TW201504606A - 壓力檢測器之安裝構造 - Google Patents

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Kouji Nishino
Nobukazu Ikeda
Masanori Fukazawa
Katsumi Ishiguro
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Fujikin Kk
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Abstract

本發明係即使在壓力檢測器組裝在安裝具本體之後，亦完全不會有對隔膜的應力影響，此外，不會受到因經年變化所致之影響。 本發明係一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器(1)以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體(15)的插裝孔(16)內之壓力檢測器(1)之安裝構造，該壓力檢測器(1)係具備有：形成有壓力導入孔(10)的殼體(2)、設在該殼體(2)內且與前述壓力導入孔(10)相連通的受壓室(4)、對應受壓室(4)的壓力而位移的隔膜(3)、及藉由隔膜(3)的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件(6)，其中，前述壓力檢測器(1)之安裝構造係具備有：在朝外方突出的狀態下被設在殼體(2)，形成壓力導入孔(10)的導管(pipe)(9)；被設在導管(9)的前端部，比導管(9)更為大徑之環狀的墊片按壓件(11)；被設在安裝具本體(15)的插裝孔(16)的底面，為墊片按壓件 (11)的前端面所抵接之環狀的墊片(12)；抵接於與墊片按壓件(11)的前端面為相反側的面的開口環(13)；及安裝卸下自如地被插裝在安裝具本體(15)的插裝孔(16)內，按壓開口環(13)的罩蓋(14)，將前述墊片按壓件(11)及開口環(13)插入在安裝具本體(15)的插裝孔(16)內，並且將前述罩蓋(14)插裝在插裝孔(16)，將該罩蓋(14)緊固在安裝具本體(15)側，藉由開口環(13)按壓墊片按壓件(11)及墊片(12)，將墊片(12)的一端面與插裝孔(16)的底面之間及墊片(12)的另一端面與墊片按壓件(11)的前端面之間分別形成為密封部。

Description

壓力檢測器之安裝構造
本發明係關於利用壓力檢測元件(感壓元件或應變計)之隔膜型壓力檢測器之安裝構造的改良，主要在半導體製造設備中的氣體供給系等中被使用。
自以往以來在管路內的流體壓的檢測廣泛採用一種利用壓力檢測元件(例如感壓元件)的隔膜型壓力檢測器(參照例如專利文獻1)。
圖9~圖11係顯示習知之隔膜型壓力檢測器30之例者。該壓力檢測器30係由：感測器基座31、壓力檢測元件32、具備有隔膜33的隔膜基座34、壓力傳達用媒體35(矽酮油)、密封用球36及引線接腳37等所構成。若流體壓38透過隔膜33及壓力傳達媒體35而施加至壓力檢測元件32時，由形成壓力檢測元件32的半導體壓力轉換器，與壓力成正比的電壓訊號透過引線接腳37被輸出至外部。
圖12~圖14係顯示上述隔膜型壓力檢測器30對管路等的安裝構造之例的局部放大剖面圖，壓力檢 測器30藉由按壓構件41或固定具42，透過墊片43，以氣密狀被安裝固定在安裝在配管路或機械裝置的安裝具本體39的插裝孔40內。
亦即，壓力檢測器30係將墊片43、壓力檢測器30及按壓構件41依序插入至安裝具本體39的插裝孔40內，將按壓構件41藉由固定具42或螺栓(省略圖示)緊固固定在安裝具本體39側，在按壓構件41的前端按壓隔膜基座34的凸緣部34a或感測器基座31與隔膜基座34的兩凸緣部31a、34a，藉此透過墊片43而以氣密狀被安裝在安裝具本體39的插裝孔40內。
在前述壓力檢測器30之安裝構造中，若按壓構件41藉由固定具42或螺栓被緊固固定在安裝具本體39側時，透過按壓構件41及墊片43，上下方向的壓縮力(上下方向的反作用力)會施加至隔膜基座34的凸緣部34a或感測器基座31與隔膜基座34的兩凸緣部31a、34a。
萬一在按壓構件41緊固固定時，即使施加於隔膜基座34的凸緣部34a或感測器基座31與隔膜基座34的兩凸緣部31a、34a的上下方向的壓縮力成為原因，而對隔膜33施加應力時(例如產生上下方向的壓縮力的分力，其施加於隔膜33般的情形下)，因設在隔膜基座34的凸緣部34a的淺溝34b或設在感測器基座31的凸緣部31a的淺溝31b，該部分的壁厚變薄，因此因應力所致之位移係在前述薄壁部的近傍被吸收。
藉此，應力不會被直接傳達至隔膜33，防止在隔膜33產生應變。
結果，在習知之壓力檢測器30之安裝構造中，壓力檢測器30對安裝具本體39安裝前及安裝後之輸出或溫度特性的變動變得極小，達成優異的實用效用。
但是，在上述之習知之壓力檢測器30之安裝構造中，亦當將壓力檢測器30固定在安裝具本體39的插裝孔40時，難以使隔膜33的應力應變完全消失，會有壓力檢測器30對安裝具本體39組裝前後的輸出或溫度特性發生變動的問題。
其係基於由於在上下方向的壓縮力所施加的隔膜基座34的凸緣部34a的近傍位置設有厚度為0.05mm~0.06mm左右之極薄的隔膜33，因此無論如何亦對隔膜33施加壓縮力的分力之故。
此外，壓力檢測器30對安裝具本體39組裝後，會有因經年變化，固定具42或螺栓變鬆而按壓構件41的按壓力變弱的情形，此時施加於隔膜基座34的凸緣部34a或感測器基座31與隔膜基座34的兩凸緣部31a、34a的壓縮力會改變，並且施加於隔膜33的應力亦改變，亦會有輸出或溫度特性大幅變動的問題。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利第3494594號公報
本發明係基於將隔膜型壓力檢測器實際上安裝固定在配管路等時之如上所述的問題，亦即，因將壓力檢測器組裝在安裝具本體時所產生之隔膜的應力應變的不均，欲解決在輸出或溫度特性產生變動而壓力檢測器的測定精度降低的問題者，其目的在提供一種即使在壓力檢測器組裝在安裝具本體之後，亦完全不會有對隔膜的應力影響，此外，不會受到因經年變化而致之影響之壓力檢測器之安裝構造。
為達成上述目的，本發明之第1側面係一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體的插裝孔內之壓力檢測器之安裝構造，該壓力檢測器係具備有：形成有壓力導入孔的殼體、設在該殼體內且與前述壓力導入孔相連通的受壓室、對應該受壓室的壓力而位移的隔膜、及藉由該隔膜的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件，其特徵為：前述壓力檢測器之安裝構造係形成為以下構成：具備有：在朝外方突出的狀態下被設在前述殼體，形成壓力導入孔的導管；被設在該導管的前端部，比該導管更為大徑之環狀的墊片按壓件；被設在前述安裝具本體的 插裝孔的底面，為前述墊片按壓件的前端面所抵接之環狀的墊片；抵接於與前述墊片按壓件的前端面為相反側的面的開口環；及安裝卸下自如地被插裝在前述安裝具本體的插裝孔內，按壓前述開口環的罩蓋，將前述墊片按壓件及前述開口環插入在前述安裝具本體的插裝孔內，並且將前述罩蓋插裝在前述插裝孔，將該罩蓋緊固在前述安裝具本體側，藉由前述開口環按壓前述墊片按壓件及前述墊片，將該墊片的一端面與前述插裝孔的底面之間及前述墊片的另一端面與前述墊片按壓件的前端面之間分別形成為密封部。
本發明之第2側面係一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體的插裝孔內之壓力檢測器之安裝構造，該壓力檢測器係具備有：形成有壓力導入孔的殼體、設在該殼體內且與前述壓力導入孔相連通的受壓室、對應該受壓室的壓力而位移的隔膜、及藉由該隔膜的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件，其特徵為：前述壓力檢測器之安裝構造係形成為以下構成：具備有：在朝外方突出的狀態下被設在前述殼體，形成壓力導入孔的導管；被設在該導管的前端部，比該導管更為大徑之環狀的墊片按壓件；被設在前述安裝具本體的插裝孔的底面，為前述墊片按壓件的前端面所抵接之環狀的墊片；抵接於與前述墊片按壓件的前端面為相反側的面，具有插入前述導管之插入部的U字狀環；及安裝卸下自如地被插裝在前述 安裝具本體的插裝孔內，按壓前述U字狀環的罩蓋，將前述墊片按壓件及前述U字狀環插入在前述安裝具本體的插裝孔內，並且將前述罩蓋插裝在前述插裝孔，將該罩蓋緊固在前述安裝具本體側，藉由前述U字狀環按壓前述墊片按壓件及前述墊片，將該墊片的一端面與前述插裝孔的底面之間及前述墊片的另一端面與前述墊片按壓件的前端面之間分別形成為密封部。
本發明之第3側面之特徵為：壓力檢測器的隔膜係具備有：接受來自前述壓力導入孔的壓力的間隔壁隔膜；及設有前述壓力檢測元件的壓力感測隔膜，在前述間隔壁隔膜與前述壓力感測隔膜之間設有填充有壓力傳達用媒體的壓力室。
本發明之第4側面係在前述第1側面中，其特徵為：將前述開口環形成為沿著直徑方向作二分割的開口環，此外，將前述罩蓋形成為其內徑大於前述墊片按壓件的外徑而且小於前述開口環的外徑的筒狀罩蓋，並且將該罩蓋安裝卸下自如螺接在前述安裝具本體的插裝孔內。
本發明係形成為以下構成：在壓力檢測器的殼體的內部設置受壓室，並且在前述殼體設置對應受壓室的壓力而位移的隔膜，此外，將形成有與前述受壓室相連通的壓力導入孔的導管在突出狀態下設在殼體，並且在該導管的前端部設置墊片按壓件，將前述墊片按壓件插入在 安裝在配管路等的安裝具本體的插裝孔內而使墊片按壓件的前端面抵接於設在插裝孔的底面的墊片的一端面，並且使開口環或U字狀環抵接於與墊片按壓件的前端面為相反側的面，另外在安裝具本體的插裝孔插裝罩蓋而將其緊固在安裝具本體側，藉此透過開口環或U字狀環來按壓墊片按壓件及墊片，將墊片的一端面與插裝孔的底面之間及墊片的另一端面與墊片按壓件的前端面之間分別形成為密封部，因此因形成有壓力導入孔的導管受到壓縮力的墊片按壓件與壓力檢測器的隔膜的距離會遠離，即使墊片按壓件受到壓縮力，亦完全不會有因此而力傳至隔膜的情形。
結果，本發明係即使在壓力檢測器組裝在安裝具本體之後，亦完全不會有對隔膜的應力影響，在壓力檢測器對安裝具本體安裝前及安裝後的輸出或溫度特性的變動會消失。
此外，本發明係在壓力檢測器對安裝具本體組裝後，即使因經年變化，罩蓋的緊固力變弱，墊片按壓件的壓縮力改變，亦因受到壓縮力的墊片按壓件與壓力檢測器的隔膜的距離遠離，因此完全不會有對隔膜的應力影響，不會有受到因經年變化所致之影響的情形。
此外，本發明係形成為以下構成：將開口環形成為沿著直徑方向作二分割的開口環，此外，將罩蓋形成為其內徑大於墊片按壓件的外徑而且小於開口環的外徑的筒狀罩蓋，並且將該罩蓋安裝卸下自如地螺接在安裝具本體的插裝孔內，因此即使在壓力檢測器的導管的前端部 設置比導管更為大徑的墊片按壓件，亦可將壓力檢測器組裝固定在安裝具本體的插裝孔內，極為便利。
1‧‧‧壓力檢測器
2‧‧‧殼體
2’‧‧‧感測器基座
2”‧‧‧管座
3‧‧‧間隔壁隔膜
3a‧‧‧隔膜
4‧‧‧受壓室
5‧‧‧壓力室
6‧‧‧壓力檢測元件
6a‧‧‧應變計部
6b‧‧‧橋式電路
7‧‧‧引線接腳
8‧‧‧蓋件
9‧‧‧導管
10‧‧‧壓力導入孔
11‧‧‧墊片按壓件
11a‧‧‧墊片按壓件的突部
12‧‧‧墊片
13‧‧‧開口環
13a‧‧‧開口環的嵌合凹部
14‧‧‧罩蓋
14a‧‧‧罩蓋的公螺旋部
14b‧‧‧罩蓋的嵌合部
15‧‧‧安裝具本體
15a‧‧‧安裝具本體的母螺旋部
16‧‧‧插裝孔
17‧‧‧流路
18‧‧‧連通孔
19‧‧‧感測器基座的凹陷部
20‧‧‧管座的凹陷部
21‧‧‧熔接
22‧‧‧承座
23‧‧‧配線
24‧‧‧U字狀環
24a‧‧‧U字狀環的嵌合凹部
24b‧‧‧U字狀環的插入部
30‧‧‧壓力檢測器
31‧‧‧感測器基座
31a‧‧‧凸緣部
31b‧‧‧淺溝
32‧‧‧壓力檢測元件
33‧‧‧隔膜
34‧‧‧隔膜基座
34a‧‧‧凸緣部
34b‧‧‧淺溝
35‧‧‧壓力傳達用媒體
36‧‧‧密封用球
37‧‧‧引線接腳
38‧‧‧流體壓
39‧‧‧安裝具本體
40‧‧‧插裝孔
41‧‧‧按壓構件
42‧‧‧固定具
43‧‧‧墊片
圖1係顯示本發明之實施形態之壓力檢測器之安裝構造的縱剖面圖。
圖2係圖1所示之壓力檢測器的縱剖面圖。
圖3係顯示壓力檢測器之安裝構造所使用之開口環，(A)係開口環的平面圖，(B)係開口環的縱剖面圖。
圖4係顯示圖1所示之壓力檢測器對安裝具本體之組裝順序的說明圖。
圖5係顯示本發明之其他實施形態之壓力檢測器之安裝構造的縱剖面圖。
圖6係顯示壓力檢測器之安裝構造所使用之U字狀環，(A)係U字狀環的平面圖，(B)係U字狀環的縱剖面圖。
圖7係將其他類型的壓力檢測器安裝在安裝具本體的插裝孔的狀態的縱剖面圖。
圖8係另外其他類型的壓力檢測器安裝在安裝具本體的插裝孔的狀態的縱剖面圖。
圖9係顯示習知之壓力檢測器之一例的縱剖面圖。
圖10係顯示習知之壓力檢測器之其他例的縱剖面圖。
圖11係顯示習知之壓力檢測器之另外其他例的縱剖面圖。
圖12係顯示圖9所示之壓力檢測器之安裝構造的局部放大剖面圖。
圖13係顯示圖10所示之壓力檢測器之安裝構造的局部放大剖面圖。
圖14係顯示圖11所示之壓力檢測器之安裝構造的局部放大剖面圖。
以下根據圖示，詳加說明本發明之實施形態。
圖1係顯示本發明之一實施形態之壓力檢測器之安裝構造。在圖1中，元件符號1係隔膜型壓力檢測器，2係由感測器基座2’及管座(tube base)2”所成之殼體、3係間隔壁隔膜、4係殼體2內的受壓室、5係殼體2內的壓力室、6係具備有壓力感測隔膜(未圖示)的壓力檢測元件、7係引線接腳、8係蓋件、9係導管(pipe)、10係壓力導入孔、11係墊片按壓件、12係墊片、13係開口環、14係罩蓋、15係安裝在配管路或機械裝置的安裝具本體、16係形成在安裝具本體15的壓力檢測器1的插裝孔、17係形成在安裝具本體15的流路、18係將插裝孔16及流路17相連通的連通孔。
其中，壓力檢測器1的隔膜係由間隔壁隔膜3及壓力 感測隔膜所構成。
如圖1所示，前述壓力檢測器1之安裝構造係具備有：在朝外方突出的狀態下被設在殼體2而形成壓力導入孔10的導管9；設在導管9的前端部的環狀的墊片按壓件11；被插裝在安裝具本體15的插裝孔16的底面而為墊片按壓件11的前端面所抵接的墊片12；抵接在與墊片按壓件11的前端面為相反側的面的開口環13；及安裝卸下自如地被插裝在安裝具本體15的插裝孔16內而按壓開口環13的罩蓋14，將墊片按壓件11及開口環13插入在安裝具本體15的插裝孔16內，並且將罩蓋14插裝在插裝孔16，將罩蓋14緊固在安裝具本體15側，藉由開口環13按壓墊片按壓件11及墊片12，且將墊片12的一端面與插裝孔16的底面之間及墊片12的另一端面與墊片按壓件11的前端面之間分別形成為密封部。
前述壓力檢測器1係利用壓力檢測元件6(感壓元件)的隔膜型壓力感測器。
亦即，如圖2所示，前述壓力檢測器1係由：具備有形成壓力導入孔10的導管9的殼體2；分離成將殼體2內與壓力導入孔10相連通的受壓室4、及填充壓力傳達用媒體的壓力室5的間隔壁隔膜3；被內置在壓力室5內，藉由間隔壁隔膜3的位移進行作動的壓力檢測元件6(感壓元件)；及被插裝在殼體2的引線接腳7等所構成，流體壓透過壓力導入孔10、間隔壁隔膜3及矽酮油等壓力傳達媒體而施加至設在壓力檢測元件6的壓力感測 隔膜(未圖示)時，由形成壓力檢測元件6的半導體壓力轉換器，與壓力成正比的電壓訊號透過引線接腳7被輸出至外部。
前述殼體2係由在內部形成空間的感測器基座2’及管座2”所構成，在管座2”的中心部係被插裝固定有與內部空間相連通而形成壓力導入孔10的不銹鋼製導管9。
具體而言，感測器基座2’係藉由不銹鋼形成為圓盤狀，在感測器基座2’的下面係形成有：收納壓力檢測元件6而且成為封入壓力傳達用媒體的壓力室5的凹陷部19。
在該實施形態中，分別設定感測器基座2’的外徑為8mm，感測器基座2’的厚度為3.5mm，感測器基座2’的凹陷部19的深度為可收納壓力檢測元件6的深度。
此外，管座2”係藉由不銹鋼形成為圓盤狀，在管座2”的上面係形成有與壓力導入孔10相連通而成為受壓室4之較淺的凹陷部20。
在該實施形態中，分別設定管座2”的外徑為8mm，管座2”的厚度為3mm，管座2”的凹陷部20的深度為0.3mm。
此外，導管9係藉由不銹鋼製導管9所形成，將基端部(圖2的上端部)插裝在管座2”的中心部，將導管9的基端部外周緣部對管座2”進行熔接21，藉此以氣密狀被插裝固定在管座2”。此時，導管9係形 成為由殼體2朝向外方大幅突出的狀態。
此外，在導管9的前端部(圖2的下端部)外周面，藉由熔接21固接有形成為比導管9更為大徑的不銹鋼製環狀墊片按壓件11，在該墊片按壓件11的下面內周緣部係突出形成有被嵌合在墊片12之內周面的定位用突部11a。
在該實施形態中，分別設定導管9的外徑為2.1mm、導管9的長度為10mm、墊片按壓件11的外徑為4mm、墊片按壓件11的內徑為2.1mm、墊片按壓件11的厚度為0.8mm、墊片按壓件11的突部11a的高度為0.2mm。
接著，前述感測器基座2’與管座2”係在感測器基座2’的下端面與管座2”的上端面之間夾持隔膜3的外周緣部，在該狀態下，將感測器基座2’的下端面外周緣部、管座2”的上端面外周緣部、及隔膜3的外周緣部遍及全周進行熔接21，藉此以氣密狀予以組裝固定，成為在內部具有空間的殼體2。
此時，形成在殼體2內的空間係藉由被夾持在感測器基座2’與管座2”之間的間隔壁隔膜3，被分離成與壓力導入孔10相連通的受壓室4、及填充壓力傳達用媒體的壓力室5。
其中，以被填充在壓力室5的壓力傳達用媒體而言，係使用溫度膨脹係數或壓縮係數小而且化學上呈安定的矽酮油，該矽酮油係將施加至間隔壁隔膜3的流體壓力正確地傳達至壓力檢測元件6者。
前述間隔壁隔膜3係藉由赫史特合金(hastelloy)製的極薄金屬板形成為波型的圓板狀。
在該實施形態中，分別設定間隔壁隔膜3的外徑為8mm、間隔壁隔膜3的厚度為0.025mm、間隔壁隔膜3的波高度為0.175mm，間隔壁隔膜3的受壓室4側的面與受壓室4的底面(凹陷部20的底面)的間隔為0.15mm。
前述壓力檢測元件6係被收納固定在殼體2的壓力室5，在該壓力檢測元件6係使用具備以往周知的壓力感測隔膜(未圖示)的擴散形半導體壓力轉換器。
上述壓力檢測器1係如圖1所示，透過墊片12，藉由開口環13及罩蓋14，以氣密狀被安裝固定在安裝在配管路或機械裝置的金屬製安裝具本體15的插裝孔16內。
在前述安裝具本體15係形成有用以安裝壓力檢測器1的圓形插裝孔16，在該插裝孔16的內周面係形成有安裝卸下自如地螺接罩蓋14的母螺旋部15a。
此外，插裝孔16的底部係形成為小徑，在該小徑部分被插裝墊片12。
此外，在插裝孔16的小徑部分的底面中央部係形成有將形成在安裝具本體15的流路17與插裝孔16內形成為連通狀態的連通孔18。
前述墊片12係藉由不銹鋼形成為被插裝在插裝孔16之小徑部分之大小的環狀，其薄片部的剖面形狀係形成為矩形。
該墊片12的外周面係抵接於插裝孔16的小徑部分的內周面，此外，墊片12的一端面(圖1的下面)係抵接於插裝孔16的小徑部分的底面，此外，墊片12的另一端面(上面)係抵接於墊片按壓件11的前端面。
在該實施形態中，分別設定墊片12的外徑為4mm、墊片12的內徑為2mm、墊片12的薄片部的寬幅為1mm、墊片12的薄片部的高度為1mm。
前述開口環13係藉由將藉由不銹鋼所形成的環狀構件沿著直徑方向作二分割所形成，在開口環13的下面係形成有被嵌入墊片按壓件11的嵌合凹部13a。
在該實施形態中，分別設定開口環13的外徑為6mm、開口環13的內徑為2.15mm、開口環13的厚度為1.8mm、開口環13的嵌合凹部13a的內徑為4mm、開口環13的嵌合凹部13a的深度為0.8mm。
前述罩蓋14係藉由不銹鋼形成為其內徑大於墊片按壓件11的外徑、而且小於開口環13的外徑的筒狀，在其外周面係形成有安裝卸下自如地被螺接在形成在安裝具本體15的插裝孔16的內周面的母螺旋部15a的公螺旋部14a。
此外，在罩蓋14的下端面係形成有被嵌入開口環13的嵌合部14b，並且罩蓋14的上端部外周面(未形成有公螺旋部14a的部分)的形狀係以可利用扳手等工具來使罩蓋14旋轉的方式形成為大致多角形(四角形狀、六角形狀等)。
在該實施形態中，分別設定罩蓋14的外徑為8mm、罩蓋14的內徑為4.2mm、罩蓋14的高度為5mm、罩蓋14的嵌合部14b的內徑為6mm、罩蓋14的嵌合部14b的深度為1mm。
接著，說明將壓力檢測器1組裝在形成在安裝具本體15之朝上的插裝孔16的情形。其中，圖4係顯示壓力檢測器1對安裝具本體15的組裝順序的說明圖。
首先，以鬆嵌狀態將罩蓋14外嵌在壓力檢測器1的導管9(參照圖4(A))。此時，由於將罩蓋14的內徑形成為大於墊片按壓件11的外徑，因此可將罩蓋14簡單地外嵌在導管9。
接著，將開口環13在使其內周面抵接於導管9的外周面的狀態下由墊片按壓件11的上側被覆在墊片按壓件11，將墊片按壓件11嵌入在開口環13的嵌合凹部13a(參照圖4(B))。
之後，使罩蓋14由開口環13的上側被覆在開口環13，將開口環13嵌入在罩蓋14的嵌合部14b，將開口環13以其不會被分解的方式藉由罩蓋14進行保持(參照圖4(C))。
接著，將墊片按壓件11、開口環13及罩蓋14插入在預先插裝好墊片12的安裝具本體15的插裝孔16內，並且將罩蓋14插裝在插裝孔16，將罩蓋14緊固在安裝具本體15側，藉由開口環13來按壓墊片按壓件11及墊片12(參照圖4(D))。
如此一來，墊片12被墊片按壓件11所按壓，墊片12的一端面與插裝孔16的小徑部分的底面之間及墊片12的另一端面與墊片按壓件11的前端面之間分別形成為密封部，壓力檢測器1係以氣密狀被安裝在插裝孔16。
在上述之壓力檢測器1之安裝構造中，若罩蓋14被緊固在安裝具本體15側時，墊片按壓件11透過墊片12及開口環13而受到壓縮力，但是由於在由殼體2朝向外方大幅突出的導管9的前端部設有墊片按壓件11，因此受到壓縮力的墊片按壓件11與壓力檢測器1的間隔壁隔膜3的距離會遠離，即使墊片按壓件11受到壓縮力，亦完全不會有因此而力傳至間隔壁隔膜3的情形。
結果，在該壓力檢測器1之安裝構造中，即使在壓力檢測器1組裝在安裝具本體15之後，亦完全不會有對間隔壁隔膜3的應力影響，完全不會有對具備有壓力感測隔膜的壓力檢測元件6的應力影響，不會有壓力檢測器1對安裝具本體15安裝前及安裝後的輸出或溫度特性的變動。
此外，在該壓力檢測器1之安裝構造中，在壓力檢測器1組裝在安裝具本體15之後，即使因經年變化，罩蓋14的緊固力變弱而墊片按壓件11的壓縮力改變，亦由於受到壓縮力的墊片按壓件11與壓力檢測器1的間隔壁隔膜3的距離遠離，因此完全沒有對間隔壁隔膜3的應力影響，不會有受到因經年變化所致之影響的情形。
同樣地，在安裝有壓力檢測器1的配管路的安裝場所的近傍，即使在安裝固定有其他機器類，例如孔口等的情形下，亦藉由該孔口的固定，不會有間隔壁隔膜3受到應力影響的情形。
其中，由將壓力檢測器1對配管路安裝前及安裝後的特性試驗結果確認出在壓力檢測器1的偏置電壓或跨距電壓(span voltage)、輸出訊號的直線性、溫度特性等幾乎不會產生變化。
在上述之實施形態中，係將壓力檢測器1安裝在形成在安裝具本體15之朝上的插裝孔16，但是在其他實施形態中，亦可將壓力檢測器1安裝在形成在安裝具本體15之朝下或橫向的插裝孔16。
此時亦可達成與上述作用效果相同的作用效果。
此外，在上述之實施形態中，罩蓋14或墊片12、開口環13等係形成為不銹鋼，但是亦可配合在配管路流通的流體的種類或溫度等的外部環境等，選擇合適的材料。此外，關於間隔壁隔膜3，亦藉由赫史特合金製之極薄金屬板形成為波型的圓板狀，但是當然亦可配合使用條件而變更材料或形狀。
圖5係顯示本發明之其他實施形態之壓力檢測器之安裝構造。圖5所示之該壓力檢測器1的安裝構造係具備有：在朝外方突出的狀態下被設在殼體2且形成壓力導入孔10的導管9；設在導管9的前端部的環狀的墊片按壓件11；被插裝在安裝具本體15的插裝孔16的底 面而為墊片按壓件11的前端面所抵接的墊片12；抵接在與墊片按壓件11的前端面為相反側的面，具有供插入前述導管9的插入部的U字狀環24；及安裝卸下自如地被插裝在安裝具本體15的插裝孔16內而按壓U字狀環24的罩蓋14，將墊片按壓件11及U字狀環24插入在安裝具本體15的插裝孔16內，並且將罩蓋14插裝在插裝孔16，將罩蓋14緊固在安裝具本體15側，藉由U字狀環24按壓墊片按壓件11及墊片12，且將墊片12的一端面與插裝孔16的底面之間及墊片12的另一端面與墊片按壓件11的前端面之間分別形成為密封部。
前述壓力檢測器1之安裝構造係使用後述之圖6(A)及(B)所示之U字狀環24取代圖3(A)及(B)所示之開口環13者，U字狀環24以外係形成為與圖1所示之壓力檢測器1之安裝構造為相同的構造及相同的形狀，對與圖1所示之安裝構造為相同的部位、構件係標註相同的元件符號且省略其詳細說明。
前述U字狀環24係如圖6(A)及(B)所示，藉由不銹鋼形成為平面形狀U字狀，在U字狀環24的下面係形成有供嵌入墊片按壓件11的嵌合凹部24a。
此外，U字狀環24係具有由外周緣部朝向中心形成切口或凹陷形成的插入部24b，在該插入部24b由U字狀環24的外周側被插入導管9。
在該實施形態中，分別設定U字狀環24的外徑為6mm、U字狀環24的插入部的寬幅為2.15mm、U字狀環 13的厚度為1.8mm、U字狀環13的嵌合凹部24a的內徑為4mm、U字狀環13的嵌合凹部13a的深度為0.8mm。
圖5所示之壓力檢測器1之安裝構造亦可達成與圖1所示之壓力檢測器1之安裝構造為相同的作用效果。
圖7係顯示將未使用壓力傳達用媒體之其他類型的壓力檢測器1安裝在安裝具本體15的插裝孔16的狀態者，該壓力檢測器1之安裝構造係形成為與圖1(或圖5)所示之壓力檢測器1之安裝構造為相同的構造及相同的形狀，對與圖1所示之安裝構造為相同的部位、構件係標註相同的元件符號且省略其詳細說明。
圖7所示之壓力檢測器1係以設在感測器基座2’的凹陷部19的承座22保持具備壓力感測隔膜(未圖示)的壓力檢測元件6(感壓元件)，並且使壓力檢測元件6的下端面直接抵接於對應受壓室4的壓力而位移的間隔壁隔膜3的上面，將由壓力導入孔10經由受壓室4而施加於間隔壁隔膜3的壓力直接傳達至壓力檢測元件6者。
此外，圖8係顯示將相同地未使用壓力傳達用媒體之另外其他類型的壓力檢測器1安裝在安裝具本體15的插裝孔16的狀態者，該壓力檢測器1之安裝構造係形成為與圖1(或圖5)所示之壓力檢測器1之安裝構造為相同的構造及相同的形狀，對與圖1所示之安裝構造為相同的部位、構件係標註相同的元件符號且省略其詳細說 明。
圖8所示之壓力檢測器1係在壓力檢測元件6使用具備有將金屬細線或金屬箔的電阻線以絕緣物包覆而形成為薄膜狀之應變計部6a的金屬應變計者，將前述應變計部6a固接在對應受壓室4的壓力而位移之隔膜3a的上面，並且在感測器基座2’的內方安裝檢測電阻變化的橋式電路6b，將應變計部6a及橋式電路6b以配線23相連接者。
其中，在圖8之壓力檢測器1中，係使用將應變計部6a及橋式電路6b形成為不同個體的金屬應變計，但是亦可將使兩者合體之構成的金屬應變計固接在隔膜3a的上面。
此外，在圖8之壓力檢測器1中，係將隔膜3a與感測器基座2’一體形成，但是當然亦可使用例如圖1的壓力檢測元件6般獨立的壓力轉換器，並且藉由使間隔壁隔膜3及壓力傳達媒體消失，將隔膜3a形成為與感測器基座2’為不同個體。
此時，以壓力轉換器而言，並非為擴散型壓力轉換器，而是將隔膜藉由不銹鋼或赫史特合金、陶瓷形成，並且在該隔膜上直接藉由厚膜或薄膜形成應變計，藉此可提供耐腐蝕性或耐高溫性優異的壓力檢測器。
在上述之實施形態中，在圖1至圖7係針對隔膜由間隔壁隔膜3及壓力感測隔膜之2個所構成者進行說明，在圖8中係針對隔膜由1個所構成者進行說明，惟 隔膜的構成當然並非侷限於該等。
1‧‧‧壓力檢測器
2‧‧‧殼體
2’‧‧‧感測器基座
2”‧‧‧管座
3‧‧‧間隔壁隔膜
4‧‧‧受壓室
5‧‧‧壓力室
6‧‧‧壓力檢測元件
7‧‧‧引線接腳
8‧‧‧蓋件
9‧‧‧導管
10‧‧‧壓力導入孔
11‧‧‧墊片按壓件
11a‧‧‧墊片按壓件的突部
12‧‧‧墊片
13‧‧‧開口環
13a‧‧‧開口環的嵌合凹部
14‧‧‧罩蓋
14a‧‧‧罩蓋的公螺旋部
14b‧‧‧罩蓋的嵌合部
15‧‧‧安裝具本體
15a‧‧‧安裝具本體的母螺旋部
16‧‧‧插裝孔
17‧‧‧流路
18‧‧‧連通孔
19‧‧‧感測器基座的凹陷部
20‧‧‧管座的凹陷部
21‧‧‧熔接

Claims (4)

  1. 一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體的插裝孔內之壓力檢測器之安裝構造，該壓力檢測器係具備有：形成有壓力導入孔的殼體、設在該殼體內且與前述壓力導入孔相連通的受壓室、對應該受壓室的壓力而位移的隔膜、及藉由該隔膜的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件，其特徵為：前述壓力檢測器之安裝構造係形成為以下構成：具備有：在朝外方突出的狀態下被設在前述殼體，形成前述壓力導入孔的導管；被設在該導管的前端部，比該導管更為大徑之環狀的墊片按壓件；被設在前述安裝具本體的插裝孔的底面，為前述墊片按壓件的前端面所抵接之環狀的墊片；抵接於與前述墊片按壓件的前端面為相反側的面的開口環；及安裝卸下自如地被插裝在前述安裝具本體的插裝孔內，按壓前述開口環的罩蓋，將前述墊片按壓件及前述開口環插入在前述安裝具本體的插裝孔內，並且將前述罩蓋插裝在前述插裝孔，將該罩蓋緊固在前述安裝具本體側，藉由前述開口環按壓前述墊片按壓件及前述墊片，將該墊片的一端面與前述插裝孔的底面之間及前述墊片的另一端面與前述墊片按壓件的前端面之間分別形成為密封部。
  2. 一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體的插裝孔內之壓力檢測器之安裝構造，該壓力檢測器係具備 有：形成有壓力導入孔的殼體、設在該殼體內且與前述壓力導入孔相連通的受壓室、對應該受壓室的壓力而位移的隔膜、及藉由該隔膜的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件，其特徵為：前述壓力檢測器之安裝構造係形成為以下構成：具備有：在朝外方突出的狀態下被設在前述殼體，形成壓力導入孔的導管；被設在該導管的前端部，比該導管更為大徑之環狀的墊片按壓件；被設在前述安裝具本體的插裝孔的底面，為前述墊片按壓件的前端面所抵接之環狀的墊片；抵接於與前述墊片按壓件的前端面為相反側的面，具有插入前述導管之插入部的U字狀環；及安裝卸下自如地被插裝在前述安裝具本體的插裝孔內，按壓前述U字狀環的罩蓋，將前述墊片按壓件及前述U字狀環插入在前述安裝具本體的插裝孔內，並且將前述罩蓋插裝在前述插裝孔，將該罩蓋緊固在前述安裝具本體側，藉由前述U字狀環按壓前述墊片按壓件及前述墊片，將前述墊片的一端面與前述插裝孔的底面之間及前述墊片的另一端面與前述墊片按壓件的前端面之間分別形成為密封部。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之壓力檢測器之安裝構造，其中，壓力檢測器的隔膜係具備有：接受來自前述壓力導入孔的壓力的間隔壁隔膜；及設有前述壓力檢測元件的壓力感測隔膜，在前述間隔壁隔膜與前述壓力感測隔膜之間設有填充有壓力傳達用媒體的壓力室。
  4. 如申請專利範圍第1項之壓力檢測器之安裝構造，其中，將前述開口環形成為沿著直徑方向作二分割的開口 環，此外，將前述罩蓋形成為其內徑大於前述墊片按壓件的外徑而且小於前述開口環的外徑的筒狀罩蓋，並且將該罩蓋安裝卸下自如螺接在前述安裝具本體的插裝孔內。
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