TW201448673A - 具主動感測回饋之離子產生裝置 - Google Patents

Abstract

一種具主動感測回饋之離子產生裝置包含一主機單元、一感應單元，及一離子產生單元。該主機單元包括一界定出一容置空間的殼體，及一設置於該容置空間中的控制器，該感應單元與該主機單元電性連接，並包括有一用以偵測離子量的偵測片，該離子產生單元與該主機單元電性連接，並包括有一電路板、一與該電路板電性連接之氣流產生器、一與該電路板電性連接之正離子產生電路，及一與該電路板電性連接之負離子產生電路，該正離子產生電路與該負離子產生電路之電路末端皆裝設有複數靠近該氣流產生器之放電針。

Description

具主動感測回饋之離子產生裝置

本發明是有關於一種離子產生裝置，特別是指一種具主動感測回饋之離子產生裝置。

半導體的相關電子產品需求量的日益趨增，消費者對電子產品演進為追求輕、薄、短、小之訴求，且電子元件不斷的縮小尺寸，相對於半導體晶片的製程也隨之推陳出新，研發出突破現有之技術，以符合市場上電子產品的需求。

再者，半導體產品的製造成本與附加價值均屬高價，且產品的良率將為影響半導體晶片與相關電子商品成本的關鍵，所以半導體晶片製造過程中的每個階段、每一個半導體生產設備，都有著層層的測試及檢驗以為最終的電子產品之良率作把關。

當半導體製程越來越微型化，且製程進入22奈米甚至20奈米以下，今後半導體產品將更容易受環境中的靜電電荷影響而毀壞，所謂靜電是指由物體接觸與分離時負電離子之移動所造成物體偏正電或是負電的效應，使該體積小的半導體產品，因靜電放電(ElectroStatic Discharge，ESD)被打穿、燒毀、劣化、破壞等等情況所毀壞而失效，因此靜電防護成為半導體產業需要克服的課題之一。

參閱圖1為習知台灣發明第I359235號一種機器設備之離子風扇檢知裝置，該機器設備係設有控制各裝置作動之中央處理器23，並於外罩之內部設有至少一用以消除靜電之離子風扇24，該離子風扇24是連接有一檢 知裝置25，該檢知裝置25內設有一微處理單元254及複數偵測單元251，該複數偵測單元251並以線路連接該離子風扇24，而可將該離子風扇24之偵測訊號傳輸至該微處理單元254，該微處理單元254進行比對後將偵測結果經由該中央處理器23傳輸至該顯示單元231顯示偵測結果。

習知所揭露的離子風扇檢知裝置雖可使工作人員便利於機器設備之外部，立即獲知該離子風扇之異常狀態，作相關應變處理以排除異常，但卻無法積極地達到主動控制該離子風扇24所輸出的正、負離子數量，將使得半導體之製程被迫中斷，影響生產時間。

由於靜電不會平白無故消失在環境之中，只要有靜電產生一定會造成破壞，且往往一次的靜電破壞所損失的產值往往是數百萬或數千萬，為了提高產品的可靠度及避免靜電破壞造成的危害，現有製程中主動排除靜電的裝置，實屬有必要再加以改進。

因此，本發明之目的，即在提供一種具主動感測回饋之離子產生裝置，包含一主機單元、一感應單元，及一離子產生單元。

該主機單元包括一界定出一容置空間的殼體，及一設置於該容置空間中的控制器，該感應單元與該主機單元電性連接，並包括有一用以偵測離子量的偵測片，該離子產生單元與該主機單元電性連接，並包括有一電路板、一氣流產生器、一與該電路板電性連接之正離子產生電路，及一與該電路板電性連接之負離子產生電路，該正離子產生電路與該負離子產生電路之電路末端皆裝設有複數靠近該氣流產生器之放電針。

本發明之有益功效在於，該主機單元會依 據該感應單元所偵測到的離子量，分別調節該離子產生單元中之正離子產生電路與該負離子產生電路所產生之正負離子量，當該感應單元所偵測之正、負離子量不平衡且超出一範圍時，該控制器會控制該正離子產生電路與該負離子產生電路釋放出對應的正、負離子數量，以中和靜電電荷，藉以積極地達到主動控制該離子產生單元所輸出的正、負離子數量，確保產品的安全性。

4‧‧‧設備控制電路單元

41‧‧‧停機電壓設定介面

5‧‧‧數據輸出單元

6‧‧‧感應單元

61‧‧‧偵測片

7‧‧‧主機單元

70‧‧‧容置空間

71‧‧‧殼體

72‧‧‧控制器

73‧‧‧顯示器

74‧‧‧警報電路

741‧‧‧警報電壓設定介面

742‧‧‧按鍵

76‧‧‧記憶體電路

8‧‧‧離子產生單元

81‧‧‧電路板

82‧‧‧氣流產生器

83‧‧‧正離子產生電路

84‧‧‧負離子產生電路

85‧‧‧放電針

RX‧‧‧感應訊號

TX‧‧‧控制訊號

圖1是一控制流程圖，說明習知台灣發明第I359235號一種機器設備之離子風扇檢知裝置；圖2是一方塊示意圖，說明本發明具主動感測回饋之離子產生裝置的第一較佳實施例；圖3是一方塊示意圖，說明該第一較佳實施例中一主機單元之細部結構；圖4是一前視示意圖，說明該第一較佳實施例中一離子產生單元之結構示意；及圖5是一方塊示意圖，說明本發明具主動感測回饋之離子產生裝置的第二較佳實施例。

有關本發明之相關申請專利特色與技術內容，在以下配合參考圖式之二個較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

參閱圖2、3，及4，為本發明具主動感測回饋之離子產生裝置的第一較佳實施例，包含一感應單元6、一主機單元7，及一離子產生單元8。

該主機單元7包括一界定出一容置空間70的殼體71，及一設置於該容置空間70中的控制器72。該感應單元6與該主機單元7電性連接，並包括有一用以偵 測離子量的偵測片61，在該第一較佳實施例中，該偵測片61會將所偵測到的離子量發出一感應訊號RX並回傳至該控制器72。

值得一提的是，該主機單元7更包括一設置於該殼體71上並與該控制器72電性連接之顯示器73，用以顯示該感應單元6所偵測到之離子量。

在該第一較佳實施例中，該主機單元7更包括一設置於該容置空間70中，並與該控制器72電性連接之警報電路74，該警報電路74具有一設置於該殼體71上之警報電壓設定介面741，及複數設置於該殼體71上之按鍵742，該複數按鍵742是用以供一使用者設定所欲監測之離子量，當該感應單元6所偵測到的離子量大於該警報電壓設定介面741所設定之數值，則該警報電路74發出警報。在此，應注意的是，該警報電路74為一可發出警示音響之蜂鳴器，或是一可發出光源之發光器，實際實施時，可依使用者之需求自行選擇該警報電路74之警示態樣，不應以此為限。

在此，應注意的是，該主機單元7更包括一設置於該容置空間70中並與該控制器72電性連接之記憶體電路76，該感應單元6所偵測之離子量可儲存於該記憶體電路76內。

該離子產生單元8與該主機單元7電性連接，並包括有一電路板81、一與該電路板電性連接之氣流產生器82、一與該電路板81電性連接之正離子產生電路83，及一與該電路板81電性連接之負離子產生電路84，且該正離子產生電路83與該負離子產生電路84之電路末端皆裝設有複數靠近該氣流產生器82之放電針85。

由此可知，該主機單元7之控制器72會依據該感應訊號RX所偵測之離子量多寡，發出一控制訊號TX給該離子產生單元8之電路板81，並分別調節該離子 產生單元8中之正離子產生電路83與該負離子產生電路84所產生之正負離子量，因此，當該感應單元6所偵測之正、負離子量不平衡且超出一預定範圍時，該控制器72會控制該正離子產生電路83與該負離子產生電路84以其末端所分別對應設置的放電針85，釋放出適當且對應的正、負離子數量，以達到中和靜電電荷之目的。

參閱圖5，為本發明具主動感測回饋之離子產生裝置的第二較佳實施例，該第二較佳實施例與該第一較佳實施例大致相同，相同之處於此不再贅述，不同之處在於，該具主動感測回饋之離子產生裝置更包含一設備控制電路單元4，及一數據輸出單元5。

該設備控制電路單元4與該主機單元7之控制器72電性連接，並包括一停機電壓設定介面41，當該感應單元6所偵測之離子量達到該停機電壓設定介面41所預設之數值時，該設備控制電路單元4會向外發出一停機訊號，且同時發出一訊號通知該控制器72關閉該離子產生單元8，以停止繼續供應正、負離子。

正常情況之下，該設備控制電路單元4持續接收並監視該感應單元6所偵測到的離子量，一旦該感應單元6所偵測到的正、負離子量過多而無法調整時，該設備控制電路單元4會發出停機訊號，且同時發出一訊號通知該控制器72關閉該離子產生單元8，以停止繼續供應正、負離子。若仍在可調整之範圍內，該設備控制電路單元4則持續接收，並監視該感應單元6所偵測到的離子量。

由於本發明具主動感測回饋之離子產生裝置通常是設置於一半導體設備(圖未示)中，所以該設備控制電路單元4所發出的停機訊號是下達停機命令給該半導體設備，以避免靜電繼續破壞半導體產品，降低生產損失。

該數據輸出單元5與該主機單元7之控制器72電性連接，該感應單元6所偵測到的離子量可經由該 數據輸出單元5輸出至外部之儲存設備。值得一提的是，該數據輸出單元5為一有線數據傳輸器，用以與外部之儲存設備電性連接以傳輸資料，或可為一無線數據傳輸器，用以與外部之儲存設備遠距離無線傳輸資料，端視使用者之需求而定，不應以此為限。

配合回顧圖3，實際實施時，該警報電壓設定介面741預設之電壓值通常低於該停機電壓設定介面41預設之電壓值，當感應單元6所偵測到的靜電電壓值界於該警報電壓設定介面741所預設之電壓值與該停機電壓設定介面41預設之電壓值之間時，該警報電路74發出警報，此時該離子產生單元8仍持續運作。若靜電電壓持續增大，達到該停機電壓設定介面41預設之電壓值時，該設備控制電路單元4發出停機訊號，且同時發出一訊號通知該控制器72關閉該離子產生單元8。

經由以上實施例之敘述可知本發明具主動感測回饋之離子產生裝置確實具有下列功效增進之處：

一、靜電主動感測並回饋控制

藉由該主機單元7依據該感應單元6所偵測到的離子量，分別調節該離子產生單元8中之正離子產生電路83與該負離子產生電路84所產生之正負離子量，當該感應單元6所偵測之正、負離子量不平衡且超出一範圍時，該控制器72會控制該正離子產生電路83與該負離子產生電路84釋放出對應的正、負離子數量，以中和靜電電荷，如此可積極地達到主動控制該離子產生單元8所輸出的正、負離子數量。

二、確保產品品質安全

承上，由於該主機單元7會控制該正離子產生電路83與該負離子產生電路84釋放出對應當下所偵測到的正、負離子數量，當該感應單元6所偵測 到的正電荷較高則輸出較多的負離子，當負電荷較高時則輸出較多的正離子，以中和靜電電荷，防止產品遭受靜電破壞，因此能確保產品品質之安全性。

三、生產效率佳

藉由本發明可即時主動調控生產線中的靜電電荷數值，所以當生產線中的靜電電荷數值異常時，半導體設備及生產流程不需要停機維護，可以大大提高生產效率，確保產品交期，協助產業進一步控管生產流程。

綜上所述，本發明之具主動感測回饋之離子產生裝置，藉由該主機單元7依據該感應單元6所偵測到的離子量，分別調節該離子產生單元8中之正離子產生電路83與該負離子產生電路84所產生之正負離子量，當該感應單元6所偵測之正、負離子量不平衡且超出一範圍時，該控制器72會控制該正離子產生電路83與該負離子產生電路84釋放出對應的正、負離子數量，以中和生產線中的靜電電荷，確保半導體產品品質，又因為可以做到及時調控不需停機維修，所以可以大大提高生產效率，確保產品交期，協助產業進一步控管生產流程，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之二個較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

4‧‧‧設備控制電路單元

41‧‧‧停機電壓設定介面

5‧‧‧數據輸出單元

6‧‧‧感應單元

61‧‧‧偵測片

7‧‧‧主機單元

72‧‧‧控制器

8‧‧‧離子產生單元

Claims (10)

1. 一種具主動感測回饋之離子產生裝置，包含：一主機單元，包括一界定出一容置空間的殼體，及一設置於該容置空間中的控制器；一感應單元，與該主機單元電性連接，並包括有一用以偵測離子量的偵測片；及一離子產生單元，與該主機單元電性連接，並包括有一電路板、一與該電路板電性連接之氣流產生器、一與該電路板電性連接之正離子產生電路，及一與該電路板電性連接之負離子產生電路，該正離子產生電路與該負離子產生電路之電路末端皆裝設有複數靠近該氣流產生器之放電針；該主機單元依據該感應單元所偵測到的離子量，分別調節該離子產生單元中之正離子產生電路與該負離子產生電路所產生之正負離子量，當該感應單元所偵測之正、負離子量不平衡且超出一範圍時，該控制器會控制該正離子產生電路與該負離子產生電路釋放出對應的正、負離子數量，以中和靜電電荷。
2. 依據申請專利範圍第1項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該主機單元更包括一設置於該殼體上並與該控制器電性連接之顯示器，用以顯示該感應單元所偵測到之離子量。
3. 依據申請專利範圍第2項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該主機單元更包括一設置於該容置空 間中並與該控制器電性連接之警報電路，該警報電路具有一設置於該殼體上之警報電壓設定介面，及複數設置於該殼體上之按鍵，該複數按鍵是用以供一使用者設定所欲監測之離子量，當該感應單元所偵測到的離子量大於該警報電壓設定介面所設定之數值，則該警報電路發出警報。
4. 依據申請專利範圍第3項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該警報電路為一可發出警示音響之蜂鳴器。
5. 依據申請專利範圍第3項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該警報電路為一可發出光源之發光器。
6. 依據申請專利範圍第3項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該主機單元更包括一設置於該容置空間中並與該控制器電性連接之記憶體電路，該感應單元所偵測之離子量可儲存於該記憶體電路內。
7. 依據申請專利範圍第3或6項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，更包含一設備控制電路單元，該設備控制電路單元與該主機單元之控制器電性連接，並包括一停機電壓設定介面，當該感應單元所偵測之離子量達到該停機電壓設定介面所預設之數值時，該設備控制電路單元會向外發出一停機訊號，且同時發出一訊號通知該控制器關閉該離子產生單元，以停止繼續供應正、負離子。
8. 依據申請專利範圍第7項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，更包含一數據輸出單元，該數據輸出單元與該主機單元之控制器電性連接，該感應單元所偵測到的離子量可經由該數據輸出單元輸出至外部之儲存設備。
9. 依據申請專利範圍第8項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該數據輸出單元為一有線數據傳輸器，用以與外部之儲存設備電性連接並傳輸資料。
10. 依據申請專利範圍第8項所述具主動感測回饋之離子產生裝置，其中，該數據輸出單元為一無線數據傳輸器，用以與外部之儲存設備遠距離無線傳輸資料。