TW201408132A - 用於形成薄層之裝置以及使用彼製造有機發光二極體顯示器之方法 - Google Patents

用於形成薄層之裝置以及使用彼製造有機發光二極體顯示器之方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種可應用於批量生產之用於形成薄層之裝置以及一種使用該裝置製造顯示器之方法。該用於形成薄層之裝置包含：一容器，具有一用於形成薄層之材料；一多噴嘴部件，位於一基材上並連接至該容器以接收該用於形成薄層之材料，該多噴嘴部件包括複數個彼此以一間距平行排列之噴嘴；以及一脈波產生器，用於對該基材與該多噴嘴部件之一者施加一切換電壓，俾在該複數個噴嘴之至少一者與該基材之間提供一瞬時電位差並控制該用於形成薄層之材料的排出。

Description

用於形成薄層之裝置以及使用彼製造有機發光二極體顯示器之方法
本發明提供一種可應用於批量生產之用於形成薄層之裝置以及一種使用該裝置製造顯示器之方法。
有機發光二極體顯示器之優點在於可在不使用單獨光源之情況下，實現寬視角、極佳對比度、以及快速響應速度，與液晶顯示器不同。
可藉由提供一種用於形成薄層之裝置來達成各實施態樣，該裝置包含一容器、一多噴嘴部件、及一脈波產生器。該容器儲存一用於形成薄層之材料。該多噴嘴部件設置於一基材上並連接至該容器以接收該用於形成薄層之材料，且該多噴嘴部件包括複數個彼此以一間距平行排列之噴嘴。該脈波產生器對該基材與該多噴嘴部件之任一者施加切換電壓，以在該複數個噴嘴之至少一者與該基材之間提供一瞬時電位差，進而控制該用於形成 薄層之材料的排出。
該複數個噴嘴係沿一第一方向平行地排列，且該多噴嘴部件與該基材之至少一者係沿一與該第一方向交叉之第二方向而可活動式的設置。
該容器為一單容器，其可儲存一種用於形成薄層之材料，且該複數個噴嘴可連接至該容器，以接收該用於形成薄層之材料。該用於形成薄層之材料可為一種用於形成一具有紅色、綠色、及藍色中任一種顏色之發光層之材料，或者為一種用於形成以下中間層中任一者之材料：一電洞注入層、一電洞傳輸層、一電子傳輸層、及一電子注入層。
該容器可由複數個包括用於形成薄層之不同材料之容器構成，且各該複數個噴嘴可連接至該複數個容器之任一者。該容器可包括：一第一容器，其包括一用於形成紅色發光層之材料；一第二容器，其包括一用於形成綠色發光層之材料；以及一第三容器，其包括一用於形成藍色發光層之材料。
該脈波產生器可依序或隨機地施加該切換電壓至該複數個噴嘴。該複數個噴嘴可分成複數個組，且該切換電壓可同時施加至該複數個組。該脈波產生器可依序或隨機地分別施加該切換電壓至該複數個於該複數個組中之噴嘴。
該脈波產生器可電性連接至該基材之多個子畫素區域，以施加該切換電壓至該等子畫素區域。
該基材可設置有彼此交叉之多個掃描導線與多個資 料導線，且該等子畫素區域可沿一與該等掃描導線平行之第一方向分成複數個組，且複數個焊墊部係分別連接至該等於該複數個組中之子畫素區域之至少一者。該脈波產生器可分別電性連接至該複數個焊墊部。
該脈波產生器可依序或隨機地施加該切換電壓分別至該複數個於各該組中之焊墊部。
亦可藉由提供一種製造有機發光二極體顯示器之方法來達成各實施態樣，該方法包含：於一基材上設置一多噴嘴部件，該多噴嘴部件具有複數個噴嘴；將一儲存於一容器中之用於形成薄層之材料提供至該多噴嘴部件；以及由一脈波產生器產生切換電壓，並將該切換電壓施加至該基材與該多噴嘴部件之一者，以在該複數個噴嘴之至少一者與該基材之間產生一瞬時電位差。至少一個噴嘴因該電位差而排出一用於形成薄層之材料，以形成一薄層。
該脈波產生器可依序或隨機地施加該切換電壓至該複數個噴嘴。該複數個噴嘴可被分成複數個組，且該脈波產生器可依序或隨機地分別施加該切換電壓至該複數個於該複數個組中之噴嘴。該脈波產生器可電性連接至該基材之多個子畫素區域，以施加該切換電壓至該等子畫素區域。
10‧‧‧容器
101‧‧‧容器
11‧‧‧第一容器
12‧‧‧第二容器
13‧‧‧第三容器
20‧‧‧多噴嘴部件
21‧‧‧噴嘴
21a至21j‧‧‧噴嘴
30‧‧‧脈波產生器
40‧‧‧基材
41‧‧‧基底基材
42‧‧‧緩衝層
43‧‧‧主動層
43a‧‧‧通道區域
43b‧‧‧源極區域
43c‧‧‧汲極區域
44‧‧‧閘極絕緣層
45‧‧‧閘電極
46‧‧‧層間絕緣層
47‧‧‧源電極
48‧‧‧汲電極
49‧‧‧鈍化層
50‧‧‧平坦化層
51‧‧‧畫素界定層
61‧‧‧畫素電極
62‧‧‧發光層
63‧‧‧共用電極
70‧‧‧子畫素區域
70A‧‧‧第一組
70B‧‧‧第二組
71‧‧‧掃描導線
72‧‧‧資料導線
73‧‧‧焊墊部
73a1至73c1‧‧‧焊墊部
73a2至73c2‧‧‧焊墊部
73am至73cm‧‧‧焊墊部
90‧‧‧平台
100‧‧‧用於形成薄層之裝置
200‧‧‧用於形成薄層之裝置
第1圖係一示意圖，示意性地例示一種根據一例示性實施 態樣之用於形成薄層之裝置；第2圖係一剖視圖，示意性地例示第1圖中所示基材之一單個子畫素區域；第3圖係一示意圖，例示第1圖所示用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置，以及例示由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓；第4圖係一示意圖，例示一種根據一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置，以及例示由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓；第5圖係一示意圖，例示一種根據一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置，以及例示由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓；第6圖係一示意圖，例示一種根據一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置，以及例示由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓；第7圖係一示意圖，示意性地例示一種根據一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置；第8圖係一示意圖，示意性地例示一種根據一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之脈波產生器以及基材上之複數個子畫素區域；以及第9圖係例示由第8圖所示脈波產生器施加至複數個焊墊部之切換電壓之圖。
在下文中，將參照顯示本發明例示性實施態樣之附圖更全面地闡述各實施態樣。熟習此項技術者應理解，可在不背離例示性實施方式之精神或範圍下，以各種不同方式對所述實施例進行改良。
第1圖係一示意圖，示意性地例示一種根據一第一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置。
參照第1圖，根據第一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置100包含：一容器10，其包括一用於形成薄層之材料；一多噴嘴部件20，由複數個噴嘴21構成；以及一脈波產生器30，分別電性連接至該複數個噴嘴21。為方便起見，第1圖示意性地例示脈波產生器30電性連接至單個噴嘴21。
容器10為一單容器，儲存一種薄層形成材料。舉例言之，容器10可儲存一種用於形成一紅色、綠色、及藍色中任一種顏色之發光層之材料以及一種用於形成例如一電洞注入層(hole injection layer；HIL)、一電洞傳輸層(hole transport layer；HTL)、一電子傳輸層(electron transport layer；ETL)、一電子注入層(electron injection layer；EIL)等中間層中任一者之材料。
多噴嘴部件20設置於一基材40上並連接至容器10，以受供應一用於形成薄層之材料。多噴嘴部件20設置於容器10之一個部分處，或者係設置成與容器間隔開並可經由一軟管(圖未示出)連接至該容器。第1圖例舉地例示將多噴嘴部件20安裝 於容器10之一個部分處的情形。該複數個噴嘴21沿一第一方向(第1圖之y軸方向)以一間距平行地排列。
多噴嘴部件20與基材40之至少一者係沿一與該第一方向交叉之第二方向(第1圖之一x軸方向)而可活動式的設置。舉例言之，第二方向可垂直於第一方向。多噴嘴部件20與基材40之至少一者可藉由一平台提供。第1圖例舉地例示將基材40安裝於一平台90上以沿第二方向移動的情形。
多噴嘴部件20朝基材40排出用於形成薄層之材料，以在基材40上形成一薄層。該薄層可為一紅色、綠色、及藍色中任一種顏色之發光層，並可為例如一電洞注入層、一電洞傳輸層、一電子傳輸層、一電子注入層等中間層中之任一者。該薄層係利用噴嘴21(及經過噴嘴的一種用於形成薄層之材料)與基材40間之電位差而藉由一電荷圖案化方法來形成。以下將詳細闡述用於形成薄層之方法的細節。
第2圖係一剖視圖，示意性地例示第1圖所示之例示一單個子畫素區域之基材。
參照第2圖，基材40包含一基底基材41以及形成於基底基材41上方之一薄層電晶體(TFT)及一畫素電極61。基底基材41可由例如一玻璃板或一塑料膜所形成。基底基材41上可設置一緩衝層42。
緩衝層42上可設置一主動層43，主動層43包含一通道區域43a、一源極區域43b、以及一汲極區域43c。主動層43 上可設置一閘極絕緣層44。可於通道區域43a上之閘極絕緣層44上形成一閘電極45。一層間絕緣層46可覆蓋閘電極45。一源電極47及一汲電極48係設置於層間絕緣層46上，且源電極47與汲電極48各自經由層間絕緣層46中之接觸孔而分別連接至源極區域43b與汲極區域43c。
源電極47與汲電極48上可設置一鈍化層49。鈍化層49上可形成一平坦化層50。鈍化層49可由例如SiO2、SiNx等無機物形成，且平坦化層50可由例如聚醯亞胺(polyimide)、苯環丁烯(benzocyclobutene)等有機材料形成。平坦化層50上可形成一畫素電極61。畫素電極61可經由平坦化層50及鈍化層49中之一通孔(via hole)而連接至汲電極48。
畫素電極61及平坦化層50上可設置一畫素界定層51。畫素電極61之一部分或全部可經由畫素界定層51之一開口而暴露出。畫素電極61可為一用於注入電洞之陽極或一用於注入電子之陰極。
根據例示性實施態樣，用於形成紅色、綠色、及藍色發光層中任一者之材料自多噴嘴部件20朝所暴露之畫素電極61排出，藉此形成發光層62。根據其他例示性實施態樣，可自多噴嘴部件20排出用於形成例如電洞注入層、電洞傳輸層、電子傳輸層、電子注入層等中間層中任一者之材料，以形成中間層。
根據一實例性實施例，電洞注入層及電洞傳輸層可在發光層62形成之前形成，且電子傳輸層及電子注入層可在發光層62形成之後形成。或者，電子注入層及電子傳輸層可在發光層 62形成之前形成，且電洞傳輸層和電洞注入層可在發光層62形成之後形成。
發光層62及畫素界定層51可被覆蓋以一共用電極63。共用電極63可形成於整個基材40上，並可在藉由例如第1圖所示裝置100或另一裝置形成薄層之後在一製程中形成。畫素電極61、發光層62、及共用電極63可配置成或構成有機發光二極體(organic light emitting diode；OLED)。當畫素電極61為一陽極時，共用電極63為一陰極。當畫素電極61為一陰極時，共用電極63為一陽極。
第3圖係一示意圖，例示第1圖所示之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置以及由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓。
參照第1圖及第3圖，脈波產生器30電性連接至複數個噴嘴21a至21j，以產生切換電壓並以一時間差將該切換電壓分別施加至該複數個噴嘴21a至21j。藉由此種配置，該複數個噴嘴21a至21j之任一者與基材40之間產生一瞬時電位差，且用於形成薄層之材料經由噴嘴而被排出。換言之，並非同時對全部噴嘴21a至21j施加切換電壓。舉例言之，在不同時刻對各該複數個噴嘴21a至21j施加切換電壓，俾用於形成薄層之材料於不同時刻排出。
當同時對該複數個噴嘴21a至21j施加相同電壓時，相鄰噴嘴之間會發生電場干擾，致使自噴嘴排出之用於形成薄層之材料的移動路徑發生變化。結果，無法精確地將用於形成薄層 之材料印刷於所期望的位置處。然而，根據第一例示性實施態樣，噴嘴21a至21j係以一時間差而分別被施加以切換電壓，俾可使相鄰噴嘴間之電場干擾效應最小化。
切換電壓可被依序施加至該複數個噴嘴21a至21j。換言之，可自設置於多噴嘴部件20之一個部分處之噴嘴21a至設置於與該一個部分相對之一部分處之噴嘴21j依序施加切換電壓。在此種情形中，基材40保持較該複數個噴嘴21a至21j相對低之電位。因此，於第一噴嘴21a與基材40之間至最後一噴嘴21j與基材40之間依序產生電位差，以依序排出用於形成薄層之材料。
藉由上述方法，發光層或中間層可形成於基材40上之一行中之子畫素區域中。隨後，基材40與多噴嘴部件20中之任一者沿第二方向移動，且切換電壓被依序施加至該複數個噴嘴21a至21j，俾發光層或中間層可形成於位於下一行中之子畫素區域中。藉由此種製程，發光層或中間層可形成於整個基材40上。
藉此，根據第一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置100使用脈波產生器30依序施加切換電壓至該複數個噴嘴21a至21j。因此，可藉由最小化及/或防止相鄰噴嘴間之電場干擾而精確地將用於形成薄層之材料印刷於所期望位置處。進一步而言，相較於根據先前技術之單噴嘴結構，可有效縮短印刷時間並降低先印刷區域(pre-printing area)與後印刷區域(post-printing area)間之乾燥度(dryness)以提高發光均勻度。
第4圖係一示意圖，例示一種根據一第二例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配 置以及由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓。
參照第4圖，除切換電壓係由脈波產生器30隨機地施加至該複數個噴嘴21a至21j外，根據第二例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置係與上述第一例示性實施態樣具有相同之配置。第一例示性實施態樣中所述之各組件係由相同符號標示。
切換電壓係被隨機地施加至該複數個噴嘴21a至21j。如此一來，在任一個施加切換電壓之噴嘴與基材40之間瞬間產生電位差之同時，用於形成薄層之材料係隨機地自多噴嘴部件排出。即使在此種情形中，亦可藉由最小化及/或防止相鄰噴嘴間之電場干擾而精確地將用於形成薄層之材料印刷於所期望位置處。
第5圖係一示意圖，例示一種根據一第三例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置以及由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓。
參照第5圖，除該複數個噴嘴21a至21j被分成至少二個組22A及22B且切換電壓被依序施加至於各該組22A及22B中之複數個噴嘴21a至21j之外，根據第三例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置被配置成具有與上述第一例示性實施態樣相同之配置。第一例示性實施態樣中所述及之各組件係由相同符號標示。
舉例言之，組22A及22B可分別包含被設置成彼此相鄰之複數個噴嘴21a至21e以及21f至21j。舉例言之，複數個噴嘴21a至21j可被分成對應於多噴嘴部件20左側之第一組22A 以及對應於第一組22A右側之第二組22B。進一步言之，切換電壓在被依序施加至第一組22A之噴嘴21a至21e之同時亦被依序施加至第二組22B之噴嘴21f至21j。舉例言之，切換電壓可被依序施加至第一組22A中之噴嘴21a至21e，同時切換電壓可被依序施加至第二組22B中之噴嘴21f至21j。
因此，用於形成薄層之材料於特定時刻同時自第一組22A之噴嘴21a至21e以及第二組22B之噴嘴21f至21j排出。在此種情形中，在一特定時刻受施加切換電壓之第一組22A之噴嘴21a至21e與第二組22B之噴嘴21f至21j可以一足以不受電場影響之間距彼此間隔開。
根據第三例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置可精確地將用於形成薄層之材料印刷於所期望位置處，且相較於上述第一例示性實施態樣，可使在位於一行中之各子畫素區域中形成發光層或中間層所花費之時間減半。
第6圖係一示意圖，例示一種根據一第四例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之多噴嘴部件與脈波產生器之配置以及由脈波產生器施加至複數個噴嘴之切換電壓。
參照第6圖，除切換電壓係隨機地施加至組22A之複數個噴嘴21a至21e以及組22B之複數個噴嘴21f至21j外，根據第四例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置係與上述根據第三例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置具有相同之配置。第三例示性實施態樣中所述及之各組件係由相同符號標示。
當該複數個噴嘴21a至21j被分成第一組22A及第二組22B時，切換電壓可在被隨機地施加至第一組22A之噴嘴21a至21e之同時亦被隨機地施加至第二組22B之噴嘴21f至21j。因此，用於形成薄層之材料係以一特定時刻同時自第一組22A之噴嘴21a至21e以及第二組22B之噴嘴21f至21j排出。在特定時刻受施加切換電壓之第一組22A之噴嘴21a至21e與第二組22B之噴嘴21f至21j可以一足以不受電場影響之間距彼此間隔開。
第7圖係一示意圖，示意性地例示一種根據第五例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置。
參照第7圖，除設置有其中包含用於形成薄層之不同材料之複數個容器101且複數個噴嘴21係分別連接至複數個容器101中之任一者之外，根據第五例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置係與根據上述第一至第四例示性實施態樣中之任一個例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置具有相同之配置。
舉例言之，複數個容器101可包含：一第一容器11，其包括一用於形成紅色發光層之材料；一第二容器12，其包括一用於形成綠色發光層之材料；以及一第三容器13，其包括一用於形成藍色發光層之材料。第一容器至第三容器係一個接一個地設置且該複數個噴嘴可經由一軟管(圖未示出)連接至第一容器至第三容器中之任一者。另一方面，第一容器11、第二容器12、及第三容器13可對應於噴嘴21之數目而設置為複數個。第7圖以舉例方式顯示第二種情形。
由脈波產生器30產生之切換電壓可被依序或隨機地 施加至複數個噴嘴21。另一方面，複數個噴嘴21可被分成至少二組，且切換電壓可被依序或隨機地施加至各該組內之噴嘴。
在形成根據第五例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置200時，紅色、綠色、及藍色發光層可在一個步驟中同時形成，且不針對每種顏色的發光層分別提供多噴嘴部件，進而簡化裝置配置。
第8圖係一示意圖，示意性地例示一種根據第六例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置中之脈波產生器及基材上之複數個子畫素區域，且第9圖係一例示由第8圖所示脈波產生器施加至複數個焊墊部之切換電壓之圖。
參照第8圖及第9圖，除脈波產生器30電性連接至基材上之子畫素區域70以施加切換電壓至子畫素區域70之外，根據第六例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置係與上述根據第一例示性實施態樣之用於形成薄層之裝置具有相同之配置。
基材上形成有彼此交叉之掃描導線71與資料導線72，且子畫素區域70係設置於掃描導線71與資料導線72之每一交叉部處。每一子畫素區域70電性連接至掃描導線71及資料導線72。該複數個子畫素區域70可沿一平行於掃描導線71之方向分成複數個組。第8圖以舉例方式例示該複數個組中之第一組70A及第二組70B。
第一組70A及第二組70B分別設置有複數個焊墊部73。在第一組70A及第二組70B之每一者中，彼此不相鄰之子畫 素區域70之資料導線72係連接至焊墊部73中之任一者。
在第8圖中，第一組70A與第二組70B可分別設置有三個焊墊部73a1至73c1及73a2至73c2。第8圖以舉例方式例示以下情形：其中子畫素區域70彼此間隔開(在第一組70A與第二組70B之每一者中，其間設置有二子畫素區域)且連接至焊墊部73a1至73c1及73a2至73c2中之相同焊墊部。焊墊部73之數目並不限於所示實例。舉例言之，當存在分別包含三個焊墊部之第一組至第m組時，焊墊部73可包含焊墊部73a1至73am、焊墊部73b1至73bm、及焊墊部73c1至73cm。
脈波產生器30係例如藉由一探針卡(圖未示出)而電性連接至各該複數個焊墊部73a1至73c1及73a2至73c2。此外，針對焊墊部73a1至73c1及73a2至73c2之特定焊墊部之切換電壓可依序或隨機地施加至所有該複數個組。
舉例言之，藉由施加掃描電壓至面朝該複數個噴嘴之一行子畫素區域70中之掃描導線71來選擇子畫素區域70。此外，在施加切換電壓至第一組70A中之第一焊墊部73a1時，連接至第一焊墊部73a1之子畫素區域70同時接收該切換電壓，以相對於對應之噴嘴(圖未示出)產生電位差。如此一來，用於形成薄層之材料同時自噴嘴排出，藉此在子畫素區域上形成薄層。切換電壓被依序或隨機地施加至第一焊墊部73a1,73a2,...。
接著，切換電壓被依序或隨機地施加至第二焊墊部73b1,73b2,...並在連接至第二焊墊部73b1,73b2,...之子畫素區域70中形成薄層。接著，切換電壓被依序或隨機地施加至第三焊墊 部73c1,73c2,...並在連接至第三焊墊部73c1,73c2,...之子畫素區域70中形成薄層。如此一來，發光層或中間層可形成於位於一個行中之子畫素區域70中。
在形成薄層之後，自基材移除用於形成薄層之焊墊部73。換言之，在形成薄層之製程結束之後切割基材，且由此使基材的上面設置有焊墊部73之一部分可與上面形成有子畫素區域70之基材分開。
綜上所述，有機發光二極體顯示器(OLED)包含複數個電極(例如一陽極及一陰極)以及一設置於該等電極間之發光層。舉例言之，自陽極及陰極注入之電洞及電子在發光層上相組合而產生激子，激子釋放能量，從而發出光。為高效地發光，可選擇性地在該等電極與一發光層之間另外設置中間層(例如一電洞注入層、一電洞傳輸層、一電子傳輸層、一電子注入層等)。
用於形成薄層(例如發光層、中間層等)之方法之一實例可包括使用一電荷圖案化技術。電荷圖案化技術係為一種藉由以下方式印刷用於形成薄層之材料之技術：施加高電壓至一噴嘴並保持一基材處於一相對低電位，進而利用一溶液與該基材間之電位差而排出該溶液。
該噴嘴可由一單噴嘴構成，且基材與噴嘴可被設置成可相對於彼此相對地移動，俾可達成依序印刷薄層形成材料於基材上之目的。然而，在此種情形中，在印刷一大型基材時製程時間會變長，且一先印刷區域之乾燥度與一後印刷區域之乾燥度會因加工時間而不同，致使發光可能不均勻。
相比之下，本發明之各實施態樣係關於一種可容易地應用於批量生產一大型基材的用於形成薄層之裝置，並涉及一種有機發光二極體顯示器以及一種使用所述裝置形成有機發光二極體顯示器之方法。舉例言之，各實施例係致力於提供一種用於形成薄層之裝置以及一種使用該裝置製造有機發光二極體(OLED)顯示器之方法，該裝置能夠改良各印刷區域間之乾燥均勻度並提高發光均勻度、同時縮短印刷時間。
根據各實施態樣，藉由使相鄰噴嘴間之電場干擾最小化、同時具有一包括多個噴嘴之結構，可精確地將用於形成薄層之材料印刷於一所期望位置處。此外，相較於單噴嘴結構，可藉由降低先印刷區域與後印刷區域間之乾燥度而有效縮短印刷時間並提高發光均勻度。
儘管已結合目前被視為可行例示性實施態樣來闡述本發明，但應理解本發明並不限於所揭露之實施態樣；相反地，本發明旨在涵蓋包括於所附申請專利範圍之精神及範圍內之各種改良及等效配置。
10‧‧‧容器
20‧‧‧多噴嘴部件
21‧‧‧噴嘴
30‧‧‧脈波產生器
40‧‧‧基材
90‧‧‧平台
100‧‧‧用於形成薄層之裝置

Claims (19)

  1. 一種用於形成薄層之裝置，該裝置包含：一容器，具有一用於形成薄層之材料；一多噴嘴部件，位於一基材上並連接至該容器以接收該用於形成薄層之材料，該多噴嘴部件包括複數個彼此以一間距平行排列之噴嘴；以及一脈波產生器，用於對該基材與該多噴嘴部件之一者施加一切換電壓，俾在該複數個噴嘴之至少一者與該基材之間提供一瞬時電位差並控制該用於形成薄層之材料的排出。
  2. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中：該複數個噴嘴係沿一第一方向平行地排列；以及該多噴嘴部件與該基材之至少一者係沿一與該第一方向交叉之第二方向而可活動式的設置。
  3. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中：該容器為一單容器，其儲存該用於形成薄層之材料；以及該複數個噴嘴係連接至該容器，以接收該用於形成薄層之材料。
  4. 如請求項3所述之用於形成薄層之裝置，其中該用於形成薄層之材料為一用於形成一紅色發光層、一綠色發光層、一藍色發光層、一電洞注入層、一電洞傳輸層、一電子傳輸層、及一電子注入層之任一者之材料。
  5. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中： 該容器係複數個包括用於形成多個薄層之不同材料之容器之一者；以及各該複數個噴嘴係連接至該複數個容器之任一者。
  6. 如請求項5所述之用於形成薄層之裝置，其中該複數個容器包含：一第一容器，其包括一用於形成紅色發光層之材料；一第二容器，其包括一用於形成綠色發光層之材料；以及一第三容器，其包括一用於形成藍色發光層之材料。
  7. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係依序施加該切換電壓至該複數個噴嘴。
  8. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係隨機地施加該切換電壓至該複數個噴嘴。
  9. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中：該複數個噴嘴係分成複數個組；以及該切換電壓係同時施加至該複數個組。
  10. 如請求項9所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係依序施加該切換電壓至該複數個於各該複數個組中之噴嘴。
  11. 如請求項9所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係隨機地施加該切換電壓至該複數個於各該複數個組中之噴嘴。
  12. 如請求項1所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係電性連接至該基材之多個子畫素區域，以施加該切換電壓至該等子畫素區域。
  13. 如請求項12所述之用於形成薄層之裝置，其中：該基材包含彼此交叉之多個掃描導線與多個資料導線；該等子畫素區域係沿一與該等掃描導線平行之第一方向分成複數個組，且複數個焊墊部(pad parts)係分別連接至該等於該複數個組中之子畫素區域之至少一者；以及該脈波產生器係電性連接至該複數個焊墊部。
  14. 如請求項13所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係依序施加該切換電壓至該複數個於各該複數個組中之焊墊部。
  15. 如請求項13所述之用於形成薄層之裝置，其中該脈波產生器係隨機地施加該切換電壓至該複數個於各該複數個組中之焊墊部。
  16. 一種製造有機發光二極體顯示器之方法，該方法包含：於一基材上提供一多噴嘴部件，該多噴嘴部件包括複數個噴嘴；將一儲存於一容器中之用於形成薄層之材料提供至該多噴嘴部件；以及由一脈波產生器產生一切換電壓，並將該切換電壓施加至該基材與該多噴嘴部件之一者，以在該複數個噴嘴之至少一者與該基材之間產生一瞬時電位差； 其中至少一個噴嘴因該電位差而排出該用於形成薄層之材料，以在該基材上形成一薄層。
  17. 如請求項16所述之製造有機發光二極體顯示器之方法，其中該脈波產生器依序或隨機地施加該切換電壓至該複數個噴嘴。
  18. 如請求項16所述之製造有機發光二極體顯示器之方法，其中：該複數個噴嘴被分成複數個組；以及該脈波產生器依序或隨機地施加該切換電壓至該複數個於各該複數個組中之噴嘴。
  19. 如請求項16所述之製造有機發光二極體顯示器之方法，其中該脈波產生器係電性連接至該基材之多個子畫素區域，以施加該切換電壓至該等子畫素區域。
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