TW201616593A - 有助於晶圓支撐的拉緊插入件 - Google Patents

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詹姆士 湯瑪斯
克里斯多福 道林
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Abstract

晶圓包裝總成的示例性實施例包括具有中央開口的框件、關聯於框件的膜、拉緊插入件。膜延伸跨越中央開口，並且調適成至少暫時維持晶圓在膜上的所選位置。拉緊插入件包括：第一部分，其具有沿著拉緊插入件之外周邊的第一表面；以及第二部分，其具有接觸膜的第二表面。第二部分從第一部分突出。

Description

有助於晶圓支撐的拉緊插入件
本發明是關於有助於晶圓支撐的拉緊插入件。
當包裝精細物品(例如矽晶圓)時，必須確保那些物品適當的穩固在容器裡。舉例而言，如果包裝不適合保護矽晶圓和使之穩固的維持在容器裡，則晶圓可能受損。
晶圓製程可以包括在一廠區將電路或電子裝置形成在晶圓上，然後將它們裝運到另一廠區，晶圓將在此切割成對應於電路或裝置的個別晶粒。在此條件下來裝運晶圓的一種已知方式包括將黏著性或紫外光(UV)活化的膜穩固於框件，其可以稱為屈曲框、膜框或切塊框。晶圓藉由膜上的黏著劑而穩固定位在框件輪廓所呈現的區域裡。
已知的屈曲框容器乃設計成包含單一框件和晶圓。某些此種容器包括在容器內部一側上的突起。突起 將黏著膜置於張力下，這有助於保持晶圓穩固於容器裡。
晶圓處理和裝運的最近趨勢包括想要在單一容器裡包括多個框件和對應的晶圓，而呈堆疊配置或者在卡匣中的多個插槽裡。雖然在單一容器中包括多個框件和晶圓可以提供規模上的一些經濟性，但是它引入了額外機會而使一或更多片晶圓受損。
包裝至少一晶圓的示例性方法包括：將至少一晶圓座落在由框件所支撐的膜上；以及將拉緊插入件座落成相鄰於膜。拉緊插入件具有接收成相鄰於框件的外部和接收成靠著膜的內部。內部將至少某些的膜置於張力下以減少至少一晶圓相對於框件的移動。
晶圓包裝總成的示例性實施例包括具有中央開口的框件、關聯於框件的膜、拉緊插入件。膜延伸跨越中央開口，並且調適成至少暫時維持晶圓在膜上的所選位置。拉緊插入件包括：第一部分，其具有沿著拉緊插入件之外周邊的第一表面；以及第二部分，其具有接觸膜的第二表面。第二部分從第一部分突出。
熟於此技術者從下面的[實施方式]將明白至少一揭示之實施例的多樣特色和優點。伴隨著[實施方式]的圖式可以簡述如下。
20‧‧‧拉緊插入件
22‧‧‧第一部分
24‧‧‧第一表面
26‧‧‧第二部分
28‧‧‧第二表面
30‧‧‧框件
32‧‧‧內緣
33‧‧‧總成
34‧‧‧膜、帶
40‧‧‧晶圓
42‧‧‧容器
44‧‧‧基底或底部
46‧‧‧蓋子或頂部
48‧‧‧鎖定機制
50‧‧‧插槽、槽道
60‧‧‧容器
P1‧‧‧第一平面
P2‧‧‧第二平面
圖1是拉緊插入件之範例性實施例的立體示範。
圖2是沿著圖1之線2-2的截面示範。
圖3是圖1之拉緊插入件相鄰於框件的立體示範。
圖4是沿著圖3之線4-4的截面示範，其包括圖3未顯示的晶圓。
圖5示範範例性容器，其建構成接收多個晶圓包裝總成，例如圖4所示的總成。
圖6是圖5之部分容器的部分截面示範，其包含多個晶圓包裝總成，例如圖4所示的總成。
圖7是晶圓包裝總成之堆疊的部分截面示範，其接收在容器之另一實施例的一部分裡。
拉緊插入件20的範例性實施例顯示於圖1和2。拉緊插入件20包括第一部分22，其具有第一表面24。拉緊插入件20的第二部分26包括接觸膜的第二表面。因為第二部分26從第一部分22突出，所以第一表面24和第二表面28大致彼此平行並且座落在不同的平面。本範例的第一表面24是在第一平面P1，並且第二表面28是在第二平面P2。根據圖2，第二表面28相較於第一表面24有所升高。
拉緊插入件20是由真空模製的塑膠材料所做 成，其適合緊鄰或接觸著矽晶圓或在此種晶圓上的電路。有幾種用於晶圓包裝工業的已知材料可以做成拉緊插入件20。
圖3顯示拉緊插入件20座落成相鄰於框件30(譬如根據圖式為次於和低於框件)。框件可以是已知的屈曲框、膜框或切塊框。至少某些的第一部分22座落在框件30之底側之下，同時第二部分26座落在框件的中央開口裡。於本範例，第二部分26具有大致圓形的外周邊或邊界，並且框件中央開口具有由框件30的內緣32所建立之大致圓形的周邊或邊界。框件30和插入件20具有彼此對應的外周邊，這利於將插入件20和框件30放置到設計成接收框件30的容器裡。
圖4示範的總成33包括拉緊插入件20、框件30、膜或帶34、晶圓40。膜34可以是已知的黏著性或UV活化的膜。圖4對應於圖3所示構件的截面圖，而增加了膜或帶34與晶圓40。圖4中的膜34包括已知材料，其具有黏著側而接收成靠著框件30的一側(根據圖式譬如為框件的底側)。膜延伸跨越框件之中央開口的部分的則提供用於放置晶圓40的表面。膜34以已知的方式而黏著維持著晶圓40。
拉緊插入件的建構方式在於第二部分26座落成將膜或帶34至少部分置於張力下，如此則晶圓40維持得更穩固以抵抗相對於框件30的移動。膜34上沒有張力的話，則晶圓有可能可以振動或「鼓動」；並且在某些條件 下，此種移動可以導致晶圓和附近表面或物品之間有不想要的接觸。此種振動也有可能可以導致晶圓屈曲，這可以引起或促成晶圓龜裂或別的危害。插入件20所提供的張力減少了任何此種晶圓移動。
如從圖4所可以體會，第二表面28接收成靠著框件30之中央開口裡的膜34，而位置對應於晶圓40的位置。第二部分26從第一部分22突出足夠的距離以將膜34置於張力下，而不以會危及膜在後續晶圓處理期間將晶圓40支撐在框件30之能力的方式來對膜造成應變。第二部分的突出量對應於圖2所示的第一平面P1和第二平面P2之間的距離。選擇平面之間的間隔，使得第二部分26從第一部分22突出的量和框件30的厚度有利於將多個總成33座落成在容器裡彼此相鄰。於所示範的範例，第二部分26從第一部分22突出的量則對應於框件30的厚度。於此種實施例，當使插入件20如所示範的座落成相鄰於框件30時，第二表面28對齊於框件之面對方向相同於第二表面28的表面(譬如圖4框件30上之面朝上的表面)。於第一和第二平面之間的距離大於框件30的厚度之範例，第二表面28將座落成超過框件30之對應的面對表面(譬如第二表面28將高於圖4所示)。
於所示範的範例，框件30和第二部分26設計成容納圓的晶圓，並且第二部分26的尺寸大致對應於晶圓的尺寸以提供支撐而相鄰於晶圓的一側。於本範例，接觸膜的第二表面28是平坦而連續的跨越整個第二部分 26。於本範例，第一表面24也是平坦而連續的跨越整個第一部分22。其他的實施例具有其他的表面組態以用於表面24和28的任一或二者。
圖5顯示範例性容器42而用於包括在個別總成33中的多個晶圓40。容器42包括基底或底部44和蓋子或頂部46。容器由鎖定機制48而維持關閉。因為晶圓總成33當載入容器42裡或從容器42移除時是在大致垂直的平面，所以容器42可以稱為垂直的晶圓裝運器。
圖6是沿著圖5之線6-6的圖，並且顯示多個總成33座落在範例性容器42的卡匣式內部。每個框件30接收在容器底部44的插槽或槽道50中。拉緊插入件20座落成相鄰於每個框件30，並且接收在相同於關聯該插入件之框件30的插槽50中。
如從圖6所可以體會，設定了第一表面24所座落的第一平面和第二表面28所座落的第二平面之間的距離，以提供在一膜34上的晶圓40與關聯於相鄰晶圓40的插入件20之間的淨空。換言之，第一和第二部分的參考平面之間的距離乃設定成當多個晶圓總成33座落在容器42中時避免相鄰晶圓40之間有所接觸。
圖7示意的示範另一種容器60的一部分，其容納呈堆疊的框件和晶圓總成33，而容器裡面沒有插槽。因為總成33當它們載入容器60裡或從容器60移除時是在大致水平的平面，所以容器60可以稱為水平的晶圓容器。以框件30而言，插入件20有效的保持膜34在 張力下，並且維持此種容器中的相鄰晶圓40之間的淨空。插入件20允許堆疊框件所支撐的晶圓總成33，而比以往所可能之更大量的穩固放置在更多類型的容器中。
前面的敘述在本質上是範例性的而非限制性的。熟於此技術者明白揭示的範例可以有變化和修改，其未必偏離本發明的本質。賦予本發明的法律保護範圍僅可以藉由研讀以下的申請專利範圍而決定。
22‧‧‧第一部分
26‧‧‧第二部分
28‧‧‧第二表面
30‧‧‧框件
32‧‧‧內緣
33‧‧‧總成
34‧‧‧膜、帶
40‧‧‧晶圓
60‧‧‧容器

Claims (15)

  1. 一種包裝至少一晶圓的方法，其包括以下步驟：將至少一晶圓座落在由框件所支撐的膜上；將拉緊插入件座落成相鄰於該膜，該拉緊插入件具有接收成相鄰於該框件的外部和接收成靠著該膜的內部，該內部將至少某些的該膜置於張力下以減少該至少一晶圓相對於該框件的移動。
  2. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該拉緊插入件包括：第一部分，其具有沿著該拉緊插入件之外周邊的第一表面；以及第二部分，其具有接觸膜的第二表面，該第二部分從該第一部分突出。
  3. 如申請專利範圍第2項的方法，其中該第一表面是在第一平面，並且該第二表面是在不同的第二平面。
  4. 如申請專利範圍第2項的方法，其中該第二部分從該第一部分所突出的距離對應於該框件的厚度。
  5. 如申請專利範圍第2項的方法，其中：該第一表面是平坦而連續的，並且沿著該整個第一部分延伸；以及該第二表面是平坦而連續的，並且沿著該整個第二部分延伸。
  6. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該晶圓大致呈圓形，並且該第二部分具有圓形周邊。
  7. 如申請專利範圍第1項的方法，其包括將該晶圓、該框件、該膜、該拉緊插入件放入容器裡。
  8. 如申請專利範圍第7項的方法，其包括將多個晶圓、關聯的框件、關聯的膜、關聯的拉緊插入件放入該容器裡。
  9. 一種晶圓包裝總成，其包括：框件，其具有中央開口；關聯於該框件的膜，該膜延伸跨越該中央開口，該膜調適成至少暫時將晶圓維持在該膜上的所選位置；以及拉緊插入件，其包括：第一部分，其具有沿著該拉緊插入件之外周邊的第一表面；以及第二部分，其具有接觸膜的第二表面，該第二部分從該第一部分突出；當該拉緊插入件定位成相鄰於該框件時，該第二部分將至少某些的該膜置於張力下。
  10. 如申請專利範圍第9項的總成，其包括支撐在該膜上的晶圓。
  11. 如申請專利範圍第10項的總成，其中該晶圓大致呈圓形，並且該第二部分具有圓形周邊。
  12. 如申請專利範圍第9項的總成，其中該第二部分從該第一部分所突出的距離對應於該框件的厚度。
  13. 如申請專利範圍第9項的總成，其中：該第一表面是平坦而連續的，並且沿著該整個第一部分延伸；以及該第二表面是平坦而連續的，並且沿著該整個第二部分延伸。
  14. 如申請專利範圍第9項的總成，其中該第一表面 是在第一平面，並且該第二表面是在不同的第二平面。
  15. 如申請專利範圍第9項的總成，其中該框件和該拉緊插入件具有對應地塑形的外周邊。
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