狀態中,且因而,快門打開致動器202已致動,快門關閉致動器204在其鬆弛位置中,且快門孔隙212之中心線與孔隙層孔隙209中之兩者之中心線一致。在圖2B中,快門組合件200已移動至關閉狀態,且因而快門打開致動器202在其鬆弛位置中,快門關閉致動器204已致動,且快門206之光阻擋部分現在在位置中以阻擋光透射穿過孔隙209(描繪為點線)。
每一孔隙具有圍繞其周邊之至少一個邊緣。舉例而言,矩形孔隙209具有四個邊緣。在圓形、橢圓形、卵形或其他曲線型孔隙形成於孔隙層207中之一些實施中,每一孔隙可具有單一連續邊緣。在一些其他實施中,孔隙不需要分開或在數學意義上不相交,而是可相連。換言之,雖然孔隙之部分或成形區段可維持與每一快門之對應性,但此等區段中之若干者可相連以使得孔隙之單一連續周邊由多個快門共用。
為了在打開狀態中使得具有多種出射角之光穿過孔隙212及209,快門孔隙212之寬度或大小可經設計成大於孔隙層207中之孔隙209之對應寬度或大小。為了在關閉狀態中有效阻擋光逸出快門組合件200,快門206之光阻擋部分可經設計以重疊孔隙209之邊緣。圖2B展示在快門206中之光阻擋部分之邊緣與形成於孔隙層207中之孔隙209的一個邊緣之間的重疊216,在一些實施中該重疊可經預定義。
靜電致動器202及204經設計以使得其電壓位移行為對快門組合件200提供雙穩態特性。對於快門打開致動器及快門關閉致動器中之每一者,存在低於致動電壓之一系列電壓,若在彼致動器處於關閉狀態(其中快門打開或關閉)時施加該等電壓,則該等電壓將保持致動器關閉及快門處於適當位置中,甚至在將驅動電壓施加至相對致動器後亦如此。與此相反力相抵維持快門之位置所需的最小電壓被稱作維持 電壓Vm
圖3為實例雙致動器快門組合件300之透視圖。快門組合件300類似於圖2A及圖2B中所示之快門組合件200,但包括至少以下差異:快門組合件300中之快門206包括光可通過的三個快門孔隙212。
圖4A展示根據一些實施的包括四個基於MEMS之顯示元件412之多片式顯示面板400的橫截面。顯示元件412中之每一者包括一基於快門之組合件,諸如圖2A、圖2B及圖3之快門組合件200或300。顯示面板400包括第一透明面板(在本文中亦被稱作「背板(backpane)」)402,其具有第一表面404及與第一表面相反之第二表面406。不透光層(在本文中亦被稱作「深色層」)408形成於第一表面404上方。舉例而言,深色層408可由諸如碳(C)(或基於碳之材料)之深色或黑色材料形成。在一些實施中,深色層408經旋塗至背板402,由此形成一旋塗玻璃(SOG)材料層。
深色層408包括大量(較大數目)孔隙410。每一孔隙410與各別顯示元件412相關聯,且允許來自各別顯示元件之光通過。舉例而言,孔隙410可為具有高縱橫比之槽、其他矩形形狀,或其他所需或合適的形狀。在一些實施中,除存在孔隙410之彼等部分之外,背板402之第一表面404的所有或實質上所有可視區域由深色層408覆蓋。在一些實施中,存在孔隙410之第一表面404的表面積與由深色層408覆蓋之第一表面的表面積的比(在本文中亦被稱作「孔隙比」)小於約30%,且在一些此等實施中小於約20%,且在一些此等實施中小於約10%。在一些實施中,深色層408之可視表面414(面向檢視者)為黑色光吸收表面,而深色層之內表面416(面向顯示元件)為促進光再循環之光反射表面。同樣,在一些實施中,深色層408可為多層薄膜。
在一些實施中,背板402經配置於第二透明面板(在本文中亦被稱作「孔隙面板」)418上方,該第二透明面板自身配置於背光面板(在 本文中亦被簡稱作「背光」)420上方。在一些實施中,第三透明面板(「保護面板」)422經配置於深色層408及背板402上方。舉例而言,背板402、孔隙面板418、保護面板422及背光420中之一或多者可由玻璃材料、晶體材料、半導體材料或塑膠材料形成。
在一些實施中,第二孔隙層424經配置在孔隙面板418上方、介於孔隙面板418與背板402之間。第二孔隙層424包括大量孔隙426(舉例而言,類似於圖2及圖3之孔隙層207中的孔隙209)。舉例而言,孔隙426可為具有高縱橫比之槽、其他矩形形狀,或其他所需或合適的形狀。在所說明之實例實施中,每一顯示元件412包括三個槽狀孔隙426。在一些實施中,上覆孔隙410可為正方形或矩形的。舉例而言,在一實施中,每一孔隙410足夠大以上覆三個各別孔隙426。在一些其他實施中,深色層408中之孔隙410亦可為槽狀的。舉例而言,深色層408可包括與存在的孔隙426同樣多的孔隙410,使得每一孔隙410經定位成相鄰(或上覆)孔隙426中之對應一者。在一些此等實施中,孔隙410可具有與孔隙426之縱橫比相同或類似的縱橫比(在一些此等實施中,孔隙410可稍大於孔隙426以允許更多具有更陡角度之光穿過)。
每一顯示元件412進一步包括形成於背板402之第二表面406上方或相鄰該第二表面的一或多個致動器428(舉例而言,圖2及圖3之致動器202及204)或與該一或多個致動器428相關聯。在一些實施中,每一顯示元件412包括一可轉變快門430(舉例而言,圖2及圖3之快門206)。快門430及致動器428(及與快門430及致動器428相關聯之佈線或其他電互連件)亦在本文中被總稱作(一或多個)MEMS層434。致動器428回應於來自顯示驅動器(舉例而言,圖18B之陣列驅動器22)之一或多個信號使快門430自關閉位置移動至打開位置(舉例而言,經由靜電致動),且反之亦然。當快門430位於關閉位置中時,快門430之光阻擋部分阻擋或反射穿過第二孔隙層424中之對應孔隙426發射的光。 當快門430位於打開位置中時,快門430之光通過部分(或孔隙)432(舉例而言,類似於圖2及圖3之孔隙212)准許穿過對應孔隙426發射之光通過。在一些實施中,快門孔隙432為縱橫比與對應孔隙426之縱橫比相同或類似的槽狀(在一些此等實施中,孔隙432可稍大於孔隙426以允許更多具有更陡角度之光穿過,舉例而言,如分別由圖2A及圖2B中之孔隙212及209所示)。
在一些其他實施中,深色層408形成於其他表面上,或定位於與圖4A不同的配置中。圖4B展示深色層408定位於背板402之第二表面406與MEMS層434之間的顯示面板400之橫截面。圖4C及圖4D展示背板402配置於孔隙面板418之下(與圖4A及圖4B中所示之配置相反)的顯示面板400之橫截面。另外,在圖4D中,孔隙層424自身充當深色層408。或者,圖4D中之孔隙層424及深色層408可形成為一堆疊多層薄膜。在圖4A至圖4D中,相同參考數字指相同元件。
在一些實施中,經由一或多個金屬化程序形成包括快門430及致動器428(及佈線或其他電互連件)之MEMS層434。舉例而言,快門430及致動器428可使用一或多個金屬化(或金屬沈積或生長)程序來形成。孔隙層424亦可藉由使用一或多個金屬化或其他層沈積程序(包括半導體製造程序)來形成。深色層408亦可(例如)使用一或多個層沈積程序(包括半導體製造程序)來形成。
如上文所描述,顯示元件412可經配置於具有多列及多行之一或多個陣列中以形成整個顯示器。在一些實施中,背板402或孔隙面板418太大(舉例而言,在長度或寬度方面)而無法各自在單一步驟中形成孔隙層424、MEMS層434及深色層408中之一或多者。更確切而言,在一些此等實施中,孔隙層424、MEMS層434及深色層408之形成有必要或需要在兩個或兩個以上步驟中發生(亦即,舉例而言,用於形成孔隙層424之兩個或兩個以上步驟、用於形成MEMS層434之兩 個或兩個以上步驟,及用於形成深色層408之兩個或兩個以上步驟)。在一些實施中,孔隙層424、MEMS層434及深色層408中之一或多者係使用步進處理機來形成。此步進處理機之一項實例為由加利福尼亞州聖何塞市之UltraTech公司製造及出售的NanoTech 100步進處理器。步進處理機使用可影響基板之表面上或表面中之某些材料之性質的光源以及化學程序來在基板上形成圖案化層。
圖5展示根據一些實施的用於圖案化基板542之步進處理機540的實例表示。舉例而言,基板542可為圖4A至圖4D之背板402或孔隙面板418,此取決於對孔隙層424、MEMS層434及深色層408中之何者進行圖案化(或「形成」),且取決於所要配置實施。基板542定位於可移動平台544上。來自光源546之光穿過光罩550之打開部分且由光學器件548聚焦至基板542上。光罩550類似於經圖案化遮罩;舉例而言,各別層之圖案(孔隙之形狀及配置)對應於光罩550之圖案化。在一些實施中,光罩在與基板542在平台544上之移動方向554相反的一方向552上移動。對於有待圖案化的基板542之第一區,步進處理機540在光源546及光罩550下方移動基板542之第一區。在光罩550之下移動的基板542之第一區可對應於有待圖案化於基板542上的各別層的第一半部。在基板542之第一區使用光罩550進行圖案化之後,基板542可在平台544上經移動、偏移或重新定向,使得基板542之未圖案化第二區可藉由平台544在光罩下移動。以此方式,各別層之第二區可經圖案化於基板542上。在一些程序中,基板542之由穿過光罩550之光曝露的部分隨後經蝕刻且填充有待形成之所要金屬或其他材料層。在一些其他程序中,基板542之未由穿過光罩550之光曝露的部分隨後經蝕刻且填充有待形成之所要金屬或其他材料層。
在一些實施中,第一步進操作可使用第一光罩來將孔隙層424的第一半部圖案化且形成至孔隙面板418之表面上。隨後,第二步進操 作可使用第一或不同的第二光罩來將孔隙層424的第二半部圖案化且形成至孔隙面板418之表面上。類似地,第三步進操作可使用第三光罩來將深色層480的第一半部圖案化且形成至背板402之表面或孔隙面板418之表面上。隨後,第四步進操作可使用第三或第四光罩來將深色層408的第二半部圖案化且形成至背板402或孔隙面板418之表面上。類似地,第五步進操作可使用第五光罩來將MEMS層434的第一半部圖案化且形成至背板402之表面或孔隙面板418之表面上。隨後,第六步進操作可使用第五或第六光罩來將MEMS層434的第二半部圖案化且形成至背板402或孔隙面板418之表面上。
在一些實施中,深色層408、孔隙層424及MEMS層434中之一或多者包括兩個或兩個以上金屬或其他材料層。舉例而言,在MEMS層434包括兩個金屬層的一些實施中,第二金屬層可在第一金屬層得以形成之後形成於第一金屬層上(在此狀況下,需要總共四個步進操作來形成被分割成兩個半部的雙層MEMS層434)。
雖然剛出於說明而描述兩步步進處理操作,但在一些其他顯示器實施中,可能要求或需要三個或三個以上步進處理操作步驟。舉例而言,孔隙層424、MEMS層434及深色層408中之一或多者的形成可包括三個步進處理操作(每一者針對層之各別三分之一)或四個步進操作(每一者針對層之各別四分之一)。在一些此等實施中,背板402及孔隙面板418中之一或兩者可分割成三個、四個或更多個區(或「子面板(subpanel)」),且孔隙層424、MEMS層434及深色層408中之一或多者中的每一者可分別使用三個、四個或更多個光罩形成。
圖6A展示根據一些實施的疊置於包括具有槽狀孔隙432之快門430之實例MEMS層434的一部分上方的具有矩形孔隙410之實例深色層408的一部分。在圖6A中,深色層408及快門430展示為透明的,以說明孔隙410相對於孔隙432之位置(致動器428、MEMS層434之其他 部分及顯示面板400之其他層未經展示)。垂直及水平點線660及662分別表示邊界或「縫合(stitch)」線,其指示四個區400a、400b、400c及400d之交叉點(舉例而言,接近包括顯示器之每一象限的區的顯示面板中心)。在所說明之實例中,子面板400a、400b、400c及400d中之每一者內的層408可使用各別步進操作及各別光罩來形成。類似地,在所說明之實例中,區400a、400b、400c及400d中之每一者內的所有快門430可使用各別步進操作及各別光罩來形成。
一給定區內的任何一或多個層之間的未對準可導致降低之發光度或品質(舉例而言,較暗的、較不透明的或品質降低的影像)。舉例而言,在區400a中,深色層408中之孔隙410與MEMS層434中的快門430之孔隙432以適當方式對準。然而,在其他區400b、400c及400d中之每一者中,深色層408中之孔隙410與MEMS層434中之快門430的孔隙432未對準。舉例而言,區400b中之快門430的孔隙432自深色層408中之孔隙410向左偏斜90°的角度。區400c中之快門430的孔隙432自深色層408中之孔隙410向右偏斜90°的角度。在區400d中,快門430之孔隙432相對於深色層408中之孔隙410偏下且偏左。圖6B展示圖6A之佈置,但在圖6B中,實例深色層408及MEMS層434之實例快門430展示為黑色。圖6B可更好地說明穿過各別孔隙410及432的光可如何由於未對準而受到不利影響及甚至被減少。如下所述,深色層408及MEMS層434中之一或兩者相對於區中之每一者中的孔隙層424的未對準可對光之通過產生甚至愈加不當的限制或阻礙,且因而進一步不利地影響影像品質。
圖6C展示根據一些實施的疊置於具有槽狀孔隙426之實例孔隙層424上方的包括具有槽狀孔隙432之快門430的實例MEMS層434。在圖6C中,MEMS層434及孔隙層424展示為透明的,以說明孔隙432相對於孔隙426之位置(包括深色層408的顯示面板400之其他層未經展 示)。垂直及水平點線660及662分別表示邊界縫合線,其指示四個區400a、400b、400c及400d之交叉點(舉例而言,接近包括顯示器之每一象限的區的顯示面板中心)。在所說明之實例中,區400a、400b、400c及400d中之每一者內的層434可使用各別(一個、兩個或更多個步驟)步進操作及各別光罩(或光罩組)來形成。類似地,在所說明之實例中,區400a、400b、400c及400d中之每一者內的孔隙層424可使用各別步進操作及各別光罩來形成。
在圖6C之區400a中,孔隙層424中之孔隙426與MEMS層434之快門430中的孔隙432對準。然而,在其他區400b、400c及400d中之每一者中,孔隙層424中的孔隙426與MEMS層434之快門430中的孔隙432未對準。舉例而言,區400b中之孔隙層424中的孔隙426自MEMS層434之快門430中的孔隙432向左偏斜90°的角度。區400c中之孔隙層424中的孔隙426自MEMS層434之快門430中的孔隙432向右偏斜90°的角度。區400d中的孔隙層424中之孔隙426相對於MEMS層434之快門430中的孔隙432偏下且偏左。圖6D展示圖6C之配置,但在圖6D中,實例孔隙層424及MEMS層434之實例快門430及致動器428展示為黑色的。圖6D可更好地說明穿過各別孔隙426及432的光可如何由於未對準而受到不利影響及甚至被減少或阻擋。
如剛描述的,深色層408、孔隙層424及MEMS層434以及顯示面板400中所包括的任何其他所要層中的任何一或多者可在整個顯示面板400之給定部分或區中相對於彼此未對準。此外,因為此等不同區內之層中的每一者由不同步進操作製造,所以自一區至下一區,未對準大體上並不一致。此可產生相鄰區之間的人眼在視覺上可察覺之場邊界(或「縫合」)線。另外,一些區可相比其他區發光更多(或「更亮」),從而導致影像品質降低。
圖7A展示包括顯示面板702之實例顯示器件701,該顯示面板包 括兩個區或子面板702a及702b。兩個區702a及702b呈現不同的發光度,此為兩個區702a及702b中深色層408、孔隙層424及MEMS層434中之一或多者的不同的未對準之結果。舉例而言,雖然區702a及702b兩者中皆可存在各別層之未對準,但區域702a中之層的未對準程度可大於區702b中之層的未對準程度,從而導致出現由區702a形成之發光度較小的影像。亦展示於圖7A中之顯示器件701下方的為曲線704,該曲線展示作為自顯示面板702之左側至顯示面板702之右側的位置之函數的顯示面板702之發光度或亮度。如顯示面板702中所示,可在兩個區702a及702b相接之界面處察覺邊界縫合線703。縫合線703亦反映於曲線704中,作為縫合線703處的亮度之突然不連續梯階705。
各種實施涉及用以在形成接近區邊界線的顯示元件時引入遞色的遞色程序。各種實施亦涉及使用遞色程序所形成之顯示面板及構成顯示元件。遞色可廣泛定義為雜訊之有意應用或應用此雜訊之結果,但在一些實施中,可根據特別設計之型樣而非隨機地應用該雜訊。本文中所描述之遞色程序可廣泛用以減少相鄰區之間出現邊界線。在一些實施中,本文中所描述之各種遞色程序亦可用以減少不同區之發光度差異。在一些實施中,在形成深色層408、孔隙層424及MEMS層434(其可包括兩個或兩個以上金屬或其他層)中之一或多者中的每一者時引入遞色。在一些實施中,(例如)於上文參考圖5描述之步進操作期間使用特別設計之光罩引入遞色。在一些此等實施中,僅僅在形成與將一各別區與相鄰區分開之邊界線相距的距離小於一所界定之距離的彼等顯示元件412期間引入遞色。
圖7B展示根據一些實施的包括顯示面板708之實例顯示器件707,該顯示面板708包括兩個區或子面板708a及708b。如上文所描述,顯示面板708可為包括兩個或兩個以上堆疊之面板或片(包括(例如)上文參考圖4A至圖4D描述的背板402及孔隙面板418)的多片式顯示 面板。亦如上文所描述,顯示面板708可包括多個經圖案化層,其包括(例如)深色層408、孔隙層424及MEMS層434以及其他層。兩個區708a及708b呈現不同的發光度,此為由於兩個區708a及708b中的深色層408、孔隙層424及MEMS層434中之一或多者的不同的未對準。舉例而言,如上文參考圖7A所描述,雖然區708a及708b兩者中皆可存在各別層的未對準,但區708a中之層的未對準程度可大於區708b中之層的未對準程度,從而導致出現由區708a形成之發光度較小影像。亦展示於圖7B中之顯示器件707下方的為曲線710,該曲線展示作為自顯示面板708之左側至顯示面板708之右側的位置之函數的顯示面板708之發光度或亮度。
圖7B之顯示面板708不同於圖7A之顯示面板702,此由於在左區708a及右區708b中之每一者中在形成深色層208、孔隙層424及MEMS層434中之一或多者期間引入的遞色。更確切而言,在經遞色區709中引入遞色。經遞色區709包括位於兩個區708a及708b之間的界面之任一側上的顯示元件412。舉例而言,經遞色區709之第一部分(舉例而言,第一半部)709a包括與左區708a之右側邊界相距的距離小於一所界定之距離的顯示元件412。類似地,經遞色區709之第二部分(舉例而言,第二半部)709b包括與右區708b之左側邊界相距的距離小於一所界定之距離的顯示元件412。如顯示面板708中所示,在兩個區708a與708b相接的界面處並不存在可察覺的邊界縫合線,此為由於在經遞色區709內在區708a及708b中之每一者中所引入的遞色。另外,如亮度曲線710中所指示,亮度在經遞色區709中自左區708a中之較低值逐漸攀升至右區708b中之較高值;如與圖7A之顯示面板702相反,其中亮度在兩個區702a與702b之界面處自較低值突然跳變至較高值。
圖8展示圖7B之顯示面板708以及用以圖案化區708a及708b中之每一者之第一及第二光罩的表示的單獨視圖(假想虛線說明區708a與 708b之間的邊界)。第一光罩812a及第二光罩812b可用於層圖案化程序中,用於在各別區中形成深色層408、孔隙層424或MEMS層434。如上文所描述,在深色層408、孔隙層424及MEMS層434(其可包括兩個或兩個以上金屬或其他層)中之每一者之形成期間使用不同光罩。另外,光罩812a及812b在用以圖案化區708a及708b中之每一者中的相同各別層時可針對左區708a及右區708b為不同的。在一些實施中,用於左區708a之光罩812a不僅在左區上方延伸,且亦在右區708b之相鄰部分(舉例而言,對應於圖7B中所示之第二經遞色部分709b)上方延伸。類似地,用於右區708b之光罩812b不僅在右區上方延伸,且亦在左區708a之相鄰部分(舉例而言,對應於圖7B中所示之第一經遞色部分709a)上方延伸。更確切而言,第一光罩812a及第二光罩812b包括重疊區中之另一者的各別遞色部分814a及814b。
用於左光罩812a之遞色部分814a包括自左區708a之右側邊界向左延伸距離d1之部分8161,及自右側邊界向右延伸距離d2至右區708b之區中的部分8162。類似地,用於右光罩812b之遞色部分814b包括自右區708b之左側邊界向右延伸距離d2之部分8182,及自左側邊界向左延伸距離d1至左區708a之區中的部分8181。因此,遞色部分814a及814b中之每一者延伸總寬度D,該D等於d1與d2之總和。在一些實施中,距離d1與d2相等,且遞色部分814a及814b跨越邊界線彼此互補。
另外,雖然區708a及708b被說明為如同每一者係在該等區中之另一者之圖案化之前藉由光罩812a及812b中之各別光罩加以圖案化,但實際上,該等區中之第一者(舉例而言,區708a)將首先藉由各別光罩圖案化,且隨後該等區中之第二者(舉例而言,區708b)將藉由各別其他光罩圖案化。以此方式,用於該等區中之第二者的光罩之遞色部分會將所要經遞色層圖案化於由用於該等區中之第一者的光罩之遞色部分圖案化的經遞色層上。在此雙區實施中使用光罩812a及812b兩者進 行的圖案化(及基於圖案化進行的實際層之後續沈積)之結果將為在整個面板708上的一完整層,該完整層包括基於藉由第一遞色部分814a之圖案化與藉由第二遞色部分814b之圖案化的組合而形成的經遞色區709。更確切而言,基於藉由遞色部分8161及8181之圖案化而沈積或以其他方式形成的所得層可形成圖7B中所示之經遞色區709a,而基於藉由遞色部分8162及8182之圖案化而形成之所得層可形成圖7B中所示之經遞色區709b。
在圖8中,遞色部分814a及814b中之每一者分別包括若干遞色元件820a及820b。如上文所描述,第二光罩812b之遞色元件820b中之每一者可與第一光罩812a之對應遞色元件820a互補。在一些實施中,所有遞色元件820a可為相同的,且所有遞色元件820b可為相同的。在一些其他實施中,遞色元件820a可彼此不同,且遞色元件820b可彼此不同。
圖9展示根據一些實施的實例遞色元件920之表示。遞色元件920為200像素寬及50像素長(舉例而言,其中每一像素924包括用於顯示元件412中之一或多者的區域)。在一些實施中,隨著朝向各別區的主體之距離沿遞色元件920之寬度增大,(例如)因為較多的導向遞色元件920的光通過,所以各別層之更多部分經圖案化。相反,隨著朝向相鄰區之距離沿遞色元件920之寬度增大,(例如)因為較少的導向遞色元件920之光通過,所以各別層之更少部分經圖案化。在一些實施中,因此,遞色元件920的最接近區的主體之部分完全或幾乎完全地圖案化各別層,而遞色元件920的最多地重疊相鄰區之部分並未圖案化或極少地圖案化該層。
圖10展示根據一些實施的用於使用第一光罩圖案化經遞色區1026之遞色元件920a、用於使用第二光罩圖案化經遞色區1026之遞色元件920b,及在藉由遞色元件920a及920b兩者之圖案化之後產生的經 遞色區1026的表示。如圖10中所示,因為第一光罩之遞色元件920a中之每一者與第二光罩之對應遞色元件920b互補,且因為遞色元件920a及920b圖案化同一區1026,所以結果為各別層之一完整的經遞色區(舉例而言,完整深色層408、完整孔隙層424,或完整MEMS層434(或用以形成多層MEMS層434之完整構成金屬層))。
圖11展示根據一些實施的可如何使用遞色來形成多層MEMS層434之第一金屬層的經遞色部分。來自第一光罩之第一遞色元件1130a包括大量像素元件1134,其中每一者針對一各別顯示元件412。元件1132a展示第一遞色元件1130a之一部分的展開圖。來自第二光罩之第二遞色元件1130b包括大量像素元件1136,其中每一者針對一各別顯示元件412。元件1132b展示第二遞色元件1130b之一部分的展開圖。
遞色元件1130a及1130b各包括四種單元類型之像素元件。根據所定義之分佈或圖案,且更確切而言,基於對應單元類型,像素元件1134及1136分別配置在全部遞色元件1130a及1130b中。舉例而言,遞色元件1130a包括第一單元類型之像素元件11341,該等像素元件11341各自形成用於各別顯示元件412之第一金屬層的完整部分。遞色元件1130a亦包括第二單元類型之第二像素元件11342,該等像素元件11342各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖案及孔隙圖案之第一半部的一部分。遞色元件1130a亦包括第三單元類型之第三像素元件11343,該等像素元件11343各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖案及孔隙圖案之第二半部的一部分。遞色元件1130a亦包括第四單元類型之第四像素元件11344,該等像素元件11344各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖案但不包括孔隙圖案的一部分。以互補方式,遞色元件1130b包括第一單元類型之像素元件11361,其不導致形成用於各別顯示元件412之第一金屬層之任何部分。遞色元件1130b亦包括第二單元類型之第二像素元件11362,該等像素元件11362各自形成各別顯示元 件412的包括孔隙圖案之第二半部的一部分。遞色元件1130b亦包括第三單元類型之第三像素元件11363,該等像素元件11363各自形成各別顯示元件412的包括孔隙圖案之第一半部的一部分。遞色元件1130b亦包括第四單元類型之第四像素元件11364,該等像素元件11364各自形成用於各別顯示元件412的完整孔隙圖案。
因為遞色元件1130a及1130b係互補的,所以在使用各別光罩將第一金屬層之各別部分圖案化於基板上之後,藉由遞色元件1130a及1130b形成的第一金屬層之部分的所得的經合併之超集形成接近區之間的邊界的第一金屬層之一完整的經遞色區。儘管可存在由各別光罩形成之第一金屬層部分的某種未對準,但由光罩之遞色元件1130a及1130b引入的雜訊模糊或消除場邊界線及相鄰區之間的未對準之出現。
圖12展示根據一些實施的用於在右區上圖案化且形成MEMS層434之第一金屬層之右光罩1240的另一實例。如上文所描述,光罩1240包括亦在左區之一部分上方延伸的遞色部分1244。遞色部分1244包括若干遞色元件1242(亦展示於與光罩1240相鄰之展開圖中)。每一遞色元件1242包括大量像素元件1246。在圖12中,每一像素元件1246亦為四種單元類型中之一者。根據所定義之分佈或圖案(且更確切而言,基於對應單元類型),像素元件1246經配置在全部遞色元件1242中。源自遞色元件1242中之像素元件1246的四個箭頭各自自對應像素元件1246指向各別像素元件之放大圖。舉例而言,第一像素元件1246a具有第一單元類型,其導致基板之相鄰表面不曝露於展示於光罩1240上之光之。第二像素元件1246b具有第二單元類型,其導致孔隙圖案1248曝露且形成於基板之相鄰表面上。舉例而言,孔隙圖案1248可形成顯示元件412之一部分(舉例而言,MEMS層434之一部分)。第三像素元件1246c具有第三單元類型,其導致佈線圖案1250曝 露且形成於基板之相鄰表面上。舉例而言,佈線圖案1250可形成顯示元件412之一部分(舉例而言,MEMS層434之第二部分)。第四像素元件1246d具有第四單元類型,其導致孔隙圖案1248及佈線圖案1250兩者曝露且形成於基板之相鄰表面上。
圖13展示根據一些實施的用於在左區上圖案化且形成MEMS層434之第一金屬層之左光罩1340的另一實例。如上文所描述,光罩1340包括亦在右區之一部分上方延伸的遞色部分1344。遞色部分1344包括若干遞色元件1342(亦展示於與光罩1340相鄰之展開圖中)。每一遞色元件1342包括大量像素元件1346。在圖13中,類似於圖12,每一像素元件1346亦為四種單元類型中之一者。根據所定義之分佈或圖案,且更確切而言,基於對應單元類型,像素元件1346經配置在全部遞色元件1342中。源自遞色元件1342中之像素元件1346的四個箭頭各自自對應像素元件1346指向各別像素元件之放大圖。舉例而言,第一像素元件1346a具有第一單元類型,其導致孔隙圖案1348及佈線圖案1350兩者曝露且形成於基板之相鄰表面上。第二像素元件1346b具有第二單元類型,其導致僅僅佈線圖案1350曝露且形成於基板之相鄰表面上。第三像素元件1346c具有第三單元類型,其導致僅僅孔隙圖案1348曝露且形成於基板之相鄰表面上。第四像素元件1346d具有第四單元類型,其導致基板之相鄰表面不曝露於展示於光罩1340上之光。
在所說明之實施中,遞色元件1342之像素元件1346的配置再次與遞色元件1242之像素元件1246的配置互補。由於像素元件1246及1346之互補配置,且因為各別光罩中之每一者中的遞色元件1242及1342中之每一者的半部重疊相鄰區,所以在使用左光罩1242及右光罩1342將所要層圖案化且形成於各別區中之後,將完成接近相鄰面板之間的邊界的經遞色區中之層的部分。舉例而言,在使用光罩1240及1340圖案化所要層之後,遞色元件1342之像素元件1346a與遞色元件 1242之像素元件1246a被圖案化於下伏基板之相同的各別區上。類似地,像素元件1346b與像素元件1246b被圖案化於基板之相同的各別區上;像素元件1346c與像素元件1246c被圖案化於基板之相同的各別區上;且像素元件1346d與像素元件1246d被圖案化於基板之相同的各別區上。換言之,遞色元件1342之像素元件1346及遞色元件1242之像素元件1246的配置係互補的,使得在其應用之後在經遞色區中形成所要層之完整部分。
雖然參考圖11、圖12及圖13描述之實施中的遞色元件包括四種單元類型,但在一些其他實施中,可利用不同的圖案及單元類型。另外,在一些其他實施中,可在遞色元件中利用兩種、三種或多於四種單元類型。
圖14展示根據一些實施的可如何使用遞色來形成多層MEMS層434之第二金屬層的經遞色部分。來自第一光罩之第一遞色元件1460a包括大量像素元件1464,其各自針對一各別顯示元件412。元件1462a展示第一遞色元件1460a之一部分的展開圖。來自第二光罩之第二遞色元件1460b包括大量像素元件1466,其各自針對一各別顯示元件412。元件1462b展示第二遞色元件1460b之一部分的展開圖。
遞色元件1460a及1460b各包括四種單元類型之像素元件。根據所定義之分佈或圖案,且更確切而言,基於對應單元類型,像素元件1464及1466分別經配置於全部遞色元件1460a及1460b中。舉例而言,遞色元件1460a包括第一單元類型之像素元件14641,該等像素元件14641各自形成用於各別顯示元件412之第二金屬層的完整部分。遞色元件1460a亦包括第二單元類型之第二像素元件14642,該等像素元件14642各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖案及孔隙圖案之第一半部的一部分。遞色元件1460a亦包括第三單元類型之第三像素元件14643,該等像素元件14643各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖 案及孔隙圖案之第二半部的一部分。遞色元件1460a亦包括第四單元類型之第四像素元件14644,該等像素元件14644各自形成各別顯示元件412的包括佈線圖案但不包括孔隙圖案的一部分。以互補方式,遞色元件1460b包括第一單元類型之像素元件14661,該等像素元件14661不導致形成用於各別顯示元件412之第二金屬層之任何部分。遞色元件1460b亦包括第二單元類型之第二像素元件14662,該等像素元件14662各自形成各別顯示元件412的包括孔隙圖案之第二半部的一部分。遞色元件1460b亦包括第三單元類型之第三像素元件14663,該等像素元件14663各自形成各別顯示元件412的包括孔隙圖案之第一半部的一部分。遞色元件1460b亦包括第四單元類型之第四像素元件14664,該等像素元件14664各自形成用於各別顯示元件412的完整孔隙圖案。
因為遞色元件1460a及1460b係互補的,所以在使用各別光罩將第二金屬層之各別部分圖案化於基板上之後,由遞色元件1460a及1460b形成的第二金屬層的所得的經合併之部分之超集形成接近區之間的邊界的第二金屬層之一完整的經遞色區。儘管可存在藉由各別光罩形成之第二金屬層部分的某種未對準,但藉由光罩之遞色元件1460a及1460b引入的雜訊模糊或消除場邊界線及相鄰區之間的未對準之出現。
另外,因為多層MEMS層434之第一金屬層與第二金屬層之間可存在某種未對準,所以由形成於第一及第二金屬層中之經遞色區引入的雜訊可以協同方式起作用,以進一步模糊或消除場邊界線以及減少左區與右區之間的明度差。
圖15展示根據一些實施可如何使用遞色來形成孔隙層424之經遞色部分。來自第一光罩之第一遞色元件1570a包括大量像素元件1574,其各自針對一各別顯示元件412。元件1572a展示第一遞色元件 1570a之一部分的展開圖。來自第二光罩之第二遞色元件1570b包括大量像素元件1576,其各自針對一各別顯示元件412。元件1572b展示第二遞色元件1570b之一部分的展開圖。
遞色元件1570a及1570b各包括四種單元類型之像素元件。根據所定義之分佈或圖案,且更確切而言,基於對應單元類型,像素元件1574及1576分別經配置於全部遞色元件1570a及1570b中。舉例而言,遞色元件1570a包括第一單元類型之像素元件15741,該等像素元件15741各自形成用於各別顯示元件412之孔隙層424的完整部分。遞色元件1570a亦包括第二單元類型之第二像素元件15742,該等像素元件15742各自形成用於各別顯示元件412的孔隙層424的第一半部。遞色元件1570a亦包括第三單元類型之第三像素元件15743,該等像素元件15743各自形成用於各別顯示元件412的孔隙層424的第二半部。遞色元件1570a亦包括第四單元類型之第四像素元件15744,其並不導致形成用於各別顯示元件412之孔隙層424的任何部分。以互補方式,遞色元件1570b包括第一單元類型之像素元件14661,該等像素元件不導致形成用於各別顯示元件412之孔隙層424的任何部分。遞色元件1570a亦包括第二單元類型之第二像素元件15762,該等像素元件15762各自形成用於各別顯示元件412的孔隙層424的第二半部。遞色元件1570b亦包括第三單元類型之第三像素元件15763,該等像素元件15763各自形成用於各別顯示元件412的孔隙層424的第一半部。遞色元件1570b亦包括第四單元類型之第四像素元件15764,該等像素元件15764各自形成用於各別顯示元件412的完整孔隙層424。
因為遞色元件1570a及1570b係互補的,所以在使用各別光罩將孔隙層424之各別部分圖案化於基板上之後,藉由遞色元件1570a及1570b形成的孔隙層之部分的所得的經合併之超集形成接近區之間的邊界的孔隙層之一完整的經遞色區。儘管可存在藉由各別光罩形成之 孔隙層部分的某種未對準,但由光罩之遞色元件1570a及1570b引入的雜訊模糊或消除場邊界線及相鄰區之間的未對準之出現。
另外,因為孔隙層424與多層MEMS層434之第一金屬層及第二金屬層中之一或兩者之間可存在某種未對準,所以藉由形成於孔隙層424及MEMS層434之第一及第二金屬層中的經遞色區引入的雜訊可以協同方式起作用,以進一步模糊或消除場邊界線以及減少左區與右區之間的明度差。實際上,在形成深色層408或可對區之發光度產生影響之任何其他層時,可以類似方式使用所描述之遞色程序。所有此等層之遞色區可以協同方式起作用以模糊或消除未對準及發光度差異的出現。舉例而言,顯示元件412之「光學」層中的任一者可經本文中所描述之遞色技術處理;舉例而言,深色層408、閘極絕緣層、蝕刻終止層、鈍化層、第三金屬層、模具層(舉例而言,用以形成上文關於圖2A及圖2B描述之樑的層)。另外,可對藉由顯示元件412形成之影像產生任何影響的其他層亦可經遞色,例如,氧化銦鎵鋅(IGZO)層、氧化銦錫(ITO)層、錨定層及複數個通孔層。此等層之差異可造成快門之驅動電壓或快門速度的變化,其轉而可造成左區與右區之間(或多面板顯示器之任何其他區之間)的明度變化。
亦應理解,本文中所描述之遞色程序可應用於被分割成任何數目或任何配置之區的顯示面板。舉例而言,具有線性配置的三個區的顯示面板可使用三個光罩來形成,其中中間光罩包括位於該光罩之兩個邊緣中之每一者上的遞色部分--一者相鄰於最左區且一者相鄰於最右區。圖16A展示根據一些實施的包括三個區之實例顯示面板的一部分。該等三個區包括第一(或左)區1680a、第二(或中間)區1680b及第三(或右)區1680c。第一(或左)經遞色區1682重疊左區1680a與中間區1680b之間的邊界。第二(或右)經遞色區1684重疊中間區1680b與右區1680c之間的邊界。
在一些實施中,接近左經遞色區1682之左側邊界的所有、實質上所有,或大部分顯示元件(或其層)係使用用以圖案化左區1680a之光罩進行圖案化。類似地,接近左經遞色區1682之右側邊界的所有、實質上所有或大部分顯示元件(或其層)係使用用以圖案化中間區1680b之光罩進行圖案化。類似地,接近右經遞色區1684之右側邊界的所有、實質上所有,或大部分顯示元件(或其層)係使用用以圖案化右區1680c之光罩進行圖案化。類似地,接近右經遞色區1684之左側邊界的所有、實質上所有或大部分顯示元件(或其層)係使用用以圖案化中間區1680b之光罩進行圖案化。
然而,在左區1680a與中間區1680b之間的邊界處,分別地,顯示元件(或其部分或層)的約一半係使用用於左區1680a之光罩進行圖案化,且顯示元件(或其部分或層)的約一半係使用用於中間區1680b之光罩進行圖案化。類似地,在中間區1680b與右區1680c之間的邊界處,分別地,顯示元件(或其部分或層)的約一半係使用用於中間區1680b之光罩進行圖案化,且顯示元件(或其部分或層)的約一半係使用用於右區1680c之光罩進行圖案化。
類似地,具有如圖6A至圖6D中進行配置之四個區的顯示面板可使用四個光罩來形成,其中每一者包括位於各別光罩之兩個內邊緣上的遞色部分。圖16B展示根據一些實施的包括四個區之實例顯示面板的一部分。該等四個區包括第一(或左上)區1686a、第二(或右上)區1686b、第三(或左下)區1686c,及第四(或右下)區1686d。第一經遞色區1688重疊第一區1686a與第二區1686b之間的邊界。第二經遞色區1690重疊第三區1686c與第四區1686d之間的邊界。第三經遞色區1692重疊第一區1686a與第三區1686c之間的邊界。第四經遞色區1694重疊第二區1686b與第四區1686d之間的邊界。在一些此等實施中,接近顯示面板之中心(其中四個區相接)的一些顯示元件(或其部分或層)可使 用用於區1686a至1686d中的兩者、三者或所有四者之光罩進行圖案化。
圖17展示說明用於在基板上形成經遞色區之實例程序1700的流程圖。在一些實施中,程序1700開始於區塊1702:使用第一光罩圖案化基板之第一區及第二區之至少第一部分。舉例而言,圖案化可藉由諸如參考圖5所描述之步進處理機執行。在一些實施中,基板可為上文描述之背板402或孔隙面板418。程序1700亦包括(在區塊1704中)使用第二光罩圖案化基板之第二區及第一區之至少第一部分。程序1700在區塊1706繼續:基於藉由第一光罩之圖案化形成第一層,該第一層包括經圖案化元件之陣列。程序1700在區塊1708繼續:基於藉由第二光罩之圖案化形成第二層,該第二層包括經圖案化元件之陣列。在一些實施中,第一及第二層可共同形成深色層408、孔隙層424或多層MEMS層434之一層中的任一者。在一些實施中,為形成第一及第二層,基板之第一及第二區的由穿過第一及第二光罩之光曝露的部分隨後經蝕刻且填充有待形成之所要金屬或其他材料層。在一些其他實施中,基板的未藉由穿過第一及第二光罩之光曝露之第一及第二區隨後經蝕刻且填充有待形成之所要金屬或其他材料層。
如上文所描述,第一部分上的第一層之經圖案化元件之陣列可為不完整的。舉例而言,第一部分上的第一層之經圖案化元件之陣列形成如上文所描述的經遞色區的部分。第一部分上的第二層之經圖案化元件之陣列亦可為不完整的。舉例而言,第一部分上的第二層之經圖案化元件之陣列亦形成如上文所描述的經遞色區的部分。如上文所描述,第一部分上的第一層之經圖案化元件之陣列可與第一部分上的第二層之經圖案化元件之陣列互補,使得第一部分上的第一及第二層之經圖案化元件為完整的,從而形成經遞色區。
各種遞色元件設計可適用於引入如本文中所描述之遞色。一些 實例遞色設計圖案包括各種類型遞色單元之拜耳(Bayer)分佈(舉例而言,「完全曝露」單元及「無曝露」單元之配置,以及在一些實施中,一或多種類型之部分曝露單元的配置)。其他可能遞色設計利用半色調分佈、螺釘分佈(Screw distribution)、增強型戈瑞(Emphatic Gray)分佈、隨機分佈,以及弗洛伊德-斯坦貝格(Floyd-Steinberg)誤差擴散分佈,及基於布魯(Blue)雜訊遮罩之分佈,或其他合適的分佈。另外,如上文所描述,在一些實施中,每一遞色元件中的每一單元之大小對應於一顯示元件之大小。在一些其他實施中,給定單元可對應於兩個或兩個以上顯示元件;舉例而言,位於一列或一行內的兩個或兩個以上相鄰顯示元件(或位於兩個相鄰列及兩個相鄰行中的四個或四個以上相鄰顯示元件)。
圖18A及圖18B展示包括複數個顯示元件之實例顯示器件40的系統方塊圖。舉例而言,顯示元件可為基於MEMS之顯示元件,諸如上文所述的基於快門之顯示元件。顯示器件40可為(例如)智慧型手機、蜂巢式或行動電話。然而,顯示器件40之相同組件或其略微變化亦說明各種類型之顯示器件,諸如電視、電腦、平板電腦、電子閱讀器、手持型器件及攜帶型媒體器件。
顯示器件40包括外殼41、顯示器30、天線43、揚聲器45、輸入器件48及麥克風46。外殼41可由多種製造製程中之任一者形成,包括射出模製及真空成型。此外,外殼41可由包括(但不限於)以下多種材料中之任何者製造:塑膠、金屬、玻璃、橡膠及陶瓷或其組合。外殼41可包括可與不同色彩或含有不同標誌、圖片或符號之其他可移除部分互換的可移除部分(圖中未展示)。
顯示器30可為如本文中所描述之多種顯示器中之任一者,包括雙穩態或類比顯示器。顯示器30亦可能能夠包括平板顯示器(諸如,電漿、電致發光(EL)顯示器、OLED、超扭轉向列(STN)顯示器、LCD 或薄膜電晶體(TFT)LCD),或非平板顯示器(諸如,陰極射線管(CRT)或其他管式器件)。另外,如本文中所描述,顯示器30可包括基於機械光調變器之顯示器。
顯示器件40之組件示意性地說明於圖18B中。顯示器件40包括一外殼41,且可包括至少部分圍封於其中之額外組件。舉例而言,顯示器件40包括網路介面27,網路介面27包括可耦接至收發器47之天線43。網路介面27可為可在顯示器件40上顯示之影像資料的源。因此,網路介面27為影像源模組之一實例,但處理器21及輸入器件48亦可充當影像源模組。收發器47連接至處理器21,該處理器連接至調節硬體52。調節硬體52可經組態以調節一信號(諸如濾波器或以其他方式操縱一信號)。調節硬體52可連接至揚聲器45及麥克風46。處理器21亦可連接至輸入器件48及驅動器控制器29。驅動器控制器29可耦接至圖框緩衝器28,且耦接至陣列驅動器22,該陣列驅動器轉而可耦接至顯示器陣列30。顯示器件40中之一或多個元件(包括未在圖18A中具體描繪之元件)可能能夠充當記憶體器件且能夠與處理器21通信。在一些實施中,電源供應器50可將電力提供至特定顯示器件40設計中之實質上所有組件。
網路介面27包括天線43及收發器47,使得顯示器件40可經由網路與一或多個器件通信。網路介面27亦可具有減輕(例如)處理器21之資料處理要求的一些處理能力。天線43可傳輸及接收信號。在一些實施中,天線43根據IEEE 16.11標準中的任一者或IEEE 802.11標準中之任一者傳輸及接收RF信號。在一些其他實施中,天線43根據Bluetooth®標準傳輸及接收RF信號。在蜂巢式電話之狀況下,天線43可經設計以接收分碼多重存取(CDMA)、分頻多重存取(FDMA)、分時多重存取(TDMA)、全球行動通信系統(GSM)、GSM/通用封包無線電服務(GPRS)、增強型資料GSM環境(EDGE)、陸上集群無線電 (TETRA)、寬頻CDMA(W-CDMA)、演進資料最佳化(EV-DO)、1xEV-DO、EV-DO修訂A、EV-DO修訂B、高速封包存取(HSPA)、高速下行鏈路封包存取(HSDPA)、高速上行鏈路封包存取(HSUPA)、演進型高速封包存取(HSPA+)、長期演進(LTE)、AMPS或用以在無線網路(諸如,利用3G、4G或5G或其其他實施之系統)內通信之其他已知信號。收發器47可預先處理自天線43接收之信號,以使得該等信號可由處理器21接收及進一步操縱。收發器47亦可處理自處理器21接收之信號以使得該等信號可經由天線43自顯示器件40傳輸。
在一些實施中,可用接收器替換收發器47。另外,在一些實施中,網路介面27可由影像源替換,影像源可儲存或產生待發送至處理器21之影像資料。處理器21可控制顯示器件40之總體操作。處理器21自網路介面27或影像源接收資料,諸如經壓縮之影像資料,且將資料處理成原始影像資料或處理成可易於處理成原始影像資料之格式。處理器21可將經處理之資料發送至驅動器控制器29或發送至圖框緩衝器28以供儲存。原始資料通常指識別一影像內之每一位置處之影像特性的資訊。舉例而言,此等影像特性可包括色彩、飽和度及灰度階。
處理器21可包括微控制器、CPU或邏輯單元以控制顯示器件40之操作。調節硬體52可包括用於將信號傳輸至揚聲器45且用於接收來自麥克風46之信號的放大器及濾波器。調節硬體52可為顯示器件40內之離散組件,或可併入處理器21或其他組件內。
驅動器控制器29可直接自處理器21抑或自圖框緩衝器28獲取由處理器21產生之原始影像資料,且可適當地重新格式化該原始影像資料以用於高速傳輸至陣列驅動器22。在一些實施中,驅動器控制器29可將原始影像資料重新格式化為具有光柵狀格式之資料流,以使得其具有適於跨越顯示器陣列30掃描之時間次序。接著驅動器控制器29將經格式化之資訊發送至陣列驅動器22。儘管驅動器控制器29常常作為 獨立積體電路(IC)與系統處理器21相關聯,但此等控制器可以許多方式來實施。舉例而言,控制器可作為硬體嵌入處理器21中、作為軟體嵌入處理器21中,或與陣列驅動器22一起完全整合於硬體中。
陣列驅動器22可自驅動器控制器29接收經格式化資訊,且可將視訊資料重新格式化為平行之波形集合,該等波形被每秒許多次地施加至來自顯示器的x-y顯示元件矩陣之數百且有時數千個(或更多)導線。在一些實施中,陣列驅動器22及顯示器陣列30為顯示模組之一部分。在一些實施中,驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯示陣列30為顯示模組之一部分。
在一些實施中,驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯示器陣列30適合於本文中所描述之任何類型的顯示器。舉例而言,驅動器控制器29可為習知的顯示器控制器、雙穩態顯示器控制器(諸如,機械光調變器顯示元件控制器)。另外,陣列驅動器22可為習知的驅動器或雙穩態顯示器驅動器(諸如,機械光調變器顯示元件控制器)。此外,顯示陣列30可為習知的顯示器陣列或雙穩態顯示器陣列(諸如,包括機械光調變器顯示元件之陣列的顯示器)。在一些實施中,驅動器控制器29可與陣列驅動器22整合。此實施可用於高度整合系統(例如,行動電話、攜帶型電子器件、手錶或小面積顯示器)中。
在一些實施中,輸入器件48可經組態以允許(例如)使用者控制顯示器件40之操作。輸入器件48可包括小鍵盤(諸如,QWERTY鍵盤或電話小鍵盤)、按鈕、開關、搖臂、觸敏螢幕、與顯示器陣列30整合之觸敏螢幕或壓敏或熱敏膜。麥克風46可經組態作為用於顯示器件40之輸入器件。在一些實施中,經由麥克風46之話音命令可用於控制顯示器件40之操作。此外,在一些實施中,話音命令可用於控制顯示器參數及設置。
電源供應器50可包括多種能量儲存器件。舉例而言,電源供應 器50可為可再充電電池,諸如,鎳鎘電池或鋰離子電池。在使用可再充電電池之實施中,可再充電電池可為可使用來自(例如)壁式插座或光伏打器件或陣列之電力來充電的。或者,可再充電電池可為可無線充電的。電源供應器50亦可為再生能源、電容器或太陽能電池(包括塑料太陽能電池或太陽能電池漆)。電源供應器50亦可經組態以自壁式插座接收電力。
在一些實施中,控制可程式化性駐留於可位於電子顯示系統中之若干處的驅動器控制器29中。在一些其他實施中,控制可程式化性駐留於陣列驅動器22中。以上所描述之最佳化可實施於任何數目個硬體及/或軟體組件中且以各種組態來實施。
本文中所描述之電壓或電流中之一些或全部可視為電信號,不管是提供、施加、偵測、感測、量測還是判定此等信號,且不管此等信號為靜態信號抑或時變信號。本文中所描述之一些信號為能夠具有兩種可能狀態中之一者的二進位信號。舉例而言,此等二進位信號可具有第一(或高)值及第二(或低)值。然而,在將一信號稱為高或低時,無固有或暗示的限制。相反,此等高及低標記意欲促進對所揭示之實施之描述,且並非意欲限定相關聯信號之操作範圍。另外,如在一類型電晶體(舉例而言,n型電晶體)之內容脈絡中描述之此等高及低標記可在第二類型電晶體(舉例而言,p型電晶體)的內容脈絡中顛倒。本文中所描述之信號可經由對應信號線進行載運、提供或接收。在適當時,術語「線」亦可在本文中與互連件、跡線、導線及鏈路互換使用。
如本文所使用,除非另外指明,否則在適當時,連接詞「或」在本文中意欲為包含意義;亦即,片語「A、B或C」意欲包括以下可能性:A、B、C、A與B、B與C、A與C,以及A與B與C。另外,涉及項目清單「中之至少一者」的片語指彼等項目之任何組合,包括單一 成員。作為一實例,「A、B或C中之至少一者」意欲涵蓋:A、B、C、A-B、A-C、B-C及A-B-C。
結合本文中揭示之實施所描述之各種說明性邏輯、邏輯區塊、模組、電路及演算法程序可實施為電子硬體、電腦軟體或兩者之組合。硬體與軟體之互換性已經大體按功能性描述,且說明於上述各種說明性組件、區塊、模組、電路及程序中。將此功能性實施於硬體抑或軟體中取決於特定應用及強加於整個系統上之設計約束。
用以實施結合本文中所揭示之態樣而描述的各種說明性邏輯、邏輯區塊、模組及電路之硬體及資料處理裝置可藉由通用單晶片或多晶片處理器、數位信號處理器(DSP)、特殊應用積體電路(ASIC)、場可程式化閘陣列(FPGA)或其他可程式化邏輯器件、離散閘或電晶體邏輯、離散硬體組件或其經設計以執行本文中所描述之功能的任何組合來實施或執行。通用處理器可為微處理器、或任何習知處理器、控制器、微控制器或狀態機。處理器亦可實施為計算器件之組合,例如,一DSP與一微處理器之組合、複數個微處理器、一或多個微處理器結合DSP核心,或任何其他此組態。在一些實施中,特定程序及方法可由特定針對給定功能之電路執行。
在一或多個態樣中,所描述之功能可實施於硬體、數位電子電路、電腦軟體、韌體(包括在此說明書中揭示之結構及其結構等效物)或其任何組合中。本說明書中所描述之標的物的實施亦可實施為編碼於電腦儲存媒體上以由資料處理裝置執行或控制資料處理裝置之操作的一或多個電腦程式(亦即,電腦程式指令之一或多個模組)。
一些用於實施遞色元件之設計可以軟體製造。一些遞色程序可使用軟體來實施。在任一狀況下,若以軟體實施,則該等功能可作為一或多個指令或程式碼而儲存於電腦可讀媒體上或經由電腦可讀媒體而傳輸。本文中揭示的方法或演算法之程序可實施於可駐留於電腦可 讀媒體上之處理器可執行軟體模組中。電腦可讀媒體包括電腦儲存媒體及通信媒體(包括可經啟用以將電腦程式自一處傳送至另一處之任何媒體)兩者。儲存媒體可為可由電腦存取之任何可用媒體。作為實例而非限制,此等電腦可讀媒體可包括RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其他光碟儲存器、磁碟儲存器或其他磁性儲存器件或可用以按指令或資料結構之形式儲存所要程式碼且可由電腦存取的任何其他媒體。此外,可將任何連接適當地稱為電腦可讀媒體。如本文中所使用之磁碟及光碟包括光碟(CD)、雷射光碟、光學光碟、數位多功能光碟(DVD)、軟磁碟及藍光光碟,其中磁碟通常以磁性方式再生資料,而光碟用雷射以光學方式再生資料。以上各物之組合亦應包括於電腦可讀媒體之範疇內。另外,方法或演算法之操作可作為程式碼及指令中之一者或任何組合或集合而駐留於機器可讀媒體及電腦可讀媒體上,可將機器可讀媒體及電腦可讀媒體併入至電腦程式產品內。
本發明中所描述之實施之各種修改對於熟習此項技術者而言可為易於顯而易見的,且本文中所界定之一般原理可在不脫離本發明之精神或範疇的情況下應用於其他實施。因此,申請專利範圍並不意欲限於本文中所展示之實施,而應符合與本文中揭示之本發明、原理及新穎特徵相一致之最廣泛範疇。
另外,一般熟習此項技術者將易於瞭解,術語「上部」及「下部」有時用於易於描述諸圖,且指示對應於在適當定向之頁面上的圖之定向的相對位置,且可能不反映實施時任何器件之適當定向。
在單獨實施之內容脈絡中描述於此說明書中之某些特徵亦可在單一實施中以組合形式實施。相反,在單一實施例之內容脈絡中描述之各種特徵亦可分開在多個實施中或以任何合適子組合而實施。此外,雖然上文可將特徵描述為以某些組合起作用且甚至最初按此來主張,但來自所主張之組合之一或多個特徵在一些狀況下可自該組合刪 除,且所主張之組合可針對子組合或子組合之變化。
類似地,雖然在圖式中按特定次序描繪了操作,但不應將此理解為要求按展示之特定次序或依序執行此等操作或執行所有說明之操作來達成所要結果。另外,圖式可按流程圖之形式示意性地描繪一或多個實例程序。然而,未描繪之其他操作可併入於示意性說明之實例程序中。舉例而言,可在說明之操作中之任何者前、後、同時或之間執行一或多個額外操作。在某些情況下,多工及平行處理可為有利的。此外,不應將在上述實施中之各種系統組件之分離理解為在所有實施中皆要求此分離,且應理解,所描述之程式組件及系統可大體上在單一軟體產品中整合在一起或經封裝至多個軟體產品中。另外,其他實施處於以下申請專利範圍之範疇內。在一些狀況下,申請專利範圍中所陳述之動作可以不同次序執行且仍達成所要結果。
707‧‧‧顯示器件
708‧‧‧顯示面板
708a‧‧‧區/子面板
708b‧‧‧區/子面板
812a‧‧‧第一光罩
812b‧‧‧第二光罩
814a‧‧‧遞色部分
814b‧‧‧遞色部分
8161‧‧‧部分
8162‧‧‧部分
8181‧‧‧部分
8182‧‧‧部分
820a‧‧‧遞色元件
820b‧‧‧遞色元件
d1‧‧‧距離
d2‧‧‧距離

Claims (20)

  1. 一種器件,其包含:一基板,該基板包括一第一區及一第二區,該第一區之一邊界接近該第二區之一邊界;位於該基板上方之一第一層,該第一層在該第一區中及該第二區之一第一部分中用第一經圖案化元件之一第一陣列圖案化;該第一層進一步在該第二區中且在該第一區之一第一部分中用第二經圖案化元件之一第二陣列圖案化;該第一陣列及該第二陣列中之每一者在該等第一部分中之每一者中不完整;該第二區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第二區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補;該第一區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第一區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補;該第一區及該第二區之該等第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
  2. 如請求項1之器件,其中:第一經圖案化元件之該第一陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元;第二經圖案化元件之該第二陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元; 該第一圖案類型之該等第一陣列單元與該第一圖案類型之該等第二陣列單元互補;且該第二圖案類型之該等第一陣列單元與該第二圖案類型之該等第二陣列單元互補。
  3. 如請求項2之器件,其中:該第一圖案類型之該等第一陣列單元不包括經圖案化元件;該第二圖案類型之該等第一陣列單元包括完整的經圖案化元件;該第一圖案類型之該等第二陣列單元包括完整的經圖案化元件;且該第二圖案類型之該等第二陣列單元不包括經圖案化元件。
  4. 如請求項2之器件,其中:該第一圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第一部分;該第二圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第二部分;該第一圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第二部分;且該第二圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第一部分。
  5. 如請求項2之器件,其中:第一經圖案化元件之該第一陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元;第二經圖案化元件之該第二陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元;該第三圖案類型之該等第一陣列單元與該第三圖案類型之該 等第二陣列單元互補;該第四圖案類型之該等第一陣列單元與該第四圖案類型之該等第二陣列單元互補;該第三圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第三部分;該第四圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第四部分;該第三圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第四部分;且該第四圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第三部分。
  6. 如請求項1至請求項5中任一項之器件,其進一步包括:位於該基板上方之一第二層,該第二層在該第一區中且在該第二區之該第一部分中用第三經圖案化元件之一第三陣列圖案化;該第二層進一步在該第二區中且在該第一區之該第一部分中用第四經圖案化元件之一第四陣列圖案化;該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第一區及該第二區之該等第一部分中不完整;及該第二區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第二區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第一區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第一區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第一區及該第二區之該等第一部分中的第三經圖案化元件 之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的第二經圖案化元件陣列。
  7. 如請求項1至請求項5中任一項之器件,其進一步包括:一第二基板,該第二基板包括一第三區及一第四區,該第三區之一邊界接近該第四區之一邊界;位於該第二基板上方之一第二層,該第二層在該第三區中且在該第四區之一第一部分中用第三經圖案化元件之一第三陣列圖案化;該第二層進一步在該第四區中且在該第三區之一第一部分中用第四經圖案化元件之一第四陣列圖案化;該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第三區及該第四區之該等第一部分中不完整;該第四區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第四區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第三區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第三區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第三區及該第四區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
  8. 如請求項1至請求項5中任一項之器件,其中:該基板為一顯示器之一面板,該面板包括顯示元件之一陣列;且第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成至少該等顯示元件之部分。
  9. 如請求項8之器件,其進一步包含:一處理器,該處理器能夠處理影像資料;及一記憶體器件,該記憶體器件能夠與該處理器通信。
  10. 如請求項9之器件,其進一步包含:一驅動器電路,該驅動器電路能夠將至少一信號發送至該等顯示元件;及一控制器,該控制器能夠將該影像資料之至少一部分發送至該驅動器電路。
  11. 如請求項9之器件,其進一步包含一影像源模組,該影像源模組能夠將該影像資料發送至該處理器,其中該影像源模組包括一接收器、一收發器及一傳輸器中之至少一者。
  12. 如請求項9之器件,其進一步包含一輸入器件,該輸入器件能夠接收輸入資料且將該輸入資料傳達至該處理器。
  13. 一種方法,其包含:使用一第一光罩圖案化一基板之一第一區及一第二區之一第一部分,該第一區之一邊界接近該第二區之一邊界;使用一第二光罩圖案化該基板之該第二區及該第一區之一第一部分;基於藉由該第一光罩之該圖案化形成第一經圖案化元件之一第一陣列;及基於藉由該第二光罩之該圖案化形成第二經圖案化元件之一第二陣列;該第一陣列及該第二陣列中之每一者在該等第一部分中之每一者中不完整;該第二區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第二區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列 互補;該第一區之該第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與該第一區之該第一部分中的第二經圖案化元件之該第二陣列互補;該第一區及該第二區之該等第一部分中的第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
  14. 如請求項13之方法,其中:第一經圖案化元件之該第一陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元;第二經圖案化元件之該第二陣列包括一第一圖案類型之單元及一第二圖案類型之單元;該第一圖案類型之該等第一陣列單元與該第一圖案類型之該等第二陣列單元互補;且該第二圖案類型之該等第一陣列單元與該第二圖案類型之該等第二陣列單元互補。
  15. 如請求項14之方法,其中:該第一圖案類型之該等第一陣列單元不包括經圖案化元件;該第二圖案類型之該等第一陣列單元包括完整的經圖案化元件;該第一圖案類型之該等第二陣列單元包括完整的經圖案化元件;且該第二圖案類型之該等第二陣列單元不包括經圖案化元件。
  16. 如請求項14之方法,其中:該第一圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第一部分; 該第二圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第二部分;該第一圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第二部分;及該第二圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第一部分。
  17. 如請求項14之方法,其中:第一經圖案化元件之該第一陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元;第二經圖案化元件之該第二陣列進一步包括一第三圖案類型之單元及一第四圖案類型之單元;該第三圖案類型之該等第一陣列單元與該第三圖案類型之該等第二陣列單元互補;及該第四圖案類型之該等第一陣列單元與該第四圖案類型之該等第二陣列單元互補;該第三圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第三部分;該第四圖案類型之每一第一陣列單元包括該等經圖案化元件之一第四部分;該第三圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第四部分;及該第四圖案類型之每一第二陣列單元包括該等經圖案化元件之該第三部分。
  18. 如請求項13至請求項17中任一項之方法,其進一步包括:使用一第三光罩圖案化該基板之該第一區及該第二區之一第一部分; 使用一第四光罩圖案化該基板之該第二區及該第一區之該第一部分;基於藉由該第三光罩之該圖案化形成第三經圖案化元件之一第三陣列;及基於藉由該第四光罩之該圖案化形成第四經圖案化元件之一第四陣列;該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第一區及該第二區之該等第一部分中不完整;該第二區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第二區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第一區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第一區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第一區及該第二區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的第二經圖案化元件陣列。
  19. 如請求項13至請求項17中任一項之方法,其進一步包括:使用一第一光罩圖案化一第二基板之一第三區及一第四區之一第一部分,該第三區之一邊界接近該第四區之一邊界;使用一第四光罩圖案化該第二基板之該第四區及該第三區之一第一部分;基於藉由該第三光罩之該圖案化形成第三經圖案化元件之一第三陣列;及基於藉由該第四光罩之該圖案化形成第四經圖案化元件之一第四陣列; 該第三陣列及該第四陣列中之每一者在該第三區及該第四區之該等第一部分中不完整;該第四區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第四區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第三區之該第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與該第三區之該第一部分中的第四經圖案化元件之該第四陣列互補;該第三區及該第四區之該等第一部分中的第三經圖案化元件之該第三陣列與第四經圖案化元件之該第四陣列的組合形成一完整的經圖案化元件陣列。
  20. 如請求項13至請求項17中任一項之方法,其中:該基板為一顯示器之一面板,該面板包括顯示元件之一陣列;且第一經圖案化元件之該第一陣列與第二經圖案化元件之該第二陣列的組合形成至少該等顯示元件之部分。
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