TW201044415A - Metal pastes and use thereof in the production of silicon solar cells - Google Patents

Metal pastes and use thereof in the production of silicon solar cells Download PDF

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Richard John Sheffield Young
Peter James Willmott
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201044415 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於金屬膏及其在石夕太陽能電池之製造中之用 途。 【先前技術】 在具有P型基底的習知太陽能電池結構中，其具有典型 • 位在該電池前側《面陽側的—貞_以及位在背侧的一正 t極。㈣皆知，^在半導體本體的㈣接面上具有適當 〇 纟長之輕射，係作為-外部能量之來源，以便在該半導體 本體中產生電子-電洞對。存在於p_n接面的電位差導致 電洞及電子以相反方向移動跨過此接面，藉此引起—電流 的流動，而得以傳遞電力至一外部電路。大多數的太陽能 , 電池係金屬化之矽晶圓的形式，亦即設置有導電性的金屬 ' 接點。 大多數目前所使用的發電太陽能電池為矽太陽能電池。 尤其是藉由使用例如從金屬膏的網版印刷方式來製造電 極。 '矽太陽能電池的製造典型始於具有矽晶圓形式的p型矽 • 基底，其上有藉由磷（p)或類似物的熱擴散所形成的逆向 • 導電型的η型擴散層。三氣一氧化磷（POCh)係常用來作為 氣態鱗擴散源’其他液體源係磷酸及類似物。在沒有任何 特定修改的情況下，該擴散層係形成在該矽基底的整個表 面上。在該ρ-η接面形成的位置，ρ型摻雜物之濃度等於η 型摻雜物之濃度；Ρ-η接面接近面陽側的習知電池具有〇 〇5 147397.doc 201044415 至0.5 μηι之間的接面深度β 在此擴散層形成之後，藉由以如氫氟酸的酸進行蝕刻， 以便從其餘表面移除多餘的表面玻璃。 接著’藉由諸如電漿化學蒸氣沈積（CVD)在^型擴散層 上形成TiOx、SiOx、Ti〇x/SiOx，或著，尤其是，以队或 Si#4之ARC層（抗反射塗覆層），使其具有〇 〇5至〇.i 之 間的厚度。 在具有Ρ型基底的一習知太陽能電池結構中，其典型地 具有位於電池前側或面陽側上的一負栅電極以及在背側上 的一正電極。典型地，藉由網版印刷並在電池前側上的 ARC層上乾燥一前側銀膏（前電極形成銀膏）來應用該栅電 極。典型地，該前側柵電極被網版印刷成所謂的Η圖案， 此圖案包含⑴薄平行指狀條（集極條）及（ii)以直角交叉指狀 條之兩匯流條。此外，於該基底的背側上網版印刷（或某 些其他應用方法）一背側銀或銀/鋁膏及一鋁膏並相繼地予 以乾燥。一般而言，首先在該矽晶圓的背側上網版印刷背 側銀或銀/鋁膏，以作為二平行的匯流條或作為準備用於 焊接串連互連串（預先焊接銅帶）的矩形（垂片）。接著將 铭膏印刷於裸露區域上’而稍微重疊於背側銀或銀或銀/ 铭膏上。m兄中，該銀或銀/铭膏係於該㉟膏印刷 之後才進行印刷。接著，典型地在帶式爐中使晶圓到達 700至900。(：的範圍内的顛峰溫度燒製〗至5分鐘。該等前柵 極及背面電極可依序燒製或共同燒製。 鋁膏通常係網版印刷並乾燥於矽晶圓的背側上。晶圓先 147397.doc 201044415 在高於鋁熔點的溫度燒製 木成一紹一石夕炫融物，接著在 冷卻階段中形成一摻有 、夕磊晶生成層。此層通常稱為 摩面電場（BSF)層。鋁| M^ «错由燒製而從乾燥狀態轉變成一 崔呂背面電極。同時燒费择 魔^則銀或銀/鋁膏，而變成-銀或 .銀/銘背面電極。在燒製湘 裂4間，背側鋁及背側銀或銀/鋁之 • 間的界線呈現合金狀態，祐Η + $ • · 並且亦電性連接。鋁電極佔背面 電極的大部分區域，部分歸因於形成ρ +層之需要。在㈣ ,之部分上形成-銀或銀/紹背面電極（經常為㈤麵寬的匯 流條），作為以預焊銅帶或類似者而互連太陽能電池的電 極。此外，印刷為前側柵電極的該前側銀膏在燒製期間燒 結並穿透ARC層，並藉此得以電性接觸η型層。此種程序 常稱為「燒製穿透（firing thr〇ugh)」。 WO 92/22928揭露—種程序，其中以兩個步驟印刷前側 柵電極；指狀條及匯流條之印刷為分離。雖然從能夠燒製 穿透ARC塗覆層之銀膏印刷出指狀條，但是用於印刷匯流 〇條之銀膏並非如此。用於印刷匿流條之銀膏不具有燒製穿 透的能力。在燒製之後’獲得一柵電極，其係由燒製穿透 的指狀條及所謂非接觸性匯流條（浮置匯流條，並未燒製 穿透ARC層的匯流條）所組成。其中僅燒製穿透指狀條之 .栅電極的優點為：金屬/半導體介面上電洞及電子之再結 合的降低。再結合的降低導致斷開路電壓的增加，因而增 加具有此種前側柵電極之石夕纟陽能電池的電性產帛。曰 需提供具有不良或甚至無燒製穿透能力厚薄膜導電組合 物’其能夠允許製造出與矽基底之間毫無或僅有不良接^ 147397.doc 201044415 的匯流條，具有增進的焊接瀝濾阻力，且使arc層妥善黏 接於矽太陽能電池之前側表面上。良好的黏性意指著太陽 能電池具有更長的耐久性或服務壽命。 【發明内容】 本發明係關於厚薄膜導電組合物，包含（a)至少一導電金 屬粉末係選自由銀、銅及鎳組成之群組、（b)至少一含鉛玻 璃溶塊，其具有於571至636°C範圍中的軟化點溫度（玻璃 轉移溫度，此溫度範圍係藉由熱差分析DTA以1〇κ/分鐘之 加熱速率下判斷而出）且含有^至”重量百分比的抑〇、25 至29重量百分比的Si〇2、2至6重量百分比的Ai2〇3及6至9 重量百分比的B2〇3及（c) 一有機载體。 【實施方式】 本發明之厚薄膜導電組成物具有金屬膏之形式，其可藉 由印刷且特別是網版印刷而予塗覆。在下列說明及中請^ 利範圍中，薄膜導電組成物亦稱為「金屬膏」。 本發明之金屬膏包含至少一導電金屬粉末係選自由銀、 銅及錄組成之群組。較佳為絲末。金屬絲粉末可無塗 覆或以表面活性劑至少部分予以塗覆。表面活性劑可選 自，但不限於，硬脂酸、軟脂酸' 月桂酸、油酸、癸酸、 肉-謹酸及亞麻仁酸及其鹽類’例如，铵、納或鉀鹽類。 導電金屬粉末或尤其銀粉末之平均粒子尺寸係在例如 0.5至5 μιη的範圍中。在本發 屬膏中的導電金屬粉 末或尤其銀粉末之總含量為例如5〇至92重量百分比，或在 一實施例中為65至84重量百分比。 147397.doc 201044415 在說明及申請專利範圍中，使用「平均粒子尺寸」此一 術語。它意指以雷射散射所決定的平均粒子直徑（d5〇卜在 本說明及申請專利範圍中對於平均粒子尺寸所做的所有陳 述，係關於在金屬膏_存在的相關材料之平均粒子尺寸。 一般而言，本發明之金屬膏僅包含至少一導電金屬粉末 係選自由銀、銅及鎳組成之群組。然而，可以一或更多其 他微粒金屬來取代選自由銀、銅及鎳組成之群組的導電金 屬之一小部分。根據導電金屬膏中之總微粒金屬，此種其 他微粒金屬的比例例如為〇至1 0重量百分比。 本發明之金屬膏包含一或更多含鉛玻璃熔塊作為無機黏 合劑。該至少一含鉛玻璃熔塊具有在571至636t:i圍中之 軟化點溫度，且含有53至57重量百分比的Pbo、25至29重 量百分比的Si〇2、2至6重量百分比的A12〇3及6至9重量百 分比的B2〇3。PbO、Si〇2、AhO3及1〇3的重量百分比可或 可不加總為100重量百分比。在它們不加總為i 〇〇重量百分 比的情況中，缺少的重量百分比可特別由一或更多其他氧 化物補足，例如，類似NhO之鹼金屬氧化物、類似Mg〇之 鹼土金屬氧化物及類似Ti〇2及ZnO的金屬氧化物。 在一實施例中，除了該至少一含錯玻璃炼塊外，本發明 之金屬膏包含一或更多無鉛玻璃熔塊。在上述實施例中， 本發明之金屬膏包含（a)至少一導電金屬粉末係選自由銀、 銅及鎳組成之群組的、（b)至少一含鉛玻璃熔塊，其具有於 571至636°C範圍中之軟化點溫度且含有53至57重量百分比 的PbO、25至29重量百分比的Si〇2、2至6重量百分比的 147397.doc 201044415
Al2〇3及6至9重量百分比的B2〇3、（c)至少一無鉛玻璃熔 塊，其具有於550至611°C範圍中之軟化點溫度且含有丨丨至 33重量百分比的Si〇2及>〇至7重量百分比，尤其5至6重量 百分比的Al2〇3及2至10重量百分比的b2〇3及（d)有機載體。 在無錯玻璃炼塊的情況中’ Si〇2、a1203及B2〇3的重量百 分比不加總為100重量百分比，且缺少的重量百分比可特 別由一或更多其他氧化物補足，例如，類似Na2〇之鹼金屬 氧化物、類似MgO之鹼土金屬氧化物及類似Bi2〇3、Ti〇2 及ZnO的金屬氧化物。 在一貫施例中，至少一無鉛玻璃炫塊含有4〇至73重量百 分比，尤其48至73重量百分比的Bi2〇3。在上述實施例 中，本發明之金屬膏包含（a)至少一導電金屬粉末係選自由 銀、銅及鎳組成之群組、（b)至少一含鉛玻璃熔塊，其具有 於571至63 6°C範圍中之軟化點溫度且含有53至57重量百分 比的PbO、25至29重量百分比的Si〇2、2至ό重量百分比的 Α】2〇3及6至9重里百分比的Bi2〇3、（c)至少一無錯玻璃炼 塊’其具有於550至611°C範圍中之軟化點溫度且含有4〇至 73重置百分比的B2〇3、11至33重量百分比的Si02、>〇至7 重量百分比，尤其5至6重量百分比的A1203及2至10重量百 分比的ΙΟ3及（d)有機載體。在含有b丨2〇3之無鉛玻璃熔塊 的情況中，Bi203、Si02、Al2〇3與B2〇3的重量百分比可或 可不加總為1 00重量百分比。在不加總為1 00重量百分比的 情況中，缺少的重量百分比可尤其由一或更多其他氧化物 補足，例如，類似Na20之鹼金屬氧化物、類似MgO之鹼土 147397.doc 201044415 金屬氧化物、及類似Ti〇2及ZnO的金屬氧化物。 在本發明之金屬膏不僅包含至少一含鉛玻璃熔塊而且還 有至少一無鉛玻璃熔塊的情況中，這兩種玻璃熔塊之間的 比率為任何，或者，換言之，在從>〇至無限的範圍中。 玻璃溶塊之平均粒子尺寸在例如0.5至4 μιη的範圍中。 在本發明之金屬膏中的總玻璃熔塊含量（至少一含鉛玻璃 熔塊加上選擇性存在的至少一無鉛玻璃熔塊）為例如〇 25至 0 8重量百分比，或在一實施例中為〇.8至35重量百分比。 玻璃溶塊之傷置為果所皆知，其過程包含例如將具有成 刀的氧化物形式之玻璃的成分一起熔化，並將此熔化的組 成物倒入水中以形成熔塊。在本項技藝中眾所皆知，可加 ' 顛峰度且維持一段時間使得炼融物變成完全液體 且均質狀。 可在球型礙磨機中與水或惰性低黏度低沸點有機液體礙 磨玻璃，以減少溶塊的粒子尺寸並獲得實質均勻尺寸的溶 ©塊。並可接著在水或該有機液體中沉降以分離精細物，並 :移除含有精細物之上層液流體。亦可使用其他分類方 +赞明之金屬 ==機載體。有機載體可為其中可以足夠穩定性且可 ::微:;，？電金屬粉末，玻璃、㈣者。有機載體 =貝^別是流變性質，可為能給與金屬膏良好塗覆性 :包括：不溶固體之穩定分散、用 網版印刷之適當黏度及搖變性、在”圓之前側二: 147397.doc 201044415 層及膏固體之適當可濕性、良 所 乾舲羊及良好的燒製性 用於本發明之金屬膏中的有機載體可為非水性惰性液 體。有機載體可為有機溶劑或有機溶劑混合物；在—實施 例中，有機载體可為有機溶劑中之有機聚合物的溶液。可 2用多種有機載體，該載體可以包含或不包含增_、穩 定劑和/或其他常用添加劑。在—實施例中，用作有機載 體之成分的聚合物可為乙基纖維素。可單獨或結合使用的 聚合物之其他實例包括乙經乙纖維素、木松香、紛樹脂及 較低醇之聚（甲基）丙烯㈣1#的有機溶劑之實例包含 醋酵及㈣類，如…㈣旨醇，或上述與其他溶劑之混合 物’如煤油、鄰苯二甲酸二丁酿（dibutylphthaiate)、二甘 醇、丁醚、二甘醇丁謎醋酸鹽、己二醇及高沸點醇。此 外，在塗覆金屬膏之後促進迅速硬化的揮發性有機溶劑， 可以包括在有機載體I可對這些及其他溶劑的各種組合 進行調製，以獲得所欲之黏度及揮發性需求。 本發明之金屬膏中的有機載體對無機成分之比例（導電 金屬粉末加上玻璃熔塊加上選擇性存在的其他無機添加 物）取決於塗覆金屬膏的方法及所使用之有機载體的種 類，且可變化。通常，本發明之金屬膏含有58_95重量百 刀比的無機成为及5-42重量百分比的有機載體。 本發明之金屬膏為黏稠組成物，可藉由機械性混合導電 金屬粉末及玻璃熔塊與有機載體來予以備置。在一實施例 中’可使用製造方法功率混合，此為一種與傳統親礙磨等 效之分散技術；亦可使用輥碾磨或其他混合技術。 147397.doc •10- 201044415 本發明之金屬膏可直接使用，或例如藉由添加額外有機 溶劑而加以稀釋；依此，可減少金屬膏之所有其他構成物 的重量百分比。 本發明之金屬膏可用於矽太陽能電池之前側栅電極的製 造，或分別用於矽太陽能電池的製造中。因此，本發明亦 關於此種製造程序，以及藉由此製造程序所製成之前側柵 電極及矽太陽能電池。 〇 可藉由下列執行製造前側柵電極之程序：（1)在其前側 上提供具有ARC層之矽晶圓、（2)在矽晶圓的前侧上之arc 層上印刷，特別是網版印刷並乾燥本發明之金屬膏，以形 成兩或更多平行匯流條、（3)在ARC層上印刷，特別是網版 ㈣並乾燥具有燒製穿透能力之金屬膏，以形成與匯流條 成直角交叉的薄平行指狀條、以及（4)燒製經印刷及乾燥過 的金屬β。依照此程序之結果，可獲得燒製穿透式指狀條 及非接觸式匯流條所組成之前側柵電極。 〇 然而，亦可以相反順序執行製造此種前侧柵電極之程 序，亦即藉由：（1)在其前側上提供具有ARC層之矽晶圓、 (2)在ARC層上印刷，特別是網版印刷並乾燥具有燒製穿透 此力之金屬膏’以形成薄平行指狀條、（3)在矽晶圓的前側 上之ARC層上印刷，特別是網版印刷並乾燥本發明之金屬 膏以形成與指狀條成直角交叉的兩或更多平行匯流條以 及W燒製經印刷及乾燥過的金屬膏。依照此程序之結果， 可獲付燒製穿透式指狀條及非接觸式匯流條所組成之前側 柵電極。 I47397.doc 201044415 在揭露於前兩段落中之程序的步驟⑴中，提供於其前 側上具有ARC層之石夕晶圓。梦晶圓為傳統單或多晶石夕晶 圓，如傳統用於矽太陽能電池製造者，亦即其典型具有p 型區、η型區及p-n接面。石夕晶圓在其前側上具有例如 TiOx、、Ti〇x/Si〇x，或者特別具有叫或叫队之arc 層。此種矽晶圓為熟悉此技藝人士眾所皆知者；為求簡 潔’凊參照「先前技術」的内容。矽晶圓可以設有傳統背 側金屬化層’㈣在上述「先前技術」的内容中所描述的 背側紹膏及㈣銀或㈣銀。可以在前側栅電極完 成之或之後進行月側金屬膏的塗覆。可以個別燒製或共 同k製或甚至與於步驟⑺及（3)中印刷在ARc層上的前側 金屬膏共同燒製背側膏。 在說明及申請專利範圍中，使用「具有燒製穿透能力之 金屬膏」此一術語。它意指燒製穿透ARC層而與矽基底表 面電性接觸之傳統金屬膏’這一點與不燒製穿透的本發明 之金屬膏相反。此種金屬膏特別包含具有燒製穿透能力之 銀膏；它們為熟悉本項技藝人士已知者且已揭露在各種專 利文獻中，此之一實例為US 2006/0231801 A1。 在步驟（2)及（3)塗覆金屬膏之後，將它們乾燥例如工至 1〇〇分鐘的時期，使矽晶圓達到100至30(rc範圍内的顛峰 溫度。可利用例如帶式、旋轉式或固定式乾燥器，特別是 紅外線（IR)帶式乾燥器進行乾燥。 在步驟（2)及（3)之後的燒製步驟（4)為共同燒製步驟。然 而，雖非較佳，亦可在步驟（2)及（3)之間執行—額外的燒 147397.doc 12 201044415 製步驟。無論如何，由於製造過程包含步驟（〗）至（4)的緣 故’所以能夠在石夕晶圓之前側的arc層上製造出由燒製穿 透#曰狀條及非接觸匯流條組成之一柵電極。平行的燒製穿 透指狀條在個別之間具有例如2至5rnm的距離、例如3至3〇 μιη之層厚度，及例如5〇至15〇 μιη的寬度。燒製但非接觸 的匯流條具有例如20至5〇 的層厚度及例如1至3111瓜的寬 度。 可例如執行步驟（4)之燒製達1至5分鐘的時期，使矽晶 圓達到700至900 C的範圍中之顛峰溫度。可利用例如單一 或多區式帶爐，特別是多區IR式帶爐來進行燒製。燒製可 發生在惰性氣體環境中或在氧中，例如在空氣中。在燒製
期間’可移除（亦即燃燒及/或碳化，特別是燃燒）包括非揮 發性有機材料的有機物f及在乾燥期間未被蒸發的有機部 刀且玻璃溶塊與導電金屬粉末一起燒結。雖然用於印刷 平行薄指狀條之金屬膏會㈣ARC層並燒製穿透而導致指 狀條與珍基底電性接觸’但是針制於印刷匯流條之本發 明的金屬膏則非如此。匯流條在燒製後維持「非接觸」匯 流條’亦PARC層少仍殘留在匯流條及石夕基底之間。 與燒製穿透的匯流條相反， 方法所製造的柵電極或石夕太陽 條或與矽基底僅具有不良接觸 質。藉由本發明之程序所製成 的焊接瀝滤阻力及對前侧，更 側上的ARC層具有良好的黏性 藉由使用本發明之金屬膏之 能電池呈現出與非接觸匯流 的匯流條有關的有利電氣性 的匯流條之特徵在於：良好 精確地是對矽太陽能電池前 147397.doc •13· 201044415 實例 在此所述之實例關於燒製於傳統太陽能電池上的金屬 膏，而傳統的太陽能電池具有ρ型石夕基底及在前側η型射極 上之氮化矽ARC層。 以下的討論將描述如何利用本發明之組成物形成太陽能 電池及如何測試其技術性質。 (1)太陽能電池之製造 如下般形成太陽能電池： (i)在後表面上具有30 μηι厚之鋁電極（可從Ε· I. Du Pont Ο de Nemours & Company購得之PV 381 Α1組成物網版印刷 而得）及兩條5mm寬的匯流條（可從E. I. Du Pont de Nemours & Company講得之PV 505 Ag組成物網版印刷而 得並且二邊緣與銘薄膜重疊1 mm以確保電性延續性）的S i基 底之前面上（200 μιη厚及243 cm2面積之多晶石夕晶圓、p型 (硼）塊矽，具有η型擴散P0C13射極，以酸表面處理以達特 定質地，藉由CVD塗覆在晶圓之射極上的SiNxARC層），網 版印刷並乾燥化前側銀膏（可從E. I. Du Pont de Nemours & w Company購得之PV 142)而成為100 μιη寬及20 μιη薄的平行 指狀條，彼此之間的間隔距離為2.2mm。接著，網版印刷 前側匯流條銀膏而成為以直角交叉指狀條的兩條2mm寬及 2 5 μ m厚之平行匯流條。在共同燒製之前乾燥所有的金屬 膏。 此實例中，前側匯流條銀膏包含8 1重量百分比的銀粉末 (平均粒子尺寸為2 μηι)、19重量百分比的有機載體（有機載 147397.doc -14- 201044415 體樹脂及有機溶劑）加上玻璃熔塊（平均粒子尺寸為0.8 μιη)。表一提供已使用的玻璃熔塊類型之構成資料。 (ii)接著，在具有定義為區域l=5〇〇°C、區域2=525t、 區域3 = 550°C、區域4=60(TC、區域5=925°C及設定在890T： 的最終區域之區域溫度的Despatch爐中，以3000mm/分鐘 之帶速燒製已印刷好的晶圓，使晶圓達到8〇〇。〇的顛峰溫 度。在燒製之後’金屬化的晶圓變成功能性的光伏打裝 置。 進行電氣性能及前側匯流條及SiNx ARC層之間的燒製 黏性之測量。此外’判斷燒製穿透能力。 (2)測試程序 效率 將根據上述方法所形成之太陽能電池放置於商業測 試器（由h.a.l.m. elektronik GmbH供應）以測量光轉換效 率。I-V測試器中的燈係用以模擬具有已知強度的陽光（約 1000 W/m2)並照射電池的射極。接著，以電性探針接觸電 池上的金屬化層。在一範圍的多電阻值下測量由太陽能電 池所產生之光電流（Voc，斷路電壓；Isc，短路電流）以計 算I-V反應曲線。 燒製穿透能力 在包含指狀條及匯流條之上述Η圖案中網版印刷並燒製 則側匯流條銀膏（針對指狀條印刷則不使用PV 142前側銀 膏.）接著利里電池的效率。在沒有或僅有不良燒製穿 透旎力之則側匯流條膏之情況中，太陽能電池的電氣效率 147397.doc -15· 201044415 是在0至4 %範圍中(等於不具有或僅為有限的燒製穿透)。 黏性測試 針對黏性測試，以液體助溶劑㈣帶子及前側匯流條， 並沿著晶圓的完整長度移動而使用手動烙鐵加以焊接。調 整焊接烙鐵尖端至325t之特定溫度。在焊接前並未預先 乾燥或預先加熱助·熔劑。 用於此測試中之助溶劑及焊料帶分別為Kester® 952S及 62Sn 3 6Pb-2Ag (由62重量百分比的錫、36重量百分比的錯 及2重量百分比的銀所組成的金屬合金）。 使用藉由在沿著匯流條之多個點以1 〇〇niln/s的速度及9〇。 之拉扯角度拉扯焊料帶之Mecmesin黏性測試器來測量黏 性’且以公克為單位來測量移除匯流條之力量。 表二中所述之實例A至D顯示前側匯流條銀膏之電氣性 質是其所含的玻璃熔塊的比例與成分之函數。當與根據對 照例E的前側匯流條銀膏製成之銀太陽能電池相比，表二 中的資料證實使用根據實例A至d的前側匯流條銀膏製成 的太陽能電池之電氣性質明顯地獲得改善。開路電壓v〇c 增加，黏性較高且電阻性較低。 表1 玻璃種類 P重量百分比為5 之破璃組成物’· Si〇2 Al2Ch B2〇3 Pb〇 Ti〇2 CdO 1(軟化點溫度573°c) 28 4.7 8.1 55.9 3.3 0 2(軟化點溫度545°C) 23 0.4 7.8 58.8 6.1 3.9 147397.doc -16- 201044415 表2 *)，根據本發明 實例 重量百分比/ 玻璃種類 Voc (mV) Isc (A) 燒製穿透 黏性 (公克） 電阻性（微 歐姆·公分） A*) 0.25 / 1 613.1 8.02 有限 673 2.200 B*) 0.5/1 613.8 8.03 有限 680 1.980 C*) 1/1 614.3 8.04 有限 770 2.296 D*) 2/1 614.3 8.04 有限 633 2.210 E**) 2/2 610.7 8.02 強 485 4.399 **)，對照例 〇 147397.doc 17·

Claims (1)

  1. 201044415 七、申請專利範圍： k種金屬膏，其包含⑷至少一導電金屬粉末係選自由 銀、銅及錄組成之群組、⑻至少-含錯玻璃熔塊，其具 有於571至636 C範圍中的軟化點溫度且含有兄至”重量 百刀比的PbO、25至29重量百分比的Si〇2、2至6重量百 分比的Al2〇3及6至9重量百分比的化〇3及（c) 一有機載 體。 • 2_如申請專利範圍第丨項所述之金屬膏，其包含至少一無 〇 鉛玻璃熔塊有於550至61 rc範圍中的軟化點溫度且含有 11至33的Si〇2、>0至7重量百分比的八12〇3及2至1〇重量百 分比的B2〇3。 3_如申明專利範圍第2項所述之金屬膏，其中該無鉛玻璃 ^ 溶塊含有4〇至73重量百分比的Bi2〇3。 4·如申請專利範圍第丨、2或3項所述之金屬膏，其中該導 電金屬粉末的總含量為5〇至92重量百分比。 5·如申請專利範圍第1、2或3項所述之金屬膏，其中該導 電金屬粉末為銀粉末。 6·如申請專利範圍第1、2或3項所述之金屬膏，其中該總 玻璃熔塊含量為0.25至8至重量百分比。 • 7.如申請專利範圍第2或3項所述之金屬膏，其中該至少一 含錯玻璃熔塊及該至少一無鉛玻璃熔塊之間的比例係介 於>0至無限的範圍中。 8.如申請專利範圍第1、2或3項所述之金屬膏，含有58至 95重量百分比的無機成分及5至42重量百分比的有機載 147397.doc 201044415 9. 一種製造前側柵電極之方法，包含下列步雜. (1) 提供在其前側上具有一 ARC層之/矽晶圓； (2) 印刷並乾燥在該矽晶圓的該前側上的該ARC層上之 如申請專利範圍第丨至8項中任一項所述之金屬膏， 以形成二或更多平行匯流條； (3) 印刷並乾燥在該ARC層上具有燒製穿透能力之—金 屬膏’以形成與該等匯流條以直角交叉的薄平行指 狀條；以及 (4) 燒製經印刷及乾燥的該等金屬膏。 10. —種製造前側栅電極之方法，其包含下列步驟： (1) 提供在其前側上具有一 Arc層之一矽晶圓； (2) 印刷並乾燥在該矽晶圓的該前側上之該ARC層上具 有燒製穿透能力的一金屬膏，以形成薄平行指狀 條； (3) 印刷並乾燥在該arc層上之如申請專利範圍第丨至8 項中任—項所述之—金屬膏，以形成與該些指狀條 以直角交叉的二或更多平行匯流條；以及 (4) 燒製經印刷及乾燥的該等金屬膏。 11.如申請專利範圍第9或1〇項所 1万法，其中該Arc層 係選自由 Ti〇x、Si〇x、Ti〇x/Si〇 組成之群組。 SmSl3N4ARC層所 147397.doc 201044415 13. 如申4專利範圍第9或1()項所述之方法，其中在該步驟 (2)及（3)中的該印刷為網版印刷。 14. 一種前側柵電極，甘4日4南l 士 & 士 μ根據如申清專利範圍第9至丨3項的 中任一項所述之方法所製造^ 15. 一種太陽能電池’其包含在其前侧上具有繼層之—石夕 晶圓及如申請專利範圍第14項所述之一前側拇電極。
    147397.doc 201044415 四、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：（無） (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 五、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： (無） 147397.doc
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