TW201213814A - Inspection device with vertically moveable assembly - Google Patents

Description

201213814 六、發明說明： 相關申請案之交叉參照 本申請案依據35 U.S.C. §119(e) (1)主張於2010 年 4 月 23 日提出、名稱爲 “Inspection Device with Vertically Moveable Assembly” 、且註記代理人案號第 A126.285.101號的美國臨時專利申請案第61/3 27,22 0號之 優先權；且其整個教示藉此參照倂入本文中。 〇 【發明所屬之技術領域】 用於在積體電路製造期間測試積體電路之探針卡需要 周期性之評估及維護，以避免損壞積體電路。當作探針卡 之評估及維護的一部份，光學檢查裝置用於測量探針卡中 之探針的X、Y及Z位置，以便決定探測是否位於平面及它 們是否與探針意欲定址的半導體晶圓上之接合墊的設定圖 案適當地對齊。裝置亦可基於測量結果預測將被形成在接 C) 合墊中之擦痕的長度及位置，測量結果是使用基準板（亦 即擋板（Checkplate ))以替代具有接合墊之半導體晶圓 而獲得。 【先前技術】 即使每一探針很小，達成適當數量之擦痕所需要的力 量爲數公克。在單一探針卡中有數百或數千個探針的情況 中，使探針超行程（overtravel )以達成適當之擦痕所需 要的力量之大小可能是很高的。所有探針之超行程經常立 -5- 201213814 刻發生。譬如，裝置可具有一傳導性擋板’擋板用於測量 每一分離佈線的探針之Z高度與一群匯流排探針中之最低 者的Z高度（一些探針被佈線在一起’而不可能使來自每 一探針之訊號電性分離）。在此Z高度測量過程中，擋板 被驅動而與所有探針接觸，且當每一探針（或探針群組） 形成電接觸時，擋板之Z高度被記錄。 爲了測量探針之XY位置，亦被稱爲探針之對齊，探 針之影像可被捕捉。於一些情況中’探針係位在影像內， 且其上安裝照相機的架台之線性編碼器被使用，以協助於 判斷XY位置。於其他情況中，探針之位置在一影像中與 形成在窗口上之基準記號有關。由於在超行程中所有探針 與基準板接觸所涉及之大的力量，可導致檢查系統及探針 卡中之偏轉。如此，吾人希望施加之力量減至最小。 除了使施加至探針卡之力量的大小減至最小以外，其 想要的是使探針卡及其探針所遭受之磨損量減至最小。譬 如，美國專利第5,657,394及6，1 1 8,894號中所敘述之系統 中，每次採取光學對齊測量時使探針降落是需要的。甚至 考慮多數探針可被一起成像，在此探針卡具有數百或數千 之很多探針，每一探針及探針卡將遭受極不需要之磨損， 這不可避免地導致探針卡及其探針之較短的壽命。 於是，吾人需要對於用以分析探針卡而使置於探針卡 及其探針上之應力減至最小、並同樣使對探針卡及其探針 之磨損減至最小的機構。 201213814 【發明內容】 藉由本機構檢查半導體或類似基板使擋板及探針卡中 之偏轉減至最小。 【實施方式】 本發明的一些態樣與和擋板及探針卡一起使用之檢查 裝置有關。將這記在心中，檢查裝置100的一具體實施例 (1 大致上被說明在圖1 A及1B中，且包含與往復機構獨立地安 裝之擋板102，往復機構垂直地上下循環窗口 /栓銷。由於 其它者之效應’這使整個總成之複雜性及其它的撓曲減至 最小。擋板及往復式機構皆被耦接至XY及Z架台。 圖1係檢查裝置100的一具體實施例之槪要說明。當檢 查裝置100將因其被使用於半導體探針卡栓銷之檢查而被 敘述時，其被牢記在心中者係檢查裝置100可具有此特定 使用以外之應用。大致上，檢查裝置100具有外部本體或 〇 外殻90、載具92、及致動器94。 載具92被安裝在外殻90內，且於Z方向中垂直地往復 移動，如藉由鄰接載具之箭頭所指出者。載具92移動於藉 由數字92所識別之第一位置、即縮回位置及藉由數字92’所 識別的第二位置、即伸出位置之間。於一具體實施例中， 載具92係藉由重力從其伸出位置92'偏向至其縮回位置92。 於第二位置92'中，載具92之上表面可接觸待檢查之物件。 於一些具體實施例中，這可爲探針卡之探針或栓銷。於其 它具體實施例中’當應用需要時，待檢查之物件（在圖1 201213814 中未示出）可爲其它物件。注意載具92之上表面可使待檢 查之物件偏向，但在所有案例中，移動載具92之上表面至 與待檢查之物件接觸、或至少移動載具接近待檢查之物件 將有助於在Z方向中定位待檢查之物件。亦即，在與載具 9 2的上表面有接觸之處，待檢查之物件正確位置係已知的 (縱使接觸已使物件偏轉或變形）。相同地，如果載具92 的上表面與待檢查物件之間未接觸，吾人能得知物件被定 位在想要或可接受位置的範圍之外。載具92及待測試物件 間之接觸可藉由電接觸所決定，因在此載具92的上表面係 設有傳導性塗層，或在此載具92的上表面本身具傳導性。 接觸亦可藉由經過載具92的上表面觀看待測試物件被光學 地決定。注意在此載具92的上表面爲一實質上透明之窗口 ，且在此檢查系統100提供需要之光學路徑，待檢查之物 件係在通過中心通道之光軸上，光可經由中心通道通過載 具92，且照相機或另一成像裝置93可被用來經過檢查系統 100觀看待檢查之物件。 於一具體實施例中，檢查系統1〇〇之外殼90、載具92 、及致動器94被安裝在至少可於XY平面中移動之架台98 上。大致上待測試物件將保持固定不動，雖然將了解於一 些應用中，熟諳此技藝者可顛倒此配置及造成待檢查之物 件在至少XY平面中相對於外殼90、載具92、及致動器94 移動。架台98亦可在Z方向中移動，雖然於檢查系統100的 一些具體實施例及應用中，載具92的往復式運動可足夠用 於Z方向中之所有移動。注意在待檢查物件與擋板1 02之間 201213814 的接觸係想要之處，其可爲想要的是將擋板1 〇2耦接至架 台98 (如藉由虛線101所指示），使得擋板102及架台98— 起移動。雖然於圖1中被顯示爲彼此緊靠接近（擋板102具 有一穿過其中所形成之孔口，以允許載具92延伸穿過擋板 102之上表面與超出上表面），架台上之擋板102及外殼 90/載具92總成在空間上可被分離，使得擋板102具有未打 破之上表面。於很多具體實施例中，其可爲想要的是避免 ζ) 實際地耦接擋板1〇2至外殼90，以避免由於待檢查物件與 外殼90/載具92/致動器94總成及/或擋板102的任一者或兩 者間之接觸，使外殼90/載具92/致動器94總成及/或擋板 102的任一者變形。 如圖1所示之具體實施例本質上必定爲槪要的，吾人 將輕易地了解所示之檢查系統100可被以不同之物理模式 具體化。 將以上記在心中，且參考圖2B-2D，檢查裝置1〇〇包含 〇 在以下較大詳細地敘述之物焦撓曲部200及凸輪總成3 00。 於一般術語中，物焦撓曲部2 00固持物鏡，用於協同往復 式凸輪總成300施行聚焦操作，以確保適當之焦點。檢查 裝置100之焦點平面通常將被固定，但焦點平面之位置亦 可被修改。 除了探針卡檢查以外，對於此撓曲部聚焦裝置有很多 應用。在焦點調整爲想要之任何應用可自本發明獲益，包 含醫療裝置、照相機或視頻裝置、及各種其它製造、測試 與品管裝置。 -9 - 201213814 參考圖2A-2G及3A-3G，物焦撓曲部200係中空圓柱形 零組件。物焦撓曲部200具有頂部區段202、相向之底部區 段204、及於頂部區段202與底部區段204間之中間區段206 。諸如撓曲點208之彈性耦接件被定位在中間區段206與頂 部區段2 0 2之間以及中間區段2 0 6與底部區段2 04之間的介 面之區域。撓曲點2 0 8於物焦撓曲部2 0 0之軸向中係彈性的 ，且於物焦撓曲部200之徑向中實質上爲剛性的。於一具 體實施例中，物焦撓曲部200係由單件材料所製成。 於一具體實施例中，頂部區段202包含延伸至物焦撓 曲部200之外側的套環或凸緣212。套環/凸緣2 12之外側直 徑係大於物焦撓曲部200之本體的外側直徑。於一具體實 施例中，經過包含套環212的頂部區段202之內徑係一致的 〇 中間區段206包含凹陷214。於一具體實施例中，凹陷 214之深度“d”係逐漸尖細地進入物焦撓曲部200之本體 。凹陷214線性地沿著X軸行進，而物焦撓曲部200之本體 爲圓形的。於一具體實施例中，凹陷2 1 4包含沿著z軸之收 縮點2 1 6。於一具體實施例中，中間區段206係在內圓周 2 1 8上至少局部地設有螺紋。於一具體實施例中，中間區 段206包含設定螺絲開口 220，以輔助將物焦撓曲部200設 定及對齊在肘節總成內（未示出）。 參考圖2G，底部區段204具有大致上平面式底面222。 於一具體實施例中，在底面222之螺絲孔224被包含用於將 物鏡撓曲部2〇〇之附著進入肘節總成。 -10- 201213814 如以上所述，在中間區段2 0 6的相向端部，撓曲點2 Ο 8 被建立在沿著物焦撓曲部200之圓周的位置。經過撓曲點 208之區域的多數截面圖被說明在圖3B-3G中。於一具體實 施例中，撓曲點208之每一者被分別建構成一源自物焦撓 曲部200之物鏡軸210至導向撓曲部外側的一點之延伸的半 徑“ R” 。於一具體實施例中，延伸之半徑“ R”係大於物 焦撓曲部200外側的半徑“ r” 。 f) 於一具體實施例中，撓曲點208被建構成在平面式位 準，且沿著物焦撓曲部200之圓周均勻地隔開。圖3B-3G代 表根據物焦撓曲部200的一具體實施例的多數平面式位準 。於一具體實施例中，有撓曲點208之至少二平面式位準 ，使每一平面式位準包含由鄰接之平面式位準偏置的撓曲 點208 »於一具體實施例中，撓曲點208係沿著圓周均勻地 交錯。於一具體實施例中，在此有至少三個鄰接之平面式 位準，交替之位準包含沿著圓周在相同位置之撓曲點208 〇 ，例如第一及第三位準包含相同地沿著圓周定位之撓曲點 (譬如見圖3B與3D)。於一具體實施例中，撓曲點208之 相對側對應於外圓周。撓曲點20 8在上及下面連接至鄰接 之位準或頂部區段202或底部區段204。沿著圓周，於撓曲 點2 0 8之間，空隙2 2 6係藉由無材料所形成。空隙2 2 6在位 準/平面內形成一間隙。於一具體實施例中，空隙226覆蓋 —比撓曲點208大的圓周面積。於一較佳具體實施例中， 有三個鄰接之平面式位準，其限制六個自由度之五個。 於一具體實施例中，爲以物焦撓曲部200調整位置中 201213814 之焦點，中間區段206沿著光軸210調整，且頂部區段202 及底部區段204保持固定的。另一選擇係，頂部區段202及 底部區段204沿著光軸210調整，且中間區段206保持固定 的。 現在轉至圖4A-4D所說明之凸輪總成300的具體實施例 ，致動器302係盤形，中空、圓柱形本體之旋轉凸輪。致 動器302包含沿著中心軸之開放式內部，凸輪總成300具有 包含至少一斜面304之致動表面301。至少一斜面304具有 內側半徑306及外側半徑308，且由致動器302之第一平面 表面310延伸。於一具體實施例中，至少一斜面304包含最 初之階梯狀表面312、傾斜表面314、及終止舉升平臺316 。於一具體實施例中，至少一斜面304係配置在圓形圖案 中之一系列斜面3 04，以形成像圓環之形狀。特別參考圖 4C，於一具體實施例中，系列之至少一斜面3 04被配置， 使得第一斜面3 04a之終止舉升平臺3 1 6之後爲第二斜面 3 CHb的最初階梯狀表面3 1 2。於一具體實施例中，至少一 斜面3〇4的每一者之間有一間隙，其中平面表面310之長度 被暴露。於一具體實施例中，至少一斜面3 0 4係於一系列 中彼此等距離地隔開。 於一具體實施例中，致動器302之內側半徑306被建構 成沿著載具320的周邊半徑裝配。於一具體實施例中，至 少一斜面3 04之外側半徑3 08係比載具320的外側半徑較小 ’雖然它們至少可爲本質上相等的。於一具體實施例中， 載具32〇包含多層式頂部表面3 22及由頂部表面3 22延伸至 -12- 201213814 相向之底部表面326的中空核心324。於一具體實施例中， 頂部表面322包含分別由中空核心3 24延伸之同心地配置的 頂部圓環328、斜角圓錐體330、及下環332。載具320具有 由其突出之至少一硬點334的外周邊。於一具體實施例中 ’且特別參考圖4B，至少一硬點3 3 4包含引導邊緣33 6、跟 隨邊緣338、及延伸於引導邊緣336及跟隨邊緣338間之外 緣34〇。於一具體實施例中’至少一硬點334包含底部表面 〇 342，其與窗口載具320之底部表面326同平面。載具320可 被由合適材料之單一元件所組裝或形成。 持續參考圖4A-4D，至少一承受總成350具有由承受本 體3W中之中心軸桿開口延伸的軸桿352。於一具體實施例 中，承受本體354係可繞著軸桿352旋轉。於一具體實施例 中，承受本體354包含於內側直徑壁356及外側直徑壁358 間之承受滾珠。於一具體實施例中，承受本體3 52包含打 開面及封閉面。於一具體實施例中，至少一承受總成350 Ο 係耦接至載具3 2 0，使軸桿3 5 2之遠側端被插入毗鄰至少一 硬點3 34之載具3 20的外側直徑中之孔洞。於一具體實施例 中，至少一承受本體之打開面係接近軸桿3 52之近側端。 於一具體實施例中，封閉表面係毗鄰、但未接觸載具32〇 的外周邊及硬點334的引導邊緣336。於一具體實施例中， 承受總成3 5 0被定位，使得外側直徑3 6 0係未與硬點3 3 4之 底部表面3 42齊平。於一具體實施例中，至少一硬點3 34之 外緣3 4 0橫側地延伸超出至少一斜面3 0 4的外側半徑3 〇 8。 致動器3 02係可相對載具320旋轉。於一具體實施例中 -13- 201213814 ’當致動器3 02在逆時針方向中旋轉時，載具320維持軸向 地固定。以此旋轉方式，承受總成3 5 0位在每一硬點3 3 4之 前。於旋轉期間’硬點334在已暴露的第一平面表面310之 上行進’接著承受總成3 5 0接觸斜面3 04之階梯狀表面3 1 2 ’直至硬點334接觸階梯狀表面312，藉此載具320被軸向 地升高一段距離，距離等於階梯狀表面312在平面表面310 之上的高度。於連續旋轉中，承受總成350截斷斜面304之 傾斜表面314’且硬點334自由舉升。在承受總成350達到 終止舉升平臺316的頂點之後，硬點334之引導邊緣3 3 6與 終止舉升平臺31 6造成接觸。當致動器3 〇2持續旋轉時，硬 點334之引導邊緣336在終止舉升平臺316的上緣之上行進 ’直至承受總成350自由舉升。當致動器302旋轉至其最後 位置時，硬點334之底部表面342沿著終止舉升平臺316滑 動’進一步將載具320舉升在致動器302之上。於一具體實 施例中’當硬點3 34係與致動表面301接觸時，在承受總成 350的外側直徑360及至少一斜面304的平面表面與平面表 面3 10之間有一間隙（例如3密爾）。 當被組裝時，譬如於圖5C及5D中所具體化之半導體檢 查裝置中’當作聚焦機構之物焦撓曲部200被組裝在外殼 之中心通道內。於一具體實施例中，物焦撓曲部200之 中間區段206被耦接至外殼32〇，且頂部區段202及底部區 段204係相對於外殼400自由移動。於另一具體實施例中， 物焦撓曲部200之頂部區段202及底部區段204被耦接至外 殻400，且中間區段206係相對於外殼400自由移動。致動 -14- 201213814 器302在物焦撓曲部200之上端202被定位在外殼400內。 致動器3 02被定位在外殼400內，使得致動器3 02之至 少一致動表面301可選擇性地承抵著載具320之至少一承受 表面，致動器3 02係可於第一位置及第二位置之間致動’ 在第一位置中，承受表面允許載具320維持或返回至其縮 回位置，且在第二位置中，力量係藉由至少一致動表面承 抵著載具320之至少一承受表面而施加，以將載具3 20移至 (^ 其延伸位置。物鏡402被插入物焦撓曲部200及外殼內。物 鏡4 02係裝在物焦撓曲部200內側，並藉由用螺紋將物鏡 4 02鎖入物焦撓曲部200之中間區段螺紋218而可移動地固 持。在物焦撓曲部200之中間區段206被耦接至載具92之處 ，物鏡402被耦接至中間區段206，使得物焦撓曲部200之 中間區段2〇6沿著光學元件之光軸406 »另一選擇係，在頂 部區段202及底部區段204被耦接至載具320之處，物鏡402 被耦接於物焦撓曲部200的頂部區段202及底部區段206之 〇 間，使得物焦撓曲部200的頂部區段202及底部區段206協 同彼此與物鏡402沿著物鏡402之光軸406移動。具有鎖固 至頂部圓環328之窗口 4〇4的載具320係耦接至时節總成400 。在圖5A及5C所說明，彈性構件410係耦接於載具320及外 殼4 00之間，彈性構件410於藉由載具3 20於其縮回及伸出 位置間之移動所界定的軸向中爲彈性的，且關於載具320 在外殼400內繞著軸向之相對旋轉大部分爲剛性的。窗口 404被組裝在導向接近物焦撓曲部200的頂部區段202之物 鏡402的突出端部之上。物鏡402輔助於將頂部區段202及 -15- 201213814 底部區段204維持在彼此平面式平行之關係中。 參考以上，當硬點3 3 4及承受總成3 50沿著傾斜之斜面 304移動時，致動器3 02之旋轉造成載具320及窗口 404垂直 地調整。物焦機構40 8係調整機構，其在肘節總成420內於 凹陷214處嚙合物焦撓曲部2〇〇，且被沿著光軸210調整。 於一具體實施例中，物焦機構408被耦接於外殻400及物焦 撓曲部200之頂部區段202及底部區段204的至少一者之間 ，且物焦機構408之致動導致頂部區段202及底部區段204 的至少一者相對於外殻400之平移。於另一具體實施例中 ，物焦機構408被耦接於外殻400及物焦撓曲部200的中間 區段206之間，且物焦機構402之致動導致中間區段206關 於外殼400之相對平移。物焦撓曲撓曲部200的撓曲點208 於致動時變形，且離平面式平行位置有實質上零偏轉。 按照本發明之原理，凸輪總成3 00及當作檢查系統總 成5 00的一部份之物焦鏡撓曲部200的範例被提供於圖5D中 。如圖5D所示，致動器3〇2/載具32〇/外殼400總成隨著照 相機4〇8、光學元件、及肘節馬達總成（未示出）被組裝 在光學部件412內。 雖然本發明已參考較佳具體實施例被敘述，但熟習技 術之工作者將認知可在未脫離本發明之精神及範疇之前提 下在形式及細節中作改變。 【圖式簡單說明】 圖1係根據本發明之檢查裝置的具體實施例之槪要側 -16- 201213814 視圖。 圖2A-2G係根據本發明的物焦撓曲部之具體實施例。 圖3 A-3 G係根據本發明的物焦撓曲部之具體實施例。 圖4A-4D係根據本發明的凸輪總成之具體實施例。 圖5 A-5C係根據本發明的外殼、載具、致動器總成之 具體實施例。 【主要元件符號說明】 90 :外殼 92 :載具 9 2 ’ ：第二位置 93 :成像裝置 9 4 :致動器 98 :架台 100 :檢查裝置 ❹ 101 :虛線 102 :擋板 200 :撓曲部 2 0 2 :頂部區段 2 0 4 :底部區段 2 0 6 :中間區段 2 0 8 :撓曲點 2 1 0 :物鏡軸 212 :套環/凸緣 -17- 201213814 214 ： 凹 陷 216 ： 收 縮 點 2 18： 內 圓 周 220 ： 開 P 222 ： 底 面 224 ： 螺 絲 孔 226 ： 空 隙 3 00 ： 凸 輪 總 成 301 ： 致 動 表 面 3 02 ： 致 動 器 304 ： 斜 面 3 04a :第- -斜面 3 04b :第二 二斜面 3 06 ： 內 側 半 徑 3 08 ： 外 側 半 徑 3 10： 平 面 表 面 3 12： 階 梯 狀 表面 3 14： 傾 斜 表 面 3 16： 平 臺 3 2 0 ： 載 具 3 22 ： 頂 部 表 面 3 24 ： 中 空 核 心 3 2 6 ： 底 部 表 面 3 2 8 ： 頂 部 圓 -18 201213814 :圓錐體 :下環 :硬點 :引導邊緣 :跟隨邊緣 :外緣 :底部表面 :承受總成 :軸桿 :承受本體 :壁 :壁

Ci :外側直徑 :外殼 :物鏡 :窗口 :光軸 :物焦機構 :彈性構件 :光學塊體 =肘節總成 500 檢查系統總成

Claims (1)

1. 201213814 七、申請專利範圍： 1. 一種檢查裝置，包括： 載具； 外殼，該載具係位在該外殼內，並可在縮回位置與伸 出位置之間往復移動；及 致動器，被定位在該外殼內，使得該致動器之至少一 個致動表面可選擇性地承抵著該載具之至少一承受表面’ 該致動器係可於第一位置及第二位置之間致動’在該第一 位置中，該承受表面允許該載具維持或返回至其縮回位置 ，且在該第二位置中，該至少一個致動表面將力量施加於 該載具之至少一個承受表面，以將該載具移動至其伸出位 置。 2. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，另包括耦接於 該載具及該外殼間之彈性構件，該彈性構件係於藉由該載 具在其縮回及伸出位置之間的移動所界定之軸向中爲彈性 的，且關於該載具在該外殼內繞著該軸向之相對旋轉大部 分爲剛性的。 3. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中重力使該 載具由其伸出位置偏向至其縮回位置。 4. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中該載具另 包括： 中心通道，光可通過該中心通道：及 窗口，被定位在該中心通道的上開口之上，該窗口實 質上爲透明的。 -20- 201213814 5. 如申請專利範圍第4項之檢查裝置，其中該致動器 之致動將該載具移動至其伸出位置，在該伸出位置中，該 窗口接觸待檢查之物件，該待檢查之物件係藉由配置在光 軸上之成像裝置而看得見，該光軸通過該載具之中心通道 〇 6. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中該至少一 個致動表面包括斜面。 Q 7.如申請專利範圍第1項之檢査裝置，其中該載具之 至少一承受表面包括可旋轉之軸承。 8. 如申請專利範圍第4項之檢查裝置，另包括設置在 該載具的中心通道中之聚焦機構。 9. 如申請專利範圍第8項之檢查裝置，其中該聚焦機 構包括： 彎曲部，包括中間部份，藉由彈性耦接件耦接至頂部 區段及至底部區段之間’該頂部區段及底部區段位在該中 〇 間部份之相對側上。 10. 如申請專利範圍第9項之檢查裝置，其中該彎曲 部之中間部份被耦接至該外殼，且該頂部及底部區段係相 對於該外殼自由移動。 11. 如申請專利範圍第9項之檢查裝置，其中該彎曲 部之頂部及底部區段被耦接至該外殼，且該中間部份係相 對於該外殼自由移動。 12·如申請專利範圍第1〇項之檢查裝置，另包括光學 元件，耦接於該彎曲部的頂部與底部區段之間，使得該彎 -21 - 201213814 曲部之頂部及底部區段協同彼此移動，且協同該光學元件 沿著該光學元件之光軸移動。 1 3 ·如申請專利範圍第11項之檢查裝置，另包括耦接 至該彎曲部之中間部份的光學元件，使得該彎曲部之中間 部份沿著該光學元件之光軸移動。 1 4 .如申請專利範圍第1 〇項之檢查裝置，另包括親接 在該外殻及該彎曲部之頂部與底部區段的至少一者間之調 整機構’該調整機構之致動導致該頂部及底部區段之至少 —者關於該外殻之相對平移。 1 5 ·如申請專利範圍第1 1項之檢查裝置，另包括耦接 於該外殼及該彎曲部的中間部份間之調整機構，該調整機 構之致動導致該中間部份關於該外殼之相對平移。 1 6 .如申請專利範圍第9項之檢查裝置，其中該中間 部份及該頂部與底部區段間之彈性耦接件於該彎曲部之軸 向上爲彈性的，且在該彎曲部之徑向上實質上爲剛性的。 1 7.如申請專利範圍第1 6項之檢查裝置，其中介於該 中間部份及該頂部與底部區段之間的彈性耦接件於致動時 變形，使得該頂部與底部區段及該中間部份彼此維持著實 質上平面平行之關係。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項之檢查裝置，另包括耦接 至該彎曲部之光學裝置，該彎曲部之至少一部份作用，以 將該頂部與底部區段彼此維持著平面平行之關係。 19. 一種檢查裝置，包含： 外殼； -22- 201213814 在該外殼內之肘節總成； 物鏡總成，附著在該肘節總成內，包含親合在物焦內 之物件，其中該物焦係可沿著光軸偏離的；及 凸輪總成，包含旋轉凸輪及窗口載具，其中該窗□載 具係可隨著該旋轉式凸輪之旋轉而沿著該光軸移動， 其中該凸輪總成係耦接至具有該物件之时節總成，且 窗口係沿著該光軸對齊。 f) 20.如申請專利範圍第19項之檢查裝置，其中該物焦 包含介於頂部區段與中間區段之間的第一彈性耦接件、及 在底部區段與該中間區段之間的第二彈性耦接件。

   -23-