TW200931961A - Solid-state imaging device - Google Patents

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200931961 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種固體攝像裝置。 【先前技術】 作為固體攝像裝置，眾所周知的有使用CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconduetor，互補金屬氧化物半導體）技術者， 其中尤以被動式像素感測器（PPS : Passive pixel Sensor)方 式最為人所知（參照專利文獻丨）^ PPS方式之固體攝像裝 〇 置’係以厘列N行二維排列著包含產生與入射光強度相應 量之電荷的光電二極體之PPS型像素部，且將各像素部中 與光入射相對應而產生於光電二極體中之電荷，於積分電 路中積聚至電容元件中，並輸出與該積聚電荷量相應之電 壓值》 通常’各行Μ個像素部各自之輸出端經由對應該行而設 置之讀取用配線，而與對應該行而設置之積分電路之輸入 端連接。繼而’自第1列至第Μ列為止依次於每一列中， 於像素部之光電二極體產生之電荷，係經由對應之讀取用 配線而輸入至對應之積分電路，並自該積分電路輸出與電 * 荷量相應之電壓值。 ‘ pps方式之固體攝像裝置可用於各種用途，例如與閃燦 器面板組合而作為X射線平板而用於醫療用途或工業用途 等，更具體言之，用於X射線CT(Computer Tomography， 電腦斷層掃瞄）裝置或微聚焦X射線檢查裝置等。用於上述 用途之固體攝像裝置’係呈二維排列著ΜχΝ個像素部之受 134253.doc 200931961 光部面積較大，因而有於各邊長度超過10 cm大小之半導 體基板上進行積體化之情形。因此，有時只能由1片半導 體晶圓來製造1個固體攝像裝置。 專利文獻1:日本專利特開2006-234557號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 如上所述之固體攝像裝置中，當與任一行對應之讀取用 Ο

配線在製造過程中產生斷線之情形時，該行之河個像素部 中，位在相對於積分電路更靠近斷線位置處之像素部係 藉由讀取用配線而與積分電路連接，但位在相對於積分電 路係較遠離斷線位置處之像素部則並未與積分電路連接。 因此’位在相對於積分電路係更遠離斷線位置處之像素部 中，與光入射相對應而產生於光電二極體中之電荷不會讀 取至積分電路，而不斷地㈣於該光電二極體之接面電容 部中。 當光電二極體之接面電容部中所—旦 厅積t之電何里超過飽和 電平時’超過飽和電平部分之雪奸 丁I刀之電何會溢出至相鄰之像素 部。因此’若i條讀取用配線斷線，其影響不僅會涉及盘 該讀取用配線連接之行之像素部，亦會涉及相鄰兩邊之： 之像素部’結果導致連續3扞德 員订之像素部產生缺陷線。 若缺陷線不連續，1條缺阶硷 惊缺陷線之相鄰兩邊均為正常線， 則亦可使用相鄰兩邊之正當始 & , 常線之各像素資料來内推缺陷線 之像素資料。然而，連績± 連頊3仃之像素部都產生有缺陷線 時’則難以進行上述内推。尤兑a 尤其疋如上所述具有大面積之 134253.doc 200931961 故產生斷線之 受光部之固體攝像裝置因讀取用配線較長， 概率增大。 於專利文獻It，提出有一種試圖解決上述問題之發 明。該發明中，总， 次 ’、求出位於缺陷線相鄰處之鄰接線的總像 '、貝料之平均值’並且亦求出位於次一相鄰處之正常的數

Ο 之總像素資料之平均值，若該等兩個平均值之差為固 則判疋鄰接線亦存在缺陷，並對該鄰接線之像 、貧料進仃校正，進而依據該鄰接線之像素資料經校正後 H對缺陷線之料㈣進行校正。 二、文獻4揭示之發明中，對判定為缺陷之鄰接線之 、貝料進讀正時，係求出對於該鄰接線為兩側最接近 之正常線上的兩個像素資料之平均值，並將該平均值作為 :鄰接線之像素資料。X，對缺陷線之像素資料進行校正 日’係求出對於該缺陷線為兩側之鄰接線上的兩個像素資 料之平均值’朗該平均值作為該缺_之像素資料。 然而’專利文㈣揭示之發明中，為了對缺陷線(以及 判定為位於缺陷線附近之缺陷之線）之像素資料進行校 正，係複數次反覆進行求出兩個像素f料平均值之處理， 故而導致校正後之圖像中，在缺陷線附近解析度降低。 本發明係為解決上述問題而創作完成者，其目的在於提 供-種固體攝像裝置’該固體攝像裝置能夠於任一讀取用 配線出現斷線之情形時’對像素資料進行校正而獲得高解 析度之圖像。 [解決問題之技術手段] 134253.doc 200931961 本發明之固體攝像裝置具備：（1)受光部，其以Μ列N行 二維排列著ΜχΝ個像素部Phl〜ΡΜ,Ν ’該等像素部Pl l〜Ρμ Ν 分別包含產生與入射光強度相應量之電荷之光電二極體、 以及與該光電二極體連接之讀取用開關；（2)讀取用配線 L〇，n ’其與受光部中之第η行之Μ個像素部pln〜ρΜ η各自所 包含之讀取用開關連接，且將Μ個像素部pl n〜ρΜ η中之任 ❹ ❹ 一像素部所含之光電二極體產生的電荷，經由該像素部所 含之讀取用開關而加以讀取；（3)信號讀取部，其分別與讀 取用配線L0J〜L〇，N連接’保持與經由讀取用配線1^』輸入 之電荷量相應之電壓值，並依次輸出該經保持之電壓值； 以及（4)控制部，其對受光部中第m列之^^個像素部

Pm’l〜Pm，N各自所包含之讀取用開關之打開及閉合動作進行 控制，並且對㈣讀取料之㈣值的輸㈣作進行控 制，以使與受光部中MxN個像素部p丨丨〜pMN各自所包含之 光電二極體產生之電荷量相應之電壓值作為訊框資料而自 信號讀取部反覆輸出。其中，M、以上之整數， 以上Μ以下之各整數，11為1以上下之各整數。 本發明之固體攝像裝置除上述 又7^ °丨 續取用配線 ::、信號讀取部以及控制部1包含校正處理部，該校 正處理部係獲取自信號讀取部反 丨W輸出之各純資料並進 :二處理。X，本發明之訊框資料校正方 含上述受光部、讀取用配線L〇，n、信號讀取 ： 之固體攝像裝置所輸出之訊框轉進行校正之方法。心 本發明之㈣攝縣置所含之校正處理部、或者本發明 134253.doc 200931961 ❹ 之訊杧資料校正方法之特徵在於：⑷於讀取用配線 〜L〇，N中任一之第η1行讀取用配線L〇ni斷線時，將第d 二糊像素部Pl，nl〜PM，nI中因讀取用配線LG，nl斷線而未與 信號讀取部連接之像素部設為像素部Pml’nl，並將位於第 =相鄰之第„2行且與像素部Pmini鄰接之像素部設為像 素P ml,n2 (b)對自k號讀取部中輸出之訊框資料甲與像 素部pral，n2對應之電塵值，根據將該電難作為輸入變量 之函數式加以轉換後進行校正，並且⑷基於與像素部 Pm丨，n2對應之電壓值經校正後之值，而決定訊框資料中與 像素部Ρ〜Ι對應之㈣值。其中，m4l以上仙下之整 數，nl、η2為1以上Ν以下之整數。 根據本發明，當讀取用配線l〇，i〜l〇，n中任一之第η1行讀 ::配線L0’nl斷線時，將第nwM個像素-一一 讀取用配線斷線而未與信號讀取料接之像素部設為 :象素部？《又，將位於第nl行相鄰之第心行且與像素 ，，鄰接之像素部設為像素部P—2。繼而，將自产號 =部輸出之訊框f料中與像素部對應之電塵值， ^據將該Μ值作為輸入變量之函數式加以轉換後進行校 、、後’基於與像素部Pm]，n2對應之電麼值經校正後之 決定訊框資料中與像素部P—對應之電壓值。 行=用對於與斷線之第nl行讀取用配線L。，"1鄰接之第Μ =取用配線W上之像素部所對應之㈣值^進 :時’無需使用與正常線上之像素部對應之電麗值。 與專利文獻1令揭示之發明相比，本發明於校正後 134253.doc 200931961 之圖像中，缺陷線附近之解析度變高。 本發明之固體攝像裝置所含之校正處理部、或者本發明 之訊框資料校正方法，較好的是使用多項式作為函數式， 並且較好的是使用下述值作為上述多項式之係數，該值係 基於與非為像素部Pml，nl以及像素部PM，"2任一者之像素部 對應之電壓值的入射光強度依存性，以及與像素部p 1 2 對應之電麼值的入射光強度依存性而決定者。 ❹ ❹ 本發明之固體攝像裝置所含之校正處理部、或者本發明 之訊框資料校正方法，較好的是於讀取用配線L。，广l㈣中 任一之複數條讀取用配線斷線時，係根據該斷線之複數條 讀取用酉己線而分別言史定隸，來對訊框資料中與像素部 Pml，n2對應之電壓值進行校正。 固體攝像裝置包含複數組受光部以及信號讀取部時，本 發明之固體攝像裝置所含之校正處理部、或者本發明之訊 框資料校正方法，較好的是於複數個受光部中任一受光部 所含之任-行讀取㈣線斷線時使用如下係、數，該係數係 基於與非為該受光部所含之像素部ρ—以及像素部P — 任-者之像素部對應之電壓值的入射光強度依存性、以及 與像素部pml，n2對應之電壓值的入射光強度依存性而求出 之值。 又，本發明之X射線CT農置之特徵在於包含：⑴乂射線 輸出。P ’其朝向被攝體輸出x射線；⑺上述本發明之固體 攝像裝置’其接收自X射線輸出部輸出並經由被攝體而到 達之X射線照射來進行攝像；（3)移動機構，其係使X射線 J34253.doc -11 - 200931961 輸出部以及固體攝像裝置相對於被攝體作相對移動；以及 (4)圖像解析部，其輸入自固體攝像裝置所輸出之校正處理 後之訊框資料’並基於該訊框資料而生成被攝體之斷層圖 像。 [發明之效果] 根據本發明，能夠於任一讀取用配線斷線時，對像素資 料進行权正而獲得馬解析度之圖像。 【實施方式】 Ο

以下，參照隨附圖式，對用以實施本發明實之最佳形態 進行詳細說明。再者，於圖式說明中，對同一要素標註同 一符號並省略重複說明。 圖1係本實施形態之固體攝像裝置丨之概略構成圖。本實 施形態之固體攝像裝置1包含有受光部10、信號讀取部 2〇、控制部30以及校正處理χ，料χ射線平板使 用時’係於固體攝像裝置k受光面1()上層疊閃蝶器面 板。 受光部1〇係以㈣N行二維排列著ΜχΝ個像素部 ，M，N者像素4 Pm，n位於第m列第n行。此處，Μ、N分 別為2以上之整數，盔 m為1以上、下之各整數，ngi以 上、N以下之各整數。欠 各像素部Pm,η係PPS方式者且呈有丘 同構成。 ' 第m列之Ν個像素部卩 〜Pm，N係分別藉由第m列選擇用配 線Lv，m而與控制部3 〇遠垃喚, 硬接第η仃之μ個像素部p, n〜p 夂 自之輸出端係藉由第n杯確〜 ’，"谷 仃讀取用配線L〇，n，而與信號讀取部 134253.doc •12- 200931961 20所含之積分電路8„連接。 信號讀取部20包含有N個積分電路SrSN以及N個保持電 路Η丨〜HN。各積分電路心具有共同之構成。又，各保持電 路11„具有共同之構成。 各積分電路S"具有與讀取用配線L〇，N連接之輸入端，其 積聚輸入至該輸入端中之電荷，並將與該積聚電荷量相應 之電壓值自輸出端輸出至保持電路Hn。n個積分電路s丨〜％ 分別藉由放電用配線LR而與控制部3 〇連接。 各保持電路Hn具有與積分電路Sn之輸出端連接之輸入 端，其保持輸入至該輸入端中之電壓值，並將該經保持之 電壓值自輸出端輸出至輸出用配線L〇ut。N個保持電路 Η丨〜HN分別藉由保持用配線Lh而與控制部3〇連接。又各 保持電路札藉由第n行選擇用配線LH n而與控制部3〇連接。 控制部30將第m列選擇控制信號Vsel(m)輸出至第m列選 擇用配線Lv，m後，將該第〇列選擇控制信號Vsei(m)分別供 Q 給至第m列之N個像素部Pm，〗〜Pm，N。使Μ個列選擇控制信號

Vsel(l)〜Vsel(M)依次為有效值。控制部3〇具備移位暫存 器，以便將Μ個列選擇控制信號Vsel〇)〜Vsel(M)依次作為 有效值而輸出。 . 控制部30將第n行選擇控制信號Hsel(n)輸出至第n行選擇 用配線LH，j^，將該第η行選擇控制信號Hsel(n)供給至保持 電路Hn。亦使N個行選擇控制信號Hsel⑴〜Hsel(N)依次為 有效值。控制部30具備移位暫存器，以便個行選擇控 制k號沿61(1)〜Hsel(N)依次作為有效值而輸出。 134253.doc 200931961 又，控制部30將放電控制信號尺_輸出至放電用配線 lr後’將該放電控制信EReset分別供給至n個積分電路 S:SN。控制部30將保持控制信號⑽輸出至保持用配線

Lh後冑該保持控制信冑H〇ld分別供給至N個保持電路 Hi〜Hn。 a控制部3G以如上方式，對受光㈣中之第m列N個像素 部Ρ,,Α,ν各自所包含之讀取用開關s %之打開及閉合動 ❹ ❹ 作進行控制，並且對信號讀取部2〇中電麼值之保持動作以 及輸出動作進行控制。藉此，控制部30使與受光部10中之 xN個像素邛p丨,丨〜〜各自所包含之光電二極體叩中所 產生之電荷量相應之電壓值作為訊框資料而自信號讀取部 2〇反覆輸出。 校正處理部40獲取自信號讀取部2〇反覆輸出之各訊框資 料並進订校正處理’並輸出該校正處理後之訊框資料。關 於該校正處理部4〇中之校正處理内容將於後H細描述。 圖2係本實施形態之固體攝像裝置1所含之像素部P„’n、 積分電叫以及保持電路&各自之電路圖。此處，表示像 路圖來代表ΜχΝ個像素叫八^表示積 刀電路sn之電路圖來代❹個積分電路I、，又，表示保 持電路Hn之電路圖來代Μ個保持電路H,〜Hn。亦即，表 不第m列第η行之像素部I以及第n行讀取用配線L〇n之相 關電路部分。 像素部pm，n包括光電二極體印以及讀取用開關sWi。光 電二極體PD之陽極端子接地，光電二極體PD之陰極端子 134253.doc 200931961 經由讀取用開關SW!而與第η行讀取用配線L〇n連接。光電 二極體PD產生與入射光強度相應量之電荷，並將該經產生 之電荷積聚於接面電容部。讀取用開關SWi自控制部3〇獲 得通過第m列選擇用配線Lv m之第m列選擇控制信號。第m • 列選擇控制信號係對受光部10中第m列之N個像素部

Pm’i〜m，NP各自所包含之讀取用開關SWl之打開及閉合動作 進行指示者。 ❹ 該像素部匕^中，當第m列選擇控制信號Vse】(m)為低位 準時，瀆取用開關SW!打開，而使產生於光電二極體pD中 之電荷並不輸出至第n行讀敢用配線L〇n中，而是積聚於接 «電容部卜另-方面’當“列選擇控制信號Vsei(m)為 兩位準時，讀取用開關sw〗閉合，而使至此為止產生於光 電一極體PD中且積聚於接面電容部中之電荷，經由讀取用 開關SWi而輸出至第η行讀取用配線L〇,n*。 第η行讀取用配線L〇 n與受光部1〇中第n行之]^個像素部 〇 Pl’n〜PM，n各自所包含之讀取用開關SWi連接。第n行讀取用 配線L〇，M個像素部卜，广Ρμπ中任一像素部所含之光電二 _體PD中產生之電荷經由該像素部所含之讀取用開關請1 而加以讀取，並傳送至積分電路&中。 •積分電路sn包括放大器a2、積分用電容元件^以及放電 、1關SW2。積分用電容元件C2以及放電用開關相互 、。連接°又於放大器A2之輸入端子與輸出端子之間。放 ，2之輸入端子與第11行讀取用配線L〇 η連接。放電用開 2自控制部3〇獲得經由放電用g己線^之放電控制信號 134253.doc •15- 200931961

Reset。放電控制信號Reset係對N個積分電路Sc%各自所 包含之放電用開關SW2之打開及閉合動作進行指示者。 該積分電路心中，當放電控制信號Reset為高位準時，放 電用開關SW2閉合，積分用電容元件Cz進行放電，使自積 分電路^所輸出之電壓值初始化。當放電控制信號Resetg 低位準時，放電用開關SW2打開，使輸入至輸入端之電荷 積聚於積分用電容元件C：2中，而自積分電路心輸出與該經 積聚之電荷量相應之電壓值。 Ο 保持電路仏包括輸入用開關SW3l、輸出用開關SW”以 及保持用電容元件a。保持用電容元件Cs之一端接地。保 持用電容元件C3之另一端經由輸入用開關SW”而與積分電 路1之輸出端連接，並經由輸出用開關SW32而與電壓輸出 用配線Lout連接。輸入用開關sw”自控制部3〇獲得經由保 持用配線lh之保持控制信號Hold。保持控制信號H〇ld係對 N個保持電路Hl〜HN各自所包含之輸入用開關SW3】之打開 0 及閉合動作進行指示者。輸出用開關SW32自控制部30獲得 經由第η行選擇用配線LHn之第選擇控制信號Hsel(n)。 第η行選擇控制信號Hsel(n)係對保持電路Hn所含之輸出用 開關SW32之打開及閉合動作進行指示者。 •該保持電路Hn申，當保持控制信號Ho】d由高位準轉為低 位準時，輸入用開關由閉合狀態轉為打開狀態，此 時，將輸入至輸入端之電壓值保持於保持用電容元件q 中。又，當第π行選擇控制信號Hsel(n)為高位準時，輸出 用開關SW”閉合，而使得保持於保持用電容元件C3中之電 134253.doc -16- 200931961 壓值輸出至電壓輪出用配線Lout中。 p控制部30於輸出與受光部1〇中之第m列之_像素部 ,雷:各自之受光強度相對應之電麼值時，係指示藉由 控制信號Reset而將N個積分電路Si，各自所包含之 放電用開關SW2暫時閉合後再打開，其後，指 列選擇控制信號Vsel(m)而將受光藉第 又7^ 〇丨10中第m列之N個像素 i m’丨〜i>m’N各自所包含之讀取用開關sw丨在特定期間内閉

。。控制部30係指示於該特定期間内，藉由保持控制信號 而將則固保持電路㈣各自戶斤包含之輸入用開關 請3,由閉合狀態轉為打開狀態。繼而，控制部％指示於該 特定期間之後’藉由行選擇控制信號㈣⑴〜Η，），而 將N個保持電路Hi〜Hn各自所包含之輸出用開關SW32依次 於固定期間内閉合。控制部3〇對各列依次執行如上所述之 控制。 其次，對本實施形態之固體攝像裝置丨之動作進行說 明》本實施形態之㈣攝像裝置1中’於控制部3〇控制之 下Μ個列選擇控制號Vsel⑴〜Vsel(M)、n個行選擇控 制信號Hsel⑴〜HseKN)、放電控制信號以如以及保持控制 #號Hold分別以特定時序進行位準變化，藉此可對入射至 丈光面10之光之像進行拍攝而獲得訊框資料，進而可藉由 校正處理部40而對訊框資料進行校正。 圖3係說明本實施形態之固體攝像裝置丨之動作之時序 圖。於該圖中’由上而下依序表示：⑷放電控制信號 Reset ’其對N個積分電路Si〜Sn各自所包含之放電用開關 134253.doc •17- 200931961 SW2之打開及閉合動作進行指示；（b)第丨列選擇控制信號 Vsel(l)，其對受光部1〇中第】列之]^個像素部p】，丨〜pi』各自 所包含之讀取用開關SWi之打開及閉合動作進行指示； 第2列選擇控制信號Vsel(2)，其對受光部1〇中第2列之^^個 像素部Ρυ〜Ρ2，Ν各自所包含之讀取用開關之打開及閉 合動作進行指示；以及（d)保持控制信號H〇ld，其對ν個保 持電路Η^Ην各自所包含之輸入用開關SW3i之打開及閉合 動作進行指示。 ® 又’該圖中’進而接著依序表示：（e)Sl行選擇控制信 號Hsel(l)，其對保持電路H丨所含之輸出用開關SW32之打開 及閉合動作進行指示；⑴第2行選擇控制信號Hse丨(2)，其 對保持電路％所含之輸出用開關sin之打開及閉合動作進 行才b示，（g)第3行選擇控制信號Hsei(3)，其對保持電路％ 所含之輸出用開關SW32之打開及閉合動作進行指示；（h) 第η行選擇控制信號Hsei(n)，其對保持電路所含之輸出 〇 帛開關SW32之打開及閉合動作進行指以及⑴第N行選 擇控制信號HSel(N)，其對保持電路Hn所含之輸出用開關 SW32之打開及閉合動作進行指示。 對第1列之N個像素部各自所包含之光電二極體 - PD中產生且積聚於接面電容部中之電荷以下述方式來讀 取。於時刻t1G前，使M個列選擇控制信號⑴〜Vsd(M)、 N個行選擇控制信號Hsel⑴〜出以⑼、放電控制信號 以及保持控制信號Hold分別為低位準。 於時刻t10至時刻tu之期間，自控制部3〇輸出至放電用配 134253.doc -18- 200931961 '八 放電控制信_eset成為高位準，藉此，於n個積 分電路^’各自之中’放電用開關s'閉合，而使得積分 用電谷7L件（：2進打放電。又，於時刻（“之後的時刻^至時 刻tu之期間，自控制部3〇輸出至約列選擇用配線^中之 •帛1列選擇控制信號Vsel⑴成為高位準，藉此，受光部ι〇 _之第1列則固像素部Ά,ν各自所包含之讀取用開關 sw!閉合。 ❹ ^期間（tl2〜tl5)内，自時刻tl3至時刻t14之期間，自控 制P輸出至保持用配線LH2保持控制信號為高位 準，藉此，N個保持電路㈣各自之中，輸入用開關 S W3 1閉合。 於期間（tu〜tl5)内，由於第！列之各像素部Pin所含之讀 取用開關S閉合’各積分電路Sn之放電用開關s^打 開故而各像素部Pln之光電二極體PD中產生且積聚於接 面電今4中之電荷，會經由該像素部Pi η之讀取用開關SW1 〇 、第行凟取用配線L〇，n ’而傳送並積聚於積分電路Sn之

積分用電容元件C，。繼而，A 繼而自積刀電路Sn之輸出端中輸出 肖各積分電路之積分用電容元件C2中所積聚之電荷量相 應之電壓值。 於該期間（t12〜tl5)内之時刻t"，藉由保持控制信號議 自高位準轉為低位$，而使得Μ個保持電路仏〜办各自 之中，輸入用開關SW31由閉合狀態轉為打開狀態，此時將 自積分電路sn之輪出端輸出並輸人至保持電路&之輸入端 中之電壓值保持於保持用電容元件C3中。 134253.doc -19- 200931961 繼而，—15)之後，自控制部30輸出至行選擇 用配，中之行選擇控制信號Hsel⑴〜Hsel(N)依次 ；定期間内為局位準，藉此，N個保持電路H^Hn各自 所包3之輸出用開關SW32依次於固定期間内閉合’使得各 • 保持電路Hn之保持用電容元件c3所保持之電壓值經由輸出 用開關sw32而依次輸出至電壓輸出用配線[_中。輸出至 $ t壓輸出用配線LQut中之電壓值L係表示第i列之N個 ❹ 像素邛P1，1〜Pi，n各自所包含之光電二極體PD中之受光強度 者將自N個保持電路Hi〜Hn分別輸出至電壓輸出用配線

Lout之電壓值V〇ut ’經由電壓輸出用配線l⑽而輸入至校正 處理部40中。 接著，對第2列之N個像素部n各自所包含之光電 一極體PD中所產生且積聚於接面電容部之電荷以如下方式 來讀取。 時刻t2〇至時刻h之期間，由控制部3〇輸出至放電用配線 ❹ Lr<放電控制信號Reset為高位準，藉此，於N個積分電路 \〜8>1各自之中，放電用開關SWz閉合，而使得積分用電容 元件C2進行放電。又，，於時刻。後之時刻h至時刻t25之期 間，由控制部30輸出至第2列選擇用配線Lv 2之第2列選擇 控制信號Vsel(2)為高位準，藉此，受光部1〇中第2列之N 個像素部Ρ2，〗〜Ρ2，Ν各自所包含之讀取用開關S Wl閉合。 於該期間（tn〜tu)内，於時刻h至時刻&之期間，由控 制部30輸出至保持用配線Lh之保持控制信號办1(1為高仅 準’藉此，於N個保持電路Hi〜Hn各自之中輸入用開關 134253.Λ -20- 200931961 S W3 1閉合。 繼而於期間（t22〜h5)之後，由控制部3〇輸出至行選擇 用配線之行選擇控制信號Hsel(l)〜Hsel(N)依次於 固定期間内為高位準，藉此’ N個保持電路Η丨〜HN各自所 包含之輸出用開關SW32依次於固定期間内閉合。

以如上方式，將表示第2列之N個像素部各自所 包含之光電二極體PD中之受光強度的電壓值輸出至電 壓輸出用配線U。將分別自呆持電路ι^-Ην輸出至 電壓輸出用配線L_中之電壓值，將經由電壓輸出用配 線Lout而輸入至校正處理部4〇中。 接著以上針對第1列以及第2列之動作之後，對第3列至 第Μ列進行相同之動作’以獲得表現ι次攝像所得之圖像 的訊框資料。又，若第Μ列動作結束，則再次自第旧開 始進行相同動作，以獲得表現下—㈣像之訊框資料。如 此，藉由以固定週期重複相同之動作，來使表示受光部1〇 斤接收到之光之像之二維強度分布的電壓值輸出至電 壓輸出用配線Lout，從而反覆獲得訊框資料。將該等訊框 資料輸入至校正處理部4〇中。 另外，於第m列之_像素部Pm】〜Pm，^自所包含之讀 取用開關謂1閉合之期間1第m列之各像素部Pm，n之光電 立極體PD中產生且積聚於接面電容部之電荷，經由該像素 部Pm，n之讀取用開關SWi以及第n行讀取用配線^，而傳 送至積分電路s„之積分用電容元件。中。此時，第m列之 各像素部之光電二極體PD之接面電容部之積聚電荷得 134253.(10, -21 - 200931961 到初始化。 然而，當某一第η行讀取用配線L〇』於_途位置產生斷線 之情形時，該第η行之Μ個像素部1>1，„〜1^，11之中位於相對於 積分電路Sn而遠離斷線位置之處之像素部未與積分電路心 連接，故而無法將電荷傳送至積分電路Sn，因此無法藉由 該電荷傳送而使光電二極體PD之接面電容部之積聚電荷初 始化。如此狀態下，使於該等像素部中與光入射相對應而 鷉產生於光電二極體中之電荷，不斷積聚於該光電二極體之 接面電容部中，當超過飽和電平時，溢出至相鄰兩邊之行 之像素部，使得連續3行之像素部中產生缺陷線。 因此，本實施形態之固體攝像裝置1中，校正處理部4〇 獲取自信號讀取部2〇反覆輸出之各訊枢資料，並對該訊框 資料實施以下之校正處理。 以下，假設讀取用配線L〇 ^Lo N中任意第〇1行之讀取用 配線L〇，nl斷線。繼而，將因第…行之M個像素 ❾巾的5賣取用配線[。，滿線而未與信號讀取部2〇連接之缺陷 線上之像素部設為像素部P—。又，將位於第^行相鄰 之第n2行且與像素部pmi ni鄰接之鄰接線上之像素部設為 像素部。此處’ 以下之整數，nl、心為 1以上N以下之整數，“與“之差為i。 校正處理部4G將自信號讀取部2()中輸出之訊框資料中與 像素邛Pml’n2對應之電壓值，依照以該電壓值為輸入變量 之函數式進行轉換校正。此時，校正處理部可使用任意 者作為上述函數式’但較為簡便的是使用多項式。又，校 134253.doc -22· 200931961 正處理部40將下述值用作上述多項式之係》，該值係基於 與除像素部Pml，nl以及像素部pmi Μ以外之像素部對應之電 壓值之入射光強度依存性、以及與像素部對應之電 壓值之入射光強度依存性而確定之值。 又，校正處理部40於讀取用配線L〇,广L〇，N中任意複數條 讀取用配線斷線時，分別根據該斷線之複數條讀取用配線 設定上述係數’來對訊框資料中與像素部ρ〜2對應之電 壓值進行校正亦較佳。 ❹ 進而，校正處理部40基於與鄰接線上之像素部pmln2對 應之電壓值校正後之值’來確定訊框資料中與缺陷線上之 像素邛pmlnl對應之電壓值。進行該確定時，較好的是基 於與相鄰兩邊之鄰接線上之像素部Pmln2對應之電壓值而 進订内推計算來加以確定。例如，亦可求出與相鄰兩邊之 鄰接線上之像素部pml，n2對應之電壓值之平均值。 繼而，校正處理部40輸出訊框資料，該訊框資料係以上 〇 ^方式對與鄰接線上之像素部Pm丨，„2以及缺陷線上之像素 部Pm〗，ni分別對應之電壓值進行校正後之訊框資料。 以下，對與鄰接線上之像素部PM』2對應之電壓值之校 正處理進行進一步詳細說明。 圖4係表示自信號讀取部2〇輸出之訊框資料中與正常線 以及鄰接線各自之像素部對應之電壓值之關係圖。此處， 向正個党光部10入射同樣強度之光，使該入射光強度產生 變化，求出與鄰接線上之像素部對應之電壓值％，和與正 常線上之像素部對應之電壓值％之關係，並於圖中以實線 134253.doc •23· 200931961 加以表示。於圖t，用虛線表示「Vf%」之線。再者， 該等之電屢值Vl、v2係暗區校正後之值。所謂正常線，既 非指讀取用配線斷線之缺陷線，亦非指有電荷自缺陷線上 之像素部流入而來之鄰接線。 々《亥圖所’與正常線±之像切對應之電壓值％通常 如下述⑴式所示，係用將與鄰接線上之像素部對應之電墨 值Vi作為輸入變量之函數來表示。χ，簡單上係如下述 Ο ❹ ⑺式所與正常線上之像素部對應之錢值％， 與鄰接線上之晝索部對應之電壓值V,作為輸入變量之例如 四次多項式來表示。 〗如 圖4令，由於使同樣強度之光入射至整個受光部1〇，故 而與鄰接線上之像素部對應之電壓值v〗若 上之像素部流入等，則應為等於與正常線上之像辛： 之電*值〜然而由於有電荷自缺陷線上之象= 入等，故而會成為不同之值。 <像素部流 此處，當入射同—強度之光之情形 與鄰接線上之像素部對應之„值為％、與正(常)=: =部對應之電壓值為V2之關係式。更具體而言，作為多項 工之2)式，於檢查製品時事先確定 ”，， 接…素部中已獲讀值Μ情形時：： (2)式中而求出ν ' 1代入至 卢之光時㈣/ (2)式最終係表示照射同樣強 度：_接線與正常線上之像素部所輸 = 係的式子，因此腺Π 電屋值之關 此將（3)式設為根據鄰接線上 值Vi而求出校正值Vi•之式子。 像素。P之電壓 134253.doc •24· 200931961 具體而言’如圖4所示，當與鄰接線上之像素部對應之 電壓值為va情形時，由於無電荷自缺陷線上之像素部中 流入等之情形時與鄰接線上之像素部對應之電壓值為％之 值故而採用根據⑴式（更具體而f，已確定係數之（2)式） 而求出之值V2來作為校正值（v丨，）。 亦即，將（1)式以及（2)式考慮為鄰接線之電壓值與正常 線之電壓值之關係式，根據鄰接線之電壓值來求出正常線 之電壓值，並將該電麼值作為無電荷自缺陷線!^之像素部 中流入等之情形時之鄰接線之電壓值。 [數1] V2=f(V,) ...(1) [數2] V2=aV丨4+ bV,3+ cv,2+ dV丨 + e …⑺ 如此’將自信號讀取部2G輸出之訊框資料巾與鄰接線上 之像素代!，n2對應之電壓值％，根據將該電麼值作為輸 ❹ &變量之下述（3)式之多項式進行轉換後加以校正。繼而， 校正處理部40基於該校正後之電壓值乂丨，，來確定與缺陷 線上之像素部ΡΠ1 1，π 1對應之電壓值。 [數3]

Vl，=aVl4+bvi3+cVI2+dV1 + e …(3) 校正處理部40進行以上處理時，較好的是，預先對自信 1讀取20輸出之訊框資料中與各像素部對應之電壓值進 卜品校正又，校正處理部40可利用類比處理來進行以 之處理’但較好的是’將自信號讀取部20輸出之訊框資 134253.doc -25· 200931961 料加以數位轉換之後進行數位處理，且較好的是具備將訊 框資料作為數位值而記憶之訊框記憶體。 校正處理部40為了進行以上處理，較好的是具備記憶 部，該記憶部預先記憶讀取用配線l〇i〜l〇n中斷線之^ 用配線、以及該斷線之讀取用配線之斷線 咏徂置。進而較好 的疋，能夠自外部將固體攝像裝置1之製造過程中或者製 造後之檢查中所得之斷線資訊記憶於上述記憶部中。 ❹ ❹ 又，校正處理部40亦可與受光部10、信號讀取部2〇以及 控制部30設置為一體。於此情形時，較好的是，使固體攝 像裝置1之整體於半導體基板上積體化。 外可並不與 受光部10、信號讀取部20以及控制部3〇設置為— ” ’ 體’而與 該等分開另外設置校正處理部4〇。於此情形時，校正處理 部40可藉由例如電腦來實現β 如以上說明，本實施形態之固體攝像裝置丨、或者對自 固體攝像裝置1之信號讀取部2〇輸出之訊框f料進行校正 之方法中，係對訊框資料中與鄰接線上之像素部pmm對 應之電遂值，基於函數式來進行校正。亦即，對與線 上之像素部Pml，n2對應之電壓值進行校正時，無需使用斑 正常線上之像素部對應之電壓值。因此’與專利文獻^ 揭示之發明相比，於本實施形態中，於校正後之圖像中缺 陷線附近之解析度變高。 ' 再者，信號讀取部20所進行之訊框資料之輸出動作與校 正處理部40所進行之校正處理既可交替進行，且亦可並列 進行。於前者之情形時，吟信號讀取部2〇所進行之訊框資 134253.doc -26 - 200931961 料Fk之輸出動作之後，由校正處理部4〇進行訊框資料&之 校正處理，並於該校正處理結束之後，將下一個訊框資料 Fk+!自信號讀取部20輸出至校正處理部4〇中。另一方面， 於後者之情形時，於信號讀取部2〇所進行之訊框資料匕之 輸出動作之後，由校正處理部4〇進行訊框資料匕之校正處 理，並於與該校正處理期間至少重疊一部分之期間内將 下一個訊框資料Fk+1自信號讀取部2〇輸出至校正處理部4〇 來進行校正。於此情形時， 發明相比更高之解析度。 又，電荷自缺陷線上之像素部漏出至鄰接線上之像素 部，係對缺陷線兩側之鄰接線上之像素部而言產生的。因 此，較好的是，利用先前之訊框資料之電壓值，來對缺陷 線兩側之鄰接線上之像素部進行校正。其中，當將與缺陷 線之其中一側鄰接之鄰接線上之像素部之電壓值、與於相 同側進而鄰接之正常線上之像素部之電壓值進行組合（相 加）後加以讀取之情形時，僅對與缺陷線之另一側鄰接之 Q 鄰接線上之像素部之電壓值，利用先前之訊框資料電壓值 可獲得與專利文獻1中揭示之 其次，對本發明之固體攝像裝置之其他實施形態進行說

面10Α、10Β上層疊閃爍器面板。 20B、控制部30、校正處理部4〇以及緩衝部5〇a及5〇B。 又，於用作X射線平板之情形時，於固體攝像裝置2之受光 134253.doc 27· 200931961 體攝像裝置2所含之受光部1〇A、1〇B分別與固體攝像 裝置1所含之受光部10相同。又，固體攝像裝置2所含之信 號讀取部2GA、则分別與固體攝像褒置1所含之信號讀取 部20相同， • 固體攝像裝置2所含之控制部3〇，係將“列選擇控制 信號VSel(m)輸出至第m列選擇用配線Lv，m，並將該第m列 選擇控制信號Vsel⑽供給至受光部H)A、1〇B各自所包含 帛~之像素P"1，1〜Pm，N °控制部30將應供給至信號讀 取部20A所含之各保持電路&之第n行選擇控制信號 Hsel⑷輸出至第η行選擇用配線“'η，並且將應供給至作 號讀取部細所含之各保持電路Hn之第η行選擇控制信號 HSel(n)輸出至第η行選擇用配線LHB，n。 =，控制部30將應供給至信號讀取部20A、20B各自所 積刀電路Sn之放電控制信號以如輸出至放電用配 線控制部30將應供給至信號讀取部20A、20B各自所 ❹包3之各保持電路Hn之保持控制信號Hold輸出至保持用配 線LH。 控制部3G係以如上方式，對受光部10A、l〇B各自令之 第m列之N個像素部Pm i〜％各自所包含的讀取用開關請1 之打開及閉合動作進行控制，並且對信號讀取部20A、 20B令之電壓值的保持動作以及輸出動作進行控 =控制部3〇可使與受光部一 B各自中之ΜχΝ個像 、^P1’1 %各自所包含之光電二極體PD產生的電荷量相 應之電壓值，作為訊框資料而自信號讀取部咖、施反 134253.doc •28- 200931961 覆輸出。 。如此，固體攝像裝置2可藉由具有複數組受光部以及信 號讀取部，來放大受光區域，或者使像素數增加。又，可 使複數個信號讀取部相互並列地進行動作，從而可高速地 讀取像素資料。 ° ' 再者’緩衝部為用以自複數組之受光部以及信號讀取部 之各組向校正處理部傳送信號之信號輸出部。受光部以及 ㈣讀取部之各組可分別形成於*同之半導體基板上，於 Λ If形時’校正處理部可形成於形成有受光部以及信號讀 取部之任一半導體基板上，χ，進而可形成於另外之半導 體基板上。又，緩衝部可僅由緩衝放大器所構成。 校正處理部40輸入自信號讀取部2〇Α所含之各保持電路 Ηη中依次輸出至電壓輸出用配線L〇ut A並經由緩衝部5〇Α之 電壓值，並且輸入自信號讀取部20Β所含之各保持電路Ηη 中依次輸出至電壓輸出用配線L〇ut Β並經由緩衝部5〇β之電η 〇 壓值。繼而，校正處理部40獲取自信號讀取部2〇Α ' 20Β 反覆輸出之各訊框資料並進行校正處理，並且輸出該校正 處理後之訊框資料。 該校正處理部40中之處理内容與上述内容相同。其中， 緩衝部50Α與緩衝部5〇Β之動作特性未必一致，有時輸入 電塵值即便相同，輸出電麼值亦不同。因此，校正處理部 40於乂光20Α所含之任一行讀取用配線斷線之情形時， 較好的是使料數a〜e，該係數a〜e係基於與該受光部2〇Α 所含之除像素部？〜1以及像素部Pml，n2以外之像素部（正常 134253.doc -29- 200931961 線）對應之電麼值之入射本改疮#七 疋入射光強度依存性、以及與像素部

Pm丨，η2(鄰接線）對應之電壓值之入於止& & 电魘俚之入射先強度依存性而確定 者。 同樣地，校正處理部4〇中’於受光部2〇Β所含之任一行 之讀取用酉己線斷線之情形時，較好的是使用係數…該 係數a〜e係基於與該受光部2〇Β所含之除像素部⑷以及 像素部Pml，n2以外之像素部（正常線）對應之電壓值之入射光 強度依存性、以及與像素部Pmln2(鄰接線）對應之電壓值之 入射光強度依存性而確定者。 本實施形態之固體攝像裝置丨、或者對自固體攝像裝置j 之信號讀取部20輸出之訊框資料進行校正之方法，可適宜 用於X射線CT裝置中。因此，其次對具備本實施形態之固 體攝像裝置1之X射線CT裝置之實施形態進行說明。

圖ό係本實施形態之X射線ct裝置1〇〇之構成圖。該圖所 示之X射線CT裝置1〇〇中，X射線源（X射線輸出部）1〇6朝向 被攝體產生X射線。自X射線源106產生之X射線之輻射場 由1次狹縫板106b來控制。X射線源1 〇6中内置有X射線 管’藉由對該X射線管之管電壓、管電流以及通電時間等 條件加以調節’來控制朝向被攝體之X射線照射量。X射 線攝像器107中内置有具備呈二維排列之複數個像素部之 CMOS的固體攝像裝置，對通過被攝體之X射線像進行檢 測。於X射線攝像器107之前方，設置著用以限制X射線入 射區域之2次狹縫板l〇7a。 旋轉臂104將X射線源106以及X射線攝像器107以使其等 134253.doc •30· 200931961 相對向之方式而加以保持，並使其等在全景斷層攝影時圍 繞被攝體周圍進行旋轉。又，設置著滑動機構113，該滑 動機構113用以於線性斷層攝影時，使χ射線攝像器1〇7相 對於被攝體而直線移位。旋轉臂1〇4由構成旋轉平台之臂 馬達U〇所驅動，其旋轉角度由角度感測器112來檢測。 又，臂馬達110搭載於χγ平台114之活動部上，從而可於 水平面内任意調節旋轉中心。臂馬達11〇以及又丫平台構成 旋轉驅動裝置103。如此，内置於χ射線源1〇6以及χ射線 © 麟器107中之固體攝像裝置1、2,藉由各種移動機構 104、110、114、113而相對於被攝體作相對移動。 將自射線攝像器107輸出之圖像信號藉由AD(Anal〇g t〇_ Digita卜類比至數位）轉換器12〇轉換為例如ι〇位元卜ι〇24 色階）之數位資料，且暫時存入cpu(Central Unit，中央處理裝置）121後，儲存於訊框記憶體中。根 據訊框記憶體122中所儲存之圖像資料，藉由特定之運算 ，纟理而再生出沿著任意斷層面之斷層圖像。將所再生之斷 層圖像輸出至視訊記憶體124中，並藉由DA(DigitaM〇_

Analog，數位至類比）轉換器125而轉換為類比信號之後， 由CRT(Cath〇de Ray Tube，陰極射線管）等之圖像顯示部 126進行顯示，以供各種診斷。 CPU121中連接著信號處理所需之工作記憶體123，進而 連接著具備面板開關或χ射線照射開關等之操作面板119。 又，CPU121分別連接著對驅動臂馬達11〇進行驅動之馬達 驅動電路111、對1次狹縫板1〇补以及2次狹縫板⑺乃之開 134253.doc •31 _ 200931961 口範圍進行控制之狹縫控制電路115、116、以及對χ射線 源106進行控制之X射線控制電路118，進而輸出用以對又 射線攝像器107進行驅動之時脈信號。 X射線控制電路118可基於藉由X射線攝像器ι〇7所拍攝 之信號’來反饋控制朝向被攝體之X射線照射量。 以如上方式而構成之X射線CT裝置100中，X射線攝像器 107相當於本實施形態之固體攝像裝置1之受光部1〇、信號 讀取部20以及控制部30 ’且於受光部10之前面設置著閃燦 器面板。又，CPU121以及工作記憶體123相當於本實施形 態之固體攝像裝置1之校正處理部40。 X射線CT裝置100不僅具備本實施形態之固體攝像裝置 1，而且具備CPU121來作為基於自固體攝像裝置輸出之校 正處理後之訊框資料而生成被攝體之斷層圖像之圖像解析 部，因此，能夠獲得缺陷線附近之解析度較高的斷層圖 像。若於厚度方向賞層疊該訊框資料，則可生成三維圖像 資料，但亦可根據訊框資料中之亮度，而將具有該亮度之 特定組織之顏色應用於具有豸亮度之像素。纟其於乂射線 CT裝置中’由於短期間内連續獲取大量（例如3〇〇條）之訊 框資料，並且固體攝像裝置〗對受光部10之入射光量會隨 著每個框而變動’故而自缺陷線上之像素部溢出至鄰接 線上之像素部的電荷的量會隨著每個訊框而變動。於如此 之X射線CT裝置中’藉由具備本實施形態之固體攝像裝置 1而可對Λ框資料進行有效校正。再者，χ射線CT裝置 100亦可具備固體攝像裝置2來代#固體攝像裝置！。 134253.doc •32- 200931961 【圖式簡單說明】 圖1係本實施形態之固體攝像裝置1之概略構成圖。 圖2係本實施形態之固體攝像裝置1所含之像素部p 積分電路Sn以及保持電路Hn各自之電路圖。 圖3係說明本實施形態之固體攝像裝置1之動作之時序 圖。 圖4係概略性地表示自信號讀取部2〇輸出之訊框資料中 與正常線以及鄰接線各自之像素部對應之電壓值之關係 ❹ 圖。 圖5係其他實施形態之固體攝像裝置2之構成圖。 圖6係本實施形態之X射線Ct裝置1()〇之構成圖。 【主要元件符號說明】 1、2 固體攝像裝置 10、10A、10B 受光部 20、20A、20B 信號讀取部 30 控制部 40 校正處理部 八2 放大器 C3 保持用電容元件 C2 積分用電容元件 Hi 〜Hn 保持電路 LH,n 第η行選擇用配線 Lh 保持用配線 L〇,n 第η行讀取用配線 134253.doc •33- ❹ 200931961

L〇ut 電壓輸出用配線 Lr 放電用配線 L V，m 第m列選擇用配線 P1，l〜Pm，n 像素部 PD 光電二極體 sw, 讀取用開關 S i~Sn 積分電路 SW2 放電用開關 SW31 輸入用開關 SW32 輸出用開關

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Claims (1)

1. 200931961 十、申請專利範圍： 1· 一種固體攝像裝置’其特徵在於： 设Μ、N為2以上之整數，„!為丨以上河以下之各整數， η為1以上N以下之各整數，爪丨為！以上M以下之整數， nl、n2為1以上N以下之整數； 上述固體攝像裝置包含： 受光部，其以Μ列N行二維排列著ΜχΝ個像素部 Pl，l〜Ρμ’Ν，該等像素部ΡΚ1〜ρΜΝ分別包含產生與入射光 I 強度相應量之電荷之光電二極體、以及與該光電二極體 連接之讀取用開關； 讀取用配線L〇，n，其與上述受光部中之第口行Μ個像素 部Pl，n〜PM，n各自所包含之讀取用開關連接，且將上述Μ 個像素部ΡΙ>η〜ΡΜη中之任一像素部所含之光電二極體產 生的電荷，經由該像素部所含之讀取用開關而加以讀 取； _ 信號讀取部，其分別與讀取用配線^广^々連接，保 持與經由上述讀取用配線L0 n輸入之電荷量相應之電壓 值’並依次輸出該所保持之電壓值； 控制部，其對上述受光部中第m列之N個像素部 pm，l〜Pm，N各自所包含之讀取用開關之打開及閉合動作進 行控制，並且對上述信號讀取部中之電壓值的輸出動作 進行控制’以使與上述受光部中ΜχΝ個像素部p 1，1 r Μ,Ν 各自所包含之光電二極體產生之電荷量相應之電壓值作 為訊框資料而自上述信號讀取部反覆輸出；以及 134253.doc 200931961 校正處理部，其獲取自上述信號讀取部反覆輸出之各 訊框資料並進行校正處理； 上述校正處理部， 於上述3賣取用配線l〇i〜l〇n中任一之第ni行讀取用配 線L〇，nl斷線時，將第以行之職像素部Pin广中因上 述，取用配線L°’nl斷線而未與上述信號讀取部連接之像 素口P叹為像素部Pml nl，並將位於第nl行相鄰之第n2行且 與像素部pml,nl鄰接之像素部設為像素部Pmin2， 對自上述信號讀取部輸出之訊框資料中與像素部pml,n2 對應之電壓值’根據將該電壓值作為輸人變量之函數式 加以轉換後進行校正，且 ;與像素4 pm, n2對應之電壓值經校正後之值，而決 定上述訊框資料十與像素部\1,。丨對應之電塵值。、 2·如請求項1之㈣攝像裝置’其中上述校正處理部係使 用多項式作為上述函數式， ❹ 3. 且使用下述值作為上述多項式之係數，該值係基於盘 非為像素部P—以及像素部任一者之像素部對應 之«值的入射光強度依存性、以及與像素部對應 之電壓值的入射光強度依存性而決定者。 如請求項2之固體攝像裝置，其中上述校正處理部於上 述讀取用配線L〇，〜中任-之複數條讀取用配線斷線 時，係根據該斷線之複數條讀取用配線而分别設定上述 係數，來對訊框資料令與像素部Pmin2對應之電麼值進行 校正。 I34253.doc •2· 200931961 4.如4求項2之固體攝像裝置，其中包含複數組上述受光 邓以及上述信號讀取部， 上述校正處理部所用之係數，係於複數個上述受光部 中任一文光部所含之任一行讀取用配線斷線時，基於與 .非為该受光部所含之除像素部Pml，nl以及像素部Pml,n2任 者之像素部對應之電壓值的入射光強度依存性，以及 與像素部Pml，"2對應之電壓值的入射光強度依存性而加以 決定。 ® 5. 一種X射線CT裝置，其特徵在於包含： x射線輸出部，其朝向被攝體輸出X射線； 如請求項1之固體攝像裝置，其接收自上述χ射線輸出 部輸出並經由上述被攝體而到達之χ射線照射來進行攝 像； 移動機構’其係使上述X射線輸出部以及上述固體攝 像裝置相對於上述被攝體作相對移動；以及 0 圖像解析部，其輸入自上述固體攝像裝置輸出之校正 處理後之訊框資料，並基於該訊框資料而生成上述被攝 體之斷層圖像。 6. 一種訊框資料校正方法，其特徵在於：其係對自固體攝 像裝置輸出之訊框資料進行校正之方法，該固體攝像裝 置係 設Μ、N為2以上之整數，m為1以上μ以下之各整數， η為1以上Ν以下之各整數’ ml為1以上μ以下之整數， nl、η2為1以上Ν以下之整數， 134253.doc 200931961 上述固體攝像裝置包含： 受光部，其以Μ列N行二維排列著Μ X N個像素部 Ρι,ι〜Ρμ,ν，該等像素部Ρι，ι〜Ρμ,ν分別包含產生與入射光 強度相應量之電荷之光電二極體、以及與該光電二極體 連接之讀取用開關； 讀取用配線L〇，n，其與上述受光部中之第η行Μ個像素 部Pi，η〜ΡΜ，η各自所包含之讀取用開關連接，且將上述Μ 個像素部Pi,η~ΡΜ，η中之任一個像素部所含之光電二極體

   產生的電荷，經由該像素部所含之讀取用開關而加以讀 取； 信號讀取部，其分別與上述讀取用配線L〇 Ν連 接，保持與經由上述讀取用配線L〇 n而輸入之電荷量相 應之電壓值，並依次輸出該所保持之電壓值；以及 控制部，其對上述受光部中第m列之N個像素部 Pm’丨〜Pm，N各自所包含之讀取用開關之打開及閉合動作進 行控制，並且對上述信號讀取部中之電壓值之輸出動作 進行控制，以將與上述受光部中ΜχΝ個像素部Pi1〜Pm，N 各自所包含之光電二極體產生之電荷量相應之電壓值， 作為訊框資料而自上㈣號讀取部反覆輸出； 該訊框資料校正方法係 ;上述讀取用配線Lq i〜Lq，n巾任—之第Μ行讀取用配 線L〇，nl斷線時，將第nl行之職像素部心1〜^中因上 述讀取用配線L〇，nl斷線而未與上述信號讀取部連接之像 素部設為像素部Pml，nl,並將位於第nl行相鄰之第以行且 134253.doc 200931961 與像素部PnU，nl鄰接之像素部設為像素部pmi，n2， 對於自上述信號讀取部輸出之訊框資料中與像素部 Ρπη』2對應之電壓值，根據將該電壓值作為輸入變量之函 數式加以轉換後進行校正，且 基於與像素部Pm〗,n2對應之電壓值經校正後之值，來決 疋上述訊框資料中與像素部對應之電壓值。 、 7.如請求項6之訊框資料校正方法，其中使用多項式作為 上述函數式， ’

   8. 且使用下述值作為上述多項式之係數，該值係基於# 非為像素部Pml nl以及像素部ΡΜ,η2任—者之像素部對屬 之電壓值的人Μ強度依存性，以及與像素部Pml’n2對屬 之電麼值的入射光強度依存性而加以決定者。

   如請求項7之訊框資料校正方法，其中於上述讀取用酿 線L〇，i〜L〇，Nt任一之複數條讀取用配線斷線時，係根損 該斷線之複數條讀取用輯而分別収上述係數，來紫 訊框資料中與像素部Pmin2對應之電壓值進行校正。 9.如請求項7之訊框資料校正方法，其中上述固體攝像裝 置係包含複數組上述受光部以及上述信號讀取部， 於複數個上述受光部中任一受光部中所含之任一行讀 取用配線斷線時，基於與非為該受光部所含之除像素部 Pml>nl以及像素部pml n2s —者之像素部對應之電壓值的 入射光強度依存性’以及與像素部pmin2對應之電壓值的 入射光強度依存性而求出上述係數。 134253.doc