TW201144044A - Transfer device - Google Patents

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201144044 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於轉印系統及轉印方法，特別是關於將薄 片狀的模具上所形成之微細轉印圖案轉印於被成型品的技 術。 【先前技術】 近年來，藉由電子束微影法等在石英基板等形成超微 細的轉印圖案而製作模具（mould )，將前述模具以既定 壓力按壓於被成型品，將該模具上所形成的轉印圖案進行 轉印之奈米壓印（nano imprint)技術已被硏究開發出（ 例如參照非專利文獻1 )。 作爲將奈米級的微細圖案（轉印圖案）低成本地成型 之方法，使用微影技術之壓印法已被提出。該成型法大致 分類成熱壓印法和UV壓印法。 在熱壓印法，是將模具按壓於基板，加熱至熱塑性聚 合物構成的樹脂（熱塑性樹脂）可充分流動的溫度而讓樹 脂流入微細圖案後，將模具和樹脂冷卻至玻璃轉化溫度以 下，當轉印至基板上的微細圖案固化之後，將模具分離。 在UV壓印法，是使用光可透過之透明模具，將模具 按壓於UV硬化性液體並施加UV放射光。施加適當時間 的放射光而使液體硬化以轉印微細圖案，之後將模具分離 此外，在進行上述轉印時，作爲模具是使用薄片狀物 201144044 的方式已被提出（例如參照專利文獻1 )。 專利文獻1:日本特開2011-020272號公報 非專利文獻 1 : Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25 (2001) 192-199 【發明內容】 在轉印裝置’是將模具（模）設置於基座構件，將被 成型品設置於移動體，使移動體相對於基座構件進行移動 ，藉此將被成型品和模具夾入按壓而進行轉印。又移動體 例如是透過線性導引軸承而受基座構件支承。 然而，上述習知的轉印裝置，受到進行轉印時之按壓 力的反作用力，會使轉印裝置之基座構件產生些微的彈性 變形，起因於該些微的彈性變形，使移動體無法循正確的 軌跡移動，而有無法進行正確的轉印之虞。 本發明是有鑒於上述問題點而開發完成的，針對將模 具上所形成之微細的轉印圖案轉印於被成型品之轉印裝置 ’其目的是爲了提供一種能進行正確的轉印之轉印裝置。 本發明的第1態樣之轉印裝置，是將模具上所形成之 微細的轉印圖案轉印於被成型品之轉印裝置，係具有基座 構件、移動構件以及支承體；該基座構件具有第1按壓部 :該移動構件，係具備與前述第1按壓部合作而將前述模 具及前述被成型品夾入並按壓之第2按壓部，且以讓前述 第2按壓部在相對於前述第1按壓部接近或離開的方向進

S -6- 201144044 行移動的方式設置於前述基座構件；該支承體，係具備導 引前述移動構件的前述移動之導引部，且僅在受前述按壓 時的反作用力而產生些微的彈性變形之前述基座構件的部 位、即前述彈性變形所造成的彎曲角大致爲「0」的部位 ’與前述基座構件卡合而與前述基座構件設置成一體。 本發明的第2態樣之轉印裝置，是將模具上所形成之 微細的轉印圖案轉印於被成型品之轉印裝置，係具有基座 構件、第3構件以及支承體；該基座構件係具備：具有第 1按壓部之第1構件、位於前述第1按壓部設置側且與前 述第1構件分離之第2構件、以及將前述第i構件與前述 第2構件連結之連結構件，此三者是一體地形成；該第3 構件’是設置在前述第1構件與前述第2構件之間，具備 與前述第1按壓部相對向之第2按壓部，在將前述第1構 件與前述第2構件互相連結的方向移動自如，藉由朝前述 第1構件側移動’使前述第2按壓部與前述第1構件之第 1按壓部合作，而將前述模具及前述被成型品夾入並按壓 :該支承體，係在一部分具備導引前述第3構件的前述移 動之導引部’在前述第3構件移動而藉由前述各按壓部將 前述模具及前述被成型品按壓時僅在前述第2構件產生的 反作用力之中心的部位、或僅在前述中心的附近部位、或 僅在前述中心的部位及前述中心的附近部位，使其另—部 分卡合於前述第2構件，而與前述第2構件設置成一體. 在第2態樣’前述第1構件和前述第2構件和前述第 3構件可形成平板狀。較佳爲，前述第1構件和前述第2 201144044 構件和前述第3構件各個的厚度方向互相一致，在前述第 1構件和前述第2構件間配置前述第3構件，從前述厚度 方向觀察時前述第1構件和前述第2構件互相大致重疊， 從前述厚度方向觀察時前述第1構件的中心和前述第2構 件的中心和前述第3構件的中心互相大致一致；前述連結 構件，在從前述厚度方向觀察時，是在前述第1構件和前 述第2構件的周邊附近相對於前述第1構件和前述第2構 件的中心呈對稱地配置。前述第1按壓部，可從前述第1 構件之與前述第3構件相對向的平面朝前述第3構件側突 出。前述第1按壓部的前端面，可與前述第1構件之與前 述第3構件相對向的平面平行。前述第2按壓部，可從前 述第3構件之與前述第1構件相對向的平面朝前述第1構 件側突出。較佳爲，前述第2按壓部之前端面，是與前述 第3構件之與前述第1構件相對向的平面平行，從前述厚 度方向觀察時，前述第1按壓部之前端面的中心與前述第 2按壓部之前端面的中心與前述第1構件的中心互相大致 一致。前述按壓，可將讓前述第3構件遠離前述第2構件 的力施加於前述第2構件和前述第3構件。進行前述按壓 時在前述第1構件產生之反作用力的方向，可爲前述第1 構件的厚度方向且從前述第2構件離開的方向。進行前述 按壓時在前述第2構件產生之反作用力的方向，可爲前述 第2構件的厚度方向且從前述第1構件離開的方向。從前 述厚度方向觀察時，前述各反作用力的中心，可與前述第 1構件、前述第2構件的中心一致。較佳爲，前述支承體

S -8- 201144044 ’是僅在前述第2構件之中心附近卡合於前述第2構件， 而與前述第2構件設置成一體。 本發明的第3態樣之轉印裝置，是將模具上所形成之 微細的轉印圖案轉印於被成型品之轉印裝置，係具有基座 構件、第3構件以及支承體；該基座構件係具備：具有第 1按壓部之第1構件、位於前述第1按壓部設置側且與前 述第1構件分離之第2構件、以及將前述第1構件與前述 第2構件連結之連結構件，此三者是一體地形成；該第3 構件’是設置在前述第1構件與前述第2構件之間，具備 與前述第1按壓部相對向之第2按壓部，在將前述第1構 件與前述第2構件互相連結的方向移動自如，藉由朝前述 第1構件側移動，使前述第2按壓部與前述第1構件之第 1按壓部合作，而將前述模具及前述被成型品夾入並按壓 ;該支承體，係在一部分具備導引前述第3構件的前述移 動之導引部，在前述第3構件移動而藉由前述各按壓部將 前述模具及前述被成型品按壓時僅在前述第1構件產生的 反作用力之中心的部位、或僅在前述中心的附近部位、或 僅在前述中心的部位及前述中心的附近部位，使其另一部 分卡合於前述第1構件，而與前述第1構件設置成一體。 在第3態樣，前述第1構件和前述第2構件和前述第 3構件可形成平板狀。較佳爲，前述第1構件和前述第2 構件和前述第3構件各個的厚度方向互相一致，在前述第 1構件和前述第2構件間配置前述第3構件，從前述厚度 方向觀察時前述第1構件和前述第2構件互相大致重疊， -9 - 201144044 從前述厚度方向觀察時前述第1構件的中心和前述第2構 件的中心和前述第3構件的中心互相大致一致；前述連結 構件，在從前述厚度方向觀察時，是在前述第1構件和前 述第2構件的周邊附近相對於前述第1構件和前述第2構 件的中心呈對稱地配置。前述第1按壓部，可從前述第1 構件之與前述第3構件相對向的平面朝前述第3構件側突 出。前述第1按壓部的前端面，可與前述第1構件之與前 述第3構件相對向的平面平行。前述第2按壓部，可從前 述第3構件之與前述第1構件相對向的平面朝前述第1構 件側突出。較佳爲，前述第2按壓部之前端面，是與前述 第3構件之與前述第1構件相對向的平面平行，從前述厚 度方向觀察時，前述第1按壓部之前端面的中心與前述第 2按壓部之前端面的中心與前述第1構件的中心互相大致 一致。前述按壓，可將讓前述第3構件遠離前述第2構件 的力施加於前述第2構件和前述第3構件。進行前述按壓 時在前述第1構件產生之反作用力的方向，可爲前述第1 構件的厚度方向且從前述第2構件離開的方向。進行前述 按壓時在前述第2構件產生之反作用力的方向，可爲前述 第2構件的厚度方向且從前述第1構件離開的方向。從前 述厚度方向觀察時，前述各反作用力的中心，可與前述第 1構件、前述第2構件的中心一致》較佳爲，前述支承體 ’ 7E僅在則述第1構件之中心卡合於則述第1構件’而與 前述第1構件設置成一體。 依據本發明，在將模具上所形成之微細的轉印圖案轉

S -10- 201144044 印於被成型品之轉印裝置，可發揮正確轉印的效果》 【實施方式】 第1圖係顯示本發明的實施形態之使用移送定位裝置 (薄片狀模具移送定位裝置）3的轉印系統1的槪要圖。 第2圖、第3圖係顯示轉印系統1的槪要之俯視圖。 轉印系統1，是用來將薄片狀模具Μ上所形成之微細 的轉印圖案Μ 1轉印於被成型品W的系統，係具備移送定 位裝置3、轉印裝置5及剝離裝置7。 第6圖、第7圖係顯示轉印裝置5的槪略構造之立體 圖，第8圖係轉印裝置5的箭頭視截面圖；第8 ( a )圖 係第6圖的VIIIA-VIIIA箭頭視截面圖；第8(b)圖係第 6圖的VIIIB-VIIIB箭頭視截面圖；第8 ( c )圖係第8 ( b )圖的C-C截面圖。又在第8(a)圖，是省略顯示隨後 詳述之伸縮囊107、下側接觸構件109。第9圖〜第1 5圖 係顯示轉印裝置5的槪要和動作，第16圖~第20圖係顯 示剝離裝置7的槪要和動作，第21圖係第9 ( a )圖的 XXI部放大圖。 移送定位裝置3,是藉由移送薄片狀模具Μ而使其在 既定部位成爲平板狀，並將該平板狀的薄片狀模具ΜΑ沿 既定方向定位的裝置。既定部位，例如是在模具母材設置 裝置9和模具捲繞裝置1 1之間；既定方向，例如是從模 具母材設置裝置9朝向模具捲繞裝置11之水平方向。又 平板狀的薄片狀模具ΜΑ之移送及定位，是在將平板狀的 -11 - 201144044 薄片狀模具ΜΑ之微細的轉印圖案使用轉印裝置5轉印於 平板狀的被成型品W時，用來進行該轉印的準備；或是 在將藉由該轉印而貼附在薄片狀模具ΜΑ之被成型品W 從薄片狀模具剝離時，用來進行該剝離的準備。 薄片狀模具位置檢測裝置1 83 (參照第1圖、第26 圖），是設置於移送定位裝置3。而且，當薄片狀模具位 置檢測裝置1 8 3檢測到被移送的平板狀的薄片狀模具Μ A 之既定部位時，停止進行薄片狀模具ΜΑ的移送，而完成 薄片狀模具ΜΑ相對於轉印裝置5等的定位。 又微細的轉印圖案Μ 1，例如是由多數個微細的凹凸 所形成，其高度、節距是可見光線的波長左右、或比可見 光線的波長稍大或稍小之圖案，而形成在薄片狀模具Μ 之厚度方向的一面上。亦即，在第1圖、第9〜20圖，是 在平板狀的薄片狀模具ΜΑ的下面形成微細的轉印圖案》 轉印裝置5，是藉由將平板狀的薄片狀模具ΜΑ按壓 於被成型品W，而將平板狀的薄片狀模具ΜΑ上所形成之 微細的轉印圖案Μ1轉印於被成型品（被轉印品）W之裝 置，是設置在移送定位裝置3移送薄片狀模具Μ的移送 方向上的上游側（在第1圖、第9~20圖等之左側）。 剝離裝置（被成型品分離裝置）7，是將藉由轉印裝 置5進行轉印而互相貼合之薄片狀模具ΜΑ和被成型品（ 轉印後被成型品）W予以剝離（從薄片狀模具ΜΑ將被成 型品W剝離、分離）之裝置，是設置在移送定位裝置3 移送薄片狀模具Μ的移送方向上的下游側（離開轉印裝

S -12- 201144044 置5而比轉印裝置5更下游側，在第1圖、第9〜20圖等 之右側）。 此外，剝離裝置7所進行之剝離，是在轉印.裝置5進 行轉印後且移送定位裝置3進行薄片狀模具MA及貼附在 該薄片狀模具MA上之被成型品W的移送及定位後，當 轉印裝置5實施下個其他轉印時進行。此外，移送定位裝 置3所進行之薄片狀模具MA及被成型品W之移送及定 位，是藉由用模具捲繞裝置1 1捲繞平板狀的薄片狀模具 MA來進行。 此外，在轉印系統1設有：第1貯藏庫（轉印前被成 型品貯藏庫，轉印前基板貯藏庫）1 3、第1搬運裝置（轉 印前被成型品搬運裝置）1 5、第2貯藏庫（轉印後被成型 品貯藏庫、轉印完畢基板貯藏庫）1 7、及第2搬運裝置（ 轉印後被成型品搬運裝置）1 9。 第1貯藏庫1 3，是用來收納藉由轉印裝置5進行轉 印前之複數個被成型品W之貯藏庫；第1搬運裝置15, 是將第1貯藏庫1 3所收納的被成型品W逐片地（即一片 接著一片）供應給轉印裝置5的裝置。 第2貯藏庫1 7，是用來收納藉由轉印裝置5進行轉 印後之複數個被成型品W之貯藏庫；第2搬運裝置1 9， 是將藉由剝離裝置7從薄片狀模具Μ A剝離後之轉印後.被 成型品W逐片地供應給第2貯藏庫1 7的裝置。

第1搬運裝置15係具備機械人21與滑動件23。滑 動件2 3，是將收納於第1貯藏庫1 3之轉印前被成型品W -13- 201144044 逐片地從第1貯藏庫13取出而交接給機械人21的裝置。 此外’第2搬運裝置19係具備機械人21跑滑動件 25。滑動件25，是將從機械人21交接之轉印後的被成型 品W逐片地收納於第2貯藏庫1 7的裝置。 再者，在轉印系統1設有薄片狀模具製作裝置27。 第22圖係顯示薄片狀模具製作裝置27的槪要。 薄片狀模具製作裝置27,是在薄片狀材料M2之厚度 方向的一面上，例如藉由轉印來形成微細的轉印圖案Μ 1 以製作薄片狀模具（薄片狀的模具）Μ之裝置。在轉印系 統1，以一台移送定位裝置3及一台的轉印裝置5及一台 的剝離裝置7爲一組的單元（移送轉印剝離單元）29，對 於一台的薄片狀模具製作裝置27是設置複數組的單元29 〇 亦即，如第2 5圖所示，對於一台的薄片狀模具製作 裝置27是設置複數組的單元29。而且，將薄片狀模具製 作裝置27所製作之薄片狀模具Μ供應至各單元29。薄片 狀模具製作裝置27與單元29之數量比，可參照薄片狀模 具製作裝置27之節拍時間（tact time)與單元29之節拍 時間，而設定成使薄片狀模具製作裝置27或單元29之閒 置時間（idle time)成爲最小而能最有效率地從薄片狀模 具Μ朝被成型品W進行轉印。 又單元29，是具備第1貯藏庫13、第1搬運裝置I5 、第2貯藏庫17、第2搬運裝置19亦可。 轉印裝置5，例如第9 ( a )圖所示，是藉由按壓體

S -14- 201144044 3 1和設置被成型品W之被成型品設置體3 3，將被成型品 W與平板狀的薄片狀模具MA夾入並進行轉印。 按壓體31，是藉由平板狀的緩衝材35來進行被成型 品W與平板狀的薄片狀模具MA之夾入。該平板狀的緩 衝材，例如是紫外線可透過之硬質橡膠或柔軟的樹脂等的 彈性材所構成之緩衝材。 在藉由被成型品設置體33和按壓體31夾入薄片狀模 具MA與被成型品W的狀態下，被成型品W是接觸被成 型品設置體33，薄片狀模具MA是接觸被成型品W，按 壓體3 1是接觸薄片狀模具Μ A (例如參照第1 2 ( a )圖） 〇 轉印裝置5之按壓體31，如第21圖所示係具備：紫 外線可透過之玻璃等的高剛性材料所構成的平板狀基材（ 例如支承玻璃）37、以覆蓋該基材37的方式呈層狀地設 置之緩衝材3 5、以及紫外線可透過且不容易貼附（例如 摩擦係數小的材料）於薄片狀模具Μ的材料（例如玻璃 、PET樹脂）所構成之平板狀的模具接觸材39。模具接 觸材39’是以覆蓋緩衝材35的方式呈層狀（可對應於緩 衝材3 5的彈性變形而進行彈性變形程度的薄層狀）地設 置。 在藉由被成型品設置體33和按壓體31夾入薄片狀模 具MA與被成型品w的狀態下，模具接觸材39接觸薄片 狀模具MA。 在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置11之間例如 -15- 201144044 朝水平方向延伸出之平板狀的薄片狀模具ΜΑ，是從薄片 狀模具Μ所捲繞成的模具母材MB延伸出之薄片狀模具 (參照第1圖等）。 第2 1圖所示之微細的轉印圖案Μ 1，是形成於薄片狀 模具Μ的一部分（轉印圖案形成區域ΑΕ1 )，在轉印圖 案形成區域以外的薄片狀模具Μ之部位ΑΕ2的至少一部 分，設置間隔件（積層薄膜）Sl(參照第24圖）。又第 24 ( a )圖係平板狀的薄片狀模具MA之俯視圖，第24 ( b)圖係第24(a)圖的B-B截面圖》 積層薄膜S1，如第24 ( c )圖（模具母材MB的截面 圖）所示，是形成既定的厚度，以防止構成模具母材MB 之薄片狀模具M(Mx)之微細的轉印圖案Ml(Mxl，轉 印圖案形成區域AE1)，按壓於（例如接觸）與該微細的 轉印圖案Ml (Mxl)鄰接且對置之薄片狀模具M( My) 薄片狀模具Μ，如既已理解般，是以既定寬度而形成 長帶狀。又第1圖、第9-22圖之與紙面正交的方向是薄 片狀模具Μ的寬度方向》 微細的轉印圖案Μ1，如第24 ( a )圖所示，例如形 成於矩形狀的區域AE1。該矩形狀的轉印圖案形成區域 ΑΕ 1，是比薄片狀模具Μ的寬度小。從薄片狀模具Μ的 厚度方向觀察時，轉印圖案形成區域ΑΕ1之寬度方向， 是與薄片狀模具Μ的寬度方向一致，而位於薄片狀模具 Μ的大致中央。在薄片狀模具Μ的長邊方向，轉印圖案

S -16- 201144044 形成區域AE 1是隔著既定間隔（節距p 1 )而沿著薄片狀 模具Μ的長邊方向排列。 移送定位裝置3係具備：設置模具母材MB之模具母 材設置裝置（送出輥）9、以及將從設置於該模具母材設 置裝置9之模具母材MB送出（延伸出）之薄片狀模具 MA予以捲繞之模具捲繞裝置（捲繞輥）1 1。如前述般’ 在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置1 1之間，讓薄片 狀模具MA延伸出而成爲大致平板狀（參照第1圖等）》 又模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置11是與機床45設 置成一體。 在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置11之間成爲 平板狀之薄片狀模具（平板狀的薄片狀模具）MA，藉由 張力賦予裝置1 95 (參照第1圖、第9 ( a )圖、第1 6 ( a )圖）而在其長邊方向（將模具母材設置裝置9和模具捲 繞裝置1 1互相連結之例如水平方向）施加既定的張力。 藉此保持平板狀的形態。微細的轉印圖案Μ 1，在第9〜20 圖雖未圖示出，是如前述般形成於平板狀的薄片狀模具 ΜΑ的下面（參照第21圖）。 模具母材（布匹狀的模具）MB，是藉由轉印裝置5 進行轉印前之捲筒狀的模具。模具母材MB，是在圓柱狀 的芯材外周，以該外周的周方向與薄片狀模具Μ的長邊 方向互相一致的方式將薄片狀模具Μ捲繞成圓筒狀或圓 柱狀。 藉由模具捲繞裝置1 1進行捲繞之捲繞完畢的模具 -17- 201144044 MC，是轉印裝置5使用於轉印後之模具’而與模具母材 MB同樣地成爲捲筒狀。 設置於模具母材設置裝置9之模具母材MB ’能以其 中心軸（例如朝水平方向延伸的軸，第1圖、第9(a) 圖等之朝與紙面正交的方向延伸的軸）C1爲旋轉中心而 進行旋轉。藉由模具捲繞裝置11進行捲繞之捲繞完畢的 模具M C也是，能以其中心軸（與中心軸C 1平行而朝水 平方向延伸的軸）C2爲旋轉中心而進行旋轉。 存在於模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置Π間之 平板狀的薄片狀模具ΜΑ，如前述般’例如厚度方向成爲 上下方向，長邊方向成爲水平的一方向（將模具母材設置 裝置9和模具捲繞裝置1 1互相連結的方向）’寬度方向 成爲水平的另一方向（與厚度方向及長邊方向正交的方向 )° 平板狀的薄片狀模具ΜΑ，沿著其長邊方向’亦即從 模具母材設置裝置9朝向模具捲繞裝置11的方向’保持 大致平板狀的狀態而藉由移送定位裝置3進行移送及定位 〇 移送定位裝置3所進行之一次的移送距離’例如與形 成有微細的轉印圖案Ml之區域ΑΕ1的節距pi相等。此 外，藉由移送定位裝置3進行移送時或移送後，藉由張力 賦予裝置195，使在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置 1 1間延伸出的薄片狀模具MA ’以保持既定張力的狀態大 致維持其位置。

S -18- 201144044 關於張力賦予裝置195,舉例說明的話，設置於模具 母材設置鳄置9之模具母材MB，是透過磁粉離合器等的 力矩控制離合器而連結於馬達等致動器的旋轉輸出軸以進 行旋轉。藉由模具捲繞裝置1 1進行捲繞之薄片狀模具Μ (捲繞完畢的摸具MC )，是連結於伺服馬達等致動器的 旋轉輸出軸而進行旋轉。 而且，將在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置11 間延伸出之平板狀的薄片狀模具ΜΑ予以移送的情況，讓 模具母材設置裝置9的馬達反轉（爲了藉由模具母材設置 裝置9捲繞平板狀的薄片狀模具ΜΑ而讓模具母材MB的 馬達旋轉輸出軸旋轉），將磁粉離合器的力矩設定成既定 値T 1，讓模具捲繞裝置1 1的伺服馬達之旋轉輸出軸朝捲 繞平板狀薄片狀模具MA的方向以既定力矩T2旋轉既定 角度。在此情況，若設置於模具母材設置裝置9之模具母 材MB的半徑爲「R1」，藉由模具捲繞裝置U捲繞完畢 之模具母材 MB 的半徑爲「R2」，則設定成「 T1/R1<T2/R2」。如此，可維持既定的張力（F1=T2/R2-T1/R1)，而將在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置Π 間延伸出之平板狀的薄片狀模具MA，朝模具捲繞裝置Π 側移送。 當移送定位裝置3並未進行平板狀的薄片狀模具MA 之移送，而將平板狀的薄片狀模具MA維持其位置的狀態 下，模具捲繞裝置11的伺服馬達之旋轉輸出軸，是藉由 既定的保持力矩而呈停止。此外，藉由模具母材設置裝置 -19- 201144044 9的馬達和磁粉離合器，使平板狀的薄片狀模具ΜΑ獲得 既定張力。 在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置1 1間延伸出 之平板狀的薄片狀模具ΜΑ之移送距離的決定（移送及定 位），是使用具備薄片狀模具位置檢測器1 9 1之薄片狀模 具位置檢測裝置1 83 (參照第1圖、第26圖等）來進行 〇 薄片狀模具位置檢測裝置1 83，當將平板狀的薄片狀 模具ΜΑ朝既定方向（薄片狀模具ΜΑ的長邊方向，第1 圖、第9圖、第26圖爲從左往右的方向）移送而進行上 述長邊方向的定位時，是用來檢測出薄片狀模具ΜΑ的既 定部位的裝置。 又上述定位，如前述般，是讓移送定位裝置3所進行 的薄片狀模具ΜΑ之移送停止而實施。亦即，移送定位裝 置3，當藉由該裝置進行薄片狀模具ΜΑ的移送時，是按 照薄片狀模具位置檢測器1 9 1之檢測結果，在控制裝置 1 79的控制下，讓移送定位裝置3所進行之薄片狀模具 ΜΑ的移送停止而實施薄片狀模具ΜΑ的定位。 薄片狀模具位置檢測器1 9 1，是例如在轉印裝置5的 附近檢測出：平板狀的薄片狀模具ΜΑ之光透過率的變化 、薄片狀模具ΜΑ之光反射率的變化、及事先形成於薄片 狀模具ΜΑ上之標記（位置檢測標記，對準標記）M3之 至少任一者，藉此檢測出薄片狀模具ΜΑ的既定部位（例 如相對於轉印裝置之薄片狀模具ΜΑ的位置）。

-20- S 201144044 又前述光’是既定波長的可見光、既定波長的近紅 線或既定波長的近紫外線。 在此詳細的說明，利用平板狀的薄片狀模具MA之 透過率的薄片狀模具位置檢測器1 9 1。 如前述般，在薄片狀模具Μ A上，存在有轉印圖案 成區域A E 1及轉印圖案非形成區域A E 2 (參照第2 4 ( £ 圖）。 薄片狀模具位置檢測器1 9 1，藉由檢測出轉印圖案 成區域AE1和轉印圖案非形成區域AE2之光透過率的 異，而檢測出薄片狀模具的位置（既定部位）。例如， 由檢測出轉印圖案形成區域AE 1和轉印圖案非形成區 AE2的邊界、亦即邊緣（既定部位），而檢測出薄片狀 具的位置。 亦即，如第26 ( a )圖所示，將光透過型感測器] 的發光部185A設置於平板狀薄片狀模具MA的上側， 光透過型感測器185的受光部185B設置於平板狀的薄 狀模具MA的下側。又將發光部185A與受光部185B 位置互換亦可。發光部185A與受光部185B，是在轉印 置5的附近，與轉印裝置5的基座構件47設置成一體< 在光透過型感測器185的發光部185A和光透過型 測器185的受光部185B間，隨著平板狀的薄片狀模 MA之移送而使平板狀的薄片狀模具MA之轉印圖案形 區域AE 1和轉印圖案非形成區域AE2通過。基於被移 而通過光透過型感測器185的發光部185A和光透過型 外 光 形 形 差 藉 域 模 85 將 片 的 裝 感 具 成 送 感 -21 - 201144044 測器185的受光部185B間之平板狀薄片狀模具ΜΑ之光 透過率的差異，以進行平板狀薄片狀模具ΜΑ之移送及定 位。 進一步的說，是在第24(a)圖之點Ρ1位置設置光 透過型感測器1 8 5。光透過型感測器1 8 5之光透過率，在 轉印圖案形成區域ΑΕ 1較低，而在轉印圖案非形成區域 ΑΕ2較高》又在第24(a)圖所示的狀態下，是事先將平 板狀的薄片狀模具ΜΑ實施移送定位。 接著，從第24(a)圖所示的狀態，相對於光透過型 感測器1 8 5，將平板狀的薄片狀模具ΜΑ朝右方以既定距 離（節距pl )進行移送定位時，光透過型感測器1 85之 光透過率，先變低接著變高之後又變低。當該變低時，停 止平板狀薄片狀模具MA的移動。藉此對平板狀的薄片狀 模具MA實施一節距pl之移送及定位。 又在薄片狀模具位置檢測器1 9 1，是取代光透過型感 測器1 8 5而採用光反射型感測器1 8 7 (參照第2 6 ( b )圖 )，藉此進行平板狀的薄片狀模具MA之移送距離的決定 (移送及定位）亦可。 亦即，從光反射型感測器1 8 7對平板狀的薄片狀模具 Μ A照射光，藉由光反射型感測器1 8 7檢測出該光在平板 狀薄片狀模具MA上之反射率的差異，而檢測出平板狀薄 片狀模具MA之既定部位並進行移送距離的決定。又光反 射型感測器1 8 7也是與光透過型感測器1 8 5同樣地，在轉 印裝置5的附近，與轉印裝置5的基座構件47設置成一

S -22- 201144044 體。 轉印圖案形成區域ΑΕΙ之光反射率，一般是比轉印 圖案非形成區域ΑΕ2之光反射率爲低。 如此般’只要藉由檢測出平板狀的薄片狀模具Μ之 光透過率的差異或反射率的差異而檢測出薄片狀模具Μ 之既定部位，即可將薄片狀模具Μ予以正確地定位。此 外’由於是檢測轉印圖案形成區域ΑΕ 1與轉印圖案非形 成區域ΑΕ2之光透過率的差異，因此不須在薄片狀模具 Μ另外設置標記，而能簡化薄片狀模具Μ之製造步驟。 此外，在薄片狀模具位置檢測器1 9 1，不是檢測轉印 圖案形成區域ΑΕ 1與轉印圖案非形成區域ΑΕ2之光透過 率或反射率的差異，而是檢測在薄片狀模具Μ形成微細 的轉印圖案Μ 1時所生成之邊緣線L1 (參照第24 ( a )圖 )，而藉此檢測出薄片狀模具的既定部位亦可。在此情況 也是，利用光透過型感測器1 8 5或光反射型感測器1 8 7來 測定光透過率或反射率。 邊緣線L1，詳如後述般，是在薄片狀模具Μ形成微 細的轉印圖案Μ 1時，例如必然會生成的線條。 如此般，藉由檢測在薄片狀模具形成微細的轉印圖案 Ml時所生成之邊緣線L1而檢測出薄片狀模具Μ的既定 部位，可將薄片狀模具Μ予以正確地定位。此外，由於 是檢測邊緣線L 1，因此不須在薄片狀模具Μ另外設置標 記，而能簡化薄片狀模具Μ之製造步驟。 另外，爲了檢測邊緣線L1 ’不是使用光透過型感測 -23- 201144044 器1 8 5或光反射型感測器1 8 7，而是使用第2 6 ( c )圖所 示之攝影機1 89和控制裝置1 79內所設置之影像處理裝置 亦可。又攝影機189，是與轉印裝置5之基座構件47設 置成一體。 在薄片狀模具位置檢測器1 9 1，於平板狀的薄片狀模 具MA之既定位置上，事先例如藉由薄片狀模具製作裝置 27設置標記M3 (參照第24 ( a)圖），將該標記M3利 用攝影機1 89 (參照第26 ( c )圖）與影像處理裝置進行 檢測，而»施薄片狀模具Μ的定位亦可。 標記M3，是將微細的轉印圖案Ml朝薄片狀材料M2 上，例如從轉印輥1 3 1的母模將微細的轉印圖案轉印時所 形成的標記。 薄片狀模具Μ之既定部位、亦即標記Μ 3，是藉由第 22圖及第23圖所示的標示器（噴墨、雷射標示器等） 1 8 1所形成。又標記Μ 3，如第2 4 ( a )圖所示，例如以既 定的節距p 1形成於轉印圖案非形成區域A E 2之未設置積 層薄膜S1的部位（薄片狀模具Μ的部位）。此外，將標 記M3設置在轉印圖案非形成區域ΑΕ2之設有積層薄膜 S 1的部位亦可。 標示器181所進行之標記M3的形成，是在未圖示的 控制裝置之控制下，與轉印輥1 3 1的旋轉同步地實施。例 如’藉由轉印輥1 3 1旋轉一圏，來形成轉印圖案形成區域 A Ε1、邊緣線L1、標記Μ 3之節距ρ 1。標示器1 8 1，藉由 可檢測轉印輥1 3 1的旋轉角度之旋轉角度檢測裝置（未圖

S -24- 201144044 示的旋轉編碼器），檢測出馬達等的致動器所驅 輥1 3 1轉一圈，每當檢測出轉一圈，就在薄片狀 薄片狀材料M2 )上形成例如點狀的標記M3。 如此般，藉由檢測薄片狀模具Μ上所形成纪 而檢測出薄片狀模具Μ之既定部位，可更正確 狀模具Μ予以定位。 此外，使用標記M3，在轉印裝置5進行轉 實施設置於被成型品設置體3 3之被成型品W與 具ΜΑ的定位亦可。 在此情況，是在被成型品W的既定位置設 將薄片狀模具ΜΑ之標記M3與被成型品W的標 圖示的攝影機拍攝，並利用影像處理裝置來測定 W的標記相對於薄片狀模具ΜΑ的標記M3之位 〇 此外，在測力計95與下側構件53之間設置 ，使被成型品設置體3 3上所設置之被成型品W 向（被成型品W上面的展開方向）進行移動定 ，在控制裝置1 79的控制下，驅動ΧΥ載台而抑 的位置偏移。 再者，如習知般，設置旋轉編碼器（可檢測 具捲繞裝置11之伺服馬達的旋轉輸出軸之旋轉 並用感測器來測定藉由模具捲繞裝置11進行捲 完畢的模具MC的外徑，藉此進行平板狀的薄 ΜΑ之移送距離的決定（移送及定位）亦可。 動之轉印 模具Μ ( I標記Μ 3 地將薄片 印之前， 薄片狀模 置標記， 記藉由未 被成型品 置偏移量 ΧΥ載台 在ΧΥ方 位。而且 制所測定 設置於模 角度）， 繞之捲繞 片狀模具 -25- 201144044 另外，平板狀的薄片狀模具ΜΑ之張力FI，如第9( a )圖等所示，是藉由張力計（張力檢測裝置，張力測定 手段）41檢測出。按照其檢測結果，控制磁粉離合器之 力矩而使張力F1成爲既定値。 而且，對應於張力計4 1所測定的張力値，藉由控制 裝置179控制張力賦予裝置195而使平板狀的薄片狀模具 MA之張力成爲既定値。 張力計41，係具備圓柱狀的滾子43及基台（未圖示 )。滾子43，是透過軸承（未圖示）而設置於基台（與 第1圖所示的機床45設置成一體），以滾子43的中心軸 (第9 ( a )圖等之朝與紙面正交方向延伸的軸）C3爲旋 轉中心而進行旋轉。 此外，在基台與軸承之間設置測力計（未圖示），可 檢測出對應於平板狀薄片狀模具MA的張力而施加於滾子 43的荷重。亦即，在滾子43上繞掛平板狀的薄片狀模具 MA。該繞掛的薄片狀模具MA可對滾子43的軸承施加荷 重。而且，藉由檢測（測定）施加於測力計的荷重，可檢 測出平板狀的薄片狀模具MA之張力。 滾子43是位於平板狀的薄片狀模具MA之上方，在 滾子43的下方側繞掛薄片狀模具MA。 藉此，薄片狀模具MA之與微細的轉印圖案Ml形成 面相反側的面、亦即背面（上面），是和滾子43接觸》 轉印裝置5，如第6圖等所示，係具備基座構件47、 移動體49及移動體支承體51。基座構件47係具備：下

S -26- 201144044 側構件5 3、上側構件5 5及連結桿（連桿）5 7。下側構件 53與上側構件55與移動體49，例如是呈矩形平板狀而互 相形成大致相同的形狀。 下側構件53與上側構件55，例如以厚度方向互相— 致的方式（例如成爲上下方向），在上下方向隔著既定間 隔而設。移動體4 9，是位於下側構件5 3與上側構件5 5 之間。下側構件5 3與上側構件5 5在俯視下，是大致重g 的。此外，下側構件5 3與上側構件5 5，例如是藉由四根 連結桿5 7而進行連結。 連結桿5 7，例如形成圓柱狀，以中心軸的延伸方向 朝上下方向的方式，在下側構件5 3與上側構件5 5之間， 與下側構件53及上側構件55設置成一體。在俯視下，四 根連結桿5 7是設置在下側構件5 3、上側構件5 5的角部 附近。此外，四根連結桿57，相對於下側構件53、上側 構件55的中心是呈對稱配置。例如，四根連結桿57之對 角線的交點’是和下側構件5 3、上側構件5 5的中心互爲 一致。此外’藉由轉印裝置5進行轉印時之按壓，會在連 結桿57發生拉伸應力而產生些微的彈性變形，但只要該 應力所造成之四根連結桿5 7的些微延伸量互爲相等即可 ’一般而言，連結桿57相對於下側構件53、上側構件55 的中心是呈對稱配置的。 移動體支承體51，係具備呈矩形平板狀的基部59、 C字狀的側部6 1且例如是一體地形成。進一步的說明， 基部5 9 ’是和下側構件5 3、上側構件5 5同樣地形成矩形 -27- 201144044 平板狀：側部61 ’是從基部5 9的側部朝基部5 9的厚度 方向豎起。在俯視下（從基部5 9的厚度方向觀察），側 部61呈C字狀’是位於基部59的—邊和與該一邊鄰接之 兩邊。此外，在俯視的情況，C字狀的側部61之一端部 ’是位於基部59之與該一邊鄰接的一方邊的大致中央部 ;C字狀的側部61之另一端部，是位於基部59之與該一 邊鄰接的另一方邊的大致中央部（參照第8圖等）。 而且，移動體支承體51，其基部59之厚度方向的一 面（延伸出側部6 1側的面），是以與下側構件5 3的下面 相對向的方式和下側構件5 3設置成一體。在俯視下，移 動體支承體5 1之基部59是大致重疊於下側構件53，移 動體支承體5 1的側部6 1是離下側構件5 3些微距離而包 圍下側構件5 3的外周之一半（包圍下側構件5 3之一邊、 和與該一邊鄰接之兩邊的大致一半）。此外，在側視下， 側部61的前端面（上面，參照第6圖）63是位於下側構 件5 3和上側構件5 5之間。 移動體支承體5 1與下側構件5 3的接合，僅在下側構 件5 3、移動體支承體5 1的基部5 9之中心附近進行。例 如，在移動體支承體51的基部59之中心附近設置複數個 座（從基部59之上側面稍微突出且上面呈平面的部位） 6 5。座6 5例如設有四個。在俯視下，四個座6 5是配置於 移動體支承體51之基部5 9的中心（下側構件5 3的中心 )之附近周邊。此外，是在將以基部5 9中心爲中心之小 圓四等分的位置，設置各座65。 -28- 201144044 移動體支承體51之座65的上面與下側構件53之下 面的一部分，是互相形成面接觸（參照第8 ( c )圖）， 而且’移動體支承體51之其他部分，是與下側構件5 3等 的基座構件47完全不接觸而分離成不受支承，移動體支 承體51是藉由螺栓67等的緊固具而與下側構件53設置 成一體。 移動體49，是以厚度方向成爲上下方向的方式設置 於下側構件5 3和上側構件5 5之間。在俯視下，移動體 49是與下側構件53、上側構件55大致重疊。在移動體 49的角部設置缺口 69，利用該缺口 69，使移動體49離 開連結桿5 7 (基座構件4 7 )而不接觸連結桿5 7 (參照第 8 ( a)圖）。 此外，移動體49是透過線性導引軸承71而受移動體 支承體5 1支承，可在上下方向（將下側構件5 3和上側構 件5 5互相連結的方向，連結桿5 7中心軸的延伸方向）移 動。 亦即，在移動體支承體5 1的側部6 1之一端部，一體 地設置線性導引軸承71的軌道7 3。該軌道7 3朝上下方 向延伸。在移動體支承體5 1的側部61之另一端部，也一 體地設有朝上下方向延伸之線性導引軸承7 1的軌道73 ( 例如參照第8 ( a ) ( b )圖）。 在移動體49，將與一對軌道73卡合之一對軸承75 設置成一體。藉此，移動體49僅受線性導引軸承7 1的支 承’而能在下側構件5 3和上側構件5 5之間沿上下方向移 -29- 201144044 動自如。此外，在俯視下，一對的線性導引軸承 對於下側構件5 3、上側構件5 5、移動體49的中心 對稱地（例如位於點對稱的位置）配置。 此外，移動體49，例如是藉由滾珠螺桿77和 達79等的致動器，而能在上下方向移動定位自如。 詳而言之，如第6〜8圖所示，滾珠螺桿77之 部8 1的中心軸是通過下側構件5 3的中心而朝上下 伸，螺桿軸部81是可旋轉自如地設置於下側構件 珠螺桿77之螺桿軸部8 1，是透過設置於下側構件 軸承8 3而可旋轉自如地設置於下側構件5 3，並從 件53往上延伸。滾珠螺桿77之螺桿軸部81之上 ，是卡合於與移動體49設置成一體之螺帽85。 滾珠螺桿7 7之螺桿軸部8 1之下側部位，是透 具8 7連結於伺服馬達7 9的旋轉輸出軸。伺服馬達 框體，是透過筒狀的間隔件8 9而在下側構件5 3的 下側構件5 3設置成一體。又爲了避免伺服馬達7 9 件89與移動體支承體51發生干涉，是在移動體 51之基部59的中心部設置貫通孔91。各座65 , 通孔91的周邊附近，配置成儘量接近貫通孔91。 藉由採用上述構造，移動體49可在上下方向 於上側構件5 5接近或遠離的方向）移動定位自如 ’可能發生微細粉塵（發生粉塵）的部位（螺帽 承8 3、伺服馬達7 9 )是配置在移動體4 9的下側， 印系統1設置處之清淨空氣的下向氣流（downfl〇w 71，相 ，是呈 伺服馬 螺桿軸 方向延 53。滾 53的 下側構 側部位 過連結 :79的 下側與 、間隔 支承體 是在貫 (相對 。此外 85、軸 配合轉 )，在

S -30- 201144044 進行轉印時’可防止微細的異物混入被成型品w。 此外’轉印裝置5和機床4 5 (參照第1圖）的固定 ，是藉由將下側構件5 3、移動體支承體5 1之至少任一者 卡合於機床4 5而進行。例如，將下側構件5 3使用螺栓等 的緊固具來固定於機床45。 在上側構件5 5的下面，如第9 ( a )圖等所示，將按 壓體31設置成一體。按壓體31，是從上側構件55的下 面往下突出’按壓體31的下面是成爲水平的平面（例如 圓形 '矩形的平面）’在進行轉印時，該平面與薄片狀模 具MA形成面接觸。 在移動體4 9的上面，如第9 ( a )圖等所示，隔著測 力計95、間隔件97而將被成型品設置體33設置成一體 。平板狀的測力計9 5、平板狀的間隔件9 7、被成型品設 置體33，是從移動體49的上面往上突出，被成型品設置 體3 3的上面成爲水平的平面（例如圓形、矩形的平面） 〇 而且，被成型品W的下面（平板狀的被成型品W之 厚度方向的一面，第21圖所示之基材W1的下面），是 與被成型品設置體33的上面形成面接觸，以被成型品W 的厚度方向成爲上下方向的方式，將被成型品W載置於 被成型品設置體3 3。此外，被成型品W，例如是藉由真 空吸附而與被成型品設置體33設置成一體。 在上側構件5 5的下面，用來形成真空成型室9 9 (例 如參照第1 1 ( a )圖）之筒狀的伸縮囊（上側伸縮囊） -31 - 201144044 10】是設置成往下突出。伸縮褒101的基端（上端）是與 上側構件5 5設置成一體。在伸縮囊1 0 1的前端（下端） ，將圓環狀的上側接觸構件1 03設置成一體。上側接觸構 件103的下面，例如是成爲水平圓環狀的平面。 在上側接觸構件1 〇 3與上側構件5 5，例如第9 ( a ) 圖所示，設有氣缸105等的致動器。氣缸105，是與上側 構件55設置成一體；氣缸105的桿件（活塞桿），是與 上側接觸構件103設置成一體。藉由氣缸105，使伸縮囊 1 〇 1進行伸縮。 氣缸1 05，是屬於三位置型，除了桿件的行程之兩端 部，在桿件的行程之中間部的既定位置，也能相對於氣缸 而固定桿件的位置。 而且，在桿件最退縮的狀態下，上側接觸構件1 03的 下面是位於按壓體31下面的上方（例如參照第9 ( a )圖 );當桿件位在中間部的既定位置的狀態，上側接觸構件 1 03的下面是與按壓體3 1下面位於相同高度（例如參照 第1 1 ( b )圖）：在桿件最延伸的狀態下，上側接觸構件 103的下面是位於按壓體31下面的稍下方（例如參照第 10(a)圖）。 平板狀的間隔件97，例如第9 ( a )圖所示，以其厚 度方向成爲上下方向的方式，與測力計9 5和被成型品設 置體33設置成一體。測力計95是與移動體49設置成一 體。 在間隔件97的上面，用來形成真空成型室99之筒狀

S •32- 201144044 的伸縮囊（與上側伸縮囊相同形狀的下側伸縮囊）1 〇 7是 設置成往上突出。伸縮囊10 7的基端（上端）是與間隔件 97設置成一體。在伸縮囊1〇1的前端（下端），將圓環 狀的下側接觸構件（與上側接觸構件1 〇 3相同形狀的下側 接觸構件）109設置成一體。下側接觸構件109的上面， 例如是成爲水平圓環狀的平面。 在下側接觸構件1 09與間隔件97，設有氣缸1 1 1等 的致動器。氣缸1 1 1的缸體，是與間隔件9 7設置成一體 :氣缸1 1 1的桿件（活塞桿），是與下側接觸構件1 〇9設 置成一體。藉由氣缸11 1，使伸縮囊1 〇 7進行伸縮。 而且，在桿件最退縮的狀態下，下側接觸構件1 09的 上面是位於被成型品設置體33上面的下方（例如參照第 9 ( a )圖）：在桿件最延伸的狀態下，下側接觸構件1〇9 的上面是位於被成型品設置體3 3上的稍上方（例如參照 第 10 ( a )圖）。 又讓上側伸縮囊1 0 1伸縮之氣缸1 05的推力，是比讓 下側伸縮囊1 07伸縮之氣缸1 1 1的推力更大。因此，例如 縱使下側接觸構件1 09推壓上側接觸構件1 〇3，讓上側伸 縮囊1 〇 1伸縮之氣缸1 0 5的桿件也不會退縮（上側伸縮囊 1 〇 1不縮短，上側接觸構件1 03不致朝上方移動）。 如第2 1圖等所示，被成型品W例如係包含：呈圓形 或矩形之平板狀基材（例如玻璃板）W 1、以及設置於該 玻璃板W1的厚度方向的一面（例如全面）之薄膜狀的紫 外線硬化樹脂W2。收納於第1貯藏庫1 3之轉印前被成型 -33- 201144044 品w，是事先藉由其他裝置’來設置液體狀且薄膜狀之紫 外線硬化樹脂W2。 轉印裝置5所進行的轉印’是在薄膜狀的紫外線硬化 樹脂W 2上轉印微細的轉印圖案M 1。第2 1圖等所示之參 考符號113，是機械人21的手臂。 在藉由轉印裝置5進行轉印前的狀態（轉印準備狀態 )，移動體4 9位於下降端。以硬化前的紫外線硬化樹脂 W2朝上的狀態，將被成型品W載置於被成型品設置體33 。各伸縮綴101、107是縮短的。又被成型品w與按壓體 3 1 (模具接觸材3 9 )隔著既定距離（參照第2 1圖、第9 (b)圖等）。在模具母材設置裝置9和模具捲繞裝置11 間延伸出之平板狀的薄片狀模具MA，未進行移送而是停 止的。平板狀的薄片狀模具MA’在按壓體31與被成型 品設置體3 3上所載置的被成型品W之間，稍微離開按壓 體3 1 (如第9 ( a )圖所示般離些微距離L2 )而朝水平方 向延伸。 轉印裝置5之轉印準備狀態及轉印狀態在俯視下，被 成型品設置體3 3的上面與被成型品W是形成相同大小， 被成型品設置體33的上面全面是由被成型品W覆蓋。又 被成型品W比被成型品設置體3 3的上面稍大，被成型品 設置體3 3的上面位於被成型品W內側亦可。或被成型品 W是比被成型品設置體3 3的上面稍小，在被成型品設置 體3 3的上面之內側配置被成型品W亦可。 此外，轉印裝置5之轉印準備狀態及轉印狀態在俯視

S -34- 201144044 下’按壓體31的下面與被成型品W是形成相同大 壓體31的下面全面是由被成型品w覆蓋。又被成 比按壓體31的下面稍大，按壓體31的下面位於被 W內側亦可。或被成型品w是比按壓體3 1的下面 在按壓體31的下面之內側配置被成型品w亦可。 另外’轉印裝置5之轉印準備狀態及轉印狀態 下，平板狀的薄片狀模具 MA之一個轉印圖案形 A1與被成型品W是形成相同大小，被成型品w全 —個轉印圖案形成區域A 1覆蓋。又轉印圖案形成ΐ 是比被成型品W稍大，在轉印圖案形成區域A1的 置被成型品W亦可。或轉印圖案形成區域A1是比 品W稍小，在被成型品w的內側配置轉印圖案形 A 1亦可。 又如前述般，如第2 4 ( a )圖等所示，轉印圖 區域A1可形成矩形，或如第4、5圖所示般是形 亦可。再者，轉印圖案形成區域A1是形成矩形、 外的既定形狀亦可。 此外，轉印準備狀態及轉印狀態在俯視下，呈 各伸縮囊101、107是互相重疊，圓環狀的各接 103、109也是互相重疊的。再者，在各伸縮囊1C 和各接觸構件103、109的內側，存在被成型品設ί 、被成型品W以及按壓體31。此外，圓環狀的各 件103、109之直徑比平板狀的薄片狀模具ΜΑ寬 在平板狀的薄片狀模具ΜΑ內側配置各接觸構件 小，按 型品W 成型品 稍小， 在俯視 成區域 體是由 S域Α1 內側配 被成型 成區域 案形成 成圓形 圓形以 圓形的 觸構件 1、107 置體33 接觸構 度小， 103 ' -35- 201144044 109(參照第5(a)圖）》又第5(a)圖係顯示’平板狀 的薄片狀模具MA與各接觸構件1〇3、109等的大小、位 置關係之俯視圖。第5(b)圖係顯不’平板狀的薄片狀 模具Μ A與各接觸構件1 〇 3、1 〇 9等的大小、位置關係之 側視圖。 亦即，如第4 ( a )圖所示，若平板狀的薄片狀模具 MA的寬度比圓環狀的各接觸構件103、109之直徑小， 在第4 ( a )圖所示的部位AE3會產生些微的間隙（起因 於薄片狀模具MA厚度之間隙），而使真空成型室99的 氣密性變差。然而，如第5 ( a )圖所示，藉由使圓環狀 的各接觸構件1 03、1 09之直徑比平板狀的薄片狀模具 MA寬度小，可提昇真空成型室99的氣密性。又第4(a )圖係顯示，寬度窄的平板狀的薄片狀模具MA與各接觸 構件1 03、1 09等的大小、位置關係之俯視圖。第4 ( b ) 圖係顯示，寬度窄的平板狀的薄片狀模具MA與各接觸構 件1 03、1 09等的大小、位置關係之側視圖。 藉由使圓環狀的各接觸構件1〇3、109之直徑比平板 狀的薄片狀模具Μ A寬度小，在即將轉印前或轉印時，是 利用各伸縮靈1〇1、1〇7等來形成真空成型室99，藉由薄 片狀模具MA之區隔’而使真空成型室99分成上側真空 成型室1 1 5和下側真空成型室1 1 7 (例如參照第1丨（b ) 圖）。 上側真空成型室〗1 5 ’是在內部配置按壓體31之封 閉空間，藉由上側構件5 5和伸縮囊1 〇 i和薄片狀模具

S -36 - 201144044 Μ A來形成封閉空間。下側真空成型室1 1 7 置被成型品設置體3 3及被成型品W之封閉 隔件97和伸縮囊107和薄片狀模具MA來 〇 下側真空成型室117與上側真空成型室 往該等的各真空成型室115、117的外部延 而互相連結。而且，使用第1圖所示的真空 配管119將各真空成型室115、117同時進 在進行真空吸引時，是將各真空成型室115 保持同氣壓。藉此避免薄片狀模具MA之撓| 又在俯視下，各伸縮囊101、107的中 件1 03、1 09的中心、被成型品W的中心、 中心、轉印圖案形成區域 A E1的中心，例 的。 按壓體31如前述般，如第21圖所示 3 7、緩衝材35、模具接觸材3 9而構成，按 置於按壓體支承體123的下側，透過按壓體 與基座構件47之上側構件55設置成一體。 觸材39亦可。 基材3 7、緩衝材3 5、模具接觸材3 9， 形的平板狀，以厚度方向互相一致的方式彳 37、緩衝材35、模具接觸材39。此外，在 123的上部’設置可產生紫外線（讓被成型^ 硬化樹脂W 2硬化）之紫外線產生裝置1 2 5 ，是在內部配 空間，藉由間 形成封閉空間 1 15，是藉由 伸之配管1 1 9 泵121，通過 行真空吸引。 、1 1 7減壓成 曲。 心、各接觸構 按壓體31的 如是互相一致 ，是具備基材 壓體3 1是設 支承體1 23而 又省略模具接 例如是形成矩 衣序重疊基材 按壓體支承體 W之紫外線 (例如參照第 -37- 201144044 12 ( a)圖）。 此外，在轉印裝置5，爲了防止進行轉印的情況等平 板狀的薄片狀模具（未進行移送而呈停止的薄片狀模具） MA發生位置偏移，係設有將薄片狀模具MA予以暫時保 持之模具保持機構1 27 (例如參照第1 3 ( b )圖）。 模具保持機構1 27，例如是藉由與基座構件47設置 成一體之吸附墊129所構成，藉由吸附墊129將薄片狀模 具Μ A的上面（與微細的轉印圖案Μ 1形成面相反側的面 )予以真空吸附，而保持薄片狀模具ΜΑ » 吸附墊129，是在平板狀的薄片狀模具ΜΑ之移送方 向的上游側和下游側，設置於轉印裝置5 (各接觸構件 103、109 )的附近。此外，吸附墊129如前述般，雖是與 基座構件47設置成一體，但相對於基座構件47成爲可移 動亦可。而且，當平板狀的薄片狀模具ΜΑ停止時，是與 平板狀的薄片狀模具ΜΑ接觸，當平板狀的薄片狀模具 ΜΑ被移送時，是離開平板狀的薄片狀模具ΜΑ亦可。 此外，模具保持機構1 2 7所進行之平板狀的薄片狀模 具ΜΑ之保持，例如是在轉印結束而沒有真空成型室99 時實施。又模具保持機構1 27，僅在第1 3 ( b )圖、第1 4 圖、第1 5圖顯示，其他圖中則省略圖示。 在此進一步說明轉印裝置5。 第2 7 ( a )圖係轉印裝置5的示意圖。 轉印裝置5如前述般，係具備：基座構件47、第3 構件（移動體）49、支承體（移動體支承體）51。

S -38- 201144044 基座構件47係具備：具有第1按壓體（按壓體）31 之第1構件（上側構件）5 5、位於按壓體31設置側（下 側）且與上側構件5 5分離之第2構件（下側構件）5 3、 以及連結上側構件5 5與下側構件5 3之連結構件（連結桿 )5 7，而形成一體。 移動體49，是在上側構件55和下側構件53間，設 置成與上側構件55及下側構件53分離。移動體49係具 備：與按壓體31相對向之第2按壓部（被成型品設置體 )33 ° 此外，移動體49，在將上側構件5 5與下側構件5 3 互相連結的方向，可相對於基座構件4 7直線狀地移動自 如（例如在上下方向移動自如）。 而且，隨著移動體49往上側移動，被成型品設置體 33與按壓體31合作，爲了進行轉印而將薄片狀模具MA 和被成型品W夾入並按壓。 又移動體49的驅動（移動），是藉由具備伺服馬達 79和滾珠螺桿77之驅動裝置193來進行。 移動體支承體5 1，在其一部分（側部61 )，具備用 來導引移動體49的移動之導引部（線性導引軸承71 )。 此外，移動體支承體5 1之另一部分（基部5 9的座65 ) ，是卡合於下側構件53而與下側構件53設置成一體。 藉此，移動體支承體5 1，僅在反作用力的中心F2附 近的部位卡合於下側構件53，藉此與下側構件53設置成 —體。又上述反作用力，是在藉由驅動裝置193將移動體 -39- 201144044 49往上方移動而夾入薄片狀模具ΜΑ及被成型品 按壓時，在下側構件53產生的反作用力。 又在俯視下，上側構件5 5與下側構件5 3是 重疊的，上側構件5 5的中心、下側構件5 3的中 體4 9的中心是大致互相一致的。 此外，如前述般，按壓體3 1，是從上側構件 下側構件53 (移動體）相對向的平面（上側構件 面）往下側突出，按壓體31的前端面（下面） 側構件55的下面平行。 此外，被成型品設置體33，是從移動體49 構件55相對向的平面（移動體49的上面）往上 被成型品設置體33的前端面（上面）是與移動售 面平行。 在俯視下，按壓體31的下面的中心、被成 體3 3的上面的中心、上側構件5 5 (下側構件5 3 是大致互相一致的。 此外，藉由驅動裝置1 93進行的按壓（將薄 ΜΑ及被成型品W夾入並按壓），是將讓移動體 下側構件5 3的力，施加於下側構件5 3及移動體 再者，當將薄片狀模具ΜΑ及被成型品W 壓時，在上側構件5 5產生的反作用力是朝上， 件5 3產生的反作用力是朝下。 此外，在俯視下，前述各反作用力的中心， 構件5 5 (下側構件5 3 )的中心一致。 〗W進行 大致互相 心、移動 55之與 55的下 ，是與上 之與上側 側突出， I 49的上 型品設置 )的中心 片狀模具 49遠離 49。 夾入並按 在下側構 是與上側

S -40- 201144044 依據轉印裝置5，移動體支承體5 1，僅在下側構件 5 3的中心附近與下側構件5 3卡合，爲了進行轉印之按壓 會在下側構件5 3產生反作用力’縱使該反作用力使下側 構件53發生些微的彈性變形’移動體支承體51仍不容易 受該彈性變形的影響’在移動體支承體5 1之線性導引軸 承71的軌道73上不致發生對準的異常。移動體49可正 確地移動而進行正確地轉印。 參照第2 7 ( a )圖做詳細的說明。從第2 7 ( a )圖所 示的狀態，讓移動體49上昇，藉由按壓體3〗和被成型品 設置體33將薄片狀模具MA及被成型品w夾入並按壓時 ’在上側構件55與下側構件53會產生反作用力。參考符 號F 1爲在上側構件5 5產生的反作用力的中心（力的向量 )，參考符號F 2爲在下側構件5 3產生的反作用力的中心 (力的向量）。上述各反作用力的中心，是通過上側構件 5 5、下側構件5 3的中心而朝上下方向延伸。 在上側構件5 5、下側構件5 3產生反作用力之前，上 側構件55的中立面爲平面L4 ’下側構件53的中立面爲 平面L5 ’連結桿57的中心軸爲直線L6、L7。 若在上側構件5 5、下側構件5 3產生反作用力，藉由 該反作用力所形成的彎曲力矩，使上側構件5 5的中立面 成爲曲面L4A (在第27(a)圖，.由於是二維而爲圓弧狀 曲線），使下側構件5 3的中立面成爲曲面L 5 A，使連結 桿5 7的中心軸成爲曲線l 6 A、L 7 A。 從上述曲面L5A可理解，在下側構件53之點P8、點 -41 - 201144044 P9的部位，藉由反作用力所產生的彎曲力矩，使下側構 件53的彎曲角變大。因此，若移動體支承體51是在點 P8 '點P9的部位藉由下側構件53所支承，移動體支承體 5 1的側部6 1 ( 6 1 A、6 1 B )無法筆直地朝上下方向延伸， 而會稍微傾斜。亦即，在側部61的下端部之側部6 1 A和 側部6 1 B的距離，是比在側部61的上端部之側部6 1 A和 側部61B的距離稍大。因此會發生移動體49無法正確地 移動的情況。 相對於此，移動體支承體5 1是在下側構件5 3之點 P5 (反作用力的中心F2 )附近的部位受下側構件53支承 ，縱使藉由反作用力所產生的彎曲力矩讓下側構件5 3發 生些微的彈性變形’在點P 5的部位及其附近的部位，下 側構件5 3的彎曲角仍爲「〇」或相當接近「〇」的數値。 亦即’曲線L5A的切線是大致水平的。因此，移動體支 承體51對於基座構件47成爲無力矩（moment-free)狀 態’移動體支承體5 1的側部6 1不會發生傾斜，能使移動 體49正確地移動而進行正確的轉印。 此外’將第2 7 ( a )圖所示的形態予以適當變更亦可 〇 第2 7 ( b )圖係顯示轉印裝置5的變形例，是對應於 第2 7 ( a )圖。 第27 (b)圖所示的轉印裝置5a，不是使用薄片狀模 具MA’而是使用具有既定厚度的板狀模具MD，這點是 與第2 7 ( a )圖所示的轉印裝置5不同，其他點是與轉印

S -42- 201144044 裝置5具有相同的構造而能發揮同樣的效 又第27(b)圖所示的轉印裝置5a， 壓體3 1例如設置成一體。 第2 8圖係顯示轉印裝置5的變形例 (a )圖。 第28圖所示的轉印裝置5b，是將卷 設置於上側構件5 5 ’這點是與將移動體支 下側構件5 3之轉印裝置5 (第2 7 ( a )圖 )不同’其他點是與轉印裝置5具有相同 同樣的效果。 在第28圖所示的轉印裝置5b，由於 7 9發生干涉’僅在反作用力（將薄片狀趕 型品W夾入並按壓時’在上側構件55產 的中心F1之部位’讓移動體支承體51 55而與上側構件55設置成—體。亦即， 所示之點P4的部位（彎曲角大致爲「〇」 體支承體51卡合於上側構件55，而能發 的情況同樣的效果。 此外，在第2 8圖所示的轉印裝置5b 用力的中心F1附近的部位，讓移動體支薄 側構件5 5而與上側構件5 5設置成—體亦 作用力的中心F1的部位及上述反作用力j 讓移動體支承體51卡合於上側構件55 ^ 設置成一體亦可。 果。 將模具MD與按 ，是對應於第27 《動體支承體51 承體51設置於 所示的轉印裝置 的構造而能發揮 不致與伺服馬達 I具ΜΑ和被成 生的反作用力） 卡合於上側構件 在第27 ( a)圖 的部位）使移動 揮與轉印裝置5 ，僅在上述反作 之體51卡合於上 可；僅在上述反 :1附近的部位， ΰ與上側構件55 -43- 201144044 第29圖係顯示轉印裝置5的變形例’是對應於第27 (a )圖。 第29 ( 〇圖所示的轉印裝置5c，是在第27 ( a)圖 所示的轉印裝置5中，不是在下側構件53，而是在上側 構件55設置移動體支承體51、驅動裝置193。第29(b )圖所示的轉印裝置5d，是在第28圖所示的轉印裝置5 中’不疋在上側構件55，而是在下側構件53設置移動體 支承體51 ;不是在下側構件53，而是在上側構件55設置 驅動裝置1 9 3 ^ 第30(a)圖係顯示轉印裝置5的變形例，是對應於 第27(a)圖。第30(b)圖，是第3〇(a)圖的b箭頭 視圖。第31圖，係顯示第30圖所示的轉印裝置5e之移 動體支承體51a。第31(b)圖’係第31 (a)圖的B-B 截面箭頭視圖。 第30圖所示的轉印裝置5e，係將移動體支承體51a 在連結桿57的長邊方向的中央部卡合於連結桿57,而與 連結桿57設置成一體。藉此，在第27(a)圖所示的點 P6、P7的部位（彎曲角大致爲「〇」的部位）使移動體支 承體5 1 a卡合於連結桿5 7，而能發揮與轉印裝置5的情 況同樣的效果。 又上述轉印裝置5〜5e，是將模具上所形成的微細的 轉印圖案轉印於被成型品之轉印裝置，係具備以下構造的 轉印裝置的例子，亦即係具有：基座構件、移動構件（移 動體）及支承體（移動體支承體）；該基座構件具備第1

S -44- 201144044 按壓部；該移動構件，是設置在前述基座構件，且具備與 前述第1按壓部合作而將前述模具及前述被成型品夾入並 按壓之第2按壓部，而使前述第2按壓部在相對於前述第 1按壓部接近或遠離的方向上直線地移動；該支承體，係 具備導引前述移動構件的前述移動之導引部，且僅在藉由 前述按壓時的反作用力（藉由前述各按壓部將前述模具及 前述被成型品夾入並按壓時的反作用力而在前述基座構件 產生的力矩）產生些微的彈性變形之前述基座構件的彈性 變形部位，亦即前述彈性變形所形成的彎曲角大致爲「〇 」的彈性變形部位，卡合於前述基座構件而與前述基座構 件設置成一體。 薄片狀模具製作裝置27，如第22圖所示，是以輥對 輕方式（roll to roll方式）製作模具母材MB的裝置，係 具備：以軸C 7爲中心進行旋轉之轉印輥1 3 1、以軸c6爲 中心進行旋轉之支承輥1 3 3、設置薄片狀材料（材料母材 )M2之材料母材設置裝置135、以及捲繞薄片狀模具M 之模具捲繞裝置1 3 7。 薄片狀材料M2’其厚度方向的兩面呈平面狀，與模 具母材MB同樣地形成捲筒狀，在圓柱狀的芯材捲繞ρΕΤ 樹脂等的樹脂材料所構成之薄片狀材料M2而成爲材料母 材。 在從設置於材料母材設置裝置135之材料母材送出之 薄片狀材料M2上，轉印微細的轉印圖案，將該轉印後的 薄片狀材料藉由模具捲繞裝置137進行捲繞，即生成模具 -45- 201144044 母材Μ B » 設置於材料母材設置裝置135之材料母材，以軸 爲中心進行旋轉；藉由模具捲繞裝置進行捲繞之模具母 MB，則是以軸C9爲中心進行旋轉。在轉印輥1 3 1和模 捲繞裝置1 3 7之間，設置以軸C 8爲中心進行旋轉之張 輥 1 3 9。 進一步的說明，在材料母材設置裝置135和模具捲 裝置137之間，在從材料母材送出之薄片狀材料M2的 面，藉由塗布噴嘴1 4 1將液體狀的紫外線硬化樹脂W2 膜狀地塗布。接著，將塗布有液體狀的紫外線硬化樹 W2之薄片狀材料M2，繞掛於轉印輥1 3 1，並藉由轉印 1 3 1和支承輥1 3 3夾住，而將紫外線產生裝置1 4 3所產 之紫外線照射於紫外線硬化樹脂W2而讓紫外線硬化樹 W2硬化，藉此從轉印輥1 3 1，將轉印輥1 3 1的圓柱側 狀的外周面事先形成的微細的轉印圖案轉印於紫外線硬 樹脂W2。如第24 ( a )圖所示般形成轉印圖案Μ 1。 此外，第24 ( a )圖所示的邊緣線L1，是在薄片狀 具Μ的長邊方向隔著既定間隔而設之轉印圖案形成區 ΑΕ 1 (互相鄰接的一對轉印圖案形成區域ΑΕ 1 )之間所 成。此外，邊緣線L1，是藉由轉印輥131的外周之接 (第22圖所示之點Ρ2處，第22圖之朝與紙面正交的 向延伸之接口）所形成。接口，是將在厚度方向的一面 成有微細的轉印圖案之矩形的薄平板狀的母材，一體地 置在轉印輥131的外周時，藉由前述母材之各端部的對 C5 材 具 力 繞 呈 脂 輥 生 脂 面 化 模 域 形 □ 方 形 設 接

S -46- 201144044 部所形成的。實際的邊緣線L1，是由形成於薄片狀模具 Μ (在材料M2上呈膜狀貼附硬化後的紫外線硬化樹脂） 之呈直線狀且稍突出的凸部、或稍凹陷的凹部所形成。 又在第22圖所示之薄片狀模具製作裝置27中，設置 積層薄膜S1亦可（參照第23圖）。第23圖所示的薄片 狀模具製作裝置2 7 a，是對轉印有微細的轉印圖案之薄片 狀材料M2供應積層薄膜S 1。而且藉由模具捲繞裝置1 3 7 捲繞而生成之模具母材MB，是在薄片狀模具Μ之間夾入 積層薄膜S 1。 亦即，從以軸c 1 0爲中心而旋轉之積層母材1 4 5供應 積層薄膜S1。而且，在藉由模具捲繞裝置137捲繞而生 成之模具母材MB，薄片狀模具Μ之厚度方向及積層薄膜 S1之厚度方向是與模具母材MB的徑向一致，且薄片狀 模具Μ與積層薄膜S1交互地重疊（參照第24(c)圖） 。如此，可防止模具母材MB之薄片狀模具Μ彼此貼合 ，而容易從模具母材MB送出薄片狀模具Μ。 然而，使積層薄膜S1與薄片狀模具Μ同寬，而設置 成覆蓋薄片狀模具Μ的全面亦可，但在本實施形態，是 在薄片狀模具Μ的一部分設置積層薄膜S1。 例如，減少積層薄膜S1的寬度，而將積層薄膜S1僅 設置在薄片狀模具Μ之寬度方向兩端部（轉印圖案非形 成區域ΑΕ2的一部分）（參照第24 ( a) ( b) ( c)圖） 。藉此，如前述般，在模具母材Μ B中’如第2 4 ( c )圖 所示，薄片狀模具Μ之微細的轉印圖案Ml’變得不致接 -47- 201144044 觸或不容易接觸與其相對向之薄片狀模具Μ的背面（與 微細的轉印圖案Μ1形成面之相反側的面），而能防止微 細的轉印圖案Μ 1之受傷。 此外，將積層薄膜S 1的形狀予以適當變更亦可。附 加第24 ( a )圖之兩點鏈線L3所示的部位，使積層薄膜 S 1形成梯狀（在相當於轉印圖案形成區域AE 1的部分， 隔著既定間隔設置矩形貫通孔的形狀），而將轉印圖案形 成區域AE1予以包圍亦可。 在模具母材MB設置積層薄膜S1的情況，是藉由第 9 ( a )圖之兩點鏈線所示的積層薄膜剝離裝置1 45而將積 層薄膜S1剝離並捲繞。 剝離裝置7，如第16(a)圖等所示係具備：基座構 件147、被成型品保持部149、模具保持部151、模具挾 持部1 5 3、以及脫模部1 5 5。 被成型品保持部149，係具備被成型品保持體157 ( 具有平面狀的上面），該被成型品保持體157，是以能在 上下方向移動定位自如的方式設置於基座構件147。亦即 ，被成型品保持體1 57是透過線性導引軸承1 59設置於基 座構件147，藉由未圖示的氣缸等的致動器在上下方向移 動。此外，在藉由轉印裝置5進行轉印後貼附於平板狀的 薄片狀模具MA之被成型品W的下面，被成型品保持體 157的上面是形成面接觸，例如可藉由真空吸附而保持被 成型品W (基材W1 )。 模具保持部1 5 1，係具備模具保持體1 6 1 (具有平面

S -48- 201144044 狀的下面）。此外，模具保持體1 6 1，是在被成型品保持 體157的上方設置於基座構件147。模具保持體161的下 面，是在被成型品保持體157的上方與被成型品保持體 1 5 7的上面相對向。而且，在轉印後貼附被成型品W之平 板狀的薄片狀模具MA的上面，是與模具保持體161的下 面形成面接觸，例如藉由真空吸附來保持平板狀的薄片狀 模具MA。 在該等互相對向的被成型品保持體1 5 7的上面和模具 保持體1 6 1的下面之間，以將轉印後互相貼附之平板狀的 薄片狀模具MA和被成型品W插入的方式，藉由移送定 位裝置3進行薄片狀模具MA之移送定位。此外，薄片狀 模具MA及被成型品W之厚度方向是與被成型品保持體 157的上面、模具保持體161的下面正交。 藉由轉印裝置5進行轉印後之被成型品W，是維持貼 附於薄片狀模具MA的狀態而從轉印裝置5移送至剝離裝 置7，在轉印裝置5與剝離裝置7之間，隔著既定間隔（ 第24(a)圖所示的節距pi)存在單數或複數個被成型品 (貼附於薄片狀模具MA之被成型品）W亦可（例如參照 第5圖）。藉此可擴大轉印裝置5與剝離裝置7的距離。 此外，如既已理解般，當被成型品保持體1 57位於上 昇端時，被成型品保持體157的上面會接觸平板狀的薄片； 狀模具MA上所貼附的被成型品W。另一方面，當被成型 品保持體1 57位於下降端時，被成型品保持體1 57的上面 ，是在貼附於平板狀的薄片狀模具MA之被成型品W下 -49- 201144044 方離被成型品W既定距離。 模具保持體161，是以在平板狀的薄片狀模具MA之 移送方向的上游側（第16(a)圖的左側）且朝平板狀的 薄片狀模具MA之寬度方向延伸之軸C12爲轉動中心而進 行轉動的方式，設置在基座構件147。又在常態下’模具 保持體161的下面是藉由未圖示的制動件而形成水平，以 接觸薄片狀模具Μ A之水平的上面。此外’藉由使模具保 持體1 6 1轉動，模具保持體1 6 1的下游側會抬高’而使模 具保持體161的下面成爲稍微傾斜（參照第18(a)圖等）》 模具挾持部153，是在平板狀的薄片狀模具MA之移 送方向下游側設置於模具保持體1 6 1。模具挾持部1 5 3 ’ 係具備棒狀的模具挾持體163，模具挾持體163具有細長 平面狀的上面。該上面是與模具保持體161的下面相對向 ，且該上面的長邊方向是與平板狀的薄片狀模具MA之寬 度方向一致，模具挾持體163之上面的寬度方向是與平板 狀的薄片狀模具MA之長邊方向（第16(a)圖的左右方 向）一致。 此外，模具挾持體1 63，是以能在相對於模具保持體 161接近或遠離的方向移動自如的方式，透過未圖示的線 性導引軸承設置於模具保持體161。 而且，藉由氣缸165等的致動器讓模具挾持體163朝 模具保持體1 6 1側移動，模具挾持體1 63會和模具保持體 161合作而夾入薄片狀模具MA (例如參照第17(b)圖 )。另一方面，藉由使模具挾持體1 63朝離開模具保持體

S -50- 201144044 1 6 1側移動，可解除薄片狀模具ΜA的挾持。 又模具挾持體163，是設置在不與被成型品保持體 157發生干涉的位置，此外，模具挾持體163和模具保持 體161並不會夾入被成型品W。 脫模部155，是在平板狀的薄片狀模具MA之移送方 向下游側設置於基座構件147。脫模部155係具備脫模體 167，藉由氣缸169等的致動器讓該脫模體167上昇，脫 模體1 67會將模具保持體1 6 1 (模具挾持體1 63 )上推而 使模具保持體161轉動，如前述般使模具保持體161的下 面形成傾斜。又在不要藉由脫模體1 67將模具保持體1 6 1 上推的狀態下，脫模體1 67是位於下方而離開模具保持體 161 (模具挾持體163 )。 此外，在平板狀的薄片狀模具MA之移送方向上，在 剝離裝置7的下游設置模具長度調整裝置（張力維持裝置 )171 〇 張力維持裝置1 7 1，是縱使藉由剝離裝置7進行剝離 (在剝離時）而使平板狀的薄片狀模具MA的形態（例如 存在於轉印裝置5和模具捲繞裝置11間之平板狀的薄片 狀模具Μ A之延伸路徑）產生變化（例如第1 7 ( b )圖至 第1 8 ( a )圖所示之成爲傾斜的變化），仍能將平板狀的 薄片狀模具MA之張力維持大致一定，而使薄片狀模具 MA不致鬆弛、也不致因張力過多而被切斷。 藉由張力維持裝置1 7 1，不拘平板狀的薄片狀模具 MA的形態，都能將平板狀的薄片狀模具MA之張力維持 -51 - 201144044 大致一定，因此在從平板狀的薄片狀模具ΜΑ剝離被成型 品W時，可防止薄片狀模具ΜΑ發生鬆弛或切斷，而能 讓轉印裝置5順利地動作。 又如既已理解般，轉印裝置5所進行的轉印，是使用 結束移送而完成定位之呈停止的平板狀的薄片狀模具ΜΑ ，剝離裝置Μ所進行的剝離，除了平板狀的薄片狀模具 ΜΑ之移送是停止的以外，是在藉由轉印裝置5將平板狀 的薄片狀模具ΜΑ和被成型品W夾入時實施。 此外，藉由剝離裝置U進行的剝離，是將互相貼合 之被成型品W和平板狀的薄片狀模具ΜΑ當中之薄片狀 模具ΜΑ的背面（與微細的轉印圖案形成面之相反側的面 ，上面）藉由模具保持體1 6 1予以吸附保持，並將互相貼 合之被成型品W和平板狀的薄片狀模具ΜΑ當中之被成 型品W的背面（與微細的轉印圖案形成面之相反側的面 ，下面）藉由被成型品保持體157予以吸附保持，藉由將 模具保持體1 6 1轉動而實施（參照第1 8 ( a )圖）。 又互相貼合之被成型品W和平板狀的薄片狀模具MA ，是存在於藉由轉印裝置5進行轉印處和模具捲繞裝置 1 1之間。 如上述般，剝離裝置1 1進行之剝離，例如使剝離完 成的部位和剝離未完成的部位之直線狀的邊界（朝薄片狀 模具MA的寬度方向延伸的邊界）從薄片狀模具MA之長 邊方向的一端部朝向另一端部（例如第1 7圖、第1 8圖之 從右向左）移動，當該移動完成時就完成該剝離。 -52-

S 201144044 張力維持裝置171，是用來在藉由轉印裝置5進行轉 印處和模具捲繞裝置1 1之間維持平板狀的薄片狀模具 MA的張力。而且如前述般，藉由使模具保持體161轉動 ，在藉由轉印裝置5進行轉印處和模具捲繞裝置Π之間 平板狀的薄片狀模具MA之形態雖會改變，但縱使發生該 改變，仍能使平板狀的薄片狀模具MA之張力維持大致一 定値。 依據移送定位裝置3，是在夾住應進行轉印之平板狀 的薄片狀模具MA和被成型品W時實施平板狀的薄片狀 模具MA和被成型品W的剝離，因此即使進行剝離，在 轉印裝置5也不會引起薄片狀模具MA之位置偏移，而能 避免發生轉印不良。 此外，只要在轉印裝置5和模具捲繞裝置1 1間之較 短範圍將平板狀的薄片狀模具MA之張力維持一定即可， 因此能使張力値成爲接近目標値之正確數値。 關於模具長度調整裝置（張力維持裝置）171，以下 舉例詳細說明。模具長度調整裝置171係具備：藉由基座 構件147予以一體地支承之導軌173、以及卡合於導軌 173而能在上下方向移動自如之軸承構件175、以軸（與 軸C12、第9(a)圖所示的軸C3平行的軸）C4爲旋轉中 心而旋轉自如地設置於該軸承構件175之滾子177。 滾子177’是存在於轉印裝置5進行轉印處和模具捲 繞裝置1 1之間（更具體的說，是剝離裝置7和模具捲繞 裝置1 1之間）。滾子1 77，是位於平板狀的薄片狀模具 -53- 201144044 ΜΑ之上方；在滾子1 77的下方側繞掛薄片狀模具ΜΑ。 藉此，使滾子1 7 7與薄片狀模具Μ A (與微細的轉印 圖案Μ1形成面之相反側的面，即背面（上面））接觸。 在模具長度調整裝置171設置彈壓裝置197 (參照第 16(a)圖）。彈壓裝置197，是在對繞掛於滾子177之 平板狀的薄片狀模具ΜΑ賦予張力的方向（在第16(a) 圖爲上下方向），以不拘滾子177位置之大致一定的力將 滾子1 7 7予以彈壓。亦即，爲了對平板狀的薄片狀模具 ΜΑ賦予適當的張力而將滾子1 77予以彈壓。 具體而言，彈壓裝置197係具備：氣缸（未圖示）、 以及將供應給該氣缸之空氣壓控制成一定値之空氣壓控制 機器（例如調節器與釋壓閥）。 亦即，軸承構件1 75，是藉由彈壓裝置1 97例如將薄 片狀模具ΜΑ以一定的力往下方彈壓。具體而言，是藉由 未圖示的空氣壓缸將軸承構件175彈壓。在該空氣壓缸所 供應的壓縮空氣之配管部，連接著未圖示的調節器與釋壓 閥，不拘相對於空氣壓缸之桿件的延伸量，能始終將一定 的彈壓力賦予軸承構件175。 依據移送定位裝置3，由於張力維持機構171具備滾 子1 7 7與氣缸，不須複雜的控制而能以簡單的構造將平板 狀的薄片狀模具ΜΑ之張力維持大致一定。 此外，供應給氣缸之壓縮空氣，由於是具備壓縮性的 氣體，縱使因某些原因而使平板狀的薄片狀模具ΜΑ形態 發生急劇改變的情況，仍能對應於該急劇改變而調整張力

S -54- 201144044 。因此，縱使平板狀的薄片狀模具MA發生急劇的形態改 變，仍能防止薄片狀模具M A發生切斷等問題。 又滾子177等的質量宜爲儘量小。當滾子177等的質 量大的情況，藉由氣缸朝將滾子1 77等的重量減輕的方向 (往上方）彈壓亦可。在此情況’是利用減輕後之滾子 177等的重量來對薄片狀模具MA賦予張力。 此外，依據移送定位裝置3’由於張力維持裝置171 的滾子177接觸薄片狀模具MA的背面，而能防止薄片狀 模具Μ A上所形成之微細的轉印圖案Μ 1受傷’視情況可 實施薄片狀模具ΜΑ的再利用。 又在第16(a)圖等，是以位於薄片狀模具ΜΑ的移 送方向上游側之軸C 1 2爲轉動中心而使模具保持體1 6 1轉 動，藉此在剝離裝置7和模具捲繞裝置1 1之間設置模具 長度調整裝置171。 相對於此，以位於薄片狀模具ΜΑ的移送方向下游側 之軸爲轉動中心而使模具保持體1 6 1轉動，藉此在轉印裝 置5和剝離裝置7之間設置模具長度調整裝置1 7 1亦可。 在藉由移送定位裝置3將平板狀的薄片狀模具MAT 以移送時，如第1 6 ( a )圖等所示，被成型品保持體1 5 7 的上面，是在薄片狀模具MA、被成型品W的下方而從薄 片狀模具Μ A、被成型品W離開；模具保持體1 61的下面 ’是形成水平而與薄片狀模具MA的上面接觸或稍微離開 。此外，脫模體1 6 7是位於下方，模具挾持體1 6 3也位於 下方而未夾住模具。 -55- 201144044 當藉由移送定位裝置3進行之平板狀的薄片狀模具 MA之移送結束後，要從薄片狀模具MA將被成型品W剝 離時，例如第17(a)圖所示般，被成型品保持體I57上昇 而藉由真空吸附將被成型品W予以保持，並藉由真空吸 附而利用模具保持體1 6 1來將薄片狀模具Μ A予以保持。 接著如第18(a)圖等所示般，藉由模具挾持體163 和模具保持體1 6 1來挾持薄片狀模具Μ A後，脫模體1 6 7 上昇而使模具保持體161 (模具挾持體163)轉動，藉此 將薄片狀模具MA和被成型品W予以分離。這時，在模 具母材設置裝置9 (轉印裝置5 )和模具捲繞裝置1 1間延 伸之平板狀的薄片狀模具MA之長度會發生變化，藉由模 具長度調整裝置171可吸收該變化，以在薄片狀模具MA 不隨便發生張力（使張力大致一定）的狀態下，進行模具 保持體161 (模具挾持體163)的轉動。 又模具剝離裝置7之基座構件147，是與機床45設 置成一體。此外，藉由模具剝離裝置7進行之從薄片狀模 具MA將被成型品W剝離，是在藉由轉印裝置5進行轉 印時（更具體的說，是在藉由按壓體31和被成型品設置 體3 3來夾入薄片狀模具ΜA和被成型品W時）實施。 接著說明轉印系統1的動作。 在初期狀態，如第9 ( a )圖所示，是在模具母材設 置裝置9設置模具母材MB，在模具捲繞裝置1 1和模具 母材設置裝置9之間，讓平板狀的薄片狀模具MA以適當 的張力存在著。此外，薄片狀模具MA之轉印圖案形成區

S -56- 201144044 域A E 1 ’是位於藉由轉印裝置5進行轉印的位置。 轉印裝置5之真空成型室99是被打開（各伸縮囊 101、107是縮短的），移動體49下降，紫外線產生裝置 1 2 5呈停止而未產生紫外線。又第9 ( a )圖所示的距離（ 按壓體3 1的下面和平板狀的薄片狀模具MA的上面間之 距離）L2，實際上是極短的距離。 此外’在上述初期狀態，如第1 6 ( a )圖所示，剝離 裝置7之被成型品保持體157下降，模具保持體161未轉 動’模具保持體161的下面呈水平。模具挾持體163位於 下方，並未挾持薄片狀模具MA;脫模體167位於下方， 並未進行被成型品保持體B7的上推。再者，貼附有被成 型品W之薄片狀模具MA ’是位在適於讓剝離裝置7進行 剝離的位置。 首先說明轉印裝置5的動作。 在上述初期狀態，於控制裝置1 7 9的控制下，藉由第 1搬運裝置1 5將轉印前的被成型品w設置於轉印裝置5 的被成型品設置體3 3 (參照第9 ( b )圖）。 接著，藉由各氣缸1〇5、111使上下的各伸縮囊ι〇1 、107伸長，（參照第10(a)圖），讓移動體49上昇而 形成真空成型室99(參照第10(b)圖），將真空成型室 99內藉由真空泵（參照第2圖等）減壓而成爲大致真空 狀態（參照第Η ( 〇圖）。 接著，在維持真空成型室99的狀態下，使上側的氣 缸105位於中間位置而讓移動體49稍微進一步上昇，使 -57- 201144044 平板狀的薄片狀模具ΜΑ接觸按壓體31(模具接觸材39 )(參照第11(b)圖等），讓移動體49稍微進一步上 昇，而藉由按壓體3 1和被成型品設置體3 3將被成型品W 和薄片狀模具MA予以夾入並按壓，將紫外線產生裝置 125所產生的紫外線照射於被成型品W之紫外線硬化樹脂 W2，讓紫外線硬化樹脂W2硬化（參照第1 2 ( a )圖）。 接著，使真空成型室99返回大氣壓（參照第12(b )圖），藉由上側的氣缸1 05使上側接觸構件1 03下降， 並讓移動體49稍微下降，而使互相貼合的薄片狀模具 Μ A和被成型品W離開按壓體3 1和被成型品設置體3 3 ( 參照第1 3 ( a)圖）。 接著，藉由模具保持機構127將薄片狀模具MA予以 保持（參照第13(b)圖），並藉由各氣缸105、111將 上下的各伸縮缀101、107縮短，讓真空成型室99打開（ 消失，參照第14(a)圖），讓移動體49進一步下降（ 參照第1 4 ( b )圖）。 接著，停止藉由模具保持機構127進行之薄片狀模具 MA的保持，藉由移送定位裝置3，將薄片狀模具MA維 持貼附於被成型品W的狀態而移送至剝離裝置7 (參照第 15圖），準備進行下個轉印。 接下來說明剝離裝置7的動作。 在上述初期狀態，於控制裝置1 79的控制下，使被成 型品保持體1 5 7上昇，藉由被成型品保持體1 5 7和模具保 持體161來夾入薄片狀模具MA和被成型品W(參照第

S -58- 201144044 “（b)圖）’藉由真空吸附而利用被成型品保持體157將 被成型品W予以保持’並藉由真空吸附而利用模具保持 體161將薄片狀模具MA予以保持（參照第17(a)圖）。 接著，使模具挾持體163上昇，藉由模具挾持體163 和模具保持體161來夾入薄片狀模具MA(參照第17(b )圖），讓脫模體167上昇而使模具保持體161轉動，以 從被成型品（轉印後被成型品）w將薄片狀模具MA剝離 後（參照第18(a)圖）’讓被成型品保持體157下降（ 參照第1 8 ( b )圖）。 接著，停止藉由被成型品保持體1 5 7進行之真空吸附 (參照第19(a)圖），藉由第2搬運裝置19將被成型 品W搬出（參照第1 9 ( b )圖）’讓脫模體1 6 7下降而使 模具保持體161的下面形成水平，讓模具挾持體163下降 而停止挾持薄片狀模具MA’停止藉由模具保持體161進 行的真空吸附（參照第20 ( a )圖），藉由移送定位裝置 3將薄片狀模具Μ A予以移送’而成爲上述初期狀態（參 照第20 ( b)圖）。 依據轉印系統1，是藉由轉印裝置5進行轉印’在薄 片狀模具MA和被成型品W互相貼合的狀態將薄片狀模 具MA予以移送，並藉由離開轉印裝置5而另外設置的剝 離裝置7來進行薄片狀模具MA和被成型品W的剝離’ 換言之，轉印和剝離是在不同處之不同步驟進行’因此能 使轉印和剝離並行地進行，在將薄片狀模具Μ A上所形成 之微細的轉印圖案Μ1轉印於被成型品W時’可效率良好 -59- 201144044 地獲得轉印後的被成型品W (可縮短轉印的產率（ throughput) ) ° 此外’由於剝離裝置7是設置成離開轉印裝置5，剝 離裝置7之設置空間變得有餘裕，能以合理的設計思想來 製作轉印裝置5和剝離裝置7。此外，第1搬運裝置1 5 和第2搬運裝置19的設置變容易。 此外’依據轉印系統1，對於處理能力高（節拍時間 短）之一台的薄片狀模具製作裝置27，可將處理能力比 薄片狀模具製作裝置2 7低（節拍時間長）的轉印裝置5 等設置複數台（參照第2 5圖），因此可減少薄片狀模具 製作裝置27的台數’而簡化轉印系統1並降低成本。 此外’依據轉印系統1，由於在轉印裝置5設置緩衝 材3 5 ’在轉印時能以均—的壓力夾入薄片狀模具μ A和 被成型品W ’而能抑制轉印缺陷的發生。 再者’依據轉印系統1，由於是在轉印裝置5的緩衝 材3 5設置模具接觸材3 9，在轉印時可將薄片狀模具μ a 和被成型品W夾入而進行轉印，在轉印後要讓按壓體3 } 離開薄片狀模具ΜΑ時，按壓體3丨不容易貼附於薄片狀 模具ΜΑ，而能確實地將轉印後的夾入予以解除。 此外’依據轉印系統丨，由於設有積層薄膜Sl，可避 免模具母材MB之微細的轉印圖案mi受傷。 又在上述說明’在薄片狀模具製作裝置27、轉印裝 置5中’雖是以UV壓印法爲例來做說明，但在薄片狀模 具製作裝置27'轉印裝置5中，也能採用熱壓印法。

S -60- 201144044 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明的實施形態之轉印系統的槪要圖。 第2圖係顯示印系統的槪要之俯視圖。 第3圖係顯示印系統的槪要之俯視圖。 第4 ( a ) ( b )圖係顯示平板狀的薄片狀模具和各接 觸構件等的大小、位置關係的圖式。 第5(a) ( b )圖係顯示平板狀的薄片狀模具和各接 觸構件等的大小、位置關係的圖式。 第6圖係顯示轉印裝置槪略構造的立體圖》 第7圖係顯示轉印裝置槪略構造的立體圖。 第8 ( a )〜（c )圖係轉印裝置的截面箭頭視圖。 第9(a) ( b )圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的圖 式。 第10(a) (b)圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的 圖式。 第1 1 ( a )( b )圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的 圖式。 第12(a) ( b )圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的 圖式。 第13(a) ( b )圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的 圖式》 第14(a) (b)圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的 圖式。 第1 5圖係顯示轉印裝置的槪要和動作的圖式。 -61 - 201144044 第16(a) ( b )圖係顯示剝離裝置的槪要和動作的 圖式。 第17(a) ( b )圖係顯示剝離裝置的槪要和動作的 圖式。 第18(a) ( b )圖係顯示剝離裝置的槪要和動作的 圖式。 第19(a) ( b )圖係顯示剝離裝置的槪要和動作的 圖式。 第20(a) ( b )圖係顯示剝離裝置的槪要和動作的 圖式。 第21圖係第9(a)圖的XXI部的放大圖。 第22圖係顯示薄片狀模具製作裝置的槪要圖。 第2 3圖係顯示變形例的薄片狀模具製作裝置的槪要 圖。 第24 (a) (b)圖係顯示薄片狀模具的圖式》 第25圖係顯示包含薄片狀模具製作裝置之轉印系統 的槪要之俯視圖。 第26(a)〜（c)圖係顯示第24(a)圖之XXVI-XXVI截面圖。 第27 ( a )( b )圖係轉印裝置的示意圖、以及變形 例之轉印裝置的示意圖。 第28圖係變形例之轉印裝置的示意圖。 第29(a) (b)圖係變形例之轉印裝置的示意圖。 第3 0 ( a )( b )圖係變形例之轉印裝置的示意圖。

S -62- 201144044 例之轉印裝置所使用 第3 1(a) ( b )圖係顯示變形 的移動體支承體之圖式。 要元件符號說明】 1 ： 轉印系統 3 ： 5、 5a、5b、5c、5d、5 e :轉印1 7 ： 剝離裝置 9 ： 11 =模具捲繞裝置 13: 15 :第1搬運裝置 17·· 19 :第2搬運裝置 21 ： 23 、2 5 :滑動件 27 、27a :薄片狀模具製作裝置 29 :單元 3 1: 3 3 :被成型品設置體 35 : 3 7 :平板狀基材 39 ： 4 1 :張力計 4 3 ： 45 :機床 47 : 49 '•移動體 51、 53 :下側構件 5 5 ·· 57 :連結桿 59 ： 6 1 、6 1 A、6 1 B :側部 6 3 ： 65 :座 67 ： 69 :缺口 71 ： 73 :軌道 75 ： 移送定位裝置 走置 模具母材設置裝置 第1貯藏庫 第2貯藏庫 機械人 按壓體 緩衝材 模具接觸材 滾子 基座構件 5 1 a :移動體支承體 上側構件 基部 IU _面 螺栓 線性導引軸承 軸承 -63- 201144044 77 : 滾珠螺桿 79 :伺服馬達 81 : 螺桿軸部 8 3 :軸承 85 : 螺帽 8 7 :連結具 89、 97 :間隔件 91 =貫通孔 95 : 測力計 99 :真空成型室 101 、107 :伸縮缀 1〇3 :上側接觸構件 105 、1 1 1、1 65、1 69 :氣缸 109 :下側接觸構件 113 :機械人的手臂 115 ••上側真空成型室 1 1 7 :下側真空成型室 119 :配管 121 :真空泵 123 :按壓體支承體 1 2 5 :紫外線產生裝置 1 27 :模具保持機構 129 :吸附墊 13 1 :轉印輥 1 3 3 :支承輥 135 :材料母材設置裝置 1 3 7 :模具捲繞裝置 139 :張力輥 1 41 :塗布噴嘴 143 :紫外線產生裝置 1 4 5 :積層母材 147 :基座構件 149 :被成型品保持部 15 1 :模具保持部 1 5 3 :模具挾持部 155 :脫模部 157 :被成型品保持體 159 •線性導引軸承 1 6 1 :模具保持體 163 :模具挾持體 167 :脫模體 17 1 :模具長度調整裝置 (張力維持裝置） 173 :導軌 175 :軸承構件 177 :滾子 1 7 9 :控制裝置 s -64- 201144044 181 :標示器 1 8 3 :薄片狀模具位置檢測裝置 1 8 5 :光透過型感測器 1 8 5 A :發光部 185B :受光部 187 :光反射型感測器 189 :攝影機 1 9 1 :薄片狀模具位置檢測器 193 :驅動裝置 195 :張力賦予裝置 1 97 :彈壓裝置 AE 1 :轉印圖案形成區域 AE2 :轉印圖案非形成區域 AE3 :薄片狀模具Μ之產生 C1-C10、C12 ：軸 F2 :反作用力的中心 L2 :距離 L4 、 L5 :平面 L6 、 L7 :直線 Μ、Mx、My :薄片狀模具 MA :平板狀的薄片狀模具 MB :模具母材 MD :板狀模具 Ml、Mxl :微細的轉印圖案 M2 :薄片狀材料 P 1 :節距 W :被成型品 W2 :紫外線硬化樹脂 些微間隙的部位 F1 :張力 L1 :邊緣線 L3 :兩點鏈線 L4A ' L5A ：曲面 L6A、L7A :曲線 MC :捲繞完畢的模具 M3 :標記 S1 :間隔件（積層薄膜） W 1 :基材 -65-

Claims (1)

1. 201144044 七、申請專利範圍： 1 · 一種轉印裝置，是將模具上所形成之微細的轉印 圖案轉印於被成型品之轉印裝置，其特徵在於，係具有基 座構件、移動構件以及支承體； 該基座構件具有第1按壓部； 該移動構件，係具備與前述第1按壓部合作而將前述 模具及前述被成型品夾入並按壓之第2按壓部，且以讓前 述第2按壓部在相對於前述第1按壓部接近或離開的方向 進行移動的方式設置於前述基座構件； 該支承體，係具備導引前述移動構件的前述移動之導 引部，且僅在受前述按壓時的反作用力而產生些微的彈性 變形之前述基座構件的部位、即前述彈性變形所造成的彎 曲角大致爲「〇」的部位，與前述基座構件卡合而與前述 基座構件設置成一體。 2. 一種轉印裝置，是將模具上所形成之微細的轉印 圖案轉印於被成型品之轉印裝置，其特徵在於，係具有基 座構件、第3構件以及支承體； 該基座構件係具備：具有第1按壓部之第1構件、位 於前述第1按壓部設置側且與前述第1構件分離之第2構 件、以及將前述第1構件與前述第2構件連結之連結構件 ，此三者是一體地形成； 該第3構件，是設置在前述第1構件與前述第2構件 之間，具備與前述第1按壓部相對向之第2按壓部，在將 前述第1構件與前述第2構件互相連結的方向移動自如， S -66 - 201144044 藉由朝前述第1構件側移動，使前述第2按壓部與前述第 1構件之第1按壓部合作，而將前述模具及前述被成型品 夾入並按壓： 該支承體’係在一部分具備導引前述第3構件的前述 移動之導引部，在前述第3構件移動而藉由俞述各按壓部 將前述模具及前述被成型品按壓時僅在前述第2構件產生 的反作用力之中心的部位 '或僅在前述中心的附近部位、 或僅在前述中心的部位及前述中心的附近部位，使其另一 部分卡合於前述第2構件，而與前述第2構件設置成一體 〇 3 ·如申請專利範圍第2項所述的轉印裝置，其中， 前述第1構件和前述第2構件和前述第3構件是形成 平板狀’各個的厚度方向互相一致，在前述第1構件和前 述第2構件間配置前述第3構件，從前述厚度方向觀察時 前述第1構件和前述第2構件互相大致重疊，從前述厚度 方向觀察時前述第1構件的中心和前述第2構件的中心和 前述第3構件的中心互相大致一致； 前述連結構件，在從前述厚度方向觀察時，是在前述 第1構件和前述第2構件的周邊附近相對於前述第1構件 和前述第2構件的中心呈對稱地配置； 前述第1按壓部，是從前述第1構件之與前述第3構 件相對向的平面朝前述第3構件側突出，前述第1按壓部 的前端面，是與前述第1構件之與前述第3構件相對向的 平面平行； -67- 201144044 前述第2按壓部’是從前述第3構件之與前述第1構 件相對向的平面朝前述第1構件側突出，前述第2按壓部 之前端面，是與前述第3構件之與前述第1構件相對向的 平面平行； 從前述厚度方向觀察時’前述第1按壓部之前端面的 中心與前述第2按壓部之前端面的中心與前述第1構件的 中心互相大致一致； 前述按壓’是將讓前述第3構件遠離前述第2構件的 力施加於前述第2構件和前述第3構件： 進行前述按壓時在前述第1構件產生之反作用力的方 向，是前述第1構件的厚度方向且從前述第2構件離開的 方向； 進行前述按壓時在前述第2構件產生之反作用力的方 向，是前述第2構件的厚度方向且從前述第1構件離開的 方向； 從前述厚度方向觀察時，前述各反作用力的中心，是 與前述第1構件' 前述第2構件的中心一致； 前述支承體，是僅在前述第2構件之中心附近卡合於 前述第2構件，而與前述第2構件設置成一體。 4. 一種轉印裝置，是將模具上所形成之微細的轉印 圖案轉印於被成型品之轉印裝置，其特徵在於，係具有基 座構件、第3構件以及支承體； 該基座構件係具備：具有第1按壓部之第1構件、位 於前述第1按壓部設置側且與前述第1構件分離之第2構 S -68- 201144044 件 '以及將前述第1構件與前述第2構件連結之連結構件 ’此三者是一體地形成； 該第3構件，是設置在前述第1構件與前述第2構件 之間，具備與前述第1按壓部相對向之第2按壓部，在將 前述第1構件與前述第2構件互相連結的方向移動自如， 藉由朝前述第1構件側移動，使前述第2按壓部與前述第 1構件之第1按壓部合作，而將前述模具及前述被成型品 夾入並按壓： 該支承體’係在一部分具備導引前述第3構件的前述 移動之導引部’在前述第3構件移動而藉由前述各按壓部 將前述模具及前述被成型品按壓時僅在前述第1構件產生 的反作用力之中心的部位、或僅在前述中心的附近部位、 或僅在前述中心的部位及前述中心的附近部位，使其另一 部分卡合於前述第1構件，而與前述第1構件設置成一體 〇 5.如申請專利範圍第4項所述的轉印裝置，其中， 前述第1構件和前述第2構件和前述第3構件是形成 平板狀，各個的厚度方向互相一致，在前述第1構件和前 述第2構件間配置前述第3構件，從前述厚度方向觀察時 前述第1構件和前述第2構件互相大致重疊，從前述厚度 方向觀察時前述第1構件的中心和前述第2構件的中心和 前述第3構件的中心互相大致一致； 前述連結構件，在從前述厚度方向觀察時，是在前述 第1構件和前述第2構件的周邊附近相對於前述第1構件 -69- 201144044 和前述第2構件的中心呈對稱地配置； 前述第1按壓部，是從前述第1構件之與前述第3構 件相對向的平面朝前述第3構件側突出，前述第〗按壓部 的前端面，是與前述第1構件之與前述第3構件相對向的 平面平行； 前述第2按壓部，是從前述第3構件之與前述第1構 件相對向的平面朝前述第1構件側突出，前述第2按壓部 之前端面，是與前述第3構件之與前述第1構件相對向的 平面平行； 從前述厚度方向觀察時，前述第1按壓部之前端面的 中心與前述第2按壓部之前端面的中心與前述第1構件的 中心互相大致一致； 前述按壓，是將讓前述第3構件遠離前述第2構件的 力施加於前述第2構件和前述第3構件； 進行前述按壓時在前述第1構件產生之反作用力的方 向’是前述第1構件的厚度方向且從前述第2構件離開的 方向； 進行前述按壓時在前述第2構件產生之反作用力的方 向’是前述第2構件的厚度方向且從前述第丨構件離開的 方向； 從前述厚度方向觀察時，前述各反作用力的中心，是 與前述第1構件、前述第2構件的中心一致； 前述支承體，是僅在前述第1構件之中心卡合於前述 第1構件，而與前述第1構件設置成—體。 S -70-