TW200521383A - Method and device for thermal exhaust gas purification - Google Patents

Description

200521383 五、發明說明（1) 本發明係一種以熱處理淨化廢氣用的方法，這種方法是將 廢氣被導入一個位於密閉燃燒室内並燃燒可燃氣體及一種 含氧的反應組分（燃燒用空氣）的燃燒器内，使廢氣中的有 毒物質在以高溫燃燒的可燃氣體及燃燒用空氣組成的混合 氣體中被燒掉，或是被熱分解。 這種熱處理淨化廢氣的方法 是用來去除半導體工業產生 設備產生的廢氣會被導入一 燃燒器内，並在高溫的火焰 含氧量不足，則需要另外將 中，以保證燃燒反應能夠在 於技術上的考量，燃燒器的 流上升式燃燒器。 可以用來去除有害廢氣，特別 的廢氣。在生產過程中，製程 個燃燒可燃氣體及燃燒空氣的 中被熱分解。如果廢氣本身的 含氧的燃燒空氣加入可燃氣體 有多餘氧氣的條件下進行。基 選擇有氣流下降式燃燒器或氣 其他適當的洗^容液（吸附劑）結合 在接下來的洗滌過程中 溶成份會與喷入的水或 在一起。 兩個重要的先決條件 以及燃燒火焰要穩 使有毒物質能夠盡可能被完全燃燒的 是廢氣與可燃氣體要能夠均勻混合， 定。 在燃燒過程中使廢氣與可氣體混合的方法可分為内部混合

第7頁 200521383 五、發明說明（2) 方法及外部 由側面將廢 燒籃的外殼 頂端與可燃 乎會充滿整 面上的許多 是這些從側 體主氣流的 無法參與燃 碰到這種廢 法。使用 燃燒器内 廢氣導入 輸入管相 籃。廢氣 被注入燃 火焰的廢 走並被推 。所有使 不完全的 合方法的 是通過_ 内。這種 時在該處 過分佈在 可燃氣體 不小的一部分被 ’導致這一部分 混合方法的燃燒 混合方 氣導入 表面將 氣體的 個燃燒 排出口 面流向 渦流吸 燒反應 氣燃燒 外部混 ，特別 燃燒器 接，同 可以通 燒籃與 氣會有 向前方 用外部 問題。 燃燒器 個圓錐 燃燒籃 點燃的 燃燒籃 一起燃 通常是 形的燃 的圓錐 火焰幾 外殼表 燒。但 可燃氣 的廢氣 益都會 即使是採用德國專利DE 1 96 08 79 6提出的先將一部分的 可燃氣體與廢氣在一個設置在燃燒籃之前的預處理室内混 合的方法也不能解決這個問題，這是因為在這種情況下g 燒，的基本幾何形狀及壓力關係幾乎不會有任何改變，而' 且是以比原來小很多且無法填滿燃燒籃的火焰在燃烤。 及火致個至 氣於導這燒 廢大故，回。 使度緣看向壞 度速的來反損 速出火面焰的 出流點方火器 流果後一止燒 的如延外防燃 室是再另以致 燒但一從，導 燃，需是值會 入果於但限然 進效由。下必 高合會續個則 提混將連一否 由的，不於， 經佳度及小管 以較速定能入 可到散穩不輸 上達擴不又的 論體的燒度體 理氣身燃速氣 然燃本焰出燃 雖可焰火流可

第8頁 200521383 五、發明說明 如果將已經過預混合的可燃氣體及廢氣導入燃燒器（也就 =使用内部混合方法），不但可以使可燃氣體及廢氣達到 較佳的混合效果，也可以防止廢氣被渦流挾帶排出。但是 在可燃氣體與廢氣以無壓力方式混合後就不可能再對進入 燃燒室的流出速度進行任何調節，因此使用内部混合方法 巧燒器始終會有火焰回燒至進氣f道以致損壞燃燒設備 本發明的目的是提 方法及裝置是經由 節、而且幾乎完全 出一種燃燒廢氣的 均勻的外部混合廢 燃燒的燃燒效果。 方法及燃燒器，這種 氣達到穩定、可調 可燃氣體及燃燒用空氣 的擾動混合，以形成兩 後將廢氣導入這兩個火 本發明提出的方法是將燃燒室内 隔開並直接導入，使二者經由氣 個相對而立的火焰前端（焰鋒）'' 焰前端之間。 本發明使用的基本混合原 用空氣各自經由一個由客你疋外#混合。可燃氣體及燃燒 列被導入燃燒室内。不、馬^噴嘴構成並緊靠在一起的噴嘴 經由與其第一個喷嘴列^ ^兩種反應組分中的一種另外還 導入燃燒室内。由於兩^隔一較大距離的第二個喷嘴列被 的很近但卻是相互隔開，應組分是分別經由兩個彼此靠 大距離的另外一個喷^、嘴列及與這兩個噴嘴列相隔一較 1被導入燃燒室内（這另外一個噴

$ 9頁 200521383 五、發明說明（4) 嘴列是供導入兩種反應組分中的一種所用），因此會在排 出口的正後方形成一個區域（預燃燒區域），雨# fΛ 、 〃檀反應組分 會在這個區域内的兩個彼此隔開的空間内混八 .^ — & σ ，直到在這 兩個空間内都達到點燃混合氣體所需的化學計旦 董關係馬 止0 接著再將要燃燒的廢氣導入這兩個經上述方彳以上a , μ 八啦成的火焰 前端之間。這樣廢氣就會被從噴嘴喷出的反應組分在預燃 燒區域形成的氣流及完整環繞的火焰一起帶走， 八4、:' 導入進行燃燒。 ，、王邛被 本發明可以經 特殊的實施方 空氣係以氣流 火焰前端被導 此火焰前端會 效果獲得進一 角角度彼此對 被對方挾帶， 部分反應組分 分反應組分， 並在該處被完 形成可以進一 以形成具有點 由設定反應組分的氣流方向的方式產生一種 式，在這種實施…’可燃氣體及燃燒用 方向W(0 SWS90 )的方式對準至少一個 入，同時沿著這個火焰前端有一道氣流，因 ㈣及挾帶廢氣氣流的 =的加強。由於兩種反應、板分#氣流係以銳 ί而，此兩種反應組分各自冑冑一大部分會 因：達到很好的混合效果。至於未被混合的 則ίϊ是僅經由一排噴嘴被導入燃燒室的部 入ί入另外一種反應組分的第二道氣流， :::。在沿著火焰前端移動的氣流内部會 二2混合效果的渦流 '經由上述方式就可 ι此力並能夠十分穩定的燃燒的混合氣體。

麵

第10頁 200521383 五、發明說明（5) 在本發明的一種姓 個彼此相隔一 a特別有利的實施方式中，火焰前端形成兩 岸、對準的噴嘴^鉅離的同心焰環。這種實施方式是經由相 氣流被旋轉，i:種反應組分的一道内部氣流及一道外部 附近。這樣從輪2外—種反應組分從韩向導入内：氣流 ，查$丨丨*八、曰人向導入的氣體就會被旋轉的氣流挾f ’並 達到充分混合的目的。 在本發 焰環的 在每一 響，不 個焰環 兩個焰 成的渦 到更佳 轉的火 構造高 中，為 反，也 不會受 向相同 果及受 況。廢 留較長 值得注 因此有 明的各種不 方疋轉方向可 道氣流内的 過在兩個焰 之間的廢氣 環朝不同方 方疋路線而在 的燃燒效果 焰前端的高 度0 同實施方式 能是彼此相 混合效果並 環的旋轉方 的被挾帶效 向旋轉的情 南溫區域停 。另外一個 度比較低， 配合技術要 可能是同方 焰環旋轉方 的情況下， 擾動作用會 氣會因為焰 的時間，因 意的優點是 助於降低整 求，兩個 向旋轉。 向的影 被導入兩 明顯強於 環旋轉形 此可以達 ，由於旋 個系統的 人^發明的貫施方式中，另外一種可以影響反應組分的混 ^行，的方式是設置一個可以調整氣流速度的壓力調節 态二11樣，的好處是一方面可以影響預燃燒室内的渦流， 另方面疋可以經由火焰前端的速度調整其側向運動或 轉運動。 々疋

第11頁 200521383 五、發明說明（6) 配合相應的外部氣體導入方式，流出速度的可調節性使 發明的燃燒器可以用氣流下降的方式工作，也可二 , 、 ^J从用氣流 上升的方式工作。在氣流下降的工作方式中，不論是經由 較高的流出速度或是經由較快的側向或旋轉運動;$ ^對 火焰向上升南的趨勢起到抑制的作用。 本發明提出的以熱處理淨化 入燃燒室的喷嘴作為可燃氣 燃氣體及燃燒用空氣各有一 而且這兩個喷嘴列的位置靠 反應組分中的至少一種設置 嘴列的位置係與這種反應組 而且廢氣輸入管接入燃燒室 的噴嘴列之間。 廢氣用的裝置是以多個直接接 體及燃燒用空氣的輸入管，可 個由多個喷嘴構成的噴嘴列， 的很近。此外還另外為這兩種 第二個喷嘴列，而且第二個喷 分的第一個喷嘴列相對而立， 的位置係位於這兩個相對而立

經由導入燃 嘴及導入廢 混合工作原 本發明的裝 另外兩個彼 置係與這兩 兩個相對而 組分則是經

，氣體及燃燒用空氣用的直接接入燃燒室的喷 =用=輸^管即可具體實現燃燒器使用的外部 置至^樣就可以防止火焰回燒至氣體輸入管。 少設有3個喷嘴列，且其中一個喷嘴列與 個ΐ:很近的喷嘴列相隔一較大的距離且其位 立的咕列相對而立，其中一種反應組分係經由 由一ΪΓϋ被導入燃燒室内’而另外一種反應 一則面提及的兩個相對而立的喷嘴列中 I麵 第12頁 200521383 發明說明（7) 的、：#的很近的噴嘴列被導入燃燒室内，經由這種 :以j生兩個相對而立的火焰前端，0此在這 f ^間被導入的廢氣可以完全被火焰燃燒。 〜 士二”噴嘴將可燃氣體及燃燒用$氣導入的 f ^疋可以調整反應組分的導入方向。在本發明的穿 置=種特殊的實施方式中，至少在供導入第一種 :::些噴嘴所在的面的法線，也就是與法線之間 間，向與法線的爽角介於。度至9。度之 同，：是喷嘴與法線所失的角度均相 同的。it種噴嘴與法線所夾的角度是可以不 重要特徵，排列方式可是本發明的方法的-個 但可以強化反岸％ = ^以產生一連續的火焰前端，而且不 的廢氣停留在二；合效果’還可以延長待燃燒淨化 了 d在燃垸至内的高溫區域的時間。 在本發明的裝置的—括Μ σϊ i 二種反應組分用的所右二=有利的實施方式中，供導入第 重合，而且這些噴嘴所卢鳴的方向均與其所在的面的法綉 的嘴嘴接入的面之間戶與供導入第-種反應組分用 是復接近9G度，同時徂ΐ的角度即使不是剛好是90度也售 個方形的排出口，#二^入第二種反應組分的喷嘴具有一 這個角大致指向第一種1 口至少有一個角是銳角，而』 種反應組分的流出方向。 200521383 五、發明說明（8) 由於兩種反應組分的流屮古A々μ ^ 直角，而且彼此的噴嘴列的：：:角度近似於-個 丄，丄 J幻位直又很罪近，因發斜進^一宏 方向流入的第一種反應組八^ ^ i & 子旱 ^ ▲ 丄 刀的乳流會被第二道氣洎千檯， 進而使兩道氣k都會被強勁的渦流擾動。 形狀呈方形並排照前述方式朝 形狀可以產生一種額外的混合 方形噴嘴流出的每一道氣流内 度’而這個速度梯度會在流出 渴流。 一定方向設置的喷嘴的幾何 效果，這是因為在從每一個 都會形成流動速度的一個梯 氣流的垂直擴散方向上形成 二月置的另外一種實施方式係以同心圓的方式設置 、，廷種设置方式對於線性火焰前端已被證明為有效的 正面效益具有進一步的強化作用。 在^發明的裝置的另外一種實施方式中，至少有一種反應 組分是經由不同的噴嘴列分別導入的，這樣做的效果和$ 以分別調整分應組分的導入方式一樣都可以達到燃燒過程 的差異化及完美化控制的效果，因為這樣做可以經由對流 動速度的調整影響反應組分本身及反應組分與廢氣的混 明的裝置的另外_種實施方式可以經由設置在燃燒室 外壁内的一種環狀間隙噴嘴將燃燒室外壁冷卻，經由這種

200521383 五、發明說明（9) 環狀間隙喷嘴喷出的冷卻水可以均勻的將燃燒室的整個外 壁喷濕，這有助於降低燃燒室的溫度負載和延長燃燒室的 使用壽命。 為了避免在本發明的裝置的各組件之間的連接處出現機械 應力’除了需要對組件進行均句及有效的除卻外，在燃燒 室運轉過中溫度會上升的組件之間應以機械式或力傳遞 式的方式連接。沒樣就可以在因為膨脹係數不同而產生機 械應力時即刻將其排除。整個裝置的結構及冷卻設計需將 必要的焊才妾接合處言曼置在+ t因為|置運II而造成溫度升 高的位置。 第1圖的燃燒器是構成本發明的以熱處理淨化廢氣用的裝 置的最主要部>。燃燒器的形狀為圓柱形，並具有兩個分 開的燃燒用空氣輸入管，其中一個是位於中央的輸入管 (1) 3夕卜疋位於外部的輸人管⑴，Λ外燃燒器還具 有多個=向的廢氣輸入管（3)及一個中央的徑向可燃氣體 輸入管（4)。 個蘑菇狀項尸端(5)的内管構成的中央燃燒用空氣 輸入官（）位於可燃氣體分配器内 分用的燃燒用空氣會從軸南姑道 丄 , ^ ' _ λ , L 罕*向破導入中央燃燒用空氣輸入管 (1)，並經由燃燒用空氣诵洁r .r . . A ^道（8)被導入位於蘑兹狀項端 (5)底部的徑向鑽孔（9)，沪伽a μ θ & &個位置就是燃燒用空氣流入相

200521383 五、發明說明（ίο) 應的内燃燒用空氣噴嘴（1 〇 )的位置’這些内燃燒用空氣喷 嘴（1 0 )都位於可燃氣體分配器（6 )的頭部，而且70全部都偏 離徑向對準方向一個相同的角度。燃燒用空氣經由這些對 準同一個方向的内燃燒用空氣喷嘴（1 0 )被導入燃燒室（7) 内，並在其内以圓周運動的方式逐漸上升。 可燃氣體分配器（6 )被一個外部燃燒用氣體分配哭（11)包 圍住。由於可燃氣體分配器（6)的尸徑與外部燃燒用氣體 分配器（11 )的内徑並不相同，因此在可燃氣體分配器（6 ) 及外部燃燒用氣體分配器（11)之間存在一個環狀間隙 (1 2 )。由於外部燃燒用氣體分配器（11 )的内徑相應的縮 小，因此這個環狀間隙（1 2)會向下被密封住。環狀間隙 (1 2 )的項端構成可燃氣體分配器（6 )的一個牙冠狀的增厚 4为’其齒狀部分之間的空間則形成具有三角形斷面的通 道（1 3 )，也就是三角形喷嘴（1 4 )。從氣流方向看過去，這 些三角形噴嘴（1 4)具有一個帶銳角的較窄部分及一個較寬 的部分’氣流在較窄部分的流動速度大於在較寬部分的流 動速度’同時較窄部分的方向係與内燃燒用空氣喷嘴（i 〇 ) 相同。 從徑向被導入位於環狀間隙（1 2)底部的第一個環狀通道 (1 5 )並在環狀間隙（1 2 )内被導入三角形喷嘴（1 4)的可燃氣 體（第二種反應組分）會經由三角形喷嘴（1 4)流入燃燒室 (Ό ’由於可燃氣體在三角形喷（12)内具有不同的流動速

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度，因此在流入燃燒室（7)後會受到擾動，並盘 ，用空氣噴嘴（1G)的旋轉的燃燒以氣相遇，^ 知一個旋轉脈衝。在兩個靠的报近的 b而獲 (也就是燃燒區域)，由於兩種反應組分的流 直角’因此兩種反應組分會達到充分的混>，並丄： 旋轉並具有，點火能力的可然、氣體及燃 ;種 體’這種混合氣體會流入内焰環，並使内 一個與外部燃燒用空氣分配器（n)的外壁連接的環圈 構成通往燃燒室（7)的圓柱形外部燃燒用空氣分配器（ιι) 的頂端，在環圈（17)的外殼内有一個環狀缺口（18)。和内 燃燒用空氣喷嘴（10) —樣是製作成徑向傾斜式喷嘴的外燃 燒用空氣喷嘴（1 6 )就是從環狀缺口（ i 8 )進入燃燒室（7 )… 内。環狀缺口（ 1 8 )經由另外一個圓柱形外殼（也就是主燃 燒至壁（19))與第一個ί衣狀通道（20)連接。主燃燒室壁 (1 9)將外燃燒用空氣分配器（11)的上半段環繞住並向外伸 出形成燃燒室（7)的一部分。燃燒室（7)的其他部分局在第 1圖中未全部繪出）則是由同樣也是像圓柱形外殼一樣將主 燃燒室壁（1 9)的上半段環繞住的燃燒室壁（2 1)構成。 燃燒用空氣經由外部燃燒用空氣輸入管（2)被徑向導入環 狀缺口（ 1 8 )，然後再由環狀缺口（ 1 8)通過外燃燒用空氣噴 嘴（16)流入燃燒室（7)。燃燒用空氣在燃燒室（7)與由於自 身渦流而未被中央燃燒用空氣輸入管（1)補捉到的可燃氣

第17頁 200521383 五、發明說明（12) 體部分混合成用於外焰環的 可燃氣體的混合氣體。由於 喷嘴（16)的緣故，這種混合 著旋轉。 另外一種可行的方式是在外 (1 7)的底部經由另外形成一 隙另外設置一個進入燃燒室 環的第二個可燃氣體輸入管 由於前述的燃燒器具有圓形 環，從徑向導入的廢氣輸入 個同心焰環之間的另外一個 式採用的是分散式的廢氣輸 種實施方式中也可以經由另 廢氣通道連接成一個中央輸 他實施方式中的排出口的數 式的排出口的數量。 經由排出口（22)進入燃燒室 環完全包圍住，廢氣在這兩 生一個旋轉運動，因此廢氣 長的時間，並被完全燃燒。 具' 有點火能力的燃燒用空氣及 $竿特定方向的外燃燒用空氣 氣體會旋轉，並帶動外焰環跟 ^燒用空氣分配器（11)内環圈 個t狀間隙，並從這個環狀間 的二角形噴嘴，以便作為外焰 〇 ，面’因此會形成兩個同心焰 官（3)的排出口（22)接入這兩 圓形轨道。此處描述的實施方 入管’但是在本發明的另外一 外一個環狀通道將各個單一的 入$。同樣的，在本發明的其 量亦可不同於第1圖之實施方 (7)的廢氣會被兩個旋轉的焰 個旋轉的焰環的帶動下也會i 會在主燃燒室（24)停留一段車交

第18頁 200521383 五、發明說明（13) 第1圖的實施方式具有冷卻主燃燒室壁（1 g )及燃燒室壁 (2 1 )的装置。這個裝置包括位於主燃燒室壁（丨9 )及燃燒室 壁（2 1 )之重疊部分的外殼内的一個環狀間隙喷嘴（2 5 )及一 個未在第1圖中繪出的供應冷卻水的水管。由環狀間隙噴 嘴（2 5 )喷出的冷卻水會將燃燒室壁（2 1)的大片面積喷濕， 順著燃燒室壁（2 1 )流下的冷卻水會流入一個集水用的冷卻 水通道（26) ’主燃燒室壁（19)則是直接被冷卻水通道（26) 内的水冷卻，同時也會因為與經冷卻的燃燒室壁（2丨）的大 面積接觸而被間接冷卻。

由於第1圖的實施方式具有冷卻主燃燒室壁（19)及燃燒室 壁（2 1)的裝置’同時主燃燒室壁（丨9 )及燃燒室壁（2丨）與燃 燒室（7)的高溫區域均有間隔一定的距離，因此外燃燒用 空氣喷嘴（11)與主燃燒室壁（丨9 )之間、以及主燃燒室壁 (1 9 )與燃燒室壁（21 )之間的連接處都可以可以保持在足夠 冷卻的狀恶’所以這3個組件係以焊接的方式彼此連接在 一起。

至於其他在廢氣燃燒淨化過程中溫度會上升的組件、中央 燃燒2空氣輸入管（1 )、可燃氣體分配器（6 )、以及外燃燒 用空氣分配器（11)之間則是採用力傳遞的連接方式。 從第2圖可看出，在這種實施方式是經由8個内燃燒用空氣 喷嘴（1 〇)及8個外燃燒用空氣噴嘴（丨6)將燃燒用空氣導入

第19頁 200521383 五、發明說明（14) 的燃燒室（7)内，而且這兩個喷嘴列對準的方向會使焰環 同時朝著逆時針的方向轉動。在焰環之間從8個排出口 (2 2 )流入燃燒室（7 )的廢氣氣流會經由這些同時朝逆時針 方向轉動的焰環被轉變成特別扁平的旋轉運動，因此會在 燃燒器的高溫區域内停留一段較長的時間。

第20頁 200521383 圖式簡單說明 第1圖：燃燒器的一個垂直截面及與其連接之燃燒室的一 部分區域。 第2圖··如第1圖之A-A線通過的燃燒器的一個水平截面。 元件符號說明： 1中央燃燒用空氣輸入管 3廢氣輸入管 5頂端 7燃燒室 9 徑向鑽孔 I 0内燃燒用空氣喷嘴，供 II 外部燃燒用氣體分配器 13 通道 1 4三角形喷嘴，供導入第 1 5第一個環狀通道 1 6外燃燒用空氣喷嘴，供 17環圈 1 9主燃燒室壁 2 1燃燒室壁 23廢氣通道 2 5環狀間隙噴嘴 2外部燃燒用空氣輸入管 4可燃氣體輸入管 6可燃氣體分配器 8燃燒用空氣通道 導入第一種反應組分用的喷嘴 1 2 環狀間隙 二種反應組分用的喷嘴 導入第一種反應組分用的喷嘴 1 8 壞狀缺口 20第二個環狀通道 22排出口 24 主燃燒室 2 6 冷卻水通道

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Claims (1)

1. 200521383 六、申請專利範圍 ^ 一種以熱處理淨化廢氣用的方法，這種方法是將廢氣 j v入一個位於密閉燃燒室内並燃燒可燃氣體及一種含氧 的反應組分（燃燒用空氣）的燃燒器内，使廢 溫燃燒的可燃氣體及燃燒用空氣組成的混合氣體 (η肉二或是被熱分解這種方法的特徵為：將燃燒室 (J)内又可燃氣體及燃燒用空氣隔開並直接導入，使二者 Γ焰二=動混合’以形成兩個相對而立的火焰前端 曰鋒）然後將廢氣導入這兩個火焰前端之間。 其二申，專:1圍第1項的以熱處理淨化廢氣用的方法， $90。然，氣體及燃燒用空氣係以氣流方向W(0。 這個火焰前/古對準至少一個火焰前端被導入，同時沿著 後。 ，而有一道氣流，因此火焰前端會緊跟在氣流之 的方特^^範81中任—項的以熱處理淨化廢氣用 流到兩個火焰扩:·可燃氣體及燃燒用空氣的混合氣流會 相反的方向旋2端，而且這兩個火焰前端的流動方向係朝 5·如申請專利 氣用的方法，其牲圍⑴第、1至3項中任一項的以熱處理淨化廢 流會流到兩個火妒彳j為·可燃氣體及燃燒用空氣的混合氣 係朝相同的方向Γ前端，而且這兩個火焰前端的流動方向

   200521383 六、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第2至5項中任一項的以熱卢淨化廢 氣用的方法，其特徵 “、、处/ 為·氣流的速度是可以調整的。 7·如前述申請專利範圍中任一項的以熱處理淨化廢氟用 的方法，其特徵為：燃燒室係以氣流下降的方 式工作。 4^上 ^ 一種以熱處理淨化廢氣用的裝置，由—個密閉的燃燒 室、導入燃燒氣體用的輸入管、導入燃燒氣體"之含氧的反 應組分用的輸入管、導入待淨化之廢氣用的輪入管、以及 一個排除燃燒產物用的排出管構成，其特徵為·· 一一以多個直接接入燃燒室（7)的噴嘴（1 〇，1 4，} 6)作為可 燃氣體（4)及燃燒用空氣（1，2)的輸入管， 、 了燃氣體及燃燒用空氣各有一個由多個噴嘴（1Q， 構成的噴嘴列，而且這兩個喷嘴列的位置靠的很近， 一另外為這兩種反應組分中的至少一種設置箆_ ^~1固喷嗜* 別’而且第二個喷嘴列的位置係與這種反應組 、角 噴嘴列相對而立， 的第一個 〜〜廢氣輸入管接入燃燒室（7)的位置係位於這 立的噴嘴列之間。 則固相對而 9复如申請專利範圍第8項的以熱處理淨化廢氣用的裝 (1特徵為：至少在供導入第一種反應組分用的多個^嘴 、a ’ 1 6)内（也就是兩個相對而立的噴嘴列内）的所有+ ^ 2 =出方向均與這些喷嘴（10，16)所在的面的法線失52 疋、角度，且這個角度係介於〇度至9〇度之間。

   第23頁 200521383 六、申請專利範圍 ιο· 如申請專 置，其特徵為 的方向均與其 在的面與供導 面之間所夾的 度，同時供導 的排出 大致指 11.如 廢氣用 的方式 1 2.如 廢氣用 同的喷 的。 13·如 廢氣用 燒室外 1 4.如 廢氣用 成，其 機械式 口，這 向第一 申請專 的裝置 設置。 申請專 的裝置 嘴列分 申請專 的裝置 壁（21) 申請專 的裝置 中在燃 或力傳 利範圍 :供導 所在的 入第一 角度即 入第二 個排出 種反應 利範圍 ，其特 利範圍 ，其特 別導入 第9項的4處理淨化廢氣用的裝 ί 組分用的所有噴嘴(14) 面的法線重合，而丄 絲C；鹿,八^ 而且廷些噴嘴（14)所 種反應組分用的喑趣r 貨觜（10 ，16)接入的 使不是剛好是9 〇声 > 在β / 度也會疋很接近90 種反應組分的嗜。皆r ] ,、„ i 只M14)具有一個方形 口至y有-個角是銳角，而且這個角 組分的流出方向。 第8至10項中任一炤从、，血名 項的以熱處理淨化 徵為：喷嘴（1 〇，1 4 丄4 ，1 6 )係以同心圓 第8至11項中任—項㈣熱處理淨化 徵為：至少有-種反應組分是經由不 的，而且這個導入工作是可以控制 利Ϊ ΐ，至12項中任—項的以熱處理淨化 冷i ό徵為：可以將主燃燒室外壁（19)及燃 利：Ξ ί 8至1 3項中任一項的以熱處理淨化 掉^ Γ ^政為整個裝置是由多個組件組合而 ϊ Ϊ H運轉時溫度會上升的組件彼此係以 遞式的方式連接。

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