TW201511620A - 阻抗匹配方法及阻抗匹配系統 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種阻抗匹配方法及阻抗匹配系統，用於對射頻脈衝電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配。阻抗匹配方法包括以下步驟：步驟S1，採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若是，則執行步驟S2，否則執行步驟S3；步驟S2，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後轉至步驟S1；步驟S3，保持當前匹配位置不變；重複執行上述步驟S1至S3，直至製程結束。本發明提供的阻抗匹配方法及阻抗匹配系統，可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個製程過程中無法實現阻抗匹配。

Description

阻抗匹配方法及阻抗匹配系統
本發明屬於半導體加工技術領域，具體涉及一種阻抗匹配方法及阻抗匹配系統。
在半導體裝置的製備製程中，通常採用射頻脈衝電源激發反應腔室內的製程氣體形成電漿，以對被加工工件的表面進行沉積、蝕刻等的製程。在進行製程的過程中，通常需要借助阻抗匹配系統對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，以消除功率反射，從而保證反應腔室可以從射頻脈衝電源獲得最大功率。
第1圖為現有的阻抗匹配系統的原理框圖。請參閱第1圖，該阻抗匹配系統包括檢測單元、控制單元和執行單元。其中，檢測單元用於檢測射頻脈衝電源輸出的射頻功率訊號是否存在，並檢測進行匹配控制演算法所需的參數；控制單元在射頻脈衝電源輸出的射頻功率訊號存在時，根據檢測單元檢測的參數進行匹配控制演算法並向執行單元發送匹配指令，執行單元根據來自控制單元的匹配指令對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配；控制單元在射頻脈衝電源輸出的射頻功率訊號不存在時，向執行單元發送返回預設匹配位置的指令，執行單元根據來自控制單元的返回預設匹配位置的指令而不進行匹配工作且返回預設匹配位置。所謂預設匹配位置為阻抗匹配系統預先設置的匹配初始位置。
然而，採用上述阻抗匹配系統在進行阻抗匹配的過程中不可避免的存在以下問題，即：當射頻電源以脈衝的形式輸出射頻功率訊號時，射頻電源例如第2圖所示的射頻功率訊號的頻率為13.56MHz，脈衝頻率為100Hz，占空比為50%，若射頻電源當前不輸出射頻功率訊號，則不進行匹配工作且返回預設匹配位置，若射頻電源當前不輸出射頻功率訊號，則從預設匹配位置開始對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，這使得阻抗匹配系統的阻抗匹配速度過慢，且由於每次射頻功率訊號存在的週期較短，容易導致在每次射頻功率訊號存在時無法完成阻抗匹配，進而導致在整個製程過程中均無法實現阻抗匹配。
本發明旨在解決現有技術中存在的技術問題，提供了一種阻抗匹配方法及阻抗匹配系統，其可以提高阻抗匹配的速率，進而避免出現在整個製程過程中無法實現阻抗匹配的問題。
本發明提供一種阻抗匹配方法，其用於對射頻脈衝電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，該方法包括以下步驟：步驟S1，採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若是，則執行步驟S2，否則執行步驟S3；步驟S2，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後轉至步驟S1；步驟S3，保持當前匹配位置不變；重複執行上述步驟S1至S3，直至製程結束。
其中，步驟S2包括以下子步驟：S21，檢測匹配控制演算法所需的參數；S22，根據該參數進行匹配控制演算法獲得調整匹配位置的指令，根據該指令從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配；S23，將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，並轉至步驟S1。
其中，在步驟S1之前還包括步驟S0：檢測該射頻脈衝電源是否開啟，若是，則進入步驟S1；若否，則返回預設匹配位置。
其中，該步驟S1包括下列子步驟：S11，根據該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值，其中，該標誌位元用於表徵該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；S12，基於該標誌位元的預定規則和當前取值，判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；其中，該標誌位元的預定規則指的是該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號與該標誌位元的取值之間的對應關係。
其中，該標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；或者，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
本發明還提供一種阻抗匹配系統，其包括阻抗匹配器，用以對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配。該系統還包括脈衝檢測單元，該脈衝檢測單元與該射頻脈衝電源和該阻抗匹配器電連接，用以採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，並將判斷結果輸出至該阻抗匹配器。並且，該阻抗匹配器被設置為：當該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號時，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後指示該脈衝檢測單元繼續採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號；以及當該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號時，保持當前匹配位置不變。
其中，該脈衝檢測單元用於根據該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值；並且基於該標誌位元的預定規則和當前取值，判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；其中，該標誌位元用於表徵該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；該標誌位元的預定規則指的是該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號與該標誌位元的取值之間的對應關係。
其中，該標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；或者，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
其中，該阻抗匹配器包括阻抗檢測單元、控制單元和執行單元。該阻抗檢測單元用於檢測匹配控制演算法所需的參數，並將其發送至該控制單元。該控制單元與該脈衝檢測單元、該阻抗檢測單元和該執行單元電連接，並且被設置成：在接收到來自該脈衝檢測單元的表示該射頻脈衝電源當前輸出了射頻功率訊號的判斷結果時，根據來自該阻抗檢測單元的參數進行匹配控制演算法，並將調整匹配位置的指令發送至該執行單元；以及在接收到來自該脈衝檢測單元的表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號的判斷結果時，向該執行單元發送不調整匹配位置的指令。該執行單元用於在接收到來自該控制單元的調整匹配位置的指令時，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；並且在接收到來自該控制單元的不調整匹配位置的指令時，保持當前匹配位置不變。
其中，該執行單元包括電機和可變阻抗元件。該電機分別與該控制單元和該可變阻抗元件電連接，且被設置為：在接收到來自該控制單元的調整匹配位置的指令時，對該可變阻抗元件進行調節，以從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；並且在接收到來自該控制單元的不調整匹配位置的指令時，不對該可變阻抗元件進行調節，而保持當前匹配位置不變。
本發明具有下述有益效果：
本發明提供的阻抗匹配方法，其通過採集射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若當前輸出射頻功率訊號，則從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；若當前未輸出射頻功率訊號，則保持當前匹配位置不變（即，本次的當前匹配位置即為下一次的當前匹配位置）。這樣，與現有技術中在每次輸出射頻功率訊號時均從預設匹配位置開始匹配的情況相比，本發明提供的阻抗匹配方法可以提高阻抗匹配的速率，進而可以避免出現因匹配速率低而在整個製程過程中都無法實現阻抗匹配的問題。
本發明提供的阻抗匹配系統包括脈衝檢測單元和阻抗匹配器，該脈衝檢測單元根據所採集的脈衝輸出訊號來判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；阻抗匹配器在射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號時，從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；且阻抗匹配器在射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號時，保持當前匹配位置不變。這樣，與現有技術中在每次輸出射頻功率訊號時均從預設匹配位置開始匹配的情況相比，本發明提供的阻抗匹配系統可以提高阻抗匹配的速率，進而可以避免出現因匹配速率低而在整個製程過程中都無法實現阻抗匹配的問題。
為使本領域的技術人員更好地理解本發明的技術方案，下面結合附圖對本發明實施例提供的阻抗匹配方法及阻抗匹配系統進行詳細描述。
第3圖為本發明第一實施例提供的阻抗匹配方法的流程圖。如第3圖所示，本實施例提供的阻抗匹配方法用於對射頻脈衝電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，其包括以下步驟：
S1，採集射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據脈衝輸出訊號判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若是，則執行步驟S2；否則，執行步驟S3。
S2，從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後轉至步驟S1。
S3，使當前匹配位置保持不變。本步驟中，無需經過匹配控制演算法，這樣可以減少進行匹配控制演算法所需的時間，從而可以進一步提高阻抗匹配的速率。
重複執行上述步驟S1至S3，直至製程結束。
在本實施例中，步驟S1還包括以下子步驟：
S11，根據射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值。該標誌位元用於表徵射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，並且該標誌位元具有反映射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號與否與標誌位元的取值之間的對應關係的預定規則，所謂標誌位元的取值是指標志位為高電平還是低電平。
本實施例中，如第4圖所示，射頻脈衝電源以脈衝形式輸出射頻功率訊號，且標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平“1”時表示射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平“0”時表示射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。在這種情況下，在一段連續的時間內，標誌位元形成由高電平“1”和低電平“0”組成的脈衝訊號，且該脈衝訊號的頻率和占空比與射頻功率訊號的脈衝調製頻率和占空比相同。
S12，基於標誌位元的預定規則和當前取值，判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號。具體地，當標誌位元為高電平“1”時，判定射頻脈衝電源當前輸出了射頻功率訊號；當標誌位元為低電平“0”時，判定射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
並且，在本實施例中，步驟S2還包括以下子步驟：
S21，檢測匹配控制演算法所需的參數。
S22，根據參數進行匹配控制演算法獲得調整匹配位置的指令，根據該指令從當前匹配位置開始調整匹配位置，以對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配。
S23，將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，並轉至步驟S1。
此外，在步驟S1之前還包括步驟S0，檢測射頻脈衝電源是否開啟，若是，進入步驟S1；若否，則返回預設匹配位置。
需要說明的是，儘管前述實施例中標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平“1”時表示射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平“0”時表示射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；但是在實際應用中，也可以這樣設定標誌位元的預定規則，即這樣定義標誌位元的取值與射頻功率訊號之間的對應關係：將標誌位元為高電平“0”的情況定義為當前輸出射頻功率訊號，將標誌位元為低電平“1”的情況定義為當前未輸出射頻功率訊號，如第5圖所示。在這種情況下，上述步驟S12的判斷過程將變為：當標誌位元為低電平“0”時，判定當前輸出了射頻功率訊號；當標誌位元為高電平“1”時，判定當前未輸出射頻功率訊號。
還需要說明的是，在本實施例中，通過步驟S11和步驟S12來判定射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號。但是，本發明並不侷限於此，在實際應用中，還可以採用其他方法來判定射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，例如採用聲和/或光和/或電等訊號來判定，只要該訊號的變化能夠表徵射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號與否即可。
本發明提供的阻抗匹配方法，其通過採集射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若當前輸出射頻功率訊號，則從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；若當前未輸出射頻功率訊號，則保持當前匹配位置不變（即，本次的當前匹配位置即為下一次的當前匹配位置）。這樣，與現有技術中在每次輸出射頻功率訊號時均從預設匹配位置開始匹配的情況相比，本發明提供的阻抗匹配方法可以提高阻抗匹配的速率，進而可以避免出現因匹配速率低而在整個製程過程中都無法實現阻抗匹配的問題。
第6圖為本發明實施例提供的阻抗匹配系統的工作原理框圖。請參閱第6圖，本實施例中的阻抗匹配系統設置在反應腔室的外側並與射頻脈衝電源21相連，且其包括彼此電連接的阻抗匹配器20和脈衝檢測單元22。
其中，脈衝檢測單元22與射頻脈衝電源21和阻抗匹配器20電連接，且包括感測器，用以採集射頻脈衝電源21的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷射頻脈衝電源21當前是否輸出射頻功率訊號，並將判斷結果輸出至阻抗匹配器20。
具體地，脈衝檢測單元22用於根據射頻脈衝電源21的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值，基於該標誌位元的預定規則和當前取值，判斷射頻脈衝電源21當前是否輸出射頻功率訊號，並將判斷結果發送至阻抗匹配器20。其中，該標誌位元用於表徵射頻脈衝電源21當前是否輸出射頻功率訊號；該標誌位元的預定規則是指射頻脈衝電源21當前是否輸出射頻功率訊號與標誌位元的取值之間的對應關係；所謂標誌位元的取值是指標志位為高電平“1”還是低電平“0”。這樣，標誌位元的預定規則可以為：標誌位元為高電平“1”時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平“0”時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；或者，標誌位元為低電平“0”時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為高電平“1”時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
阻抗匹配器20用於在射頻脈衝電源21當前輸出了射頻功率訊號時，從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源21的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後指示脈衝檢測單元22繼續採集射頻脈衝電源21的脈衝輸出訊號；以及在射頻脈衝電源21當前未輸出射頻功率訊號時，保持當前匹配位置不變。
具體地，本實施例中的阻抗匹配器20可以包括阻抗檢測單元201、控制單元202和執行單元203。其中，阻抗檢測單元201用於檢測匹配控制演算法所需的參數，並將其發送至控制單元202，所謂匹配控制演算法所需的參數包括射頻脈衝電源21的負載阻抗的模值和相位等參數。控制單元202用於在接收到來自脈衝檢測單元22的射頻脈衝電源21當前輸出了射頻功率訊號這樣的判斷結果時，根據來自阻抗檢測單元201的參數進行匹配控制演算法，以向執行單元203發送調整匹配位置的指令；並且控制單元202用於在接收到來自脈衝檢測單元22的射頻脈衝電源21當前未輸出射頻功率訊號這樣的判斷結果時，不需要根據來自阻抗檢測單元201的參數進行匹配控制演算法，而是直接向執行單元203發送不調整匹配位置的指令。執行單元203用於當接收到控制單元202發送的調整匹配位置的指令時，從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源21的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配；當接收到來自控制單元202的不調整匹配位置的指令時，將保持當前匹配位置不變。
本實施例中，執行單元203可以包括電機2032和與之電連接的可變阻抗元件2031。在這種情況下，在射頻脈衝電源21當前輸出了射頻功率訊號時，控制單元202將調整匹配位置的指令發送至電機，電機2032根據該指令調節可變阻抗元件2031的阻值，以從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源21的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，其中，所謂調整匹配位置的指令包含有關電機的轉動軸的轉速、圈數或者角度等參數的電訊號，所謂當前匹配位置是指可變阻抗元件2031的阻抗調節端當前所在位置；並且在射頻脈衝電源21當前未輸出射頻功率訊號時，控制單元202不需要進行匹配控制演算法，而是直接向電機2032發送不調整匹配位置的指令，此時電機2032根據該指令而不進行轉動，以使可變阻抗元件2031保持當前匹配位置不變，即，可變阻抗元件2031的阻抗值保持不變，以使射頻脈衝電源21的當前負載阻抗值保持不變。
需要說明的是，在實際應用中，脈衝檢測單元22和阻抗檢測單元201可以集成為一體，或者二者彼此分離。
第7圖為應用第6圖所示阻抗匹配系統對射頻脈衝電源進行阻抗匹配的工作流程圖。如第7圖所示，對射頻脈衝電源21進行阻抗匹配的工作過程具體包括以下步驟：
S10，阻抗檢測單元201判斷射頻脈衝電源21是否開啟，若是，則進入S20；若否，則由執行單元203返回預設匹配位置。
S20，脈衝檢測單元22採集射頻脈衝電源21的脈衝輸出訊號，根據該脈衝輸出訊號判斷射頻脈衝電源21當前是否輸出射頻功率訊號，若是，則將判斷結果發生至控制單元202，並進入步驟S30；若否，則將判斷結果發送至控制單元202，並進入步驟S40。
S30，阻抗檢測單元201檢測匹配控制演算法所需的參數，並將其發送至控制單元202；控制單元202進行匹配控制演算法，以向電機2032發送調整匹配位置的指令。
S40，電機2032根據該指令調節可變阻抗元件2031的阻值，以從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源21的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配。
S50，控制單元202不進行匹配控制演算法，而是直接向電機2032發送不調整匹配位置的指令。
S60，電機2032根據該指令靜止不動，以使可變阻抗元件2031保持當前匹配位置不變。
綜上所述，本發明提供的阻抗匹配系統包括脈衝檢測單元和阻抗匹配器，該脈衝檢測單元根據所採集的脈衝輸出訊號來判斷射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；阻抗匹配器在射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號時，從當前匹配位置開始對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；且阻抗匹配器在射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號時，保持當前匹配位置不變。這樣，與現有技術中在每次輸出射頻功率訊號時均從預設匹配位置開始匹配的情況相比，本發明提供的阻抗匹配系統可以提高阻抗匹配的速率，進而可以避免出現因匹配速率低而在整個製程過程中都無法實現阻抗匹配的問題。
可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發明的原理而採用的示例性實施方式，然而本發明並不侷限於此。對於本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本發明的原理和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發明的保護範圍。
20‧‧‧阻抗匹配器
21‧‧‧射頻脈衝電源
22‧‧‧脈衝檢測單元
201‧‧‧阻抗檢測單元
202‧‧‧控制單元
203‧‧‧執行單元
2031‧‧‧可變阻抗元件
2032‧‧‧電機
S0、S1、S2、S3、S10、S20、S30、S40、S50、S60‧‧‧步驟
第1圖為現有的阻抗匹配系統的原理框圖； 第2圖為射頻脈衝電源以脈衝輸出射頻功率訊號的示意圖； 第3圖為本發明第一實施例提供的阻抗匹配方法的流程圖； 第4圖為射頻脈衝電源輸出的射頻功率訊號和標誌位元的示意圖； 第5圖為射頻脈衝電源輸出的射頻功率訊號和標誌位元的另一種示意圖； 第6圖為本發明實施例提供的阻抗匹配系統的工作原理框圖；以及 第7圖為應用第6圖所示阻抗匹配系統對射頻脈衝電源進行阻抗匹配的工作流程圖。
S0、S1、S2、S3‧‧‧步驟

Claims (10)

  1. 一種阻抗匹配方法，其用於對射頻脈衝電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，其特徵在於，包括以下步驟： S1，採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，若是，則執行步驟S2；否則，執行步驟S3； S2，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後轉至步驟S1； S3，保持當前匹配位置不變； 重複執行上述步驟S1至S3，直至製程結束。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的阻抗匹配方法，其特徵在於，步驟S2包括以下子步驟： S21，檢測匹配控制演算法所需的參數； S22，根據該參數進行匹配控制演算法獲得調整匹配位置的指令，根據該指令從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配； S23，將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，並轉至步驟S1。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的阻抗匹配方法，其特徵在於，在步驟S1之前還包括步驟S0：檢測該射頻脈衝電源是否開啟，若是，則進入步驟S1；若否，則返回預設匹配位置。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的阻抗匹配方法，其特徵在於，該步驟S1包括下列子步驟： S11，根據該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值，其中，該標誌位元用於表徵該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號； S12，基於該標誌位元的預定規則和當前取值，判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；其中，該標誌位元的預定規則指的是該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號與該標誌位元的取值之間的對應關係。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的阻抗匹配方法，其特徵在於，該標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；或者，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
  6. 一種阻抗匹配系統，其包括阻抗匹配器，用以對射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，其特徵在於還包括脈衝檢測單元，其中 該脈衝檢測單元與該射頻脈衝電源和該阻抗匹配器電連接，用以採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號，並根據該脈衝輸出訊號判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號，並將判斷結果輸出至該阻抗匹配器；並且 該阻抗匹配器被設置為： 當該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號時，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置，而後指示該脈衝檢測單元繼續採集該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號；以及 當該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號時，保持當前匹配位置不變。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的阻抗匹配系統，其特徵在於，該脈衝檢測單元用於根據該射頻脈衝電源的脈衝輸出訊號獲得標誌位元的當前取值；並且基於該標誌位元的預定規則和當前取值，判斷該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；其中 該標誌位元用於表徵該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號；該標誌位元的預定規則指的是該射頻脈衝電源當前是否輸出射頻功率訊號與該標誌位元的取值之間的對應關係。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的阻抗匹配系統，其特徵在於，該標誌位元的預定規則為：標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號；或者，標誌位元為低電平時表示該射頻脈衝電源當前輸出射頻功率訊號，標誌位元為高電平時表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的阻抗匹配系統，其特徵在於，該阻抗匹配器包括阻抗檢測單元、控制單元和執行單元，其中 該阻抗檢測單元用於檢測匹配控制演算法所需的參數，並將其發送至該控制單元； 該控制單元與該脈衝檢測單元、該阻抗檢測單元和該執行單元電連接，並且被設置成： 在接收到來自該脈衝檢測單元的表示該射頻脈衝電源當前輸出了射頻功率訊號的判斷結果時，根據來自該阻抗檢測單元的參數進行匹配控制演算法，並將調整匹配位置的指令發送至該執行單元；以及 在接收到來自該脈衝檢測單元的表示該射頻脈衝電源當前未輸出射頻功率訊號的判斷結果時，向該執行單元發送不調整匹配位置的指令； 該執行單元用於在接收到來自該控制單元的調整匹配位置的指令時，從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；並且在接收到來自該控制單元的不調整匹配位置的指令時，保持當前匹配位置不變。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的阻抗匹配系統，其特徵在於，該執行單元包括電機和可變阻抗元件，並且 該電機分別與該控制單元和該可變阻抗元件電連接，且被設置為： 在接收到來自該控制單元的調整匹配位置的指令時，對該可變阻抗元件進行調節，以從當前匹配位置開始對該射頻脈衝電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，並將匹配後的匹配位置記作當前匹配位置；並且 在接收到來自該控制單元的不調整匹配位置的指令時，不對該可變阻抗元件進行調節，而保持當前匹配位置不變。
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