TW201028548A - Vacuum pump - Google Patents

Description

201028548 六、發明說明： 【發明所靥之技術領域】 本發明係有關於一種真空泵，尤有關於一種螺旋式真 空泵。 【先前技術】 真空栗，諸如螺旋式（screw-type)真空栗，包括一被形 成於一殼體中之泵壓室。通常，兩泵壓元件被配置在此泵 ^ 壓室中。在螺旋式真空泵中，這些泵壓元件各被形成一螺 〇 旋式（helical)泵壓元件，亦即一當作一泵壓元件並被配置 在一轉子軸上之螺旋捲筒（helical web)。螺旋式真空泵包括 兩此類栗壓元件，其被驅動以便在兩相反方向上轉動並被 配置成相互啣合狀態。在傳統之真空泵中，兩個轉子軸被 分別支撐於兩側。爲確保泵之良好抽吸性能，此諸轉子軸 必須被極精密地支撐，因爲只有一適當精密之支撐才可將 諸泵壓元件與殼體內壁件之間隙保持處於最小狀態。該間 〇 隙之一過大寬度將會導致輸送媒介質之逆流，因此而降低 栗壓性能。 由於輸送媒介質中之顆粒或由於輸送媒介質之成分， 使得在此諸泵壓元件上有形成沉積物之趨勢。因此，爲避 免損壞諸泵壓元件，此諸泵壓元件必須以固定之時間間隔 予以定期清潔。尤其是在高黏著性污染物之情形中，此清 潔程序必須以機械方式被執行。此相應地必需麻煩地拆解 真空泵，尤其是同時必須移除諸支撐部分。 201028548 爲了減少執行此項拆解之花費，另一習知之作法係僅 在一側上支撐諸轉子軸。在此一情形中，支撐結構可被設 置在此泵之出口側上。因此，可經由進口側而將泵殻體從 兩泵壓元件處取出。於是此諸泵壓元件可被自由地接近並 可被清潔。然而，轉子之單側式支撐之缺點在於：因爲此 諸泵壓元件之重量及由於所發生之力與力矩，此支撐必然 是一種複雜之設計。此外，此諸泵壓元件之堅硬度必須被 選定成可避免轉子軸之懸臂部分產生撓曲。此諸措施涉及 ❾ 可觀之花費。 本發明之一目的在於提供一種真空泵，尤其是一種螺 旋式真空泵，其中此泵即使在以雙側支撐此等泵壓元件之 情形下亦可用一簡單之方式被接近以達清理之目的。 【發明內容】 根據本發明，上述之目的可藉由申請專利範圍第1項 中所述之諸特徵而達成。 Q 本發明之真空栗，尤其是一種螺旋式真空泵’通常包 括兩個具有雙側式支撐之轉子軸。此諸轉子元件承載諸形 似螺旋捲筒之泵壓元件。因此，此諸轉子軸之支撐被設置 在諸泵壓元件之兩側上，亦即通常是進口與出口區域。此 雙側式支撐允許使用相當便宜之支撐元件。尤其’轉子軸 之剛性也得以被降低，因爲對照於具有單側式支撐之轉子 軸，具有雙側式支撐之轉子軸在彎曲危險性方面將頗小。 爲了可接近諸泵壓元件’特別是爲了清潔之目的’配 -4- 201028548 置有諸泵壓元件之泵壓室於其內之殻體配備有至少一彻·! 蓋。該側蓋延伸在此殼體之縱長方向上，並因此被配置成 實質上平行於諸轉子軸之縱向軸線。藉由開啓此至少一側 蓋，兩泵壓元件中之至少一者可在殼體之區域中接近’因 此可被清潔。藉由轉動此泵壓元件，諸泵壓元件之諸不同 區域將被移動至孔口內，因而得以用一簡單之方式完全清 潔此栗壓元件。較佳地，一第二側蓋被提供用於第二泵壓 元件，所以使各側蓋將關閉一個位於殼體中之孔口，其中 諸開口將分別可接近一泵壓元件並可清理此泵壓元件。亦 可提供一可供兩泵壓元件用之共同側蓋；然而，此蓋件之 內部輪廓將會較爲複雜。另外，此一共同側蓋將具有一較 大之寬度，因此，而必須給與其加强之剛性。因此，在本 發明中，較佳地提供兩個側蓋，較佳地彼此相對地排列著。 亦有可能提供第三或甚至第四側蓋，以便能夠用一種更快 且更容易之方式清潔此諸泵壓元件。 根據本發明之一尤佳實施例，該至少一側蓋被配置成 伸入進口及/或出口區域內。因此’此側蓋關閉一延伸超過 諸栗壓元件之進口及出口平面的開口。因此’將可用一種 簡單之方式來針對那些易於產生嚴重沉積之進口與出口區 域執行徹底之清潔。根據本發明之一較佳實施例，該至少 一側蓋具有一較泵壓元件之長度大之寬度，所以此側蓋可 伸入進口及出口區域內。因此，藉移除此側蓋，可使相對 應之泵壓元件可沿著其全長而自由地接近，所以藉由轉動 201028548 此泵壓元件，整個泵壓元件可經由一被形成於殻體中之單 一開口而被潔淨。 位於殻體中並由該側蓋所關閉之開口較佳地具有一寬 度，其相當於泵壓元件之直徑的至少三分之二，並較佳地 係大於此泵壓元件之長度。因此，爲了清理，此孔口將會 露出較佳爲螺旋式之泵壓元件的全長及其大部分之寬度。 因此，藉由轉動此泵壓元件，整個此泵壓元件可用一種簡 單之方式被清潔。 ® 在一螺旋式栗中，泵壓室之截面對應於兩個相互疊置 之圓形柱體。因此，泵壓室具有一彎曲之泵壓室內壁》在 諸圓柱形泵壓元件中，此栗壓室內壁係由兩部分之圓柱形 周圍表面所構成。結果，該至少一個側蓋亦爲彎曲並包括 至少一個彎曲內側面，其形成該泵壓室內壁之一部分。因 此，密封表面可視設計而定地具有一彎曲區域。尤其，此 彎曲區域將會是該密封表面與諸泵壓元件的周圍方向成平 Q 行延伸之那部分。通常，因爲一諸如〇形環之密封元件、 一扁平密封件、或類似者被用以密封位於被設置於側蓋與 殼體上的諸密封表面之間，故洩漏會發生在此成彎曲之密 封表面的區域中。因此，這側蓋被形成爲可使介於此側蓋 與殼體間之密封表面被配置在一平面之中。此具有之優點 在於：一被配置在該兩密封表面間之密封元件不需被作成 弧形或彎曲，因此密封效果將會被改善。根據一尤佳實施 例，其中一平面狀密封表面可用一簡單之型式被形成，此 201028548 側蓋具有一較泵壓元件的長度大之寬度。此將可使密封表 面之平面被配置在一使此密封表面之平面與泵壓元件相交 之方位上。因此，此位於輸送方向上且被配置在此泵壓元 件之上游及下游處之密封表面區域（亦即在進口及出口區 域中）係一切穿此泵壓元件之區域或線。 根據另一較佳實施例，該至少一側蓋及/或殻體在各自 之密封表面中配備有一較佳用於容納一密封元件之周圍溝 槽。此密封元件較佳地被提供爲一可自行閉合式0形環且 ❹ 具有一例如圓形、橢圓形或亦可爲矩形截面。 較佳地，較佳爲周圍類型之間隙被提供於該溝槽與泵 壓室之間。因此，可確保例如兩密封表面在此溝槽外側相 互緊靠，所以此側蓋之位置可被精確地界定。如果必要， 除了被配置在溝槽中的密封元件之外，密封材料可被提供 於該間隙中。例如，此間隙可被充塡以一種密封物質，或 一卡紙密封件可被提供等。根據另一可選用者，該可自行 Q 閉合之密封元件及該充塡間隙用之密封元件可被一體成型 爲一單件。例如，可提供具有一實質地成L型截面之對應 單一密封元件。 將該至少一側蓋連接至殻體間係由多個緊固元件（較 佳係螺絲）、螺紋銷及類似者所達成。較佳地，此諸緊固元 件被形成及/或配置成使得其等將產生一實質上與密封表 面成垂直地作用之力。依此方式，諸密封元件位移及所導 致之洩漏可被避免。 .201028548 因爲上述類型之真空泵在此將需要冷卻，故一尤佳之 實施例爲配備有一冷卻元件，其被配置在該側蓋中或在複 數個此類側蓋之每一者中。例如，一冷卻元件可被直接連 接至該蓋件。較佳地，該冷卻元件被設置成冷卻導管型式 (例如管件），以便可經此而泵送一冷卻液體（通常是水）。 較佳地，該至少一冷卻導管被整合於該側蓋內。例如，此 側蓋配備有若干延伸於縱長方向上之孔，因而允許直接冷 ^ 卻此側蓋。 ❿ 根據另一實施例，一冷卻板被連接至此側蓋’其中此 連接較佳係一種表面的連接，因此確保在此側蓋與此冷卻 板間之良好熱傳輸。此冷卻板可被形成爲使得至少一冷卻 導管被整合至此冷卻板內。提供一被連接至此側蓋上之分 離的冷卻板具有之優點在於：爲更易於拆解，可首先移除 此冷卻板且接著開啓此側蓋。例如，如果此冷卻板經由多 條撓性管而被連接至冷卻系統，則將不需要爲了開啓側蓋 〇 而排放冷卻液體。 爲了利於調整此側蓋，提供了多個調整元件。較佳地， 這些被配置爲與密封表面成垂直，並較佳地被形成爲調整 銷或類似者。根據一較佳實施例，此側蓋配備有一較佳爲 周圍之調整突出部，其延伸進入泵壓室之開口內。因此， 該調整突出部形成此泵壓室之內壁的一部分。因此，可確 保的是，此在一方面係藉由側蓋之內側面而另一方面則係 藉由殻體之內壁所形成之泵壓室內壁將會是無梯級的》 201028548 根據另一較佳實施例，密封表面被配置在距此側蓋之 內側面（其形成該泵壓室內壁）一距離處。因此，此密封 表面不會直接與該內側面相交，所以沒有邊緣存在於此密 封表面與此側蓋之內側面間。此提供之優勢在於：此側蓋 之位置，尤其在此側蓋與栗壓元件間之距離，可用依傳統 之方式藉由此側蓋之位移垂直對應於轉子軸之縱向軸線而 被調整。較佳地，此調整可藉由配置一介於側蓋之密封表 面與殻體之密封表面間之中間元件而被執行。此中間元件 Ο 可被提供爲一密封件形式，其中爲了調整之目的此諸密封 件之厚度與數量被改變。此將得以進行非常高精度之調 整，因而可在泵壓室內壁與側蓋內側面之間得有一無梯級 之轉變。 爲了形成此泵壓室內壁’有利地使此側蓋處於關閉位 置中而進行表面處理，所以此側壁之內側面連同殼體之內 壁可一起被處理。因此。將可確保獲致一完全無梯級之轉 ❹ 變。 【實施方式】 本案所附圖式中，根據第—實施例（第1至4圖）所 說明之螺旋式真空泵包括一殼體10 ’其中容納兩個螺旋式 泵壓元件12。此兩泵壓元件12被配置在由殼體10所界定 之泵壓室中。此兩泵壓元件12各由一轉子軸14所承載， 並使得此諸轉子軸14經由滾珠軸承16, 18而被配置在殼體 10之分隔壁20，22中。此兩轉子軸14被連接至諸彼此相 201028548 嚙合之齒輪24上。此配置將可確保兩泵壓元件12之同步。 兩轉子軸14中之一者被連接至一電動馬達（未示於圖）以 便可被其所驅動。 根據本發明，因爲此螺旋式真空泵係一種在其中諸泵 壓元件12被支撐在兩側上之泵，故設置了多個側蓋26, 28 以利於清潔此諸泵壓元件12。此諸側蓋26, 28延伸在與諸 轉子軸之縱向軸線30相平行之縱長方向上。 在此所說明之示範性實施例中，將被此螺旋式真空泵 〇 縮輸送之媒介質係經由一進口 32(第1圖）而被吸入，並 經由一出口 34 (第2圖）而被排出。 在此所示本發明的第一實施例（第1至4圖）中，諸 側蓋26，28略微伸入進口區域36以及出口區域38內。依 此方式，將可確保在各別側蓋已被開啓之狀態下，將可沿 著諸泵壓元件12之全長（亦即從進口 36至出口 38)而接 近此諸泵壓元件。 Q 在此第一實施例（第1至4圖）中，多個被提供於殼 體10上之密封表面40, 42被分別安置在多個位於泵壓室外 側之平面中，其中此泵壓室形成完全被諸泵壓元件12所塡 滿之空間。分別地由諸密封表面40, 42所界定之諸平面44 (第4圖）因此不會與泵壓室相交，同時使得此泵壓室可 由諸側蓋26, 28之內側面46所形成，且另由殼體10所界 定之泵壓室內壁48所形成。因此，當此諸密封表面40, 42 相對於泵壓室而被觀看時，係位於向外側位移之諸位置 -10- 201028548 上。與此諸密封表面40, 42相對的，諸側蓋26, 28包括諸 相對應之密封表面50。在兩對密封表面40及50與42及 5 〇間分別配置一扁平密封件。諸側蓋之固定可藉由多個被 旋入殼體10之螺紋52中之螺絲（未示於圖）而被達成。 此諸側蓋26, 28之調整可藉由對應地選定被配置在諸對密 封表面40, 50;42, 50間之密封件的厚度而達成。因此，將 可用一種簡單之方式來實現諸側蓋26，28的諸內側面46 與栗壓室內壁48間之大致無梯級的轉變。

G 另一密封功效可藉由兩個與諸密封表面40, 42成垂直 地配置之密封表面54而達成。在此所示之實施例中，兩側 蓋26, 28在緊靠諸密封表面54之區域中配備有一各自之溝 槽56。被配置在此溝槽內者係一可供密封用之〇形環（未 被顯示於第4圖中）。溝槽56係一種周圍溝槽且被設置成 相當接近諸平面44，所以同樣地在密封件係實質地與諸泵 壓元件成相切延伸之諸區域中，溝槽56並非彎曲而是可被 φ 配置在一平面中。這些區域係指此溝槽垂直於縱長方向而 延伸之區域。 爲達成一良好之熱傳遞並實現一最佳之恆定熱膨脹係 數，諸側蓋26，28實質地在所有的區域中具有相同之壁 厚。爲達冷卻之目的，多條冷卻導管60被配置在諸側蓋 26，28之外側面58上》 根據另一較佳實施例（第5圖），其中僅僅諸側蓋62, 64 之形狀係與第一實施例（第1至4圖）中者不同而已。其 -11- 201028548 他之組件均被標示以相同之元件符號。諸側蓋62，64面向 諸泵壓元件12方向之諸內側面係以一種與第一實施例相 對應之方式被形成；因此，尤其如第4圖中所示之該調整 與該等密封特徵將在此被再度地提供。 在諸側蓋62, 64之外側面上，配置有多個相分離之冷 卻板66，其係藉由螺絲或其他緊固元件而被緊固於此諸側 蓋62，64之外側面上。 I 第6及7圖所示之本發明的另一實施例不同於第一實 〇 施例（第1至4圖）處僅在於諸側蓋70, 72之大小，所以 其他之組件及其等之元件符號均相對應於第一實施例中 者。尤其如第4圖中所示之該調整與該等密封特徵將被再 度地提供。 在本實施例中之諸側蓋70, 72並不沿著諸泵壓元件12 之全長延伸。而是，此諸側蓋70, 72僅被配置在一位於出 口側上之區域中。此區域係指在其中待被輸送之流體的凝 Q 結係最高之區域，而發生在此區域中之沉積尤其嚴重。諸 側蓋70, 72因此僅伸入出口區域38。根據本實施例對此諸 側蓋70, 72進行冷卻之作法在原理上係相對應於在第一實 施例（第1至4圖）中者。 根據在第8圖中以剖面所顯示之另一實施例，諸側蓋 74，76係一基本上與上述諸實施例中之諸側蓋屬不同之設 計者。然而，將諸泵壓元件12配置在殻體1〇內則係與上 述諸實施所示者一致，及因此尤如第2圖所說明般地係由 -12- 201028548 諸轉子軸所承載並被支撐於諸殼體壁中。驅動亦藉由如第 2圖中所述之方式而被提供。 在此處，諸側蓋74，76被構形爲可使得由諸密封表面 78所界定之諸平面80可與泵壓室相交。首先，此具有之 優點在於：在此諸側蓋74, 76已被移除之情況中，泵壓元 件12延伸穿過一殻體開口，因此可用一種簡單之方式予以 清理。第8圖所Tpc之實施例的另一優點在於：密封表面54 Q 可被省略。否則，此一密封表面54可能會因爲腐蝕或污染 而使得此側蓋之移除變爲困難。 另一方面，諸密封表面78被構形爲它們均位於一個平 面中，及無彎曲，尤其無需諸密封原件彎曲。因此，一本 身閉合且被配置在側蓋74或76之溝槽82中的Ο形環84 被配置在一平面中，因而考慮到一良好之密封效果。爲達 此目的，有必要使諸側蓋74, 76在縱長方向上沿著諸泵壓 元件12之全長而延伸，並伸入進口區域36及出口區域38 Q 內。只有在此諸區域中才可能將多個非彎曲之密封元件設 置在一平面80中。 在此所示之實施例中’諸側蓋74，76之調整係藉助於 多個垂直地延伸至密封表面78之調整銷86而被實施。於 是最終之連接將藉多根螺絲88而被進行，而這些螺絲88 亦與密封表面78成垂直地延伸’所以其等如同在其他實施 例中之情形般地，產生一實質地與密封表面78成垂直地作 用之力。 -13- 201028548 當然，諸側蓋74，76之外側面可再次地與諸冷卻元件 相連接，如在上述諸實施例之內容中已說明者。 在第9至14圖中顯示不同之密封件實施例，其可用來 取代第8圖中所示之密封件8 4。 第9圖顯示一具有圓形截面之傳統〇形環84,其被配 置在溝槽82中。一斜面94被設置在介於蓋內側面90與泵 壓室內壁92之間的轉變區域中。 同樣地，在第10圖所示之實施例中，一圓形〇形環 〇 84被配置在溝槽82中。此外，從溝槽82處起，一周圍間 隙96被提供於泵壓室之方向上。 在第1 1圖所示之實施例中，間隙96係藉由一密封件 98 (諸如一密封物質或類似者）而被封閉。 同樣地，在第12圖中，間隙96被封閉，然而其中此 密封在此係藉由一特殊造型之〇形環而達成，而此〇形環 各自包括一充塡該間隙之突出部並具有—L形截面。 〇 在第13圖所示密封件之實施例中，溝槽82.被設置在 殻體10內，並係在泵壓室之方向上成敞開。溝槽82之此 側被一調整突出部1〇1所封閉。被連接至側蓋上之調整突 出部101被進一步配置成緊靠在殼體10之一調整表面1〇3 上，並用以調整位於殼體10中之側蓋74, 76。 另外，亦可提供一扁平密封件102(第14圖）於一對 應形成之周圍溝槽104中。此外’爲改善安全性’一 0形 環84可被安置在溝槽82中。 -14 - 201028548 第1 5至1 7圖係可供側蓋造型選用之原則性型式的示 意圖。 第1 5圖係第8圖中所示之側蓋74或76的主要側視 圖，其中由第15圖尤其顯然可知的是側蓋延伸入進口區域 36與出口區域38內。因此，即使一延伸穿過此密封表面 78之平面通過泵壓室並分別與泵壓元件12相交，這在當 提供一非常小巧之設計時將可賦予密封表面78 —個扁平 之形狀。因此，密封件（例如〇形環）亦被配置在一平面 ❹ 內且並不彎曲。 第16及17圖所示者係具有彎曲密封表面所以0形環 密封件亦對應地成彎曲之諸實施例。未被顯示於第15圖中 之銳利邊緣對密封件（尤其是〇形環）具有有害的效果。 此一邊緣可能導致密封效果之降低。例如在第16及17圖 中所提供類型之半徑考慮到一無扭結之轉變。尤其如第17 圖所示之蓋件之下側區域的傾斜形狀將有助於移除。在第 0 1 7圖所示之配置中，側蓋74, 76之開口的左手或右手側邊 緣於至少在一側上被傾斜地朝外側定向且較佳係在兩側 上。 另外亦可備設置成，在此兩側中之一者上，側蓋74, 76 係一被拉向內側之形狀，所以例如側蓋74，76終止於出口 區域38靠近該軸之左邊處。在此區域中，於是可形成一密 封件用之環狀支撐表面，其相對於該軸之縱向軸線而以一 平面形狀延伸。另一方面，此表面亦可相對於該軸之縱向 -15- 201028548 軸線成一角度地延伸。 另外，亦可提供一具有u形截面之側蓋。此側蓋係對 應於殼體之一半體而被構形，並被配置在兩個凸緣之間。 在此，此兩凸緣（其中尤其配置有軸承）分別地包括一較 佳與泵壓元件12之縱向軸線成垂直地延伸之表面。一上殻 體及一下殻體被設置在此兩軸承凸緣之間，此諸殼體半體 中之一者被固定，而另一個則係可移動的。在此配置型式 _ 中，調整係例如經由諸調整銷及位於諸殼體半體之相對側 〇 上的諸對應凹部而被執行。 一種三維彈性體密封件可被提供作爲一密封件。在諸 軸承凸緣之內表面上，該密封件包括一已被封閉之密封元 件，其係經由兩個延伸在諸殼體半體之諸密封表面中的密 封件而被連接。這兩個密封件係成一直線形狀。 雖然本發明已參照其特定之實施例而被敘述及顯示於 上，但此並非用以將本發明限定於那些說明性實施例。那 〇 些熟習本藝之人士將承認許多變更與修改均可在不脫離本 發明如由下附之申請專利範圍所界定之範圍下而被達成。 因此，在本發明之範圍內將涵蓋所有落在所附申請專利範 圍所界定之範圍內的此類變更與修改以及其均等物。 【圖式簡單說明】 本發明之完整及使本藝中之一般技術人士可據以將其 實施之內容（包括其最佳模式）已被詳細提出於上列說明 中，而此說明之內容則包含並參照本案之附圖，其中： -16- 201028548 第1圖係一根據本發明所實施之螺旋式真空泵之第一 較佳實施例之示意立體圖， 第2圖係一沿著第1圖中之Π_Π線所取之示意剖面 圖，其中該側蓋係處於其已安裝之狀態中， 第3圖係一沿著第2圖中之線III-III所取之示意剖面 圖， 第4圖係第3圖中之區域iv之示意剖面圖， 第5圖係一根據本發明所實施之螺旋式真空泵之另一 ❹ 較佳實施例之示意立體圖， 第6圖係一根據本發明所實施之螺旋式真空泵之又一 較佳實施例之示意立體圖， 第7圖係一沿著第6圖中之線VII-VII所取之示意剖 面圖， 第8圖係一根據本發明之另一實施例所實施之螺旋式 真空泵之泵殼體的另一實施例之示意剖面圖， 〇 第9至1 4圖係位於側蓋與殼體之間的諸密封元件之不 同實施例之示意詳細視圖，及 第1 5至1 7圖係可供側蓋位於殻體中之孔口所選用之 不同造型原則。 【主要元件符號說明】 10 殼體 12 泵壓元件 14 轉子軸 16/18 軸承 -17- 201028548 ❹ 20/22 分隔壁 24 齒輪 26/28 側蓋 30 縱向軸線 32 進口 34 出口 3 6 進口區域 3 8 出口區域 40/42 密封表面 44 平面 46 內側面 48 內壁 50 密封表面 52 螺紋 54 密封表面 56 溝槽 5 8 外側面 60 冷卻導管 62/64 側蓋 66 冷卻板 70/72 側蓋 74/76 側蓋 7 8 密封表面 80 平面 82 溝槽 -18- 201028548 84 〇形環 86 調整銷 8 8 螺絲 90 內側面 92 內壁 94 斜面 96 周圍間隙 9 8 密封件 1 00 0形環 10 1 調整突出部 102 扁平密封件 103 調整表面 1 04 周圍溝槽 ❹ -19

Claims (1)

1. 201028548 七、申請專利範圍： 1. 一種真空泵，尤其是一種螺旋式真空泵，其包括： 一殻體（10)，其界定一泵壓室，並具有複數個被配置 於其中之泵壓元件（I2)，及 複數個轉子軸（14)，其承載該等泵壓元件（12)，並 在兩側上被分別支撐著， 其中 • 該殻體（10)包括至少一側蓋（26, 28; 62, 64; 70, 72; 〇 74，76 )，其實質地係平行於該等轉子軸（14 )之縱向軸 線（3 0 )而延伸。 2. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中設置了一進口區 域（36)，其在輸送方向上被配置在該等泵壓元件（12) 之上游處，而該進口區域（36)具有伸至其內之該側蓋 (26，28; 62，64; 74，76 ) ° 3. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中設置了一出口區 〇 域（38)，其可在輸送方向上被配置在該等泵壓元件（12) 之下游處，而該出口區域（38)具有伸至其內之該側蓋 ( 26, 28; 62, 64; 70, 72; 74, 76 ) » 4. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中一密封表面（40, 42, 78)被配置在一平面（44, 80)中，而該平面較佳地係平 行於該等轉子軸（14)之縱向軸線（30)而延伸。 5. 如申請專利範圍第4項之真空泵，其中該密封表面（78) 之該平面（80)與該泵壓室相交。 -20- 201028548 6. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該等側蓋（26, 2 8; 62, 64; 70, 72; 74, 76)及/或該殻體（1〇)包括—被配置 在該密封表面（40, 42, 78)中之周圍溝槽（56, 82)。 7. 如申請專利範圍第6項之真空泵，其中一間隙（96 )設 於該溝槽（82 )與該泵壓室之間，而該間隙（96 )較佳 係被塡滿密封材料（9 8 )。 8. 如申請專利範圍第7項之真空泵，其中設置了 一單一密 封元件（100 )，其塡充該溝槽（82 )與該間隙（96 )。 〇 9. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該側蓋（26, 28; 62, 64;70,72;74,76)藉複數個緊固元件（88)被連接至該 殻體（10)，該等緊固元件產生一大致垂直地作用在該密 封表面（40，42，78 )處之力。 10. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中被該側蓋（26, 28; 62，64;74, 76)封閉之該殻體（10)的開口（a)具有一 寬度，其相當於該泵壓元件（12)之直徑的至少三分之 ^ 二，並較佳地具有一大於該泵壓元件（12)之長度的長 度。 11. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該殻體（10)包 括至少兩個被彼此相對地配置之側蓋（26, 28; 62, 64; 70, 72; 74，76 ) ° 12. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該側蓋（26, 28; 62，64; 70, 72; 74，76)被連接至一冷卻元件（60)，尤 其一冷卻導管。 -21- 201028548 13. 如申請專利範圍第12項之真空泵，其中該冷卻導管（60) 被倂合入該側蓋（26, 28; 70, 72; 74, 76)成一整體。 14. 如申請專利範圍第12項之真空泵，其中該側蓋（62, 64 ) 被連接至一冷卻板（66)，較佳地一冷卻導管（60)被倂 合入該冷卻板（66)成一整體。 15. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中在該側蓋（74, 76 ) 之開啓狀態中，該等泵壓元件（12)部分地伸出穿過該 殼體（1 〇 )的開口（ a )。 16. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中複數個調整元件 (86)，較佳係調整銷，被設置爲可較佳地與該密封表面 (78 )成垂直地配置。 17. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該側蓋包括一調 整突出部（101)，其延伸進入該殼體（10)之開口（a) 內。 18. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中該密封表面（40, Q 42 )被配置在與該側蓋（2 6, 2 8; 62, 64; 70, 72 )之一內 側面（46 )相隔一距離處，而形成該栗壓室之內壁。 19. 如申請專利範圍第1項之真空泵，其中在該側蓋（2 6, 2 8; 62，64; 70，72)之密封表面（40，42)與該殻體（10) 之間，設置一中間件用以相對於該殼體（1 0 )之內側面 (48)，調整該側蓋（26，28; 62，64; 70，72)之內側面 (46)，以便因此形成該泵壓室之一無梯級內壁（46, 48 ) ° -22-