TW200932065A - Electrode device for gas discharge sources and method of operating a gas discharge source having this electrode device - Google Patents

Description

200932065 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於至少包括一可圍繞一旋轉轴旋轉 的電極輪的氣體放電源的電極裝置，該電極輪具有___在二 個側表面間的外輪周表面，及一經配置以限制在該電極輪 之旋轉期間施加至該外輪周表面之至少一部分的液態材料 ' 膜之厚度的擦拭器單元。本發明進一步係關於一種包括此 一電極裝置之氣體放電源及一種操作具有此電極裝置之氣 © 體放電源之方法。 【先前技術】 舉例而言，氣體放電源係用作用於EUV輻射（EUV :超 紫外線）或軟X射線之光源。EUV微影領域中尤其需要發射 EUV輻射及/或軟χ射線之輻射源。輻射係由藉由一脈衝電 流產生的熱電漿予以發射。迄今為止已知的最強勁的EUV 輻射源係利用金屬蒸氣予以操作以產生所需電漿。此一 ❹ EUV輻射源之一實例係在w〇 2〇〇5/〇2528〇 A2中顯示。在 此已知的輻射源中，該金屬蒸氣係產生自施加至該放電空 間中的一表面並藉由一能量射束，特定言之係藉由一雷射 k 束予以至少部分地蒸發的金屬熔體。在此輻射源之一較佳 、 實施例中，此二個電極係經可旋轉地安裝形成在該輻射源 之操作期間被旋轉的電極輪。該等電極輪在旋轉期間浸入 =有該金屬熔體之容器中…脈衝雷射束係直接導引至該 、電區域中的該等電極之一者的表φ，以便由該黏附金屬 體肩 4 分· A gJI _ 〜金屬蒸氣並激勵該放電。該金屬蒸氣係藉由一 133600.doc 200932065 具有數kA至數10 kA之電流予以加熱，使得以激發所需的 離子化階段並發射具有所需波長的光。形成於該等電極輪 之該等外輪周表面上的該液態金屬膜用作該放電中的輕射 媒體並作為一再生膜保護該輪免受腐钱。

對於此一EUV放電燈之穩定的EUV輻射輸出，需要的係 連續放電脈衝總是碰撞該等電極表面之一新的平滑部分。 該移動電極表面上的連續放電脈衝之距離係為零點幾毫米 至幾毫米級。主要藉由提高該放電之重複率可提高該燈之 功率。因此，該電極旋轉速度必須相對提高。 實驗上已發現該旋轉電極上的該液態金屬膜之膜厚度係 藉由提高由於離心力引起的旋轉頻率而增加。高旋轉頻率 時，該膜厚度可達到數百微米，導致喷射開該電極表面之 液態金屬液滴之形成。此等液滴可引起該燈中短路且因此 導致燈故障。此外，該液態金屬膜之不同膜厚度影響該等 電極間的有效距離。這需要最優化用於每個旋轉頻率之該 燈之操作參數。WO 2005/025280 A2揭示剝離器或擦拭器 之使用以便確保施加至該#電極輪之該外輪周I面的該液 態材料膜之受限厚度。然而，該等電極輪之旋轉頻率係由 於液滴之形成或該液態金屬膜在較高旋轉速度下的不穩定 性而受限制。 【發明内容】 本發明之目的係提供一種用於一氣體放電源中的電極 裝置以及-種用於操作一具有此一電極裝置之氣體放電源 之方法’其允許在較高旋轉頻率下的穩定操作以實現一較 133600.doc 200932065 高的輸出功率。 此目的係藉由根據技術方案1、14及16之該電極裝置、 該氣體放電源及操作該氣體放電源之方法予以實現。該電 極裝置、氣體放電源及方法之有利實施例係相關技術方案 . 之主旨或係在該說明書之隨後部分中予以揭示。 所提出的該電極裝置至少包括一圍繞一旋轉軸旋轉之電 極輪，該電極輪具有一在二個侧表面間的外輪周表面，及 φ 一經配置以限制在該電極輪之旋轉期間施加至該外輪周表 面之至少一部分的液態材料膜之厚度的擦拭器單元。該擦 栻器單元係經配置及設計以在該外輪周表面與該擦拭器單 元之一擦拭邊緣間形成一縫隙，並在該電極輪之旋轉期間 抑制或至少降低液態材料自該等側表面遷移至該輪周表 面。 已發現與WO 2005/025280 A2中揭示的已知的電極裝置 比較’由於抑制或至少降低液態材料自該輪之該等側表面 φ 流動至該外輪周表面之該擦拭器單元，此一電極裝置之該 電極輪可在較高旋轉速度下旋轉。利用WO 2005/025280 A2之擦拭器無法實現此一方法，該擦拭器僅控制該外輪周 ' 表面上的膜厚度。此流動或遷移之降低允許該輪之該外輪 • 周表面上的液體材料之總量的改良控制及其在此表面上的 分佈°因此’即使在較高旋轉速度下，該旋轉電極輪上的 s玄液態材料膜之厚度可經有效地限制以形成一在放電區域 中維持足夠厚度的穩定膜。與不具有此一抑制或降低液態 材料自該等側表面遷移至該外輪周表面並減少該外輪周表 133600.doc 200932065 面上的液態金屬量之擦拭器單元的電極裝置比較，利用此 方法可實現較高的旋轉速度。 在一氣體放電源中，將此一電極裝置用作該等電極之至 少一者’該電極輪之較高旋轉速度允許提高用於形成一脈 衝氣體放電之脈衝頻率，只要用於蒸發該液態材料之二個 連續脈衝不重疊於該電極表面上。此一氣體放電源較佳包 括二個經配置以在該放電區域具有一最小距離的電極、一

用於在該二個電極間施加高電壓之電源及一用於將液態材 料膜施加至該電極輪之該外輪周表面之至少一部分上的裝 置。或者，該材料可作為一固態材料被施加至該電極輪之 該外輪周表面上且接著經加熱以在此外輪周表面之至少一 部分上形成一液態材料膜。在一較佳實施例中，二個電極 皆係具有根據所提出的電極裝置之對應的擦拭器單元之電 極輪。 該擦，器單元可由—個單—擦拭器元件或數個一起作用 的擦拭益兀件予以形成。該單一擦拭器單元或該等擦拭器 較佳地係經配置及設計以在該電極輪之旋轉期間剝除 ^相鄰於該輪周表面之該等側表面之部分處的液態材料。 2目的’對應的擦拭^件可形成為在面向該電極輪之 :::表面之部分具有-又狀形狀。該擦拭器元件在該輪 係藉由件之一擦拭邊緣界定-縫隙，該縫隙 找器元件側皆被閉合。該輪周表面與該擦 擦拭邊緣間的此縫隙為必需，以便將該液態 133600.doc 200932065 材料膜之厚度限制至一所靈古译 哭_从 觀所需间度。藉由特別地塑形該擦拭 該擦拭邊緣及/或础接此縫隙之該電極輪，可實 現該液態材料臈之一所需形狀 .φ πw狀舉例而言，該電極輪之該 :周表面在其寬度上可具有-平面形狀或-曲線形狀。 ，料輪周表面亦可包括1該電極輪之輪圓方向延 盆=槽。在該等較佳實施例之一者中，該外輪周表面在 广上具有一平面形狀且同時該擦拭器單元係經設計以 ❹ ❹ :該外輪周表面之此寬度上形成一具有—值定厚度的縫 陳0 雖然在上述該等實例或較佳實施例中該等擦拭器元件之 一者係經設計以形成該縫隙且同時自該電極輪之該等側表 面剝除液態材料，但亦可能的係使用該等擦拭器元件之一 者以形成該縫隙且使用另一或另外數個擦拭器元件以剝除 在該電極輪之該等側表面之部分上處的液態材料。此外， 數個擦栻器單元可被配置在相對於該旋轉方向的該輪周表 面之不同位置以便進-步改良該輪周表面上的該液態材料 膜之塑形。較佳地係此另—擦拭器單元係經類似於該 拭器單元被設計，其具有限制該輪之該等表面上的該液態 材料膜之厚度的-或數個擦拭器元件。此另—擦找器單: 接著係在該主擦拭器單元之前以一旋轉方向被配、置。早7^ 較佳為採取進-步的措施以減少可在該電極輪之旋 間自該等侧表面遷移至該輪周表面之液態材料量。 施之-種係使用一在該外輪周表面具有一T形橫截面之； 極輪。由於此T形形式，該液態材料無法以一直接的方式 133600.doc • Π · 200932065 進入該外輪周表面，而是必須圍繞一突出物移動。另一較 佳的措施係在該電極輪之該等側表面上施加一非濕層或塗 層。理所當然，另一方面，該外輪周表面必須由一濕材料 組成或係藉由此一材料予以塗佈。 在該擦拭器單元與該放電區域之間，該液態材料臈經受 動態地影響該膜厚度輪廓並可引起液態材料液滴之形成的 離心、黏性及表面張力。為了具有對該液態材料膜進展之 ❹ 最大控制及/或為了實現最高可能的旋轉頻率而不形成液 滴’此專利申請案中揭示的所有該等措施可同時被應用。 不同的措施亦可個別地被組合。 為了允許吊於控制該外輪周表面上的該液態材料之膜厚 度的該縫隙之最佳調整，界定該縫隙之該擦拭邊緣與該電 極輪之該外輪周表面之距離較佳地係藉由使用一可調整的 擦拭器件予以調整。這允許該縫隙之適當的設定仰賴於 虽操作δ亥軋體放電源時使用的該液態材料之旋轉頻率及屬 ❹ 性。 已發現，若在垂直於該旋轉方向之平面中的該縫隙之橫 截面面積不超過一最大面積Amu，則可利用穩定的液態材 - 料臈實現最高的旋轉頻率，其中：

Amax-8cj/(p〇j2r) 其中σ及p刀別係該液態材料之表面張力及密度，〇=2 π ’f係角旋轉頻率且r係該輪半徑。此縫隙在該擦拭器位 置界定該液態材料膜輪廓並在放電位置控制液態材料總量 及液態材料臈輪廓。對於在高旋轉速度下的該膜之高穩定 133600.doc 200932065 隙小型縫隙。另-方面，必須選擇㈣大的縫 可用足夠液態材料以確保在該放電位置之數十微 度。在所提出的操作-具有所提出的電極 =乳體放電源之方法中，該縫隙之面積係因此受控制 一現上述專式。在所提出的氣體放電源之該等實施例之 :者中，該縫隙之值定厚度係藉由一適當的感測器及一適 备的控制單元在該氣體放電源之操作期間予以自動地控 制。 ^所提出的操作此-氣體放電源之方法中，較佳地係使 用-具有一外輪周表面之電極輪，其具有一矩形形狀的橫 截面或在該橫截面輪廓之部分至少具有一矩形形狀。該電 極輪或其橫截面之至少一矩形部分之寬度D係經選擇為在 D D<l〇.D*之範圍内，其中…。已發現利用一 電極輪實現上述等式，結合上述進—步方法的—些或所有 可實現無液滴形成的最大旋轉頻率。 ❹ —為了在該擦拭器元件與該輪之該外輪周表面間維持一界 疋的縫隙厚度’該擦拭器可藉由―如彈簧的彈性元件予以 按塵在該輪表面上’導致—如具有—流體力學轴承的效 果。在此一情況下，一明確的膜厚度係仰賴於旋轉速度及 將該擦拭器元件抵於該表面按壓的該彈力予以實現。或 者該縫隙厚度且因此該液態材料層之厚度可被控制，舉 例而言，係藉由滚動該擦拭器單元上的元件，其界定該擦 拭器元件至該電極輪之該外輪周表面之距離。 為了實現對該放電區域或位置上的該液態材料膜之厚度 133600.doc -13- 200932065 的最大控制’該擦栻器單元應經配置為盡可能接近此放電 位置。此外，該擦拭器材料必須為機械穩定且對熱液態材 料具有化學與熱抗性。在液態錫（Sn)之情況下用於一適當 材料的一實例係鎢或鉬。此外，為了實現最高可能的圓周 速度V (0.R且因此實現最高放電重複頻率，該輪半徑應被 選擇為盡可能大，一致於其他要求。 本發明之此等及其他態樣可鑑於並參考下文描述的該等 實施例予以闡明。 ^ 【實施方式】 以下藉由結合隨附圖式之實例描述所提出的電極裝置、 氣體放電源及操作方法，而不限制由請求項所界定的保護 範圍》 圖1顯示一脈衝氣體放電源之示意性的側視圖，其中可 實施-根據本發明之電極裝置。該圖中未顯示此電極裝置 之細節。該氣體放電源包括配置於可預定氣壓之一放電空 ❹ 中的該二個電極1、2。該等輪形電極丨、2係經可旋轉安 裝，亦即，其等係在操作期間相對於-旋轉軸3旋轉。在 旋轉期間，該等電極卜2部分地沉浸至對應的容器4、5 - 中。此等容器4、5之每者包含-金屬熔體6,在此情況中 為液態錫。該金屬熔體6係保持在一大約3〇〇。〇的溫度，亦 即，略微高於錫23(TC的熔點。該等容器4、5中的該金屬 熔體係藉由連接至該等容器的—加熱裝置或—冷卻裝置 (該圖中未顯示）予以維持在以上的操作溫度。在旋轉期 該等電極卜2之該等外輪周表面係藉由該液態金屬予以: 133600.doc -14· 200932065 化使得該等電極上形成一液態金屬膜。該等電極丨、2之該 外輪周表面上的該液態金屬膜之厚度係藉由一僅在圖 示意性地指示的擦拭器單元u予以控制。此擦拭器單元11 之實例係在圖3至7中顯示。經由金屬熔體6提供電流至該 等電極1、2，該電流係經由一絕緣饋送通道8連接至該電 容器组合7。 脈衝雷射束9係在該二個電極間的最窄點處聚焦於該 ❿ 等電極1、2之一者上。結果，位於該等電極1、2上的該金 屬膜之部分蒸發並在該電極縫隙上橋接。這導致此點上的 放電之激勵A藉由該電容器組合7供電的+分快速的電流 提升。此冑電流將該金屬蒸氣或燃料加熱至高溫使得後者 經離子化並在一捏縮電漿丨5中發射所需輻射。 為了防止燃料自該氣體放電源散逸，一碎片緩解單元1〇 係配置在该氣體放電源前方。此碎片緩解單元允許入射 直接穿出該氣體放電源並在其出口上保留高數量的碎片微 〇 粒。為了避免該氣體放電源之該機殼受污染，可在該等電 極1、2與該機殼之間配置一螢幕12。此外，一金屬護罩13 係配置在該二個容器4、5間的該縫隙内，以便降低燃料擴 • 散至此縫隙中。 ® 2顯示圖i之該電極輪示意性的側視圖。該旋轉 輪1係接觸一藉由圖1中#容器5形成的、液態金屬供應器 14’其中該輪係經部分的浸沒。在該液態金屬供應器㈣ 藉由捏縮電㈣指示的放電位置之間的路徑上，其中該液 態金屬膜之部分將藉由每個雷射脈衝予以消炼，形成於電 133600.doc -15- 200932065 極輪1之該外輪周表面上的該液態金屬膜首先係藉由一選 用預擦栻器16予以塑形且接著係藉由一主擦拭器予以塑 形，如圖2中指示。 電極輪1之該輪周表面及擦拭器u、16之該等擦栻邊緣 之形狀係經選擇使得利用該電極輪1之所需旋轉頻率在該 放電位置實現最佳的液態金屬膜厚度輪廓。藉由結合—經 充分設計的電極輪表面適當地塑形並定位該（等）擦拭器， ❾ 該液態金屬臈可經控制以在最高旋轉頻率下保持穩定及/ 或集中在該電極輪之該外輪周表面上的一所需位置。適當 的形狀之實例係在圖3至7中顯示。 本發明之一主要特點係擦拭器單元丨丨之設計，其係相對 於該電極輪1之旋轉移動而最接近該放電位置之該擦拭器 單元。此擦拭器單元11係經設計以抑制或至少降低在該輪 之旋轉期間液態金屬自該電極輪之該等側表面流動至該外 輪周表面。為此目的’該擦栻器單元11可由一如圖3中顯 Φ 示的具有一叉狀形狀的單一擦拭器元件形成。由於此一擦 拭器單元11，一界定縫隙17係形成在該電極輪1之該外輪 周表面1 8及該擦拭器元件之一相對擦拭邊緣19間。同時該 • 電極輪1之該等侧表面26及27上的液態材料係藉由該擦拭 器元件之側片20予以剝除且不可流動至該電極輪之該外輪 周表面1 8上。 圖4顯示一進一步的例證性的實施例，其中除了該擦拭 器單元11之叉狀形狀外，該電極輪1係形成以具有一延伸 在其外輪周表面周圍的凹槽21。在此情況中，擦拭器單元 133600.doc • 16 - 200932065 11之該擦拭邊緣19與該電極輪1之該外輪周表面18間的該 縫隙17係由該凹槽21之深度界定。 圖4亦指示該電極輪1之該等侧表面上的一非濕塗層25， 其避免在旋轉期間此等侧表面上形成較大量的液態材料。 為了進一步限制液態材料自該電極輪之該等側表面遷移 至其外輪周表面，如圖5中顯示，該電極輪在該外輪周表 面上可具有一 T形橫截面。此T形形式又限制液態材料自該 ❹ 等側表面遷移至該外輪周表面。在圖6之實例中，該擦拭 器單元11係由三個擦拭器元件22、23、24組成。第一擦拔 器元件22在該外輪周表面is與擦拭邊緣19間界定該縫隙 17。第一擦拭器元件23及第三擦拭器元件24自該電極輪之 該等側表面剝除液態材料。 圖3至5已顯示該電極輪之該外輪周表面及擦拭器單元u 之該對應的擦拭邊緣間的縫隙，其等具有一矩形橫截面。 然而，若該放電位置且因此最大膜厚度意為離開該電極輪 〇 之該外輪周表面之中間’則可使用與該擦拭器單元之經對 應調適的設計連接的該電極輪之該外輪周表面上的其他輪 形狀。用於此等幾何之實例係在圖6及7中顯示。由於該電 . 極輪及該擦拭器單元之二種幾何，該液態材料將相對於該 電極輪之旋轉平面偏離中心地積聚。在圖6中，該擦拭器 單元11係由一單一擦拭器元件予以形成，因此在圖7中， 不同的擦拭器元件22、23、24形成擦拭器單元^。 圖8及9顯示在一根據不包括任何擦拭器的先前技術之放 電氣體源與根據本發明之放電氣體源間的在該放電位置膜 133600.doc -17- 200932065 厚度對該電極輪之旋轉速度的相依性比較。本發明之該放 電氣體源使用一根據圖3的擦拭器單元β如可從圖8之圖中 可見，在一根據先前技術之系統中的該液態金屬膜之膜厚 度隨著旋轉速度提高至700 μηι而顯著提高。液滴係在高於 12 Hz之旋轉速度下形成。由於該電極輪之相同的幾何， 一根據本發明之放電源之該膜厚度係保持在一在旋轉速度 直至18 Hz之旋轉速度的寬範圍上的處於5〇與1〇〇 間的 ❹ 厚度範圍内。液滴之形成開始於大於18 Hz之頻率下。這 意味著可藉由使用一具有根據本發明之適當的擦拭器單元 的電極裝置將最大旋轉頻率從12 Hz提高至18 Hz{)因此， 實現在穩定燈操作中該放電之重複率的顯著提高，導致該 燈之更高的輸出功率。 雖然在該等圖式及前述描述中已詳細繪示並描述本發 明，但此繪示與描述應被視為說明性或例證性而非限制 性’本發明並不限於所揭示的該等實施例。以上描述及請 © 纟項中描述的該等不同的實施例亦可被組合。熟習此項技 術者在實作所請求的本發明之請求項、研究圖式、揭示内 容與附屬請求項時，可瞭解與達成所揭示之具體實施例的 . *他變更。舉例而言’亦可使用多於二個擦拭器單元或可 • 使用具有—不同設計的擦拭器單ϋ，如該等圖中所顯示 者此外，在一根據本發明之放電源中，一單一或二 極可^同所請求的該電極裝置而經設計。 在月求項中，包括"-詞並不排除其他元件或步驟，且 不定冠詞，，—"並不排除係複數。互不相同之相關請求項中 133600.doc •18- 200932065 描述之特定方法並不表明該 求項中的該等參考標記不應解釋成之限：具備優[請 圍。 此等請求項之範 【圖式簡單說明】 電源之 圖1係一根據本發明之具有一 示意圖； 、有冑極裝置之氣體放 圖2係一具有一擦拭器單元 ❹ Ο 擦拭器元件之電極輪之示意性的側視圖1擦栻器之額外 圖3係一顯示所提出的該梦詈 置之一擦栻器簞 一— 實例的一橫截面的示意圖； 擦拭器單元的一第 圖4係一顯示所提出的該裝置之 實例的一橫截面的示意圖； 圖5係一顯示所提出的該裝置之-擦栻器單元的一第三 實例的一橫截面的示意圖； 圖6係一顯示所提出的該裝 Λ裝置之—擦拭器單元的一第四 實例的一橫截面的示意圖； 圈7係一顯示所提出的該裝置之-擦拭器單元的一第五 實例的一橫截面的示意圖； 圖8係一顯示該電極輪上沾 ;上的膜厚度對根據先前技術之該 電極輪之旋轉速度的相依性的測量圖；及 圖9係一顯示當使用一根掳 很據本發明之電極裝置時該電極 輪上的膜厚度對根據先前抽 則技術之該電極輪之旋轉速度的相 依性的測量圖β 【主要元件符號說明】 133600.doc «19- 200932065 1 電極輪 2 電極輪 3 旋轉軸 4 容器 5 容器 6 金屬熔體 7 電容器組合 8 饋送通道 ❹ 9 雷射脈衝 10 碎片緩解單元 11 擦拭器單元 12 螢幕 13 金屬護罩 14 液態金屬供應器 15 捏縮電漿 Ο 16 預擦拭器 17 縫隙 18 外輪周表面 • 19 擦拭邊緣 20 側片 21 凹槽 22 第一擦拭器元件 23 第二擦拭器元件 24 另一擦拭器元件 133600.doc -20- 200932065 25 非濕塗層 26 電極輪之側表面 27 電極輪之側表面 ❿ 133600.doc -21 -

Claims (1)

1. 200932065 十、申請專利範圍： 1. 一種用於氣體放電源之電極裝置，其至少包括·· 可圍繞紋轉軸（3)旋轉之電極輪（！），該電極輪〇) 具有一在二個側表面（26、27)間的外輪周表面（18)，及 _ 一擦拭器單元（11)，其經配置以限制在該電極輪（1)之 旋轉期間施加至該外輪周表面（18)之至少一部分及該等 側表面（26、27)的一液態材料膜之厚度， 其中該擦拭器單元（11)係經配置及設計以在該外輪周 表面（18)與該擦栻器單元（11)之一擦拭邊緣（19)間形成一 縫隙（17)，並在該電極輪（1)之旋轉期間抑制或至少降低 液態材料自該等側表面（26、27)遷移至該外輪周表面 (18)。 2. 如請求項1之裝置，其中該擦拭器單元（11)係經配置及設 計以在該電極輪（1)之旋轉期間剝除在相鄰於該外輪周表 面（18)之該等側表面（26、27)之部分處的液態材料。 3. 如請求項2之裝置，其中該擦拭器單元（11)包括一具有一 又狀形狀的擦栻器元件。 4·如請求項2或3之裝置，其中該擦拭器單元（11)包括一起 作用的數個擦拭器元件（22、23、24)。 5.如請求項4之裝置’其中該等擦拭器元件（22、23、24)之 一者係經設計及配置以形成該縫隙（17)且該等擦拭器元 件（22、23、24)之另一或另外數者係經配置及設計以剝 除在該電極輪（1)之該等側表面（26、27)之部分處的液態 材料。 133600.doc 200932065 6.=:二=:該電極輪⑴w輪周“ 7. 如續求項！之裝置，其中該外輪周表面（i8)形成一於輪圓 方向延伸的凹槽（21)。 8. 如請求们之裝置，其中該擦拭器單元⑴）係經設計以在 該外輪周表面⑽之-寬度上形成具有—悝定 縫隙（17>。

   月求項1之裝置，其中該等側表面（26、27)係藉由一非 濕材料或塗層（25)予以覆蓋。 月求項1之裝置’其中該擦拭器單元⑴）係經設計以允 許對於該電極輪⑴之不同的旋轉㈣，調整藉由該外輪 周表面⑽與該擦拭邊緣⑽間的距離界定的該縫隙（17) 之一寬度。 U如j項1之裝置，其中一另一擦拭器單元（16)係在該擦 拭窃單兀(11)之前以一旋轉方向經配置，該另一擦拭器 ❹ 單元（16)係經設計以限制該外輪周表面⑽上的該液態 材料臈之厚度。 種I括如明求項1之電極裝置的氣體放電源，該電極 • 纟f之該電極輪（1)形成該氣體放電源之二個電極（1、2) 之一第一者’該等電極係經g己置以在一放電區域具有一 最λ!距離’彡中該氣體放電源進一步包括一用於在該電 極輪⑴之該外輪周表面⑽之至少一部分上施加或產生 一液態材料膜之裝置（4、5)。 13.如請求項12之氣體放電源，其中二個電極（ι、2)係由一 133600.doc 200932065 根據請求項1之電極裝置予以形成。 !4. -種操作-如請求項12之氣體放電源的方法，其中電極 輪⑴係藉由一角旋轉頻率ω=2;Γ·£予以驅動，且其中該 擦拭器單元（11)係經調適為離該電極輪⑴之外輪周表面 (18)有一距離以形成具有—縫隙面積八之該縫隙（17),該 縫隙面積Α不超過一最大縫隙面積八㈣广“ / (pf〇2R)，其 中σ係所施加的液態材料之一表面張力，p係該所施加的 液態材料之一密度且R係該電極輪（丨）之一輪半徑，其係 被定義為該輪周表面（18)至該輪之該旋轉軸之距離。 15.如請求項14之方法’其中該電極輪係被製成尺寸為在 其外輪周表面（18)處具有一寬度D，其中D*<D<10.D*且 = π4〇Ί{ρω2Κ) 〇 ❹ 133600.doc