TW201404597A - 層壓裝置 - Google Patents

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TW201404597A TW102110794A TW102110794A TW201404597A TW 201404597 A TW201404597 A TW 201404597A TW 102110794 A TW102110794 A TW 102110794A TW 102110794 A TW102110794 A TW 102110794A TW 201404597 A TW201404597 A TW 201404597A
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Toshihiro Masuda
Tadashi Nakao
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Nisshinbo Mechatronics Inc
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Abstract

本發明提供一種層壓裝置，可以顯著提高加工太陽能電池模組等的被加工物的層壓加工的效率。為了顯著提高加工太陽能電池模組等的被加工物的層壓加工的效率，在主層壓裝置的後續工序中，設置至少一台副層壓裝置。所述主層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在110(Wm-1K-1)以上、398(Wm-1K-1)以下的材料所形成。所述副層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在20(Wm-1K-1)以下的材料所形成。

Description

積層裝置
本發明是關於一種層壓裝置，其中，太陽能電池模組等的被加工物配置在熱板上，通過熱板及按壓部件對經熱板加熱後的被加工物進行夾壓、層壓加工時，使用多台層壓裝置。
近年來，由於溫室氣體導致的溫室效應等問題，對環境無污染的太陽能電池受到重視。構成太陽能電池的太陽能電池模組是：通過重疊了蓋玻璃、填充材、太陽能電池單元、背面材等的多個部件而形成。製造這種太陽能電池時，使用層壓裝置將太陽能電池的構成部件重疊後、在真空加熱的同時，對各構成部件進行層壓加工、且進行黏接(例如，參照專利文獻1)。在這種層壓裝置中，密閉上腔室與下腔室且進行減壓之後，通過向膜片(diaphragm)內導入空氣，將太陽能電池模組夾壓在膜片和加熱盤的上表面之間，且通過加熱盤(熱板)進行加熱。此外，還公開了一種和所述層壓裝置有關的層壓裝置(例如，參照專利文獻2)，該層壓裝置具有的片材(sheet)能夠進入上腔室與下腔室之間。在這種層壓裝置中，太陽能電池模組載置在片材上，通過移動片材而將太陽能電池模組搬送到膜片和加熱盤(熱板)之間， 且將太陽能電池模組夾壓在膜片和片材之間。此外，還提出了一種層壓裝置(例如，參照專利文獻3)，該層壓裝置在上腔室中具備加熱盤(熱板)，使太陽能電池模組載置在片材上進行搬送，且將太陽能電池模組夾壓在加熱盤(熱板)的下表面和片材之間。
在製造太陽能電池模組的工序中，層壓加工是需要長時間的加工時間的工序。因此，為了確保必要的太陽能電池模組的製造數量，縮短層壓加工時間就成為課題。
然而，專利文獻1至專利文獻3中所記載的層壓裝置，難以高效率、大量地層壓加工太陽能電池模組。為了解決所述問題，專利文獻4公開了將2台相鄰的層壓裝置並列設置後形成的層壓裝置。
專利文獻4所記載的層壓裝置中，由於2台層壓裝置是並列設置的，雖然具有節約搬入傳送裝置(conveyor)的設置空間的效果，然而層壓加工時間只是縮短到：和使用2台層壓裝置時相同程度而已，加工時間的縮短還不充分。
專利文獻1：日本專利特開2003-282920號公報
專利文獻2：日本專利特開平11-204811號公報
專利文獻3：日本專利特開平11-254526號公報
專利文獻4：日本專利特開2005-209883號公報
鑒於上述問題，本發明的目的在於：提供一種層壓裝置， 不僅能夠更有效地層壓加工太陽能電池模組等的被加工物，而且結構簡單。
為了實現本發明的目的，第1發明的層壓裝置具有主層壓裝置，在所述主層壓裝置的後續工序中，具有至少一台副層壓裝置。所述主層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在110(Wm-1K-1)以上、398(Wm-1K-1)以下的材料所形成，所述副層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在20(Wm-1K-1)以下的材料所形成。
根據第1發明，由於主層壓裝置的熱板上的供熱部是使用高熱傳導率材料形成的，和現有技術相比，可在短時間內將熱板的溫度升至高溫，且可在短時間內將被加工物的溫度升至規定溫度。因此，將主層壓裝置的熱板溫度升至高於副層壓裝置的熱板溫度，通過組合使用主層壓裝置和副層壓裝置，和單純將2台層壓裝置並列連接的場合相比，可以縮短層壓加工時間。
第2發明的層壓裝置是基於第1發明，其特徵在於：所述主層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及熱板，被加工物載置在所述熱板上，閉合上殼體和熱板後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、且通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
第2發明的層壓裝置棄用了現有技術的層壓裝置中所使用的下殼體，取而代之，以熱板代替。該熱板為第1發明的層壓 裝置中所使用的熱板。因此，除了第1發明所具有的效果之外，還實現有：能顯著簡化裝置的結構，而成為低價的效果。
第3發明的層壓裝置是基於第1發明，其特徵在於：所述主層壓裝置及所述副層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及熱板，被加工物載置在所述熱板上，閉合上殼體和熱板後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
第3發明的層壓裝置，實現有和第2發明同樣的效果。
第4發明的層壓裝置是基於第1發明，其特徵在於：所述主層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及具有熱板的下殼體，被加工物載置在所述熱板上，閉合上殼體和下殼體後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
第4發明的層壓裝置，實現有和第1發明同樣的效果。
第5發明的層壓裝置是基於第1發明，其特徵在於：所述主層壓裝置及所述副層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及具有熱板的下殼體，被加工物載置在所述熱板上，閉合上殼體和下殼體後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
第5發明的層壓裝置，實現有和第1發明同樣的效果。
第6發明的層壓裝置是基於第1發明至第5發明中任一個，其特徵在於：所述主層壓裝置及所述副層壓裝置的任一方的熱板上，埋設有電加熱器。
根據第6發明的層壓裝置，由於熱板上使用的是電加熱器，和現有技術的油加熱器相比，可在短時間內將熱板升溫。因此，可以顯著實現第1發明的效果。
10‧‧‧被加工物(太陽能電池模組)
11‧‧‧蓋玻璃
12‧‧‧背面材
13、14‧‧‧填充材
15‧‧‧太陽能電池串
16、17‧‧‧電極
18‧‧‧太陽能電池單元
19‧‧‧導線
100‧‧‧層壓裝置(主機)
101‧‧‧層壓部
110‧‧‧上殼體
112‧‧‧膜片
113‧‧‧上腔室
114、123‧‧‧吸排氣口
115‧‧‧電池串
120‧‧‧下殼體
121‧‧‧下腔室
130‧‧‧搬送帶
150‧‧‧熱板
151‧‧‧熱板本體
152‧‧‧加熱器
153‧‧‧熱管
154‧‧‧收容溝
155‧‧‧緩衝材
156‧‧‧背板
200‧‧‧搬入用傳送裝置
300‧‧‧連接用傳送裝置
400‧‧‧層壓裝置(副機)
500‧‧‧搬出用傳送裝置
600‧‧‧另一例的層壓裝置
623‧‧‧貫通孔
650‧‧‧熱板
CL‧‧‧溫度控制裝置
LM‧‧‧本發明的層壓裝置
SH‧‧‧護套加熱器
SH1‧‧‧鎳鉻合金線
SH2‧‧‧絕緣材
SH3‧‧‧護套
圖1是表示本發明層壓裝置的作為對象的太陽能電池模組的說明圖。
圖2是表示本發明層壓裝置的說明圖。
圖3是表示本發明層壓裝置的層壓加工部的說明圖。
圖4是表示本發明層壓裝置的層壓加工部的說明圖。
圖5是表示本發明層壓裝置用的熱板的說明圖。
圖6是表示本發明層壓裝置用的熱板用的護套加熱器的說明圖。
圖7是表示本發明另一例的層壓裝置的說明圖。
根據附圖，對本發明的實施方式進行說明。
<1>被加工物(太陽能電池模組)
此處，對本發明的層壓裝置、與被層壓的被加工物10進行說明。
圖1表示作為被加工物10的太陽能電池模組的結構，該太陽能電池模組使用的是結晶系單元(cell)。如圖所示，太陽能電池模組10具有如下結構：在透明的蓋玻璃11和背面材12之間，隔著填充材13、14夾有多列太陽能電池串(string)15。背面材12使用的是聚乙烯(polyethylene)樹脂等材料。填充材13、14使用的是EVA(Ethylene vinyl acetate，乙烯-醋酸乙烯酯)樹脂等。太陽能電池串15是通過導線19連接多個作為結晶系單元的太陽能電池單元18而構成。多列太陽能電池串15是：在電極16、17之間通過導線而連接。
作為被加工物10，不僅可以是上述的太陽電池模組，也可以是一般被稱為薄膜式的太陽能電池模組。薄膜式太陽能電池模組的代表性結構例是：在透明的蓋玻璃上事先蒸鍍發電元件，所述發電元件包含透明電極、半導體、與背面電極。這樣的薄膜式太陽能電池模組中，將蓋玻璃(基板玻璃)朝下配置，在蓋玻璃上的發電元件上覆蓋填充材。進而，在填充材上覆蓋背面材而構成的。在這樣的狀態，通過真空加熱層壓，使薄膜式太陽能電池模組的構成部件進行黏接。亦即，薄膜式太陽能電池模組，僅僅是將上述太陽能電池模組的結晶系單元替換為蒸鍍的發電元件而已。薄膜式太陽能電池模組的基本封閉結構是與上述太陽能電池模組為相同的。
再者，本發明的層壓裝置及層壓方法，可以應用於：在蒸鍍有上述的發電元件的基板玻璃上覆蓋填充材，進而在填充材上覆蓋了蓋玻璃而構成的薄膜式太陽能電池模組。
<2>本發明的層壓裝置的概略結構的說明
本發明的層壓裝置的結構為：在主(main)層壓裝置(以下簡稱為主機)的後續工序中，設置有至少一台副(sub)層壓裝置(以下簡稱為副機)。作為主機和副機所使用的層壓裝置，使用圖2來進行說明。
本發明的層壓裝置LM可以由主機100及其後續工序中與主機分開設置的多台副機400構成。在本實施方式的說明中，對如圖2所示在主機的後面設置了1台副機，主機和副機通過傳送裝置(conveyor)等而連接的形態進行說明。
主機和副機的結構，可以使用分別為不同結構(不同形態)。然而，在本實施方式的說明中，是以使用相同形態的狀況來進行說明。主機和副機除了熱板以外結構相同，因此，對主機的結構進行說明。主機100具有：上殼體110、下殼體120、和搬送被加工物10的搬送帶130。搬送帶130將被加工物10搬運到上殼體110和下殼體120之間。主機100還設置有搬入用傳送裝置200，搬入用傳送裝置200將層壓前的被加工物10搬運到主機100。此外，主機100還設置有連接用傳送裝置300，連接用傳送裝置300將層壓後的被加工物10從主機100搬出、且搬入副機400。搬入用傳送裝置200和連接用傳送裝置300是連接在主機上。被加工 物10由搬入用傳送裝置200送交給搬送帶130，再由搬送帶130送交給連接用傳送裝置300。
在副機400進行層壓加工的被加工物10是通過連接用傳送裝置300搬入副機中，而進行層壓加工。層壓加工後，被加工物10被送交給搬出用傳送裝置500。連接用傳送裝置300與搬出用傳送裝置500是連接在副機上。
主機100設置有由氣缸(cylinder)及活塞桿(piston rod)等構成的升降裝置(未圖示)。升降裝置可將上殼體110維持在水平狀態下、相對於下殼體120進行升降。升降裝置通過下降上殼體110，而密閉上殼體110和下殼體120的內部空間。
<3>層壓部
以下，對本實施方式中主機100的層壓部101的結構進行具體說明。副機的層壓部的結構和主機的層壓部具有相同結構，與<2>一樣，所以僅對主機進行說明。圖3是主機100中層壓被加工物10前的層壓部101的側剖面圖。圖4是進行層壓加工時的層壓部101的側剖面圖。
上殼體110中形成有朝下方開口的空間。該空間中設置有將空間水平隔開、用作為按壓部件的膜片(diaphragm)112。膜片112是利用矽樹脂系(silicone)橡膠等的具有耐熱性的橡膠而成形。如後所述，膜片112起到按壓部件的作用，用於按壓被加工物10而進行層壓。在上殼體110內部，形成有以膜片112隔開的空間(上腔室113)。
在上殼體110的上表面，設置有和上腔室113相連通的吸排氣口114。通過上腔室113的吸排氣口114，利用真空泵可對上腔室113進行真空排氣使其成為真空狀態、或將大氣導入上腔室113內部。
下殼體120中形成有向上方開口的空間(下腔室121)。該空間中設置有熱板150(平板狀的加熱器)。熱板150通過在下殼體120的底面直立設置的支撐部件，而被保持在水平狀態。此時，被支撐著的熱板150的表面與下腔室121的開口面是大致在相同高度。在副機中，熱板150使用不同的結構，關於此點將如後所述。
在下殼體120的下表面，設置有和下腔室121相連通的吸排氣口123。通過下腔室121的吸排氣口123，利用真空泵可對下腔室121進行真空排氣使其成為真空狀態、或將大氣導入到下腔室121內部。
搬送帶130設置在上殼體110和下殼體120之間、且位於熱板150的上方，且搬送帶130可自由移動。搬送帶130從圖2的搬入用傳送裝置200接收層壓前的被加工物10後，將層壓前的被加工物10準確搬送到層壓部101的中央位置，即熱板150的中央部。並且，搬送帶130還將在主機層壓加工後的被加工物10，送交給圖2的連接用傳送裝置300。
<4>熱板的結構
本實施方式中，主機和副機的熱板150具有以下的結構。在本實施方式的說明中，主機和副機的熱板僅在材質上有所不 同，基本結構是相同的，因此，用同樣的符號標示。
主機的熱板150上的、向被加工物10供熱的供熱部是由熱傳導率在110(Wm-1K-1)以上、398(Wm-1K-1)以下的材料所形成。即在主機中，為了使進行層壓加工的被加工物10的溫度儘快上升，所以，熱板的供熱部的材料是使用鋁合金材料的熱傳導率以上的材料。藉此，能迅速從熱板向被加工物進行供熱，從而可使被加工物的溫度很快到達目標溫度。並且，主機的熱板的設定溫度可以成為被加工物內的填充材的架橋溫度以上，因此，更能使被加工物的溫度迅速上升。此外，熱板150整體也可以由所述材料形成。
另一方面，副機的熱板150上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在20(Wm-1K-1)以下的材料形成。即，熱板的供熱部是由不銹鋼材料等的熱傳導率以下的材料形成。在副機中，熱板的溫度是設定為被加工物的填充材的架橋溫度、促進填充材的架橋反應，且進行層壓加工。因此，使用的材料無需具有鋁合金材料那樣的良好熱傳導率，而是需要具有小的熱傳導率、大的熱容量(比熱×密度)的材料，從而可以維持溫度穩定無變化。因此，優選的是不銹鋼材料等。並且，和主機同樣地，副機的熱板150整體也可以由所述材料形成。
作為一例，本實施方式中的主機和副機所使用的熱板可以使用電加熱器，其結構如圖5所示。此外，為了使熱板內的溫度分佈均一，也可以同時併用熱管(heat pipe)。
如圖5所示，熱板150是由上述所說明的材料而形成為可以載置被加工物10的平板形狀。為了埋設加熱器152及熱管153，在熱板本體151的深度方向上加工了收容溝154。在收容溝154內，平行配置有多個U字形加熱器152。熱管153是平行設置在U字形加熱器152的中央。加熱器152及熱管153是：經由緩衝材155而埋設固定在收容溝154內，且利用與熱板本體151為大致相同尺寸的背板156通過螺栓等而和熱板本體151進行固定。藉此，加熱器的外周及熱管的外周是和收容溝154的底面密合。如上所述，熱板內設置有多組加熱器和熱管。再者，加熱器152可以不是U字形，也可以使用直線狀的。
此處，作為加熱器，可使用現有的護套加熱器(sheath heater)SH。如圖6所示，護套加熱器SH具有：位於中心且加工成線圈狀的鎳鉻合金(nichrome)線SH1、填充在鎳鉻合金線SH1周圍的氧化鎂等絕緣材SH2、以及包覆絕緣材SH2整個圓周的護套SH3(成為外周的外皮)。
熱管153可採用現有技術的結構。熱管管內的工作液體是在飽和蒸氣壓的狀態下被密封的，如果在熱管的長度方向有溫度差，則從高溫部向低溫部產生蒸氣流。並且，工作液體從高溫部帶走蒸發熱，而在低溫部賦予凝結熱(heat of condensation)。
<5>本發明的層壓方法
主機和副機的層壓加工的詳細情況將在<6>中進行說明。層壓加工時間的縮短是：和如何縮短層壓加工中的被加工物 的加熱時間有關。因此，將熱板的溫度設高，可以縮短升溫時間，從而縮短加熱時間。然而，只用1台主機進行層壓加工時，將熱板的設定溫度設定成填充材的架橋溫度以上是有困難的。
因此，在本發明的層壓方法中，如圖2所示，在主機的後面配置了副機而構成。利用這樣的構成，使主機的熱板150的設定溫度設定成被加工物10內的填充材13、14的架橋溫度以上成為可能，而可以將熱板上的被加工物10的溫度迅速加熱到架橋溫度附近。被加熱到架橋溫度附近的被加工物10被搬入副機，再次進行層壓加工。副機的熱板的溫度也設定在架橋溫度。被加工物10在副機經過一定時間的加壓加熱、促進填充材的架橋反應後，層壓加工結束。
根據本發明的層壓方法，和將2台主機的熱板溫度設定成架橋溫度、2台同時運作進行層壓加工的場合相比，可以縮短層壓加工的總時間，從而大幅提高生產效率。
<6>主機的層壓工序的說明
以下，對本實施方式中，主機的層壓工序進行具體的說明。首先，如圖3所示，搬送帶130將被加工物10搬送到層壓部101的中央位置。
其次，升降裝置使上殼體110下降。如圖4所示，藉由使上殼體110下降，而密閉上殼體110和下殼體120的內部空間。亦即，在上殼體110和下殼體120的內部，上腔室113及下腔室121可分別保持於密閉狀態。
隨後，主機100通過上殼體110的吸排氣口114、利用真空泵對上腔室113內進行抽真空。同樣，主機100通過下殼體120的吸排氣口123、利用真空泵對下腔室121內進行抽真空(以下稱為真空工序)。真空工序的到達真空度是：和通常的層壓裝置為相同程度，具體而言，在約130Pa左右。通過進行下腔室121的抽真空，將被加工物10內所含的氣泡及氣體排出到被加工物10的外部。
通過溫度控制裝置CL(參照圖5)的溫度控制，使被加熱後的熱板150對被加工物10進行加熱，從而也加熱被加工物10的內部所含有的填充材13、14。
隨後，主機100將下腔室121保持在真空狀態，通過上殼體110的吸排氣口114向上腔室113導入空氣。藉此，在上腔室113和下腔室121之間產生氣壓差，使膜片112膨脹。因此，如圖4所示，膜片112被向下方壓出(以下稱為加壓工序)。被向下方壓出的膜片112和熱板150夾壓被加工物10。在此夾壓的同時，如<5>中所述，主機100的熱板的溫度是設定成被加工物10內的填充材的架橋溫度以上。因此，被加工物10的溫度立即上升。並且，通過夾壓，加熱熔融的填充材13、14將各構成部件進行黏接。
在這樣的架橋反應結束前一定時間，主機100通過下殼體120的吸排氣口123向下腔室121導入空氣。此時，升降裝置使上殼體110上升。如圖3所示，上殼體110的上升，可使搬送 帶130發生移動。搬送帶130是：將層壓後的被加工物10送交到連接用傳送裝置300。
<7>副機的層壓工序的說明
以下，對本實施方式中，副機400層壓工序進行具體的說明。首先，在連接用傳送裝置300上的、經由主機100層壓加工後的被加工物10，通過副機的搬送帶130而被搬送到層壓部101的中央位置。和圖3處於同樣狀態。
其次，升降裝置使上殼體110下降。如圖4所示，上殼體110下降後，密閉上殼體110和下殼體120的內部空間。亦即，在上殼體110和下殼體120的內部，上腔室113及下腔室121可分別保持於密閉狀態。
隨後，副機400通過上殼體110的吸排氣口114、利用真空泵對上腔室113進行抽真空。同樣，副機400通過下殼體120的吸排氣口123、利用真空泵對下腔室121進行抽真空(以下稱為真空工序)。由於被加工物中所含的氣泡已經被排到外部，因此，副機的真空工序的到達真空度可以比主機的到達真空度差。也可根據被加工物的特性進行適當設定。
通過溫度控制裝置CL(參照圖5)的溫度控制，使被加熱後的熱板150對被加工物10進行加熱。和主機類似，從而也加熱被加工物10的內部所含有的填充材13、14(已處於熔融狀態的)。
隨後，副機400將下腔室121保持在真空狀態下，通過 上殼體110的吸排氣口114向上腔室113導入空氣。藉此，在上腔室113和下腔室121之間產生氣壓差，使膜片112膨脹。因此，如圖4所示，膜片112被向下方壓出(以下稱為加壓工序)。被向下方壓出的膜片112和熱板150夾壓被加工物10。在夾壓的同時，如<5>中所述，副機400的熱板的溫度是被設定成：被加工物10的內部所含有的填充材13、14的架橋溫度；因此，被加工物10內的填充材等的溫度在一定時間內被維持在架橋溫度。藉此，促進填充材的架橋反應，且獲得具有預定架橋密度的層壓體，而結束層壓加工。
這樣的被加工物10的層壓工序結束後，副機400通過下殼體120的吸排氣口123向下腔室121導入空氣。此時，升降裝置使上殼體110上升。如圖3所示，藉由上殼體110的上升，可使搬送帶130發生移動。搬送帶130將層壓後的被加工物10送交到搬出用傳送裝置500。
<8>本發明的另一例的層壓裝置
根據圖7對本發明的另一例的層壓裝置的實施方式進行說明。本實施方式的層壓裝置也可以用作為主機和副機，也可以用作為主機或副機之一來使用。並且，在說明中，具有和圖3中的層壓裝置同樣功能及結構的部分，用同一符號標示。
如圖7所示，本實施方式的層壓裝置600包括：上殼體110、和兼用為熱板650的下殼體。被加工物10通過在熱板650上方移動的搬送帶130，而被載置到熱板650上的規定位置。層壓 加工的內容和<5>至<7>的記載是相同的。真空工序是通過上殼體的吸排氣口114、及適當設置在熱板多處的、用於向下方吸排氣用的貫通孔623而進行的。並且，加壓工序是通過作為按壓部件的膜片112而進行的。
藉由將層壓裝置構成為本實施方式的結構，可以獲得<5>中所記載的：縮短層壓加工時間、大幅提高生產效率這樣的效果，同時，可大幅簡化裝置的結構，從而降低裝置的成本。
以上對本發明的實施方式進行了說明，但本發明並非侷限於上述的實施方式，所屬技術領域具有通常知識者可以進行各種可能的變形。
10‧‧‧被加工物(太陽能電池模組)
100‧‧‧層壓裝置(主機)
110‧‧‧上殼體
114‧‧‧吸排氣口
120‧‧‧下殼體
130‧‧‧搬送帶
200‧‧‧搬入用傳送裝置
300‧‧‧連接用傳送裝置
400‧‧‧層壓裝置(副機)
500‧‧‧搬出用傳送裝置
LM‧‧‧本發明的層壓裝置

Claims (6)

  1. 一種層壓裝置，具有主層壓裝置，在所述主層壓裝置的後續工序中，具有至少一台副層壓裝置，所述層壓裝置的特徵在於：所述主層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在110(Wm-1K-1)以上、398(Wm-1K-1)以下的材料所形成，所述副層壓裝置的熱板上的、向被加工物供熱的供熱部是由熱傳導率在20(Wm-1K-1)以下的材料所形成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的層壓裝置，其中：所述主層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及熱板，所述被加工物載置在所述熱板上，閉合所述上殼體和所述熱板後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、且通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的層壓裝置，其中：所述主層壓裝置及所述副層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及熱板，所述被加工物載置在所述熱板上，閉合所述上殼體和所述熱板後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、且通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的層壓裝置，其中：所述主層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及具有熱板的下殼體，所述被加工物載置在所述熱板上，閉合所述上殼體和所述下殼體後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的層壓裝置，其中：所述主層壓裝置及所述副層壓裝置包括：具有按壓部件的上殼體、以及具有熱板的下殼體，所述被加工物載置在所述熱板上，閉合所述上殼體和所述下殼體後，將通過所述按壓部件隔開的下腔室保持真空、通過向所述上腔室導入空氣，使所述熱板和所述按壓部件夾壓經所述熱板加熱後的所述被加工物、而進行層壓。
  6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的層壓裝置，其中：在所述主層壓裝置及所述副層壓裝置的任一方的熱板上，埋設有電加熱器。
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