TW201436891A - 空氣離子清洗裝置 - Google Patents

Abstract

本發明用於提供一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、平板電極，置於平板電極間的電磁閥、高壓射頻電壓源、多個支撐部，及兩個抽真空裝置，該支撐部用於放置待清洗的圖像感測器，該氣體輸入裝置用於向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用於遊離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該帶電的氣體組合流向至圖像感測器表面以使該圖像感測器的表面帶電，及使得該圖像感測器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用於將圖像感測器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。

Description

空氣離子清洗裝置

本發明涉及一種空氣離子清洗裝置。

現有技術下，對於準備封裝的圖像感測器通常還需要人為來操作機台，由此將會導致圖像感測器被污染。因此，客戶在要求封裝圖像感測器時，都需要嚴格的限制可容許在圖像感測器上的離子的數量。鑒於此，有必要提供一種可對圖像感測器表面上的離子進行處理的清洗裝置。

本發明的主要目的在於提供一種空氣離子清洗裝置,旨在解決上述的問題。

本發明用於提供一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用於對圖像感測器表面的離子進行清洗，該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置於平板電極間的電磁閥、置於平板電極兩側的高壓射頻電壓源、置於平板電極下方的多個支撐部，及置於支撐部兩側的兩個抽真空裝置，該支撐部用於放置待清洗的圖像感測器，該氣體輸入裝置用於向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用於遊離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該電磁閥用於控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像感測器表面以使該圖像感測器的表面帶電，及使得該圖像感測器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用於將圖像感測器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。

本發明的空氣離子清洗裝置，其通過空氣離子對圖像感測器表面的離子進行清洗，以此避免在清洗的同時對圖像感測器再次污染。

100．．．空氣離子清洗裝置

6．．．圖像感測器

1．．．氣體輸入裝置

2．．．平板電極

3．．．電磁閥

8．．．高壓射頻電壓源

5．．．支撐部

4．．．抽真空裝置

7．．．高壓遊離電極

9．．．傳送裝置

圖1為本發明空氣離子清洗裝置的硬體結構圖。

請參考圖1所示，為一種空氣離子清洗裝置100的硬體結構圖。該空氣離子清洗裝置100用於對圖像感測器6表面的離子進行清洗。

該空氣離子清洗裝置100包括有氣體輸入裝置1、與氣體輸入裝置1連接的平板電極2、置於平板電極2間的電磁閥3、置於平板電極2兩側的高壓射頻電壓源8、置於平板電極2下方的多個可移動的支撐部5、置於支撐部5兩側的兩個抽真空裝置4及分別設置抽真空裝置4外的高壓遊離電極7。該圖像感測器6置於該支撐部5上。

該氣體輸入裝置1用於向平板電極2之間輸入混合氣體。本實施方式中，該氣體輸入裝置1輸入至平板電極2間的混合氣體包括有氧氣及氬氣。該高壓射頻電壓源8用於驅使平板電極2之間的氣體遊離，並產生帶電的氣體組合。該電磁閥3用於控制氣體輸入裝置1向平板電極2間輸入的混合氣體的流量。在清洗圖像感測器6時，該帶電的氣體組合流向至圖像感測器6表面以使該圖像感測器6的表面帶電，該圖像感測器6表面的離子被離子化為帶電離子。由於圖像感測器6帶電表面的電性與圖像感測器6表面的帶電離子的電性相同，因此兩者相斥，該抽真空裝置4用於在圖像感測器6帶電表面與圖像感測器6表面的帶電離子相斥時，很容易將圖像感測器6表面帶電的離子抽離到一個外部吸集器（未標示）內。在抽真空裝置4將圖像感測器6表面帶電的離子抽離到外部吸集器內時，可能會將外部氣體帶入導致該圖像感測器6被再次污染，因此該置於抽真空裝置4外的高壓遊離電極7用於將抽真空裝置4在抽離圖像感測器6表面帶電的離子時所吸入的空氣進行遊離帶電，之後在由抽真空裝置4將氣體遊離後的帶電離子抽離至外部吸集器內，以防止外部氣體再次污染該圖像感測器6。

進一步地，由於該平板電極2每次只能對一個圖像感測器6表面的離子進行清洗，因此，該空氣離子清洗裝置100還包括有固定於支撐部5下方的傳送裝置9，該傳送裝置9用於傳送該支撐部5，以將清洗完成的圖像感測器6移走，而將另外一個支撐部5移動至平板電極2下方，以將另外一個待清洗的圖像感測器6表面的離子進行清洗。

100．．．空氣離子清洗裝置

6．．．圖像感測器

1．．．氣體輸入裝置

2．．．平板電極

3．．．電磁閥

8．．．高壓射頻電壓源

5．．．支撐部

4．．．抽真空裝置

7．．．高壓遊離電極

9．．．傳送裝置

Claims (4)

1. 一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用於對圖像感測器表面的離子進行清洗，其改良在於：該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置於平板電極間的電磁閥、置於平板電極兩側的高壓射頻電壓源、置於平板電極下方的多個支撐部，及置於支撐部兩側的兩個抽真空裝置，該支撐部用於放置待清洗的圖像感測器，該氣體輸入裝置用於向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用於遊離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該電磁閥用於控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像感測器表面以使該圖像感測器的表面帶電，及使得該圖像感測器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用於將圖像感測器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。
2. 如申請專利範圍第1項所述之空氣離子清洗裝置，其中：該空氣離子清洗裝置還包括有分別設置於抽真空裝置外的高壓遊離電極，該高壓遊離電極用於將抽真空裝置在抽離圖像感測器表面帶電的離子時所吸入的空氣遊離為帶電離子。
3. 如申請專利範圍第1項所述之空氣離子清洗裝置，其中：該氣體輸入裝置輸入至平板電極間的混合氣體包括有氧氣及氬氣。
4. 如申請專利範圍第1項所述之空氣離子清洗裝置，其中：該空氣離子清洗裝置還包括有固定於支撐部下方的傳送裝置，該傳送裝置用於傳送該支撐部。