201016750 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 e j發明係有關於-種聚通胺及其製造方法，其尤指含有含有金屬炫 乳化物之聚亞醯胺及其製造方法。 【先前技術】 _按’微電子產«十年來—直是全球產值最大的絲，根據估計至西 TO2020年全世界三十大產品市場屬機電子相_有二十二種總產值達$ 〇 錢元。麟子產^之魏大部份設計在印路板(Printed Circuit Board， PCBXL ’ —Μ為硬式印刷電路板(RigidpCB換可挽式或軟式印刷電路板 (FlexiblePCB紙xiWePrtntedCircuit，Fpc)。過去二十多年電子產品電路 大部份以硬板製作’然而隨著電子產品日Μ樣化與輕薄短小的需求，幾 乎所有產品皆包含FPC ;舉凡液晶電視、筆記型電腦、手機、硬碟機、汽車 導航系統、電動玩具、數位相機、印表機等等皆含蓋於Fpc之應用範圍。由 於FPC應骑泛，使得fpC產業在近幾年蓬勃發展，其重要性也愈來愈高。 FPC與魏最主钱關在於卿魏於耕能㈣鱗麟數的差 異，且須具有高穿透性、低翹曲性、耐高溫性，所以材料選擇十分重要， 且不易製作。 軟式印刷電路板(Flexible Printed Circuit, FPC)因其輕薄短小及可撓曲的 特性，使其在通訊、消費性電子、電腦及周邊產品的應用上曰益重要。傳 統軟板為三層結構，分別是銅箔，接著劑及絕緣基板。近年來因高品質、 高可靠度及低製造成本之軟板需求，三層結構中的接著劑因熱穩定性不佳 及加工困難已不敷需求，因而使無接著劑之「銅荡一絕緣基板」雙層軟板 漸受重視β絕緣基板材料主要是聚亞酿胺(P〇lyimide，pi)，因其具有優異的 熱穩定性，介m質及機械性能，在電子產針制甚廣。但由祕的熱膨 脹係數較高’在軟板製程中易造成軟板的捲曲產生加工難度。 再者，FPC可分為單面板、雙面板、分層板、多層分層板、軟硬結合 板。兩層板以上的FPC均通過導通孔連接各層。其結構包含:（1)基層（Base 5 201016750 film):材料一般採用聚醯亞胺（p〇iyimide ’簡稱ρι)，也有用聚脂（p〇lyester， 簡稱PET)。膜厚有 12.5、25、50、75、125μηι。常用的以 12.5 和25μηι的。 ?1在各項性能方面要優於?£1'。（2)銅箔層（匚〇{^1^0丨1):有壓延銅（1^ copper)和電解銅(ED copper)兩種。料厚有18、35、75μΓη。由於壓延銅比 電解銅有較好的機械性能及延展性，所以在需要經常彎曲的Fpc令優選壓 延銅。主屏FPC的銅箔厚度一般為18μιη ;對於鏤空板FPC (比如介面處為 開曲型的）需採用35μπι的。（3 )覆蓋層（Cover layer):材料與基層相同， 覆蓋在銅箔上，起絕緣、阻焊、保護作用。常用料厚為12 5μιη ^ (4)粘合 勝（Adhesive):對各層起粘合作用。（5)補強板（stiffener)和加強菲林 ❹ （Reinf〇rcement film):對於插接式的FPC，為與標準插座配合，需在接觸 面背面加一塊補強板，材料可用PI、PET和FR4 ;常用PET。補強板貼合後 接觸位元的厚度根據插座的要求而定，一般為0·3、0.2或〇.i2mm。對於需 要Bonding到LCD上的FPC端，需在接觸面的背面設計加強菲林，採用 12·5μιη 的PI 料。 又，光學樹脂作為聚合物光學材料的重要組成部分，正逐步取代無機 玻璃被廣泛應用於光學領域，而高折射率將有助於成像品質的提升與輕薄 短小特性。在1990年，由Anglo等人第一次成功的在聚亞醯胺中加入金屬 /金屬氧化物粒子後’便廣泛地被討論’其應用的層面相當廣泛，甚至包含 〇 半導體及光電領域。鈦金屬具有銳欽礦結構，以純鈦來說具有高折射率達 2.2，不同Ti〇2的含里比會影響聚亞醯胺折射率’添加較高比例之Ti〇2會提 升折射率’而純的PhSi(OCH3)3結構因具立體障礙使其具有低的折射率約 1.45左右。 有鑑於上述問題，本發明提供一種聚亞醯胺之組成物及其製造方法， 以提高其折射率以應用於光學領域以及降低熱膨脹係數應用於軟板之電子 領域。 【發明内容】 本發明之主要目的，其係在於提供一種含有金屬烷氧化物之聚亞醯胺 201016750 及其製造方法’以提升雛值以研低鱗脹係數。 胺 β甘^發明之次要目的’其係在於提供—種含有金屬烧氧化物之聚亞酿 及”製造方法’以提升金屬間之接著能力。 胺 士發明之又-目的’其係在於提供__種含有金狀氧化物之聚亞酿 及其製造方法，以提高折射率。 二了達到上述之目的，本發明係揭示一種含有金屬烧氧化物之聚亞醯 胺及造方法’本發明以乙酿丙酮(Aeetyaeetone)作為欽金屬螯合劑，同 B寺以單g此基之偶合試劑卩-編⑽p哪丫丨―e (浙⑽⑹作為封 端與為狀交聯官能基，利用主鏈上之三酸肝與价彻^及添加之 Phenyltnmethoxy S1lane ; PhSi(〇CH3)3和四乙基欽；叫⑽麻s〇〗_gei法反 應產生共侧結，另—端單官織基與_二贿產生鍵結確侧狀交鍵 之形成。 再者。本發明針對軟板需求進行開發所需特性，考慮使用有降低熱膨 脹係數效果’同時期待可保 之可撓雜、熱蚊性、高接魏力與良好穿透度使其增加其附加價值。 【實施方式】 茲為使貴審查委員對本發明之結構特徵及所達成之功效有更進一步 Q 之瞭解與認識，謹佐以較佳之實施例及配合詳細之說明，說明如後： 本發明係利用控制不同分子鏈段、不同無機物含量與不同phSi〇x/Ti〇2 金屬院氧化物比例，一般高分子之折射率約在14〜15之間，系利用上述特 性調整比例、無機物含量，以達到可調控折射率聚亞醯胺混成薄膜，其中 為避免沉澱與相分離的產生，採用Sol-gel法進行，本發明以giycols、〇rganic acid(有機酸)以及p-dilketone(p-二酮）為較佳之螯合劑官能基，其中具有 P-dilketone(p-二酮）官能基之螯合劑’可與paa有較佳之互溶性，故選擇乙 醯丙_(Acetyacetone)作為鈦金屬螯合劑，同時佐以單官能基之偶合試劑 p-Aminopropyltrimethoxysilane(APrTMOS)作為封端與網狀交聯官能基，利 用主鍵上之·一酸肝與APrTMOS及添加之Phenyltrimethoxy silane ; 201016750
PhSi(OCH3)3和四乙基鈦；Ti(〇Et)4經s〇l_gei法反應產生共價鍵結，另一端 單官能胺基與PI的二酸酐產生鍵結，因此破保網狀交鏈之形成。 首先，請參閱第一圖，其係為本發明之一較佳實施例之製造方法；如 圖所示，本發明提供一種含有金屬烷氧化物之聚亞醯胺之製造方法，該金 屬烷氧化物之聚亞醯胺其係為PI/PhSi〇x/Ti〇2，其製造步驟係包含： 步驟S10，以二曱基甲醯胺溶解二胺後，加入二酸酐； 步驟S20 ’力σ入胺基丙基二甲氧基石夕燒; 步驟 S30，加入 Ph(SiOCH3)3 ; 步驟 S40，加入四乙基鈦(Titania additive tetraethyl orthotitanate)及乙烯丙酬 © (Acetylacetone);及 步驟S50，經水解縮合反應生成PI/phSi〇x/Ti〇2。 底下以一實施例作說明，請參閱第二圖。 於室溫下將裝有攪拌棒之1〇〇 ml三頸瓶固定於攪拌機上，通入高純度 氮氣，維持瓶子内的乾燥以避免水氣造成副反應，添加經過計量的二胺 p-BAPP與適量的溶劑DMF加入三頸瓶中，攪拌待完全溶解後(約1〇min)， 再添加入計量的二酸酐BTDA，添加方式採取分段、分五批加入，每批間隔 一小時，並在加入前，確認前一批單體完全溶解與攪拌反應完全後，再加 入次一批的BTDA，前段反應莫耳比以i :丨劑量，待反應完 畢後’持續攪拌反應2小時’接著加入單官能胺基AprTM〇s做為控制聚亞醯 胺分子鏈長的試劑，形成APrTMOS-PAA，最後將殘餘的BTDA以及稱差法 補上所需的BTDA-起添加進去，並持續授拌2小時後，接著添加計量比之 PhSi(OCH3)3，添加時以一滴一滴慢慢滴入，以增加均勻性與分散性，添加 完畢後待攪拌10min，接著添加已事先 調配好的四乙基鈦Ti(〇Et)4與乙醯丙酮(Acac)反應後(將四乙基鈦丁丨(〇扮)4滴 入acac中），使用滴管使之混合均勻，確定瓶中Ti(〇Et)4完全螯合後(觀察溶 液是否澄清，應當呈現黃色透光狀），再加入APrTM〇s_pAA中，待完全溶 解後繼續攪拌反應12小時，即可得到 δ 201016750 APfTMOS-PAA/PhSi(OCH3)3/Ti(OEt)4，反應完成後置於冷凍庫備用。
Ti(OEt)4和Acac的比例為1 : 4.2(以官能基數量計算，並過量Acac確保螯合完 整）’本發明的PhSiOx/Ti〇2比例以8/2、5/5、2/8為主，無機含量調整4〜12 wt.% 〇 本發明係利用單官能胺基APrTMOS做為控制聚亞醯胺分子鏈長的試 _ 劑，其分子量分別為5000、10000及15000 g/mole之APrTMOS-PAA。以分子 量為10000 g/mole為例，4.229 g之/7-BAPP加入36.9ml之溶劑DMF中，再加入 1.844g之BTDA(分成五批加入）’溶解後加入0 2904 g之APrTMOS，再加入 0.1450g之BTDA，此時總重為45g-APrTMOS-PAA溶液之固含量為18% ❹ (w/w)。其它純p-BAPP-BTDA和不同分子量的聚亞醯胺分子鏈長之製備方 法同上。（無機比例與含量以對應固含量之重量比計量之） 再者’本發明再以降低熱膨脹係數並同時期待可保有P〇lyimide之可撓 曲性、熱安定性、高接著能力與良好穿透度。 請參閱第三圖，其係為本發明之另一較佳實施例之製造流程圖；如圖 所示，本發明係揭示一種含有金屬烷氧化物之聚亞醯胺之製造方法，該金 屬烷氧化物之聚亞醯胺其係，其製造步驟係包含： 步驟S100 ’以二甲基甲醯胺溶解二胺後，加入二酸酐； 步驟S200，加入胺基丙基三曱氧基石夕烧hAminopropyltrimethoxysilane); © 步驟 S300，加入 Ph(SiOCH3)3 ; 步驟8400’加入此(2,4^泔咖(1丨〇爐〇)也111丨脳11(111);及 步驟S500 ’經水解縮合反應生成PI/PhSi0x/Al2〇3。 底下以一實施例作一說明，請參第四圖。 於室溫下將裝有攪拌棒之100ml三頸瓶固定於擾拌機上，通入高純度 氮氣’維持瓶子内的乾燥，避免水氣造成副反應，添加經過計量的二胺 P-BAPP與適量的溶劑DMF於三頸瓶中，使用鐵氟龍攪拌棒攪拌之，待確 認完全溶解後(約1〇 min)，再添加計量二酸酐BTDA單體，添加方式採取分 段、分五批加入，每批間隔一小時，並在加入前，確認前一批單體完全溶 9 201016750 解與反應完全後，再加入次一批的BTDA單體，前段反應莫耳比以丨：i劑 量’待p-BAPP與BTDA反應完畢後’持續攪拌反應2小時，接著加入單官 能胺基APrTMOS做為控制聚亞醯胺分子鏈長的試劑，形成 APrTMOS-PAA，最後將殘餘的BTDA以及稱差法所需補上的町〇八—起 添加進去，並持續攪拌2小時後，添加計量比之phSi(〇CH3)3，添加時以— 滴一滴慢慢滴入，以增加均勻性與分散性，添加完畢後持續攪拌1〇〇1匕，接 著添加[tris(2’ 4-pentanedi〇nat〇)alUminum(III)] ; A1(C5H7〇2)3，添加前先將其 配製成飽和溶液溶於DMF中，使用滴管來回吸放混合均勻，徐徐滴入，加 入APrTMOS-PAA巾，待完全溶解後’繼續授拌反應12小時，即可得到 ^ APl：TM〇S_PAA/PhSl(〇CH3)3’A1(C5H7〇2)3 &應完成後置於冷凍庫備用，以 除去反應時含包在内部的氣泡’採用靜置脫泡的方式，使其脫泡完全再進 行塗佈。 本發明的PhSi(OCH3)3/Al(C5H7〇2)3比例以8/2、5/5、2/8為主，無機含 量調整分Μ、8、12w.t%。本實驗系利用單官能胺基处囊沉做為控^ 聚亞醯胺分子鏈長的試劑，選用第一部分之結果選擇以最適化之1〇〇〇〇 g/mole之APrTMOS-PAA為主軸。合成計量方式以分子量為1〇〇〇〇g/m〇le為 例’4.229居之/?-；8入?？加入36.9〇11之溶劑〇_中，再加入1.844§之 BTDA(分成五批加入）’溶解後加入〇 29〇4 g 2AprTM〇s，再加入〇 g 之BTDA ’此時總重為45g-APrTMOS-PAA溶液固含量為18%(w/w);其 他不同無機含量之比例做法相同。 、 將PET膜(或玻璃片）置於平坦的自動塗佈平台上’以25〇师間隙的刮刀 置於此PET膜（或玻璃片）上，將pUrePAA ' AprTM〇s_pAA、 APrTMOS-PAA/PhSi(OCH3)3/Ti(OEt)4 及 APrTMC^PAA/PhSi(0CH3)3/Al(C5H702)3清漆倒入刮刀的凹槽令，倒入時 應避免氣泡產生’導致膜面不良情形，隨後立即開啟自動塗佈機，以7〇 速雜’顺平坦均㈣雜，置人高溫熱顺環程控供箱 中’預先將烘箱升溫至8〇〇C，在此溫度下將薄膜置人，接著升溫至⑽以如 201016750 min)、17此怪溫(90_、升溫至30(TC(9〇min)、3〇(rcto(3〇min^^ 動冷卻降回室溫(R.T.)。多段溫控之目的分別為：17(rc為去除溶劑，並徐 徐升溫避免溶劑急速脫出形成大孔洞，以降低表面孔洞形成，為熱& 醯胺化縮合反應溫度，盡量使其亞醯胺化完全。 ’… 本㈣之PI/PhSi〇x/Ti〇2之光學，係使用光學應用分析藉由霧度計分析 (依據ASTM-m〇03檢測)-系列混成薄膜特性，其中全光線透過率可代表薄 膜透明度’由下表可得到全光線透過率與無機含量及Tio2含量成反比，此 結果與分光測色儀所測得結果相同；當分子鏈段越小時，光線穿過之齡 越局。從下表中發現，分子鏈段越短者，平行透過量越高與全光線透過率、 〇 擴散透過率成正比。
Item 霧(濁） 全光線透 擴散透過 平行透過 度 過率 率 率 Code (Hz) (TL) (DF) (PT) pure PI 0.37 81.18 0.3 80.88 PIA 0.65 84.10 0.55 83.56 PIS 0,31 82.76 0.26 82.49 PID — 0.31 80.14 0.25 79.89 PIA-4%-S8T2 — —— 0,85 78.65 0.62 77.87 PIS -4%-S8T2 0.70 75.87 0.53 75.34 PID-4%-S8T2 0.58 72.64 0.42 72.21 PIA -8%- S8T2 —--1 ] 0.46 70.87 0.32 70.55 PIS -8%-S8T2 0.24 69.92 0.17 69.75 PID-8%-S8T2 0.22 67.80 0.15 67.65 PIA-12%-S8T2 0.54 65.05 0.35 64.71 PIS-12%-S8T2 0.34 62.16 0.21 61.95 PID-12%-S8T2 0.43 66.66 0.29 66.37 PIS -8%-S5T5 0.39 49.54 0.19 49.35 201016750 PIS -8%-S2T8 PIS -8%-S10T0 PIS -8%-S0T10
26.16 0.16 26.00 81.74 0.27 81.47 18.96 0.13 18.82
八”…干刀何’由於聚亞醯胺結構上具有許多苯環結構， 賦予的結構平板雜，影響了平面驗光(π〇獅直面驗光⑷之光波通 過的程度，使彳蹄料巾具财特殊的撕神(飽g_)特 社，，折射率特性使其在衫高分子材料中脫穎而出，應用更為廣泛，特 ，是聚碰.有<：·_型之光學麵臟果，即_。(_巧），但液 a曰的麵繁多’雙騎率也各有異，所_償效果有限，糊的液晶分子 八有不同的Δη ’本發明藉由了丨〇2銳鈦鑛結構之特性，能對其產生影響效果。 此-特性歧肖不|5]肖度触長之賴偶合儀，經峨鏡偶合儀㈣抓 coupler)，在特紐長⑶一制下，麟縣如下械*，可藉數據發現 Τι〇2之銳欽礦結制之鑛射率有鴨影響，^卿響較小整理後 可以得到〜與η。均隨了1〇2含量之增加而增加，但〜效果無％那樣顯著，與靜 ΡΙ比對下魏’ Si02K存在健餅低卿率；_公式計算丨其如％-η。(雙折射率）’可以發現其η()(ηχοι·%)方向變化量不大，隨添加风的含量 提升’會有助於提升雙折射率與ne方向折射率，有助w型液晶與棒狀型液 晶之補償效果，利用不同PhSi(OCH3)3: Ti(〇Et)4比例結果，製備出一系列可 調控之ne方向折射率，可調控範圍從1.56〜1.69之折射率，以適用於不同液晶 分子，增加光學應用面。
Item Code n〇a „ b ne Δη pure PI 1.5937 1.6023 0.0085 PIS 1.5929 1.5962 0.0033 PIS-4%-S8T2 1.6019 1.6105 0.0086 PIS-8%-S8T2 1.5997 1.6184 0.0188 PIS-12%-S8T2 1.5947 1.6202 0.0258 12 201016750 PIS- 8%-S5T5 1.6052 1.6368 0.0316 PIS- 8%-S2T8 1.6091 1.6506 0.0415 PIS-8%-S10T0 1.5923 1.5674 —— ..... 0.0249 PIS-8%-S0T10 1.6040 1.6994 — 0.0954 an。: ordinary ray(平面偏振光） extraordinary light(垂直偏振光) 請參閱第五八圖至五C圖所示，可觀察不同含量丁咕對〜之影響，由間 距調整與〜相同時可以發現’ Tl〇2含量對平面偏振光之折射率影響不大，觀 察PIS-8%-S10T0，可以發現PhSiOj有降低折射率之效果。觀察不同 〇 觸认™2含量比對n。、〜之影響可以發現雖然Ti〇2具有提升％之效果但對 η。方向折射率影響較小，由此可證 明PhSiOx與Ti〇2對於ne、η。方向之折射率均有一致性的趨勢，但〜之改變效 果較大且顯著，經由調整PhSicym〇2的比例，可製備出範圍自丨56〜丨69 間距之折射率，未來可應用於光波導、光學設備、光學補償膜及光學元件 等領域應用，尤具有高折射效果，同時可有效積體化設計，降低產品體積 與低價化。 針對Polyimide/PhSiOx/Al2〇3之熱性質分析，請參閱第六A圖，其係為 不同PhSi(OCH3)3/AKC5H7〇2)3比例之TMA分析圖，由第六B圖所示，經觀 ❹ 察可以發現添加含Al(C5H7〇2)3或是PhSi(OCH3)3之金屬氧化物，均可有助於 降低尚溫區之熱安定性進而降低熱膨脹係數，大大的提升耐候性與高溫下 之熱安定性’由圖中可推斷伴隨Al2〇3的比例增加而降低熱膨脹係數，比較 PIS-8%-S0A10與purePI相比較以200〜300°C之高溫段熱膨脹係數，約降低 72%左右，整理出其趨勢為： pure PI > PIS-8%-S10A0 > PIS-8%-S8A2 > PIS-8%-S5A5 >PIS-8%-S2A8 > PIS-8%-SA10 形成此一趨勢的原因為當添加無機金屬氧化物時，由於Al2〇3具有較低熱膨 脹係數僅8.0ρρπιΛ： ’當經由Sol-gel形成微粒分散在聚亞醯胺中時，提供 13 201016750 較佳之熱穩疋性’故添加越而重量比之八丨2〇3，則會有越低之熱膨張係數。 經由熱動態機械分析儀觀察此混成薄膜的熱動態機械性質可以發現，添加 金屬烷氧化物到基材内，經由S〇l-gel機制形成網狀交聯結構後，即可有效 提供好的機械強度與熱性質，由第六B圖中儲存模式與第六c圖中可以觀 察得知，TanDelta隨添加Al(C5H?〇2)3的含量增加，有效提升Tg點，理由 有二： (1) 一為添加Al(CsH7〇2)3時，由於八丨2〇3有優異的熱性質，所以經由 分散在聚亞醯胺基材時，便可分擔熱能，有效提升Tg點與熱安定性。 (2) 二為當添加PhSi(OCH3)3與Al(QH7〇2)3金屬烷氧化物時，利用s〇1_gel 〇 機制致使烷氧化物在聚亞醯胺内部形成Si-O-A卜Si-0-Si、Al-O-Al等網狀 交聯鍵結，能有效提升熱性質。再觀察Damping高度差異，可以發現隨著 Al(C5H7〇2)3的含量增加而降低，此一結果原因為A1(c5H7〇2)3提供比 PhSi(OCH3)3更佳的強度’所以當含量增加時，形成AU>A1鍵結的交聯量 也會增加，能有效提升模數降低Damping值，另一理由為Al(C5H7〇^ 的反應性較其它為佳，故交聯程度較高，強度較佳，Damping較低。 如第六D圖所不，還可以發現PIS_8%_S丨麵有較低的Tg，甚至低於啊 PI ’廷是由於PhSi(OCH3)3雖然會形成網狀交聯’但仍有助於提升熱性質， 級所使用的姆金狀氧化物為PhSi(OCH3)3，其結構麵有—苯環官能 霤 基’形成立體障礙，提升自由體積，基於這理由，推斷為降低Tg ,點的原因， 從機械性質分析’仍可發現其保有優異熱性質，僅稍務降低Tg點，可說明 不單提升熱性質同時維持原有機械強度，為一良好的結果。 總上所述，本發明係利用8〇1妙丨頁利將金屬⑥氧化物導入聚亞酿胺薄膜 中，並成功製備出混合薄膜，結果大致整理出以下結論·· Polyiimde/PhSiOx/TiO成成義已成功製備丨—,㈣細，可赠現分子鍵 段越短，則具有較佳之機械性質與熱性質，因為分子量較低者，由於 APrTMOS的含量較⑧’貞说氧細也較乡，故其形成網狀交聯之機會也較 局’另-個理由為’當主鏈較為短小時’與其它主鏈或金屬烧氧化物接觸 14 201016750 的機會也較高，故交聯程度會較高，所以具有較高之Tg與較好的機械性質。 添加含量較高之PhSi(OCH3)3或APrTMOS則會增加熱膨脹係數，造成此 -現象為，PhSi(OCH3)3側鏈上帶有一個苯環，所以增加了自由體積，故添 加越高含量之PhSi(OCH3)3反而會提升其熱膨脹係數；同理可證，由於 APrTMOS上帶有較長之絲’提供綠麟，增加自㈣赫柔軟性， 故熱膨脹係數隨APrTMOS含量增加而增加。添加純Ti(〇Et)4之烷氧基團，由 於处細個官祕反應性較佳，且由於形成雛交聯時會增加密度與交聯 度，故添加Ti(0Et)4具有降低熱膨脹係數之效果，特別在高溫特性中了表現 出更優異的高溫熱性質，尤在200〜3〇(rc之熱雜係數與purepi相比，成功 ® 降低2〜16倍的熱膨脹系數，最低可至96.9 ppm/t：與pure PI的1553 ppm/C相比，可以發現Ti〇2提供了優異的高溫區熱性質。 將所製備好之混成薄膜經由偷進行熱裂解溫度分析，所測得Td⑽)或忉 (10/。)普超過450C ’由此可知添加無機物之複合物仍保有優異的熱裂解溫 度。 聚亞酿胺優異哺性莫過於雙折射雛，藉域鏡偶合儀可以測得 其％和n〇 ’並經由計算可獲得M，此一結果符合c_pl_^補償麟點，但 以往的補償效果有限，藉由量測數據可得知，以Ti(〇E认與懸(〇卿3的重 =比或調整無機物含量，可有效調控折射率⑹方向，此-結果可大幅提 间PI的補償效果與光學設備應用，如：補償膜(可用於補償別型或棒狀型液 晶的視角）、另一方面可用於光學設備如：光波導、CCD之光學元件 '背光 模組的稜鏡等光學設備應用方面。 再者矛J用Sol-gel已成功將金屬烧氧化物導入p〇iyimide/phsi〇x/Ai2〇3 $成薄膜中，經由這一系列研究整理出以下幾點結論：在機械性質與熱性 貝方面，藉由DMA分析可以判斷，將專办祕/此叫沉秘導入聚亞醯 胺中’明顯提升其機械強度與对熱性，並且當娜奸⑽含量增加時會降 其mping值理自為當添加越多八狀办从)3含量時，提供較優異的機械強 15 201016750 低熱膨脹係數與增加撓曲性，反觀 膜具有較2之接著性ί 有_5_3比例越高’其PI混成薄 性前後差1 ，將此論文兩部分之結果’經由整理後將其改善特 應符tn彳t發明係實為—具#_性、進步性及可供產業利用者， ϋ朗早asf規定之專财請要件無疑，爰依法提出發明專利申 0月祈釣局早日賜准利，至感為禱。 魯 明竇述者’僅為本發明之-難實施例而已，並_來限定本發 圍，舉驗本發辦請專纖圍 神所為之均物_飾，均聽胁树狀帽補U及精 【圖式簡單說明】 其辆本發明之—健實關之製造流程圖； 第三圖 第四圖 -圖：其係為本發明之—較佳實施例之反應圖； 其係為本發明之一較佳實施例之製造流程圖； ⑽為本㈣之—較佳實關之反細； 五人圖.其係為本發明之一較佳實施例之不同含4Ti〇2對η。 意圖； 不 第五Β圖.其係為本發明之—較佳實細之不同含量篇對〜之 意圖； 'c圖.其係為本發明之—錄實關之不同含量Τί〇^Δη之影響 意圖； w Α圖’其係為本發明之另_較佳實施例之观分析圖； 第圖’賤為本發明之另-紐實關之DMA分棚； 第圖其係為本發明之另—較佳實施例之疆分析圖； 二圖’其係為本發明之另—較佳實施例之peel strength分析圖。 I主要元件符號說明】 無 16