TW200521058A - Substrate transfer - Google Patents

Description

五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域_ 一本毛明係關於_種基板狀 顯示器之製程中’可使基 _:恭尤指—種用於平面 之基板移載裝置。 、—基板載具間實現批量轉移 【先前技術】 平面顯示器製裎中， 至另一基板載具。 土板吊需從—基板载具轉移 板從係:機械手，或徒手將基 美國專利第6，。二載號具之中： 統、基板傳送裝置及基板傳送方法。該 基板處理系 一基板載具、一放置該基 二土板傳达裝置包括 傳送手臂將基板從該基板載具；；：D:傳：手臂。該 並將處理後之基板送回基板載具。出k到基板處理系統， 移，Ϊ位ίίπ;;;:;::基板從基板載具中轉 徒手實現基板在基板械… γ現象，使得廢品率升高，生產率降低，：品::增破 之基板移載裝置確:S:—種可批量並安全轉移基板 作效率，心本 取放動作，降低廢品率，提高工 【發明内容】 本發明之目的在於提供—種可快速、安全移載基板之 200521058 五、發明說明（2) 基板移載裝置。 本發明之基板移載裝置包括一第一載具 口之箱體，其包括一頂板、一底板及二側板 其係二端開 該二側板上 設有相互對應之托片 開口之箱體，其内設 係由一平臺、一推板 撐第一載具及第二載 置於第一載具與第二 第二載具及中轉裝置 置係包括一定位尺及 鄰近該中轉箱設置， 板設有一平衡桿與定 及” X”型交叉桿構成。 相較先前技術， 一中轉裝置，可利用 轉裝置一次推入第二 可收容基板；一第二載具， 有托片可收容基板；及一工 轉裝置構成，該平臺 中轉裝置固定設置於 間，該推板可通過第 並於其間作往復運動；其中 可調節之中轉箱，該 箱具有一頂板及二側 及一中 具，該 載具之 高度 該中轉 位尺配 本發明 該推板 載具之 其係一端 作臺，其 係用以支 平臺上並 一載具、 該中轉裝 定位尺係 板，該頂 合，其二側板係由複數支撐板 之基板移載裝置設有 將第一載具内複數基 中。當第一載具及第 推板及 板通過中 二載具之 將中轉箱 推入第二 高度不同時，將基板推入中轉裝置之中轉箱後， 之高度調整到與第二載具相同，便可直接將基板 載具之中，從而快速、安全移載基板。 【實施方式】 請參閱第一圖，本發明之基板移載裝置包括一第一載 具1 第二載具2及一工作臺3 該第一載具1係基板處理過程中所用之載具’ 端開口之箱體，包括一頂板11、一底板1 2及二側 其係二 板1 3。該

200521058 五、發明說明（3) 二側板1 3上設有相互對應之複數托片1 3 1可收容基板，該 底板1 2之一端進一步設置一缺口丨2 1。該第二載具2係至少 一端開口之箱體，其内設有托片2 1可收容基板。 該工作臺3包括一平臺40、一推板50及一中轉裝置 6〇 °該平臺40用以支撐第一載具1及第二載具2，其一端設 有一滑動導槽41。該推板50可於滑動導槽41内滑動。該$ 轉裝置60固設於平臺40中間位置並置於第—載具1及第二 載具2之間。 — °月併參閱第一圖及第二圖，該平臺4 0上與滑動導才接 41相對之另一端進一步設有至少一卡槽42及一擋塊43。^ 擋塊43下端設有卡扣431，可與卡槽42相扣合。一擋板44 固定於該滑動導槽41之端部並位於推板5〇外側，以曰使推 5 〇僅限於滑動導槽4 1内滑動。 連 該推板50包括第一條形板510、第二條形板52〇、， 2置53 0及一 "Z”型板54。其中該第一條形板51〇及第一 ^ /板520係通過連接裝置53〇連接；該，,z"型板54 一端盥 二：=51〇相連’㊣另―端置於平臺4 4; 動：該第一條形板510上設有-滑槽⑴，並 狀；：巧 通孔512。第二條形板520之橫截面形 510之滑槽511之橫截面形狀相同，並可 …，車^滑動’且該第二條形板520上設有複數卡孔 。忒連接裝置530係包括一拉桿531、一彈筈532及一舌 ΐ凸心;ΓΤ1係”T”型桿’其末端設有-凸臺53U， 玄1可牙過通孔512 ;該彈簣532之直徑大於通孔

200521058

512之直徑。安裝時，將拉桿531穿過通孔512並將彈筈 套設於該拉桿531上，然後將舌片533卡在彈簧532與拉桿 531之凸臺5311之間以防止彈簧532從拉桿531上脫出，最 後拉緊拉桿5 3 1將第二條形板5 2 0套入滑槽5 1 1内，調整其 局度使其上卡孔5 2 1之一與拉桿5 3 1高度相同，鬆開拉桿 531使其在彈貪532作用下彈入卡孔mi。另，為使推板5〇 能順利通過第一載具1，該第一條形板5丨〇底端之高度略高 於平臺40上第一載具1之底板12高度。 门 該中轉裝置60固定設置於平臺4〇上，其係由一定位尺 6 1及一南度可調節之中轉箱6 2構成。該定位尺6丨係鄰近中 轉箱62設置，其上設有刻度並於每一刻度處設有定位孔 611。該中轉箱62係二端開口之箱體，其包括一頂板63及 二側板64 0。該中轉箱62之二側板6 40係由複數支樓板641 及π X’1型交叉桿642構成。該支撐板641二端分別設置一滑 槽6 4 11 ’該滑槽6 4 11上對應定位尺6 1之刻度設有複數小凹 槽（圖未示），該小凹槽可幫助操作者在操作過程中控制 中轉箱62之高度。該複數"X"型交叉桿642用以連接複^支 撐板641，其端部兩兩相連並可以其交叉點為支點轉動。 其兩兩相連之端部各設有一螺釘6421及一螺母6422。 該"X”型交叉桿642端部之螺釘642 1分別穿過相鄰二支撐板 641之滑槽6411 ’其端部用螺母642 2鎖緊，以使其僅限#於 滑槽6 4 1 1内滑動。該頂板6 3 0相對於定位尺6丨設有一平衡 才干6 3 1 ’该平衡杯6 3 1 部设有一彈性卡扣裝置6 3 11，今彈 性卡扣裝置6311之結構係與推板50之連接裝置53〇相同，

200521058 五、發明說明（5) '一― - 其可與定位尺61之定位孔611配合。該彈性卡扣 工 與定位孔611扣合後可給中轉箱62 一向上之拉力^ 轉箱6 2因重力作用下滑。 请再次參照第一圖，該第一盤且1肉了 豕弟戰具1内承載複數片基板 (圖未不），，亥基板需移至第二載具2内。調整擋塊43之位 置，選擇相應之卡槽42與其卡扣431相扣纟。將第二載呈2 置於該平臺40上，並使該第二載具2抵觸該擋塊◎，豆開 :端與中轉箱62之開口端相對。然後將第一載具}置於平 堂40之另一端，並使其缺口 121面向推板5〇。推動推板 50，則推板50與第一載具！内基板接觸，繼續推動推板 50，將基板推入中轉箱62内相對應之支撐板641上。當第 一載具1與第二載具2之尺寸相同時可直接將基板推入第二 載具2内。當第一載具i之高度大於第二載具2之高度時， 將平衡桿631端部之彈性卡扣裝置6311從原定位孔611中拉 出。，並調整中轉箱62，使其高度與第二載具2相同，鬆開 彈性卡扣裝置6 3 1 1，讓其彈入相應高度之定位孔6丨i，以 保持中轉箱6 2之穩定。然後將推板5 0上之連接裝置5 3 〇之 拉#531從原卡孔521中拉出，調整該第二條形板52〇之高 ^使推板50能從中轉箱62中通過，鬆開拉桿531，使其在 彈簧5 3 2作用下彈入第二條形板5 2〇相應之卡孔521内。最 後推動推板50，便可將中轉箱62内之基板推入第二載具2 内 κ現基板於一載具間之快速、安全之轉移。當第一載 具1之鬲度小於第二載具2時亦然。 同時為防止基板在移載過程中產生靜電，該基板移载

第11頁 200521058 五、發明說明（6) 裝置之各元件均由具靜電防護之材料製成，如防靜電丙稀 亞硝酸鹽-丁 >一坤-本乙坤共聚物（Acrylonitrile Butadiene Styrene, ABS )、聚丙烯(Polypropylene PP)、聚乙烯（Polyethylene，PE)等塑膠材料。 本發明中各元件間之固定連接可採用多種方法，如第 一推板之連接裝置可用可拆卸之螺釘、螺母替代；中# ^ 與平臺、中轉箱頂面與平衡桿之固定連接可採用螺釘^ = 合之方式等。 夕 綜上所述’本發明確已符合發明專利之要件，麦忙、、 提出申請專利。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施$ 式，本發明之範圍並不以上述實施方式為限，舉凡二= 案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變白 皆應涵蓋於以下申請專利範圍内。

200521058 圖式簡單說明 第一圖為本發明之基板移載裝置之立體示意圖。 第二圖為本發明之基板移載裝置之平臺示意圖。 第三圖為本發明基板移載裝置之推板之放大分解圖。 【元件符號說明】 第一載具 1 頂板 1卜63 底板 12 缺口 121 側板 13 托片 131 >21 第二載具 2 工作臺 3 平臺 40 滑動導槽 41 卡槽 42 擋塊 43 卡扣 431 擋板 44 推板 50 第一條形板 510 通孔 512 第二條形板 520 滑槽 511 連接裝置 530 卡孑L 521 凸臺 5311 拉桿 531 舌片 533 彈簧 532 中轉裝置 60 型板 54 定位孔 611 定位尺 61 彈性卡扣裝置 6311 中轉箱 62 支撐板 641 平衡桿 631 ，，X，丨型交叉桿 642 側板 640 螺母 642 2 滑槽 6411 螺釘 642 1

第13頁

Claims (1)

1. 200521058 六、申請專利範圍 1 · 一種基板移載裝置，其包括： 一第一載具，其係二端開口之箱體，其包括一頂板、 一底板及二侧板，該二側板上設有相互對應之托片可 收 第二 收 —工 成 轉 具 裝 其中 轉 有 酉己 成 2.如申 推板 一條 孑L ， 板設 卡孔 3 ·如申 連接 板及二 容基板 二載具 容基板 作臺， ，該平 裝置固 之間， 置並於 該中轉 相 ， 一頂 該 合，其 〇 請專利 包括第 形板上 該第二 有複數 之一配 請專利 裝置係 ，其係 ;及 其係由 臺係用 定設置 該推板 其間作 裝置係 定位尺 及二側 二側板 端開口之箱體，其内設有托片可 平臺 推板及一中轉裝置構 以支撐第一載具及第二載具，該中 於平臺上並置於第一載具與第二載 可通過第一載具、第二載具及中轉 往復運動； 包括一定位尺及一高度可調節之中 係鄰近該中轉箱設置，該中轉箱具 板，該頂板設有一平衡桿與定位尺 係由複數支撐板及"X"型交叉桿構 範圍第1項所述之基板移載裝置，其中該 一條形板、第二條形板及連接裝置，該第 設有一滑槽，並於特定位置處設有一通 條形板可於該滑槽内滑動，且該第二條形 卡孔，該連接裝置穿過該通孔並與該複數 合。 範圍第2項所述之基板移載裝置，其中該 由 T’’型拉桿 彈簧及一舌片構成

   第14頁 200521058

   第15頁 200521058 六、申請專利範圍 推板僅於滑動導槽内滑動。 1 0.如申請專利範圍第5項所述之基板移載裝置，其中該 第一載具之底板進一步設有可使” Z”型板通過之缺 π ° 11.如申請專利範圍第1項所述之基板移載裝置，其中該 基板移載裝置係由具靜電防護之材料製成。

   第16頁