TW201335817A - 表面聲波式觸控面板及其製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明係有關於一種表面聲波式觸控面板，包括：基板；壓電材料層，其係覆蓋於該基板上方，其中，該壓電材料層之材質係包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；電壓供應電極，其係設於該壓電材料層表面，以提供電壓予該壓電材料層，使該壓電材料層產生一表面聲波；電壓接收電極，其係設於該壓電材料層表面，以接受該壓電材料層之該表面聲波所產生的電壓值；以及絕緣保護膜，其係保護該壓電材料層、該電壓供應電極、以及該電壓接收電極。本發明亦關於上述表面聲波式觸控面板之製法。

Description

表面聲波式觸控面板及其製造方法

本發明係關於一種觸控面板及其製造方法，尤指一種表面聲波式觸控面板及其製造方法。

觸控面板(Touch Screen)的應用相當廣泛，諸如工業控制系統、導覽系統、銷售點終端機、自動櫃員機、手機、平板電腦及遊戲機等。觸控面板依其偵測觸控點的原理，主要可分為以下三種：第一種為電阻式觸控面板，其係利用手指或觸控筆輕按，使表層導電層與底層導電層相連而產生電流，因此能夠偵測出觸點的X座標與Y座標；第二種為電容式觸控面板，其係於表面產生均勻的低壓電場，每當手指或帶電導體接觸到螢幕，就會與外側導電層上的電場產生電容耦合，而吸去微小的電流，因此能夠偵測出觸點的X座標與Y座標；第三種為表面聲波式觸控面板(surface acoustic wave touch panels)，利用聲波覆蓋整個表面，而手指或觸頭會阻斷這些駐波圖樣，此時可檢測出相對的衰減，而能定出手指的座標。

不過，上述三種皆由其優缺點，適用性皆由其限制。舉例而言，電容式觸控面板雖感應良好，但僅能用手指或帶電導體觸控且成本高；電阻式觸控面板的觸控媒介不限於手指，但感應力較電容式觸控面板差，且多次觸控後會有疲勞性問題，因此耐用性差、敏感度低、反應慢且透光度不良。另一方面表面聲波式觸控面板雖屬於最新、耐用性較高，但其價格較為昂貴，且反應時間較長，容易受汙點影響。

因此，若可以發展出一種觸控面板，可以兼具上述三種觸控面板之優點，同時克服其缺點，將更利於相關電子產業發展。

本發明之主要目的係在提供一種表面聲波式觸控面板，其中利用含氮化鋁之壓電材料，做為施加電壓時產生聲波的來源，後續以手指或觸控頭壓於壓電材料時，會造成壓電材料上表面聲波的波形會有所變化，利用聲波的延遲時間變化判定觸控位置，因此感應力良好、成本低、耐用性佳、敏感度高、反應快、透光度佳且不易受汙點影響。

為達成上述目的，本發明之一態樣提供一種表面聲波式觸控面板，包括：一基板；一壓電材料層，其係覆蓋於該基板上方，其中，該壓電材料層之材質係包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；一電壓供應電極，其係設於該壓電材料層表面，以提供一電壓予該壓電材料層，使該壓電材料層產生一表面聲波(surface acoustic wave)；一電壓接收電極，其係設於該壓電材料層表面，以接受該壓電材料層之該表面聲波所產生的電壓值；以及一絕緣保護膜，其係保護該壓電材料層、該電壓供應電極、以及該電壓接收電極。

習知的表面聲波式觸控面板，通常是利用發射器或電磁振動玻璃產生聲波，並利用反射體傳佈震波，使玻璃表面產生橫波，利用手指或觸控頭觸壓所造成的駐波衰減，進而偵測觸點位置。不過，習知表面聲波式觸控面板的反應時間較差、防汙能力(諸如防水氣能力、防灰塵能力等)差、成本高，因此在應用性上仍有限制。反觀，本發明使用含氮化鋁的壓電材料做為產生表面聲波(surface acoustic wave，SAW)的來源，其中氮化鋁的穩定相為微鋅礦系(Wrtzite)多六方晶系結構，具有壓電效果，且其表面聲波之波速度最高，故對於震波之減速或散射的敏感度最大。因此，除了可以擁有習知表面聲波式觸控面板原本所擁有之耐久性(諸如防刮、防火等)良好、解析度高等優點外，本發明之表面聲波式觸控面板亦可以克服習知表面聲波式觸控面板原本所擁有之反應時間較差、防汙能力(諸如防水氣能力、防灰塵能力等)差、成本高等缺點。

於本發明上述表面聲波式觸控面板中，該基板可依需要選擇其材質，並無特別限制，較佳為一透明基板，例如玻璃基板、石英基板或藍寶石基板。此外，該壓電材料層也可依需求選擇其厚度，如果需要壓電材料層透光，亦可調整其厚度成為一透光膜。於此，透光膜係表示薄膜的透光率(transmittance)大於80%。另外，壓電材料層中之氮化鋁(即第一壓電材料)，含氮量若接近1：1時，則因未鍵結的鋁原子比例上較少，可以減少或避免潮氣對壓電材料層之表面聲波傳輸性造成不良影響；此外，若氮化鋁中的部分鋁原子置換成其他原子(如硼原子)，亦可保護氮化鋁不致水解；若氮化鋁中的部分鋁原子以鎵原子或銦原子取代，可增加導電率，或者降低氮含量，亦可增加導電率但會降低透光度與增加水解可能性，因此本領域通常知識者可依需求，調整氮化鋁內各原子的比例，達到最佳適用性。

於本發明上述表面聲波式觸控面板中，該壓電材料層之材質可以選擇性更包含一第二壓電材料，該第二壓電材料可以為鋯鈦酸鉛(lead zirconium titanate，PZT)、鉭酸鋰(LiTaO₃)、鈮酸鋰(LiNbO₃)、二氧化矽(SiO₂)、氧化鋅(ZnO)或其組合。此外，該壓電材料層可為第一壓電材料與該第二壓電材料之層疊結構。換句話說，該第二壓電材料可以依需求而設置於該第一壓電材料之上表面、下表面或其上下兩表面。另外，該絕緣保護膜之材質沒有特別限制，只要能夠達到保護電極與壓電材料層的功效即可，舉例可為氮化硼(BN)、絕緣性類碳鑽(diamond-like carbon)、或其組合，且該絕緣保護膜亦可經過改質(modified)，亦即其表面可以選擇性摻雜氫、氧、氮、氟、氯或其組合之元素。

於本發明上述表面聲波式觸控面板中，該電壓供應電極以及該電壓接收電極之材質，沒有特別限制，可為本領域通常知識者常用的電極材料，例如鋁(Al)或鈦(Ti)。

本發明上述表面聲波式觸控面板，除了透過手指或觸控筆達到觸控的功能外，亦可以利用聲波達到控制的功效，換言之本發明之壓電材料層亦可以做為聲波接受的元件。舉例而言，利用功能切換鍵，將本發明表面聲波式觸控面板的膜式切換成感應聲波，如此便可利用壓電材料層做為感應聲波的元件，使得表面聲波式觸控面板如同一麥克風的功能。除此之外，本發明表面聲波式觸控面板亦可以做為聲波輸出裝置，換言之本發明之壓電材料層亦透過波動達到輸出聲波的效果，而如同喇叭裝置。

本發明上述電極的排列方式沒有特別限制，只要能夠提供電壓給壓電材料以及接受電壓訊號即可。於本發明一較佳具體實例中，該壓電材料層具有一第一側緣與一相對於該第一側緣之第二側緣，且該電壓供應電極係沿著該第一側緣設置，該電壓接收電極係沿著該第二側緣設置。於本發明另一較佳具體實例中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係沿著該第一側緣之方向與該第三側緣之方向間隔設置。於本發明再另一較佳具體實例中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係沿著該第一側緣之方向上分別排列成行，並於該第三側緣之方向上間隔設置。

另外，本發明之主要目的係在提供一種表面聲波式觸控面板之製造方法，其中利用含氮化鋁之壓電材料，製出感應力良好、成本低、耐用性佳、敏感度高、反應快、透光度佳且不易受汙點影響之表面聲波式觸控面板。

為達上述目的，本發明之另一態樣提供一種表面聲波式觸控面板之製造方法，包括以下步驟：提供一基板；於該基板表面上形成一壓電材料層，其中，該壓電材料層之材質包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；於該壓電材料層表面形成一電壓供應電極以及一電壓接收電極，其中，該電壓供應電極係用以提供一電壓予該壓電材料層，使該壓電材料層產生一表面聲波(surface acoustic wave)，該電壓接收電極係用以接受該壓電材料層之該表面聲波所產生的電壓值；以及形成一絕緣保護膜，其係覆蓋該壓電材料層、該電壓供應電極、以及該電壓接收電極。

於本發明上述表面聲波式觸控面板之製造方法中，該基板可依需要選擇其材質，並無特別限制，較佳為一透明基板，例如玻璃基板、石英基板或藍寶石基板。此外，該壓電材料層也可依需求選擇其厚度，如果需要壓電材料層透光，亦可調整其厚度成為一透光膜。於此，透光膜係表示薄膜的透光率(transmittance)大於80%。氮化鋁之披覆(coating)的方法，沒有特別限制，可為本領域通常知識者常用方法，例如可為蒸鍍，濺鍍或雷射剝離等物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)或化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)，其中後者需化學反應，常在高溫下產生鍍膜，因此基板的種類會有所限制，無法適用於不耐高溫的基材，亦會也會增加鍍膜的成本。

除此之外，氮化鋁產生的表面聲波之波速雖高，但其機電耦合係數偏低，故對於電壓或壓電的效果較弱。為了補強這個弱點，氮化鋁可披覆在其他壓電材料上，且一般的壓電材料偏軟，氮化鋁較硬，如此可以形成防制的保護層。因此，於本發明上述表面聲波式觸控面板之製造方法中，該壓電材料層之材質可以選擇性更包含一第二壓電材料，該第二壓電材料可以為鋯鈦酸鉛(lead zirconium titanate，PZT)、鉭酸鋰(LiTaO₃)、鈮酸鋰(LiNbO₃)、二氧化矽(SiO₂)、氧化鋅(ZnO)或其組合。此外，該壓電材料層可為第一壓電材料與該第二壓電材料之層疊結構，其製法可依需求調整。換句話說，該第二壓電材料可以而設置於該第一壓電材料之上表面、下表面或其上下兩表面。

於本發明上述表面聲波式觸控面板之製造方法中，該絕緣保護膜之材質沒有特別限制，只要能夠達到保護電極與壓電材料層的功效即可，舉例可為氮化硼(BN)、絕緣性類碳鑽(diamond-like carbon)、或其組合，且該絕緣保護膜亦可經過改質(modified)，亦即其表面可以選擇性摻雜氫、氧、氮、氟、氯或其組合之元素，其摻雜方式可為全面摻雜或間斷(諸如格紋線狀或方塊陣列狀)，如此可使該絕緣保護膜表面同時具有疏水及疏油(即不沾指紋)的功能。此外，該電壓供應電極以及該電壓接收電極之材質，沒有特別限制，可為本領域通常知識者常用的電極材料，例如鋁(Al)或鈦(Ti)。

由上述可知，本發明上述表面聲波式觸控面板中，透過於面板四週設置不連續的電極，並由面板的一端加入交流電壓，電壓經由壓電材料即可產生表面聲波(SAW)傳遞到另一端的接收處，以逆向的壓電反應形成接受的電壓。若表面未被強觸，發收電壓的時差最低；反之，若以手指或觸筆接觸傳佈的表面聲波，則不僅表面聲波到達彼端的時間會延遲，而且表面聲波的波形會被散射到其他的接受點。紀錄各個接受點之波形與時間，便可利用比較各個接受點的數據，經由神經網路的學習過程，則可軟體或製成晶片控制進行控制，因此電壓的高低及時間的先後，就可反推計算出接觸的位置、大小及壓力，亦可記錄多指滑痕的軌跡，進而判讀個人遊戲的特質，若紀錄於記憶體中，便可追蹤不同人的遊戲觸控歷史。據此，可以清楚了解本發明上述表面聲波式觸控面板具有以下優點：可以同時辨別個別指紋及單次壓力、感應力良好、成本低(低於電容式觸控面板)、結構簡單、製造及使用容易、耐用性佳、敏感度高、反應快、透光度佳且不易受汙點影響等優點，更優於習用的觸控面板。

以下係藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，熟習此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地了解本發明之其他優點與功效。本發明亦可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明之精神下進行各種修飾與變更。

本發明之實施例中該等圖式均為簡化之示意圖。惟該等圖示僅顯示與本發明有關之元件，其所顯示之元件非為實際實施時之態樣，其實際實施時之元件數目、形狀等比例為一選擇性之設計，且其元件佈局型態可能更複雜。

實施例一

參考圖1A與圖1B與圖2A，其中，圖1A係本發明表面聲波式觸控面板之結構示意圖，圖1B係圖1A之剖面示意圖，圖2A係壓電材料層表面電極設置之示意圖。

如圖1A所示，先提供一基板11，其中，該基板11可為一透明基板，例如玻璃基板、石英基板或藍寶石基板。於本實施例中，使用玻璃基板做為該基板11。

而後，於該基板11表面上形成一壓電材料層12，其中，該壓電材料層12具有一第一側緣121及一相對於該第一側緣121之第二側緣122。於本實施例中，該壓電材料層12係一氮化鋁層，不過該壓電材料層12的材質與結構不限於氮化鋁與單層結構。換言之，可將氮化鋁做為第一壓電材料，以及其他諸如鋯鈦酸鉛(lead zirconium titanate，PZT)、鉭酸鋰(LiTaO₃)、鈮酸鋰(LiNbO₃)、二氧化矽(SiO₂)、氧化鋅(ZnO)等做為第二壓電材料，並將第一壓電材料與第二壓電材料分別形成層狀結構，兩者相互堆疊，例如該第二壓電材料依需求而設置於該第一壓電材料之上表面、下表面或其上下兩表面，或者反之亦然。除此之外，對於壓電材料層中之氮化鋁，其中含氮量、含鋁量、摻雜其他如鎵原子或銦原子等，本領域通常知識者可依需求進行調整而達到最佳適用性。

然後，如圖2A所示，於該壓電材料層12表面形成電壓供應電極13以及電壓接收電極14，其中，該電壓供應電極13係設於該壓電材料層12之該第一側緣121，以提供一電壓予該壓電材料層12，使該壓電材料層12產生一表面聲波(surface acoustic wave)，該電壓接收電極14係設於該壓電材料層12之該第二側緣122，以接受該壓電材料層12之該表面聲波所產生的電壓值。

最後，形成一絕緣保護膜15，其係覆蓋該壓電材料層12、該電壓供應電極13、以及該電壓接收電極14，其中，該絕緣保護膜要能夠達到保護電極與壓電材料層12的功效，舉例可為氮化硼(BN)、絕緣性類碳鑽(diamond-like carbon)、或其組合。於本實施例中，使用絕緣性類碳鑽做為絕緣保護膜15。除此之外，該絕緣保護膜15也可經過改質(modified)，亦即其表面可以選擇性摻雜氫、氧、氮、氟、氯或其組合之元素，如此可使該絕緣保護膜表面同時具有疏水及疏油(即不沾指紋)的功能。另一方面，該電壓供應電極以及該電壓接收電極之材質，可使用本領域常用的電極材料，例如鋁(Al)或鈦(Ti)。於本實施例中，使用鋁做為電極材料。

據此，如圖1B所示，本發明之表面聲波式觸控面板，包括：一基板11；一壓電材料層12，其係覆蓋於該基板11上方且具有一第一側緣121與一相對於該第一側緣121之第二側緣122，其中，該壓電材料層12之材質係包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；一電壓供應電極13，其係設於該壓電材料層12之該第一側緣121，以提供一電壓予該壓電材料層12，使該壓電材料層12產生一表面聲波(surface acoustic wave)；一電壓接收電極14，其係設於該壓電材料層12之該第二側緣122，以接受該壓電材料層12之該表面聲波所產生的電壓值；以及一絕緣保護膜15，其係保護該壓電材料層12、該電壓供應電極13、以及該電壓接收電極14。

實施例二

本實施例製造表面聲波式觸控面板之方式大致上相同於上述實施例一，不同點在於本實施例之該電壓供應電極與該電壓接收電極的設置方式係參考圖2B，圖2B係該壓電材料層12表面該電壓供應電極13與該電壓接收電極14之示意圖。

如圖2B所示，該壓電材料層12具有一第一側緣121、一相對於該第一側緣之第二側緣122、以及一鄰接該第一側緣121與該第二側緣122之第三側緣123，且該電壓供應電極13與該電壓接收電極14係沿著該第一側緣121之方向與該第三側緣123之方向間隔設置。

實施例三

本實施例製造表面聲波式觸控面板之方式大致上相同於上述實施例一，不同點在於本實施例之該電壓供應電極與該電壓接收電極的設置方式係參考圖2C，圖2C係該壓電材料層12表面該電壓供應電極13與該電壓接收電極14之示意圖。

如圖2C所示，該壓電材料層12具有一第一側緣121、一相對於該第一側緣之第二側緣122、以及一鄰接該第一側緣121與該第二側緣122之第三側緣123，且該電壓供應電極13與該電壓接收電極14分別沿著該第一側緣121之方向上排列成行，並於該第三側緣123之方向上間隔設置。

綜上所述，本發明採用含氮化鋁的壓電材料層做為產生表面聲波的媒介，並於壓電材料層的四週設置不連續的電極，並由電壓供應電極一端施加交流電壓予壓電材料層，使其產生表面聲波(SAW)傳遞到另一端，以逆向的壓電反應形成接受的電壓予電壓接收電極。一旦以手指或觸筆接觸時，會延遲遍佈於壓電材料層上的表面聲波，其波形亦會被散射到其他的接受點，藉由電壓的高低及時間的先後，就可推算出接觸的位置、大小及壓力。據此，可以清楚了解本發明上述表面聲波式觸控面板具有感應力良好、成本低、耐用性佳、敏感度高、反應快、透光度佳且不易受汙點影響等優點，更優於習用的觸控面板。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

11．．．基板

12．．．壓電材料層

121．．．第一側緣

122．．．第二側緣

123．．．第三側緣

13．．．電壓供應電極

14．．．電壓接收電極

15．．．絕緣保護膜

圖1A係本發明實施例一之表面聲波式觸控面板之結構示意圖。

圖1B係本發明圖1A之剖面示意圖。

圖2A係本發明實施例一表面聲波式觸控面板中壓電材料層表面電壓供應電極與電壓接收電極之示意圖。

圖2B係本發明實施例二表面聲波式觸控面板中壓電材料層表面電壓供應電極與電壓接收電極之示意圖。

圖2C係本發明實施例三表面聲波式觸控面板中壓電材料層表面電壓供應電極與電壓接收電極之示意圖。

11．．．基板

12．．．壓電材料層

121．．．第一側緣

122．．．第二側緣

13．．．電壓供應電極

14．．．電壓接收電極

15．．．絕緣保護膜

Claims (26)

1. 一種表面聲波式觸控面板，包括：一基板；一壓電材料層，其係覆蓋於該基板上方，其中，該壓電材料層之材質係包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；一電壓供應電極，其係設於該壓電材料層表面，以提供一電壓予該壓電材料層，使該壓電材料層產生一表面聲波(surface acoustic wave)；一電壓接收電極，其係設於該壓電材料層表面，以接受該壓電材料層之該表面聲波所產生的電壓值；以及一絕緣保護膜，其係保護該壓電材料層、該電壓供應電極、以及該電壓接收電極。
2. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該基板係一透明基板。
3. 如申請專利範圍第2項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該透明基板係玻璃基板、石英基板或藍寶石基板。
4. 如申請專利範圍第2項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層係為一透光膜。
5. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層之材質更包含一第二壓電材料，該第二壓電材料係選自由鋯鈦酸鉛(lead zirconium titanate，PZT)、鉭酸鋰(LiTaO₃)、鈮酸鋰(LiNbO₃)、二氧化矽(SiO₂)、以及氧化鋅(ZnO)所組群組之至少一壓電材料。
6. 如申請專利範圍第5項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層係為第一壓電材料與該第二壓電材料之層疊結構。
7. 如申請專利範圍第6項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該第二壓電材料係設置於該第一壓電材料之上表面、下表面或其上下兩表面。
8. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該絕緣保護膜之材質係為氮化硼(BN)、絕緣性類碳鑽(diamond-like carbon)、或其組合。
9. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該絕緣保護膜表面係摻雜選自由氫、氧、氮、氟、以及氯所組群組之至少一元素。
10. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該電壓供應電極以及該電壓接收電極之材質係為鋁(Al)或鈦(Ti)。
11. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層具有一第一側緣與一相對於該第一側緣之第二側緣，且該電壓供應電極係沿著該第一側緣設置，該電壓接收電極係沿著該第二側緣設置。
12. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係沿著該第一側緣之方向與該第三側緣之方向間隔設置。
13. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波式觸控面板，其中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係分別沿著該第一側緣之方向上排列成行，並於該第三側緣之方向上間隔設置。
14. 一種表面聲波式觸控面板之製造方法，包括以下步驟：提供一基板；於該基板表面上形成一壓電材料層，其中，該壓電材料層之材質包含一第一壓電材料，該第一壓電材料係為氮化鋁；於該壓電材料層表面形成一電壓供應電極以及一電壓接收電極，其中，該電壓供應電極係用以提供一電壓予該壓電材料層，使該壓電材料層產生一表面聲波(surface acoustic wave)，該電壓接收電極係設用以接受該壓電材料層之該表面聲波所產生的電壓值；以及形成一絕緣保護膜，其係覆蓋該壓電材料層、該電壓供應電極、以及該電壓接收電極。
15. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該基板係一透明基板。
16. 如申請專利範圍第15項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該透明基板係玻璃基板、石英基板或藍寶石基板。
17. 如申請專利範圍第15項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層係為一透光膜。
18. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層之材質更包含一第二壓電材料，該第二壓電材料係選自由鋯鈦酸鉛(lead zirconium titanate，PZT)、鉭酸鋰(LiTaO₃)、鈮酸鋰(LiNbO₃)、二氧化矽(SiO₂)、以及氧化鋅(ZnO)所組群組之至少一壓電材料。
19. 如申請專利範圍第18項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層係為第一壓電材料與該第二壓電材料之層疊結構。
20. 如申請專利範圍第19項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該第二壓電材料係設置於該第一壓電材料之上表面、下表面或其上下兩表面。
21. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該絕緣保護膜之材質係為氮化硼(BN)、絕緣性類碳鑽(diamond-like carbon)、或其組合。
22. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，更包括以下步驟：於該絕緣保護膜表面摻雜選自由氫、氧、氮、氟、以及氯所組群組之至少一元素。
23. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該電壓供應電極以及該電壓接收電極之材質係為鋁(Al)或鈦(Ti)。
24. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層具有一第一側緣與一相對於該第一側緣之第二側緣，且該電壓供應電極係沿著該第一側緣設置，該電壓接收電極係沿著該第二側緣設置。
25. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係沿著該第一側緣之方向與該第三側緣之方向間隔設置。
26. 如申請專利範圍第14項所述之表面聲波式觸控面板之製造方法，其中，該壓電材料層具有一第一側緣、一相對於該第一側緣之第二側緣、以及一鄰接該第一側緣與該第二側緣之第三側緣，且該電壓供應電極與該電壓接收電極係沿著該第一側緣之方向上分別排列成行，並於該第三側緣之方向上間隔設置。