201034738 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種旋轉式溶劑回收之裝置及方法，尤 其係關於處理有機廢氣時，回收該有機廢氣内所含之有機 溶劑之裝置及方法。 【先前技術】 進來，國際間對於環保議題及工業安全衛生日益重 〇 視，考量工業廢氣對環境及勞工以至於一般大眾身體產生 之危害，對於工業廢氣排放標準日趨嚴格，國内外法規都 制定出濃度及臭味的排放標準。工業廢氣中對於揮發性有 機氣體的處理，在高濃度時多採用冷凝法收集，而在低濃 度且大風量時則以物理吸附方式濃縮處理後，再送往小型 焚化爐燃燒或以冷凝裝置回收較為經濟有效。以半導體業 晶圓廠產生的有機廢氣成分為例，常含有如二曱基亞颯 (Dimethyl Sulfoxide) 、N·甲基 η比咯酮（N-Methyl ❹ Pyrolidone)、乙醇銨（2-Aminoethanol)、二甲基二硫醇 (Dithiolethylene Glycol)、二甲基硫(Dimethyl Sulfide)、異 丙醇(Isopropyl Alcohol)、丙酮(Acetone)等化合物。 目前對於這些有機廢氣較常使用之淨化控制技術為 「沸石吸附轉輪」、「活性碳流體化床」，沸石吸附轉輪通 吊可將有機廢氣濃細5至20倍，而活性碳流體化床更可 滚縮達1000至10000。此外’一般常會再搭配下游終處 理設備’例如沸石吸附轉輪搭配焚化爐，即以沸石吸附轉 輪吸附濃縮廢氣後’再以焚化爐於攝氏6〇〇〜900度以上 3 201034738 之溫度燃燒’分解這些揮發性有機物質以及臭氣和毒氣； 或者’活性碳流體化床搭配冷凝器回收，即以活性礙吸附 劑流體化床吸附濃縮廢氣後，再以冷凝器冷凝後回收或焚 化處理’目前這些技術已在半導體及光電業界廣為採用。 然而’因半導體及光電業等高科技發展迅速，許多新 的製程所排放之有機廢氣越趨複雜與多量化，並非所有排 放之有機廢氣皆適合上述之處理方式。在沸石吸附轉輪搭 配焚化爐方面，例如CD製造業之製程會排放含氟'化醇之 有機廢氣’若與氧反應會產生腐蝕性之氫氟酸，故並不適 合以燃燒法作為終處面板光電製造業之面 板製耘中，去光阻程序（strippingpr〇cess)之去光阻劑中所 a的一甲基亞砜雖然是一種高沸點水溶性而且揮發性低 的液體’但其廢氣在處理過程中’姉易形成惡臭的二 甲基硫（dimethyl sulfide，DMS)和=甲基二硫(細吻i ulfide，DMDS)的氣態污染物，或者產生二氧化硫等酸性 腐餘性氣體，減不適於以雖法作為終處理。 •而上述之習知裝置及方法，於處理有機廢氣之時，該 浪縮轉輪内之吸附材不易更新及再生，且對於處理時^ 逸，仍有疑慮’有待進-步之改進及更周全之設計，本發 種旋轉式溶劑回收裝置及方法，以達最佳處理效 月匕及最安全之設計0 【發明内容】 201034738 項產業多年之累積經驗’進而研發出—種旋轉式溶劑回收 裝置及方法其可有政進行有機廢氣之淨化及其内有機溶 劑之回收。 為提成上述之目的，本發明係提供一種旋轉式溶劑回 收裝置纟係包含.—製程風車、一旋轉轉環式吸附器、 脫附氣源、-冷凝n及—分離槽，該旋轉式溶劑回收裝 置之特徵在於其中該旋轉轉環式讀器係由複數個吸附 箱塊(Block)組合而成，並進一步包含： -隔離箱’其係料區隔該旋轉轉環式吸附器為至少 一吸附區及一再生脫附區； -驅動減速機馬達’其係用於使該旋轉轉環式吸附器 產生步進式或連續式旋轉轉動； 一密封構件，其係用於密封該隔離箱與該旋轉轉環式 吸附器間之間隙，以減少處理之有機氣體外漏，且該密封 構件係包含： 一固定座，其係使該密封構件鎖固於該隔離箱上； 一禮封材料，其係用於使該隔離箱與該旋轉轉環式吸 附器之複數個吸附箱塊(Block)組合表面接觸密封。 如上所述之裝置，其中該隔離箱係可進一步區隔旋轉 轉環式吸附器為至少一吸附區、一再生脫附區及一隔離區 (Purge zone)或一吹除區。 再者，上述之旋轉式溶劑回收裝置，其中該密封構件 中密封材料係可财高溫達1 〇〇°C以上，更佳係可耐高溫達 250°C以上’以方便進行吸附材高溫活化之用。 5 201034738 其次，上述之旋轉式溶劑回收裴置，其中該密封構件 中密封材料之剖面係可為長方形、扁條形、圓形、橢圓形、 二角形或不規則形’並且該密封構件中密封材料之剖面可 進一步構成凹溝或v形結構之空氣層。 另，上述之旋轉式溶劑回收裝置，其中該密封構件中 密封材料係可由橡膠m鐵氟龍所構成，且該密封構 件中密封材料之剖面係可為P形剖面，並具中空結構之空 氣層。 同時，上述之旋轉式溶劑回收装置，其中該吸附箱塊 (Block)之吸附材係可為沸石、活性碳、矽膠、活性氧化鋁、 多孔性樹脂或其混合物，且該吸附箱塊(B1〇ck)之吸附體型 式係可為蜂巢狀、顆粒狀、球狀、纖維狀或不織布狀。 又，上述之旋轉式溶劑回收敎置，其中該吸脫附氣源 係可為蒸汽、氮氣、熱空減其混合交換使用；而該吹除 區之吹除氣源可為空氣或氮氣。 、並於上述之旋轉式溶劑回收裝置中，於該脫附再生出 口或吹除出D增設m料騎再生或吹除水氣是 否完成之依據，且該濕度計之設定為70〜9〇%rh。 此外，本發明亦提供一種旋轉式溶劑回收方法，其中 係使用如上述之裝置，且該方法包含下列之步驟： 步驟一：有機物質於吸附區被吸附； 步驟二：吸附材之再生並回收有機溶劑； 步驟三：吸附材之水氣去除； 步驟四：利用濕度計判斷吸附材之再生或吹除是否完 201034738 成。 並且’於上述—種旋轉式溶劑回收方法中， 三之後更進-步包括吸附材之冷卻。 乂驟 於上述-種旋轉式溶劑回收方法中，於該步驟四 更進-步包括吸_之高溫活化再生步驟。 並上述-種旋轉式溶劑回收方法中，該吸附材之高溫 活化再生步驟之再生溫度係以25Gt以上之熱空氣^ 行。 藉此，本發明之旋轉式溶劑回收之方法及裝置，可確 實係可以有效的淨化有機廢氣，朗時回收有機溶劑，並 藉由該裝置中之密封構件減少該旋轉轉環式吸附器於有 機廢氣處理時之逸漏，並該吸附箱塊之使用亦可利於其内 吸附劑之更新及更換，使本發明之旋轉式溶劑回收裝置更 具安全性及便利性。 【實施方式】 為使克分瞭解本發明之目的、特徵及功效，兹藉由下 述具體之實施例’並配合所附之圖式，對本發明做一詳細 說明，說明如後： 》 實施例1 本發明第一具體實施例之一種旋轉式溶劑回收裝置i 係如第-圖所示，其中該裝置係包含：_製程風車1〇、一 旋轉轉環式吸附器20、一冷凝器5〇及一分離槽6〇。 其中該旋轉轉環式吸㈣2G係由魏個曰吸附箱塊 (Bl〇Ck)22組合*成’其係由該等吸賤堆疊成柱狀，再 7 201034738 置入該旋轉轉環式吸附器20之中，其間若因該轉環所產 生之間隙則由鐵皮所密封，使該旋轉轉環式吸附器20成 為用於吸附有機物質及脫附有機溶劑之處理介質。 並該等吸附箱塊22中係裝載用以吸附有機廢氣之吸 附材，其中該吸附材可因應不同之有機廢氣而可為：沸 石、活性碳、矽膠、活性氧化鋁、多孔性樹脂或其混合物； 同時，該吸附箱塊22中之吸附體形式亦可因應不同需求 而可為：蜂巢狀、顆粒狀、球狀、纖維狀或不織布狀。 再者，該旋轉轉環式吸附器20借由一隔離箱30而隔 離出一吸附區I及一再生脫附區II，使待處理之有機廢氣 流經該吸附區I時，藉由該吸附箱塊22内之吸附材，吸 附有機廢氣中之有機物質（含有機溶劑），而淨化後之乾淨 氣體則自該旋轉轉環式吸附器20中央向上排出，而於該 再生脫附區II中，吸附於該吸附箱塊22内吸附材上之有 機物質（含有機溶劑），則藉由脫附氣源40將該等有機物質 自該吸附箱塊22内吸附材上脫附，再排至該冷凝器50進 行凝結，再進入該分離槽60進行有機溶劑之分離回收， 而上述脫附氣源40為蒸汽、氮氣、熱空氣或其混合交換 使用。 其次，為使該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20確實 隔離，於該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20上下兩側頂 面間安置一密封構件32，該密封構件(請參見第四圖）係包 含：一固定座33，其係使該密封構件32鎖固於該隔離箱 30之上；一密封材料34用於使該隔離箱30與該旋轉轉環 201034738 式吸附器20表面接觸密封。 32 34 材㈣可耐高溫達25心上，时便進行吸 =Γ:Γ用;且該密構件32之密封材料34其剖面 係叮為.長方形、扁條形、圓形、_形、 Ο
=椹並該密封材料34之部面可進一步構成一凹槽或V 形⑺構之空氣層，該空氣層係可用有效絕兩側不同之、田产 差，避免兩侧溫差之傳導流動；且該密封材料 = 形剖面（如第四圖中密封構件如之密封構件 Μ所不）’並具結構之空氣層；而該密封材料34 係可由橡膠、矽膠或鐵氟龍所構成。 而該旋轉轉環吸附器20係藉由一驅動減速機馬達％ 所驅動，且該驅動減速機馬達24之驅動方式係可為步進 式或連續式旋轉轉動。 ^ 另’於該再生脫附區II之出口增設一濕度計45，用 於偵測再生後流出氣體之濕度，以判斷該旋轉轉環吸附器 20吸附箱塊22吸附材上之脫附是否完全，而繼續重覆進 行吸附之用。 而本發明中該旋轉式溶劑回收裝置1之處理有機廢氣 並回收有機溶劑運行如下：即一有機廢氣5利用該製程風 車10抽送’可先經由或不經由一預冷器12進行預冷處 理，再流經該旋轉轉琢式吸附器20吸附區Ϊ中，經該旋 轉轉環式吸附器20吸附箱邋22之吸附材吸附有機物質 (含有機溶劑），將經淨化後之乾淨氣體自該旋轉轉壤式吸 201034738 附器20之中央向上排出；而吸附於該吸附箱塊22之吸附 材之有機物質（含有機溶劑）經該驅動減速機馬達24之帶 動，旋轉至隔離箱30内之再生脫附區II，脫附氣源40自 脫生脫附區上方輸送流經該再生脫附區II，將於其内吸附 箱塊22吸附材上之有機物質脫附，而輸送至該冷凝器50 之中，使其内之有機溶劑因降溫而凝結，並再輸送至該分 相槽60中，進行有機溶劑之液相分離，再將欲回收之有 機溶劑經一閥門66所回收，而經液相分離後之水自一排 水閥62所流出，而其他氣體則經由一排氣口 64所排出， 完成有機廢氣之處理及有機溶劑之回收。 實施例2 本發明另一具體實施例之一種旋轉式溶劑回收裝置2 係如第二圖所示，其中該裝置亦包含：一製程風車10、一 旋轉轉環式吸附器20、一冷凝器50及一分離槽60。 該旋轉轉環式吸附器20係由複數個吸附箱塊 (Block)22組合而成，其係由該等吸箱塊堆疊成柱狀，再 置入該旋轉轉環式吸附器20之中，其間若因該轉環所產 生之間隙則由鐵皮所密封，使該旋轉轉環式吸附器20成 為用於吸附有機廢氣及脫附有機溶劑之處理介質。 並該等吸附箱塊22中係裝載用以吸附有機廢氣之吸 附材，其中該吸附材可因應不同之有機廢氣而可為：沸 石、活性碳、碎膠、活性氧化銘、多孔性樹脂或其混合物； 同時，該吸附箱塊22中之吸附體形式亦可因應不同需求 而可為：蜂巢狀、顆粒狀、球狀、纖維狀或不織布狀。 10 201034738 再者，該旋轉轉環式吸附器20借由一隔離箱30而隔 離出一吸附區I、一再生脫附區II及一吹除區III，使待處 理之有機廢氣流經該吸附區I時，藉由該吸附箱塊22内 之吸附材，吸附有機廢氣中之有機物質（含有機溶劑），而 淨化後之乾淨氣體則自該旋轉轉環式吸附器20中央向上 排出，而於該再生脫附區II中，吸附於該吸附箱塊22内 吸附材上之有機物質（含有機溶劑），則藉由脫附氣源40將 該等有機物質自該吸附箱塊22内吸附材上脫附，再排至 該冷凝器50進行凝結，再進入該分離槽60進行有機溶劑 之分離回收，而上述脫附氮源40係可為蒸汽、氮氣、熱 空氣或其混合交換使用；而該吹除區III係以吹除氣源 42，以氮氣或空氣吹除該吸附箱塊22内吸附材，使該吸 附箱塊22内吸附材加速其内水氣之去除及溫度之降低， 而快速完成該吸附箱塊22内吸附材之再生活化。 其次，為使該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20確實 ❹ 隔離，於該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20上下兩側頂 面間安置一密封構件32，該密封構件(請參見第四圖）係包 含：一固定座33，其係使該密封構件32鎖固於該隔離箱 30之上；一密封材料，其係用於使該隔離箱30與該旋轉 轉環式吸附器20表面接觸密封。 上述密封構件32之密封材料34較佳係可耐高溫達 100°C以上，更佳係可耐高溫達250°C以上，以方便進行吸 附材高溫活化之用；且該密構件32之密封材料34其剖面 係可為：長方形、扁條形、圓形、橢圓形、三角形或不規 11 201034738 則形，並該密封材料34之部面可進一步構成一凹槽或V 形結構之空氣層，該空氣層係可用有效絕兩侧不同之溫度 差，避免兩側溫差之傳導流動；且該密封材料之剖面最佳 係為一 P形剖面（如第四圖中密封構件32-1之密封構件 34-1所示），並具一中空結構之空氣層；而該密封材料34 係可由橡膠、矽膠或鐵氟龍所構成。 而該旋轉轉環吸附器20係藉由一驅動減速機馬達24 所驅動，且該驅動減速機馬達24之驅動方式係可為步進 式或連續式旋轉轉動。 另，於該吹除區III之出口增設一濕度計45，用於偵 測再生後流出氣體之濕度，以判斷該旋轉轉環吸附器20 吸附箱塊22吸附材上之脫附是否完全，而繼續重覆進行 吸附之用。 而本發明中該旋轉式溶劑回收裝置2之處理有機廢氣 並回收有機溶劑運行如下：即一有機廢氣5利用該製程風 車10抽送，可先經由或不經由一預冷器12進行預冷處 理，再流經該旋轉轉環式吸附器20吸附區I中，經該旋 轉轉環式吸附器20吸附箱塊22之吸附材吸附有機物質， 將經淨化後之乾淨氣體自該旋轉轉環式吸附器20之中央 向上排出；而吸附於該吸附箱塊22之吸附材之有機物質 (含有機溶劑）經該驅動減速機馬達24之帶動，旋轉至隔離 箱30内之再生脫附區II，脫附氣源40自脫生脫附區上方 輸送流經該再生脫附區II，將於其内吸附箱塊22吸附材 上之有機物質脫附，而輸送至該冷凝器50之中，使其内 12 201034738 之有機溶劑因降溫而凝結，並再輸送至該分相槽60中， 進订有機溶劑之液相分離，再將欲回收之有機溶劑經一閥 門66所回收，而經液相分離後之水自一排水閥62所流 出’而其他氣體則經由一排氣口 64所排出’完成有機廢 氣之處理及有機溶劑之回收；而於旋轉式溶劑回收裝置2 中該旋轉轉環式吸附器2〇，藉由該隔離箱30内之該吹除 區ΠΙ進行吹除操作，利用吹除氣源42提供氮氣或空氣， ❹ 快速吹除該吸附箱塊22内吸附材之水氣並降溫，且該吹 除氣體可直接排出或經由一閥門46控制再流回該製程風 車10進行氣體淨化；且該吹除後之氣體可再流經該濕度 計45偵測其内满度，以判斯該吸附箱塊内吸附材之再 生是否完成。 實施例3 本發明再一異體實施例之一種旋轉式溶劑回收裝置3 係如第三圖所示，其中該裝置亦包含：一製程風車10、一 〇 旋轉轉環式吸附器20、一冷凝器50及一分離槽60。 該旋轉轉環式吸附器20係由複數個吸附箱塊 (Block)22組合而成’其係由該等吸箱塊堆疊成柱狀，再 -置入該旋轉轉環式吸附器20之中’其間若因該轉環所產 生之間隙則由鐵皮所密封’使該旋轉轉環式吸附器20成 為用於吸附有機廢氣及脫附有機溶劑之處理介質。 並該等吸附箱塊22中係裝載用以吸附有機廢氣之吸 附材，其中該吸附材可因應不同之有機廢氣而可為：沸 石、活性碳、碎膠、活性氧化铭、多孔性樹脂或其混合物； 13 201034738 同時，該吸附箱塊22中之吸附體形式亦可因應不同需求 而可為：蜂巢狀、顆粒狀、球狀、纖維狀或不織布狀。 再者，該旋轉轉環式吸附器20借由一隔離箱30而隔 離出一吸附區I、一再生脫附區II及一隔離區（Purge 區）IV，使待處理之有機廢氣流經該吸附區I時，藉由該吸 附箱塊22内之吸附材，吸附有機廢氣中之有機物質（含有 機溶劑），而淨化後之乾淨氣體則自該旋轉轉環式吸附器 20中央向上排出，而於該再生脫附區II中，吸附於該吸 附箱塊22内吸附材上之有機物質（含有機溶劑），則藉由脫 附氣源40將該等有機物質自該吸附箱塊22内吸附材上脫 附，再排放至該冷凝器50進行凝結，再進入該分離槽60 進行有機溶劑之分離回收，而上述脫附氮源40係可為蒸 汽、氮氣、熱空氣或其混合交換使用；而該隔離區（Purge 區）IV係為該再生脫附區II與該吸附區I間之一緩衝區， 於該隔離區IV内，可利用一風扇47之抽送，使空氣流經 該隔離區IV内該吸附箱塊22内之吸附材，使該吸附箱塊 22内吸附材之水氣散失並及降低溫度，而使進入吸附區I 之該吸附箱塊内吸附材皆再生完全，得以重覆進行吸附有 機廢氣之處理。 其次，為使該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20確實 隔離，於該隔離箱30與該旋轉轉環吸附器20上下兩側頂 面間安置一密封構件32，該密封構件（請參見第四圖）係包 含：一固定座33，其係使該密封構件32鎖固於該隔離箱 30之上；一密封材料，其係用於使該隔離箱30與該旋轉 14 201034738 轉環式吸附器20表面接觸密封。 上返密封構件32之後封材料34較佳係可耐高溫達 100eC以上，更佳係可耐高溫達250°c以上，以方便進:
附材高溫活化之用；且該密構件32之密封材料34其剖面 係可為：長方形、扁條形、圓形、橢圓形、三角形或^規 則形，並該密封材料34之部面可進一步構成一凹槽或v 形結構之空氣層，該空氣層係可用有效絕兩側不同^^产 差’避免兩侧溫差之傳導流動；且該密封材料之剖面 係為一 P形剖面（如第四圖中密封構件32-1之密封構件 34-1所示），並具一中空結構之空氣層；而該密封材料％ 係可由橡膠、矽膠或鐵氟龍所構成。 而該旋轉轉環吸附器20係藉由一驅動減速機馬達％ 所驅動，且該驅動減速機馬達24之驅動方式係可為步進 式或連續式旋轉轉動。 另，於該隔離區IV之出口增設一濕度計45，用於偵 測自該隔離區IV所流出氣體之濕度，以判斷該旋轉轉環 吸附器20吸附箱塊22吸附材上之脫附是否完全’而繼續 重覆進行吸附之用。 而本發明中該旋轉式溶劑回收裝置2之處理有機廢氣 並回收有機溶劑運行如下··即一有機廢氣5利用該製程風 車10抽送，可先經由或不經由一預冷器12進行預冷處 理，再流經該旋轉轉環式吸附器20吸附區I中，經該旋 轉轉環式吸附器20吸附箱塊22之吸附材吸附有機物質， 將經淨化後之乾淨氣體自該旋轉轉環式吸附器20之中央 15 201034738 向上排出；而吸附於該吸附箱塊22之吸附材之有機物質 (含有機溶劑）經該驅動減速機馬達24之帶動，旋轉至隔離 箱30内之再生脫附區II，脫附氣源40自脫生脫附區上方 輸送流經該再生脫附區II，將於其内吸附箱塊22吸附材 上之有機物質脫附，而輸送至該冷凝器50之中，使其内 之有機溶劑因降溫而凝結，並再輸送至該分相槽60中， 進行有機溶劑之液相分離，再將欲回收之有機溶劑經一閥 門66所回收，而經液相分離後之水自一排水閥62所流 出，而其他氣體則經由一排氣口 64所排出，完成有機廢 氣之處理及有機溶劑之回收；而於旋轉式溶劑回收裝置2 中該旋轉轉環式吸附器20，藉由該隔離箱30内之該隔離 區IV進行緩衝處理，利用抽送空氣而使該吸附箱塊22内 吸附材之水氣散失並降低溫度，且該抽送氣體可直接排出 或經由一閥門46控制再流回該製程風車10進行氣體淨 化；且該抽送氣體可再流經該濕度計45偵測其内濕度， 以判斷該吸附箱塊22内吸附材之再生是否完成。 此外，本發明亦提供一種旋轉式溶劑回收方法，其中 係使用如上所述之裝置，且該方法包含下列之步驟： 步驟一：有機物質於吸附區被吸附； 步驟二：吸附材之再生並回收有機溶劑； 步驟三：吸附材之水氣去除； 步驟四：利用濕度計判斷吸附材之再生或吹除是否完 成。 並且，於上述一種旋轉式溶劑回收方法中，於該步驟 16 201034738 三之後更進一步包括吸附材之冷卻β 於上述一種旋轉式溶劑回收方法中，於該步驟四之後 更進一步包括吸附材之高溫活化再生步驟。 並上述一種旋轉式溶劑回收方法中，該吸附材之高溫 活化再生步驟之再生溫度係以250°C以上之熱空氣來進 行0 藉由上述之裝置及方法，可有效進行有機廢氣之淨化 〇 及其内有機溶劑之回收，利用一旋轉轉環式吸附器來替代 傳統之濃縮轉輪，利用該旋轉轉環式吸附器内之吸附箱塊 進行有機廢氣之吸收及脫附，再搭配冷凝器及分離槽來回 收該有機廢氣中之有機溶劑，有效回收有機溶劑；而藉由 該吸附箱塊易於替換及更新不同吸附材料及型式，增加本 發明中該旋轉式溶劑回收裝置之效率及便利性，且於該旋 轉轉環式吸附器中之隔離箱之密封構件，減少有機廢氣處 ❹ 理時之逸漏，同時確保處理時之安全性；再者，利用諸如 人除區及隔離區之設置再搭配偵測濕度計之安裝，使本裝 置使用時該吸附材之脫附再生與水氣吹除更為周全，亦使 - 得本裝置及方法更具效率。 _本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技 術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解 讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等 效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇内。因 此，本發明之保護範圍當以下文之申請專利範圍 者 為準。 17 201034738 【圖式簡單說明】 第一圖係為本發明一具體實施例一旋轉式溶劑回收裝置 之示意圖。 第二圖係為本發明再一具體實施例一旋轉式溶劑回收裝 置之示意圖。 第三圖係為本發明另一具體實施例一旋轉式溶劑回收裝 置之示意圖。 第四圖係為本發明旋轉式溶劑回收裝置中密封構件之示 意圖。 【主要元件符號說明】 1 旋轉式溶劑回收裝置 2 旋轉式溶劑回收裝置 3 旋轉式溶劑回收裝置 5 有機廢氣 10 製程風車 12 預冷器 20 旋轉轉環式吸附器 22 吸附箱塊 24 驅動減速機馬達 30 隔離箱 32 密封構件 33 固定座 34 密封材料 脫附氣源 18 40 201034738 42 吹除氣源 45 濕度計 46 閥門 47 風扇 50 冷凝器 60 分離槽 - 62 排水閥 * 64 排氣口 Ο 66 閥門 I 吸附區 II 再生脫附區 III 吹除區 IV 隔離_區