TW201215793A - Angle of repose valve - Google Patents

Description

201215793 六、發明說明： 【先前技術】 舉例而言，在石夕產品（包括半導體晶圓）之製造中常常使 用高純度之粒狀固體。閥用以控制粒狀固體之流動。習知 閥（諸如’球閥或間閥）不適合於在製造程序中控制顆粒之 流動。習知閥之使用常常導致閥之材料被磨損且污染顆 粒。此外，習知閥可能不能夠完全關閉及中止顆粒之流 動’此係因為顆粒可變成陷於閥組件之間。已開發出靜止 角閥來解決此等問題。然而，先前靜止角閥具有缺點。舉 例而言’先前技術密封件無法耐受較高氣體壓力。 【發明内容】 一第一態樣為一種用於施配高純度顆粒之靜止角閱。該 閥包含一外殼，該外殼具有一入口、一出口、具有一圓周 邊緣之一開口及一内部空腔。一導管自該入口延伸至該外 殼之該内部空腔中且該導管具有在該外殼之該内部空腔中 的一終端。一鞍形物安置於該外殼之該内部空腔中。該鞍 形物亦垂直地安置於該導管之該終端下方且該鞍形物具有 一截流部件（catch member)。一軸桿耦接至該鞍形物且延 伸穿過該外殼中之該開口之該圓周邊緣且經組態以用於耦 接至一驅動裝置。一人字形密封件鄰近該軸桿延伸穿過的 界定該外殼中之該開口的至少該圓周邊緣而安置， 且该人 字形密封件具有供該轴桿通過之一空隙。一壓縮部件與該 外殼咬合且經組態以對該人字形密封件施加力以使該人字 形密封件相抵於該外殼中之該開口之該圓周邊緣及該軸桿 156738.doc 201215793 的至V —者膨脹。該鞍形物藉由該軸桿而可在—第一位 置與-第二位置之間旋轉，纟中在該第一位置中，高純度 顆粒能夠無阻礙地流過該截流部件，且其中在該第二位置 I ’該㈣料垂直地安置於該導管之祕端之下以使得 尚純度顆粒無法流過該鞍形物。 另-態樣為一種用於施配高純度顆粒之靜止角閥。該閥 包含具有-入口及一出口之一外殼，該外殼包含具有一至 少約0.95英吋之厚度的複數個壁。一導管自該入口延伸至 該外殼之-内冑空腔中且f亥導管具有纟該外殼之該内部空 腔中的-終端。-鞍形物在該外殼之該内部空腔中垂直地 女置於。亥導管之该終端下方。該鞍形物耦接至延伸穿過該 外设中之一開口之一軸桿。一密封板耦接至該外殼之一外 表面且其中具有鄰近該外殼中之該開口而安置的一開口。 該密封板具有形成於該密封板中之一凹槽，該凹槽經設定 大小以用於收納一 0型環，且該密封板經組態以使得該閥 能夠用具有一至少約8〇磅/平方英吋之壓力的一氣體施配 該等高純度顆粒》 再一態樣為一種用於用一加壓氣體施配高純度顆粒之靜 止角閥。該閥包含一外殼，該外殼具有一入口、一出口、 具有一圓周邊緣之一開口及一内部空腔。該外殼具有具一 至少約0.95英吋之厚度的複數個壁。一導管延伸至該外殼 之該内部空腔中且具有在該内部空腔中之一终端。一鞍形 物在該外殼之該内部空腔中垂直地安置於該導管之該终端 下方° 一軸桿耦接至該鞍形物且延伸穿過該外殼中之該開 156738.doc 201215793 口。一人字形密封件鄰近該軸桿延伸穿過的該外殼中之兮 開口曰之至少該圓周邊緣而安置。該人字形密封件具有供該 軸才干通過之H —壓縮部件可間紋方式與該外殼咬 合且經組態以在該壓縮部件於—順時針方向及一逆時針方 向中之-者上旋轉時對該人字形密封件施加力。對該人字 形密封件絲之該力使得該人字形密料㈣於該外殼中 之該開口之該圓周邊緣及該轴捍中的至少一者膨脹。 再-態樣為-種修復用於用—加壓氣體施配高純度顆粒 之-靜止角閥中之一茂漏的方法。該靜止角閥包含一外殼 及安置於該外殼中之—鞍形物、輕接至該鞍形物且延伸穿 過該外殼中之-開口的一轴桿、定位於該軸桿與該外殼中 之該開口之間的一人字形密封件’及一壓縮部件，該塵縮 部件可以螺紋方式與該外殼咬合且經組態以在緊固該壓縮 部件時對該人字形密封件施加-壓縮力。該方法包含债測 該加麼氣體及該等高純度顆粒中之—者經由該外殼中之該 開口的H漏。當制到該第…a漏時，接著將該壓 縮部件緊固達一第一量。將該壓縮部件緊固達該第一量導 致對該人字形密封件施加一第一力，該第一力使得該人字 形密封件在該軸桿與該外殼中之該開口之間橫向地膨脹以 藉由減少或消除該第一洩漏來修復該第一洩漏。將該壓縮 部件緊固達該第一量准許該軸桿相對於該外殼中之該開口 旋轉。 存在關於上文所提及之態樣所註釋之特徵的各種改進。 其他特徵亦可併入於上文所提及之態樣中。此等改進及額 156738.doc -6 - 201215793 外特徵可個別地或以任何組合存在。舉例而言，下文關於 斤說月實施例中之任一者所論述的各種特徵可單獨地或以 任何組合併入至上文所描述之態樣中之任一者中。 【實施方式】 • 財看諸圖且特定參看圖】，靜止角闕系統大體上以⑽ . 來指示且在下文中被稱作「閥系統」。m统⑽用 以_顆粒m自第-容器110至第二容器12〇之流動。在 實施例中，顆粒102為石夕產品（包括半導體晶圓）之製造中 所使用的原材料（例如，粒狀多晶石夕）。在其他實施例中， 顆^02可為其他材料，該其他材料之大小足夠小以使得 其月b夠机入及机出閥系統i 〇〇且因此大小範圍可為直徑約 0.060英吋至約英时。 在圖1之閥系統100中，第一容器11〇垂直地安置於靜止 角閥1<30上方且第二容器120垂直地安置於該靜止角閱之 下靜止角閥130之各種實施例展示於圖2至圖8中且在下 文加以更詳細論述。軸桿132耦接至靜止角閥130且自靜止 角閥130向外延伸。軸桿132又麵接至驅動源134(例如，馬 ' 達或致動器），驅動源134可操作以使該軸桿及連接至該軸 • 桿的靜止角閥130之組件旋轉。驅動源134由一合適控制系 統（圖中未緣示）來控制。 第一導管140將第一容器11〇耦接至靜止角閥13〇且准許 顆粒102自該第一容器流入至該靜止角閥中。在此實施例 中第谷器110耦接至一加壓氣體源以輔助顆粒1 〇2自該 第谷器流動至第一導管140及靜止角閥13〇中。在另一實 156738.doc 201215793 施例中，未使用加壓氣體，且改為僅依賴重力將顆粒ι〇2 自第一容器110輸送至第一導管140及靜止角閥13〇中。 第二導管150將習知閥160耦接至靜止角閥13〇。習知閥 160為能夠防止氣體流經的任何類型之閥（例如，閘閥或球 閥）。習知閥160又連接至第二容器12〇。在操作中，第二 閥1 6 0在靜止角閥13 〇打開之前打開且在該靜止角閥關閉之 後關閉。因此，靜止角閥13〇用以控制顆粒丨〇2自第一容器 110至第二容器120中之流動，而習知閥16〇用以防止加壓 氣體自該第一容器流動至該第二容器中。 現參看圖2至圖6，更詳細地展示圖！之靜止角閥13〇之第 一實施例。靜止角閥13〇具有外殼2〇〇、入口2〇2、出口2〇4 及内部空腔206 »外殼200由具有一厚度之多個板2〇8(廣泛 地，壁」）形成，以使得可顯著地增加用以將顆粒丨〇2自 第一容器110輸送至靜止角閥130中及第二容器12〇中之氣 體的壓力（與先前技術閥相比較）。在圖2至圖5之實施例 中，板208具有一厚度，以使得加壓至至少70磅/平方英吋 之氣體可用以輸送顆粒102而不損壞外殼200。在其他實施 例中，板208具有一厚度，以使得加壓至至少86磅/平方英 吋或甚至120磅/平方英吋之氣體可用以輸送顆粒1〇2而不 才貝壞外殼200。在此等實施例中，板208具有一至少約〇 9 央吋之厚度，而在其他實施例中，該等板具有一至少約 0.95夬吋之厚度，且在再其他實施例中，該等板具有一大 於約I·0英吋之厚度。此外，可進一步增加板208之厚度（例 大於1.2、1.5、ι·8或2.〇英《«寸）以便准許使用較高壓力 156738.doc 201215793 下之氣體。 如圖4中最佳可見，第一導管14〇延伸至内部空腔206之 上部部分210中，而第二導管150鄰近該内部空腔之下部部 分212終止。具有圓周邊緣21 6之開口 214形成於外殼200之 側面218中。開口 214係完全穿過外殼2〇〇之側面218而形成 且經設定大小以使得軸桿13 2能夠通過該開口。如圖5中所 展示，開口 214之一部分具有一增加之鱼徑，以使得可將 填充材料220置放於該開口之圓周邊緣216與軸桿132之 間。 如圖4中所展示，第一導管140延伸至外殼2〇〇之内部空 腔206中且具有在該内部空腔中之終端222。第一導管14〇 之終端222安置於鞍形物230之正上方。鞍形物23〇具有f 曲之截流部件232 ’及連接至該截流部件之一第一末端之 第一垂直部件234 ’及連接至該截流部件之一第二末端之 第二垂直部件236。第一垂直部件234連接至軸桿132，而 第一垂直部件23 6連接至短軸桿240 ’短軸桿240又藉由轴 承242而耦接至外殼200。 鞍形物230藉由轴桿132而可在顆粒1〇2能夠流經靜止角 閥130而不干涉該鞍形物之一第一位置與顆粒無法流經靜 止角閥之一第二位置（圖4)之間旋轉。在該第二位置中，截 流部件232垂直地安置於第一導管14〇之終端222 、 使得自該終端流動之顆粒102接觸該截流部件。截流部件 232足夠地阻礙顆粒1〇2在該第二位置中之流動，以使得顆 粒在該截流部件上積聚成一堆’該顆粒堆限制來自第一办 156738.doc -9- 201215793 器110之其他顆粒至靜止角閥130中之流動。在截流部件 232上積聚成堆之顆粒1()2具有—靜止角’該靜止角為顆粒 之材料性質所特有的。塊狀或粒狀材料（諸如，顆粒1〇2)之 靜止角大體上定義為由該堆之傾斜面與該堆之下之一水平 表面形成的角，以使得-片特定材料恰好顏於滑落該傾斜 面。 一旦自該第二位置旋轉至該第一位置，鞍形物23〇之截 流部件232便旋轉地移位，以使得該截流部件不會阻礙顆 粒102自第一導管丨40之終端222穿過靜止角閥丨3〇流動至第 二導管150中。在操作中，藉由將鞍形物23〇旋轉回至該第 二位置來中止顆粒102之流動。一旦顆粒1〇2穿過習知閥 ⑽…）之流動停止’便由一操作者或致動器（圖令未繪 不）關閉該習知閥且中止加壓氣體離開靜止角閥13〇之流 動。同樣地，在將靜止角閥130旋轉回至該第一位置之 前’打開習知閥⑽且接著將該靜止角閥旋轉至該第一位 置。在其他實施例中’可使用以不同方式組態之鞍形物， 該鞍形物具有形成於其中的可操作以選擇性地阻礙顆粒 102穿過靜止角閥130之流動的開口或其他結構。 密封件250(圖5)用以防止加壓氣體（及顆粒1〇2)經由外殼 - 2〇〇中之開口214(軸桿132通過該開口）茂漏。密封件㈣包 · 括藉由緊固件25 4或其他耦接機構而耦接至外殼2〇〇之外表 面的密封板252。密封板252具有形成於其中之開口乃^ 開口 256略微大於轉132之直徑以准許該㈣通過該密封 板中之該開口。開口 256亦經設定大小以使得其不會可觀 156738.doc -10· 201215793 地阻礙轴桿丨32之旋轉。舉例而言，開口 256之直徑與轴桿 132之直徑之間的差可為約〇〇2英吋。 第一凹槽260形成於開口 256之圓周表面262中且經設定 大小以在其中收納第一 〇型環264。第一 〇型環264防止加壓 氣體在開口 256之圓周表面262與軸桿132之間洩漏《與凹 槽形成於板2〇8之焊接部分中的先前系統相比較，在開口 之圓周表面262中形成第一凹槽26〇顯著地減小加工凹槽之 複雜性。在密封板252之内表面274中形成用於第二〇型環 272之第二凹槽27〇，該第二〇型環毗鄰靜止角閥13〇之外殼 2〇〇之外表面以防止加壓氣體在該外殼之該外表面與該密 封板之该内表面之間洩漏。由於密封板可由比外殼軟 或更容易加工之材料形成（因為加壓氣體不會對密封板施 加可觀的力），故在密封板252中形成第二凹槽27〇顯著地 減少製造成本。 形成外殼200之板208的增加之厚度連同第一0型環264及 第二〇型環272—起准許顯著地增加氣體之壓力（與先前系 統相比較）。因而，同樣能夠顯著地增加顆粒1〇2穿過靜止 角閥130之流動，此係由於顆粒1〇2之流動至少部分地取決 於氣體之壓力。此外，增加之氣體壓力亦准許以一較大速 率來執行在第一容器110中或在耦接至該第一容器之另一 容器甲執行的程序。 現參看圖6至圖9，展示類似於圖2至圖5之靜止角閥的靜 止角閥之第二實施例且大體上以300來指示。靜止角閥3〇〇 之内部組件在功能上與圖2至圖6中所描述之彼等組件相同 156738.doc 201215793 或類似且用相同參考數字來指代。靜止角閥3〇〇與靜止角 閥130在用以防止加壓氣體自閥之外殼2〇〇穿過環繞轴桿 13 2之閥中的開口 21 4流動的密封系統上不同。 如圖8中所展示’密封部件310耦接至外殼2〇〇之外表 面、鄰近環繞外殼中之開口 214之圓周邊緣216的外殼之區 域。密封部件具有三個部分：鄰近外殼之外表面而安 置之第一部分320、自該第一部分向外延伸之第二部分 330，及自該第二部分向外延伸至該密封部件之端邊緣M2 的第三部分340。 密封部件310中亦具有空隙344，空隙344准許軸桿132通 過。空隙344在密封部件31〇之第一部分320中具有一第一 直徑，該第一直徑略微大於轴桿132之直徑以准許該軸桿 通過該第一部分。空隙344亦經設定大小以使得其不會可 觀地阻礙軸桿132之旋轉。空隙344之直徑接著在密封部件 310之第二部分330中增加，以容納置放於空隙中且將在下 文更s羊細論述之人字形密封件3 5 〇。空隙344在第三部分 340中之直徑可增加或減小（與在第二部分33〇中之直徑相 比較）以便容納形成於該第三部分中之空隙344之圓周表面 上的多個螺蚊3 4 6。 形成於第三部分340中之螺紋346經組態以咬合安置於鎖 緊螺帽360(廣泛地，「廢縮部件」）之外表面上之螺紋362， 且准§午該鎖緊螺帽在該鎖緊螺帽旋轉時相對於空隙344之 -縱向軸線橫向地移動。舉例而纟，當以順時針方向轉動 鎖緊螺帽360時，該鎖緊螺帽向内朝向外殼2〇〇移動。當以 156738.doc •12- 201215793 逆夺針方向轉動鎖緊螺帽36〇 殼200移動。因此，當 鎖緊❸目向外遠離外 咳鎖f針方向轉動鎖緊螺帽360時， »亥鎖緊螺t自之别邊緣364作用 字形密封件350施加力。—日封件350上且對人 刀 旦别邊緣364接觸人字形密 35〇,鎖緊螺帽姻之額外順 U封件 之額外壓縮。 讀便導致人子形密封件 嫌至圖9之實施财，鎖緊螺帽在 有多個平坦面366,該多個平坦面3 :上” 山 n塑形為類似螺栓之 八角頭’以使得可用標準手工工具（例如，套筒扳手 '可 調整扳手或一對甜子)來旋轉該鎖緊螺帽或由使用者之手 手動地來旋轉該鎖緊螺帽。此外，雖然在此實施例中密封 部件310之螺紋346經組態以使得鎖緊螺帽360之順時針旋 轉導致鎖緊螺帽朝向外殼2_動（料，螺紋為右旋 但在不偏離該等實施例之範嘴的情況下，其他實施例可使 用以不同方式設定螺距(例如，較細或較粗)或以不同方式 定向（例如，左旋）之螺紋。鎖緊螺帽36〇亦具有形成於盆中 之開口 3 6 8 ’開口 3 6 8平行於鎖緊螺帽之縱向軸線且㈣定 大小以使得軸桿132能夠通過該開σ。鎖緊螺帽⑽中之開 口 368之直徑略微大於轴桿132之直徑以准許該軸桿通過二 鎖緊螺帽中之該開口。開口 368亦經設定大小以使得其不 會可觀地阻礙軸桿132之旋轉。 現參看圖9，更詳細地展示人字形密封件35〇。人字形密 封件350可另外被稱作V形密封件且操作以在施加平行=人 字形密封件之縱向軸線LA之一力後向外膨脹。因此，醉 156738.doc •13· 201215793 由鎖緊螺帽360之前邊緣364進行的力之施加導致人字形密 封件350在垂直於人字形密封件之縱向軸線[Α之一方向上 向外 '橫向膨脹。人字形密封件35〇之向外膨脹又導致人 子形密封件更用力地接觸軸桿13 2及在密封部件3 1 〇之第二 部分330中的密封部件3 10之空隙344。因此，在偵測到軸 桿132周圍的氣體及/或顆粒經由密封部件3丨〇之空隙的 洩漏後，可緊固鎖緊螺帽360以壓縮人字形密封件35〇且因 此使人字形密封件350向外膨脹以修復該等洩漏。 圖1〇描繪修復上文在圖7至圖9中所描述之類型的靜止角 閥中的浪漏之方法400。該方法以區塊41〇開始，在區塊 41 〇中#測加壓氣體經由密封部件中之空隙的茂漏。可 經由任何合適方法來偵㈣漏’合適方法諸如靜止角間之 外殼内的氣體之壓力之減小'藉由目視檢驗或在用水或任 何其他合韻體執行之—壓力測試期間。此外，雖秋本文 中料加壓氣體之㈣，但在—些實㈣中，直#小於約 〇』60央时之顆粒（亦即，塵埃）亦可能經由密封部件中之空 接者在區塊420尹，當柚、、目丨丨丨、ώ + 备搞J到攻漏時，將鎖緊螺帽緊固 運一第一量。將鎖緊螺帽緊固達 田m A丄 之‘认運。亥第一 1導致由鎖緊螺帽 之刖邊緣對人字形密封件施 ,,.± 刀。系力使得人字形密封 件在轴桿與密封部件中W封 封件之此之間杈向地膨脹。人字形密 沒漏。當修論如6 復加[氣體經由密封部件之 第-量時’將鎖緊螺帽緊固達該 子㈣封件之制膨脹仍准許轴桿旋轉，以使 156738.doc 201215793 知鞍形物可在上文所描述之第一位置與第二位置之間旋 轉。 該方法接著繼續至區塊430，在區塊43〇中，判定是否偵 测到加;i氣體經由密封部件中之空隙的另—茂漏（廣泛 地’「第二洩漏」）。若在區塊430中未偵測到此洩漏，該 方法保持在區塊430直至偵測到洩漏為止。然而，若偵測 到加壓氣體及/或顆粒之此洩漏，則方法4〇〇返回至區塊 420，在區塊420中’將鎖緊螺帽緊固達一第二量以對人字 形密封件施加額外麼力。對人字形密封件施加之此額外壓 力起作用以使人字形密封件相抵於空隙之圓周表面及㈣ 進乂 ^脹以修復該第二茂漏。甚至當緊固達此第二量 時，人字形密封件仍准許軸桿旋轉，以使得鞍形物可在上 文所描述之第一位置與第二位置之間旋轉。 除非另外指定，否則本文中所說明及所描述的本發明之 實施例中的操作之實行或執行之次序並非必需的。亦即， 示非另外4曰疋，否則操作可以任何次序執行且本發明之 實施例可包括額外操作或比本文中所揭示之操作少的操 作舉例而吕，預期’在另一操作之前、同時或之後實行 或執行一特定操作在本發明之態樣之範疇内。 「當引入本發明或本發明之實施例之元件時，㈣「一」及 二該」「意欲意謂存在該等元件中之―或多者。術語「包 3」G括」及「具有」意欲為包括性的且意謂可存在除 所列舉元件之外的額外元件。 由於可在不偏離本發明之範脅的情況下對上述構造作出 156738.doc 15 201215793 各種改變’故希望上述描述中所含有的且附圖中所展示之 所有内容應被解譯為說明性的且無限制性意義。 【圖式簡單說明】 圖1為靜止角閥系統之部分示意圖； 圖2為用於圖i之閥系統中的靜止角閱之第一實施例的正 視圖； 圖 圖 圖 圖 視圖 3為圖2之靜止角閥之俯視圖； 4為圖1之靜止角間之读讳 网I远視圖’其中閥之部分被移除； 5為圖2之靜止角閥之部分橫截面圖； 6為用於圖1之關车场+ 间系既中的靜止角閥之第二實施例的正 圖7為圖6之靜止角閥之俯視圖； 圖8為圖6之靜止角閥之部分橫戴面圖； 圖9為用於圖6之靜止角閥中的人字形密封件之側視圖；及 圖1〇為描繪修復靜止㈣中之$漏之方法的流程圖。 【主要元件符號說明】 100 靜止角閥系統 102 顆粒 110 第一容器 120 第二容器 130 靜止角閥 132 軸桿 134 驅動源 140 第一導管 156738.doc 201215793 150 第二導管 160 習知閥 200 外殼 202 入口 204 出口 206 内部空腔 208 板 210 内部空腔之上部部分 212 内部空腔之下部部分 214 開口 216 開口之圓周邊緣 218 外殼之側面 220 填充材料 222 第一導管之終端 230 鞍形物 232 截流部件 234 第一垂直部件 236 第二垂直部件 240 短軸桿 242 軸承 250 密封件 252 密封板 254 緊固件 256 開口 156738.doc • 17· 201215793 260 第一凹槽 262 開口之圓周表面 264 第一 0型環 270 第二凹槽 272 第二0型環 274 密封板之内表面 300 靜止角閥 310 密封部件 320 密封部件之第一部分 330 密封部件之第二部分 340 密封部件之第三部分 342 密封部件之端邊緣 344 空隙 346 螺紋 350 人字形密封件 360 鎖緊螺帽 362 螺紋 364 前邊緣 366 平坦面 368 開口 400 修復靜止角閥中之洩漏之方法 LA 人字形密封件之縱向軸線 156738.doc -18·

Claims (1)

1. 201215793 七、申請專利範圍： 1. 一種用於施配顆粒之靜止角閥，該閥包含： -外殼’其具有H_出口、具有—圓周邊緣之 一開口及一内部空腔； -導管’其自該入口延伸至該外殼之該内部空腔中， 該導管具有在該外殼之該内部空腔中的一終端； 一鞍形物，其安置於該外殼之該内部空腔中，該鞍形 物垂直地安置於該導管之該終端下方，該鞍形物具有一 截流部件； 軸柃，其輕接至該較形&，該軸桿延伸穿過該外殼 中之該開口之該圓周邊緣且經组態以用於耗接至一驅動 裝置； 一人字形密封件’其鄰近該軸桿延伸穿過的界定該外 殼中之該開口的至少該圓周邊緣而安置，該人字形密封 件具有供該轴桿通過之，空阳· -壓縮部件，其與該外殼咬合，該壓縮部件經組態以 對該人字形密封件施加力以使該人字形密封件㈣於該 外忒甲之該開口之該圓周邊緣及該軸桿中的至少一者膨 脹；且 其中該鞍形物藉由該軸桿而可在一第一位置與一第二 位置之間旋轉’其中在該第一位置中，顆粒能夠無阻礙 地流過該截流部件，且其中在該第二位置I該截流部 件垂直地安置於該導f之該終端之下以使得顆粒無法流 過該鞍形物。 156738.doc 201215793 2·如請求項链 壓縮部件中之其中該壓縮部件具有形成於該 兩口，該開口平行於該壓縮部件之一縱 線二且其中該軸桿延伸穿過該外殼中之該開口、該 二密封件中之該空隙及該壓縮部件中之該開口。 月长項1之靜止角閥，其中該壓縮部件具有—外表面 且其中複數個螺紋安置於該外表面之至少一部分上卜。 4·如請求項3之鹤· 一 靜止角閥，其進一步包含耦接至該外殼之 夕表面之-密封板，其中該密封板具有形成於該密封 的鄰近該外殼中之該開口而安置的_開口 壓縮部件可以螺紋方式與該密封板咬合。 … 5·二凊求項4之靜止角閥，其中該密封板中之該開口具有 内表面且其中複數個螺紋安置於該密封板中之該開口 之該内表面上。 月长項5之靜止角閥，其中該密封板之該複數個螺紋 與該壓縮部件之該複數個螺紋咬合。 月求項6之靜止角閥’其中當該壓縮部件在—順時针 逆時針方向中之一者上旋#時，豸壓縮部件對該壓 縮。P件施加-力’該力使得該壓縮部件在垂直於該轴桿 之一縱向軸線之一橫向方向上膨脹。 干 8. 一種用於施配顆粒之靜止角閥，該閥包含： -外殼’其具有—人σ及—出口，該外殼包含具有— 至少約0·95英吋之厚度的複數個壁； -導管’其自該入口延伸至該外殼之一内部空腔中， β導&具有在g外殼之該内部空腔中的一終端； 156738.doc 201215793 一鞍形物’其安置於該外殼之該内部空腔中，該鞍形 物垂直地安置於該導管之該終端下方，該鞍形物耦接至 延伸穿過該外殼中之一開口的一軸桿；及 一密封板，其耦接至該外殼之一外表面，該密封板中 具有鄰近該外殼中之該開口而安置的—開口，該密封板 具有形成於該密封板中之一凹槽，該凹槽經設定大小以 用於容納一 0型環，該密封板經組態以使得該閥能夠用 具有一至少約80磅/平方英吋之壓力的—氣體施配該等顆 粒。 9. 如睛求項8之靜止角閥，其進一步包含安置於該外殼之 該外表面與形成於該密封板中之該凹槽之間的一第一〇 型環及安置於該軸桿與該密封板中之該開口之間的一第 二〇型環。 10. 如請求項8之靜止角閥，其進一步包含鄰近該外殼之該 出口而安置的一閥。 11. 如請求項8之靜止角閥，其中該鞍形物具有一開口且藉 由該軸桿而可在一第一位置與一第二位置之間旋轉，其 中在該第一位置中’顆粒能夠流經該鞍形物中之該開 口’且其中在該第二位置中，顆粒無法流經該鞍形物中 之該開〇。 12. —種用於用一加壓氣體施配顆粒之靜止角閥，該閥包 含： 外设，其具有一入口、一出口、具有一圓周邊緣之 一開口及一内部空腔，該外殼具有具一至少約〇 95英忖 156738.doc 201215793 之厚度的複數個壁； 導管，其延伸至該外殼之該内部空腔中且具有在該 内部空腔中之一終端； -鞍形物’其安置於該外殼之該内部空腔中，該鞍形 物垂直地安置於該導管之該終端下方， 一軸桿，其麵接至該鞍形物且延伸穿過該外殼中之該 開口； Λ -人子形在、封件，其鄰近該軸桿延伸穿過的該外殼中 之該開σ之至少該圓周邊緣而安置，該人字形密封件具 有供该轴桿通過之一空隙；及 -壓縮部件，其可以螺紋方式與該外殼咬合，該壓縮 ρ件、組態以在該ι缩部件於_順時針方向及—逆時針 方:中之-者上旋轉時對該人字形密封件施加力對該 人字形密封件絲之該力使得該人字形密封件相抵於該 外殼令之該開σ之該圓周邊緣及該轴桿中的至少-者膨 請求項12之靜止角閥，其中該壓縮部件具有形成於該 望縮部件中之―開口，該開口平行於該I缩部件之一縱 向軸線’且其中該轴桿延伸穿過該外殼中之該開口、咳 人字形密封件中之該空隙及該塵縮部件令之該開口。“ 14.如請求項12之靜止 其中該屢縮部件具有-外表面 且其中複數個螺紋安置於該外表面之至少一部分上 Μ請求項14之靜止角間，其進-步包含相接至該外殼之 外表面之抢封板’其’該密封板具有形成於該密封 156738.doc 201215793 板中的鄰近該外殼中之該開口而安置的一開口，其中該 壓縮。卩件可以螺紋方式與該密封板咬合。 月求項15之靜止角閥，其中該密封板中之該開口具有 一内表面且其中複數個螺紋安置於該密封板中之該開口 之5亥内表面上，且其中該密封板之該複數個螺紋與該壓 縮部件之該複數個螺紋咬合。 17.如叫求項16之靜止角閥，其中當該&缩部件在—順時針 及逆時針方向中之一者上旋制，該壓縮部件對該壓 縮部件施加一力，該力使得該壓縮部件在垂直於該軸桿 之縱向軸線之一橫向方向上膨脹。 1 8.種修復用於用一加壓氣體施配顆粒之一靜止角間中之 -茂漏的方法，該靜止角閥包含一外殼及安置於該外殼 中之-鞍形物、耦接至該鞍形物且延伸穿過該外殼中之 -開口的一軸桿、定位於該軸桿與該外殼中之該開口之 間的-人子形密封件、―壓縮部件，該I缩部件可以螺 、次方式與㈣殼咬合且經組態以在緊固該壓縮部件時對 3亥人字形密封件施加一壓縮力，該方法包含： 悄測該加壓氣體及該等顆粒中之一者經由該外殼中之 該開口的一第一洩漏，·及 在偵測到該第-茂漏時，將該壓縮部件緊固達一第一 量’其中將該壓縮部件緊固達該第—量導致對該人字形 密封件施加H ’其中對該人字形密封件施加之該 第-力使得該人字形密封件在該軸桿與該外殼中之該開 口之間橫向地膨脹以藉由減少或消除該第1漏來修復 156738.doc 201215793 該第-漏’其中將該_部件緊固達該第—量准許該 軸#相對於該外殼中之該開口旋轉。 ° a如請求項18之方法，其中緊固該壓縮部件包含使該㈣ 部件在-順時針方M —逆時針方向中之—者上旋轉。 2〇.如請求項21之方法，其中該i縮部件之緊固導致該壓縮 部件在平行於該軸桿之—縱向㈣之—方向上朝向該外 殼移動。 2Ή求項2G之方法’其中該壓縮部件在平行於該轴桿之 核向轴線之該方向上朝向該外殼的移動導致對該人字 形密封件施加該力。 22·:。請求項18之方法，其進一步包含偵測該加壓氣體及該 等顆粒中之一者經由該外殼中之該開口的一第二洩漏。 23.如請求項22之方法’其進一步包含在偵測到該第二茂漏 時將-亥壓縮部件緊固達一第二量，其中將該壓縮部件緊 固達該第二量導致對該人字形密封件施加—第二力，其 中對6亥人字形密封件施加之該第二力使得該人字形密封 件在該轴桿與該外殼中之該開口之間橫向地膨脹以減少 或消除該第二洩漏。 2明求項23之方法，其中將該密封件緊固達該第二量准 許該軸桿相對於該外殼中之該開口旋轉。 156738.doc