TW201111789A - Test sorting machine applied to micro-sensors - Google Patents

Description

201111789 六、發明說明： -【發明所屬之技術領域】 本發明係提供一種可使微感測元件執行旋轉角度運動測試作 業，並利用各裝置之時序搭配作動，而大幅增加測試產能，且立 即依測试結果迅速分類收置，以有效提升測試分類收置作業效能 之應用於微感測元件之測試分類機。 【先前技術】 按，微感測Ic係廣泛應用於各式電子產品，例如wu 、PS3或iPhone手機等，由於微感測j c應用之產品會執行 • 動態之加速度運動及靜態之旋轉角度運動，目前業者於前段 製程之微感測晶片製作完成後，為確保微感測晶月良率及避免後 段封裝製程之成本浪費，係於執行後段封裝作業之前，均會對各 ^感測晶片執行角度運動測試作業，以測試微感測晶片是否受 損，而角度運動測試作業係將複數個微感測晶片裝設於電路 板上，再將電路扳置放定位於探針卡測試機之治具上，並於治 具之上方設有一連接測試器之探針卡，該探針卡則具有複數個探 ’用以探測微制晶片，進而治具可帶動複數個微感測晶片作 旋轉角度運動之測試，並使探針卡將測試訊號傳輸至測試器，由 測試器判斷測試之微感測晶片為良品或不良品，若為不良品，即 擊於微_晶片或㈣庫上標註記號，以先行過如不良品之微感 測晶片，於微感測晶片執行測試作業完畢後，再將完測之微感測 j收置容器中’而移载至下―I作站；惟，由於複數個微感測 曰曰片於測奴畢後，並無法直接將各完狀微制晶#依測試等 級而加以自動化分敝置，賴再以人工揀選方式將完測之微感 =片一分類收置’以致相當耗費時間，造成降低生產效能之 、失再者，各微感測晶片於測試完畢後，係進入後段封裝製程 ^而製作成-微感測I C ’由於微感測〗以歷經多道製程，為 =微感測I ，亦必須對封裝後之滅測〗Q行角度 ，動測，作業以雜品質’但目前業界卻無針對微制丨C測試 之測试分類機，以致無法將各微感測Z C作一測試及揀選分類 201111789 ’造成無法確保微感測ic品質之缺失。 故在講求全面自動化及測試品質提升之 2二=及生產效能之微感測元件測試=及=業: 【發明内容】 機，收用於微感測元件之測試分類

該供料裝置係容納待測之微感測元件，收J ㈡度運動測試裝置係用=== 於供料峨取出待測之微感測元件 元===置測 =迅速分類收置，達到大幅提升作業便利性及生產： 機，係提供一種應用於微感測元件之測試分類 角度運動式裝置係以機座架置—懸臂式第-承架，並以 ^軸向驅動源帶動第—承架作又軸 Ξ:=測元件進行不同轴向之角度運動測試SJ: 【實施方式】 實施Ρ配明作更進m轉-較佳 請參閱第1圖，本發明測試分類機係於機台1 〇之前端設有 201111789

供料裝置2 0、收料裝置3〇及空盤裝置4〇，該機台丄 端則設有角度運動測試裝置5 Q，用以測試減測元件，另於機 台10上設有一可移動於供料裝置2 〇、收料裝置3 〇及角产 動測試裝置5 0間之輪送|置6 〇 ;該供料襄置2 〇係容納至少 -盛裝待測微感測元件之料盤21，收料裳置3 〇係設有複數個 空的料，3王，並可依測試結果分級盛裝良品之完測微感測元件 、不良品之完測微感測元件及次級品之完測微制元件，空 置40則可接收供料褒置2◦處空的料盤21，或將空的料^ 21補充於收料裝置3Q，請配合參閱第2、3圖，本實施例之 角度運動測試裝置5 〇係設有二角度測試機5 i、5 2，以角度 測試機5 1為例，該角度職機5 1係以機座5丨！架置一雖^ 並以一為馬達513之χ軸向‘動源帶動 第承木512作X軸向旋轉（如±18 〇度之角度旋轉）一 承架512之内侧則架置第二承架514，並以 ^第二承架5 1嫩軸向旋轉二 之角又祕）’另於第—承架5 14上設有具複數_試座5丄7 之測試板516，其中，測試板5 χ 6上之測試座5 i 7可 閉型測試座或常開酬試座，本實齡彳 ^ 型測試座，並於第二承架5 i 4上設有—可移動 座=)=下壓件5丄8，用以下壓定位微感二=

ϊί!Η ί吊閉型測試座時，第二承架514上可移動下壓 之下壓件5 1 8，則錢移動下_啟常_貞,_，以H ，型測試座，接著下壓件5 1 8移出脫離下 糾座後’常_職騎會自動關定位微感測 ΐ測試的過程中自測試座5 1 7内脫出，進而第^承 架5 1 2及第二承架5 1 4可分卿動職座5丨7 感測元件執行旋轉角度運動測試作業 Kg測3 將測試結果傳輸至中央控制單元，由』 201111789 動；請參閱第1、4圖，該輸送裝置6 〇包含載送機構61、第 二移料機構6 2及第二移料機構6 3，該載送機構6丨係設有至 少一載台，本實施例係設有供料載台6 i i及收料載台6丄2， 並以驅動結構613帶動供、收料載台6丄1、6丄2作丫 — z ，向位移丄使供、收料載台6 i i、6 i 2可交侧環位移於機 台10之前、後端，用以分別載送待測之微感測元件及完測之微 感測疋件，第一移料機構6 2係設於供料裝置2 〇、收料裝置3 及空盤裝置4 0之上方，並設有第一取放器6 2丄及第二取放 器6。2 2，且以驅動結構6 2 3帶動第一取放器6 2 1及第二取 • 放器6 2 2作X — Y—Z軸向位移，使第一取放器6 2丄於供料 載台61 1及供料裝置2 〇間移載待測之微感測元件，並使第二 取放器6 2 2於收料載台612及收料裝置3 0間移載完測之微 感測元件，而第一、二取放器6 21、6 2 2亦可於供料裝置2 0、收料裝置3 0及空盤裝置4 〇間移載空的料盤，第二移料機 構6 3係設於角度運動測試裝置5 〇之上方，並具有第一取放器 6 31及第二取放器6 3 2，且以一驅動結構6 3 3帶動第一取 放器6 31及第二取放器6 3 2作X — z軸向位移，使第一、二 取放器6 31、6 3 2可分別於供、收料載台61 1、612及 Φ 二角度測試機51、5 2間移載待測/完測之微感測元件。 請參閱第5圖，本發明於初始狀態時，第一移料機構6 2係 以驅動結構6 2 3帶動第一取放器6 21作Χ — Ύ—Ζ軸向位移 ’於供料裝置2 0之料盤21上取出待測之微感測元件71、7 2，並移載置入於載送機構61之供料載台611上。 請參閱第6圖，接著載送機構61之驅動結構613係帶動 供料載台611及收料載台612作Y — z軸向之交錯位移’使 供料載台611將待測之微感測元件71、7 2由機台1〇之前 端載送至機台1〇之後端，收料載台612則由機台1〇之後端 位移至機台1〇之前端，第二移料機構6 3係以驅動結構6 3 3 帶動第一、二取放器6 31、6 3 2作X—Z軸向位移，而分別 201111789 於供料載台61 1上取出待測之微感測元件7 i、7 2。 。。請參閱第7、8、9圖，第二移料機構6 3之第一、二取放 器6 31、6 3 2係分別作χ_ζ軸向位移將待測之微感測元件 7 1、7 2移載至角度測試機5 1、5.2處，以便執行旋轉角度 運動之測試作業，以角度測試機51為例，當第二移料機構6 3 之第一取放器6 31將待測之微感測元件71置入於測試座51 7後，下壓件518即移動下壓微感測元件7 i，使微感測元件 71穩固的電性接觸於測試座5 χ 7 ’之後，該角度測試機5工 以馬達513驅動第一承架512及裝配於上之第二承架514 • 作X軸向旋轉’使第二承架514上之測試座517作X軸向之 方疋轉角度運動測試，由於第-承架5 1 2係為射式1¾:計，而可 帶動制之概測元件了 1作士丨8 軸向旋轉角度運動 測試作業，並使測試板516將待測微感測元件71之測試訊號 傳輸至測試器，接著角度測試機5丄以馬達5丄5驅動第二承架υ 514作Υ軸向旋轉，使測試座517及待測之微感測元件7工 作±9 0度之Υ軸向旋轉角度運動之測試作業，並使測試板51 6將待測微感測元件71之測試訊號傳輸至測試器，進而以二個 軸向的角度旋轉對微感測元件7 i進行角度運動的測試，測試器 • 再將微感測元件71之測試結果傳輸至中央控制單元，此時，供 料載台611即與收料載台612作交錯位移，由機台丄〇之& 如位移至機台1〇之前端，收料載台612則由機台1〇之前端 位移至機台1 〇之後端，由於第一移料機構6 2之第一取放器 ^ ϋ於供料裝置2 0之料盤21上取出下-批待測之微感測元 1:7 4 ’而可使第—取放器6 21將下—批待測之微感測 兀件7 3、7 4移載置入於供料載台611上。 請巧第1⑽’當肢測試機5 !、5 2完成微感測元件 71、7 2之角度運動測試作業後，第二移料機構6 3之第一、 二取放器63 1、6 3 2係分別作χ—ζ軸向位移，於角度測試 機51、5 2處取出完測之微感測元件7!、72，並移载至收 201111789 料載台612。 2爯、1 2圖’該供料载台6 1 1與收料載台6 1 微感測軸替3 載台611係將待測之 ^ 7 4载达至機01〇之後端，以供第二移料機 7 2、7 、一取放器6 31、6 3 2取出待測之微感測元件 並分卿載至肢測試機5 1、5 2，而接續執行 元株7 ^ ?之測1 式作業’練料載台6 1 2則將完測之微感測 二取访η ^载送至機台1 Q之端，第—移料機構6 2以第 了 ° 6 2 2於收料载台612上取出完測之微感測元件7 1 充“’並依測試結果（如良品微感測元件、不良品微感測元件 元件），將完測之微感測元件7 1、7 2移載收置 ' μ裝置3 〇之料盤31上’以完成分類收置作業。 η，=’本發明可自動化之對錢測元件騎角度運動之測 :ρ仿:二2裝置之時序搭配作動’而大幅增加測試產能，且立 处又^试…果迅速分類收置，以有效提升測試分類收置作業效 深具實祕及進步性之設計，然未見有相同之產品及 j物么開，從而允符發明專利申請要件，爰依法提出申請。 【圖式簡單說明】 WT月 鲁 苐2圖 第3圖 第4圖 第5圖 第6圖 第7圖 第8圖 第9圖 第1圖：本發明測試分類機之各裝置配置圖。 本發明測試分類機之角度運動測試裝置之示意圖（一）。 本發明測試分類機之角度運動測試裝置之示^圖（二）。 本發明輸送裝置之載送機構示意圖。 本發明測試分類機之使用示意圖（一）。 本發明測試分類機之使用示意圖（二）。 本發明測試分類機之使用示意圖（三）。 本發明測試分類機之使用示意圖（四）。 本發明測試分類機之使用示意圖（五）。 第1 0圖：本發明測試分類機之使用示意圖（六）。 第1 1圖：本發明測試分類機之使用示意圖（七）。 201111789 第1 2圖：本發明測試分類機之使用示意圖（八）。 【主要元件符號說明】 〔本發明〕 機台：1 0 供料裝置：2 0 料盤：21

收料裝置：3 0 空盤裝置：4 0 角度運動測試裝置：5 0 機座：5 1 1 馬達：513 馬達：515 測試座：5 1 7 角度測試機：5 2 輸送裝置：6 0 供料載台：611 驅動結構：613 第一取放器：6 21 驅動結構：6 2 3 第一取放器：6 31 驅動結構：6 3 3 微感測元件：71、7 2、 料盤：3 1 角度測試機：51 第一承架：512 第二承架：514 測試板：516 下壓件：518 载送機構：61 收料載台：612 第—移料機構：6 2 第二取放器：6 2 2 ，二移料機構：6 3 第二取放器：6 3 2 3、74

Claims (1)

1. 201111789 七 1 、申請專利範圍： 一種應用於微感測元件之測試分類機，勺人. 機台； 03 供料裝置：係設於機台上’用以容納制之織測元件； f料裝置：係驗機台上’用以容納完測之微感測元件； 角度運動測試裝置：係設於機台上，並設有具測試座之懸 角度測試機，該角度測試機係可作X軸向旋轉及Y 軸向旋轉，以測試微感測元件； 輸送裝置：係設於機台上，並設有载送機構、第—移料 及第二移料機構’用以分別於供、收料裝置及角 #運動測試裝置間載送待測/完測之微感測元 中央控制單元控做整合各裝置作動，以執行自動 化作業。 2 5申利f圍第1項所述之應用於微感測元件之測試分類 3 躲i中丄該收料裝置係設有複數個難，肋承置不同測 5式、、，°果之完測微感測元件。 、 H專利範圍第工項所述之應用於微感測元件之測試分類 t走轉= 則^運制試裝置之缝職_财可作X軸 μ第承木及可作γ軸向旋轉之第二承架，並於第二承 至少一摩式座之測試板，用以對微感測元件進^ 4 概圍第3項所述之應用於微感測元件之測試分類 ’該角度測試機係⑽座架置一懸臂式之第 二-ϊΐϋ動源帶動第—承架作X軸向旋轉，第—承架上則 軸向驅動源帶動作γ軸向旋轉之第二承架。 機t中專4項所述之應用於微感測元件之測試分類 驅動源則為機之X軸向驅麟係為馬達，鮮軸向 201111789 6 · f申請專利範圍第3項所述之應用於微感測it件之測試分類 機’ ^中’該測試板上之測試座係為常開型測試座。 7 ·=中請專利範圍第6項所述之應微感測元件之測試分類 ^ ’其中’該第二承架上係設有—可移動下壓微感測元件之下 壓件。 8依申吻專利範圍第3項所述之應用於微感測元件之測試分類 機，其中，該測試板上之測試座係為常閉型測試座。 9·依申請專利範圍第8項所述之應用於微感測元件之測試分類 機’其中’該第二承架上係設有—可移動下壓開啟常閉型測試 座之下壓件。 1 0,·依申凊專利範圍第1項所述之應用於微感測元件之測試分 類機^其中，該輸送裝置係設有載送機構、第一移料機構及第 ^移料機構，該載送機構係用以於供、收料裝置及角度運動測 試裝置間載送待測/完測之微感測元件，第一移料機構係用以 於載送機構及供、收料裝置間移載待測/完測之微感測元件， 第二移料機構則用以於載送機構及角度運動測試裝置間移載 待測/完測之微感測元件。 11·依申請專利範圍第10項所述之應用於微感測元件之測試 分類機，其中，該輸送裝置之載送機構係設有至少一載台，用 以載送微感測元件。 12·依申請專利範圍第11項所述之應用於微感測元件之測試 分類機，其中’該載送機構係設有供料載台及收料載台，並以 驅動結構帶動供、收料載台作γ— z軸向位移，而交替循環位 移於機台之前、後端，用以載送待測/完測之微感測元件。 13·依申請專利範圍第1〇項所述之應用於微感測元件之測試 分類機’其中，該輸送裝置之第一移料機構係設有至少一取放 器，用以移載微感測元件。 14·依申請專利範圍第13項所述之應用於微感測元件之測試 分類機’其中，該第一移料機構係設有第一取放器及第二取放 201111789 —γ — z軸向位 器，並以驅動結構帶動第一、二 移，用以移載待測/完測之微感測元件。 5·依申請專利範圍第10項所述之應用於微感測元件之測試 ^類機’其中’該輸送裝置之第二移料機構係設有至少一取放 器’用以移載微感測元件。 6·依申請專利範圍第15項所述之應用於微感測元件之測試 ^類機’其中’該第二移料機構係設有第一取放器及第二取放 器’並以驅動結構帶動第一、二取放器作X— Z軸向位移，用 以移載待測/完測之微感測元件。

   7 ,·依申請專利範圍第1項所述之應用於微感測元件之測試分 類機’更包含於機台上設有空盤裝置，用以收置空的料盤， 並依需要將空的料盤補充於收料裝置。 8 ·一種應用於微感測元件之測試分類機，包含： 機台； 供料襄置：係設於機台上，用以容納待測之微感測元件； 收料裝置：係設於機台上，用以容納完測之微感測元件； 角度運動測試裝置：係設於機台上，並設有至少一角度測試 機’該角度測試機係以機座架置一懸臂式之第一 承架，並以X軸向驅動源帶動第一承架作X車由向 旋轉’第一承架上則架置一由Y轴向驅動源帶動 作Y軸向旋轉之第二承架，第二承架上則設有具 至少一測試座之測試板，用以對微感測元件進行 角度運動測試； 輸送裝置：係設於機台上，並設有載送機構、第一移料機構 及第二移料機構’該載送機構係用以於供、收料 裝置及角度運動測試裝置間載送待測/完測之微 感測元件，第一移料機構係用以於載送機構及 供、收料裝置間移載待測/完測之微感測元件， 第二移料機構則用以於載送機構及角度運動測試 12 201111789 ~裝置間移载待測/完測之微感測元件； 中央控制單it:係用以控制及整合各裝置作動，以 化作業。 期 19八依申5月專利範圍第18項所述之應用於微感測元件之測試 =類機，其中，該收料裝置似有複數個料盤，用以承置^ 同測试結果之完測微感測元件。 2 0、依申凊專利範圍苐丄8項所述之應用於微感測元件之測試 ::類f ’其中’該角度運動測試裝置之X軸向驅動源係為馬 達，Y軸向驅動源則為另一馬達。 21〔依申睛專利範圍冑丄8項所述之應用於微感測元件之測气 勿峨，其中，朗試板上之綱座縣常砸測試座。 m專利範圍第21項所述之應用於微感測元件之測試 其中’該第二承架上係設有一可移動下壓微感測元件 之下壓件。 2 3 λΐΐ請專利範圍帛18項所述之應用於微感測元件之測試 9刀，其中，該測試板上之測試座係為常閉型測試座。 巧職圍第2 3項所狀顧於微制元件之測試 ^座之^件該第二承架上係設有—可移動T壓開啟常閉型 2 5八St專利範圍第1 8項所述之應用於微感測元件之測試 ini中’該輸送裝置之載送機構係設有至少一載台，用 以载达微感測元件。 2 申請專利範圍第2 5項所述之應用於微感測元件之測試 Ϊ中該載送機構係設有供料載台及㈣載台，並以 絲供:收料載台作y—z軸向位移，而交替循環位 2 7 \後端用以載送待測/完測之微感測元件。 八_匕專利範圍第18項所述之應用於微感測元件之測試 二類其中，該輸送裝置之第—移料機構係設有至少一取放 益’用以移載微感測元件。 13 201111789 2 8 ·依申請專利範圍第2 7項所述之應用於微感測元件之測試 分類機，其中，該第一移料機構係設有第一取放器及第二取放 器’並以驅動結構帶動第一、二取放器作X — Y — Z轴向位 移’用以移载待測/完測之微感測元件。 2 9 ·依申請專利範圍第18項所述之應用於微感測元件之測試 分類機’其中，該輸送裝置之第二移料機構係設有至少一取放 器，用以移載微感測元件。 3 0 ·依申請專利範圍第2 9項所述之應用於微感測元件之測試 分類機’其中，該第二移料機構係設有第一取放器及第二取放 器’並以驅動結構帶動第一、二取放器作X—Z軸向位移，用 以移載待測/完測之微感測元件。 31、依申凊專利範圍第18項所述之應用於微感測元件之測試 分類機，更包含於機台上設有空盤裝置，用以收置空的料盤， 並依需要將空的料盤補充於各收料裝置。