201003720 J UUOpii. 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於例如藉由外部的電極來使放電管内 產生放電而照射出紫外線的準分子燈（exdmerlamp)等的 外部電極型放電燈以及使用該放電燈的紫外線照射裝置。 【先前技術】 利用了介電質屏蔽放電（dielectric barrier discharge ) 的準分子燈若使用氙氣（xenon gas)來作為放電用氣體， 則會放射出中心波長為172nm的高能量（energy)的真空 务外線，因此，該準分子燈可用作對液晶顯示器（liquid crystal display)的玻璃（glass)基板或半導體晶圓（㈣鈿） 等進行光清洗的紫外線照射裝置的光源燈。然而，真空紫 外線於空氣中被氧等吸收後會立即衰減，因此，通常是將 圓筒形的準分子燈收納於填充著惰性氣體（inert gas )的燈 室（lamp house)内，經由該燈室的下端的平坦的窗材， 對该燈室的正下方的玻璃基板等的被照射物照射真空紫外 線（例如，參照專利文獻1)。 又，先韵亦有放電管為方形的準分子燈（例如，參照 專利文獻2)。此種方形的放電管具有廣闊的平坦面，因此 可不經由燈室的窗材，而是經由準分子燈的下方的僅有2 〜3 mm的間隙來直接對被照射物照射真空紫外線，因此， 真空紫外線於空氣中的哀減亦較少，而且亦可使照射效率 201003720, ^ 1 ^VOLFll 子燈的放電管例表示於圖7及圖8 t。準分 密閉容器，在内部封:著4 長的 示，在該放電管丨的上平垣 罨用矾體。如圖7所 側以無間隙的完整面的電極圖案來开 内 :圖=，於遍及該放電管!的 又’ 上，以網狀的電極圖案來形成 的大致^個面 f 2及第2電極3是由金屬薄卿成，該金屬 瘵鍍等來使鋁（aluminum)等 ’ 、疋曰 成。該準好射勤料成膜所形 ★古歐沾丄“二弟電極與弟2電極3之間施 加间[的间頻電壓，來使放電管】的内部產生 Μ·)，經由第2電極3的網狀的電極圖案的間隙而朝 下方釋出真空紫外線。 n朝 又’對於上述準分子燈而言，由於伴隨著使用而產生 的劣化，將要射出的真空紫外線的強度會逐步降低，對於 被照射物的清洗效果亦會減小，因此，必須適時地對該真 空紫外線的強度進行檢查（check)。然而，由於在準分子 燈的下方設置著被照射物的搬送路徑，放電管1的下平坦 面與該被照射物之間的間隙亦極狹窄，因此，難以將紫外 線強度感測器（sensor)配置於準分子燈的下方來直接對 該朝下方釋出的真空紫外線進行測定。因此，先前是如圖 7所示，在形成於放電管1的上平坦面的第1電極2的適 S位置’形成電極圖案成為網狀的窗口部2a，利用配置於 準分子燈的上方的未圖示的紫外線強度感測器，來對自該 201003720 窗口部2a朝上方釋出的真空紫外線進行測定。再者，於圖 7及圖8中，為了便於理解圖式，放大地表示了窗口部h 及第2電極3的網狀的網眼。 然而，第1電極2亦發揮反射板的作用，將在放電管 1的内部朝上放射的真空紫外線反射之後，使該真空紫二 線朝向下方，儘管如此，若於此處形成窗口部2&,則真空 紫外線會自網狀的電極圖案的間隙朝上方漏出，因此^ 如下的問題：如圖9所示，自準分子燈朝下方釋出的 紫外線的左右方向的強度分佈在該窗口部2a的附近（Ας 附近）降低，從而無法將均勾強度的真 ς 照，。又，存在如下的問題：雖然使窗口部 配置於上方的紫外線強度感測器越可準確地進行測定，但 相反地’朝向下方的真空紫外線的照射均勻度變差。— 朝準，'由第2電極3的網狀的電極圖案的間隙而 朝準刀子燈的下方釋出的真空紫外線中，亦包含由上 所反射的真空紫外線，但在經由窗 網 上方釋出的真空紫外線中，幾: 電極3所反射的真空紫外線，因此存 強产自/部23朝上轉㈣真空紫外線的 強度额弱於朝準分子燈的下 準確地對實際上照射至被照射物= 線的強度進行監控（monitor)。 八方卜 丨LI 2利特開平⑻·171799號公報 削文獻2]日本專利特開聽2_6號公報 201003720、 J Ι^υοριι 【發明内容】 f L· 本發明的目的在於提供—種外部電極型 ί用該放電燈的料線照縣置，在該外部電極型放電燈 =於第1電極上形成著窗口部，並且於第2電極的盘上 =I部相對向籠域巾軸著遮蔽部 ==照射物’且亦可自窗，來準確地= 的外部電極舰魏包括：放電管 紫外線的介電體所形成的密閉容器，在内； 第1電極，形成於 成於該放雪=丄外線透射率高的第2電極，形 於：於上述i】If面，上述外部電極型放電燈的特徵在 =;部的與上述窗口部相; 紫二=第2電極的 時，第2雪技ΛΛ才將上述各電極作為整體來考廣 外線透^ 料線透射率高料1餘的平均紫 因此，並不限於這些電極各自在所有部2 情形射率的㈣，例如亦包含如下的 外線透射㈣八，由使紫外線透射的部分與不使紫 線透射的部：二f複的電極圖案所形成’由於使紫外 的開口率的差，導致紫外線透射率產生高低 7 201003720 f差。又，在紫外線透射率低的情形中，介勺人 紫外線透射的情形。該外部電極型放二f包:完全不使 外線透射率高的第2電極的放電管的下=、，·坐由形成著紫 射至被照射物。 的下表面，將紫外線照 又，所謂窗口部的紫外線透射 含θ 二部的整個區域的平均紫外線透射率，該窗 除該窗口部以^電極上的 謂遮蔽部的紫外線透射率局部較低射率；所 區域的平均紫外線透射率，低敝部的整個 以外的所有區域整體的平均紫外線透射率U的除該遮蔽部 面的3面與^面是指密閉容器的外表 電極發^的外部電極型放電燈的特徵在於：上述第1 =的卩物卜物_帛2餘物卜線透% 第3發明的外部電極型放 電極f 2電極是由形成於放電管上的 管的密閉容器是將上表在於：上述放電 案而降卜線ttr，成為完整面的電極圖 電極圖荦而提、古.上述第2電極藉由形成為網狀的 極的_率’上述窗口部形成於第1電 紫外線透射率，由使電極圖案成為網狀來提高 上攻遮敝。卩形成於第2電極的與窗口部相 201003720 =端部，藉由使電極圖案形成為完整面而降低紫外線 第5發明的外部電極型放 電極的窗口部的電極圖案愈第2=的特徵在於：上述第1 的圖案。 一 电極的電極圖案同為網狀 其中-根外部電===配置在左侧，且使 端的位置相第2電極的遮蔽部的右 組，將1組或1 _上的;型放電燈設為1 放電燈並列配晋#〜 根為1組的外部電極型 括：Ϊ = 第7發明的外部電極型放電燈包 的密閉容器，在内部;線的介電體所形成 和電極，形成於二外=率低 =J:r電燈的特徵在=:==丄; 第2電極的與口部成ϊ且於均 ==低的遮蔽部。再者，這些發明中的左右、ΐ 現實交的方向’未必與 工卜u及刖後的方向相一致。例如，亦 201003720 可將該外部電極型放電燈的放電管的下表 將紫外線照射至上方的被照射物。 -置為朝上， [發明的效果] 根據第1發明，由於在與第丨電極 區域中形成著第2電極的遮蔽部，因此 I相對向的 窗口部朝上方釋出的紫外線中，亦包含被該第極的 方的第2電極的遮蔽部所反射的紫外線。因此， 自=電極朝下方釋出的紫外線相接近的條件下^第 1電極的窗口部朝上方釋出的紫外線釋 ▲第 至被照射物的紫外線的強度儘可能接= 率相=據ΐ2發明’由於fn部與第2電極的紫外線透射 的條件下，使紫外線自窗口部釋出。卜線更為接近 膜箄==發明，由於第1電極及第2電極是由如蒸錄 形成，因此可無間隙地密接於作為介電 的放電S的表面，從而可提高放電效率。 發明，由於在與第1電極的端部的窗口部相 ’ σ、弟電極的端部形成著遮蔽部，因此，自第2雷 電極圖案朝下方釋出的紫外線不會因窗口部的存 對二二的除遮蔽部以外的部分 ，朝上4】:=:外:包:大== 弟2電極的遮蔽部的完整面的電極圖案所反射的紫外線，' 201003720、 J1 ^υοριι =此=與自第2電極朝下方釋出的紫外線接近的條件 ’，务、外線自第1電極的窗口部朝上方釋出。因此，可 =實際上照射至被照射物时外線的 條件下進行監控。 祕i艮f第5發明’窗口部的網狀電極圖案與第2電極的 = 電極圖案相同，因此，可在與自第2電極釋出的紫： 線更接近的條件下，使紫外線自窗口部釋出。’、 根據第6發明’將多根外部電極型放電燈中的兩根作 =置ίί!:極的除遮蔽部以外的部分左右連續地錯 因此’可在接近於各外部電極型放電 的廣闊範圍内，均勾地照射紫外線。 .根據苐7發明，由於在與第j電極的窗口部 ，域中形成著第2電極的遮蔽部，因此，在自第^電^的 自口部朝上方釋出的紫外線中，亦包含被該下方的第a電 ^^相接近的條件下’使自第1^ 4朝上方釋出的紫外線釋出，因此，可在與實際上 被照強度儘可能接近的條件下進行監控。 再者上述外邛電極型放電燈的放 石英所形成的放電管。若放電管由 二^為由合成 ;包含真空紫外線在内的短波長紫外線的透射率高 又，上述外部電極型放電燈的放電用氣 氣。若使用氣氣來作為放電用氣體，則可放射“心= 11 201003720 J 1 ^uopii 為172 rnn的高能量的真空紫外線 舉實 【實施方式】 以下，參照圖1 (a)、圖w 對本發明的最佳實施形態進 1 (e)至圖5來 亦對具有與圖7至圖9所示的先^者，在這些圖式中， 件附上相同的編號。 ％例相同的功能的構成構 明，地’對-些準分子燈進行說 照射物進行光清二= 基板等的被 [準分子燈] $置的先源燈。 ,準分子燈如圖1 (a)至圖丨（e)所示，於較 ^的放電管i的上平坦面上形成著第i電極2，並且於$ 平坦面上形成著第2電極3。 、 …放電管1是以方形石英塊（blGek)來堵塞由合成石英 形成的方形的筒體左右關口端的_容器，在内部封入 著氣氣來作為放電用氣體。該放電管i是橫跨左右地配置 於搬送路徑的上方，該搬送路徑用來朝前後方向移送被照 射物，因此’该放電管1的左右尺寸較長，根據被照射物 的尺寸’有時該放電管1會超過1000 mm。又，該放電管 1的上下表面是由寬度為35〜50mm (本實施形態中為37 mm)左右的大致平坦的上平坦面與下平坦面所形成，左 12 201003720. J i JUOjJJL丄 右的表面亦是由高度為 mm)左右的具有圓角 =16mm (本實施形態中為12 與長度方向垂直的側輯形成（因此， r ij 面的大致整弟1電極2是在放電管1的上平坦 方形的區域的内側f以^致方形的紹蒸錢膜，於該大致 薄膜狀的第i電極2。：：隙:，面的電極圖案來形成 部形成著窗口部2&。窗⑽亥弟1電極2的右侧的端 部的方形的區域，在今^ a形成於第1電極2的右端 分，於該區域中，將多 ===== 眼）中露出著放電管二Γ平多個間隙（網 上方釋出。 /、二紫外線自此處朝 坦面的大致整個::形是於，管1的下平 左右及前後，驗膜等間隔地配置於 下方釋出並照射至被照射物。然而，㈣朝 :部形成著遮蔽部33猶心= 比上述第1電極2的窗口部2a的左端的正 更右側的區域，僅娜勒，料賴㈣膜=置 13 201003720 J X -iUOpll 在内側形成為無間隙的完整面的電極圖案。 2a 2 ㈣狀電極圖案是以如下的方式形成：間階“ =自區域的面積(開口率)均同為約乂 ：) =，亦均同為約鳩’约3。%的真空紫外線:載 上述第2電極3的遮蔽部3a至少形成於窗 下方的區域即可，為了防止自第2電極3的網&的 ^出的真空紫外線受到窗口部2a的影響，同時為^部分 敝部3a所反射的真空紫外線自窗口部釋出使該遮 “的正下方的區域更朝左右或前後稍作擴展 ，蔽部3a。於圖1⑷至叫)的情形:夺展:二 邻3a的左端與窗口部2a的左端相—致 使遮敝 至第2電極3的右端為止，因此，該遮== 3心部2a的右端更寬 '然而’若使遮蔽部％的右端 、匈口部2a的右端相—致，則於縮短燈長度的方面較佳。 再者，於上述第2電極3的左侧的端部亦形整 =部分，但該部分僅為㈣將電源賴於第^ 弓I出部。此外，例如，亦可有為了確保電流路^ 電極3的域的緣部擴大的情形，因此在第】電極3的左 右或前後的端部上，除了可形成遮蔽部3a以外， 作為完整面的部分。然而，先前，並未將窗口部2 &的▲下 方的第2電極3的區域設為完整面的部分。而且 蔽部3a兼用作使電源連接於第2電極3用㈣出部 14 201003720 的部z / 3的左侧的端部形成如本f施形態的完整面 間施力 準分子燈是對第1電極2與第2電極3之 的内部L介放J此在由介電體形成的放電管1 部激發作為放電㈣此，當於該放電管1的内 光）。接著，兮亩ίί 的真空紫外線（準分子發 隙而姆千工紫外線直接經由第2電極3的網狀的間 ==的下方釋出’或暫時被第1電極2二: 的下方釋i ^由”電極3的網狀的間隙而朝放電管1 呰冰 。此，若將朝該放電管1的下方釋出的真空 =:=微小的間隙而照射至在準分子燈的下方被搬 达的被恥射物，則可對該被照射物進行光清洗。 ㈣ί ’上述準分子燈中，自放電管1的内部所產生的放 電电漿所放射出的真空紫外線直接經由第i電極2的窗口 部2a的網狀的間隙，朝放電管1的上方釋出，或暫時被第 2^極3的鑛部3a㈣表面反射之後，經由第丨電極2 的窗口部2a的網狀的間隙而朝放電管j的上方釋出。因 此，若於準分子燈的右侧端部的窗口部2a的上方配置未圖 示的紫外線強度感測器，則可對該準分子燈所釋出的真空 紫外線的強度進行測定，藉此，可進行維護管理及真空紫 外線的強度控制等。 、 而且，進行真空紫外線的強度測定的窗口部2a位於 第1電極2的端部，該窗口部2a的下方的第2電極3的端 15 201003720 部被遮蔽部3a所遮蔽，因此，自該第2電 的真空紫外線的強度不會因窗，2a二; 勻。因此，該準分子燈可將左右方向的強度分佈 真 空紫外線照射至被照射物。 進而，自窗口部2a釋出的真空紫外線不僅包含直接 在放電管i的㈣所放㈣真空料線，亦包含被遮蔽部 3a反射之後所釋出的真空料線，因此，在與自第2電極 3朝下方釋出的真空紫外線相接近的條件下，自該窗口部 仏釋出紫外線。因此，可在與該準分子燈的照射至下方的 被照射物的真空紫外線的強度相接近的條件下，藉由自窗 口部2a釋出的真空紫外線，來準確地對上述準分子燈的紫 外線的強度進行測定，因此可確實地進行維護管理^真空 紫外線的強度控制等。 ^ 而且’一般對於準分子燈而言，點燈時間越長，則第 1電極2或第2電極3的反射率會因劣化而降低。因此， 如圖2(b)所示，在先前的準分子燈中，自第2電極3朝 下方二、射的真空紫外線的強度隨著點燈時間的經過，受到 =1電極2的反射率的降低的影響而大幅度地降低，但自 窗口部2a朝上方釋出的真空紫外線的強度本來就較少地 依存於第2電極3的反射光，不太受到反射率的降低的影 響’因此’隨著點燈時間的經過而降低的程度較為緩和。 因此，先前存在如下的問題：在該窗口部2a處測定的真空 紫外線的強度，並未準確地反映自第2電極3朝下方照射 的真空紫外線的強度因經時劣化而引起的降低。特別是當 16 201003720 j 1 ^uopif 第1，極2及第2電極3使用如本實施形態的紫外線的反 射率向的銘蒸鍍膜時，由於反射光產生作用的比例變大， 因此，由經時劣化弓丨起的反射率的降低的影響變得更加顯 著，無法準確地判定準分子燈的壽命。 —然而，如圖2(a)所示，在本實施形態的準分子燈中， 遮蔽部3=的反射率與第1電極2同樣會因劣化而降低，因 此’自該窗口部2a朝上方釋出的真空紫外線的強度與自第 p 2冑極3朝下方照射的真空紫外線的強度同樣地，會隨著 點燈時間的經過而大幅度地降低。因此，於本實施形態的 準分子燈中’在窗口部2a處測定的真空紫外線的強度準確 地反映了自第2電極3朝下方照射的真空紫外線的強度因 經時劣化而引起的降低，因此，可準確地判定準分子燈的 壽命。 再者，备、外線強度感測器亦可直接使用對於172 nm 的波長具有良好的感度的受光元件，通常在多數情況下， 利用螢光體來將波長172 nm的真空紫外線轉換為可見 U 光，由光二極體（photodiode)來接收該可見光。 [紫外線照射裝置] 上述準分子燈是自第2電極3的網狀的部分朝下方釋 出真空紫外線，因此，若被照射物的寬度比該第2電極3 的網狀的部分的左右長度更短，則在該被照射物的搬送路 控的上方，使1根或多根準分子燈的左右位置對齊，將上 述1根或多根準分子燈並列地配置於前後方向，僅由此便 可構成紫外線照射裝置。再者，於該情形時，亦可僅使用 17 201003720
J A 1個紫外線強度感測器’ It由機械手（robot)等來使該紫 外線強度感測器於各準分子燈的窗口部2a的上方依序移 動，藉此，依序對各準分子燈的真空紫外線的強度進行測 定0 然而’於被A?、射物的寬度比第2電極3的網狀的部分 的左右長度更長的情形時，如圖3所示，使用如下的紫外 線照射裝置即可’該紫外線照射裝置是將兩根準分子燈1〇 作為一對，將1對或1對以上（圖3中為2對）的準分子 燈10並列配置於被照射物的搬送路徑的上方，且鑛齒狀地 並列配置於前後方向。然而，於使用圖7至圖8所示的先 前的準分子燈的情形時，如圖9所示，於設置著窗口部％ 的部分，真空紫外線的強度降低，因此如圖4所示，在將 這些準分子燈11以兩根作為一對來使用的情形時，真空紫 外線的左右方向的強度分佈亦於各準分子燈u的設置著 窗口部2a的部分（A部附近）變得不均勻。 與此相對，於本實施形態的紫外線照射裝置的情布 時’如圖5的背面圖所示’以各對的兩根 2電極”的除遮蔽部3a以外的部分以左右相;= 分子燈1G錯開地配置成織狀，藉^可在 勻：照射真;ΐ:::左右長度的2倍的廣闊範圍内，均 的第2雷麻即’各對的其巾"'轉分子燈1( 的第2電極的是配置在賴，㈣—根準分子燈U 的第2電極的遮敝部是配置在左側。又 燈10是於前後方向上錯開地配置著，並且其== 18 201003720 J 1 ^uopif 燈10的遮蔽部3a的左端的位置盥另一 蔽部34右端恤抑—致她料Hi燈^ 實施形態的情形時，如圖3及圖果於本 根為分子燈1G中，可使其中—根^子燈在: 右側编部的® 口部2a的左端的位置、與—且、 10的左側端部的窗口部2a的右端的位置相2準分子燈 上述紫外線照射裝置巾，各對的兩根準。
第2電極3的網狀的部分在前後方向上錯開=方 向上連續地連結著，因此，如 ^於左右方 (―)所示，於這些第2電極3的網二 線:強度相互補充，使得左右方== 佈均勻地私。而且，與先前的準分子燈u 形態的準分子燈10中，自第1電極2的網狀部分釋 空紫外線不會受到窗口部2a的影響，因此，在該 線的左右方向的強度分佈中不會產生不均勻的部分。 [其他實施形態] 再者，於上述實施形態中表示了放電管i使用合成石 英的情形，但只要相對於所放射的紫外線的波長的4射率 較高，則未必限定於合成石英。 又，在上述實施形態中表示了如下的情形：以方形塊 體來堵塞方形筒體的左右的開口端，藉此來製作左右較長 的方形的放電管1，但該放電管i的製作方法並不限定於 此。此處，所謂左右較長的方形，是指與前後的寬度及上 下的高度相比較，左右的長度為最長的方形。而且，此處 19 201003720 J1juopu 所謂的方形只要是沿著前後方向及上下方向的切斷面的縱 d面=狀大致為方形即可，角部亦可有倒角或圓角等。進 而’右上表面與下表面大致為平坦面，則前後的侧面不一 定必須為平坦面，例如亦可如上述實施形態般，朝外側彎 曲為圓角形狀。而且’為了填充氣體或安裝準分子燈等， 亦可於放電管1的外形上形成若干凹凸。 Μ又，上述實施形態中表示了使用左右較長的方形的放 電官1的情形，但即便為其他形狀的放電管丨，亦可同樣 地實施本發明。進而’放電管i的上表面與下表面亦並不 T定於平坦面。例如，如圖6所示，亦可使用拱形的放電 官1 ’該放電管1的下表面大致為平坦面，而上表面為半 圓筒面狀。 又，上述實施形態中表示了使用氙氣來作為放電用氣 體的情形，但亦可使用能夠進行準分子發光的其他稀有氣 體（rare gas)及其_素系氣體、以及其他物質。進而，上 述實施形態中表示了放射出波長172 nm的真空紫外線的 情形，但由於紫外線的波長是取決於用作放電用氣體的物 貝，因此，並不限定於波長172nm ,亦並不限定為真空紫 外線。 〃 又，上述實施形態中對準分子燈進行了說明，但本發 明中並不一定必須伴隨有準分子發光，例如亦可為利用了 水銀原子（mercuryatom)的線光譜（丨inespectrum)的放 射出254 nm的其他外部電極型放電燈。 又，上述實施形態中表示了如下的情形：在第丨電極 20 201003720 2的窗口部2a與第2雷炻2 u 電極正交而使網眼成為正方'的分，使細長的多個 可為任意。例如，細長的電極亦可2J該網狀的圖案 菱形或平行四邊形的情形y ,，、’、不正父，而網眼成為 眼（honeycomb mesh)狀。二如周眼可為六邊形的蜂巢網 :的電極圖案隔開間隔地加以:列 上述拱形的放電管i的愔 〆成為軚齒狀，或於 電極圖案來作為第2電極"。卞，僅形成1根細長的線狀的 又，上述實施形態令表 的圖案與第2電極3 二f電極2的窗口部23 該圖案並不—定必須 刀的圖案相同的情形，但
件相近，這些網狀的開口率時::使釋出紫外線的條 又’已表示了第丨番_L 線完全阻斷的完整面的情形，上為將真空紫外 例如亦可藉由網狀等的 ^電極2或遮蔽部3a 透射。然而，第1電極使某程度的真空紫外線 極3的紫外線透射率，遮蔽部U =率必須低於第2電 f高於第透窗射;=紫外線透射率必 3或窗口部2 a的紫外㈣=率：而且’由於第2電極 部3a的紫外線透鼾、 ”、、要向於第1電極2或遮蔽 質輪異’電極膜自身亦“== 21 201003720 joopir 而，不僅弟2電極3或窗口部以 部3a的電極膜自身 弟1電極2或遮蔽 該情形時，H / 某度的紫外線透射。然而，於 <祕f幻電極2的紫 於 3的紫外線透射率，逨㈣：：射，低於第2電極 2電極3的紫外:透^ ί的紫外線透射率必須低於第 紫須 近，第1電極 /、弟2電極3的紫外線透射率較佳為相同。 、隹上述實施形態中，表示了第1電極2的窗口部仏 進而形成_賴留著完整_部分的方職域的情形， 但亦可於前後的端部殘留著此種完整面的部分，相反地， 亦可於第1 f極2的整個端部形成窗口部〜。亦即，窗口 a形成於第1電極2的左右的端部’該端部並不限定於 攻端緣’亦可為稍微朝中央靠近的端部。進而，該窗口部 2a的區域形狀並不限定於方形，可為任意的形狀，例如亦 可為圓形。又，於被照射物的形狀較小的情形等時，窗口 部2a或遮蔽部3a亦可根據用途而例如形成於中央而非形 成於端部。 又，上述實施形態中表示了窗口部2a形成於第i電 極2的端部的情形，但即便窗口部2a形成於端部以外的區 域’亦可實施本發明。 又’上述實施形態中表示了第1電極2或第2電極3 為鋁蒸鍍膜的情形，但上述第1電極2或第2電極3可為 铭以外的金屬蒸锻膜，亦可為以蒸錢以外的方法而形成的 22 201003720 31568pif ^屬薄膜。進而，上述第i電極 缚膜以外的厚膜等的導電膜，亦可為:為金屬 面上的金屬羯、配置於放電管i:、、；電官1的表 線等的導電材料所形成的導電膜的表面的金屬板、或由電 又’上述實施形態中，對第 > 形成於作為放電管i的外表面Z 2電極3均 極型放電燈進行了說明 的外部電 r' 燈而言，同樣亦可實施本的内部的外部電極型放電 外部=Ϊ:實it::::-的 ======= 筒_上表*的大致整個=;:二電成管:：圓 不的端部形成著網狀或細長的線二= 2管1的内部的下部即内側下表面蝴=於： 3 = 形成著將該電職扁而成為扁平的平面狀 於上述構成的外部電極型放電燈的情形 =管1的下平坦面幾乎不被由電線所形成的^電 二直接自放電管1的内部照射至下方的被照射 为’或如圖不的一點鏈線所示’真空紫外線被第！電極 反射之後照射至被照射物w。又，真空紫外線自放電管 23 201003720 31568pif ::直電=未方圖遮蔽部 3a而釋出至外部 型放電燈的上方釋出，或^1遮蔽部3a反射之後朝外部電極 的效果。 藉此’可獲得與上述實施形態相同 雖然本發明已以實 本發明，任何所厘4^ 例揭路如上，然其並非用以限定 本發明之精神和範_ * U心知識者，在不脫離 發明之保護範圍當作些許之更動與潤飾，故本 _之中請專利範_界定者為準。 【圖式簡單說明】 子燈= —實施形g ’圖1⑷是表示準分 圖’ ® 1⑴是表示準分子燈的構成的 (C)是表示準分子燈的構成的背面圖。 傲土义//a)、圖2 是表示本發明的一實施形態（a) 歹’ b)的因電極的經時劣化而使得真空紫外線的強 度降低的圖表。 圖3是表示本發明的一實施形態，且是表示使用著以 兩根為一對的準分子燈的紫外線照射裝置的構成的平面 圖。 圖疋表示先前例，且是用以表示以兩根為一對的準 分子燈的真空紫外線的強度分佈的準分子燈的局部放大平 面圖 '局部放大背面圖、及強度分佈的圖表。 、圖5是表示本發明的一實施形態’且是用以表示以兩 根為一對的準分子燈的真空紫外線的強度分佈的準分子燈 24 201003720 31568pif 的局部放大平面圖、局部放大背面圖、及強度分佈的圖表。 圖6是表示本發明的其他實施形態，且是外部電極型 放電燈的縱剖面正視圖。 圖7是表示先前例，且是用以表示準分子燈的構成的 俯視立體圖。 圖8是表示先前例，且是用以表示準分子燈的構成的 仰視立體圖。 圖9疋表示先前例，且是用以表示準分子燈的真空紫 外線的強度分佈的準分子燈的局部放大平面圖、局部放大 背面圖、及強度分佈的圖表。 【主要元件符號說明】 I :放電管 2:第1電極 2a :窗口部 3 :第2電極 3a :'遮蔽部 10 :準分子燈 II :先前的準分子燈 A :部位 W:被照射物 25