TW200529657A - Calibration feedback-control circuit for diffraction light devices - Google Patents

Description

200529657 九、發明說明： 【發明戶斤屬之技術領成】 本發明係有關於繞射光裝置用之校準回授控制電路。 L 前 椅;1 5 微電機系統(MEMS)典型上為使用薄膜技術所發展的 系統，且包括電氣與微機械元件。各種用途中被 使用，如光學顯示系統、壓力感應器、流動感應器與充電 控制致動器。MEMS裝置使用靜電力或能量以移動或監測 可儲存電荷之微機械電極之動作。在一型式之Mems裝置 1〇中為達成所欲的結果，電極間之間隙距離藉由平衡靜電力 與機械恢復力而被控制。 被設計來實施光學功能之MEMS裝置已使用各種做法 被發展。依據一做法，一可變形的偏向膜片被定位於一電 極上且以靜電被吸引至該電極。其他的做法使用形成頂端 15傳導層之矽或鋁的瓣或樑。在光學應用中，該傳導層為偏 向的而該偏向膜片使用靜電力被變形以引導入射於該傳導 層之光線。 更明確地說，一組被稱為繞射光裝置（dld)2Mems 根據-像素板相對於下層（及可能為上層）板之精確間隔產 °生色彩。此間隔為二力平衡之結果：根據對該等板之電壓 與電荷之靜電吸力及維持該像素板於遠離被靜電充電之充 電板的位置之-個以上的「支撐結構」之彈f係數。控制 咳間隙距離之傳統的做法為施用一連續的控制電壓至該等 電極，此處該控制電壓被提高以減小該間隙距離，反之亦 200529657 然。然而，精準的間隙距離受到數個因素影響，包括DLD 所遭遇的操作溫度變化、被施用至DLD的電壓、支撐結構 間之變異與其他系統變異。 【發明内容】 5 一種用於繞射光裝置之色彩校準的校準回授控制電路 包括至少一繞射光裝置(DLD)具有被相向的板所定義之一 間隙距離；至少一感應器被組配以變換該DLD裝置所調變 之光線為表示該間隙的一光線信號；一控制器被組配以根 據該光線信號所指示之該間隙與設計者定出之間隙值間的 10 差異來計算一電壓校正值，且進一步被組配以施用對應於 該電壓校正值之一校正後電壓至該DLD裝置。 下列附圖顯示本裝置與方法之各種實施例且為本說明 書之一部分。被顯示之該等實施例僅為本裝置與方法之例 子且不限制本揭示之領域。 15 圖式簡單說明 第1圖顯示依據一釋例性實施例之一繞射光裝置 (DLD)。 第2圖顯示依據一釋例性實施例之一DLD模。 第3圖顯示依據一釋例性實施例之一校準回授控制電 20 路。 第4圖顯示依據一釋例性實施例之一作業控制電路。 第5圖為一流程圖，顯示依據一釋例性實施例用於校準 一校準陣列及操作一 DLD陣列之方法。 在所有圖中，相同的元件編號表示類似但未必是相同 200529657 的元件。 【實施冷式】 一種用於燒射光裝置之色彩校準的校準回授控制電略 包括至少一繞射光裝置(DLD)具有被相向的板所定義之〜 5間隙距離’至少-感應器被組配以變換該DLD裝置所調變 光線為表間隙的—光線信號；_控制器被組配以根 據邊光線信號所指示之該間隙與設計者定出之間隙值間的 差異來計算一電壓校正值，且進一步被組配以施用對應於 忒電壓杈正值之一校正後電壓至該DLD裝置。 1〇 該校準資訊反映可能致使該假設間隙值會由設計者定 出之間隙值變化的處理與系統變異。該校正後的電壓調整 該假設間隙值，讓其實質地對應於該設計者定出之間^ 值。然後該校正後的電壓與設計者定出之間隙值被儲存， 使"對作業電路為可存取的。該作業電路控制^^^裝置 15或「人類可見之_。這些助裝置藉㈣取被儲存的校 正後之電壓與設計者定出之間隙值而被調整。結果為該校 準回授控制電路連續地調整一人類可見之陣列的沉收置 以考慮處理與系統變異。 如此處與所附申請專利範圍所使用者，「繞射光裝置」 20舁DLD’意為將廣泛地被了解為藉由利用二力之平衡：根 據對該等板之電壓與電荷之靜電吸力及支撐該反射表面^ 充電板的位置之-個以上的「切結構」之彈簧係數來控 制·'反射表面與一個以上的充電板間之間隙大小而選擇性 地產生色彩的任何裝置或結構。此外，「微電機系統」或 200529657 “MEMS”意為將廣泛地被了解為描述任何非常小（微）的機 械I置’其可在單一半導體晶片上被構建且其例如可使用 積體電路批次處理技術被製作。 在下列的描述中，為了解釋之目的，數個特定細節被 5設立以提供本方法與裝置之透澈了解。然而其對習知者將 明顯的是提供本方法與裝置可不需這些特定細節地被實 作。在本說明書中所稱之「一實施例」意即該實施例之相 關描述的特徵、結構或特點被包括於至少一實施例中。在 本說明書中各種位置出現的「在一實施例中」未必都指同 10 一實施例。 第1圖顯示一繞射光裝置(DLD裝置）100之一釋例性實 施例。在該釋例性實施例中，DLD裝置100至少部分地顯示 一可顯示之影像的一像素。DLD裝置100包括一頂端反射器 11 〇、一底部反射12〇、一支樓結構130、與一彈簧機構 15 140。一共振光學凹處150被定義於反射器110，12〇間。因 而，該等反射器110，120用一可變的間隙距離160被分隔。 6亥頂端反射110可為半透明或半反射性的，而該底部反射 為120為完全或高度反射性的。彈簧機構丨4〇可為如聚合物 之任何適當的彈性材料，其具有線性或非線性彈簧功能。 20 光學凹處150可被調整以使用光學干擾以特定強度選 擇一可見光。依DLD裝置1〇〇之組配而定，該光學凹處可以 所欲的強度反射或發射該波長。此即，該光學凹處15〇在性 質上為反射性或發射性。沒有光線被光學凹處15〇產生。因 之，DLD裝置100依賴周圍光線或其他外部光源。被光學凹 200529657 處150發射之可見波長與其強度係與該等頂端與底部反射 器110，120間之間隙距離相依。因之，光學凹處15〇可藉由 控制間隙距離被調讀為在所欲強度之所欲波長。 支#結構130與彈黃機構140讓間隙距離160在適當的 5充電量已被儲存於反射器110，120時改變，使得在所欲強 度之所欲波長被選擇。數種因素會影響該可變間隙距離16〇 之值使其不為所欲之值。 第2圖顯示一DLD模200，其總體包括一人類可見之陣 列21〇與一校準陣列220。該人類可見之陣列21〇為各別DLD 展置之陣列。該等各別的DLD裝置形成像素，其可被用以 產生用人類觀察器所察覺的影像。校準陣列220為DLD裝置 之季父小陣列，其實質上與人類可見之陣列所使用的各別像 素的大小相同。進而言之，人類可見之陣列21〇與校準陣列 220二者被耦合於同一電壓源。校準陣列220之DLD裝置可 包括一紅像素230、一綠像素240與一藍像素250，其由人類 可見之陣列21〇被偏置。進而言之，四個以上的像素可就四 個以上之色彩系統被使用。紅、綠與藍僅就易於說明被使 用。原因在於色彩組合為已知的。 當DLD模200被操作，人類可見之陣列21〇與校準陣列 2〇 22〇 -土 a* 二者之每一像素選擇性地過濾一光線產生總成所產生 的光線。來自人類可見之陣列210之光線透過一框或罩殼的 * 0被投射’使得其可被人類觀察器察覺。被校準陣列22〇 產生之光線被投射至配置於該框或罩殼上之一光二極體且 因而不會被人類觀察器察覺。如下面更詳細被討論者，校 200529657 準陣列所產生之光線被一校準回授控制電路使用以校準在 人類可見之陣列被使用的電壓而在此陣列產生該等所欲的 人類可見之色彩。來自測量像素230, 240與250之色彩的回 授校正該間隙距離’使得實際的可變間隙距離16〇(第1圖） 5 與所欲的間隙距離配上相關。 如先前討論者’校準陣列220與人類可見之陣列21〇分 隔，雖然其共用同一電壓源。此分隔使人類可見之陣列21 〇 產生之光線量最大，而允許色彩間隙值如下面將更詳細討 論地被校準回授控制電路之實質連續的作業更新。 10 弟3圖顯不权準回授控制電路300之一釋例性實施例。 校準回授控制電路連續地調整被施用至一 DLD裝置305的 電壓ϊ以允许DLD裝置305之假設間隙值實質地對應於設 計者定出之間隙值或所欲之間隙值。DLD裝置305可為一校 準陣列的一部分，如上面描述之校準陣列220。 15 如第3圖顯示者，如投射燈310之光源照射DLD裝置 305。為容易說明，單一DLD裝置被顯示。任何個數之DLD 裝置可被使用。例如，在第2圖中三個DLD裝置被使用，其 代表紅、綠與藍像素。該校準回授控制電路3〇〇將指此種三 色彩系統，但為了參照容易將遵循單一DLD裝置之校準。 20 被1003裝置繞射之光線通過一色彩濾光器以照射一個 光二極體315 °在多色彩系統中，每個光二極體被耦合至對 應的濾光器，使得每個光二極體只有一色彩在其上被投 射。例如，紅色光二極體會接收紅光、綠色光二極體會接 收綠光、及藍色光二極體會接收藍光。在所顯示之釋例性 200529657 實施例，該DLD裝置由一人類可見之陣列被分隔。在其他 施作，由屬於該人類可見之陣列一部分的DLD裝置來之光 線可由該人類可見之陣列被導向出來而至一個光二極體 上。 5 被光二極體感應之光線被一類比對數位變換器 (ADC)325變換為數位信號。被ADC 325產生之信號被輸送 至一色彩向量產生器330，其將該信號變換為色彩向量X’ 335-1與y’ 335-2。該等色彩向量335-1，335-2為「僅有色彩」 之向量’且被色彩向量產生器330由該光線之強度被隔離。 1〇 色彩向量X’ 335-1與y，335-2便被輸送至一靜態檢查表 340，其將色彩向量變換為假設間隙值345。該等假設間隙 值345為代表每一DLD裝置305之可變間隙距離160的值，而 採用理想的製造幾何、溫度與供應電壓。一特定的假設間 隙值較佳地給予一特定的色彩光譜。 15 然後每一假設間隙值345與對應的設計者定出之間隙 值350(駐於特定的檢查表355内）被比較。該假設間隙值345 與設計者定出之間隙值350透過一放大器360被傳送，其以 某放大常數κ將差異放大。被稱為電壓校正值365之此差異 被用以校正校準回授控制電路3〇〇之DLD裝置305的可變間 20隙距離160(第1圖）與更新人類可見之陣列所產生之色彩。在 特疋檢查表355中顯示有空格以強調任何個數的設計者定 出之間隙值可駐於特定檢查表355上之事實。因之，任何個 數的设计者定出之間隙值可被用以校準任何個數的1)乙1：)裝 置。 11 200529657 為校正被校準回授控制電路300之DLD裝置305繞射的 光線波長，該電壓校正值通過一數位對類比變換器（DAC) 3 7 0 ’其使用電壓校正值之數位信號來決定一校正後之電壓 375。該校正後之電壓375在使用該電壓校正值被決定下對 5 應於將被驅動至DLD裝置305以便調整之總電壓。因之， DAC 370可被耦合至或包括一可變電壓源被組配以驅動校 正後之電壓375至DLD裝置305上。然後，該校正後之電壓 375被輸送至DLD裝置305。該DLD裝置305便在回應於所施 用的校正後之電壓下於校準回授控制電路3〇〇再次開始決 10定另一校正後之電壓的程序前被允許安定。此程序連續地 發生，使得致使實際可變間隙距離之變化的因素被校正。 如所討論者，校準回授控制電路300計算電壓校正值 365以驅動假設間隙值345而實質上對應於一設計者定出之 間隙值350。此對應性再允許實際間隙距離16〇(第丨圖）對應 15於貫貝上與所欲色彩相同的被發射之色彩。 電壓校正值365定期地被計算且可以比起像素率相對 較k的速度被完成。例如該校正之被計算隙之校 準可以約每微秒一週期之速度被完成。 在饭设間隙值345與設計者定出之間隙值35〇間之差相 20當小的情形中，實際間隙電壓375之相當小的變化將被施用 至DLD裝置3〇5。類似地，在假設間隙值345與設計者定出 之間隙值350間之差相當大的情形中，實際間隙電壓375之 相當大的變化將被施用至DLD裝置3〇5。該校正後之電壓 亦了被稱為貝際間隙電壓。因之，校準回授控制電路 12 200529657 可快速地校正實際間隙距離i 6〇(第1圖）。 該電壓校正值365或實際間隙值345與設計者定出之間 隙值350間之放大後的差被輪送至一作業檢查表38〇。該作 業檢查表380將這些值配上相關，使得作業控制電路4〇〇(第 5 4圖）可如下面更詳被討論地參照該作業檢查表38〇。第3圖 已芩照單一DLD裝置305之校準被描述。如先前討論者，任 何個數之DLD裝置可被校準。每一DLD裝置可對應於該系 統所產生的代表性或基本像素色彩。一代表性像素配置之 例為紅、綠、藍(RGB)系統，其十三原色像素為紅、綠、藍。 1〇另一代表性像素配置之例為包括黑、紅、綠、藍像素色彩 之系統。 該等DAC 370、DLD 305、光二極體與ADC可為類比 的，而校準回授控制電路300之其餘元件可為數位的。校準 回授控制電路300的數位部分因其速度要求為相當中庸的 15故可用較不昂貴的微控制器被操作。 第4圖顯示一作業控制電路4〇〇。該作業控制電路4〇〇 可如參如第2圖描述地被用以控制一投影系統之dld裝置 的作業。如在下面將更詳細討論者，該作業控制電路參照 連續計算一校正後之電壓的一作業檢查表38()。因之，被用 20以產生一影像的DLD裝置被連續更新以最小化、甚或防止 因溫度漂移、電壓供應差異、或其他系統或裝置變異所致 的色彩變異。 作業控制電路400包括參照第3圖所導入之作業檢查表 380、一數位對類比變換器（ADC)43〇與一陣列iDLD裝置。 13 200529657 在一些釋例性實施例中，該1)乙1)陣列可類似於第2圖所參照 者。為容易參照，單一DLD裝置之作業將被討論。 在作業之際，作業控制電路4〇〇控制一DLD裝置陣列之 每一DLD裝置405的實際間隙距離。每一DLD裝置被組配在 5回應於被施用於此之被選擇的電壓下產生光線之不同的像 素。每一像素可被組配以產生一不同的色彩。 作業控制電路400包括DLD電路410，其提供數個色彩 電壓間隙值將與對應的電壓校正值被加總。色彩電壓間隙 值之個數對應於已被分離為一色彩方案的相同個數之色彩 10成份間隙（如第3圖之校準回授控制電路3〇〇的紅綠藍(RGB) 方案）的一色彩值。為了容易參照，單一的色彩電壓間隙值 420將被討論。該色彩電壓值42〇為假設系統中沒有變異（如 熱效應）時會被提供至DLD電路之值。 如先前討論者，一設計者定出之間隙值與已被校準為 15設計者定出之間隙值之一電壓校正值亦被儲存於作業檢查 表380中。作業控制電路4〇〇參照在作業檢查表380上之間隙 值，其對應於DLD電路410所供應之色彩電壓間隙(420-1， 420-2，420-3)。儲存於作業檢查表380中對應於所欲色彩且 被稱為校正後陣列值之電壓值被傳送至數位對類比變換器 20 (DAC)37〇(第3圖）。作業檢查表380被顯示具有三個登入值 用於一個三色彩系統。該等三個登入值每一個用於特定的 色彩R，G，B，且其包含一數字將被傳送至DAC 430以被 變換為一DLD控制電壓。DAC 430可與校準回授控制電路 300(第3圖）所使用之DAC 370(第3圖）相同。藉由為校準與作 200529657 業抆制使用相同的DAC，DAC間之變異被消除而允許二種 作業之精確度改良。 DAC鰱換校正後之陣列值為校正後之陣列電壓。該校 正後之陣列電壓結果被傳輸至DLD陣列之各別的像素格。 5然後溫度補償後之色彩電壓可依據傳統的DLD電路方案被 使用一透過一多工器440與交換場效應電晶體(FET)被饋送 至像素格以產生所欲的色彩模型。 第5圖為一流程圖，顯示校準DLD裝置之方法。步驟 500-540對應於校準如參照第2圖描述之校準陣列22〇的 10 DLD陣列。步驟560-570表示參照第2圖描述之人類可見之 陣列210的作業。步驟550處理校準陣列之校準如何與人頬 可見之陣列之作業配上相關。因之，本方法提供一人類可 見之陣列的實質連續之校準。 該方法藉由移動校準DLD裝置之相向的板使得其根據 15 一設計者定出之間隙值被一實際間隙距離分隔（步驟5〇〇)。 該設計者疋出之間隙值對應於一理論的間隙距離。數個因 素會致使該理論間隙距離與實際間隙距離間之差異。如先 前討論者，這些因素可包括DLD裝置中之溫度差異、製☆ 差異、電壓供應之差異與其他系統變異。本方法提供校準 20實際間隙距離之方法，使得實際間隙距離對應於所欲的間 隙距離。該實際間隙距離具有一假設間隙值且該所欲的間 隙距離具有一所欲的間隙值。 為決定該實際間隙距離與設計者定出之間隙值距離間 之差異，該實際間隙距離首先必須被變換為假設間隙值（步 15 200529657 驟510)。為進行此變換，光線必須由光源被導至DLD上。 進入DLD裝置之光線被調變，使得被DLD裝置繞射之光線 具有被實際間隙距離與該裝置之處理、熱與其他性質所決 定的波長與強度。 5 被繞射之光線通過至少一濾光器且被導向到至少一感 應器上。濾光器之個數可對應於感應器之個數，使得每一 感應器能接收或「看到」一單一的色彩。進而言之，被感 應器看到之單一的色彩對應於一色彩方案之一代表性的色 彩。一色彩方案之例為紅綠藍色彩方案，其中一紅光感應 10 器透過對應的濾光器接收紅光、一綠光感應器透過對應的 濾光器接收綠光、一藍光感應器透過對應的濾光器接收藍 光。每一感應器變換光線為一類比信號。 然後該類比信號被變換為數位信號。該數位信號可被 用以參照一靜態檢查表。該參照可藉由直接比較將該數位 15 信號與假設間隙值配上相關之一靜態檢查表而直接進行。 該數位信號亦可被傳送至一色彩向量產生器。該色彩向量 產生器產生色彩向量值對應於被感應之光線的色調。然後 該等色彩向量值與將該數位信號與假設間隙值配上相關之 一靜態檢查表被比較。 20 然後靜態檢查表之輸出（該假設間隙值）與該設計者定 出之間隙值值被比較以獲得電壓校正值（步驟520)。藉由比 較該假設間隙值與該設計者定出之間隙值，該電路能決定 什麼電壓校正值可被用以使該假設間隙值與該設計者定出 之間隙值實質地相等。 16 200529657 該電壓校正值係由該設計者定出之間隙值減掉該假設 間隙值然後將減除結果乘以一常數κ而被獲得。若該設計者 定出之間隙值大於該假設間隙值且κ為正數，該電壓校正值 將具有負的變化值。類似地，若該設計者定出之間隙值小 5於該假設間隙值且κ為正數，該電壓校正值將具有正的變化 值0 一旦對應於新DLD電壓值之電壓校正值已被決定，其 被變換為實際DLD或校正後之電壓（步驟530)。該DLD電壓 值可藉由使該數值通過一數位對類比變換器①Aq而被變 10 換為該實際或校正後之電壓。 該新的校正後之電壓便被輸送至DLD裝置（步驟540)， 其在此處被允許安定。駐於DLD裝置之電壓大約與實際間 隙距離之倒數成比例。新的電壓值對Dld裝置之導入致使 該等第一與第二板間之實際間隙距離朝向實際間隙距離移 15動’其由該微處理器得到所欲的假設間隙值。若電壓校正 值如上述地被計算，被施用於dld裝置之電壓將減小。類 似地，若所計算之電壓校正值為負值，該校正後之電壓將 致使DLD裝置上之電壓量提高至致使實際間隙距離之對應 的減小。 20 一旦該裝置已安定，步驟500-540可連續地被重複以確 保該實際間隙距離維持實質等於該理論或設計者定出之間 隙值距離，及在假若差異升高時校準該實際間隙距離。步 驟500-540係描述一校準回授控制電路之校準與一電壓校 正值之計算。 17 200529657 /包[才又正值與其所對應的設計者定出之間隙值被儲 存於作業^查表上(步驟55〇)。該電壓校正值與該設計者定 ” 1隙值被_合，使得參照該設計者定出之間隙值亦參 5 Z與其相關的電壓校正值。該作#檢查表允許—作業控制 I路將具有该等設計者定4之間隙值之^^電路所供應的 /間隙值配上儲存於作業檢查表上之對應的電壓校正值 ^560)。如先前討論者，校準陣列之DLD裝置為作業控 3電路所控制的DLD裝置之代表。結果為，储存於作業: ~表上之校正後的值可被用以調整〇乙1)電路所提供之色彩 10間隙值。 儲存於作業檢查表上之電壓校正值被校準回授控制電 路2資訊資料更新。因之，藉由連續地或定期地更新該作 業檢查表，該校準回授控制電路亦調整一作業陣列相關之 色彩間隙值，如參照第2圖描述的人類可見之陣列。 本方法描述一種使用一校準回授控制電路以校準一校 準陣列及使用一作業控制電路以控制-人類可見之陣列^ 2業之方法。如所討論者，作業控制電路所使用的校正值 $著該校準回授控制電路之作業而定期地被更新，使得該 扣賁訊資料陣列之實際間隙距離實質地等於該等所欲的間隙 20距離，而不受如溫度變異與電壓供應之系統變異的影继曰盘/ 或=造過料元件容差的㈣。結果為本方法不管所^論 的又異而允許具有所欲的特徵之影像的生產。 前面的描述已僅為說明及描述本方法與裝置被呈現 其不欲為排他性的或使其揭示受限於所揭示之任何精確卅 18 200529657 式。很多修改與變化根據上面的教習為可能的。其欲於本 發明之領域被下列的申請專利範圍定義。 I：圖式簡單說明3 第1圖顯示依據一釋例性實施例之一繞射光裝置 5 (DLD)。 第2圖顯示依據一釋例性實施例之一DLD模。 第3圖顯示依據一釋例性實施例之一校準回授控制電 路。 第4圖顯示依據一釋例性實施例之一作業控制電路。 10 第5圖為一流程圖，顯示依據一釋例性實施例用於校準 一校準陣列及操作一DLD陣列之方法。圖式簡單說明 【圖式之主要元件代表符號表】 100···繞射光裝置，DLD裝置 250…藍像素 110···反射器 300…校準回授控制電路 120···反射器 305…DLD裝置 130···支撐結構 310…投射燈 140···彈簧機構 315…光二極體 150···光學凹處 325…類比對數位變 160···間隙距離 器，ADC 200...DLD 模 330…色彩向量產生器 210···人類可見之陣列 335-1…色彩向量 220···校準陣列 335-2…色彩向量 230···紅像素 340…靜態檢查表 240···綠像素 345…假設間隙值 19 200529657 350···設計者定出之間隙值 420…色彩電壓間隙值 355···檢查表 430 …DAC 360···放大器 440…多工器 365···電壓校正值 500…步驟 370…數位對類比變換 510…步驟 器，DAC 520···步驟 375···校正後之電壓 530…步驟 380···作業檢查表 540…步驟 400···作業控制電路 550…步驟 405...DLD 裝置 560…步驟 410…DLD電路 570···步驟 20

Claims (1)

1. 200529657 十、申請專利範圍： 1. 一種用於繞射光裝置之色彩校準的校準回授控制電路， 包含： 至少一繞射光裝置(DLD)具有被相向的板所定義之 5 一間隙距離； 至少一感應器被組配以變換該D L D裝置所調變之光 線為表示該間隙的一光線信號； 一控制器被組配以根據該光線信號所指示之該間隙 與設計者定出之間隙值間的差異來計算一電壓校正值， 10 且進一步被組配以施用對應於該電壓校正值之一校正後 電壓至該DLD裝置。 2. 如申請專利範圍第1項所述之控制電路，其中該控制器進 一步包含一間隙值變換器，具有一類比對數位變換器 (ADC)與一靜態檢查表，其中該ADC被組配以變換來自 15 該感應器之信號為一數位值且被耦合於該感應器與該靜 態檢查表，及其中該檢查表被組配以將該假設間隙值與 該數位值配上相關。 3. 如申請專利範圍第1項所述之控制電路，其中該控制器進 一步包含一類比對數位變換器（ADC)、一色彩向量產生 20 器與一靜態檢查表，其中該ADC被組配以變換來自該感 應器之信號為一數位值且被耦合於該感應器與該靜態檢 查表，其中該色彩向量產生器被組配以產生色彩向量對 應於該DLD裝置所調變之光線，及其中該靜態檢查表被 組配以將該假設間隙值與該等色彩向量配上相關。 21 200529657 4.如申請專利範圍第1項所述之控制電路，進一步包含一放 大器被耦合於該靜態檢查表與該設計者定出之間隙值， 且被組配以藉由放大該設計者定出之間隙值與該假設間 隙值間之差異來獲得一電壓校正值。 5 5. —種用於一繞射光裝置之色彩校準的校準回授控制電 路，包含： 至少一第一、第二與第三繞射光裝置(DLD裝置）， 具有於相向的板間被定義的對應之間隙距離； 數個感應器光學式地被耦合於該等第一、第二與第 10 三DLD裝置，且被組配以變換該等DLD裝置所調變之光 線為數個光線信號； 一間隙值變換器被組配以變換該等光線信號為與該 等間隙距離相關之假設間隙值； 一設計者定出之間隙值表，具有數個設計者定出之 15 間隙值被儲存於其上，其中該等設計者定出之間隙值對 應於該等間隙距離；以及 一控制器被組配以控制該等感應器、該間隙值變換 器與該設計者定出之間隙值表，且其中該控制電路被組 配以根據該等假設間隙值與該等設計者定出之間隙值間 20 之差異來計算電壓校正值，及進一步被組配以施用對應 於該等假設間隙值之校正後之電壓至該等第一、第二與 第三DLD裝置。 6. —種繞射光裝置(DLD)系統，包含： 一校準回授控制電路，包括一校準陣列，具有數個 22 200529657 DLD裝置，每一個具有於相向的板間被定義之一間隙距 離，且其中該校準回授控制電路被組配以變換該校準陣 列所繞射之光線為對應於該等間隙距離之假設間隙值及 藉由根據該假設間隙值與對應的一設計者定出之間隙值 5 間的一差異使用一電壓校正值來校準每一 DLD裝置； 一作業檢查表被耦合於被組配以耦合該等設計者定 出之間隙值與電壓校正值並於其上儲存該等值之該校準 回授控制電路； 一人類可見之陣列； 10 一作業控制電路被組配以控制該人類可見之陣列之 作業與參照該作業檢查表，及使用該等電壓校正值來校 準該人類可見之陣列。 7.如申請專利範圍第6項所述之系統，其中該校準陣列由該 人類可見之陣列被偏置。 15 8.如申請專利範圍第6項所述之系統，其中該校準陣列為一 對該人類可見之陣列。 9. 一種校準一繞射光裝置(DLD)之方法，包含： 於用一實際間隙距離所定義的分隔之位置放置第 一與第二相向的板； 20 將光線導向該DLD裝置以調變此光線； 變換該調變後之光線為一假設間隙值； 比較該假設間隙值與一設計者定出之間隙值；以及 用與該假設間隙值與該設計者定出之間隙值間之 差異成比例之一距離來調整該假設間隙距離。 23 200529657 10. —種校準一DLD裝置之方法，包含： 藉由利用於用一實際間隙距離所定義的分隔之位 置放置第一與第二相向的板；將光線導向該DLD裝置以 繞射此光線；變換該繞射後之光線為一假設間隙值；比 5 較該可變的間隙值與一設計者定出之間隙值以獲得一電 壓校正值；根據該等假設間隙值施用一校正後之電壓至 該DLD裝置；及於一作業檢查表上儲存該等假設間隙值 與該設計者定出之間隙值並將之配上相關來操作一校準 回授控制電路而校準一校準陣列； 10 提供對應於一人類可見之陣列的數個色彩間隙值； 以及 藉由參照該作業檢查表以獲得校正後之陣列值而 校準該等色彩間隙值。 24