201145436 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於基板搬送機構之反轉機構及用 於偏光膜貼合裝置之反轉機構。 【先前技術】 過去，液晶顯示裝置被廣泛地製造。為了控制光線的 穿透或遮斷’用於液晶顯示裝置的基板（液晶面板)通常會貼 合有偏光膜。偏光膜會與該吸收軸呈垂直般貼合。 作為在基板上貼合偏光膜的方法可例如為Chip to Panel方式，其係對應基板尺寸將偏光膜切割後進行貼合。 但是’該方式須針對基板一片片地貼合偏光膜，導致生產 效率低的缺點。另一方面，作為其它方式則可例如為Rollto Panel方式，其係以輸送滾筒供給偏光膜而連續地貼合至基 板。依該方法能以高生產效率進行貼合。 專利文獻1中的光學顯示裝置之製造系統揭露了一種 作為Roll to Panel方式的範例。上述製造系統係在將光學 薄犋(偏光膜）貼合至基板上方之後旋轉基板’再從下方貼合 偏光膜。 專利文獻1 :日本專利特許第4307510號公報(2009年 8月5曰公開）」。 但是’該習知裝置具有以下的問題。 首先’針對基板來貼合偏光膜之情況，為了避免灰塵 等異物混入貼合面中，通常會在無塵室中進行作業。接著， 201145436 無塵室係經過空氣整流處理。為了抑制由於異物而導致， 率的減少，則必須要在經降流式整流處理之狀態下來針姆 基板貼合偏光膜。 關於這點，專利文獻1的製造系統係針對基板自上方 及下方貼合偏光膜的結構。但是，自偏光膜上方進行貼合 之情況，則可能具有因偏光膜妨礙氣流（降流式）而使得流向 基板之整流環境惡化的缺點。作為從偏光膜上方進行貼合 的範例，第9(a)圖及第9(b)圖顯示上貼型之製造系統中的 氣流速度向量。在第9(a)圖及第9(b)圖中：A區域係設置 有捲出偏光膜用之捲出部的區域；B區域主要是偏光膜通 過的區域；C區域係設置有捲取從偏光膜所去除之剝離膜 用的捲取部。 又，自 HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾器 40 供給潔淨空氣。另外，第9(a)圖中，由於設置有能讓潔淨 空氣通過之格柵41，氣流會經由格栅41朝垂直方向移動。 另一方面，第9(b)圖中，由於未設置有格柵41，氣流在接 觸第9(b)圖中最下部的地板之後，便會沿著地板移動。 第9(a)圖及第9(b)圖中，2F(2樓)部分設置有A區域〜 C區域’故偏光膜會妨礙來自HEPA過濾器40的潔淨空氣。 因此，難以產生相對於通過2F部分之基板並朝向垂直方向 的氣流。對此’會形成水平方向氣流向量較大（向量的密度 較高）的狀態。換言之，係會形成整流環境惡化的狀態。 【發明内容】 4 201145436 有鑑於上述習知問題，本發明之第一技術特徵為一種 用於基板搬送機構之反轉機構，該基板搬送機構具有將長 方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的 第一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方 向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構；其中，該反轉 機構藉由基板反轉部之反轉動作將該第一基板搬送機構所 搬送的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板 搬送機構。其目的係為提供一種不會妨礙整流環境的偏光 膜貼合裝置以及具有該裝置之液晶顯示裝置製造系統。 再者，本發明之第二技術特徵為一種用於基板搬送機 構之反轉機構，該基板搬送機構具有將長方形基板以長邊 或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第一基板搬送機 構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行 搬送的第二基板搬送機構；其中，係根據驅動裝置之迴轉 驅動，繞著與該基板搬送方向相對固定傾斜角所設置的反 轉軸而迴轉基板反轉部，藉以進行反轉動作。其目的為藉 由該基板反轉部的一次反轉動作而反轉該基板，並改變沿 著該基板搬送方向的短邊及長邊方向，而縮短加工時間。 申請專利範圍第1項記載了本發明（第1發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，該基板搬送機構具有將長方 形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第 一基板搬送機構、及將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向 之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構，其中具有：反轉 機構，係藉由基板反轉部之反轉動作，將該第一基板搬送 201145436 機構所搬送的該基板反轉，改變其配置方式並配置至該第 二基板搬送機構。 申請專利範圍第2項記載有本發明（第2發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第1發明中，該反轉 機構係具有基板反轉部，能藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞 著與該基板搬送方向相對固定之傾斜角所設置的反轉軸而 迴轉，藉以進行反轉動作。 申請專利範圍第3項記載有本發明（第3發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第2發明中，該反轉 軸之該傾斜角為45°。 申請專利範圍第4項記載有本發明（第4發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第3發明中，該基板 反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置。 申請專利範圍第5項記載有本發明（第5發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第1發明至第4發明 之任一項中，該反轉機構的該反轉軸與該第一基板搬送機 構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部反轉並配置至該第 二基板搬送機構的該基板配置於同一平面上。 申請專利範圍第6項記載有本發明（第6發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第1發明至第5發明 之任一項中，該反轉機構係具有可進行該反轉軸之升降、 傾斜及位置調整的機構。 申請專利範圍第7項記載有本發明（第7發明）之一種用 於基板搬送機構之反轉機構，在上述第1發明至第6發明 6 201145436 之任一項中’該第一基板輪t、、， m ^^ A 殿迗機構兩側設置有二個反轉機 =__侧設置有二個基板載置部，係 父互地搬送由該第一基板私、、 E ^ 、 殿适機構所搬送的該基板；搬送 至5玄一個基板載置部的該其& y ^ c i：t 丞板係經由該二個反轉機構之交 互反轉，改變該基板之配瞀士 夏万式並配置至該第二基板搬送 機構。 申請專利範圍第8項|己哉士 # a G戰有本發明（第8發明）之一種用 於偏光膜貼合裝置之反轉施姓 必 W碼構，該偏光膜貼合裝置包含有 將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之㈣下進行搬 送的第-基板搬送機構、將偏光膜貼合至該第—基板搬送 機構之該基板下方的第—貼合部、將該基板以短邊或長邊 沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、及 將偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二 貼合部；其中具有反轉機構，係藉由基板反轉部之反轉動 作’將該第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉，改變其 配置方式並配置至該第二基板搬送機構。 申請專利範圍第9項記載有本發明（第9發明）之一種用 於偏光膜貼合裝置之反轉機構，該偏光膜貼合裝置包含有 將長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬 送的第一基板搬送機構、將偏光膜貼合至該第一基板搬送 機構之該基板下方的第一貼合部、將該基板以短邊或長邊 沿著搬送方向之狀態下進行搬送的第二基板搬送機構、將 偏光膜貼合至該第二基板搬送機構之該基板下方的第二貼 合部、及具有保持由該第一基板搬送機構所搬送之該基板 201145436 用的保持部而能將該保持部控制於保持狀態或解除保持狀 態的保持機構；其中具有反轉機構，係根據驅動裝置之迴 轉驅動，藉由基板反轉部之反轉動作，將該第一基板搬送 機構所搬送且被該保持部所保持的該基板反轉，而改變其 配置方式並配置至該第二基板搬送機構，該基板反轉部係 一端連結至該保持機構之該保持部。 申請專利範圍第10項記載有本發明（第10發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第8發明或第9發明 中，該反轉軸之該傾斜角為45°。 申請專利範圍第11項記載有本發明（第11發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第10發明中，該基板 反轉部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置。 申請專利範圍第12項記載有本發明（第12發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第11發明中，該反轉 軸係位在與該基板垂直之平面上，該平面包含有通過第一 基板搬送機構之基板中心及以垂直於該基板搬送方向之直 線為基準而傾斜45°的直線。 申請專利範圍第13項記載有本發明（第13發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第8發明至第12發明 之任一項中，該反轉機構的該反轉軸係與該第一基板搬送 機構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至 該第二基板搬送機構的該基板配置於同一平面上。 申請專利範圍第14項記載有本發明（第14發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第8發明至第13發明 201145436 之任一項中，該反轉機構係具有可進行該反轉軸之升降、 傾斜及位置調整的機構。 申請專利範圍第15項記載有本發明（第15發明）之一種 用於偏光膜貼合裝置之反轉機構，在第8發明至第14發明 之任一項中，於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉 機構，該第一基板搬送機構兩側設置有二個基板載置部， 係交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板，且 搬送至該二個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構 之交互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機 構。 其它發明將說明如下。 為了解決上述習知技術的問題，本發明之偏光膜貼合 裝置係包含有：第一基板搬送機構，係將長方形基板以長 邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送；第一貼合部， 用於將偏光膜貼合至該第一基板搬送機構之該基板的下 方；反轉機構，用於將該第一基板搬送機構所搬送的基板 反轉並配置至第二基板搬送機構；第二基板搬送機構，用 於將該基板以短邊或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬 送；以及第二貼合部，用於將偏光膜貼合至該第二基板搬 送機構之該基板的下方；其中，該第一基板搬送機構及第 二基板搬送機構係將基板朝同一方向進行搬送，且具有反 轉機構，其係用於吸附以長邊或短邊沿著第一基板搬送機 構搬送方向的基板並進行反轉，使其形成以短邊或長邊沿 著第二基板搬送機構搬送方向的狀態，該反轉機構係具有 201145436 吸附基板用的吸著部、及連接至吸著部縣板反轉部’該 基板反轉部係沿著反轉㈣行迴賴以反轉基板，該反轉 軸係位在下述⑴的平面内’且位在(2)的垂直位置。⑴包含 有通過第-基板搬送機構之基板中心以及與該基板搬送方 向垂直之直線為基準而傾斜45。的直線。⑺位在相對於第 一基板搬送機構之基板的垂直位置處。 如上述之本發明中，由第—貼合部來將偏光膜貼合至 基板的下方，沿著反轉機構中之基板反轉部的反轉軸進行 迴轉藉以反轉基板，並可改變搬送方向所相對的長邊及短 邊。然後，便可由第二貼合部來將偏光膜貼合至基板的下 方。即，可針對基板之兩面，從下方來貼合偏光膜，故不 會妨礙整流環境。又，由於反轉機構之動作係為一單純的 動作，加工時間較短。因此，可實現加工時間較短的貼合 作業。再者，該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係 將基板朝同一方向搬送。換言之，其具有L型等複雜構造 因此’本發明之偏光膜貼合裝置的設置非常簡便，並具有 良好之面積效率。 又，較佳地本發明之偏光獏貼合裝置係將該第一基板 搬送機構及該第二基板搬送機構配置於一直線上，第一其 板搬送機構位於第二基板搬送機構一側具有一端部，相對 該端部之第一基板搬送機構搬送方向且沿著水平兩方向而 各自具有二對的基板載置部及該反轉機構；該端部處係設 有從該端部將基板朝該基板載置部搬送的搬送機構；該反 轉機構係讓各自搬送至該基板載置部的基板反轉並配置至 201145436 第二基板搬送機構。 依據上述之結構，由於具有二個反轉機構，於每單位 時間中可對基板進行2倍處理。藉此，每單位時間中可將 更多之基板進行反轉，故可縮短加工時間。再者，由於第 一基板搬送機構及第二基板搬送機構配置於一直線上，可 提供面積效率更優良之構造的偏光膜貼合裝置。 又，本發明之偏光膜貼合裝置係較佳地具有搬送偏光 膜用的第一膜搬送機構及第二膜搬送機構，該第一膜搬送 機構處具有：用於捲出由剝離膜所保護之偏光膜的複數個 捲出部、用於將偏光膜切斷的切斷部、用於從偏光膜上將 剝離膜去除的去除部、及用於將被去除後之該剝離膜捲取 用的複數個捲取部；該第二膜搬送機構處具有：用於將由 剝離膜所保護之偏光膜捲出的複數個捲出部、用於將偏光 膜切斷的切斷部、用於從偏光膜上將剝離膜去除的去除 部、及用於將被去除後之該剝離膜捲取的複數個捲取部； 該第一基板搬送機構及第二基板搬送機構係設置於該第一 膜搬送機構及第二膜搬送機構之上部處，且用於將去除該 剝離膜後之偏光膜貼合至基板的該第一貼合部係設置於該 第一膜搬送機構與第一基板搬送機構之間，用於將去除該 剝離膜後之偏光膜貼合至基板的該第二貼合部係設置於該 第二膜搬送機構與第二基板搬送機構之間。 藉此，由於具有複數個捲出部及捲取部，當一側之捲 出部中偏光膜原料之殘餘量變少的情況，可將該原料連接 至設置於另一側捲出部的原料。其結果，無需停止偏光膜 11 201145436 之捲出，可續行作業，故可提高生產效率。 又，本發明之偏光膜貼合裝置較佳地具有在藉由該第 一貼合部來將偏光膜貼合至基板下方之前洗淨基板用的洗 淨部，且該第一基板搬送機構係以基板之短邊沿著搬送方 向之狀態下來搬送基板。 藉此，可於基板之長邊相對於基板搬送方向呈垂直的 狀態下，藉由洗淨部來進行基板之洗淨。即，可縮小基板 沿搬送方向的距離，故可縮短洗淨所需加工時間。其結果， 可提供生產效率更加優良之偏光膜貼合裝置。 又，較佳地本發明之偏光膜貼合裝置中，該第一膜搬 送機構及該第二膜搬送機構處具有：缺陷檢出部，係可檢 測出從第一捲出部所捲出之偏光膜上附著的缺陷顯示；貼 合迴避部，係判別出該缺陷顯示而停止該基板之搬送；以 及回收部，係將迴避而未貼合至基板的偏光膜回收。 依該缺陷檢出部、貼合迴避部及回收部，可避免將具 有缺陷之偏光膜與基板進行貼合，故可提高良率。 本發明之液晶顯示裝置製造系統具有：上述之偏光膜 貼合裝置；以及貼合偏差檢測裝置，用於檢查由該第二貼 合部完成偏光膜貼合後之基板上的貼合偏差。 藉此，可檢查出貼合好偏光膜後之基板所產生的貼合 偏差。 又，本發明之液晶顯示裝置製造系統較佳地具有遴選 搬送裝置，係藉由該貼合偏差檢測裝置之檢查結果來判斷 是否有貼合偏差，根據該判斷結果來對已貼合好偏光膜之 12 201145436 基板進行遴選。 藉此田貼合好偏光膜之基板產生貼合偏差之 可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。 / 又’較佳地本發明之液晶顯示裝置製造系統具有.偏 光膜貼合裝置；以及貼合異物自動檢測裝置， 二Γ合裝置之第二貼合部完成偏光膜貼合後之基:: 面板中是 藉此，可檢查出混入至貼合好偏光膜之液晶 否存在異物。 ，不發月之液晶顯示裝置製造系統較佳地具 搬送，置’係藉由該貼合異物自動檢測裝置之檢查結果來 刻斷是否存在異物，根據該輯結果來對已貼合好^光膜 之基板進選。 藉此w貼合好偏光膜之液晶面板中混入有異物之情 況’可迅速地遴選為不良品，可縮短加工時間。 又，較佳地本發明之液晶顯示裝置製造系統具有貼合 異物自動㈣|置’係檢查由該第二貼合部完成偏光膜貼 合後之基板上的異物，且具有遴雜送裝置，係藉由該貼 合偏差檢測裝置之檢查結果與該貼合異物自動檢測裝置之 檢查結果來判斷是否存在貼合偏絲異物，根據該判斷結 果來對已貼合好偏光膜之基板進行遴選。 藉此’當貼合好偏光膜之液晶面板中產生了貼合偏差 與混入異物之情況時’可迅速地將其遴選為不良品，而可 縮短加工時間。 13 201145436 依前述結構而紐成的本發明第]發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，藉由該基板反轉部之反轉動作，可將讓 長方形基板以長邊或短邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送 之第一基板搬送機構所搬送的該基板反轉，改變其配置方 式並配置至第二基板搬送機構，其係將該基板以短邊或長 邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，藉由該基板反轉部之 -人反轉動作而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向 的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第2發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第丨發明，由於該反轉機構 之該基板反轉部係藉由驅動裝置之迴轉驅動，繞著與該基 板搬送方向相對固定之傾斜角所設置的反轉軸而迴轉，以 進行反轉動作，藉由該基板反轉部的一次反轉動作，繞著 與該基板搬送方向相對固定傾角所設置的反轉軸而迴轉， 進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長 邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第3發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第2發明，由於該反轉機構 之該基板反轉部係進行繞著與該基板搬送方向相對固定傾 斜角所設置的反轉轴而迴轉的反轉動作，藉由繞著與該基 板搬送方向相對45°傾斜角所設置的反轉軸而迴轉的該基 板反轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變 該基板搬送方向的短邊及長邊方向，冑可獲得縮短加工時 間的效果。 201145436 依前述結構而組成的本發明第4發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第3發明，由於該基板反轉 部之一端係相對於該反轉軸呈45°傾斜設置，藉由該基板反 轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板並配置至該基板反 轉部之一端，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方 向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第5發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第1發明至第4發明之任一 項，由於該反轉機構的該反轉軸係與該第一基板搬送機構 所搬送的該基板及藉由該基板反轉部反轉並配置至該第二 基板搬送機構的該基板配置於同一平面上，藉由該基板反 轉部之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基 板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的 效果。 依前述結構而組成的本發明第6發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第1發明至第5發明之任一 項，由於該反轉機構係具有上述機構，而可進行該反轉軸 之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部之反轉動作 中獲得調整與控制的效果。 依前述結構而組成的本發明第7發明之用於基板搬送 機構之反轉機構，並根據前述第1發明至第6發明之任一 項，由於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機構； 該第一基板搬送機構兩侧設置有二個基板載置部，係交互 地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板；且搬送至 15 201145436 D亥-個基板載置部的該基板係經由該二個反轉機構之交互 反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構，能 讓該基板搬送時的加工時間減半，便能獲得可進行雙倍』 能之該基板搬送處理的效果。 組成的本發明第8發明之用於偏光膜貼 =之反轉動作’將讓長方形基板以長邊或短邊心= 二=搬送於該第一基板搬送機構且已於該第= 方=將偏光膜貼合至下表面的該基板反轉，改變其配置 送機槿配置至該第二基板搬送機構，可藉由該第二基板搬 而在第或長邊沿著搬送方向之狀態下進行搬送，進 明的^貼合部處將偏光膜貼合至該基板下方，達成本發 合裝2=组:的本發明第9發明之用於偏光膜貼 保持或解端連結至能控制該保持機構於 作，妝讀持狀態的該保持部處之基板反轉部的只“ -基板搬送機構所料 、轉動 :基板反轉，改變其配置方式並配置持：所保持的 :自:::該基板之搬送及偏光膜之貼合獲— 貼合至該基板上方及下方的效h f偏先膜 合裝Hi結構而組成的本發明第10發明之用於偏光膜貼 由繞著呈4轉機構，並根據前述第8發明或第9發明，辞 呈45。傾斜所設置的反轉軸而迴轉的該基 曰 201145436 之一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬 送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第11發明之用於偏光膜貼 合裝置之反轉機構，並根據前述第10發明，由於該基板反 轉部之一端相對於該反轉轴呈45°傾斜設置，藉由該基板反 轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板並配置至該基板反 轉部之一端，並改變沿著該基板搬送方向的短邊及長邊方 向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第12發明之用於偏光膜貼 合裝置之反轉機構，並根據前述第11發明，由於該反轉轴 位在與該基板垂直之平面上（該平面包含有通過第一基板 搬送機構之基板中心及以與該基板搬送方向垂直之直線為 基準而傾斜45°的直線），藉由該基板反轉部的一次反轉動 作，進而反轉該基板，並改變沿著該基板搬送方向的短邊 及長邊方向，便可獲得縮短加工時間的效果。 依前述結構而組成的本發明第13發明之用於偏光膜貼 合裝置之反轉機構，並根據前述第8發明至第12發明中任 一項，由於該反轉機構的該反轉軸係與該第一基板搬送機 構所搬送的該基板及藉由該基板反轉部而反轉並配置至該 第二基板搬送機構的該基板配置於同一平面上，藉由該基 板反轉部的一次反轉動作，進而反轉該基板，並改變沿著 該基板搬送方向的短邊及長邊方向，便可獲得縮短加工時 間的效果。 依前述結構而組成的本發明第14發明之用於偏光膜貼 17 201145436 合裝置之反轉機構，並根據前述第8發明至第13發明中任 一項，由於該反轉機構係具有上述機構，而可進行該反轉 軸之升降、傾斜及位置調整，可在該基板反轉部之反轉動 作中獲得調整與控制的效果。 依前述結構而組成的本發明第15發明之用於偏光膜貼 合裝置之反轉機構，並根據前述第8發明至第14發明中任 一項，由於該第一基板搬送機構兩側設置有二個反轉機 構；該第一基板搬送機構兩侧設置有二個基板載置部，係 交互地搬送由該第一基板搬送機構所搬送的該基板；且搬 送至該二個基板載置部的該基板經由該二個反轉機構之交 互反轉，改變其配置方式並配置至該第二基板搬送機構， 能讓該基板搬送時的加工時間減半，獲得可進行雙倍之該 基板搬送處理的效果。 以下說明其它本發明之效果。 本發明之偏光膜貼合裝置，如同以上所述，該第一基 板搬送機構及第二基板搬送機構係將基板朝同一方向進行 搬送，且具有反轉機構，係能吸附以長邊或短邊沿著第一 基板搬送機構搬送方向的基板並進行反轉，使其形成短邊 或長邊沿著第二基板搬送機構搬送方向的狀態；該反轉機 構係具有用於吸附基板的吸著部、及連接至吸著部的基板 反轉部，該基板反轉部係沿著反轉軸進行迴轉藉以反轉基 板；該反轉軸係位在下述（1)的平面上，且位在(2)的垂直位 置。（1)包含有通過第一基板搬送機構之基板中心而及以與 垂直該基板搬送方向垂直之直線為基準而傾斜45°的直 18 201145436 線。（2)位在相對於第一基板搬送機構之基板的垂直位置處。 【實施方式】 以下雖根據第1圖至第8圖來說明本發明之一實施態 樣，但本發明並非限定於此。首先，說明本發明之液晶顯 示裝置製造系統的結構如下所述，其中，液晶顯示裝置製 造系統包含有本發明之偏光膜貼合裝置。 第1圖係液晶顯示裝置製造系統的剖面圖。如第1圖 所示，液晶顯示裝置製造系統100為二層結構。1F(1樓) 部份為膜搬送機構50。2F(2樓)部份則為包含有基板搬送機 構（第一基板搬送機構及第二基板搬送機構）的偏光膜貼合 裝置60。 <膜搬送機構> 首先，說明有關膜搬送機構50。膜搬送機構50之功用 在於將偏光膜（偏光板)捲出而搬送至軋報6、6a及軋親16、 16a，並捲取不需要之剝離膜。另一方面，偏光膜貼合裝置 60之功用則在於將藉由膜搬送機構50所捲出之偏光膜相 對於基板(液晶面板)5進行貼合。 膜搬送機構50具有第一膜搬送機構51及第二膜搬送 機構52。第一膜搬送機構51係用以將偏光膜搬送至最先將 偏光膜貼合至基板5下方的軋輥6、6a處。另一方面，第 二膜搬送機構52則用以將偏光膜搬送至反轉後之基板的5 下方處。 第一膜搬送機構51具有：第一捲出部1、第二捲出部 19 201145436 1 a、第一捲取部2、坌_ 〜捲取部2a、半切器（half cutter)3、 刀刃（knife edge)4、及缺陷膜捲取滾筒7、π。第一捲出部 Ί又置有偏光臈料卷’可將偏光膜捲出。可使用習知的偏 光膜作，該偏光膜。具體來說’可使用_種在聚乙稀醇膜 上^蛾等*色且朝向—轴方向延伸後之膜等偏光膜。該偏 光膜之厚度雖無特別限但較佳為使用一以上、4〇一 以下之偏光膜者。 該偏光膜料卷中，吸收軸方向係位於流程方向（MD方 向）上。該偏光財係藉由祕膜以賴黏著劑層。可使用 聚醋膜(P°lyeSter film)、料苯二曱酸乙二醋(⑽yethylene terephthalate)膜等作為該剝離膜（亦可稱作保護骐或分離膜 separator)。該剝離膜之厚度雖無特別限定，但較佳為使用 5μιη以上、ΙΟΟμιη以下之剝離膜者。 關於液晶顯示裝置製造系統1 〇〇，由於具有二個捲出部 及對應捲出部之二個捲取部，當第一捲出部丨之料卷殘量 變少時，可將置備於第二捲出部4之料卷連結至第一捲出 部1之料卷。其結果，無需停止偏光膜之捲出，即可續行 作業。因此，藉由本結構可提高生產效率。另外，只需各 具有複數個該捲出部及捲取部即可，故當然亦可具有三個 以上的捲出部及捲取部。 半切器（切斷部）3會將受剝離膜保護之偏光膜（由偏光 膜、黏著劑層及剝離膜所構成之膜層積體）半切斷（half cut)，以將偏光膜及黏著劑層切斷。半切器3係可使用習知 組件。具體來說’可例如為刀刀、雷射切割器等。藉由半 20 201145436 切器3來將偏光膜及黏著劑層切斷後，再藉由刀刀（去除 部)4來將剝離膜從偏光膜處去除。 、 ，偏光膜與_膜之間處、㈣有黏著綱，將剝離膜去 除，’黏著觸會殘留於偏域側。該黏著縣並無特別 限可例如為丙稀系、環氧系、聚胺脂系等黏著劑層。 黏著劑層之厚度雖無特別限制，但通常為5〜4〇㈣。 另一方面，第二膜搬送機構52係與第一膜搬送機構Η 具相同的結構，具有第一捲出部i卜第二捲出部山、第 捲取口 P 12、第二捲取部12a、半切器13、刀刃14及缺陷 膜捲取滚筒17、17a。關於命名為相同名稱之組件，即代表 其功用與第一膜搬送機構51所具備者相同。 作為-較佳實施態樣’液晶顯示裝置製造系統1〇〇具 有洗淨部7卜在藉由軋輥6、6a將偏光膜貼合至基板$下 方之別洗淨邛71係用以將基板5洗淨。洗淨部71可使 用由喷射洗淨液之喷嘴及刷毛等所構成的習知洗淨部即 可洗淨部71係將即將要貼合之基板5洗淨，藉此能在基 板5之附著異物較少之狀態下進行貼合。 ,其次’參照第2圖來說明刀刀4。第2圖係液晶顯示裝 置製造系統100中之軋輥6、6a周邊部份的剖面圖。第2 圖顯示基板5從左方向又搬送之情形，具有黏著劑層（圖式 中未顯示’以下皆同）的偏光膜5a則從左下方搬送而來。 偏光膜5a具有剝離膜5b，藉由半切器3可將偏光膜化及 黏著劑層切斷，但不會將剝離膜5b切斷（半切斷）。 於剝離膜5b側設置有刀刃4。刀刃4係將剝離膜％ 201145436 剝離用的刀刃狀組件，使得與偏光膜5a之接著力較低的剝 離膜5b會沿著刀刃4而被剝離。 然後，剝離膜5b則會被第1圖之第一捲取部2所捲取。 另外，亦可取代刀刃，採用藉由黏著滾筒來捲取剝離膜的 結構。此時，相同於捲取部，其係藉由將黏著滾筒設置於 二位置處，可提高剝離膜之捲取效率。 其次，說明偏光膜貼合裝置60。偏光膜貼合裝置60 係搬送基板5，並將藉由膜搬送機構50所搬送而來的偏光 膜貼合至基板。圖中雖未顯示，於偏光膜貼合裝置60中， 面向基板5之上方而供給有潔淨空氣。即，進行降流式整 流。藉此，能在穩定狀態下進行基板5之搬送及貼合。 <偏光膜貼合裝置> 偏光膜貼合裝置60係設置於膜搬送機構50上部處。 藉此，可達成液晶顯示裝置製造系統100之空間節省。圖 中雖未顯示，但偏光膜於貼合裝置60處設置有基板搬送機 構，其係具有輸送滾筒（conveyor roll)，藉以將基板5朝搬 送方向進行搬送（以下於第5(a)圖至第5(d)圖中之所述第一 基板搬送機構61、第二基板搬送機構62係相當於基板搬送 機構）。 液晶顯示裝置製造系統100中，從左侧將基板5搬送 而來，然後，於圖中右側，即，從第一膜搬送機構51上部 朝第二膜搬送機構52上部進行搬送。於膜搬送機構50與 偏光膜貼合裝置60之間處，各自具有作為貼合部的軋輥 6、6a(第一貼合部）及軋輥16、16a(第二貼合部）。軋輥6、 22 201145436 “及軋二:將已去除制離膜後之偏光膜貼合 至基板5下方的組件。另外，為了從下方將偏光膜貼合至 基板5之兩祕，於軋6、6a進行貼合之後，再藉由反 轉機構65來反轉基板5 1於反轉機構&詳如後述曰。 朝向軋輥6^a搬送之偏光膜會隔著點著劑層而貼合 至基板5的下方處。作為軋親6、6a，可分別採用壓著滾筒、 加壓滚筒等習知結構。X，乾輥6、6a於貼合時之壓力及 溫度可適當地進行浦。軋輥16、16a之結構亦相同。另 外’圖中雖未顯示，但液晶顯示|置製造系統刚之較佳 結構中’在第-捲出部i至半切器之間的位置具有缺陷桿 示(麻)檢出部’而可檢測出具有缺陷之偏光膜的結構。 另外，關於該缺陷標示係在製作偏光膜料卷時進行檢 測會賦予缺陷標示，亦或，藉由缺陷標示賦予部賦予至偏 光膜上，該缺陷標示賦予部相較於缺陷標示檢出部係更為 靠近第-捲出部11或第二捲出部lla侧。缺陷標示賦予部 係由攝影機、圖像處理裝置及缺陷標示形成部所構成。首 先’用該攝影機來進行偏光膜之攝影，藉由對該攝影情報 進行處理’便可檢查出是否有缺陷。具體來說，該缺陷可 例如為灰塵等異物、魚眼(fish eye)等。若為檢測出有缺陷 之情況，便藉由缺陷標示形成部來於偏光膜上形成缺陷標 示。缺陷標示可使用墨水等來標記。 再者，圖中未顯示之貼合回避部會藉由攝影機來辨別 出該標記，將停止訊號傳送給偏光膜貼合裝置以停止基 板5之搬送。然後，被檢出有缺陷之偏光膜便不會藉由軋 23 201145436 輥6、6a進行貼合，而會被缺陷膜捲取滾筒（回收部）7、以 所捲取。藉此，可避免讓基板5與具有缺陷之偏光膜相貼 合。只要具有該系列之結構，由於可避免讓具有缺陷之偏 光膜與基板5相貼合’故可提高良率，係為較佳之實施態 樣。缺陷檢出部及貼合回避部係可使用習知之檢查感測器。 如第1圖所示，藉由反轉機構65來讓基板5呈反轉狀 態之後，將基板5搬送至軋輥16、16a。接著，將偏光膜貼 合至基板5下方。其結果，可將偏光膜貼合至基板5之兩 面，而形成於基板5兩面處貼合有二片吸收轴相異之偏光 膜的狀態。然後’依需要對基板5之兩面進行檢查，檢查 是否有貼合偏差。通常，該檢查係採用具有攝影機之檢查 部等來進行之結構。 如上述之液晶顯示裝置製造系統1〇〇中，將偏光膜貼 合至基板5時’係從基板5下方進行貼合之結構，故不會 妨礙基板5之整流環境。因此，亦可防止異物混入基板5 之貼合面，能更正確地進行貼合。 第3(a)圖及第3(b)圖係顯示近似本發明之下貼型製造 系統中之氣流速度向量。第3(a)圖及第3(b)圖中，區域A 係設置有捲出部之區域，區域B主要為偏光膜通過之區 域，區域C係設置有捲取部等之區域。又，會從HEPA過 濾器40供給潔淨空氣。另外，第3(a)圖中，由於設置有能 讓潔淨空氣通過之格栅41(grating)，經由格柵41，氣流能 朝垂直方向移動。另一方面，第3(b)圖中，由於未設置有 格柵41，氣流在接觸地板之後，便會沿地板移動。 24 201145436 由於第3(a)圖及第3(b)圖所示液晶顯示裝置製造系統 為下貼裂，不同於如第9(a)圖和第9(b)圖所示般由於偏光 膜而妨礙來自HEPA過濾器40的氣流。因此，氣流向量之 方向幾乎均朝向基板方向，可說是能達成無塵室之較 流環境。第3(a)圖中設置有格栅41，第3(1))圖中則未設置， 但兩者皆同樣為較佳狀態。另外，第3⑷圖及第3(b)圖與 第9(a)圖及第9(b)圖中，雖然基板搬送機構係呈水平但 並非是设置呈-連串之構造。因此，於基板搬送機構之間 處可谷氣流通過之結構。基板係在藉由後述之反轉機構而 受保持之後，傳送於基板搬送機構之間處的結構。 又，液晶顯示裝置製造系統1〇()中，首先，以長邊朝 前（長邊與搬送方向垂直）來搬送基板5，然後，以短邊朝前 (短邊與搬送方向垂直）來搬送之結構。 <反轉機構> 反轉機構65係可將短邊或長邊沿著搬送方向的基板 5，改變其配置而形成長邊或短邊沿著搬送方向的狀態。第 4(a)圖至第4(c)圖係藉由反轉機構65來將基板5反轉之過 程的立體圖。 第4(a)圖係吸附由第一基板搬送機構所搬送而來之基 板5的狀態。第4(b)圖係移動基板5的過程，第4(c)圖係 藉由第二基板反轉機構來將基板5反轉後的狀態。另外， 為了方便圖示，第4(a)圖至第4(c)圖中省略繪出第一基板 搬送機構及第二基板搬送機構，留待於第5(a)圖至第5(d) 圖詳述如後。 25 201145436 如第4(a)圖所示，反轉機構65係具有吸著部66、基板 反轉部67及昇降部68。吸著部66係對基板5表面進行吸 附之組件。藉由吸著部66讓基板5表面保持於吸著部66 處。吸著部66可使用習知的吸著部，例如，可使用空氣吸 取式吸著部。 基板反轉部67係連結至吸著部66 ’以連接吸著部％ 及昇降。卩68之結構。基板反轉部67係藉由以反轉軸Μ為 軸進行迴轉之方式來反轉基板5的組件。帛4⑻圖中，基 板反轉部67之昇降部68側會形成朝向基板5而相對於反 轉轴Μ朝垂直方向延伸之形狀。再者，基板反轉部67之 吸著部66側則形成通過第一基板搬送機構之基板5中心， 而/α著與基板5長邊(搬送方向）呈平行之直線彎曲約4〇。的 形狀。第4(a)圖所示基板反轉部67之形狀僅為一範例，並 非限疋為該形狀。作為其他形狀，例如，亦可從昇降部68 ^吸著部66側f曲之形狀’以取代如基板反轉部67般 之彎曲形態。X ’亦可採用如機械手臂般具有複數個可動 部之構造。 基板反轉部67係將可進行迴轉之可動部設置於昇降部 之'σ構該可動部係沿著反轉轴Μ而配置，而可讓基 板反轉部67沿著反轉軸Μ進行迴轉的構造。 轉軸Μ係、⑴位在—平面上’該平面係包含有通過 送方基板搬送機構之基板5的中心以及與垂直基板5的搬 、β垂直之直線作為基準而傾斜45。的直線，並且與基板 垂直(參考第5(a)g|);⑺且位在與基板5水平之位置(參 26 201145436 考第4(a)圖）上。反轉軸Μ亦可位於上述平面上，且可使基 板5被移動到垂直方向。 基板反轉部67係可經由可動部而沿著反轉軸Μ進行 迴轉的結構，但只要是能沿著反轉軸Μ進行迴轉之結構即 可，該結構並無特別限疋。例如，基板反轉部67具有迴轉 軸構造，當該迴轉軸構造之軸沿著反轉軸Μ進行迴轉的同 時’使得基板反轉部67整體進行迴轉的構造。基板反轉部 67之迴轉運動係例如藉由馬達（圖中未顯示）等驅動裝置來 進行。 基板反轉部67係能藉由以反轉軸Μ為軸迴轉一圈來 反轉基板5。所謂反轉係指讓基板5迴轉至其相反面，換言 之，讓基板5之表面轉為背面。 昇降部68為具有彎曲部之手臂狀，可藉由縮小手臂之 角度來讓基板反轉部67上昇。另一方面’亦可藉由增加手 臂之角度來讓基板反轉部67下降。在未搬送基板5時，係 將吸著部66設置於基板5之更上方側，以避免接觸至基板 5。接著，在搬送基板5時，藉由昇降部68讓基板反轉部 67下降，吸著部66亦會下降，便可藉由吸著部66來吸附 基板5。又，將基板5反轉之後，解除吸著部66之吸附， 於解除後藉由昇降部68來移動基板反轉部67而讓吸著部 66從基板5處分離。 使用第4(a)圖至第4(c)圖來說明反轉機構65之動作。 首先’第4(a)圖中，顯禾當基板$之短邊沿搬送方向之情 況。藉由吸著部66來吸附基板5表面後，沿著反轉軸Μ 27 201145436 來迴轉基板反轉部67。第4(a)圖中，雖然係藉由π及著部66 來吸附基板5之中心附近’但只要能固定而使基板5不會 於迴轉時掉落即可，吸附位置並無特別限定。又，吸附位 置亦不限定於4個位置處’當然可適當地增減。 其次，從第4(a)圖之狀態’讓基板反轉部67沿著反轉 軸Μ朝基板表面侧進行迴轉。第4(b)圖係顯示基板反轉部 67相對於第4(a)圖中（第〆基板搬送機構中）之基板5迴轉 90。後的狀態。經過第4(b)圖之狀態，繼續迴轉基板反轉部 67而使基板5反轉如第4(c)圖所示。 如上所述，藉由反轉機構65之一次迴轉動作’便可改 變基板5之短邊及長邊方向而將其反轉。即’不需複雜之 迴轉動作，能以較短之加工時間（Tact Time)來進行基板5 之反轉。以結果而言，能以較短之加工時間來進行包含反 轉之基板5的偏光膜貼合作業。 另外，第4(a)圖至第4(c)圖中，為了讓基板5朝搬送 方向移動，故相對於第4(a)圖之基板5而將基板反轉部67 設置於搬送方向側。藉此，如第4(c)圖所示，於第二基板 搬送機構上，能在使基板5更加朝向搬送方向移動之狀態 來進行反轉。藉此，能以更短之加工時間來進行包含反轉 操作之兩面貼合作業。 第5(a)圖至第5(d)圖係對應於第4(a)圖至第4(c)圖之基 板5於迴轉過程的俯視圖。第5(a)圖至第5(d)圖中顯示有 第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62。第/基板搬 送機構61及第二基板搬送機構62具有輸送滾筒（圖中未顯 28 201145436 示）。第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係將基 板5朝同一方向進行搬送。因此，第一基板搬送機構61及 第二基板搬送機構62係沿著搬送方向呈直線狀結構。換言 之，其不具有L形等複雜構造。因此’本發明之偏光膜貼 合裝置60的設置非常簡便，且為面積效率優良的構造。 如參照第4(a)圖至第4(c)圖之說明，首先，如第5(a) 圖所示’藉由吸著部66來保持基板5表面。其次，如第5(b) 圖所示，沿著反轉軸Μ之方向，讓基板反轉部67迴轉90° 而使基板5呈垂直狀態。最後，如第5(c)圖所示，使基板 反轉部67繼續沿著反轉軸Μ之方向進行迴轉，以將基板5 反轉。反轉基板5時，基板5係設置於輸送滚筒（圖未示) 處’基板反轉部67不會接觸至輸送滾筒。因'此，反轉機構 65係位於基板5之下方側。 然後，藉由解除吸著部66之吸附以解除基板5之保 持’由第二基板搬送機構62來搬送基板5。接著，反轉機 構65會回到第5(a)圖之位置，以同樣之動作來反轉依序搬 送而來的其他基板5。 如上述之反轉機構65 ’於吸著部66之吸附後，藉由基 板5之一次動作來讓基板5反轉，並改變相對於搬送方向 之長邊及短邊。於反轉動作之前，於基板5下方貼合偏光 膜，於進行該反轉動作之後，便可對反轉後之基板5的下 方再次貼合偏光膜。（1)可如上述地對基板5兩面從下方貼 合偏光膜，（2)該反轉動作為單純之迴轉動作，且單次之動 作加工時間短。因此，可達成不會妨礙整流環境，且加工 29 201145436 時間短的貼合作業。 另外，基板反轉部67之反轉動作係單一次動作，但即 便是包含有於該動作前後昇降基板5的動作及/或調整基板 反轉部67位置的動作，亦包含於本發明之反轉機構65的 動作中。 第5(a)圖至第5(d)圖中，第一基板搬送機構61及第二 基板搬送機構62係將基板5朝同一方向進行搬送，且為相 互鄰接之構造。如第5(c)圖中所示，此係因為藉由基板反 轉部67而改變基板5相對於搬送方向之短邊及長邊位置， 搬送反轉後基板5之第二基板搬送機構62與第一基板搬送 機構61的搬送方向不會在一直線上，而會產生偏移。另外， 第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62亦無需一定 要相互鄰接，亦可於第一基板搬送機構61及第二基板搬送 機構62之間設置有間隔。 如第4(a)圖至第4(c)圖所述，為了讓基板5朝搬送方 向移動，故相對於反轉前之基板5而將基板反轉部67設置 於搬送方向側。但是，當反轉機構65之配置等有限制之情 況時，亦可如第5(d)圖中所示設置反轉機構65。此時，雖 無法讓基板5朝搬送方向移動，但可對應於反轉機構65之 配置等的限制。 第6圖係偏光膜貼合裝置60之變化實施例的俯視圖。 該變化實施例中的變化之處為：（1)具有二個反轉機構65， (2) 於第一基板搬送機構61兩侧具有二個基板載置部61a， (3) 第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一 201145436 直線上。另外，同樣地可以藉由第一基板搬送機構61及第 二基板搬送機構62來將基板5朝同一方向進行搬送。 於第一基板搬送機構61靠近第二基板搬送機構62側 的端部處，相對於第一基板搬送機構61之搬送方向而沿著 該端部之水平兩方向具有基板載置部61a及反轉機構65。 反轉機構65之構造係相同於參照第4(a)圖至第4(c)圖及第 5(a)圖至第5(d)圖之說明。又，該端部之區域61b處具有用 於將基板5朝向基板載置部61a搬送用的搬送手段。具體 而言，可例如為輸送滾筒。 基板載置部61a係藉由吸著部66而設置基板5。依該 變化實施例，沿第一基板搬送機構61搬送而來的基板5係 交互地被搬送至二個基板載置部61a處。由於各自具有二 對基板載置部61a及反轉機構65,被搬送至基板載置部61a 之基板5，係藉由反轉機構65之一次動作而進行反轉。 該變化實施例中，二個基板載置部61a係各自沿第一 基板搬送機構61之水平兩方向而設置，反轉後之基板5便 會沿著第一基板搬送機構61之搬送方向而配置。因此，可 將第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62配置於一 直線上。 依該變化實施例，（1)由於具有二個反轉機構65，於每 單位時間可對基板5進行2倍之處理。藉此，可於每單位 時間將更多的基板5反轉，可縮短加工時間。（2)再者，由 於第一基板搬送機構61及第二基板搬送機構62係設置於 一直線上，可提供面積效率更優良構造的偏光膜貼合裝 31 201145436 置。特別是於無塵室中講求面積效率，非常適合使用該偏 光膜貼合裝置。 <其他附帶結構> 再者，作為較佳實施態樣，液晶顯示裝置製造系統1〇〇 具有控制部70、洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼合異 物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74。貼合偏差檢測裝置 72、貼合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74係針對 貼合後之基板5(液晶顯示裝置）進行檢查等處理。 第7圖係顯示該液晶顯示裝置製造系統所具有之各組 件間之關連性的方塊圖，第8圖係顯示液晶顯示裝置製造 系統之動作的流程圖。以下，說明液晶顯示裝置所具有之 各組件，並說明其動作。 控制部70係與洗淨部71、貼合偏差檢測裝置72、貼 合異物自動檢測裝置73及遴選搬送裝置74相連接，將控 制訊號傳送給該等組件而加以控制。控制部70係主要由 CPU(Central Processing Unit)所構成，並可依需要而具有記 憶體。 於液晶顯示裝置製造系統100具有洗淨部71之情況， 為了縮短洗淨部71的加工時間，較佳地，將第一基板搬送 機構61中之基板5以長邊朝前之方式搬送至洗淨部71。通 常，由於洗淨部71處的洗淨需花費長時間，就縮短加工時 間之觀點來看，上述結構非常有效。 其次，第8圖之S2係進行將偏光膜合至基板5兩面的 貼合步驟（包含基板5之反轉動作），上述步驟係如上述參照 32 201145436 於第1圖至第6圖所說明β 日貼口偏差檢測裝置72係用於檢查於貼合完成之 中是否存在偏賴之貼合偏差。貼合偏差_|置72土係由 I置所構成’基板5之偏光膜係藉由軋 '16&而貼合’其中偏光膜的貼合位置處設置有命摄 影機。由賴f彡縣奸顯5之祕，#料 成之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在：： 偏差(貼合偏差檢查步驟，第8圖之S3)。另外，作為貼: 偏差檢測震置72可使用過去習知的貼合偏差檢測襄置。 貼合異物自動檢測裴置73係用於檢查於貼合完成之基 板5中疋否有異物。與貼合偏差檢測裝置72相同，貼合異 物自動檢測裝置73係由攝影機及圖像處理裝置所構成，第 二基板搬送機構係藉由軋親16、16a而貼合偏光膜至基板 5 ’第一基板搬送機構(偏光膜貼合裝置60)處設置有該攝影 機。由該攝料來騎基板5之攝影，藉纟針對攝影完成 之圖像資料進行處理，便可檢查出基板5是否存在貼合異 物（貼合異物檢查步驟，S4)。該異物可例如為灰塵等異物、 魚眼等異物。另外，貼合異物自動檢測裝置73可使用過去 習知的貼合異物檢測裝置。 S3及S4之順序可相反’亦可同時進行。又’亦可省 略其中任一個步驟。 遙選搬送裝置74係根據貼合偏差檢測裝置72及貼合 異物自動檢測裝置73的檢查結果，判斷是否存在貼合偏差 及異物。遙選搬送裝置74只要是能從貼合偏差檢測裝置72 33 201145436 及貼合異物自動檢測裝置73接收檢查結果之輸出訊號’而 將貼合完成之基板5遴選為良品或不良品者即可。因此’ 可使用過去習知之遴選搬送系統。 該液晶顯示裝置製造系統中，作為較佳實施態樣’係 可檢測出貼合偏差及異物等兩者的結構，判斷為檢測出有 貼合偏差或異物之情況(YES)，便將貼合完成之基板5遙選 為不良品（S7)。另一方面，判斷為未檢測出有貼合偏差及異 物中任一者之情況(NO)，則將貼合完成之基板5遴選為良 品（S6)。 使用具有遴選搬送裝置74之液晶顯示裝置製造系統可 迅速地進行良品或不良品之遴選，可縮短加工時間。當僅 具有貼合偏差檢測裝置72或貼合異物自動檢測裝襄73之 情況時，遴選搬送裝置74亦可為僅針對貼合偏差及異物中 任一者進行判斷的結構。 另外，本發明並不限定於上述各實施形離，於申請專 利範圍之記載範圍内亦可進行各種變更，將；；自揭霧於不 同實施態樣之技術手段適當組合所獲得的實施態樣亦包含 於本發明之技術範圍内。 本發明之偏光膜貼合裝置可應用於將偏錢貼合至基 板的技術領域中。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明之液晶顯示裝置製造系統一實施例的 剖面圖。 ' 34 201145436 第2圖係第1圖液晶顯示裝置製造系統之軋輥周圍部 份的剖面圖。 第3(a)圖及第3(b)圖顯示近似本發明之下貼型製造系 統中氣流速度向量的剖面圖。 第4(a)圖至第4(c)圖係本發明中藉由反轉機構將基板 反轉之過程的立體圖。 第5(a)圖至第5(d)圖係本發明中藉由反轉機構將基板 迴轉過程的平面圖；其中，第5(a)圖係吸附狀態；第5(b) 圖係90°迴轉之狀態；第5(c)圖係180〇迴轉之狀態。 第6圖係本發明偏光膜貼合裝置之變化例的平面圖。 第7圖係顯示該液晶顯示裝置製造系統所具有之各組 件間之關連性的方塊圖。 第8圖係根據本發a月之液晶顯示裝置製造系統之作業 流程圖。 第9(a)圖及第9(b)圖係上貼型製造系統中氣流速度向 量的刹面圖。 【主要元件符號說明】 1 ' 2 第一捲出部 la、2a 第二捲出部 3、13 半切穿器 4、14 刀刀 5 基板 5a 偏光膜 35 201145436 5b 剝離膜 6、 6a 軋輥（第一貼合部） 7、 7a 缺陷膜捲取滾筒 11、 '12 第一捲出部 11a ' 12a 第二捲出部 16、 16a 軋輥（第二貼合部） 17、 17a 缺陷膜捲取滾筒 40 HEPA過濾器 41 格橋 50 膜搬送機構 51 第一膜搬送機構 52 第二膜搬送機構 60 偏光膜之貼合裝置 60 偏光膜貼合裝置 61 第一基板搬送機構 61a 基板載置部 62 第二基板搬送機構 65 反轉機構 66 吸著部 67 基板反轉部 68 昇降部 70 控制部 71 洗淨部 72 貼合偏差檢測裝置 36 201145436 73 貼合異物自動檢測裝置 74 遴選搬送裝置 100 液晶顯示裝置製造系統 A、B、C 區域 M 反轉軸 S1-S7 步驟 37