TW201347083A - 卡銷結構 - Google Patents

Abstract

本發明揭示了一種卡銷結構，包括具有複數個齒牙的齒輪盤；一端同軸地與齒輪盤連接的柱體；以及與柱體遠離齒輪盤的一端偏軸地連接，且徑向方向朝向柱體的圓心接觸件，具有第一半圓柱段、矩形柱段及第二半圓柱段，第一半圓柱段的第一半圓部係與柱體的周圓內切設置，第一半圓柱段的第一平坦部與矩形柱段的一側連接，矩形柱段遠離第一半圓柱段的一側與第二半圓柱段的第二平坦部連接，第二半圓柱段的第二半圓部朝向柱體的圓心；藉此，轉動卡銷結構以固定或釋放晶圓，並達到增加使用壽命的功效。

Description

卡銷結構

本發明與晶圓製程設備有關，特別是關於一種用於晶圓製程中固定晶圓的卡銷結構。

請同時參考圖1至圖5，其中，圖1係表示習知卡銷結構的外觀示意圖，圖2係表示習知卡銷結構的頂視圖，圖3係表示習知多個卡銷結構設置在一卡盤上的外觀示意圖，圖4係表示圖3於釋放晶圓時的頂視圖，圖5係表示圖3於固定晶圓時的頂視圖。

習知的卡銷結構10係包括一齒輪盤101、一第一柱體102及一第二柱體103，其中，第一柱體102的直徑大於第二柱體103的直徑，第一柱體102的兩端係分別連接齒輪盤101及第二柱體103，且齒輪盤101具有若干齒牙1011，係與一驅動結構(圖未示)嚙合並受其帶動而轉動。

而習知的多個卡銷結構10係等角度間隔地設置在一卡盤20的周圓內，且齒輪盤101設置在卡盤20內，第一柱體102部分外露，第二柱體103完全外露。

其中，第二柱體103的橫截面係呈圓形，亦即第二柱體103與第一柱體102的接觸面為圓形，且第二柱體103係內切於第一柱體102，因此當各卡銷結構10的齒輪盤101受驅動結構(圖未示)帶動而轉動一角度，並固定住一晶圓30時，係以第二柱體103接觸作用在晶圓30的邊緣處，由於在製程中，晶圓30為較硬質的材質，第二柱體103(或卡銷結構10)必須是較軟質材質以避免損傷晶圓30，所以在第二柱體103多次(一般為約700~1000次)夾壓固定晶圓30邊緣處後，非常容易損傷，使用壽命短；更甚者，第二柱體103會斷裂而脫離，造成在製程中晶圓30的飛出或者是造成晶圓30的破片等，進而導致製程中斷，影向工時。

基於上述問題，發明人提出了一種卡銷結構，以克服現有技術的缺陷。

本發明目的在於提供一種卡銷結構，其係藉由截面大致呈長圓形的接觸件，以加大與柱體的接觸面積，進而延長使用壽命。

為達上述目的，本發明係提供一種卡銷結構，係包含：一齒輪盤，具有複數個齒牙；一柱體，其一端係同軸地與該齒輪盤連接；以及一接觸件，係與該柱體遠離該齒輪盤的一端偏軸地連接，且該接觸件的徑向方向係朝向該柱體的圓心，該接觸件具有一第一半圓柱段、一矩形柱段及一第二半圓柱段，該第一半圓柱段的一第一半圓部係與該柱體的周圓內切設置，該第一半圓柱段的一第一平坦部係與該矩形柱段的一側連接，該矩形柱段遠離該第一半圓柱段的一側係與該第二半圓柱段的一第二平坦部連接，該第二半圓柱段的一第二半圓部係朝向該柱體的圓心。

雖然本發明使用了幾個較佳實施例進行解釋，但是下列圖式及具體實施方式僅僅是本發明的較佳實施例；應說明的是，下面所揭示的具體實施方式僅僅是本發明的例子，並不表示本發明限於下列圖式及具體實施方式。

請同時參閱圖6至圖10，其中，圖6係表示本發明卡銷結構的外觀示意圖，圖7係表示本發明卡銷結構的頂視圖，圖8係表示本發明多個卡銷結構設置在一卡盤上的外觀示意圖，圖9係表示圖8於釋放晶圓時的部分放大示意圖，圖10係表示圖8於固定晶圓時的部分放大示意圖。

本發明的卡銷(chuck pin)結構1係具有複數個，較佳者，卡銷結構1係有六個，係等角度間隔地設置在一卡盤(chuck)100上，且各卡銷結構1的設置以及同時轉動一角度，係恰可固定或釋放設置在卡盤100上的一晶圓200。

本發明的卡銷結構1係包括一齒輪盤2、一柱體3以及一接觸件4。

齒輪盤2係具有複數個齒牙21，各齒牙21係與卡盤100的一驅動結構(圖未示)嚙合，且驅動結構(圖未示)係可帶動齒輪盤2轉動。

柱體3的一端係同軸地與齒輪盤2連接。

接觸件4的截面係大致呈長圓形，係與柱體3遠離齒輪盤2的一端偏軸地連接，且接觸件4的徑向方向係朝向柱體3的圓心，接觸件4具有一第一半圓柱段41、一矩形柱段42及一第二半圓柱段43，其中，第一半圓柱段41的一第一半圓部411係與柱體3的周圓內切設置，第一半圓柱段41的一第一平坦部412係與矩形柱段42的一側連接，矩形柱段42遠離第一半圓柱段41的一側係與第二半圓柱段43的一第二平坦部432連接，第二半圓柱段43的一第二半圓部431係朝向柱體3的圓心。

初始時，即尚未將晶圓200放在卡盤100上或者是欲將晶圓200取出時，各卡銷結構1的第一半圓柱段41的第一半圓部411係鄰近卡盤100的周圓；當將晶圓200置放在卡盤100上時，透過驅動結構(圖未示)帶動齒輪盤2轉動，使各卡銷結構1的第一半圓柱段41的第一半圓部411朝遠離卡盤100周圓方向或是朝卡盤100圓心方向轉動一角度(轉動方向可為順時鐘方向或逆時鐘方向，本發明係以逆時鐘方向進行說明，但並不以此為限)，以同時夾住固定晶圓200。

藉由上述結構，本發明的卡銷結構1的接觸件4的截面係呈長圓形，相較於習知的圓形而言，接觸件4與柱體3的接觸面積較大，因此在長時間施力夾住固定晶圓200的磨損狀況下，使用壽命可以加長，實務上，本發明的卡銷結構1係可至少使用到3000片晶圓，較習用的700~1000片晶圓的使用壽命更長。

雖然本發明以相關的較佳實施例進行解釋，但是這並不構成對本發明的限制。應說明的是，本領域的技術人員根據本發明的思想能夠構造出很多其他類似實施例，這些均在本發明的保護範圍之中。

[本發明]

1．．．卡銷結構

2．．．齒輪盤

21．．．齒牙

3．．．柱體

4．．．接觸件

41．．．第一半圓柱段

411．．．第一半圓部

412．．．第一平坦部

42．．．矩形柱段

43．．．第二半圓柱段

431．．．第二半圓部

432．．．第二平坦部

100．．．卡盤

200．．．晶圓

[習知]

10．．．卡銷結構

101．．．齒輪盤

1011．．．齒牙

102．．．第一柱體

103．．．第二柱體

20．．．卡盤

30．．．晶圓

圖1　係表示習知卡銷結構的外觀示意圖。

圖2　係表示習知卡銷結構的頂視圖。

圖3　係表示習知多個卡銷結構設置在一卡盤上的外觀示意圖。

圖4　係表示圖3於釋放晶圓時的頂視圖。

圖5　係表示圖3於固定晶圓時的頂視圖。

圖6　係表示本發明卡銷結構的外觀示意圖。

圖7　係表示本發明卡銷結構的頂視圖。

圖8　係表示本發明多個卡銷結構設置在一卡盤上的外觀示意圖。

圖9　係表示圖8於釋放晶圓時的部分放大示意圖。

圖10　係表示圖8於固定晶圓時的部分放大示意圖。

1．．．卡銷結構

2．．．齒輪盤

21．．．齒牙

3．．．柱體

4．．．接觸件

41．．．第一半圓柱段

411．．．第一半圓部

412．．．第一平坦部

42．．．矩形柱段

43．．．第二半圓柱段

431．．．第二半圓部

432．．．第二平坦部

Claims (1)

1. 一種卡銷結構，係包含：一齒輪盤，具有複數個齒牙；一柱體，其一端係同軸地與該齒輪盤連接；以及一接觸件，係與該柱體遠離該齒輪盤的一端偏軸地連接，且該接觸件的徑向方向係朝向該柱體的圓心，該接觸件具有一第一半圓柱段、一矩形柱段及一第二半圓柱段，該第一半圓柱段的一第一半圓部係與該柱體的周圓內切設置，該第一半圓柱段的一第一平坦部係與該矩形柱段的一側連接，該矩形柱段遠離該第一半圓柱段的一側係與該第二半圓柱段的一第二平坦部連接，該第二半圓柱段的一第二半圓部係朝向該柱體的圓心。