TW201602340A - 甲基全氟庚烯醚、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５－十氟戊烷、及反－１，２－二氯乙烯組合物及其用途 - Google Patents

甲基全氟庚烯醚、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５－十氟戊烷、及反－１，２－二氯乙烯組合物及其用途 Download PDF

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Abstract

揭示一種組合物，其包含90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷，其中該組合物為不可燃。本揭露進一步提供一種用於自物品表面移除殘餘物之方法，該方法包含：(a)使該物品與組合物接觸，該組合物包含MPHE、HFC-4310mee及反-1,2-二氯乙烯之組合物；以及(b)自該組合物回收該表面。

Description

甲基全氟庚烯醚、1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷、及反-1,2-二氯乙烯組合物及其用途
本揭露係屬於甲基全氟庚烯醚組合物之領域。此等組合物為零ODP、低GWP之組合物，且可使用於精密清潔應用中作為去焊劑且用以移除表面上之油或殘餘物。
精密清潔是廣泛現代工業所需。如印刷電路板製造及製錶等各種不同的工業需要標準嚴格的清潔，以確保最終產品提供可靠且無問題之性能。眾多工業包括航空、運輸、電信及資料處理工業皆採用關鍵性電子設備及電路板，該等電子設備及電路板若失效會引起災難。此等系統所採用的印刷電路板(PCB)在使用前必需以溶劑清潔，以移除焊料及其他在PCB製造過程中導入的其他髒污。使用於半導體工業的產物需要精密清潔以符合嚴格的性能標準。航空工業需要精密清潔起落架，以消除起落架部件因為捕集水(trapped water)而導致之裂隙。珠寶及製錶工業需要最終產品美麗宜人、無斑點且沒有任何髒污。由外科用針到人工心臟瓣膜的醫療裝置都必需在嚴格的標準下 清潔，以防止感染及疾病擴散。汽車工業的關鍵部件諸如燃料噴射器、ABS剎車、壓縮機、繼電器、感測器及開關需要精密清潔。光學部件包括光學總成、透鏡、光纖及平板顯示器的無斑點清潔亦需要溶劑。
精密溶劑理想上應不可燃且具有低毒性以提供使用時的安全性。亦期望溶劑高度有效地移除髒污。溶劑有效性一般以考立丁醇(Kauri Butanol,KB)值表示，此值反映出溶劑溶解重烴脂之能力，即KB值愈高，溶劑有效性愈高。
在1970年代早期，最普遍使用於精密清潔的溶劑為三氯乙烯(TCE)。然而，由於造成水及土壤污染的環境議題，從1970年代後期開始，許多應用中的TCE都被以氟為主的溶劑CFC-113取代。TCE持續面臨日漸增多的國內及國外法規約束，且其亦為可能的致癌物。然而，CFC-113是一種造成平流層臭氧破壞的溶劑，其特徵為具有大的臭氧耗竭潛勢(ODP值)。因此，1987年的蒙特婁議定書規定將CFC-113禁用(因其臭氧耗竭特性)。在禁用CFC-113之後，已發展出具有低但非零ODP之溶劑，包括諸如HCFC-141b及HCFC-225溶劑。然而，因為彼等之臭氧耗竭特徵，此等溶劑已預定在近期內淘汰。最近，已發展出零ODP溶劑，包括氫氟碳化合物(HFC)及氫氟醚(HFE)。雖然此等化合物不會造成臭氧耗竭，但具有中度全球暖化潛勢(GWP)且被歸類為溫室氣體(GHG)，即某種程度上造成全球暖化/氣候變遷的氣體。已發現可使用於精密溶劑應用中的HFC包括1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟戊烷(HFC-43-10mee)，市售名稱為Vertrel XF。美國專利第5,196,137號中描述包含約58至68重量百分比之1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟戊烷(HFC-43-10mee)及約32至42重量百分比之反-1,2-二氯乙烯的共沸組合物。
美國專利第8,410,039號揭示包含0.4至29重量百分比之MPHE及反-1,2-二氯乙烯的共沸組合物。包含13.5重量百分比之MPHE及86.5重量百分比之反-1,2-二氯乙烯的組合物並非充分不可燃，不得用於某些溶劑清潔應用中。當該等組合物根據ASTM D56-05測試閃點時，在多次重複測試時有幾次出現閃燃，表示在某些條件下有一些可燃性的可能性。
顯然需要不僅具有低毒性及高溶解力特徵，且亦具有零ODP及低GWP特徵之精密溶劑。更期望的是亦為不可燃之溶劑。
本揭露提供可用於精密清潔應用諸如半導體晶片及電路板清潔、去焊及脫脂過程之零ODP、低GWP組合物。本組合物亦具有高溶解力及低毒性之特徵。
本揭露提供零ODP、低GWP之組合物，其包含(a)0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚(MPHE)、0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷(HFC-43-10mee)及90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯，其中該組合物為不可燃。本揭露進一步提供一種用於自物品表面移除殘餘物之方法，其包含：(a)使該物品與組合物接觸，該組合物包含MPHE、HFC-4310mee及反-1,2-二氯乙烯之組合物；以及(b)自該組合物回收該表面。
本文所描述的是甲基全氟庚烯醚(MPHE)、反-1,2-二氯乙烯及HFC-43-10mee之組合物。MPHE係描述於美國專利8,399,713中。本文亦描述使用本發明之包含MPHE、反-1,2-二氯乙烯及HFC-43-10mee的組合物之新穎方法。此等組合物在溶劑應用中展現優異之清潔力且在根據ASTM D56-05(2010)測試時不具有閃點。
美國專利8,410,039中揭示包含0.4至29重量百分比之MPHE及反-1,2-二氯乙烯的共沸組合物。包含13.5重量百分比之MPHE及86.5之反-1,2-二氯乙烯的組合物並非充分不可燃，不得用於某些溶劑清潔應用中。
如本文中所用者，術語「包含」、「包括」、「具有」或其任何其它變型均旨在涵蓋非排他性的包括。舉例而言，包含一表列元件的製程、方法、物品或裝置不一定僅限於該些元件，而是可包括其他未明確列出或為該製程、方法、物品或裝置所固有的元件。此外，除非另有明確地相反陳述，否則「或」係指包含性的「或」，而不是指排他性的「或」。例如，以下任何一種情況均滿足條件A或B：A為真(或存在的)且B為假(或不存在的)、A為假(或不存在的)且B為真(或存在的)，以及A和B均為真(或存在的)。本文所使用的用語「基本上由...組成」，旨在涵蓋含有所列材料及不影響所請求組合物之基本及新穎特徵的其他組分之組合物。
連接詞「由...所組成」(consisting of)排除任何未具體說明之元件、步驟或成分。若用於申請專利範圍，除了原本與其相關之雜質外，此語會將該項申請專利範圍侷限於其所涵括之材料。當「由...所組成」一語出現於申請專利範圍主體之子句而非緊接於前言時，其僅限於該子句所述之元件；其他元素並不排除於該項申請專利範圍之整體外。
連接短語「基本上由...所組成」係用以定義包括在字面上所揭示之材料、步驟、特色、組分或元素之外另外包括材料、步驟、特色、組分或元素之組合物、方法或裝置，前提是該些額外包括之材料、步驟、特色、組分或元素不會實質影響所述發明之基本及新穎特性。「基本上由...所組成」一語之涵義介於「包含」與「由...所組成」之間。
又，使用「一」或「一個」來描述本文所述的元件和組分。這樣做僅僅是為了方便，並且對本發明範疇提供一般性的意義。除非很明顯地另指他意，這種描述應被理解為包括一個或至少一個，並且該單數也同時包括複數。
除非另有定義，本文所用之所有技術與科學術語均與本發明所屬技術領域具有一般知識者所通常理解的意義相同。雖然類似或等同於本文所述之方法及材料可用於實施或測試本揭露之實施例，但適合的方法及材料乃描述於下文中。除非引用特定段落，否則本文中所提及之所有公開案、專利申請案、專利及其他參考文獻均以引用方式全文併入本文中。在發生衝突的情況下，以包括定義在內之本說 明書為準。此外，該等材料、方法及實例僅係說明性質，而不意欲為限制拘束。
上述所描述的各種態樣與實施例僅為例示性且非限制性。在閱讀本說明書後，熟習此項技術者瞭解在不偏離本發明之範疇下，亦可能有其他態樣與實施例。
如本文所用，共沸組合物是兩種或更多種物質的恆沸液體混合物，其中混合物蒸餾時沒有顯著的組成變化並且表現為恆沸組合物。以共沸作為特徵的恆沸組合物，與相同物質的非共沸混合物相比，其顯示具有最高或最低的沸點。共沸組合物包括勻相共沸液，其為二或多種物質的液體混合物且表現如單一物質，因為經該液體部分蒸發或蒸餾所產生的蒸氣具有與該液體相同的組成。本文所用的共沸組合物也包括其液相分成二或多層液相的非勻相共沸液。在這些實施例中，在共沸點時蒸汽相與兩種液相是平衡的，而且所有三相具有不同的組成。如果將不勻相共沸液的兩種平衡液相合併在一起，然後計算總液相的組成，那麼其組成與蒸氣相的組成是完全相同的。
如本文所用，術語「類共沸組合物」有時也被稱為「近共沸組合物」，是指恆沸或基本上恆沸且含有兩種或更多種物質的液體混合物，其表現如同單一物質。特徵化類共沸組合物的一種方法是，由液體部分地蒸發或蒸餾產生的蒸氣與由其蒸發或蒸餾產生蒸氣的液體具有基本上相同的組成。也就是說，該混合物在蒸餾或回流時並無實質的組成改變。另外，類共沸組合物可特徵化為一種組合物，其沸點溫度小於各純組分之沸點。
此外，尚有另一方式可特徵化類共沸組合物，即該組合物的泡點壓力及露點蒸氣壓在一特定的溫度下係實質相同的。近共沸物組合物所展現之露點壓力及泡點壓力實際上沒有壓差。因此，在一給定溫度下露點壓力及泡點壓力間的差異會是一微小值。此亦可描述為露點壓力和泡點壓力差小於或等於3百分比(基於泡點壓力)之組合物可視為近共沸。
MPHE包括不飽和氟醚的異構混合物，其為全氟庚烯(例如全氟-3-庚烯)在強鹼存在下與甲醇反應之產物。在一實施例中，該混合物包括一或多種下述化合物之混合物：CF3CF2CF=CFCF(OR)CF2CF3、CF3CF2C(OR)=CFCF2CF2CF3、CF3CF=CFCF(OR)CF2CF2CF3、及CF3CF2CF=C(OR)CF2CF2CF3；其中R=CH3。
包含MPHE及反二氯乙烯而含有13.5重量百分比之MPHE的組合物可使用於清潔應用。然而，在根據ASTM測試方法進行多次閃點測試時間歇地觀察到閃點，使得本發明人去尋找其他不可燃組合物。
本發明人已發現在MPHE與反-二氯乙烯之二元組合物中添加少量之1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟戊烷(HFC-43-10mee)導致展現恆沸特徵且具有降低可燃性之組合物。添加0.6重量百分比或更多之(HFC-43-10mee)導致在閉杯閃點測試中不展現可測量之閃點的組合物。
在本發明之一實施例中，該等組合物包含約90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之MPHE及0.1至2重量百分比之HFC-4310mee。在本發明之另一實施例中，該等組合物包含約93至97重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、3至6重量百分比之MPHE及0.1至2重量百分比之HFC-4310mee。在本發明又另一實施例中，該等組合物包含95重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、4.0至4.4重量百分比之MPHE及0.6至1.0重量百分比之HFC-4310mee。
在本發明之一實施例中，該等組合物基本上是由約90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之MPHE及0.1至2重量百分比之HFC-4310mee所組成。在本發明之另一實施例中，該等組合物基本上是由約93至97重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、3至6重量百分比之MPHE及0.1至2重量百分比之HFC-4310mee所組成。在本發明又另一實施例中，該等組合物基本上是由95重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、4.0至4.4重量百分比之MPHE及0.6至1.0重量百分比之HFC-4310mee所組成。
在一實施例中，本組合物可進一步包含推進劑。氣膠推噴劑(aerosol propellant)可有助於將本組合物以氣溶膠的形式自儲存容器傳送至表面。氣膠推噴劑可選擇性地以至多約總組合物的25重量百分比包括在本組合物中。代表性的氣膠推噴劑包含空氣、氮氣、二氧化碳、2,3,3,3-四氟丙烯(HFO-1234yf)、反-1,3,3,3-四氟丙烯(HFO-1234ze)、1,2,3,3,3-五氟丙烯(HFO-1225ye)、二氟甲烷(CF2H2,HFC-32)、三氟甲烷(CF3H,HFC-23)、二氟乙烷(CHF2CH3,HFC-152a)、三 氟乙烷(CH3CF3,HFC-143a；或CHF2CH2F,HFC-143)、四氟乙烷(CF3CH2F,HFC-134a；或CF2HCF2H,HFC-134)、五氟乙烷(CF3CF2H,HFC-125)、1,1,1,2,3,3,3-七氟丙烷(HFC-227ea)、及烴類，諸如丙烷、丁烷、或戊烷、二甲基醚或其組合物。
在另一實施例中，本組合物可進一步包括至少一種表面活性劑。本揭露之表面活性劑包括在本領域中為用於使基材脫水或乾燥之所有已知的表面活性劑。代表性的表面活性劑包括烷基磷酸酯胺鹽(例如：2-乙基己基胺及磷酸異辛酯之1：1鹽)；乙氧基化醇、硫醇或烷基酚；烷基磷酸酯之四級銨鹽(在銨基或磷酸基上具有氟烷基)；以及氟化胺之單-或二-烷基磷酸酯。其他的氟化表面活性劑化合物係描述於美國專利第5,908,822號中，其係以引用方式併入本文中。
在本發明的脫水組合物中，其所包含之表面活性劑的量可依該組合物所將使用的特定乾燥應用作廣泛的改變，但這對熟習該項技術者係顯而易知的。在一實施例中，以該表面活性劑/溶劑組合物之總重量為基礎，溶於不飽和氟化醚溶劑之表面活性劑的量係不大於約1重量百分比。在另一實施例中，若以該組合物處理後，再以不含或含極少量表面活性劑的溶劑處理欲乾燥之基材，則可使用較大量的表面活性劑。在一實施例中，表面活性劑的量至少約為百萬分之50(ppm，依重量計)。在另一實施例中，表面活性劑的量約為100至約5000ppm。在又一實施例中，以該脫水組合物之總重量為基礎，所使用之表面活性劑的量約為200至約2000ppm。
選擇性地，其他添加劑可包括在包含溶劑及用於脫水的表面活性劑之本組合物中。這類添加劑包括具有抗靜電特性的化合物；其能消除來自非導電基材例如玻璃及矽土的靜電荷。當乾燥來自非導電部件例如玻璃透鏡及鏡子的水或水溶液時，在本發明的脫水組合物中使用抗靜電添加劑以避免汙點及汙漬可能是必要的。本發明的大部分不飽和氟醚溶劑也具有作為介電流體的效用，即其為電流的不良導體且不容易消除靜電荷。
在傳統乾燥及清潔設備中，脫水組合物的沸騰及總循環可產生靜電荷，特別是在已從基材移除大部分水分的乾燥製程後段。此類靜電荷聚集在基材之非導電表面上，並防止水分從表面釋出。殘留的水分在原處乾燥而在基材上導致非所欲的汙點及汙漬。殘留在基材上的靜電荷會從清潔的過程中帶出雜質或吸引雜質，例如來自空氣中的棉絨，進而導致令人無法接受的清潔成效。
在一實施例中，理想的抗靜電添加劑為極性化合物，其可溶解在本不飽和氟化醚溶劑中，並造成不飽和氟化醚溶劑導電率的增加而可消除來自基材的靜電荷。在另一實施例中，該抗靜電添加劑具有接近該不飽和氟化醚溶劑正常沸點的正常沸點且在水中幾乎沒有溶解度。在又一實施例中，該抗靜電添加劑在水中的溶解度為小於約0.5重量百分比。在一實施例中，該抗靜電劑的溶解度在不飽和氟化醚溶劑中為至少0.5重量百分比。在一實施例中，該抗靜電添加劑為硝基甲烷(CH3NO2).
在一實施例中，含有抗靜電添加劑的脫水組合物於一方法之脫水及乾燥與潤洗步驟中係有效的，以如下文所述脫水或乾燥基材。
另一實施例係關於一種用於脫水或乾燥基材的方法，其包含：a)使該基材與組合物接觸，該組合物包含90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷，該組合物進一步包含表面活性劑，藉以將該基材脫水；以及b)自該組合物回收該經脫水之基材。
在一實施例中，以溶劑/表面活性劑組合物總重量為基礎，用於脫水及乾燥之表面活性劑係可溶解達至少1重量百分比。在另一實施例中，本揭露之脫水或乾燥方法在從各種類型基材上置換水分是非常有效的，該等基材包括金屬，例如鎢、銅、金、鈹、不鏽鋼、鋁合金、黃銅及類似物；從玻璃及陶瓷表面上置換水分，例如玻璃、藍寶石、硼矽酸玻璃、氧化鋁、二氧化矽例如用於電子電路的矽晶圓、經燒製的氧化鋁及類似物；以及從塑膠上置換水分，例如聚烯烴(「Alathon」、Rynite®、「Tenite」)、聚氯乙烯、聚苯乙烯(Styron)、聚四氟乙烯(Teflon®)、四氟乙烯-乙烯共聚物(Tefzel®)、聚二氟亞乙烯(「Kynar」)、離子聚合物(Surlyn®)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯聚合物(Kralac®)、酚甲醛共聚物、纖維質材料(「Ethocel」)、環氧樹脂、聚縮醛(Delrin®)、聚對苯醚(Noryl®)、聚醚酮(「Ultrapek」)、 聚醚醚酮(「Victrex」)、聚(對苯二甲酸丁二酯)(「Valox」)、聚芳酯(Arylon®)、液晶聚合物、聚醯亞胺(Vespel®)、聚醚醯亞胺(「Ultem」)、聚醯胺醯亞胺(「Torlon」)、聚對苯硫醚(「Rython」)、聚碸(「Udel」)及聚芳碸(「Rydel」)。在另一實施例中，用於本脫水或乾燥方法之組合物係能與彈性體相容。
在一實施例中，本揭露係針對一種用於從潮濕基材表面去除至少一部分水分的方法(脫水)，其包括使該基材與前述之脫水組合物接觸，然後從與該脫水組合物之接觸中移除該基材。在另一實施例中，以溶劑及/或表面活性劑置換原本附著在該基材表面的水分並留下該脫水組合物。如本文所用，用語「至少一部分水分」意指每個浸泡循環去除基材表面至少約75重量百分比的水。如本文所用，用語「浸泡循環」意指一循環涉及至少一步驟，其中將基材浸泡在本脫水組合物中。
選擇性地，藉由使基材與不含表面活性劑的鹵碳化物溶劑接觸，可進一步移除殘餘附著在基材上的極少量表面活性劑。保持物品在溶劑蒸氣或回流溶劑中，將進一步減少存在於基材上的殘餘表面活性劑。藉由蒸發作用將附著在基材表面上的溶劑移除。可在大氣壓力或低於大氣壓力下將溶劑蒸發，且可使用高於與低於該鹵碳化物溶劑沸點的溫度。
使該基材與脫水組合物接觸的方法並不是關鍵性的，且可以有廣泛變化。舉例而言，可將基材浸泡在組合物中，或可使用傳統的設備將組合物噴灑在基材上。較佳係將基材完全浸泡，因為這樣 通常能確保組合物與基材所有暴露之表面間的接觸。然而，可使用任何可輕易提供此完全接觸的其他方法。
基材與脫水組合物所接觸的時間可有廣泛變化。通常，接觸時間至多約5分鐘，然而若理想的話可使用較長的時間。在脫水製程的一個實施例中，接觸時間係約1秒鐘至約5分鐘。在另一實施例中，脫水製程的接觸時間係約15秒鐘至約4分鐘。
取決於組合物的沸點，接觸溫度也可有廣泛變化。一般來說，接觸溫度係等於或小於組合物的正常沸點。
在一實施例中，本發明之組合物可進一步包含共溶劑。在使用本組合物從基材清潔傳統製程殘餘物時，例如去除助焊劑及去除包括本發明基材之機械組件的油脂，使用此類共溶劑較為理想。此類共溶劑包括醇類(例如甲醇、乙醇、異丙醇)、醚類(例如乙醚、甲基三級丁醚)、酮類(例如丙酮)、酯類(例如乙酸乙酯、十二酸甲酯、肉豆蔻酸異丙酯及琥珀酸、戊二酸或己二酸之二甲酯或二異丁酯或其混合物)、醚醇(例如：丙二醇單丙醚、二丙二醇單丁醚及三丙二醇單甲醚)及碳氫化合物(例如戊烷、環戊烷、己烷、環己烷、庚烷、辛烷)、以及氫氯碳化物(例如反-1,2-二氯乙烯)。當此共溶劑與本組合物用於基材脫水或清潔時，以整體組合物之重量為基礎，共溶劑之含量約為1重量百分比至約50重量百分比。
本揭露之另一實施例係關於一種清潔表面的方法，其包含： a.使該表面與組合物接觸，該組合物包含90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷，以及b.自該組合物回收該表面。
在一實施例中，本發明之組合物係可用來作為清潔組合物、清潔劑、沉積溶劑以及作為脫水或乾燥溶劑。在另一實施例中，本發明係關於一種自表面或基材去除殘餘物之方法，該方法包含使該表面或基材與本揭露之清潔組合物或清潔劑接觸，以及選擇性地自該清潔組合物或清潔劑回收實質上無殘餘物的該表面或基材。
在又另一實施例中，本揭露係關於一種藉由從表面去除汙染物以清潔該表面的方法。該從表面去除汙染物的方法包含使具有汙染物的表面與本發明之清潔組合物接觸以溶解該等汙染物，以及選擇性地自該清潔組合物回收該表面。之後該表面即實質上無汙染物。如上所述，可用本方法去除的汙染物或殘餘物包括但不限於油和油脂、焊劑殘餘物以及微粒狀汙染物。
在本揭露之一實施例中，接觸之方法可藉由噴灑、沖洗及以其中或其上結合有清潔組合物之基材擦拭的方式達成，該基材例如擦拭布或紙。在本揭露之另一實施例中，接觸之方法可藉由將物品浸漬或浸泡在清潔組合物浴中而達成。
在本揭露之一實施例中，回收之方法係藉由自該清潔組合物浴中移除已接觸過的表面而達成。在本發明之另一實施例中，回收之方法係藉由使已噴灑、沖洗或擦拭在磁碟上的清潔組合物排出而 達成。此外，在先前步驟完成之後，可用類似用於沉積方法的方式蒸發任何可能留下的殘餘清潔組合物。
清潔表面的方法可用於與下述之沉積方法相同類型的表面。二氧化矽、玻璃、金屬、金屬氧化物或碳的半導體表面或磁性介質磁碟可能具有以本發明方法去除的汙染物。在上述方法中，藉由使磁碟與清潔組合物接觸並自該清潔組合物回收該磁碟而可將汙染物從磁碟上去除。
在又另一實施例中，本方法也提供藉由使物品與本揭露之清潔組合物接觸，以從產品、部件、組分、基材或任何其他物品或其部分去除汙染物的方法。如本文所提及，用語「物品」係指所有此類產品、部件、組分、基材及類似物，且進一步意指任何表面或其部分。
如本文所用，用語「汙染物」意指任何不欲存在於物品上的材料或物質，即使此類物質係故意被置於物品上。舉例而言，在半導體裝置的製造中，將光阻材料沉積至基材上以形成用於蝕刻操作的光罩，並在之後從基材去除光阻材料是很常見的。如本文所用，用語「汙染物」意欲涵蓋及包含此類光阻材料。可在碳塗覆磁碟上發現之汙染物的例子為碳氫化合物型的油及油脂以及鄰苯二甲酸二辛酯。
在一實施例中，本發明之方法包含以蒸氣脫脂及溶劑清潔法使物品與本發明之清潔組合物接觸。在一種此類實施例中，蒸氣脫脂及溶劑清潔法係由將物品暴露(較佳係於室溫下)至沸騰清潔組合物之蒸氣所組成。凝結在物件上的蒸氣具有提供相對乾淨、經蒸餾 的清潔組合物以洗掉油脂或其他汙染物的優點。因此此類製程具有額外的優點，即相較於僅在液體清潔組合物中洗滌該物件的情況，本清潔組合物自該物件之最終蒸發留下相對少量的殘餘物。
在另一實施例中，對於包括難以去除之汙染物的物品應用上，本發明的方法涉及將該清潔組合物的溫度升至環境溫度以上或至任何其他在此類應用中有效的溫度，以實質改善該清潔組合物的清潔作用。在一種此類實施例中，此類方法通常也用於大型裝配線作業，其中物品(特別是金屬部件及總成)的清潔，必須有效率且快速的完成。
在一實施例中，本揭露之清潔方法包括在升溫條件下將該待清潔物品浸泡在液體清潔組合物中。在另一實施例中，本揭露之清潔方法包括在約清潔組合物的沸點下將該待清潔物品浸泡在液體清潔組合物中。在一種此類實施例中，此步驟從該物品去除顯著量的目標汙染物。在又另一實施例中，此步驟從該物品去除大部分的目標汙染物。在一實施例中，在此步驟之後，接著將該物品浸泡在新蒸餾的清潔組合物中，此清潔組合物之溫度係低於前述的浸泡步驟中的液體清潔組合物之溫度。在一種此類實施例中，該新蒸餾的清潔組合物係處在約環境溫度或室溫下。在又另一實施例中，該方法也包括之後將該物品與清潔組合物的相對熱蒸氣接觸之步驟，此係藉由將該物品暴露於從熱/沸騰之清潔組合物上升的蒸氣而達成，且此清潔組合物係與初次提及之浸泡步驟有關。在一種此類實施例中，此步驟會使清潔組 合物蒸氣凝結在物品上。在某些較佳的實施例中，最後潤洗之前可用蒸餾的清潔組合物噴灑該物品。
預計有許多種類及型式的蒸氣脫脂設備適用於與本方法有關之用途。此類設備及其操作的一個例子係揭露於美國專利第3,085,918號，其係以引用方式併入本文中。其中所揭露之設備包括一用於容納清潔組合物之沸騰槽、一用於容納蒸餾清潔組合物的清潔槽、一水分離器以及其他輔助設備。
本清潔方法也可包括冷洗，其中受汙染的物品在環境溫度或室溫條件下被浸泡在本揭露之流體清潔組合物中，或在此類條件下以浸泡在清潔組合物中的抹布或類似的物件擦拭。
將在下面的實例中進一步說明本文所述的概念，該等實例並不會限制申請專利範圍中所描述的發明範圍。應留意的是，並非上文一般性描述或實例中所述之所有動作都是必要的，特定動作之一部分可能並非需要的，並且除了所描述之動作外，可執行一或多個其他動作。此外，所列動作之次序不必然是執行該等步驟之次序。
在上述說明中，已描述關於特定實施例之概念。然而，該項技術具有通常知識者應理解，在不偏離下列申請專利範圍所提出之本發明的範疇下，可進行各式修改和變更。因此，本發明說明應視為是例示性而非限制性，且所有此類修改都意欲包括在本發明的範圍之內。
前文已針對特定實施例之效益、其他優點及問題解決方案加以闡述。然而，不可將效益、優點、問題解決方案以及任何可使 這些效益、優點或解決方案產生或變得更為突顯的特徵解讀為是任何或所有申請專利範圍之關鍵、必需或必要特徵。
應當理解為了清楚說明起見，本文中在分開實施例中所述的某些特徵，亦可以組合之方式於單一實施例中加以提供。相反地，為了簡潔而在單一實施例中所述的許多特徵，亦可分開提供或以任何次組合提供。此外，以範圍描述的數值包括所述範圍內的各個每一值。
實例 實例1：MPHE、HFC-4310MEE及T-DCE之組合物的可燃性
MPHE、HFC-4310MEE及t-DCE之組合物的閃點是根據ASTM D56-05(2010)閃點標準測試方法使用特氏(Tag)閉杯測試儀測定。結果顯示於表1。
前述數據顯示含有0.6或更多wt%之HFC-43-10mee的混合物在特氏閉杯測試中意外的不可燃。
實例2：摻合物之KB值
4.0% MPHE、0.6% HFC-4310mee及95.4% t-DCE的混合物之考立丁醇值是根據ASTM D1133-烴類溶劑之考立丁醇值的標準測試方法來測定。KB值經測定為100，證實該混合物具有高溶解力。
實例3：MPHE、HFC-4310mee、t-DCE摻合物的類共沸行為
製備表2所示之三元混合物，混合物之沸點於沸點計中測量。如表2所示，含有95wt% t-DCE與分別在0至1.8%及5.0至3.2%範圍內的HFC-4310mee及MPHE之混合物展現類共沸行為，即，在此組成範圍內，沸點基本上為定值，在整個組成範圍內相差僅1℃(47.1至48.1℃)。
實例4：MPHE、HFC-4310mee及T-DCE之組合物的清潔性能
如實例2所示，KB值為摻合物溶解力之量度。下表3中，顯示含5重量% MPHE、94重量%反-二氯乙烯及1重量% MFC-43-10mee之組合物在蒸氣脫脂器中對於不同工業之各種髒污的清潔性能之實例。
實例5：MPHE、HFC-4310mee及T-DCE的組合物之蒸餾
下表4說明含有95.16% t-DCE、3.98% MPHE及0.86% HFC-4310mee之混合物在蒸餾後，餾出組合物的組成與原始混合物相同。

Claims (19)

  1. 一種組合物，其包含90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷，其中該組合物為不可燃。
  2. 如請求項1之組合物，其包含93至97重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、3至6重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷。
  3. 如請求項1之組合物，其包含95重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、4.0至4.4重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.6至1.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷。
  4. 一種組合物，其基本上是由90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷所組成，其中該組合物為不可燃。
  5. 如請求項4之組合物，其基本上是由93至97重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、3至6重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷所組成。
  6. 如請求項4之組合物，其基本上是由95重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、4.0至4.4重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.6至1.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷所組成。
  7. 一種用於自物品表面移除殘餘物之方法，其包含： a.使該表面與組合物接觸，該組合物包含90至99重量百分比之反-1,2-二氯乙烯、0.1至8重量百分比之甲基全氟庚烯醚及0.1至2.0重量百分比之1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷；以及b.自該組合物回收該表面。
  8. 如請求項7之方法，其中該組合物進一步包括推進劑。
  9. 如請求項8之方法，其中該推進劑包括空氣、氮氣、二氧化碳、2,3,3,3-四氟丙烯、反-1,3,3,3-四氟丙烯、1,2,3,3,3-五氟丙烯、二氟甲烷、三氟甲烷、二氟乙烷、三氟乙烷、四氟乙烷、五氟乙烷、烴或二甲醚，或其組合。
  10. 如請求項7之方法，其中該組合物進一步包含至少一種表面活性劑。
  11. 如請求項7之方法，其中該接觸係藉由蒸氣脫酯法達成。
  12. 如請求項11之方法，其中該蒸氣脫脂法係藉由以下進行：a.使該組合物沸騰；以及b.使該物品暴露至該組合物之蒸氣。
  13. 如請求項7之方法，其中該接觸是藉由將該物品浸入該組合物中的第一步驟來達成，其中該組合物係處於高於環境溫度或室溫的溫度下。
  14. 如請求項13之方法，其中該組合物係處於約該組合物沸點的溫度下。
  15. 如請求項13之方法，其進一步包含將該物品浸入該組合物中的第二步驟，其中該組合物係處於低於該第一步驟的溫度之溫度下。
  16. 如請求項15之方法，其中該組合物在第二步驟中係處於環境溫度或室溫下。
  17. 如請求項15之方法，其進一步包含使該組合物沸騰以及使該物品暴露至該沸騰組合物的蒸氣之步驟。
  18. 如請求項7之方法，其中該組合物係處於環境溫度或室溫下。
  19. 如請求項7之方法，其中該接觸是藉由以浸透(saturated with)該組合物之物件擦拭該表面所達成。
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