TW201418629A - 輻射燃燒器 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種輻射燃燒器及方法。該輻射燃燒器係用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流，且包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中；及一穿孔襯板，其接近該燃燒表面。提供一穿孔襯板控制通入該燃燒室中之該等燃燒材料以處理該廢氣流且亦提供其上可接收殘留燃燒沈積物之一表面。因此，該襯板可改良該廢氣流處理之效率且可充當可根據一維護制度或在該輻射燃燒器之效能降低時更換或清洗之一犧牲表面。該襯板之此更換或清洗省去必須更換該多孔套管或無法容易移除或清洗之該燃燒室之其他組件。這使該輻射燃燒器能夠以較高流量操作且避免需要增加該輻射燃燒器之大小或需要添加另一輻射燃燒器。

Description

輻射燃燒器
本發明係關於一種輻射燃燒器及方法。
輻射燃燒器為人所知且通常用於處理來自用於(例如)半導體或平板顯示器製造產業中之一製造程序工具之一廢氣流。在此製造期間，自程序工具泵送之廢氣流中存在殘留全氟化合物[PFC]及其他化合物。難以自廢氣流移除PFC且不希望其等釋放至環境中，這係因為其等以具有相對較高的溫室活性而為人所知。
已知輻射燃燒器使用燃燒以自廢氣流移除PFC及其他化合物。通常，廢氣流係含有PFC及其他化合物之氮氣流。使燃料氣體與廢氣流混合且將該氣流混合物輸送至由一小孔氣體燃燒器之出口表面橫向包圍之一燃燒室中。將燃料氣體及空氣同時供應給小孔燃燒器以影響出口表面處之無焰燃燒，使得通過小孔燃燒器之空氣量足以不僅消耗供應至燃燒器之燃料氣體而且消耗注入燃燒室中之氣流混合物中之可燃物。
隨著正在生產的半導體之表面積增加，廢氣中之流量亦增加。
雖然存在用於處理廢氣流之技術，但是該等技術各自具有其等本身缺點。因此，期望提供一種用於處理一廢氣流之改良技術。
根據一第一態樣，提供一種用於處理來自一製造程序工具之一 廢氣流之輻射燃燒器，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中；及一穿孔襯板，其接近該燃燒表面。
該第一態樣認知增加流量之一問題在於：需要處理更大數量的廢氣。一種途徑將為增加該輻射燃燒器之大小。然而，該第一態樣認知此途徑之一問題在於：該輻射燃燒器內之燃燒機制係複雜的且僅僅增加該輻射燃燒器之大小以匹配廢氣之增加的流量可導致該輻射燃燒器之效能降低。又，即使可產生具有適當效能之一較大輻射燃燒器，亦不能在製造場所直接整合此一較大輻射燃燒器與現有處理設備。另一種途徑將為添加進一步輻射燃燒器以增加處理容量。然而，該第一態樣亦認知此途徑之一問題在於：不能在製造場所直接整合此等進一步輻射燃燒器與現有處理設備。該第一態樣進一步認知，雖然可增加通過一輻射燃燒器之廢氣流量，但是這可導致該輻射燃燒器上由非PFC化合物引起的燃燒殘留物或沈積物增加，這隨時間而顯著損害其效能。
因此，提供一種氣體減量設備或輻射燃燒器。該輻射燃燒器可處理來自一製造程序工具之一廢氣流。該輻射燃燒器可包括一燃燒室。該燃燒室可具有使燃燒材料通過之一多孔或可滲透套管。該等燃燒材料可在接近、靠近或鄰近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒。可提供將該廢氣流噴出至該燃燒室中之一或多個廢氣噴嘴。一穿孔、多孔或打孔襯板可經提供而接近、靠近或鄰近該燃燒表面。提供一穿孔襯板控制進入該燃燒室中之燃燒材料以處理該廢氣流且亦提供其上可接收殘留燃燒沈積物之一表面。因此，該襯板可改良該廢氣流之處理效率且可充當可根據一維護制度或在該輻射燃燒器之效能降低時更換或清洗之一犧牲表面。該襯板之此更換或清洗省去必須更換該多孔套管 或無法容易移除或清洗之該燃燒室之其他組件。這使該輻射燃燒器能夠以較高流量操作且避免需要增加該輻射燃燒器之大小或需要添加進一步輻射燃燒器。
在一實施例中，該穿孔襯板係容納在該燃燒室內。因此，該襯板可位於該燃燒器本身內以接收燃燒殘留物並保護該燃燒室之其他組件。
在一實施例中，該等燃燒材料在接近該多孔套管之燃燒表面之一燃燒區中燃燒以產生燃燒產物且該穿孔襯板經定位鄰近該燃燒區。因此，該襯板可經定位鄰近、靠近或接近其中產生燃燒產物之燃燒區。該襯板之確切位置可取決於該燃燒區之特性而改變。在實施例中，該等燃燒產物包括(例如)氧氣。
在一實施例中，該穿孔襯板至少部分沿該燃燒室之一軸向長度延伸。因此，該襯板可沿該燃燒室之全部或一部分之軸向長度延伸。
在一實施例中，該穿孔襯板經穿孔具有複數個孔洞。提供孔洞或孔使燃燒產物能夠自該燃燒區進入該燃燒室中以混合並處理廢氣流。應明白，該等孔洞或孔之確切放置將影響或控制燃燒產物流動至該燃燒室中。
在一實施例中，該穿孔襯板包括一可擴張篩網狀結構。提供一可擴張結構提供使產物自燃燒區通入燃燒室中同時使該襯板能夠撓曲以使沈積物能夠移除之兩個穿孔。
在一實施例中，該輻射燃燒器包括一致動器，該致動器可操作以將該可擴張篩網狀結構保持在該燃燒室內之一保持位置中且將該可擴張篩網狀結構之至少一端位移至一擴張位置。這使該結構能夠固持在該燃燒室內之一所要位置中同時使該結構擴張導致移除該結構上之沈積物。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有 一第一軸向長度且在處於擴張位置中時具有第二軸向長度，其中該第二軸向長度大於該第一軸向長度。因此，該結構之一簡單縱向延伸導致穿孔撓曲並取出沈積物。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有匹配燃燒室之軸向長度之一軸向長度且在處於擴張位置中時具有大於該燃燒室之軸向長度之一軸向長度。應了解，許多實施例包含鄰近燃燒室之出口之一水簾結構，該結構可延伸至燃燒室中。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構包括具有經配置以在處於保持位置中時隔開鄰近線匝之間隔件之一螺旋彈簧。應了解，諸如一蜂窩狀配置或編織套之其他結構亦係可行的，但是提供一螺旋彈簧配置尤其有利於提供在軸向擴張期間維持其外尺寸之一自支撐結構。
在一實施例中，該螺旋彈簧係由一圓柱形基板及一平面基板之一者形成。
在一實施例中，該等間隔件包括以下至少一者：自該螺旋彈簧之一表面之突出部；一環形圈、一套圈及包圍該螺旋彈簧之一表面之一纏繞線圈；及一打褶螺旋彈簧，其具有在該螺旋彈簧之鄰近線匝之間留有間隙的鄰近線匝。當處於保持位置中時，此等間隔件之佈建控制彈簧之鄰近線匝之間的間隔。
在一實施例中，選擇螺旋彈簧及間隔件之尺寸及位置以提供穿孔襯板之一選定孔洞密度。藉由控制螺旋彈簧及間隔件之大小及藉由控制該等間隔件在該螺旋彈簧上之位置，可在處於保持位置中時控制孔洞或穿孔之大小。
在一實施例中，該穿孔襯板之孔洞密度沿軸向長度變化。因此，該等穿孔之每單位表面積之密度、濃度或數量或該襯板之孔表面積對非孔表面積之比率可沿該襯板之軸向長度變化。該襯板中之孔洞或孔之大小及密度之此變動有助於改變該燃燒室之不同部分內之燃燒 產物之流量、密集度或量。改變該燃燒室內之燃燒產物之流量、濃度或量可有助於藉由在準確位置提供準確量的燃燒產物來改良廢氣處理程序之效率。
在一實施例中，該燃燒室具有接近至少一廢氣噴嘴之一噴嘴端及軸向遠離該至少一廢氣噴嘴之一排放端，該穿孔襯板之孔洞密度朝該排放端減小。因此，該襯板中之孔密度或濃度可沿該襯板之軸向長度減小。即，朝廢氣噴嘴之襯板之孔表面積之量高於朝排放端之襯板之孔表面積之量。這有助於增加靠近其中廢氣進入該燃燒室之處之燃燒產物量且減小靠近其中降低未經處理的廢氣之數量之排放端之燃燒產物量。
在一實施例中，該燃燒室具有軸向延伸接近排放端之一排放區，該穿孔襯板之孔洞密度朝該排放區增加。因此，該襯板靠近該排放端之一區域可具有增加或高濃度之孔表面積以增加靠近其中廢氣之處理效率最低之排放端之燃燒產物之濃度。
在一實施例中，該燃燒室具有軸向延伸接近該噴嘴端之一噴嘴區，該穿孔襯板之孔洞密度朝該噴嘴區減小。因此，該襯板靠近該噴嘴端之一區域可具有減小或低濃度之孔表面積以減小其中燃燒殘留物或沈積物導致特定效能降級或難以清洗此等殘留物或沈積物之一區域中之燃燒產物之濃度。
在一實施例中，該穿孔襯板在接近該噴嘴區處未穿孔。
在一實施例中，該輻射燃燒器包括圍繞該燃燒室周向地定位之複數個噴嘴，且該穿孔襯板之孔洞密度接近該複數個噴嘴周向地增加。因此，該襯板之孔表面積之量可在靠近該等噴嘴處增加以將更多的燃燒產物遞送於正自該等噴嘴噴出之廢氣流附近。這有助於確保該等燃燒產物集中在其中最需要其等與廢氣流反應之區域中。
在一實施例中，該輻射燃燒室包括用於將一清洗流體噴出至穿 孔襯板之一清洗區上之至少一噴嘴，該穿孔襯板之孔洞密度朝該清洗區減小。因此，清洗流體可自該噴嘴噴霧至該襯板上。可減小其中該清洗流體撞擊該襯板之區域中之孔洞密度或甚至不提供孔洞，以防止該清洗流體通過該襯板並接觸該多孔套管或該輻射燃燒器之其他潛在可損壞的組件。
在一實施例中，該穿孔襯板包括篩網、線網篩、穿孔板及百葉窗式板之一者。
在一實施例中，百葉窗式板之百葉窗經定向以將燃燒產物引導於該燃燒室內。應明白，該等百葉窗提供用於引導燃燒產物流動至該燃燒室內之指定區域同時亦提供一有效障壁以防止清洗流體通過該襯板之一機構。
在一實施例中，該百葉窗式板之百葉窗經定向以在一主表面上接收來自至少一噴霧噴嘴之清洗流體。因此，應明白，使用百葉窗使穿孔能夠設置在該清洗區內。應明白，百葉窗通常係一長、薄平面部件；相對於一子表面(其實際上將係百葉窗之邊緣)，主表面將會係該百葉窗之大(通常「上」或「下」)表面之一者。
在一實施例中，該穿孔襯板可在一容納位置(其中該穿孔襯板容納於該燃燒室內)與一非容納位置(其中該穿孔襯板自該燃燒室突出)之間軸向位移。因此，該襯板可在該燃燒室內移動以自該燃燒室突出以促進清洗。應明白，除提供噴霧噴嘴以外亦可提供此位移，或可提供此位移來代替提供該噴霧噴嘴。
在一實施例中，該穿孔襯板在非容納位置中完全自該燃燒室延伸。自該燃燒室完全移除該襯板進一步有助於輔助其清洗或更換。
在一實施例中，該輻射燃燒器包括用於固持一清洗流體之一清洗槽，且其中該穿孔襯板在該非容納位置中延伸至該清洗槽中。將該襯板浸潤在該清洗槽內有助於移除燃燒殘留物並清洗該襯板。
在一實施例中，該輻射燃燒器包括用於在該清洗槽中攪動該穿孔襯板之構件。應明白，攪動進一步有助於清洗該襯板。
在一實施例中，該穿孔襯板包括用於接納廢氣噴嘴之一相關者之一孔，該穿孔襯板之位移導致該孔相對於該等廢氣噴嘴之該相關者移動以取出位於該相關廢氣噴嘴之一外表面上之任何廢氣處理沈積物。因此，位移該襯板之動作可促進已沈積在噴嘴上之燃燒沈積物或殘留物(其等原本可隨時間降低此等噴嘴之效能)之移除。
在一實施例中，該穿孔襯板係金屬。與嘗試清洗多孔套管或燃燒室之其他組件時將可能施加之機械及熱衝擊應力相比，提供一金屬襯板使得在執行清洗時能夠施加增加之機械及熱衝擊應力。
在一實施例中，該穿孔襯板包括鎳。
在一實施例中，燃燒區及穿孔襯板係圓柱形。
根據一第二態樣，提供一種處理來自一製造程序工具之一廢氣流之方法，該方法包括以下步驟：使燃燒材料通過一燃燒室之一多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；將該廢氣流自至少一廢氣噴嘴噴出至該燃燒室中；及提供一穿孔襯板使之接近該燃燒表面。
在一實施例中，該穿孔襯板係容納在該燃燒室內。
在一實施例中，該等燃燒材料在接近該多孔套管之該燃燒表面之一燃燒區中燃燒以產生燃燒產物且該穿孔襯板經定位鄰近該燃燒區。
在一實施例中，該穿孔襯板至少部分沿該燃燒室之一軸向長度延伸。
在一實施例中，該穿孔襯板經穿孔具有複數個孔洞。
在一實施例中，該穿孔襯板包括一可擴張篩網狀結構。
在一實施例中，該方法包括將該可擴張篩網狀結構保持在燃燒 室內之一保持位置中且將該可擴張篩網狀結構之至少一端位移至一擴張位置。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有一第一軸向長度且在處於擴張位置中時具有第二軸向長度，其中該第二軸向長度大於該第一軸向長度。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有匹配燃燒室之軸向長度之一軸向長度且在處於擴張位置中時具有大於該燃燒室之軸向長度之一軸向長度。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構包括具有經配置以在處於保持位置中時隔開鄰近線匝之間隔件之一螺旋彈簧。
在一實施例中，該螺旋彈簧係由一圓柱形基板及一平面基板之一者形成。
在一實施例中，該等間隔件包括以下至少一者：自該螺旋彈簧之一表面之突出部；一環形圈、一套圈及包圍該螺旋彈簧之一表面之一纏繞線圈；及一打褶螺旋彈簧，其具有在該螺旋彈簧之鄰近線匝之間留有間隙的鄰近線匝。
在一實施例中，該方法包括選擇螺旋彈簧及間隔件之尺寸及位置以提供穿孔襯板之一選定孔洞密度。
在一實施例中，該穿孔襯板之孔洞密度沿軸向長度變化。
在一實施例中，該燃燒室具有接近該至少一廢氣噴嘴之一噴嘴端及軸向遠離該至少一廢氣噴嘴之一排放端，該穿孔襯板之孔洞密度朝該排放端減小。
在一實施例中，該燃燒室具有軸向延伸接近該排放端之一排放區，該穿孔襯板之孔洞密度朝該排放區增加。
在一實施例中，該燃燒室具有軸向延伸接近該噴嘴端之一噴嘴區，該穿孔襯板之孔洞密度朝該噴嘴區減小。
在一實施例中，該穿孔襯板在接近該噴嘴區處未穿孔。
在一實施例中，噴出步驟包括自圍繞該燃燒室周向定位之複數個噴嘴噴出，且其中該穿孔襯板之孔洞密度接近該複數個噴嘴周向地增加。
在一實施例中，該方法包括將一清洗流體自至少一噴霧噴嘴噴出至該穿孔襯板之一清洗區上之步驟，且其中該穿孔襯板之孔洞密度朝該清洗區減小。
在一實施例中，該穿孔襯板包括篩網、線網篩、穿孔板及百葉窗式板之一者。
在一實施例中，該百葉窗式板之百葉窗經定向以將燃燒產物引導於該燃燒室內。
在一實施例中，該百葉窗式板之百葉窗經定向以在一主表面上接收來自至少一噴霧噴嘴之清洗流體。
在一實施例中，該方法包括在一容納位置(其中該穿孔襯板容納於該燃燒室內)與一非容納位置(其中該穿孔襯板自該燃燒室突出)之間軸向位移該穿孔襯板之步驟。
在一實施例中，該穿孔襯板在該非容納位置中自該燃燒室完全延伸。
在一實施例中，軸向延伸之步驟包括將該穿孔襯板延伸至固持一清洗流體之一清洗槽中。
在一實施例中，該方法包括在該清洗槽中攪動該穿孔襯板之步驟。
在一實施例中，該穿孔襯板包括用於接納該等廢氣噴嘴之一相關者之一孔，且該方法包括位移該穿孔襯板以導致該孔相對於該等廢氣噴嘴之該相關者移動以取出位於該相關廢氣噴嘴之一外表面上之任何廢氣處理沈積物之步驟。
在一實施例中，該穿孔襯板係金屬。
在一實施例中，該穿孔襯板包括鎳。
在一實施例中，該燃燒室及該穿孔襯板係圓柱形。
根據一第三態樣，提供一種用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流之一輻射燃燒器之穿孔襯板，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中，該穿孔襯板經塑形且經組態以放置成接近該燃燒表面。
在一實施例中，該穿孔襯板經塑形且經組態以容納在該燃燒室內。
在一實施例中，該等燃燒材料在接近該多孔套管之該燃燒表面之一燃燒區中燃燒以產生燃燒產物且該穿孔襯板經塑形且經組態以定位成鄰近該燃燒區。
在一實施例中，該穿孔襯板經定尺寸以至少部分沿該燃燒室之一軸向長度延伸。
在一實施例中，該穿孔襯板經穿孔具有複數個孔。
在一實施例中，該穿孔襯板包括一可擴張篩網狀結構。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有一第一軸向長度且在處於擴張位置中時具有第二軸向長度，其中該第二軸向長度大於該第一軸向長度。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構在處於保持位置中時具有匹配燃燒室之軸向長度之一軸向長度且在處於擴張位置中時具有大於該燃燒室之軸向長度之一軸向長度。
在一實施例中，該可擴張篩網狀結構包括具有經配置以在處於保持位置中時隔開鄰近線匝之間隔件之一螺旋彈簧。
在一實施例中，該螺旋彈簧係由一圓柱形基板及一平面基板之 一者形成。
在一實施例中，該等間隔件包括以下至少一者：自該螺旋彈簧之一表面之突出部；一環形圈、一套圈及包圍該螺旋彈簧之一表面之一纏繞線圈；及一打褶螺旋彈簧，其具有在該螺旋彈簧之鄰近線匝之間留有間隙的鄰近線匝。
在一實施例中，選擇螺旋彈簧及間隔件之尺寸及位置以提供穿孔襯板之一選定孔洞密度。
在一實施例中，孔洞密度沿軸向長度變化。
在一實施例中，孔洞密度朝一排放端減小。
在一實施例中，孔洞密度朝一排放區增加。
在一實施例中，該穿孔襯板之孔洞密度朝一噴嘴區減小。
在一實施例中，該穿孔襯板在接近該噴嘴區處未穿孔。
在一實施例中，該穿孔襯板之孔洞密度接近複數個噴嘴區域周向地增加。
在一實施例中，該穿孔襯板之孔洞密度朝一清洗區減小。
在一實施例中，該穿孔襯板包括篩網、線網篩、穿孔板及百葉窗式板之一者。
在一實施例中，百葉窗經定向以將燃燒產物引導於該燃燒室內。
在一實施例中，百葉窗經定向以在一主表面上接收來自至少一噴霧噴嘴之清洗流體。
在一實施例中，該襯板包括用於接納一相關廢氣噴嘴之一孔。
在一實施例中，該穿孔襯板係金屬。
在一實施例中，該穿孔襯板包括鎳。
在一實施例中，該穿孔襯板係圓柱形。
根據一第四態樣，提供一種用於處理來自一製造程序工具之一 廢氣流之輻射燃燒器穿孔襯板，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中，該穿孔襯板經塑形且經組態以放置成接近該燃燒表面。
在隨附獨立技術方案及附屬技術方案中陳述進一步特定及較佳態樣。該等附屬技術方案之特徵可視需要且以不同於申請專利範圍中明確陳述之組合而組合該等獨立技術方案之特徵。
在將一設備特徵描述為可操作以提供一功能之情況下，應明白，這包含提供該功能或經調適或經組態以提供該功能之一設備特徵。
8‧‧‧輻射燃燒器
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
12A‧‧‧區域
12B‧‧‧區域
13‧‧‧噴嘴之外表面
14‧‧‧圓柱形燃燒室
14A‧‧‧燃燒室
15‧‧‧排放口/出口
16‧‧‧內孔
18‧‧‧陶瓷頂板
20‧‧‧燃燒器元件
21‧‧‧出口表面
22‧‧‧充氣部容積
23‧‧‧入口表面
24‧‧‧外殼
25‧‧‧燃燒區
30‧‧‧內孔
32‧‧‧噴霧噴嘴
34‧‧‧撞擊區/區域
40‧‧‧襯板
42‧‧‧穿孔襯板/襯板之內表面
42A‧‧‧襯板
42B‧‧‧端
44‧‧‧襯板之外表面
46‧‧‧頂板區段/頂板
48‧‧‧頂板之直立邊緣
50‧‧‧圓周凸緣
60‧‧‧上區段
62‧‧‧下區段
70‧‧‧區域
72‧‧‧區域
74‧‧‧區域
80‧‧‧固定件
82‧‧‧致動器
82A‧‧‧致動器
83‧‧‧圓柱形管
84‧‧‧水簾饋送器
85‧‧‧孔
86‧‧‧冷卻噴霧
88‧‧‧出口
90‧‧‧水浴
92‧‧‧下室/容器
100A‧‧‧基板
100B‧‧‧基板
102A‧‧‧間隔件
102B‧‧‧間隔件
102C‧‧‧間隔件
102D‧‧‧分離間隔件結構
104‧‧‧穿孔
D‧‧‧距離
d‧‧‧距離
L‧‧‧距離
l‧‧‧距離
現在將參考隨附圖式進一步描述本發明之實施例，其中：圖1圖解說明根據一實施例之一輻射燃燒器；圖2係圖1中所示介於一襯板與噴嘴之間之介面之一放大圖；圖3至圖5圖解說明根據實施例之不同穿孔密度之區域；圖6及圖7圖解說明根據一實施例之襯板之位移；圖8及圖9圖解說明根據一實施例之一輻射燃燒器；圖10A至圖10C圖解說明根據實施例之經盤繞以提供一螺旋彈簧之線匝之一結構；圖11圖解說明根據一實施例之一螺旋彈簧之線匝之一部分之側視圖；及圖12圖解說明根據一實施例之經盤繞以提供一螺旋彈簧之線匝之一結構。
概述
在更詳細論述實施例之前，首先將提供概述。如上文提及，一 輻射燃燒器之燃燒室內之條件可為使得燃燒殘留物歸因於廢氣至燃燒室中之流量變化而沈積在燃燒室內之表面上。此等殘留物通常藉由防止燃燒材料流動通過一燃燒器元件及藉由阻斷噴嘴提供廢氣流而影響燃燒室之效能。此外，殘留物可潛在地影響燃燒室內之燃燒之化學反應。
在燃燒室內提供一穿孔或多孔襯板保護燃燒器元件及/或噴嘴免於此等燃燒沈積物，這係因為燃燒殘留物沈積在襯板上，該襯板可更加方便且以不同於清洗燃燒器元件或噴嘴可使用之方式之多種方式之任一者清洗。例如，可使用一刮刀、藉由將水噴霧至襯板上或藉由使襯板擴張以改變穿孔之形狀並取出沈積物而機械地清洗襯板。此清洗通常將不可行或將損壞燃燒器元件。可就地或藉由自燃燒室移除襯板執行此清洗。又，這係燃燒器元件或噴嘴不容易做到的。此途徑可更容易且更快地清洗輻射燃燒器。
又，襯板之機械配置可經組態以調整燃燒室之燃燒性質。例如，襯板內之穿孔或孔可經定大小且經分佈以影響燃燒室內之燃燒氣體之濃度及流動。又，穿孔之大小及位置可經組態以防止或降低正用以清洗襯板之任何清洗材料接觸且潛在地損壞燃燒元件之可能性。
因此，可知一襯板之配置有助於改良輻射燃燒器之效能。
輻射燃燒器-一般組態及操作
圖1圖解說明根據一實施例之一輻射燃燒器(整體標示為8)。輻射燃燒器8處理通常藉由一真空泵送系統自諸如一半導體或平板顯示器程序工具之一製造程序工具泵送之一廢氣流。在入口10處接收廢氣流。廢氣流自入口10輸送至將廢氣流注入至一圓柱形燃燒室14中之一噴嘴12。在此實施例中，輻射燃燒器8包括周向配置之4個入口10，其等各自輸送藉由一各自真空泵送系統自一各自工具泵送之一廢氣流。或者，可將來自單個處理工具之廢氣流分割為複數個廢氣流，該複數 個廢氣流之每一者被輸送至一各自入口10。各噴嘴12係位於一各自內孔16內，該各自內孔16形成於界定燃燒室14之一上表面或入口表面之一陶瓷頂板18中。
燃燒室14具有由諸如EP0 694 735中所描述者之一小孔燃燒器元件20之一出口表面21界定之側壁。燃燒器元件20係圓柱形且係保持在一圓柱形外殼24內。在燃燒器元件20之一入口表面23與圓柱形外殼24之間界定一充氣部容積22。經由一或多個入口噴嘴[未展示]將諸如天然氣或碳氫化合物之燃料氣體與空氣之一混合物引入至該充氣部容積22中。燃料氣體與空氣之混合物自燃燒器元件20之入口表面23通過至燃燒器元件20之出口表面21以在燃燒室14內燃燒。
燃料氣體與空氣之混合物之比率經改變以將燃燒室14內之溫度改變為適用於處理廢氣流之溫度。又，將燃料氣體與空氣之混合物引入至充氣部容積22中之速率經調整使得混合物將在燃燒器元件20之出口表面21處燃燒而無可見火焰。燃燒室14之排放口15開放以使燃燒產物能夠自輻射燃燒器8輸出。
因此，可知透過入口10接收且由噴嘴12提供至燃燒室14之廢氣係在燃燒室14內燃燒，該燃燒室14係藉由在靠近燃燒器元件20之出口表面21處燃燒之燃料氣體與空氣之混合物加熱。此燃燒導致燃燒室14之加熱且取決於提供至燃燒室14之空氣/燃料混合物[CH4、C3H8、C4H10]提供通常在7.5%至10.5%之一範圍內之燃燒產物，諸如氧氣。此熱量及燃燒產物與燃燒室14內之廢氣流反應以清洗廢氣流。例如，可在廢氣流內提供與燃燒室14內之O2反應以產生SiO2、N2、H2O、NOx之SiH4及NH3。類似地，可在廢氣流內提供與燃燒室14內之O2反應以產生CO2、HF、H2O之N2、CH4、C2F6。
穿孔襯板-固定配置
在燃燒室14內提供一襯板40。在此實施例中，襯板40係圓柱形 且接納在燃燒室14內鄰近燃燒器元件20之出口表面21。燃料氣體與空氣之混合物之燃燒發生在一燃燒區25內鄰近燃燒器元件20之出口表面21。在此實施例中，襯板40之外表面44經定位鄰近燃燒區25，使得燃燒產物通過襯板40之穿孔且進入燃燒室14。然而，應明白，襯板40相對於燃燒器元件20之出口表面21以及燃燒區25之確切位置可經改變以改變燃燒室14內之條件。
襯板40經穿孔以使燃燒產物能夠自燃燒區25進入燃燒室14中。如下文將更詳細地描述，此等穿孔之大小及分佈經選擇以促進燃燒產物自燃燒區25分佈及流動至燃燒室14中。又，穿孔之大小及分佈可經改變以在清洗襯板40期間保護燃燒器元件20免受損壞。應明白，可以多種不同方式提供穿孔；例如，襯板40可經打孔或軋製以在正確位置產生孔或甚至可裝有百葉窗。
在此實施例中，襯板40係由兩個部分形成；即一圓柱形區段及一頂板區段。附接圓柱形區段及頂板區段46。頂板46具有夾持在輻射燃燒器8之一上區段60與一下區段62之間之一徑向外圓周凸緣。這使襯板40保持在燃燒室14內的適當位置中。
噴霧噴嘴
為清洗固定襯板，提供陶瓷頂板18中之一進一步內孔30，在燃燒室14之入口端處一噴霧噴嘴32延伸通過該進一步內孔30。噴霧噴嘴32被供應來自一蓄液器之一清洗流體(諸如水)，蓄液器經操作以在一選定壓力下施配來自噴霧噴嘴32之選定或固定量的流體(諸如水)。噴霧噴嘴32之幾何形狀界定清洗流體之一噴霧圖案。在此實例中，提供一120°噴出噴嘴，其以具有導致清洗流體撞擊在襯板40之一撞擊區34上之一角公差之一120°圓錐引導流體。
清洗流體接觸熱襯板40之內表面之機械撞擊、汽化及/或熱衝擊導致沈積在襯板40上之燃燒殘留物脫離。
噴嘴清洗
如圖2中更詳細地可知，頂板46包括若干孔，該等孔之各者接納一各自噴嘴12。該等孔係藉由頂板之直立邊緣48加以界定，可容許直立邊緣48提供與噴嘴12之一外表面13之一干涉配合。頂板46之直立邊緣48的存在使自燃燒室14移除襯板40時能夠刮除沈積在噴嘴12之外表面13上之任何燃燒殘留物。
在圖1中所示之實施例中，藉由分離輻射燃燒器8之上區段60與下區段62達成襯板40之移除。然而，在下文更詳細描述之實施例中，可在不分離上區段60與下區段62之情況下自燃燒室14位移襯板40。
穿孔襯板-可位移配置
圖6圖解說明根據一實施例之省略噴霧噴嘴32之一可位移配置。為清洗襯板40，使襯板14自燃燒室14之排放口15位移以進行清洗。通常，襯板40經位移至一水浴90中。將襯板40浸潤在水浴中導致一機械撞擊、汽化及/或熱衝擊，從而取出燃燒殘留物。接著，可在水浴內攪動襯板40或可攪動水浴本身以促進清洗。
特定言之，穿孔襯板42(其經展示處於容納或縮回位置中)藉由與一致動器82耦合之一固定件80保持。整體標示為92之一下室與圓柱形外殼24耦合。下室92提供離開燃燒室14之經處理廢氣之冷卻。經處理廢氣進入一圓柱形管83、流動通過一孔85且自一出口88流出。圓柱形管83具有在方向A上流動且藉由一水簾饋送器84饋送之一水簾。一冷卻噴霧86經引導朝向孔85水簾。冷卻噴霧86有助於冷卻經處理之廢氣且捕獲微粒材料。水浴90係維持在容器92之下部處。
圖7展示處於非容納或突出位置中之穿孔襯板42。穿孔襯板42係藉由致動器82位移至水浴90中。將穿孔襯板42浸潤在水浴90內導致移除殘留沈積物。使致動器82往復運動有助於在水浴90內攪動襯板42。致動器82可經縮回以位移穿孔襯板42且使穿孔襯板42往回容納在燃燒 室14內。位移穿孔襯板42有助於移除噴嘴12上之任何殘留沈積物。
應明白，對於此一配置，省略圓周凸緣50且代替性地藉由固定件80及致動器82將襯板40保持在燃燒室14內。接著，位移機構可使襯板40返回至如圖1中所示之容納位置。
位移襯板40導致移除噴嘴12之外表面13上之燃燒殘留物。
在固定配置及可位移配置二者中，可插入接觸襯板40之內表面且提供機械清洗之一機械刮刀。或者或此外，機械刮刀可位於水浴90中且可在襯板40位移至非容納位置期間接合襯板40。
穿孔襯板-可擴張篩網配置
圖8及圖9圖解說明根據一實施例之一輻射燃燒器。此實施例併有上下文提及之實施例之所有特徵，但是此實施例省略噴霧噴嘴32及致動器82之佈建。代替性地，如自下文描述應明白，提供經操作以使一襯板42A擴張以移除沈積物之一經修改致動器82A。然而，應了解，進一步實施例亦可包含噴霧噴嘴32以將清洗流體噴出至襯板42A及/或致動器82上以依類似於上文提及之方式之一方式位移襯板42A。
在此實施例中，襯板42A係圓柱形且其接納在鄰近於燃燒器元件之出口表面之燃燒室14內。在鄰近於燃燒器元件之出口表面之一燃燒區內發生燃料氣體與空氣之混合物之燃燒。在此實施例中，襯板42A之外表面經定位鄰近燃燒區使得燃燒產物通過襯板42A之穿孔並進入燃燒室14A。然而，應了解，可改變襯板42A相對於燃燒器元件之出口表面及燃燒區之確切位置以改變燃燒室14A內之條件。
襯板42A係經穿孔以使燃燒產物能夠自燃燒區通入燃燒室14A中之一可擴張篩網。如下文更詳細地描述，此等穿孔之大小及分佈經選擇以促進燃燒產物自燃燒區至燃燒室14A中之分佈及流動。又，對於併有噴霧噴嘴之該等實施例，可改變穿孔之大小及分佈以在清洗襯板42A期間保護燃燒器元件免遭損壞。應了解，可以多種不同方式提供 穿孔；例如，襯板42A可如下文更詳細解釋般由一螺旋彈簧形成或甚至可為一編織套。
在此實施例中，襯板42A係由兩個部分形成：即一圓柱形區段及一頂板區段。附接圓柱形區段及頂板區段。頂板具有夾持在輻射燃燒器之一上區段與一下區段之間之一徑向外圓周凸緣。這使襯板42A保持在燃燒室14A內的適當位置。
在一替代性實施例中，其中襯板42A亦自燃燒室14A之排放口位移以依上文描述之方式進行清洗，襯板42A係藉由與除經修改致動器82A以外之致動器82耦合之一固定件保持。這使襯板42A能夠擴張且如上文提及般浸潤及/或手動刮除。
經修改致動器82A耦合於與頂板區段相對之端42B。當期望自襯板42A移除沈積物時，經修改致動器82A致動以使襯板42A之長度在圖9中所示之方向B上延伸。在位移端42B時，頂板區段將襯板42A保持在適當位置。經修改致動器82A使用一環形圈與端42B連接。襯板42之延伸導致襯板42A之穿孔延伸並撓曲，因此取出任何沈積物。如圖8中所示，一旦襯板42A已延伸達所需量，經修改致動器82A便反轉擴張且使襯板42A還原回至其保持位置。
通常，擴張將設法使穿孔之大小擴張達大約一半且將需要襯板42A之軸向長度延伸達通常介於其在保持位置中之軸向長度之三分之一與三分之二之間。
此配置之一優點係：透過一簡單機械位移，可取出沉積物。此位移與圖7中所示之位移技術相比可相對較快地執行，且與上文提及之技術之任一者相比對燃燒室14A內之條件具有減小之影響。
如上文提及，襯板42A之一實施例包括一螺旋彈簧。圖10A至圖10C圖解說明經盤繞以提供此一螺旋彈簧之線匝之結構。提供一基板100A；100B。該基板可為具有一大致圓形橫截面之圓柱形或可為具 有一大致直線形橫截面之平面。
提供包圍基板100A；100B或自基板100A；100B突出之間隔件102A；102B；102C。特定言之，間隔件102A包括纏繞在基板100A；100B外部周圍之一較小直徑基板(諸如導線)。間隔件102B包括自基板100A；100B之表面延伸之突出部。間隔件102C包括設置於基板100A；100B之外表面上之一環形圈或一套圈。
基板100A；100B之直徑係由距離D表示。基板100A；100B之一外表面與間隔件102A；102B；102C之一外表面之間的距離係由距離d表示。間隔件102A；102B；102C之長度係由距離l表示。鄰近間隔件之間的距離係由距離L表示。如圖11中所示，當襯板42A處在保持位置中時，距離d、D、l及L判定穿孔104之大小及幾何形狀。通常，距離D將為大約1.5mm至2mm，而距離d通常將為大約2mm至2.5mm。通常，距離l及L經選擇以避免接觸螺旋彈簧之鄰近線匝上之間隔件。然而，亦應了解可視需要調整此等間隔件使得其等接觸。
又，應了解，當處於保持位置中時，藉由沿基板之長度改變距離d、D、l及L可改變襯板42A內之穿孔之密度，如下文更詳細地描述。
圖12圖解說明根據一實施例之一替代性螺旋彈簧結構。在此實施例中，提供基板100A；100B。然而，提供本身形成為一螺旋彈簧且該螺旋彈簧之線匝在基板100A；100B之鄰近線匝之間交錯之一分離間隔件結構102D，而非提供包圍基板100A；100B之間隔件。特定言之，間隔件102C包括以往復、正弦曲線或鋸齒輪廓波動之一打褶基板，該打褶基板接著被纏繞成一螺旋彈簧。當處於保持位置中時，由波動提供之間隔提供穿孔。
襯板穿孔-燃燒產物一般流動控制
為控制燃燒產物自燃燒區25至燃燒室14中之引入，如圖3中所示 般改變穿孔之大小及分佈。為改良清晰度，將圓柱形部分展示為一矩形網格。
如可知，在鄰近陶瓷頂板18之一區域70中，不提供穿孔或提供低密度的穿孔。視需要，在鄰近燃燒室14之排放口15之一區域74中，提供較高密度的穿孔。在介於區域70與74之間之一區域72中，穿孔密度自朝向區域70之較高穿孔密度變化為朝向區域74之較低穿孔密度。
在接近於噴嘴12之區域72中提供較高密度的穿孔有助於增加燃燒產物在燃燒室14內廢氣流燃燒之區域中之分佈。一般而言，朝向出口15降低穿孔密度會隨著未經處理之廢氣流之量的降低而降低燃燒產物量。
提供具有高穿孔密度之區域74亦增加其中燃燒效率可能較低之出口15附近的燃燒產物之密度。降低區域70中之穿孔密度有助於降低燃燒產物在燃燒室14內廢氣流經歷較少燃燒之區域中之分佈。
襯板穿孔-燃燒產物流動-噴嘴最佳化
為控制燃燒產物自燃燒區25至燃燒室14中之引入，如圖4中所示般改變穿孔之大小及分佈。為改良清晰度，將圓柱形部分展示為一矩形網格。
在圖1中所示之實施例中，提供周向等距間隔之4個噴嘴12。該等噴嘴12之相對位置在圖4中加以示意指示。為使燃燒產物集中存在於該等噴嘴12之各者附近，相較於區域12b中之穿孔密度增加區域12a中之穿孔密度。
應明白，取決於噴嘴12之特定數目及組態，區域12a及12b之精確位置將改變以匹配。
襯板穿孔-噴霧保護
為防止損壞燃燒器元件20，如圖5中所示般改變穿孔之大小及分佈。為改良清晰度，將圓柱形部分展示為一矩形網格。
如可知，提供無穿孔或低穿孔密度之一區域34。這防止或降低自噴霧噴嘴噴出之任何清洗流體通過襯板40並接觸燃燒器元件20且導致對燃燒器元件20之損壞之可能性。
應明白，在利用百葉窗而非穿孔之實施例中，無需區34之存在。
襯板穿孔-密度組合
為提供燃燒產物控制及噴霧保護，可組合圖3、圖4及/或圖5中展示之密度以達到穿孔襯板之一適當密度輪廓。特定言之，可省略(例如)區70及74。
如上文提及，諸如矽烷、氯矽烷及有機矽烷之廢氣之處理產生固體副產物，諸如SiO2及Si3N4。此等固體副產物趨於沈積在輻射燃燒器內之表面上。沈積速率足夠大使得通常代替性使用紊流火焰燃燒器來處理通常產生於光伏打太陽能及平板顯示器程序期間之此等氣體。
在實施例中，將一穿孔網篩插置在燃燒器元件與燃燒室之間。例如，將一6英寸直徑網篩安裝在一7英寸直徑燃燒器元件內。燃燒器係以一習知方式點燃，其中穿孔網篩形成至燃燒室之一氣體清除輻射邊界。網篩可覆蓋有一金屬板，金屬板經穿孔以容許各種頭部配件突出，例如一引火燃燒器、程序噴嘴、熱電偶等等。這提供一犧牲表面，涵蓋通常易於沈積且由實質上比基底部分[其等目前係用於頭絕緣之陶瓷纖維及用於燃燒器元件之複合金屬纖維/陶瓷纖維]更穩健之材料製成之區域。提供一穿孔網篩提供可被清洗之表面。在一實施例中，藉由撞擊來自一高壓噴霧噴嘴之水滴清洗該等部分。在另一實施例中，襯板係安裝在一致動器上，從而容許將襯板自燃燒器平移出且浸入緊接於燃燒器下方的一水槽中。
網篩可為經軋製且經焊接之一簡單穿孔板或經打孔具有百葉窗 使得向下引導燃燒副產物，但防止任何水噴霧或水流[若允許通過燃燒室頂部]接觸燃燒器之表面。或者，可採用一針織線編織網篩(knitted wire braided wire screen)。
襯板必須能夠耐受燃燒室之高溫氧化條件且亦耐受清洗事件之較高熱衝擊。因此，襯板可包含inconnel 600或類似合金。或者，可配合一重高磷無電極鍍鎳使用軟鋼。當在一真空爐中將鎳塗層加熱至文火燉燒溫度[800℃ 250℃]時，鎳塗層流動至軟鋼之表面中且隨後磷經燃盡，從而取決於磷含量而留下具有大約1440℃之一熔點及800℃至1200℃之一塗層熔點之本質上純鎳之一無孔塗層。
如上文提及，實施例提供諸如矽烷氯矽烷及有機矽烷產物固體副產物(諸如SiO2及Si3N4)之處理氣體之燃燒減量。此等固體副產物趨於沈積在減量系統內之表面上，例如頭部陶瓷及輻射燃燒器之燃燒器襯板上。
儘管提供最佳減量效能(就處理每升氣體至一定義破壞或移除效率位準所使用之燃料而言)，此等燃燒器亦由用於最嚴厲的光伏打太陽能電池及平板顯示程序之較差紊流火焰燃燒器取代。然而，實施例提供一配置(其提供此等程序之減量)，從而組合輻射燃燒器之效率及效能與一更簡單紊流火焰裝置之維護之間之平均時間。
在一實施例中，將一穿孔網篩插置在輻射燃燒器與燃燒室之間。例如，一6”直徑網篩安裝在一7”直徑燃燒器中。以習知方式點燃燃燒器，其中穿孔網篩形成至燃燒室之一氣體清除輻射邊界。網篩可覆蓋有一金屬板，金屬板經穿孔以容許各種頭部配件突出-例如引火燃燒器、程序噴嘴、熱電偶等等。這提供一犧牲表面，涵蓋通常易於沈積且由實質上比基底部分[其等目前係用於頭部絕緣之陶瓷纖維及用於燃燒器襯板之複合金屬纖維/陶瓷纖維]更穩健之材料製成之區域。
在另一實施例中，網篩係由導線軋製之一擴張網篩，其中沿導線之間隔件使導線之線匝保持於界定網板之開放性之一相互分離。為清洗網篩，藉由向下平移網篩之下端而使網篩擴張(上端需固定)。網篩可類似於一交叉過濾器，但是針對一類似大小的導線，導線之間隔將必須為(例如)1mm。此方法尤其適用於一同心燃燒器，其中水噴霧/水蒸氣清洗方法係不切實際的。
雖然本文中已參考隨附圖式詳細地揭示本發明之闡釋性實施例，但是應瞭解，本發明不限於精確實施例且可在本發明中藉由熟習此項技術者實現各種改變及修改而不脫離如藉由隨附申請專利範圍及其等效物定義之本發明之範疇。
8‧‧‧輻射燃燒器
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
14‧‧‧圓柱形燃燒室
15‧‧‧排放口/出口
16‧‧‧內孔
18‧‧‧陶瓷頂板
20‧‧‧燃燒器元件
21‧‧‧出口表面
22‧‧‧充氣部容積
23‧‧‧入口表面
24‧‧‧外殼
25‧‧‧燃燒區
30‧‧‧內孔
32‧‧‧噴霧噴嘴
34‧‧‧撞擊區/區域
40‧‧‧襯板
42‧‧‧穿孔襯板/襯板之內表面
44‧‧‧襯板之外表面
46‧‧‧頂板區段/頂板
50‧‧‧圓周凸緣
60‧‧‧上區段
62‧‧‧下區段
70‧‧‧區域
72‧‧‧區域
74‧‧‧區域

Claims (23)

  1. 一種用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流之輻射燃燒器，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中；及一穿孔襯板，其接近該燃燒表面。
  2. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板包括一可擴張篩網狀結構。
  3. 如請求項2之輻射燃燒器，其包括一致動器，該致動器可操作以將該可擴張篩網狀結構保持在該燃燒室內之一保持位置中且將該可擴張篩網狀結構之至少一端位移至一擴張位置。
  4. 如請求項3之輻射燃燒器，其中該可擴張篩網狀結構在處於該保持位置中時具有一第一軸向長度，且在處於該擴張位置中時具有第二軸向長度，其中該第二軸向長度大於該第一軸向長度。
  5. 如請求項3或4之輻射燃燒器，其中該可擴張篩網狀結構在處於該保持位置中時具有匹配該燃燒室之軸向長度之一軸向長度且在處於該擴張位置中時具有大於該燃燒室之軸向長度之一軸向長度。
  6. 如請求項2至4中任一項之輻射燃燒器，其中該可擴張篩網狀結構包括具有經配置以在處於該保持位置中時隔開鄰近線匝之間隔件之一螺旋彈簧。
  7. 如請求項6之輻射燃燒器，其中該螺旋彈簧係由一圓柱形基板及一平面基板之一者形成。
  8. 如請求項6之輻射燃燒器，其中該等間隔件包括以下至少一者： 自該螺旋彈簧之一表面之突出部；一圓形圈、一套圈及包圍該螺旋彈簧之一表面之一纏繞線圈；及一打褶螺旋彈簧，其具有在該螺旋彈簧之鄰近線匝之間留有間隙的鄰近線匝。
  9. 如請求項6之輻射燃燒器，其中該螺旋彈簧及該等間隔件之尺寸及位置經選擇以提供該穿孔襯板之一選定孔洞密度。
  10. 如請求項1至4中任一項之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板之孔洞之一密度沿該軸向長度變化。
  11. 如請求項10之輻射燃燒器，其中該燃燒室具有接近該至少一廢氣噴嘴之一噴嘴端及軸向遠離該至少一廢氣噴嘴之一排放端，該穿孔襯板之該等孔洞之該密度朝該排放端減小。
  12. 如請求項10之輻射燃燒器，其中該燃燒室具有軸向延伸接近該排放端之一排放區，該穿孔襯板之該等孔洞之該密度朝該排放區增加。
  13. 如請求項10之輻射燃燒器，其中該燃燒室具有軸向延伸接近該噴嘴端之一噴嘴區，該穿孔襯板之該等孔洞之該密度朝該噴嘴區減小。
  14. 如請求項13之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板在接近該噴嘴區處未穿孔。
  15. 如請求項10之輻射燃燒器，其包括圍繞該燃燒室周向定位之複數個該等噴嘴，且其中該穿孔襯板之該等孔洞之該密度接近該複數個該等噴嘴周向地增加。
  16. 如請求項10之輻射燃燒器，其包括用於將一清洗流體噴出至該穿孔襯板之一清洗區上之至少一噴霧噴嘴，該穿孔襯板之該等孔洞之該密度朝該清洗區減小。
  17. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板包括一百葉窗式板，且該百葉窗式板之百葉窗經定向以將燃燒產物引導於該燃燒室 內。
  18. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板包括一百葉窗式板，且該百葉窗式板之百葉窗經定向以在一主表面上接收來自該至少一噴霧噴嘴之該清洗流體。
  19. 如請求項1至4中任一項之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板可在其中將該穿孔襯板容納於該燃燒室內之一容納位置與其中該穿孔襯板自該燃燒室突出之一非容納位置之間軸向位移。
  20. 如請求項19之輻射燃燒器，其包括用於固持一清洗流體之一清洗槽，且其中該穿孔襯板在該非容納位置中延伸至該清洗槽中。
  21. 如請求項1至4中任一項之輻射燃燒器，其中該穿孔襯板包括用於接納一相關廢氣噴嘴之一孔，該穿孔襯板之移位導致該孔相對於該相關廢氣噴嘴移動以取出位於該相關廢氣噴嘴之一外表面上之任何廢氣處理沈積物。
  22. 一種處理來自一製造程序工具之一廢氣流之方法，該方法包括以下步驟：使燃燒材料通過一燃燒室之一多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；將該廢氣流自至少一廢氣噴嘴噴出至該燃燒室中；及提供一穿孔襯板使之接近該燃燒表面。
  23. 一種用於一處理來自一製造程序工具之一廢氣流之輻射燃燒器之穿孔襯板，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；至少一廢氣噴嘴，其用於將該廢氣流噴出至該燃燒室中，該穿孔襯板經塑形且經組態以放置成接近該燃燒表面。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI682127B (zh) * 2014-11-28 2020-01-11 英商愛德華有限公司 輻射燃燒器

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2533293A (en) * 2014-12-15 2016-06-22 Edwards Ltd Inlet assembly
GB2536905B (en) * 2015-03-30 2020-01-08 Edwards Ltd Radiant burner
GB201505447D0 (en) 2015-03-30 2015-05-13 Edwards Ltd Radiant burner
GB2550382B (en) 2016-05-18 2020-04-22 Edwards Ltd Burner Inlet Assembly
JP6777472B2 (ja) * 2016-09-06 2020-10-28 エドワーズ株式会社 除害装置及び除害装置に用いられる堆積物除去手段
SG11201906205UA (en) * 2017-01-06 2019-08-27 Alzeta Corp Systems and methods for improved waste gas abatement
US10711998B2 (en) 2017-10-03 2020-07-14 Lennox Industries Inc. Fresh air intake for low NOx emission furnace
US10711997B2 (en) 2017-10-03 2020-07-14 Lennox Industries Inc. Burner box liner for low NOx emission furnace
US11187433B2 (en) 2017-10-03 2021-11-30 Lennox Industries Inc. Pre-mix burner assembly for low NOx emission furnace
TWI658805B (zh) * 2018-07-03 2019-05-11 關隆股份有限公司 燃燒裝置
US11162677B2 (en) 2019-01-18 2021-11-02 Lennox Industries Inc. Air intake coupling with noise suppression for low NOx emission furnace
US11428438B2 (en) * 2020-04-28 2022-08-30 Rheem Manufacturing Company Carryover burners for fluid heating systems and methods thereof
GB2608819A (en) * 2021-07-13 2023-01-18 Alzeta Corp Pilot unit

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6164220A (en) * 1996-06-25 2000-12-26 Swedish Bioburner System Aktiebolag Rotary burner for solid fuel
GB0005231D0 (en) * 2000-03-03 2000-04-26 Boc Group Plc Abatement of semiconductor processing gases
US7569193B2 (en) * 2003-12-19 2009-08-04 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants
US7736599B2 (en) * 2004-11-12 2010-06-15 Applied Materials, Inc. Reactor design to reduce particle deposition during process abatement
JP5102217B2 (ja) * 2005-10-31 2012-12-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド プロセス削減反応器
TWI570362B (zh) * 2010-12-20 2017-02-11 索拉羅尼克斯股份有限公司 具有浮凸屏之氣體加熱輻射發射體

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI682127B (zh) * 2014-11-28 2020-01-11 英商愛德華有限公司 輻射燃燒器

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