TW201408679A - 用於蒸氣沈積之含鈦前驅物 - Google Patents

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    • C23C16/45553—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the use of precursors specially adapted for ALD

Abstract

本發明揭示含鈦前驅物及其合成方法。該等前驅物可用於藉由使用諸如化學蒸氣沈積或原子層沈積之蒸氣沈積方法來沈積含有氧化鈦、氧化鈦矽及鈦-金屬氧化物之層。

Description

用於蒸氣沈積之含鈦前驅物
本發明揭示含鈦前驅物、其合成方法及使用製造半導體之蒸氣沈積製程使用該等含鈦前驅物沈積含有氧化鈦或氧氮化鈦或經其他金屬摻雜之氧化物的層的方法。
半導體工業面臨的挑戰之一為開發用於DRAM及電容器之新閘極介電材料。數十年來，二氧化矽(SiO2)為可靠介電質，但隨著電晶體持續縮小且該技術已自「全Si」電晶體發展為「金屬閘極/高k」電晶體，基於SiO2之閘極介電質之可靠性已達到其物理極限。隨著當前技術之尺寸縮小，對新的高介電常數材料及製程之需要正在增加且變得更加息息相關。
類似地，用於RAM應用之金屬-絕緣體-金屬構造中需要高k介電質。已考慮滿足材料需求(介電常數、漏電流、結晶溫度、電荷捕獲)及整合需求(界面處之熱穩定性、乾式蝕刻可行性…)兩者之各種金屬組成物。
標準介電材料(如TiO2)或新型介電材料(諸如鈦酸鍶(諸如SrTiO3或Sr2TiO4)、鈦酸鋇鍶或鈦酸鉛鋯)與習知介電材料相比在電容方面提供顯著優勢。新型介電材料對於若干種薄膜應用亦為具有吸引力之候選物，諸如用於電子裝置、抗反射光學塗層、生物相容性塗層、光催化及太陽能電池之高介電常數材料。
然而，沈積含Ti層非常困難且需要新的材料及製程。舉例 而言，原子層沈積ALD已被確定為用於微電子製造之重要薄膜生長技術，其依賴交替施加之前驅物(藉由惰性氣體吹掃加以分隔)的相繼及飽和表面反應。此沈積方法中頻繁使用諸如臭氧或水之氧源。ALD之表面控制性質使得能夠在準確厚度控制下生長具有高保形性及均勻性之薄膜。
在STO ALD沈積中，可利用之Sr前驅物顯示與O3之優良反應性及與水之可接受反應性。然而，使用臭氧作為氧化劑可能對諸如TiN或氧化鍶釕(SRO)之底層造成不合需要之後果。當在高溫下沈積STO膜時，其可能氧化TiN層或部分蝕刻SRO層之Ru。
雖然已揭示Ti化合物之原子層沈積(ALD)，但此等金屬前驅物具有不良反應性(尤其是與水分)及較低穩定性，從而往往需要較低基板溫度及強氧化劑來生長膜，該膜往往被碳或氮污染。
Air Liquide公司證實大部分標準均配Ti分子具有有限ALD製程溫度窗口或無法沈積(R.Katamreddy,V.Omarjee,B.Feist,C.Dussarrat,ECS conference 2008)。舉例而言，在水ALD製程中，Ti分子肆(異丙醇)鈦(TTIP)、肆(二甲基胺基)鈦(TDMAT)、肆(二乙基胺基)鈦(TDEAT)及肆(乙基甲胺基)鈦(TEMAT)具有低於0.6埃/循環之沈積速率及不超過250℃之製程窗口。
需要在較高製程溫度下具有較高熱穩定性的新Ti前驅物。需要高溫製程來產生具有極高介電常數(較佳k50)之高品質TiO2(經摻雜或未經摻雜)及STO膜。
Burger等人揭示二烷基醯胺基-鈦-N-雜環之合成及特徵(Z.anorg.allg.Chemie.Bd.394,1972年12月，第209至304頁)。
在DE4120344中，Kruck等人揭示藉由分解參(二烷基胺基)吡咯基化合物或雙(二烷基胺基)二吡咯基化合物而在基板上沈積含Ti、Zr或Hf之膜。
在EP0741145中，Katayama等人揭示一種催化劑系統，其包含具有環戊二烯基或經取代之環戊二烯基中之至少一者的過渡金屬化合物及至少一種含有雜原子且具有非定域π鍵之環狀配位體。例示性過渡金屬化合物之廣泛清單包括具有鹵化物鍵之分子。
在WO2007/141059中，Dussarrat等人揭示具有式(R1 yOp)x(R2 tCp)zMR'4-x-z之Hf、Zr及Ti化合物，其中0x3；0z3；1(x+z)4；0y7；0t5；R1 yOp表示戊二烯基(Op)配位體；R2 tCp表示環戊二烯基(Cp)配位體；R1及R2獨立地表示Cl、直鏈或分支鏈烷基、N-烷基胺基、N,N-二烷基胺基、直鏈或分支鏈烷氧基、烷基矽烷基醯胺基、脒基或羰基；且R'表示H、F、Cl、Br、I、直鏈或分支鏈烷基、N-烷基胺基、N,N-二烷基胺基、直鏈或分支鏈烷氧基、烷基矽烷基胺基、二烷基矽烷基胺基、三烷基矽烷基胺基、脒基或羰基。代表性化合物包括M(R2 tCp)2(NR2)2及M(R2 tCp)(NR2)3。
在WO 2011/156699 A1中，Norman等人揭示利用位阻咪唑酯配位體之金屬錯合物，其中咪唑酯之至少一個碳經以下基團取代：C1-C10第一、第二或第三烷基；C1-C10第一、第二或第三烷氧基；C1-C10第一、第二或第三烷基胺；經選自由咪唑、吡咯、吡啶、呋喃、嘧啶、吡唑組成之群的經雜原子取代之環結構官能化的C1-C10第一、第二或第三烷基；經醯胺基官能化之C1-C10烷基；經酯基官能化之C1-C10第一、第二或第三烷基；及其混合物。
液體或低熔點(<70℃)IV族前驅化合物且尤其是Ti化合物仍需要同時允許適當分佈(在分佈溫度下之物理狀態及熱穩定性)、較寬自限制ALD窗口及藉由ALD或MOCVD沈積含Ti層。
標記及命名法
某些縮寫、符號及術語用於以下發明說明及申請專利範圍全文中且包括： 如本文所使用，不定冠詞「一(a/an)」意謂一或多。
如本文所使用，縮寫「STO」係指鈦酸鍶；縮寫「BST」係指鈦酸鋇鍶；縮寫「PZT」係指鈦酸鉛鋯。
如本文所使用，術語「烷基(alkyl group)」係指僅含有碳及氫原子之飽和官能基。此外，術語「烷基」係指直鏈、分支鏈或環狀烷基。直鏈烷基之實例包括而不限於甲基、乙基、丙基、丁基等。分支鏈烷基之實例包括而不限於第三丁基。環狀烷基之實例包括而不限於環丙基、環戊基、環己基等。
如本文所使用，縮寫「Me」係指甲基；縮寫「Et」係指乙基；縮寫「Pr」係指任何丙基(亦即，正丙基或異丙基)；縮寫「iPr」係指異丙基；縮寫「Bu」係指任何丁基(正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基)；縮寫「tBu」係指第三丁基；縮寫「sBu」係指第二丁基；縮寫「iBu」係指異丁基；縮寫「ph」係指苯基；縮寫「Cp」係指環戊二烯基；縮寫「Cp*」係指五甲基環戊二烯基。
本文中使用元素週期表之標準元素縮寫。應瞭解，可藉由此等縮寫提及元素(例如，Ti係指鈦，Al係指鋁，Si係指矽，C係指碳等)。
本發明揭示具有下式之分子：Ti(R 1 -R 5 Cp) x (ER 6 R 7 ) y (Cy-胺) z
其中：▪R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7獨立地選自由H及C1-C6烷基組成之群；▪x=0至2；▪y=0至3；▪z=1至4； ▪x+y+z=4；▪E=N或P；▪Cy-胺係指飽和含N環系統或不飽和含N環系統，該含N環系統在鏈中包含至少一個氮原子及4至6個碳原子；其中當x=0時R6及R7≠Me，當x=0時R6及R7≠Et，且當x=4時Cy-胺≠吡咯啶。所揭示之分子可進一步包括一或多個以下態樣：˙該含N環系統由至少一個氮原子及4至6個碳原子組成；˙該含N環系統選自由吡咯、吡咯啶及哌啶組成之群；˙該含N環系統為吡咯；˙該含N環系統為吡咯啶；˙該含N環系統為哌啶；˙該含N環系統進一步包含一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基；˙該(ER 6 R 7 )配位體選自由二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群；˙該(ER 6 R 7 )配位體選自由二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基及甲基異丙基胺基組成之群；˙該(ER 6 R 7 )配位體選自由二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群；˙該(ER 6 R 7 )配位體選自由甲基乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群。
˙x=1，y=0，且z=3；˙x=2，y=0，且z=2；˙x=2，y=1，且z=1； ‧x=1，y=2，且z=1；‧x=1，y=1，且z=2；‧x=0，y=3，且z=1；‧x=0，y=2，且z=2；‧x=0，y=1，且z=3；‧x=0，y=0，且z=4；‧該所揭示之分子選自由以下組成之群：Ti(NMe2)3(NC4H8)、Ti(NEtMe)3(NC4H8)、Ti(NEt2)3(NC4H8)、Ti(NMeiPr)3(NC4H8)、Ti(NMe2)3(NC5H10)、Ti(NEtMe)3(NC5H10)、Ti(NEt2)3(NC5H10)、Ti(NMeiPr)3(NC5H10)、Ti(NMe2)2(NC4H8)2、Ti(NEtMe)2(NC4H8)2、Ti(NEt2)2(NC4H8)2、Ti(NMeiPr)2(NC4H8)2、Ti(NMe2)2(NC5H10)2、Ti(NEtMe)2(NC5H10)2、Ti(NEt2)2(NC5H10)2、Ti(NMeiPr)2(NC5H10)2、Ti(NMe2)(NC4H8)3、Ti(NEtMe)(NC4H8)3、Ti(NEt2)(NC4H8)3、Ti(NMeiPr)(NC4H8)3、Ti(NMe2)(NC5H10)3、Ti(NEtMe)(NC5H10)3、Ti(NEt2)(NC5H10)3、Ti(NMeiPr)(NC5H10)3、Ti(NMe2)(NC4H4)3、Ti(NEtMe)(NC4H4)3、Ti(NEt2)(NC4H4)3、Ti(NMeiPr)(NC4H4)3、Ti(NC4H8)4、Ti(NC5H10)4、Ti(NC4H4)4、Ti(Cp)(NMe2)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NMe2)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NMe2)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NMe2)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NMe2)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NMe2)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC4H4)2、Ti(Cp)2(NMe2)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NMe2)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC5H10)、 Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NMe2)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC4H4)、Ti(Cp)(NC4H8)3、Ti(Cp)(NC5H10)3、Ti(Cp)(NC4H4)3、Ti(Cp)2(NC4H8)2、Ti(Cp)2(NC5H10)2及Ti(Cp)2(NC4H4)2，其中Cp、NC4H4、NC4H8及NC5H10配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基；且亦揭示在基板上沈積含Ti層之方法。將上文所揭示之至少一種含Ti前驅物引入其中安置有至少一個基板的反應器中。使用蒸氣沈積製程將該含Ti前驅物之至少一部分沈積於該至少一個基板上以形成含Ti層。所揭示之方法可進一步包括一或多個以下態樣：˙向該反應器中引入包含至少一種第二前驅物之蒸氣；˙該至少一種第二前驅物之元素選自由2族、13族、14族、過渡金屬、鑭系元素及其組合組成之群；˙該至少一種第二前驅物之該元素選自Mg、Ca、Sr、Ba、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Al、Si、Ge、Y或鑭系元素；˙向該反應器中引入至少一種共反應物；˙該共反應物選自由O2、O3、H2O、H2O2、NO、NO2、羧酸及其組合組成之群；˙該共反應物為水；˙該共反應物為臭氧；˙該含Ti層為氧化鈦層；˙該蒸氣沈積製程為化學蒸氣沈積製程；且˙該蒸氣沈積製程為原子層沈積製程。
本發明揭示含鈦前驅物、其合成方法及其使用方法。
所揭示之混配含鈦前驅物來源於不同類別之配位體系統，諸如環戊二烯基、醯胺及/或環醯胺配位體(飽和環系統或不飽和環系統)。對於較寬製程窗口應用，前驅物設計可輔助改良揮發性、降低熔點(液體或極低熔點固體)、增加與水之反應性且增加熱穩定性。
所揭示之含鈦前驅物具有下式：Ti(R 1 -R 5 Cp) x (ER 6 R 7 ) y (Cy-胺) z
其中：▪R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7獨立地選自由H及C1-C6烷基組成之群；▪x=0至2；▪y=0至3；▪z=1至4；▪x+y+z=4；▪E=N或P；▪Cy-胺係指飽和含N環系統或不飽和含N環系統，該含N環系統在鏈中包含至少一個氮原子及4至6個碳原子。
如上文所定義，C1-C6烷基包括具有1至6個碳原子之任何直鏈、分支鏈或環狀烷基，包括但不限於Me、tBu或環己基。
選擇所揭示之前驅物之組態以最佳化反應性(在一個具體實例中，與H2O)且同時最佳化穩定性。Ti-N鍵較弱且在基板表面上將快速反應。藉由調節此分子，獲得由於較弱位點而在基板上充分反應的前驅物。
所揭示之前驅物具有令人驚訝之揮發性及穩定性。此外，可經由調節環醯胺環尺寸、環取代以及環系統之飽和及不飽和來控制穩定性。
(R 1 -R 5 Cp)配位體具有以下化學結構：
如所說明，環戊二烯基配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基(R1至R5)。例示性(R 1 -R 5 Cp)配位體包括1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-1,3-環戊二烯基；1-丙基-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-1,3-環戊二烯基；1,3-環戊二烯基；1-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；2,3-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；1,2-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；1-乙基-2-甲基-1,3-環戊二烯；1,2,3,4,5-五丙基-1,3-環戊二烯；2-(1,1-二甲基乙基)-1,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；2-丁基-1,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-三甲基-4,5-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,5-三甲基-3,4-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二甲基-2,4,5-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,5-二甲基-1,3,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4,5-三甲基-2,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-二甲基-2,3,5-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-2,3,4-三甲基-1,3-環戊二烯基；2-乙基-3-甲基-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-5-(1-甲基乙 基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四甲基-4-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4,5-四甲基-3-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四甲基-5-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四甲基-5-丙基-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3-二丙基-1,3-環戊二烯基；1-丁基-4,5-二丙基-1,3-環戊二烯基；5-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1-甲基-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-2,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；4-(1,1-二甲基乙基)-1,2-二甲基-1,3-環戊二烯基；1,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-甲基-3-丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-1,3-環戊二烯基；5-丁基-1,2,3,4-四甲基-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-5-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五乙基-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-4-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；5-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二甲基-2-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-二乙基-2,3,5-三甲基-1,3-環戊二烯基；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；5-甲基-2-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；5-甲基-1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；5-丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5- 四乙基-1,3-環戊二烯基；1,2-二甲基-3-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二乙基-1,3-環戊二烯基；2,3-二乙基-1,3-環戊二烯基；5-乙基-1,2,3,4-四甲基-1,3-環戊二烯基；2-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3,4,5-四甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四甲基-4-丙基-1,3-環戊二烯基；1,3-二乙基-2,4,5-三甲基-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-1,3-環戊二烯基；1-丙基-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-1,3-環戊二烯基；1-甲基-1,3-環戊二烯基。
(Cy-胺)配位體係指飽和含N環系統或不飽和含N環系統，該含N環系統在鏈中包含至少一個氮原子及4至6個碳原子。或者，該含N環系統可由至少一個氮原子及4或5個碳原子組成。Cy-胺之結構式包括：
如所說明，(Cy-胺)配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。
(Cy-胺)配位體包括吡咯配位體(本文中一般亦稱為 NC4H4)。吡咯配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。例示性吡咯配位體包括1H-吡咯；2-丁基-3-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,4-三乙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-3-丙基-1H-吡咯；5-乙基-2,3-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2,3,5-三乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-甲基-3,4-二丙基-1H-吡咯；3,4-二氫-5-甲基-3-(1-甲基亞乙基)-2H-吡咯；2-乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-丁基-2,4-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；3-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；4-乙基-2-丙基-1H-吡咯；4-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-1H-吡咯；或2,3-二氫-3-亞甲基-1H-吡咯；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-乙基-2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-甲基-1H-吡咯；2-(2-甲基丙基)-1H-吡咯；3-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-2,4-二甲基-1H-吡咯；3,4-二乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3,4-二乙基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二乙基-1H-吡咯；2,5-雙(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三丙基-1H-吡咯；4-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4-甲基-1H-吡咯； 2,3,4-三甲基-1H-吡咯；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三甲基-1H-吡咯；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-1H-吡咯；2-丁基-1H-吡咯；3-丙基-1H-吡咯；2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-1H-吡咯；2,3,4,5-四甲基-1H-吡咯；3-丁基-1H-吡咯；3,4-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-1H-吡咯；2-乙基-5-甲基-1H-吡咯；2-甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-1H-吡咯；2,3-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4-二甲基-1H-吡咯；或3-乙基-4-甲基-1H-吡咯。
例示性(Cy-胺)配位體包括吡咯啶配位體(本文中一般亦稱為NC4H8)。吡咯啶配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。例示性吡咯啶配位體包括吡咯啶；3-甲基-吡咯啶；2-甲基-吡咯啶；3,3-二甲基-吡咯啶；3,4-二甲基-吡咯啶；3-乙基-吡咯啶；2,2-二甲基-吡咯啶；2-乙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-吡咯啶；3-丙基-吡咯啶；2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；3,3,4-三甲基-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；2,5-二甲基-吡咯啶；2,4-二甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-2-甲基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-吡咯啶；3,3,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3,3-三甲基-吡咯啶；3,4-二乙基-吡咯啶；3-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-吡咯啶；2,4,4-三甲基-吡咯啶；2,2,5-三甲基-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-吡咯啶；4-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,3,4-三甲基-吡咯啶；2-乙基-4-甲基-吡咯啶；2,5-二乙基-吡咯啶；2,2,3,3-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,5,5-四甲基-吡咯啶；2,3-二乙基-吡咯啶；2,2,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-2-丙基-吡咯啶；2,4- 二乙基-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-3,3-二甲基-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-甲基-4-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-5-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2-乙基-5-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-丙基-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-丙基-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-丙基-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-吡咯啶；4-乙基-2-丙基-吡咯啶；2-乙基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,4,5-四甲基-吡咯啶；2,5-雙(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二乙基-3-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-丙基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；4-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-丙基-吡咯啶；3-丁基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-3-甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-(1,1-二甲基乙基)-2-甲基-吡咯啶；3,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-5-甲基-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3-乙基-吡咯啶；3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,3-三乙基-吡咯啶；2-乙基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-4-甲基-吡咯啶；2,2-雙(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-3-(1- 甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；2,2,3,4,5-五甲基-吡咯啶；2-丁基-3-乙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,3-二乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；5-乙基-2,3,3-三甲基-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2,5-二甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-丁基-2,3-二乙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；2,2,5,5-四丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3,3-二丙基-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2-乙基-5-甲基-吡咯啶；或3-丁基-3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶。
例示性(Cy-胺)配位體包括哌啶配位體(本文中一般亦稱為NC4H8)。哌啶配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。例示性哌啶配位體包括哌啶；2,3,5,6-四甲基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-4-乙基-哌啶；2-甲基-6-(2-甲基丙基)-哌啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；3,3-二丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基 乙基)-4-甲基-哌啶；4-乙基-2-丙基-哌啶；4-丁基-4-乙基-哌啶；2-丁基-4-甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-哌啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-哌啶；4,4-二丙基-哌啶；5-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-乙基-哌啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-(1-甲基乙基)-哌啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-哌啶；5-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；4-乙基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)-哌啶；3-丁基-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基丙基)-哌啶；2,6-二甲基-哌啶；2,3-二甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；4-甲基-2-丙基-哌啶；3-甲基-2-丙基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,3-二乙基-哌啶；2,2,6-三甲基-哌啶；4-甲基-4-(2-甲基丙基)-哌啶；2,3-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二甲基-哌啶；3-乙基-2-丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)-哌啶；2-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-4,4-二甲基-哌啶；3,5-二甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；3,4,4-三甲基-哌啶；3-乙基-2-甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；4-乙基-2,6-二甲基-哌啶；4-(1-甲基丙基)-哌啶；3-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,4-二甲基-哌啶；2-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；4-甲基-4-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2,5,5-三甲基-哌啶；2-(1-甲基丙基)-哌啶；2-乙基-5,5-二甲基-哌啶；4,4-二甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-丙基-哌啶氫溴酸鹽；3-乙基-5-甲基-哌啶；2-甲基-哌啶鹽酸鹽；2,2,4,4-四甲基-哌啶；3-丁基-3-乙基-哌啶；3-甲基-3-丙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；2,2,5,5-四甲基-哌啶；2,5-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二乙基-哌啶；2,4-二乙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶鹽酸鹽；4-甲基-4-丙基-哌啶；或3-甲基-4-丙基-哌啶。
(ER 6 R 7 )配位體具有以下化學結構：
例示性(ER 6 R 7 )配位體包括二烷基胺基及二烷基膦基配位體，諸如二甲基胺基、乙基甲基胺基、二乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、乙基甲基膦基、二乙基膦基或甲基異丙基膦基。
當式1中x=0，y=0且z=4時，例示性前驅物具有以下通式之一：Ti(NC4H8)4、Ti(NC5H10)4或Ti(NC4H4)4，其中吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。
當x=0，y=3且z=1時，例示性前驅物具有以下通式：Ti(ER6R7)3(Cy-胺)，其中Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括Ti(NMe2)3(NC4H8)、Ti(NEtMe)3(NC4H8)、Ti(NEt2)3(NC4H8)、Ti(NMeiPr)3(NC4H8)、Ti(NMe2)3(NC5H10)、Ti(NEtMe)3(NC5H10)、Ti(NEt2)3(NC5H10)、Ti(NMeiPr)3(NC5H10)、Ti(PMe2)3(NC4H4)、Ti(PEtMe)3(NC4H4)、Ti(PEt2)3(NC4H4)、Ti(PMeiPr)3(NC4H4)、Ti(PMe2)3(NC4H8)、Ti(PEtMe)3(NC4H8)、Ti(PEt2)3(NC4H8)、Ti(PMeiPr)3(NC4H8)、Ti(PMe2)3(NC5H10)、Ti(PEtMe)3(NC5H10)、Ti(PEt2)3(NC5H10)及Ti(PMeiPr)3(NC5H10)，其中吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。
當式1中x=0，y=2且z=2時，例示性前驅物具有以下通式：Ti(ER6R7)2(Cy-胺)2，其中Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括Ti(NMe2)2(NC4H8)2、Ti(NEtMe)2(NC4H8)2、Ti(NEt2)2(NC4H8)2、Ti(NMeiPr)2(NC4H8)2、Ti(NMe2)2(NC5H10)2、Ti(NEtMe)2(NC5H10)2、Ti(NEt2)2(NC5H10)2、Ti(NMeiPr)2(NC5H10)2、Ti(PMe2)2(NC4H8)2、Ti(PEtMe)2(NC4H8)2、Ti(PEt2)2(NC4H8)2、Ti(PMeiPr)2(NC4H8)2、Ti(PMe2)2(NC5H10)2、 Ti(PEtMe)2(NC5H10)2、Ti(PEt2)2(NC5H10)2、Ti(PMeiPr)2(NC5H10)2、Ti(PMe2)2(NC4H4)2、Ti(PEtMe)2(NC4H4)2、Ti(PEt2)2(NC4H4)2及Ti(PMeiPr)2(NC4H4)2)，其中吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。
當式1中x=0，y=1且z=3時，例示性前驅物具有以下通式：Ti(ER6R7)(Cy-胺)3，其中Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括Ti(NMe2)(NC4H8)3、Ti(NEtMe)(NC4H8)3、Ti(NEt2)(NC4H8)3、Ti(NMeiPr)(NC4H8)3、Ti(NMe2)(NC5H10)3、Ti(NEtMe)(NC5H10)3、Ti(NEt2)(NC5H10)3、Ti(NMeiPr)(NC5H10)3、Ti(NMe2)(NC4H4)3、Ti(NEtMe)(NC4H4)3、Ti(NEt2)(NC4H4)3、Ti(NMeiPr)(NC4H4)3、Ti(PMe2)(NC4H8)3、Ti(PEtMe)(NC4H8)3、Ti(PEt2)(NC4H8)3、Ti(PMeiPr)(NC4H8)3、Ti(PMe2)(NC5H10)3、Ti(PEtMe)(NC5H10)3、Ti(PEt2)(NC5H10)3、Ti(PMeiPr)(NC5H10)3、Ti(PMe2)(NC4H4)3、Ti(PEtMe)(NC4H4)3、Ti(PEt2)(NC4H4)3及Ti(PMeiPr)(NC4H4)3，其中吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C4烷基組成之群的取代基(R')。
當式1中x=2，y=1且z=1時，例示性前驅物具有以下通式：TiCp2(ER6R7)(Cy-胺)，其中Cp配位體及Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括TiCp2(NMe2)(NC4H8)、TiCp2(NEtMe)(NC4H8)、TiCp2(NEt2)(NC4H8)、TiCp2(NMeiPr)(NC4H8)、TiCp2(NMe2)(NC5H10)、TiCp2(NEtMe)(NC5H10)、TiCp2(NEt2)(NC5H10)、TiCp2(NMeiPr)(NC5H10)、TiCp2(NMe2)(NC4H4)、TiCp2(NEtMe)(NC4H4)、TiCp2(NEt2)(NC4H4)、TiCp2(NMeiPr)(NC4H4)、TiCp2(PMe2)(NC4H8)、TiCp2(PEtMe)(NC4H8)、TiCp2(PEt2)(NC4H8)、TiCp2(PMeiPr)(NC4H8)、TiCp2(PMe2)(NC5H10)、TiCp2(PEtMe)(NC5H10)、TiCp2(PEt2)2(NC5H10)、TiCp2(PMeiPr)(NC5H10)、TiCp2(PMe2)2(NC4H4)、TiCp2(PEtMe)2(NC4H4)、TiCp2(PEt2)2(NC4H4)及TiCp2(PMeiPr)2(NC4H4)，其中環戊二烯基、吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如 上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
當式1中x=1，y=2且z=1時，例示性前驅物具有以下通式：TiCp(ER6R7)2(Cy-胺)，其中Cp配位體及Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括TiCp(NMe2)2(NC4H8)、TiCp(NEtMe)2(NC4H8)、TiCp(NEt2)2(NC4H8)、TiCp(NMeiPr)2(NC4H8)、TiCp(NMe2)2(NC5H10)、TiCp(NEtMe)2(NC5H10)、TiCp(NEt2)2(NC5H10)、TiCp(NMeiPr)2(NC5H10)、TiCp(NMe2)2(NC4H4)、TiCp(NEtMe)2(NC4H4)、TiCp(NEt2)2(NC4H4)、TiCp(NMeiPr)2(NC4H4)、TiCp(PMe2)2(NC4H8)、TiCp(PEtMe)2(NC4H8)、TiCp(PEt2)2(NC4H8)、TiCp(PMeiPr)2(NC4H8)、TiCp(PMe2)2(NC5H10)、TiCp(PEtMe)2(NC5H10)、TiCp(PEt2)2(NC5H10)、TiCp(PMeiPr)2(NC5H10)、TiCp(PMe2)2(NC4H4)、TiCp(PEtMe)2(NC4H4)、TiCp(PEt2)2(NC4H4)及TiCp(PMeiPr)2(NC4H4)，其中環戊二烯基、吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
當式1中x=1，y=1且z=2時，例示性前驅物具有以下通式：TiCp(ER6R7)(Cy-胺)2，其中Cp配位體及Cy-胺配位體可如上文所述經取代或未經取代。例示性前驅物包括TiCp(NMe2)(NC4H8)2、TiCp(NEtMe)(NC4H8)2、TiCp(NEt2)(NC4H8)2、TiCp(NMeiPr)(NC4H8)2、TiCp(NMe2)(NC5H10)2、TiCp(NEtMe)(NC5H10)2、TiCp(NEt2)(NC5H10)2、TiCp(NMeiPr)(NC5H10)2、TiCp(NMe2)(NC4H4)2、TiCp(NEtMe)(NC4H4)2、TiCp(NEt2)(NC4H4)2、TiCp(NMeiPr)(NC4H4)2、TiCp(PMe2)(NC4H8)2、TiCp(PEtMe)(NC4H8)2、TiCp(PEt2)(NC4H8)2、TiCp(PMeiPr)(NC4H8)2、TiCp(PMe2)(NC5H10)2、TiCp(PEtMe)(NC5H10)2、TiCp(PEt2)(NC5H10)2、TiCp(PMeiPr)(NC5H10)2、TiCp(PMe2)(NC4H4)2、TiCp(PEtMe)(NC4H4)2、TiCp(PEt2)(NC4H4)2及TiCp(PMeiPr)(NC4H4)2，其中環戊二烯基、吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
當式1中x=1，y=0且z=3時，例示性前驅物具有以下通式：TiCp(Cy-胺)3，其中Cp配位體及Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括TiCp(NC4H8)3、TiCp(NC5H10)3或TiCp(NC4H4)3，其中Cp、吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
當式1中x=2，y=0且z=2時，例示性前驅物具有以下通式：TiCp2(Cy-胺)2，其中Cp配位體及Cy-胺配位體可如上文所述未經取代或經取代。例示性前驅物包括TiCp2(NC4H8)2、TiCp2(NC5H10)2或TiCp2(NC4H4)2，其中Cp、吡咯、吡咯啶及哌啶配位體可如上文所述包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
所揭示之前驅物可藉由在氮氣氛圍下組合Ti(NR6R7)4或Ti(R1-R5Cp)(NR6R7)3之烴溶液與純配位體化合物(諸如NC4H8或NC5H10或NC4H4)或配位體化合物之烴溶液來合成，混合燒瓶之出口連接至油鼓泡器。Ti(NR6R7)4可藉由使TiCl4與Li(NR6R7)反應來製備。Ti(R1-R5Cp)(NR6R7)可藉由使Ti(R1-R5Cp)Cl3與Li(NR6R7)反應來製備。例示性烴溶液包括乙醚或戊烷或甲苯。在室溫下將所得溶液攪拌隔夜。在真空下自反應混合物中移除溶劑及揮發性物質。分別藉由蒸餾或昇華對所得液體或固體進行純化。其他合成細節提供於實施例中。本申請人相信，類似機制可用於形成PR5R6分子，但由於含磷分子之性質，尚未有機會驗證此等合成機制。
亦揭示所揭示之含鈦前驅物的使用方法，其用於蒸氣沈積方法。所揭示之方法提供含鈦前驅物用於沈積含鈦層之用途。所揭示之方法可適用於製造半導體、光伏打、LCD-TFT或平板型裝置。該方法包括將上文所揭示之至少一種含Ti前驅物引入其中安置有至少一個基板的反應器中，以及使用蒸氣沈積製程將該含鈦前驅物之至少一部分沈積於該至少一個基板上以形成含鈦層。
所揭示之方法亦可用於藉由使用蒸氣沈積製程在基板上形成含有兩種元素之層，且更特定言之，用於沈積STO、BST、PZT或TiMOx層，其中x為1至4且M為第二元素且選自由2族、13族、14族、過渡金屬、鑭系元素及其組合組成之群，且更佳選自Mg、Ca、Sr、Ba、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Al、Si、Ge、Y或鑭系元素。該方法包括：將上文所揭示之至少一種含Ti前驅物引入其中安置有至少一個基板的反應器中，向該反應器中引入第二前驅物，以及使用蒸氣沈積製程使該含鈦前驅物之至少一部分及該第二前驅物之至少一部分沈積於該至少一個基板上以形成該含有兩種元素之層。
所揭示之含鈦前驅物可用於藉由使用熟習此項技術者已知的任何沈積方法來沈積含鈦層。適合沈積方法之實例包括而不限於習知化學蒸氣沈積(CVD)、低壓化學蒸氣沈積(LPCVD)、原子層沈積(ALD)、脈衝式化學蒸氣沈積(P-CVD)、電漿增強型原子層沈積(PE-ALD)或其組合。沈積方法較佳為ALD或PE-ALD。
將含鈦前驅物之蒸氣引入含有至少一個基板之反應器中。將反應器內之溫度及壓力以及基板之溫度保持在適合條件下，以使得含鈦前驅物與基板之間的接觸引起基板之至少一個表面上形成含Ti層。亦可使用共反應物來輔助形成含Ti層。
反應器可為進行沈積方法之裝置的任何外殼或腔室，諸如而不限於平行板型反應器、冷壁型反應器、熱壁型反應器、單片式反應器、多片式反應器或其他此種類型沈積系統。所有此等例示性反應器均能夠充當ALD反應器。反應器可維持在約0.5毫托至約20托範圍內之壓力下。另外，反應器內之溫度可在約室溫(20℃)至約600℃範圍內。一般熟習此項技術者應認識到，可僅經由實驗將溫度最佳化以達成所要結果。
反應器之溫度可藉由控制基板固持器之溫度或控制反應器 壁之溫度加以控制。用於加熱基板之裝置在此項技術中為已知的。將反應器壁加熱至足夠以足夠生長速率獲得具有所要物理狀態及組成的所要膜的溫度。反應器壁可經加熱而達到之非限制性例示性溫度範圍包括約20℃至約600℃。當利用電漿沈積製程時，沈積溫度可在約20℃至約550℃範圍內。或者，當進行熱製程時，沈積溫度可在約300℃至約600℃範圍內。
或者，可將基板加熱至足夠以足夠生長速率獲得具有所要物理狀態及組成的所要含鈦層的溫度。基板可經加熱而達到之非限制性例示性溫度範圍包括150℃至600℃。基板之溫度較佳保持小於或等於500℃。
將在上面沈積含鈦層之基板類型將視預定最終用途而變化。在一些具體實例中，基板可選自在MIM、DRAM或FeRam技術中用作介電材料之基於氧化物之層(例如基於ZrO2之材料、基於HfO2之材料、基於TiO2之材料、基於稀土氧化物之材料、基於三元氧化物之材料等)或用作銅與低k層之間的氧障壁的基於氮化物之層(例如TaN)。其他基板可用於製造半導體、光伏打、LCD-TFT或平板裝置。此種基板之實例包括但不限於固體基板，諸如含金屬氮化物之基板(例如TaN、TiN、WN、TaCN、TiCN、TaSiN及TiSiN)；絕緣體(例如SiO2、Si3N4、SiON、ZrO2、Ta2O5、HfO2、TiO2、Al2O3及鈦酸鋇鍶)；或包括此等材料之許多組合的其他基板。所利用之實際基板亦可視所利用之特定前驅物具體實例而定。但在許多情況下，所利用之較佳基板將選自TiN、SRO、Ru及Si型基板。
可將呈液態之含鈦前驅物饋入氣化器中，其在該氣化器中蒸發，接著將其引入反應器中。在將其氣化之前，可視情況將含鈦前驅物與一或多種溶劑、一或多種金屬源及一或多種溶劑與一或多種金屬源之混合物混合。溶劑可選自由甲苯、乙苯、二甲苯、均三甲苯、癸烷、十二烷、辛烷、己烷、戊烷、三級胺或其他溶劑組成之群。所得濃度可在約0.05 M至約2 M範圍內。金屬源可包括現今已知或隨後開發的任何含金屬前驅物。
或者，可藉由將載氣通入含有含鈦前驅物之容器中或藉由使載氣向含鈦前驅物中鼓泡而將含鈦前驅物氣化。接著將載氣及含鈦前驅物呈蒸氣形式引入反應器中。載氣可包括但不限於Ar、He、N2及其混合物。可視情況在容器中將含鈦前驅物與一或多種溶劑、第二前驅物或其混合物混合。必要時，可將容器加熱至允許含鈦前驅物呈液相且具有足夠蒸氣壓的溫度。可將容器維持在例如0至150℃範圍內之溫度下。熟習此項技術者認識到，可用已知方式調節容器之溫度以控制含鈦前驅物之氣化量。
除在引入反應器中之前視情況混合含鈦前驅物與溶劑、第二前驅物及穩定劑之外，亦可將含鈦前驅物與反應器內之共反應物混合。例示性共反應物包括而不限於第二前驅物，諸如含過渡金屬(例如鈮)之前驅物、含稀土之前驅物、含鍶之前驅物、含鋇之前驅物、含鋁之前驅物(諸如TMA)及其任何組合。可將此等或其他第二前驅物作為所得層中之摻雜劑或作為第二或第三金屬而少量併入所得層中，諸如BST、STO、PZT或TiMOx，其中M及x如本文中先前所定義。
當所要含鈦層亦含有氧(諸如而不限於TiMOx，其中M及x如本文中先前所定義)時，共反應物可包括氧源，該氧源選自但不限於O2、O3、H2O、H2O2、乙酸、福馬林、對甲醛及其組合。當進行ALD製程時，共反應物較佳為H2O。
可藉由電漿處理共反應物以便將共反應物分解成其自由基形式。電漿可在反應室自身內產生或存在。或者，電漿一般可處於遠離反應室之位置，例如，處於遠端定位之電漿系統中。熟習此項技術者應認識到適用於此種電漿處理之方法及設備。
舉例而言，可將共反應物引入直接電漿反應器中，該電漿反應器在反應室中產生電漿，以在反應室中產生經電漿處理之共反應物。例示性直接電漿反應器包括由Trion Technologies公司製造之TitanTM PECVD系 統。在電漿處理之前，可將共反應物引入並保持在反應室中。或者，電漿處理可與引入共反應物同時發生。現場電漿典型地為在簇射頭與基板固持器之間產生的13.56 MHz RF電容耦合電漿。基板或簇射頭可為供電電極，視是否發生陽離子碰撞而定。現場電漿產生器中之典型施加功率為約100 W至約1000 W。對於相同功率輸入而言，使用現場電漿解離共反應物典型地不及使用遠端電漿源達成者，且因此在共反應物解離方面不如遠端電漿系統有效，由此可能有益於在容易被電漿損壞之基板上沈積含金屬氮化物之膜。
或者，可在反應室外產生經電漿處理之共反應物。MKS Instruments公司之ASTRON®i反應性氣體產生器可用於在通入反應室中之前處理共反應物。在2.45 GHz、7 kW電漿功率及約3托至約10托範圍內之壓力下操作，可將共反應物O3分解成三個O-自由基。遠端電漿較佳可在約1 kW至約10 kW、更佳為約2.5 kW至約7.5 kW範圍內之功率下產生。
當所要含鈦層亦含有諸如而不限於Ta、Zr、Hf、V、Nb、Mg、Al、Sr、Y、Ba、Ca、As、Sb、Bi、Sn、Pb、Co、鑭系元素(諸如Er)或其組合之另一元素時，共反應物可包括第二前驅物，該第二前驅物選自但不限於諸如Ln(RCp)3或Co(RCp)2之金屬烷基、諸如Nb(Cp)(NtBu)(NMe2)3之金屬胺及其任何組合。
在一個較佳具體實例中，反應物可為具有式M(L)2或M(L)2.A之含金屬前驅物化合物，其中M為Sr或Ba，L選自(a)經取代之環戊二烯基配位體系統(R1R2R3R4R5Cp)，其中R1至R5各自獨立地選自H或C1-C6直鏈或分支鏈烷基鏈；或(b)β-二酮配位體系統(-O-CR6-CH-CR7-O-)，其中R6及R7各自獨立地選自C1-C6直鏈或分支鏈烷基鏈；且A=含中性氧之分子，包括但不限於四氫呋喃、二甲氧基乙烷、二乙二醇二甲醚、三乙二醇二甲醚、四乙二醇二甲醚或其組合。該含金屬前驅物較佳具有式 M(R5Cp)2，其中各R獨立地選自H、Me、Et及nBu。
例示性含金屬前驅物包括但不限於Sr(iPr3Cp)2、Sr(iPr3Cp)2.thf、Sr(iPr3Cp)2.dme、Sr(tBu3Cp)2、Sr(tBu3Cp)2.thf、Sr(tBu3Cp)2.dme、Sr(thmd)2、Sr(thmd)2.三乙二醇二甲醚、Sr(thmd)2.四乙二醇二甲醚、Sr(Me5Cp)2、Sr(Me4Cp)2、Sr(Me4EtCp)2、Sr(Me4nBuCp)2、Ba(iPr3Cp)2、Ba(iPr3Cp)2.thf、Ba(iPr3Cp)2.dme、Ba(tBu3Cp)2、Ba(tBu3Cp)2.thf、Ba(tBu3Cp)2.dme、Ba(thmd)2、Ba(thmd)2.三乙二醇二甲醚、Ba(thmd)2.四乙二醇二甲醚、Ba(Me5Cp)2、Ba(Me4Cp)2、Ba(Me4EtCp)2及Ba(Me4nBuCp)2。
可將含鈦前驅物及一或多種共反應物同時(化學蒸氣沈積)、相繼(原子層沈積)或以其他組合引入反應器中。舉例而言，可在一個脈衝中引入含鈦前驅物，且可在獨立的脈衝中一起引入兩種其他前驅物[改進型原子層沈積]。或者，反應器可能在引入含鈦前驅物之前已含有共反應物。可使共反應物通過位於或遠離反應器之電漿系統且分解成自由基。或者，可將含鈦前驅物連續引入反應器中，同時藉由脈衝引入其他共反應物(脈衝式化學蒸氣沈積)。在各實施例中，脈衝之後可進行吹掃或抽真空步驟以移除過量之引入組分。在各實施例中，脈衝可持續約0.01 s至約10 s或者約0.3 s至約3 s或者約0.5 s至約2 s範圍內之時期。
在一個非限制性例示性原子層沈積型製程中，將含鈦前驅物之蒸氣相引入反應器中，在其中使其與適合基板接觸。接著可藉由對反應器進行吹掃及/或抽真空而自反應器中移除過量含鈦前驅物。將氧源引入反應器中，在其中使其以自限制方式與所吸收之含鈦前驅物反應。藉由對反應器進行吹掃及/或抽真空而自反應器中移除任何過量氧源。若所要層為氧化鈦層，則此兩步製程可提供所要層厚度或可重複直至已獲得具有必需厚度之層。
或者，若所要TiO層含有第二元素(亦即，TiMOx)，則在 上述兩步製程之後，可向反應器中引入第二前驅物之蒸氣。將基於所沈積之TiMOx層之性質來選擇第二前驅物。在引入反應器中之後，使第二前驅物與基板接觸。藉由對反應器進行吹掃及/或抽真空而自反應器中移除任何過量第二前驅物。可再次將氧源引入反應器中以便與第二前驅物反應。藉由對反應器進行吹掃及/或抽真空而自反應器中移除過量氧源。若已達成所要層厚度，則可終止該製程。然而，若需要較厚之層，則可重複整個四步製程。藉由交替提供含鈦前驅物、第二前驅物及氧源，可沈積具有所要組成及厚度的TiMOx層。
另外，藉由改變脈衝之數目，可獲得具有所要化學計量M：Ti比率之層。舉例而言，可藉由進行含鈦前驅物之一個脈衝及第二前驅物之一個脈衝而獲得TiMO2層，其中在各脈衝之後進行氧源之脈衝。然而，一般熟習此項技術者應認識到，獲得所要層所需之脈衝數目可能與所得層之化學計量比率不一致。
由上文論述之製程產生之含鈦層可包括TiO2、STO、BST、PZT或TiMOx，其中M及x如上文先前所定義。一般熟習此項技術者應認識到，藉由慎重選擇適當含鈦前驅物及共反應物，可獲得所要含Ti層組成。
實施例
提供以下非限制性實施例以進一步說明本發明之具體實例。然而，該等實施例不欲包括所有實施例，且不欲限制本文所述之本發明之範疇。
預言性實施例1
Ti(NMe 2 ) 3 (NC 4 H 8 )：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NMe2)4(15.00 g，66.9 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，4.76 g，66.9 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例2
Ti(NMe 2 ) 2 (NC 4 H 8 ) 2 ：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NMe2)4(10.00 g，44.60 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，6.34 g，89.2 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例3
Ti(NEtMe) 3 (NC 4 H 8 )：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NEtMe)4(10.00 g，35.68 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，2.54 g，35.68 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例4
Ti(Cp)(NMe 2 ) 2 (NC 4 H 8 )：將含有於100 mL乙醚中之Ti(Cp)(NMe2)3(10.00 g，40.78 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，2.90 g，40.78 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例5
Ti(NMe 2 )(NC 4 H 8 ) 3 ：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NMe2)4(30.90 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，92.70 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌反應混合物。移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例6
Ti(NC 4 H 8 ) 4 ：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NMe2)4(30.90 mmol) 的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯啶(NC4H8，123.60 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌所得反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
預言性實施例7
Ti(NMe 2 )(NC 4 H 4 ) 3 ：將含有於100 mL乙醚中之Ti(NMe2)4(30.90 mmol)的Schlenk燒瓶冷卻至-40℃。將經由套管向此經冷卻溶液中緩慢添加吡咯(NC4H4，92.70 mmol)於20 mL乙醚中之混合物。將在室溫下攪拌所得反應混合物。將移除溶劑及揮發性物質。
應瞭解，熟習此項技術者可在如所附申請專利範圍中所表述之本發明原理及範疇內對本文為說明本發明性質而描述並說明之細節、材料、步驟及部件排列進行許多其他改變。因此，本發明不欲侷限於上文所提供之實施例及/或所附圖式中之特定具體實例。

Claims (29)

  1. 一種分子，其具有下式：Ti(R 1 -R 5 Cp) x (ER 6 R 7 ) y (Cy-胺) z 其中：R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7獨立地選自由H及C1-C6烷基組成之群；x=0至2；y=0至3；z=1至4；x+y+z=4；E=N或P；Cy-胺係指飽和含N環系統或不飽和含N環系統，該含N環系統在鏈中包含至少一個氮原子及4至6個碳原子；其中當x=0時R6及R7≠Me，當x=0時R6及R7≠Et，且當x=4時Cy-胺≠吡咯啶。
  2. 如申請專利範圍第1項之分子，其中該等(R 1 -R 5 Cp)配位體中之每一者獨立地選自由以下組成之群：1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-1,3-環戊二烯基；1-丙基-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-1,3-環戊二烯基；1,3-環戊二烯基；1-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,3- 雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；2,3-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；1,2-雙(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯；1-乙基-2-甲基-1,3-環戊二烯；1,2,3,4,5-五丙基-1,3-環戊二烯；2-(1,1-二甲基乙基)-1,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；2-丁基-1,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-三甲基-4,5-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,5-三甲基-3,4-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二甲基-2,4,5-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,5-二甲基-1,3,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4,5-三甲基-2,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-二甲基-2,3,5-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-2,3,4-三甲基-1,3-環戊二烯基；2-乙基-3-甲基-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-5-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四甲基-4-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4,5-四甲基-3-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四甲基-5-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四甲基-5-丙基-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-四丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3-二丙基-1,3-環戊二烯基；1-丁基-4,5-二丙基-1,3-環戊二烯基；5-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1,2-二丙基-1,3-環戊二烯基；3-丁基-1-甲基-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-2,3-二甲基-1,3-環戊二烯基；4-(1,1-二甲基乙基)-1,2-二甲基-1,3-環戊二烯基；1,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-甲基-3-丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-肆(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,4-參(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1,1- 二甲基乙基)-3-甲基-1,3-環戊二烯基；5-丁基-1,2,3,4-四甲基-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-5-甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五乙基-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-4-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4,5-五(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；5-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,2,3,4-肆(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二甲基-2-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,4-二乙基-2,3,5-三甲基-1,3-環戊二烯基；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；5-甲基-2-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；5-甲基-1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；5-丙基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四乙基-1,3-環戊二烯基；1,2-二甲基-3-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2,3-雙(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1,3-二乙基-1,3-環戊二烯基；2,3-二乙基-1,3-環戊二烯基；5-乙基-1,2,3,4-四甲基-1,3-環戊二烯基；2-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(2-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；2-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-2,3,4,5-四甲基-1,3-環戊二烯基；1,2,3,5-四甲基-4-丙基-1,3-環戊二烯基；1,3-二乙基-2,4,5-三甲基-1,3-環戊二烯基；1-(1,1-二甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-丁基-1,3-環戊二烯基；1-丙基-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基丙基)-1,3-環戊二烯基；1-(1-甲基乙基)-1,3-環戊二烯基；1-乙基-1,3-環戊二烯基；及1-甲基-1,3-環戊二烯基。
  3. 如申請專利範圍第2項之分子，其中該等(Cy-胺)配位體中之每一者獨立地選自由以下組成之群：1H-吡咯；2-丁基-3-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,4-三乙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-3-丙基-1H-吡咯；5-乙基-2,3-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2,3,5-三乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-丁基-4-甲基-1H-吡 咯；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-甲基-3,4-二丙基-1H-吡咯；3,4-二氫-5-甲基-3-(1-甲基亞乙基)-2H-吡咯；2-乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-丁基-2,4-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；3-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；4-乙基-2-丙基-1H-吡咯；4-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-1H-吡咯；或2,3-二氫-3-亞甲基-1H-吡咯；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-乙基-2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-甲基-1H-吡咯；2-(2-甲基丙基)-1H-吡咯；3-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-2,4-二甲基-1H-吡咯；3,4-二乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3,4-二乙基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二乙基-1H-吡咯；2,5-雙(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三丙基-1H-吡咯；4-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4-甲基-1H-吡咯；2,3,4-三甲基-1H-吡咯；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三甲基-1H-吡咯；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-1H-吡咯；2-丁基-1H-吡咯；3-丙基-1H-吡咯；2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-1H-吡咯；2,3,4,5-四甲基-1H-吡咯；3-丁基-1H-吡咯；3,4-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-1H-吡咯；2-乙基-5-甲基-1H-吡咯；2-甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-1H-吡咯；2,3-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4,5-三甲基 -1H-吡咯；3-乙基-2,4-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-4-甲基-1H-吡咯；吡咯啶；3-甲基-吡咯啶；2-甲基-吡咯啶；3,3-二甲基-吡咯啶；3,4-二甲基-吡咯啶；3-乙基-吡咯啶；2,2-二甲基-吡咯啶；2-乙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-吡咯啶；3-丙基-吡咯啶；2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；3,3,4-三甲基-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；2,5-二甲基-吡咯啶；2,4-二甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-2-甲基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-吡咯啶；3,3,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3,3-三甲基-吡咯啶；3,4-二乙基-吡咯啶；3-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-吡咯啶；2,4,4-三甲基-吡咯啶；2,2,5-三甲基-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-吡咯啶；4-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,3,4-三甲基-吡咯啶；2-乙基-4-甲基-吡咯啶；2,5-二乙基-吡咯啶；2,2,3,3-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,5,5-四甲基-吡咯啶；2,3-二乙基-吡咯啶；2,2,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-2-丙基-吡咯啶；2,4-二乙基-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-3,3-二甲基-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-甲基-4-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-5-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2-乙基-5-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-丙基-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-丙基-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-丙基-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-吡咯啶；4-乙基-2-丙基-吡咯啶；2-乙基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3- 甲基-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,4,5-四甲基-吡咯啶；2,5-雙(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二乙基-3-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-丙基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；4-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-丙基-吡咯啶；3-丁基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-3-甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-(1,1-二甲基乙基)-2-甲基-吡咯啶；3,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-5-甲基-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3-乙基-吡咯啶；3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,3-三乙基-吡咯啶；2-乙基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-4-甲基-吡咯啶；2,2-雙(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；2,2,3,4,5-五甲基-吡咯啶；2-丁基-3-乙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,3-二乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；5-乙基-2,3,3-三甲基-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基 -3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2,5-二甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-丁基-2,3-二乙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；2,2,5,5-四丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3,3-二丙基-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2-乙基-5-甲基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；哌啶；2,3,5,6-四甲基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-4-乙基-哌啶；2-甲基-6-(2-甲基丙基)-哌啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；3,3-二丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-哌啶；4-乙基-2-丙基-哌啶；4-丁基-4-乙基-哌啶；2-丁基-4-甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-哌啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-哌啶；4,4-二丙基-哌啶；5-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-乙基-哌啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-(1-甲基乙基)-哌啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-哌啶；5-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；4-乙基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)-哌啶；3-丁基-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基丙基)-哌啶；2,6-二甲基-哌啶；2,3-二甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；4-甲基-2-丙基-哌啶；3-甲基-2-丙基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,3-二乙基-哌啶；2,2,6-三甲基-哌啶；4-甲基-4-(2-甲基丙基)-哌啶；2,3-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二甲基-哌啶；3-乙基-2-丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)- 哌啶；2-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-4,4-二甲基-哌啶；3,5-二甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；3,4,4-三甲基-哌啶；3-乙基-2-甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；4-乙基-2,6-二甲基-哌啶；4-(1-甲基丙基)-哌啶；3-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,4-二甲基-哌啶；2-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；4-甲基-4-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2,5,5-三甲基-哌啶；2-(1-甲基丙基)-哌啶；2-乙基-5,5-二甲基-哌啶；4,4-二甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-丙基-哌啶氫溴酸鹽；3-乙基-5-甲基-哌啶；2-甲基-哌啶鹽酸鹽；2,2,4,4-四甲基-哌啶；3-丁基-3-乙基-哌啶；3-甲基-3-丙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；2,2,5,5-四甲基-哌啶；2,5-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二乙基-哌啶；2,4-二乙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶鹽酸鹽；4-甲基-4-丙基-哌啶；及3-甲基-4-丙基-哌啶。
  4. 如申請專利範圍第3項之分子，其中x=1，y=0，且z=3。
  5. 如申請專利範圍第3項之分子，其中x=2，y=0，且z=2。
  6. 如申請專利範圍第3項之分子，其中x=2，y=1，且z=1。
  7. 如申請專利範圍第6項之分子，其中該等(ER 6 R 7 )配位體選自由二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群。
  8. 如申請專利範圍第3項之分子，其中x=1，y=2，且z=1。
  9. 如申請專利範圍第8項之分子，其中該等(ER 6 R 7 )配位體中之每一者獨立地選自由二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群。
  10. 如申請專利範圍第3項之分子，其中x=1，y=1，且z=2。
  11. 如申請專利範圍第10項之分子，其中該(ER 6 R 7 )配位體選自由二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群。
  12. 如申請專利範圍第1項之分子，其中該等(Cy-胺)配位體中之每一者獨立地選自由以下組成之群：1H-吡咯；2-丁基-3-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,4-三乙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-3-丙基-1H-吡咯；5-乙基-2,3-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2,3,5-三乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-甲基-3,4-二丙基-1H-吡咯；3,4-二氫-5-甲基-3-(1-甲基亞乙基)-2H-吡咯；2-乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-丁基-2,4-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；3-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；4-乙基-2-丙基-1H-吡咯；4-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-1H-吡咯；或2,3-二氫-3-亞甲基-1H-吡咯；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-乙基-2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-甲基-1H-吡咯；2-(2-甲基丙基)-1H-吡咯；3-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-2,4-二甲基-1H-吡咯；3,4-二乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3,4-二乙基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二乙基-1H-吡咯；2,5-雙(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三丙基-1H-吡咯；4-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4-甲基-1H-吡咯；2,3,4-三甲 基-1H-吡咯；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三甲基-1H-吡咯；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-1H-吡咯；2-丁基-1H-吡咯；3-丙基-1H-吡咯；2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-1H-吡咯；2,3,4,5-四甲基-1H-吡咯；3-丁基-1H-吡咯；3,4-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-1H-吡咯；2-乙基-5-甲基-1H-吡咯；2-甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-1H-吡咯；2,3-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-4-甲基-1H-吡咯；吡咯啶；3-甲基-吡咯啶；2-甲基-吡咯啶；3,3-二甲基-吡咯啶；3,4-二甲基-吡咯啶；3-乙基-吡咯啶；2,2-二甲基-吡咯啶；2-乙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-吡咯啶；3-丙基-吡咯啶；2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；3,3,4-三甲基-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；2,5-二甲基-吡咯啶；2,4-二甲基-吡咯啶；2-丙基-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-2-甲基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-吡咯啶；3,3,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3,3-三甲基-吡咯啶；3,4-二乙基-吡咯啶；3-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-吡咯啶；2,4,4-三甲基-吡咯啶；2,2,5-三甲基-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-吡咯啶；4-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,3,4-三甲基-吡咯啶；2-乙基-4-甲基-吡咯啶；2,5-二乙基-吡咯啶；2,2,3,3-四甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,5,5-四甲基-吡咯啶；2,3-二乙基-吡咯啶；2,2,4,4-四甲基-吡咯啶；3-甲基-2-丙基-吡咯啶；2,4-二乙基-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-3,3-二甲基-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-3-丙基-吡咯啶；3-甲基-4-(2-甲基丙基)-吡咯啶； 2-甲基-5-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2-乙基-5-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-丙基-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-4,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2-丙基-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-丙基-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-吡咯啶；4-乙基-2-丙基-吡咯啶；2-乙基-4-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,4,5-四甲基-吡咯啶；2,5-雙(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二乙基-3-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3-丙基-吡咯啶；3-乙基-2,4-二甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-丙基-吡咯啶；2,2-二甲基-5-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-2,2,3-三甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；4-乙基-2,3-二甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-丙基-吡咯啶；3-丁基-2-甲基-吡咯啶；2-丁基-3-甲基-吡咯啶；2,3-二甲基-3-丙基-吡咯啶；4-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-吡咯啶；4,4-二甲基-2-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-甲基-4-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-甲基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；4-(1,1-二甲基乙基)-2-甲基-吡咯啶；3,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-5-甲基-吡咯啶；2-(1,1-二甲基乙基)-3-乙基-吡咯啶；3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,3,3-三乙基-吡咯啶；2-乙基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-丁基-4-甲基-吡咯啶；2,2-雙(1,1-二甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-2-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,2-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；2,2,3,4,5-五甲基-吡咯啶；2-丁基-3-乙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基 -3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-丙基-吡咯啶；3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,3-雙(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,3-二乙基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-乙基-3-甲基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；5-乙基-2,3,3-三甲基-吡咯啶；3-乙基-2,2-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2-乙基-3,3-二丙基-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,2,3-三甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3,3-二乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-3-丙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2-甲基-吡咯啶；2,2-二甲基-3,3-二丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基乙基)-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2,5-二甲基-吡咯啶；3-甲基-3-(1-甲基丙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；2,5-二甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；3-丁基-2,3-二乙基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2,2-二甲基-吡咯啶；2,2,5,5-四丙基-吡咯啶；2-乙基-5-甲基-3-(1-甲基丙基)-吡咯啶；2-(2-甲基丙基)-3,3-二丙基-吡咯啶；3-(1,1-二甲基乙基)-2-乙基-5-甲基-吡咯啶；3-丁基-3-乙基-2-(2-甲基丙基)-吡咯啶；哌啶；2,3,5,6-四甲基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-4-乙基-哌啶；2-甲基-6-(2-甲基丙基)-哌啶；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；3,3-二丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-哌啶；4-乙基-2-丙基-哌啶；4-丁基-4-乙基-哌啶；2-丁基-4-甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-3-甲基-哌啶；3-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(2-甲基丙基)-哌啶；4,4-二丙基-哌啶；5-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-4-乙基-哌啶；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-5-(2-甲基丙基)-哌啶；3-甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-(1-甲基乙基)-哌啶；3-乙基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-甲基-3-(1- 甲基丙基)-哌啶；5-甲基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；4-乙基-2-(2-甲基丙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)-哌啶；3-丁基-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基丙基)-哌啶；2,6-二甲基-哌啶；2,3-二甲基-哌啶；3-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；4-甲基-2-丙基-哌啶；3-甲基-2-丙基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,3-二乙基-哌啶；2,2,6-三甲基-哌啶；4-甲基-4-(2-甲基丙基)-哌啶；2,3-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二甲基-哌啶；3-乙基-2-丙基-哌啶；2-(1,1-二甲基乙基)-哌啶；3-(2-甲基丙基)-哌啶；2-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-4,4-二甲基-哌啶；3,5-二甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；3,4,4-三甲基-哌啶；3-乙基-2-甲基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；4-乙基-2,6-二甲基-哌啶；4-(1-甲基丙基)-哌啶；3-乙基-3-甲基-哌啶；2-乙基-6-甲基-哌啶；2,4-二甲基-哌啶；2-(1-甲基乙基)-哌啶；3-(1-甲基乙基)-哌啶；4-甲基-4-(1-甲基乙基)-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2,5,5-三甲基-哌啶；2-(1-甲基丙基)-哌啶；2-乙基-5,5-二甲基-哌啶；4,4-二甲基-3-(1-甲基乙基)-哌啶；2-丙基-哌啶氫溴酸鹽；3-乙基-5-甲基-哌啶；2-甲基-哌啶鹽酸鹽；2,2,4,4-四甲基-哌啶；3-丁基-3-乙基-哌啶；3-甲基-3-丙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶；2-(2-甲基丙基)-哌啶；2-丁基-哌啶；3,4-二乙基-哌啶；2,2,5,5-四甲基-哌啶；2,5-二甲基-哌啶鹽酸鹽；2,5-二乙基-哌啶；2,4-二乙基-哌啶；2-甲基-6-丙基-哌啶鹽酸鹽；4-甲基-4-丙基-哌啶；及3-甲基-4-丙基-哌啶。
  13. 如申請專利範圍第12項之分子，其中該(ER 6 R 7 )配位體選自由甲基乙基胺基、甲基異丙基胺基、二甲基膦基、甲基乙基膦基、二乙基膦基及甲基異丙基膦基組成之群。
  14. 如申請專利範圍第13項之分子，其中x=0，y=3，且z=1。
  15. 如申請專利範圍第13項之分子，其中x=0，y=2，且z=2。
  16. 如申請專利範圍第13項之分子，其中x=0，y=1，且z=3。
  17. 如申請專利範圍第1項之分子，其中該等(Cy-胺)配位體中之每一者獨立地選自由以下組成之群：1H-吡咯；2-丁基-3-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1- 甲基丙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,4-三乙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-3-丙基-1H-吡咯；5-乙基-2,3-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2,3,5-三乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二甲基-4-丙基-1H-吡咯；2-甲基-3,4-二丙基-1H-吡咯；3,4-二氫-5-甲基-3-(1-甲基亞乙基)-2H-吡咯；2-乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-4-甲基-1H-吡咯；3-丁基-2,4-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-丁基-4-甲基-1H-吡咯；2-甲基-5-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；3-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2-甲基-4-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；4-乙基-2-丙基-1H-吡咯；4-甲基-2-丙基-1H-吡咯；2,4-二乙基-1H-吡咯；或2,3-二氫-3-亞甲基-1H-吡咯；2-甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-甲基-3-丙基-1H-吡咯；3-乙基-2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2-乙基-4-甲基-1H-吡咯；2-乙基-3-甲基-1H-吡咯；2-(2-甲基丙基)-1H-吡咯；3-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-2-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-丙基-1H-吡咯；2-乙基-3,5-二甲基-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-2,4-二甲基-1H-吡咯；3,4-二乙基-2,5-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-3,4-二甲基-1H-吡咯；2-(1-甲基丙基)-1H-吡咯；3,4-二乙基-1H-吡咯；2,5-二甲基-3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3-二乙基-1H-吡咯；2,5-雙(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三丙基-1H-吡咯；4-乙基-2-甲基-1H-吡咯；2-(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,4-二乙基-3-甲基-1H-吡咯；2,3-二乙基-4-甲基-1H-吡咯；2,3,4-三甲基-1H-吡咯；2,3,5-參(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,5-雙(1,1-二甲基乙基)-1H-吡咯；2,3,5-三甲基-1H-吡咯；4-甲基-2-(1-甲基乙基)-1H-吡咯；3-乙基-1H- 吡咯；2-丁基-1H-吡咯；3-丙基-1H-吡咯；2-丙基-1H-吡咯；2-乙基-1H-吡咯；2,3,4,5-四甲基-1H-吡咯；3-丁基-1H-吡咯；3,4-二甲基-1H-吡咯；2,5-二乙基-1H-吡咯；2-乙基-5-甲基-1H-吡咯；2-甲基-1H-吡咯；2,5-二甲基-1H-吡咯；2,4-二甲基-1H-吡咯；3-甲基-1H-吡咯；2,3-二甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4,5-三甲基-1H-吡咯；3-乙基-2,4-二甲基-1H-吡咯；及3-乙基-4-甲基-1H-吡咯。
  18. 如申請專利範圍第17項之分子，其中x=0，y=0，且z=4。
  19. 一種在基板上沈積含Ti層之方法，該方法包含：將至少一種含Ti前驅物引入其中安置有至少一個基板的反應器中，該至少一種含Ti前驅物具有下式：Ti(R 1 -R 5 Cp) x (ER 6 R 7 ) y (Cy-胺) z 其中：R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7獨立地選自由H及C1-C6烷基組成之群；x=0至2；y=0至3；z=1至4；x+y+z=4；E=N或P；Cy-胺係指飽和含N環系統或不飽和含N環系統，該含N環系統在鏈中包含至少一個氮原子及4至6個碳原子；以及使用蒸氣沈積製程將該含Ti前驅物之至少一部分沈積於該至少一個基板上以形成含Ti層。
  20. 如申請專利範圍第19項之方法，其中該至少一種含Ti前驅物選自由以下組成之群：Ti(NMe2)3(NC4H8)、Ti(NEtMe)3(NC4H8)、Ti(NEt2)3(NC4H8)、Ti(NMeiPr)3(NC4H8)、Ti(NMe2)3(NC5H10)、Ti(NEtMe)3(NC5H10)、Ti(NEt2)3(NC5H10)、Ti(NMeiPr)3(NC5H10)、Ti(NMe2)2(NC4H8)2、Ti(NEtMe)2(NC4H8)2、Ti(NEt2)2(NC4H8)2、 Ti(NMeiPr)2(NC4H8)2、Ti(NMe2)2(NC5H10)2、Ti(NEtMe)2(NC5H10)2、Ti(NEt2)2(NC5H10)2、Ti(NMeiPr)2(NC5H10)2、Ti(NMe2)(NC4H8)3、Ti(NEtMe)(NC4H8)3、Ti(NEt2)(NC4H8)3、Ti(NMeiPr)(NC4H8)3、Ti(NMe2)(NC5H10)3、Ti(NEtMe)(NC5H10)3、Ti(NEt2)(NC5H10)3、Ti(NMeiPr)(NC5H10)3、Ti(NMe2)(NC4H4)3、Ti(NEtMe)(NC4H4)3、Ti(NEt2)(NC4H4)3、Ti(NMeiPr)(NC4H4)3、Ti(NC4H8)4、Ti(NC5H10)4、Ti(NC4H4)4、Ti(Cp)(NMe2)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC4H8)、Ti(Cp)(NMe2)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC5H10)、Ti(Cp)(NMe2)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NEtMe)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NEt2)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NMeiPr)2(NC4H4)、Ti(Cp)(NMe2)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC4H8)2、Ti(Cp)(NMe2)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC5H10)2、Ti(Cp)(NMe2)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NEtMe)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NEt2)(NC4H4)2、Ti(Cp)(NMeiPr)(NC4H4)2、Ti(Cp)2(NMe2)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC4H8)、Ti(Cp)2(NMe2)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC5H10)、Ti(Cp)2(NMe2)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NEtMe)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NEt2)(NC4H4)、Ti(Cp)2(NMeiPr)(NC4H4)、Ti(Cp)(NC4H8)3、Ti(Cp)(NC5H10)3、Ti(Cp)(NC4H4)3、Ti(Cp)2(NC4H8)2、Ti(Cp)2(NC5H10)2及Ti(Cp)2(NC4H4)2，其中該等Cp、NC4H4、NC4H8及NC5H10配位體可包括一或多個獨立地選自由C1-C6烷基組成之群的取代基。
  21. 如申請專利範圍第20項之方法，其進一步包含向該反應器中引入包含至少一種第二前驅物之蒸氣。
  22. 如申請專利範圍第21項之方法，其中該至少一種第二前驅物之元素選自由2族、13族、14族、過渡金屬、鑭系元素及其組合組成之群。
  23. 如申請專利範圍第22項之方法，其中該至少一種第二前驅物之該元 素選自Mg、Ca、Sr、Ba、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Al、Si、Ge、Y或鑭系元素。
  24. 如申請專利範圍第20項之方法，其進一步包含向該反應器中引入至少一種共反應物。
  25. 如申請專利範圍第24項之方法，其中該共反應物選自由O2、O3、H2O、H2O2、NO、NO2、羧酸及其組合組成之群。
  26. 如申請專利範圍第25項之方法，其中該共反應物為水。
  27. 如申請專利範圍第26項之方法，其中該含Ti層為氧化鈦層。
  28. 如申請專利範圍第20項之方法，其中該蒸氣沈積製程為化學蒸氣沈積製程。
  29. 如申請專利範圍第20項之方法，其中該蒸氣沈積製程為原子層沈積製程。
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