200916889 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於包含有將液晶以混層液晶結構定向（hybrid • nematic orientation)之液晶薄膜的光學薄膜之檢杳方法。 【先前技術】 在TFT(Thin Film Transistor)液晶顯示器中，為改善其顯 示特性，藉由使用將棒狀液晶或圓盤狀液晶混層液晶結構定向 (/之液晶薄膜，以實現寬視野角之液晶顯示器（例如，參照專利 文獻1和2)。包含有此種混層液晶結構定向液晶薄膜之光學 薄膜，當在薄膜面内存在有缺陷時，會對τπ液晶顯示器之顯 示特性造成不良影響。因此’需要對光學薄膜檢查缺陷，事先 排除缺陷多的光學薄膜。 專利文獻3所提案的混層液晶結構定向液晶薄膜之檢查方 法’使用將混層液晶結構定向液晶薄膜之定向轴配置成大致正 〇交的缺陷檢查用元件。但是’問題在於，依照缺陷種類之不同， 從正面或斜方向看時’看到的缺陷部份會從亮點變成黑點等， 因此很難檢測。 [專利文獻丨]日本專购開平10-刪56號公報 [專敎獻2]日本專利特開2005-62673號公報 [專利文獻3]曰本專利特開2〇〇6一3174號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 97131110 200916889 本發明針對上述之㈣’其目的是提供—種光學薄膜之檢查 方法’可以正確檢查包含有混層液晶結構定向液晶薄膜之光學 薄膜的缺陷。 (解決問題之手段） 本發明人等致力研究解決上述問題，結果完成本發明。 亦即，本發明之第1態樣是-種光學薄膜之檢查方法，用來 才双查包含有將液晶以混層液晶結構定向之第i液晶薄膜的光 學薄膜，其特徵在於從光源經由第丨偏紐對上述光學薄膜照 射光’對於上述光㈣膜，在上述光狀相反側，配置由將液 晶以混層液晶結構定向之第2液晶薄膜和第2偏絲構成之缺 查用元件，使上述第2液晶薄膜側鄰接於上述光學薄膜 侧’並使上述缺陷檢查用元件對上述光學薄膜傾斜，以檢查上 述光學薄膜。 本發明之第2態樣之特徵是在本發明之第丨態樣之光學薄臈 之檢查方法中，將上述缺陷檢查用元件配置成使上述第丨液晶 薄膜之定向軸和上述第2液晶薄膜之定向轴大致正交。 .本發明之第3態樣是-種光學薄膜之檢查方法，用來檢查包 含有將液晶以混層液晶結構定向之第1液晶薄膜的光學薄 膜’其特徵在於從絲經由第〗偏光㈣上述光學薄膜照射 光，對於上述光學薄膜，在上述光源之相反側，配置依序疊層 將液晶以混層液晶結構定向之第2液晶薄膜、由1軸延伸薄膜 構成之第1相位差薄膜和第2偏光板而構成的缺陷檢查用元 97131110 200916889 件’使上述第2液晶薄膜侧鄰接於上述光學薄膜側，將第工相 位差薄膜之遲她和第2偏歧之吸_配置成大致正交，並 使上述缺陷檢查収件對上述光㈣賴斜，崎查 薄膜。 予 本發明之第4態樣之特徵是在本發明第3態樣之光學薄膜之 檢查方法中，將上述缺陷檢查用元件配置成使上述第1液晶薄 膜之定向軸和上述第2液晶薄膜之定向軸大致正交。θ/ 本發明之第5態樣是—種光學_之檢查方法，用來檢查包 含有將液晶以混層液晶結構定向之第i液晶薄膜之光學薄 膜，其特徵在於從絲經由第1偏光板對謂光學薄膜照射 先，對於上述光學薄膜，在上述光源之相反侧，配置依序疊層 舰晶以混層液晶結構定向之第2液晶薄膜、將液晶各向同性 定向之第3液晶薄膜、由1軸延伸薄膜構成之第1相位差薄膜 和第2偏光板而構成的缺陷檢查用元件，使上述第2液晶薄膜 側鄰接於上述光學薄關，將第1相位差薄膜之遲相軸和第2 偏光板之吸收軸配置成大致正交，並使上述缺陷檢查用元件對 上述光學薄賴斜，以檢查±述光學薄膜。 本發明之第6祕之賴是縣發日狀第5 _之光學薄膜 之檢查方法巾，將上述缺陷檢查用元件配置成使上述第1液晶 賴之定向軸和上述第2液晶薄膜之㈣軸大致正交。 本發明之第7紐是縣發明第卜請樣之任-光學薄膜之 檢查方法+ ’該液晶由棒狀液晶分子構成。 97131110 200916889 本發明之第8態樣是在本發明第〗〜6態樣之任一光學薄膜之 檢查方法中，該液晶由圓盤狀液晶分子構成。 (發明效果） 依照本發明的光學薄膜之檢查方法，可以正確檢查包含有混 層液晶結構定向液晶薄膜之光學薄膜的缺陷。 【實施方式】 以下，參騎圖詳細朗本發明之光學薄膜之檢查方法的實 C '5 施形態。 (第1實施形態） 首先說明本發明之光學薄膜之檢查方法的第1實施形態。 先參照圖1說明本發明之光學薄膜之檢查方法中，作為檢查 對象之光學薄膜。 圖1表不本發明之光學薄膜之檢查方法所使用的光學薄膜 之-實例。如圖1所示，光學薄膜丨包含有混合定向液晶層2, 〇作為第1液晶薄膜’使液晶之傾斜在膜厚方向（箭頭A方向） I化’以對液晶混層液晶結構定向。在此處所謂混層液晶結構 定向，指向列液晶之水平定向和垂直定向之複合定向，例如向 _列液晶分子3之定向是在混合定向液晶層2之一面2a側成為 水平定向，在面％之相反面2b側成為垂直定向，在其m 從面2a朝向面2b之方向，使其定向從水平定向逐漸變化成為 垂直定向。在從混層液晶結構定向液晶層2之^面（水平定向） 經由液晶層看2b面（垂直定向）時，將液晶分子定向器和對於 97131110 200916889 定向器之2b面之投影成分所形成的角度成為銳角之方向， 與投影成分平行之方向，定義為混層液晶結構液晶層之傾斜= 向。在圖1 ♦成為混層液晶結構定向液晶層2之傾斜方向U。 另外，圖1所示之面2a側是垂直定向，面2b側是水平定向 混層液晶結構定向成為與圖丨相反之構造，在此種情況下，傾 斜方向定義成為相同方向，因為液晶分子之傾斜方向成為相 反，所以亦需要考慮後面所述之缺陷檢查用元件之傾斜方向 光學薄膜1只要是包含混層液晶結構定向液晶層2者即可， 因此除了混層液晶結構定向液晶層2之外，亦可以包含其他等 膜。其他薄膜通常如圖1所示，有如用以支持混層液晶結構定 向液晶層2之支持基板4等。該支持基板4只要是能夠支持混 層液晶結構定向液晶層2者，而且在厚度方向之正交面内具有 等向性者即可，沒有特別限制，但是該支持基板4最好使用光 學上等向之基板，例如富士達克（富士軟片公司製品）或柯尼達
克（柯尼卡美能達光學公司製品）等三醋酸纖維素 (Triacetylcellulose，TAC)薄膜，阿同薄膜（Art〇nFilm，JSR 公司製品）或傑歐諾薄膜（Zeonor Film)，傑歐尼克司薄膜 (Zeonex Film’日本傑歐（ΖΕΟΝ)公司製品）等環烯烴系聚合物 (Cycloolefin polymer) ’ ΤΡΧ薄膜（三井化學公司製品），亞 克利布雷薄膜（Acryplen Film，三菱嫘縈公司製品），但考慮 作為橢圓偏光板時之平面性、耐熱性或耐濕性等，最好使用三 醋酸纖維素，環烯烴系聚合物。支持基板4之厚度一般較好為 97131110 8 200916889 1〜100/zm，特好為5〜50//m。在支持基板4的面内方向之折射 率為nx、ny，厚度方向之折射率為nz，支持基板4的厚度為 —d之下，當將面内方向之相位差值定義為Re=(nx —ny)xd，將 厚度方向之相位差值定義為Rth={(nx + ny)/2 —nz}xd時， Re值較好為2〇nm以下，更好為10nm以下，特好為5nm以下。
Rth值較好為〇〜200nm之範圍，更好為〇〜1〇〇1]111之範圍，特奸 為0〜50nm之範圍。 〇 如此光學薄膜1之缺陷利用以下方式檢查。其中，所謂光學 薄膜1之缺陷’具體而言，指表示光學薄膜i所含混層液晶結 構定向液晶層2之液晶層的定向缺陷。 圖2表示長條狀光學薄膜之檢查光學系之一實例。（a)表示 從側面看長條狀光學細之檢查絲㈣之視圖，⑹〜⑷表 不從上面看時之視圖。亦即，⑹表示使缺陷檢查用元件9對 長條狀辟薄駭時雜轉㈣斜時之測，⑹表示順時針 說轉❼傾斜時之視’⑷絲沒有傾斜聽料平行相 之配置之視圖。 圖3表不光學薄膜1所含混層液晶結構定向液晶層2之定向 軸^，偏光板5之吸收軸5卜混層液晶結構定向液晶薄膜; 之疋向輛71和偏光板8之吸收軸81的配置關係之一實例。 在檢查光學_ 1之軸時，首先將背統6配置成面對光 學薄膜1，將偏光板（第1偏光板)5配置在背-光燈6和光學薄 膜1之間。如圖3所示，在本實施形態中，將偏光板5之吸收 97131110 200916889 轴51調整為對光學薄膜1所含混層液晶結構定向液晶層2之 定向軸11形成45°之角度。 ' 然後，點亮背光燈6，對於光學薄膜1，在背光燈6之相反 侧’使用缺陷檢查用元件9檢視光學薄膜1，以檢查光學薄膜 1所含之混層液晶結構定向液晶層2的缺陷。 在此處詳細說明缺陷檢查用元件9。 如圖2所示，缺陷檢查用元件9是疊層有偏光板8和混層液 C 晶結構疋向液晶薄膜（第2液晶薄膜）7而成者。混層液晶結構 定向液晶薄膜7，與光學薄膜1同樣地，在膜厚方向（圖i之 箭頭A方向）變化液晶之傾斜，成為將液晶以混層液晶結構定 向之液晶薄膜。 在本實施形態之缺陷檢查用元件9，作為混層液晶結構定向 液晶薄膜7,可以使用與由混層液晶結構定向液晶層2和支持 基板4構成之光學薄膜1相同材料及厚度者。另外，如圖3所 j示疊層偏光板8,使混層液晶結構定向液晶薄膜7之定向轴^ 對偏光板8之吸收軸81成為45。。 在缺陷檢查時’首先將以上述方十 式構成之缺陷檢查用元件9 配置成面對光學薄膜1。這時，倍、、θ s - 使此層液晶結構定向液晶薄膜 7躺鮮賴1側，钱光板8朝向光學_丨之相反側， 並使偏光板5和偏光板8成為交5m 又又配置。藉此，可以使混層液 晶結構定向液晶薄膜7之定向麵71 ’如圖3所示，形成與光 學薄膜1所含混層液晶結構定向液g — 日日9 2之定向轴11正交， 97131110 10 200916889 而可容易看出缺點。 之捲動長度方向形 另外’使缺陷檢查用元件9對光學薄膜 成傾斜而觀察。 表Η不合表不在圖2⑹〜⑷之條件下觀察時，對缺陷部份 之可視性和辨識性。如矣】 一 表1所不，在圖2(b)所示缺陷檢查用 几件9對長條狀絲薄膜成為反時針旋轉而傾斜之情況，因 缺陷部份成為亮點/無缺陷部份成為黑，所以容易檢視缺陷， 在圖2(c)中成為順時針旋轉而傾斜之情況，或⑷中配置成平 行面對之情況’因為缺陷部份反轉成為黑點，所以不容易檢視。 這是因為缺陷檢查用元件所使用之混層液晶結構定向液曰 薄膜的構造，與光學薄膜i内之混層液晶結構定向液晶層^ 缺陷部份/無缺陷部份的相位差所造成。 [表1]
以下詳細說明造成可視性之差別的原因。 如圖2(b)所示，在反時針旋轉而傾斜時，因為從棒狀液晶 分子之前端方向檢視’所以通過缺陷檢查用元件時之相位差變 小，與此相對地，在圖2(c)所示順時針旋轉而傾斜時，因為 從棒狀液晶分子之棒方向（腹侧）看，所以通過缺陷檢杳用元件 97131110 11 200916889 時之相位差變大。 另外一方面’在混層液晶結構定向液 •況時’亦即如圖4所示，在有厚度曰曰曰2有厚度不均之情 dl之缺陷部份2Y的情況，當從背光燈6,、、缺陷部份2X和厚度 5和光學_ i時，在無缺陷部份^發出之光透過偏光板 別的相位差具有差異。另外，在圖4中、陷部份2Y之間，分 缺陷部份2Υ者是在製造混層液晶結’錢所示埋設在 …）的灰塵等。 向液晶層2之時混入 更詳細地說明，則在無缺陷部份2 ^△n.d2,與此相對地，在缺陷部份2γ的目位差Μ成為Μ 二心-⑴。在此處因為dl>d2,所以d目位差占1成為占1 〇 Z〈（5 1 〇 因此，在無缺陷部份2X和缺陷部份 差。在此處，混層液晶結構定向液 ―門有可犯產生反 液晶結構定向液晶薄膜7之定向轴之疋向軸】1和處層 交。因此，在混層液晶結構定向液晶 ^述方式配置成正 液晶薄膜7之厚度相等時，混層液晶結構定向=二:= 折⑽郝聊ce)和混層液晶結構定㈣㈣膜7 = 互相抵銷，所以相位差被抵鎖，亦即成為零。無缺陷部^折 在配置成與缺陷檢查元件平行時最暗，如圖2(b)般傾 為黑’但是當如圖2(c)般傾斜時，缺陷檢查元件内現層液晶 結構定向液晶薄膜7之相位差變大的部分成為產生漏^ 白。另外，在本發明中所謂大致正交，通常指9〇。±15。，較好 97131110 12 200916889 為 90°±10°，更好為 90°±5。。 另外一方面，因為缺陷部份 忉π的相位差比無缺陷 大’所以在如圖2(c)般傾斜時，缺陷檢查元件内的rm 結構定向液晶薄膜7之相位差被 層液曰曰 左被抵麵，因此反而成 相對地，在圖2⑹所示般傾斜之情況，因為混層液晶,構1 向液晶薄膜7之相位差變小，所以與顧部份2γ之她差籌的 偏移比與缺陷部份2Υ之相位差^ 差的偏移大’無缺陷部份2Χ成為 黑，與此相對地’缺陷部份2γ出現成為亮點。因此，可以提 高缺陷部份2Υ之辨識性，可以正確地檢查出因厚度不均引起 之缺陷。 依照以上之結果，利用傾斜而從缺陷檢查用補償元件的混層 液晶結構定向液晶薄膜7之棒狀液晶分子前端侧檢視，可以更 提高缺陷部份之辨識性。 (第2實施形態） 其次使用圖5〜圖6來說明本發明光學薄膜之檢查方法的第2 實施形悲。在圖5〜圖6中，對與第1實施形態相同或相當之 構成元件附加相同的元件符號，省略重複之說明。 本實施形態之檢查方法與第1實施形態不同之點在於缺陷 檢查用元件13以下面所述之方式構成。下面詳細說明缺陷檢 查用元件13。 圖5(a)表示從側面看長條狀光學薄膜之檢查光學系的情 況，圖5(b)表示對其從上面看的情況，圖中表示使缺陷檢查 97131110 13 200916889 用凡件13對長條狀光學薄膜具有反時針旋轉之傾斜的情況。 圖6表示光學薄膜1所含混層液晶結構定向液晶層2之定向 轴11 ’偏光板5之吸收軸51 ’缺陷檢查料件13中被混層液 晶結構定向之第2液晶薄膜7岐向軸71，作為4延伸薄 膜之第1相位差薄膜12的遲她⑵和偏光板8之吸收軸81 的配置關係之-實例。第丨相位差_12可以從使塑膝薄膜 在1軸延賴獲得之_中輕選擇，例如可以伽聚碳酸醋 薄膜，三麟纖維素(TA«薄膜，由原肢⑽細_)李構 成之阿同⑽⑽，观公司製），傑歐諾如咖，日本傑歐公 司製）等。1轴延伸薄膜以使上述薄膜在厚度方向之正交面内 的-方向延伸而獲得。丨軸延伸薄臈之相位差制27〇⑽。 如圖5所示’疊層偏光板8，！軸延伸薄膜12，混合定向液 晶薄膜（第2液晶薄膜）7而形成缺陷檢查用元件13。 在本實施形態之缺陷檢查用元件13巾，與第丨實施形態同 樣地，使用與絲薄膜1相同者作為混層液晶結構定向液晶薄 膜7 ’如圖6所示，使混層液晶結敎向液晶薄膜（第2液晶 薄膜）7之定向轴71疊層在偏光板8，而對偏光板8之吸收轴 81成為45。。另外’疊層而使丨軸延伸薄膜12之遲相轴i2i 和偏光板8之吸收軸81成為大致正交。 另外’對缺陷檢查用元件13，如目5(b)所示使其對光學薄 膜1之捲動長度方向成為傾斜而觀察。 表2表不以圖2(b)、II 5⑹之條件觀察之下，缺陷部份之 97131110 200916889 可視性和辨識性之比較。與第丨實施形態之圖2(b)相較之下， 缺陷部份之亮關可視性相同，但是無缺陷部份之黑變為更 暗’確認可以更提高缺陷之辨識性。 [表2] 缺陷之辨 良好 第1實施形態 缺陷部份 亮點 亮點 亦即在第1只崎態更追加i轴延伸薄膜，可以更提高缺 之辨識性。-般習知，偏光板在傾斜之情況下關離正交而 生漏光仁疋在此處經由追加i軸延伸薄膜，可以提高偏光 板本身之視野肖·，而提高辨識性。 不只限於上述之1 _膜，在正交的2方向上2軸延伸之2 軸延伸薄膜亦同樣可以提高辨識性。 Ο (第3實施形態） 使用圖7圖8來說明本發明光學薄膜之檢查方法的第3 2形態m圖8中，對於與第1實施形態相同或相當 7成兀件附加_之元件錄，並省略錢之說明。 ^ . m ^ 去^、弟1實施形態不同之點在於缺陷 檢查用兀件15利用以下 用元件15。 方式構成。下面詳細說明缺陷檢查 、兄SI 7(^ ^側面看長條狀光學薄膜之檢查光學系的情 ，’圖7⑹表示其從上面看的情況，圖中表示缺陷檢查用元 97131110 15 200916889 件15對長條狀光學_具有反時針旋轉之傾斜的情況。 圖8表示光學薄膜1所含混層液晶結構定向液晶層2之定尚 軸11 ’偏光板5之吸收麵μ 、θ p 种51 ’混層液晶結構定向液晶薄膜7 之定向軸（第2液晶薄膜）71，1軸延伸薄膜12之遲相軸121， 各向同性定向液晶薄膜（第3液㈣_4 8 Μ收 軸81的配置關係之Λ例。在此處，1軸延伸薄膜I〗之相位 差值為馳m。各向同性定向液晶_，指㈣液晶分子之定 向為垂直定向之薄膜’可以利用例如曰本專利特開 誦-瀬70號公報所記载之方法製作。各向雜定向液晶薄 膜之相位差，在面时向之折射率為ηχ、叩，厚度方向之折 射率為nz ’薄膜之厚度為d時，使用厚度方向之相位差值她 = {(_y) /2iz}xd=〜2〇〇nm，面内方向之相位差值收 = (nx-ny)xd =0nin 者。 如圖7所不’缺陷檢查用元件15由疊層偏光板η轴延伸 ◎薄膜12、各向同性定向液晶薄膜（第3液晶薄膜）14、和混層 液晶結構定向液晶薄膜（第2液晶薄膜）7而成。 在本實把形I、之缺陷檢查用元件15中，與第1實施形態同 木:也⑽詹液曰曰結構定向液晶薄膜7使用與光學薄膜！相同 者如圖8所不之方式，使混層液晶結構定向液晶薄膜7之定 向軸71曼層在偏光板8 ’而偏光板8之吸收轴81成為45。。 另外，疊層而使1轴延伸薄膜12之遲相軸121和偏光板8之 吸收轴81形成大致正交。 97131110 16 200916889 另外，使缺陷檢查用元件15對圖_斤示光學薄膜i之捲 動長度方向成為傾斜而觀察。 表3表示_ 2⑹、圖7⑻之料下歸時之賴部份的 可視性和辨識性之比較。與第！實施形態之圖⑽相較之下， 缺陷部份之亮度的可視性㈣，但是無缺陷雜之黑變成更 暗，確涊可以更提高缺陷之辨識性。 [表3] 第3實施形態 第1實施形態 亦即，在第1實施形態更追加丨轴延伸薄膜和各向同性定向 液晶薄膜，可以更提高缺陷之辨識性…般習知，偏光板在傾 斜之下因偏離正交而產生漏光’但是在此處，經由追加i軸延 伸薄膜和各向雜定向液晶薄膜，可以提高偏歧本身之視野 角特性，而提南辨識性。 另外’在上述之第1〜第3實施形態巾，因為使光透過混層 液晶結構定向液晶層2和混層液晶結構液晶薄膜7時所獲得之 相位差為零，所以1軸延伸薄膜之遲相軸對偏光板8之吸收軸 所形成的角度’和1軸延伸薄膜之遲相軸對偏光板8之透過軸 所形成的角度，成為上述各個實施形態所示之值，但是若以減 小相位差為目的時，亦可以在±15。之範圍内調整該等角度對上 述各個實施形態所示值。丨軸延伸薄膜之相位差值在5〇〜5〇〇nm 97131110 17 200916889 之範圍，較好為70〜400mn，更好為90〜3〇〇nm之範圍。當在該 範圍外時，會有缺陷檢查之辨識性顯著劣化的問題。 各向同性定向液晶薄膜之Rth值在一5〇nm〜_3〇〇nm之範 圍，較好為一250〜一 l〇〇nm，更好為—22〇〜—15〇nm之範圍， 各向同性定向液晶薄膜之Re值為〇〜2〇nm ,較好為〇〜1〇nm，特 好為大致Onm。 , 本發明並不只限於上述實施形態。例如對於上述第1實施形 (‘悲’與使第1和第2偏光板保持大致正交，旋轉9〇度之情況 亦相同’可以k咼缺陷部份之辨識性，可以正確地檢查厚度不 均所引起之缺陷。 缺檢查用元件之傾斜方向，如前所述，在缺陷部份之膜厚 比無缺陷部份大（相位差變大）時，可以在缺陷檢查用元件之混 層液曰曰結構液晶薄膜的相位差變小之方向傾斜，在缺陷部份之 y 、厚比無缺1^部份小（相位差變小）時，亦可以在缺陷檢查用元 件之此層液晶結構液晶薄膜的相位差變大之方向傾斜。 /採用將缺陷檢查用元件配置成不傾斜而為平行，而由檢查員 從倾斜向看的方法，同樣可以提高辨識性，在考慮到標記缺 陷I5伤等作業性之下，檢查員使缺陷檢查用元件傾斜而從正面 方向觀察比從傾斜方向看之觀察良好。 另外本發明之方法’亦可以利用光感測器捕捉從缺陷檢查 疋件透過之透過光，形成對應之影像’經由分析該影像而找 出缺。依照該方法時，可以作電子式處理，可以自動標記缺 97131110 200916889 陷部位。 、=層液日日日結構液晶薄膜所使用之液晶分子並不只限於棒狀 液曰曰刀子’即可是圓盤狀液晶分子。在檢查由圓錄液晶分子 構成之混層液晶結構液㈣膜的缺陷時 ，使用包含同一個圓盤 狀混層液g結構液晶_之缺陷檢查用元件 ’經由同樣的傾斜 可以獲得辨識性效果。 另外在本發明各個實施形態中，缺陷檢查用元件對光學薄 膜傾斜而檢查的傾斜角度較好為5〜7『，更好為Μ當。 【圖式簡單說明] 圖1表不本發明光學薄膜之檢查方法所使用的光學薄膜之 構造之一實例。 圖2表示本發日月光學薄膜之檢查方法之第1實施形態所使用 的光學薄膜之檢料㈣之—實例，⑷為側關，⑻至⑷ 表示從上侧看時之視圖。 ◎圖3表示第1實施形態之缺陷檢查用元件，光學薄膜）和第 1偏光板之吸收軸的關係之一實例。 圖4是剖視圖，表示在第丨液晶薄膜具有厚度不均之光學薄 膜。 圖5表示本發明光學薄膜之檢查方法之第2實施形態所使用 的光學薄膜之檢查光㈣之—實例，（a)為側關，⑹表示從 上侧看時之視圖。 圖6表示第2實施形悲之缺陷檢查用元件，光學薄膜1和第 97131110 19 200916889 1偏光板之吸收軸的關係之一實例。 圖7表示本發明光學薄膜之檢查方法之第3實施形態所使用 的光學薄膜之檢查光學系之一實例，（a)為侧面圖，（b)表示從 上側看時之視圖。 圖8表示第3實施形態之缺陷檢查用元件，光學薄膜1和第 1偏光板之吸收轴的關係之一實例。 【主要元件符號說明】 光學薄膜（第1液晶薄膜） 2 3 4 5 6 7 10 11 12 14 51 71 混層液晶結構定向液晶層 液晶分子 支持基板 偏光板（第1偏光板） 背光燈 混層液晶結構定向液晶薄膜（弟2液晶薄膜） 偏光板（第2偏光板） 13、15 缺陷檢查用元件 異物 混層液晶結構定向液晶層2之定向軸 1轴延伸薄膜（第1相位差薄膜） 各向同性定向液晶薄膜（第3液晶薄膜） 第1偏光板5之吸收軸 混層液晶結構定向液晶薄膜7之定向轴 97131110 20 200916889 81 第2偏光板8之吸收軸 121 1軸延伸薄膜12之遲相轴 1. 97131110 21