TR202011047A2 - Bir ölçüm sistemi. - Google Patents
Bir ölçüm sistemi.Info
- Publication number
- TR202011047A2 TR202011047A2 TR2020/11047A TR202011047A TR202011047A2 TR 202011047 A2 TR202011047 A2 TR 202011047A2 TR 2020/11047 A TR2020/11047 A TR 2020/11047A TR 202011047 A TR202011047 A TR 202011047A TR 202011047 A2 TR202011047 A2 TR 202011047A2
- Authority
- TR
- Turkey
- Prior art keywords
- mandrel
- coating
- conductivity
- measurement
- computer
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 64
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 52
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 30
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/041—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Immunology (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Bu buluş, bir elektroliz kabı (2), elektroliz kabı (2) içerisinde yer alan ve üzerine yüzey metalizasyonu ile kaplama (K) yapılan en az bir mandrel (3), elektroliz kabı içerisinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliğinin arttırılmasını sağlayan çözelti içeren bir sıvı (S), mandrel (3) üzerinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliğinin ölçülmesini sağlayan birden fazla prob (4), mandrel (3) üzerine akım iletilmesini sağlayan ve üzerinde yer alan ampermetre (A) ile üzerinden geçen akımın ölçülmesine olanak sağlayan en az bir birinci prob takımı (4a), voltaj farkının voltmetre (V) ile ölçülmesine olanak sağlayan en az bir ikinci prob takımı (4b) ile ilgilidir.
Description
TARIFNAME BIR ÖLÇÜM SISTEMI Bu bulus, yüzey metalizasyonu proseslerinde kullanilan bir ölçüm sistemi ile ilgilidir. Elektrokimyasal kaplamalar, akimli veya akimsiz olarak uygulanabilmektedir. Akimsiz kaplamalar elektrik akimi kullanilmadan atomlarinin otokatalitik kimyasal indirgeme yöntemi ile elde edilmesi ile olusturulurken, akimli kaplamalar elektroliz ile olusturulmaktadir. Elektroliz, elektrik akimi yardimiyla, bir sivi içerisinde çözünmüs kimyasal bilesiklerin ayristirilmasi islemidir. Elektroliz islemi, elektroliz kabi veya elektroliz tanki olarak isimlendirilen kap içerisinde gerçeklestirilmektedir. Bu kap içerisinde, çözünerek arti ve eksi yüklü iyonlara ayrilmis bir bilesigin (elektrolit) içerisine birbirine degmeyecek sekilde daldirilmis iki elektrot bulunmaktadir. Elektrotlar bir akim kaynagina baglandiginda meydana gelen potansiyel fark (elektrik alan), iyonlari karsit yüklü elektroda (kutup) dogru hareket ettirmektedir. Arti (+) yüklü iyonlar katoda giderken, eksi (- ) yüklü iyonlar anoda dogru akmaktadir. Anot yüzeyinde yükseltgenen atomlar iyon halde çözelti içerisinde ilerleyip katot yüzeyinde indirgenir bu sayede yüzey metalizasyonu (ya da elektroliz ile kaplama) islemi gerçeklesir. Elektroliz ile kaplama; asinmaya ve korozyona karsi yüzeyde iyi bir direnç olusturmasi, iletkenlik kazandirmasi vb. avantajlari ile yaygin bir sekilde kullanilmaktadir. Yalitkan ve/veya iletkenligi istenen degerin altinda olan altlik malzeme üzerine degisken kimyasal çözeltiler içerisinde elektriksel iletkenlik kazandirma islemi uygulanmaktadir. Kaplama parametrelerine (sicaklik, süre, akim yogunlugu, akim kaynagi, pH, karistirma, vb.), banyo kimyasallari ve kompozisyonuna göre yüzeye tutunan atomlarin olusturdugu kaplama kalinliklari degiskenlik göstermektedir. Bu yüzden, kaplama süresince altlik malzeme yüzeyindeki elektriksel iletkenlik degisiminin ölçülebilmesi çalismanin mekanizmasinin daha iyi yorumlanabilmesi ve her adimda kazandirilan iletkenligin ölçülebilmesi için 'Önem arz etmektedir. Ayrica, kaplama kalinliginin ve yüzeye tutunan atomlarin yüzeyde olusturdugu topografik profilin proses devam ederken her asamada ve farkli sicakliklarda ölçülmesi bir diger adimda uygulanacak parametrelerin belirlenmesinde önemli rol oynamaktadir. 4611ITR menseili patent dokümaninda P-N yapisinda veya bir SOI üzerindeki silikon yüzey tabakasindaki direnç profilini belirlemek için kullanilan bir yöntem açiklanmaktadir. Bahsedilen yöntem, yalitilmis tabakanin oksitlenmesi için test bölgesinde anodik akim uygulanmasini ve yalitilmis tabakanin direncinin dört noktali prob ile veya Van der Pauw ile ölçülmesini içermektedir. Test alanindaki tabaka direncinin in-situ olarak `ölçülmesi saglanmaktadir. Teknigin bilinen durumuna dâhil olan DE2902150A1 sayili Almanya menseili patent dokümaninda bir yalitkan malzeme üzerindeki bir iletken tabakanin yüzey iletkenliginin ölçülmesine yönelik bir cihaz açiklanmaktadir. Bahsedilen cihazda, tabakaya baski uygulayan iki ölçüm tekerlegi bulunmakta olup bu tekerlekler, bir ölçüm akim kaynaginin kutuplarina baglidir. Söz konusu tekerlekler tabakanin ekseninde dik bir eksen etrafinda dönebilir sekilde monte edilmektedir. Bu bulusla gelistirilen bir ölçüm sistemi sayesinde, çözelti içerisinde gerçeklestirilen yüzey metalizasyonu prosesinin her adiminda kaplama karakterizasyonu Ölçümü yapilabilmektedir. Kaplama sirasinda altlik malzeme yüzeyindeki elektriksel iletkenlik degisiminin ölçülmesi, yüzey kalinlik profilinin belirlenmesi ve kaplamanin her adiminda altlik malzeme üzerine tutunan atomlarin yüzeyde olusturdugu topografik profilin izlenmesi saglanabilmektedir. Bu sayede kaplama verimliligi ve proses parametrelerinin dogrulugu gözlemlenebilmektedir. Buna bagli olarak da, proses parametreleri, prosesin sonlanmasi beklenmeden in-situ degistirilerek kaplama islemi optimize edilebilmektedir. Bulusun amacina ulasmak için gerçeklestirilen, ilk istem ve bu isteme bagli istemlerde tanimlanan bir elektroliz kabi, elektroliz kabi içerisinde yer alan ve üzerine yüzey metalizasyonu ile kaplama yapilan en az bir mandrel, elektroliz kabi içerisinde yer alan ve mandrel iletkenliginin arttirilmasini saglayan çözelti içeren bir sivi, mandrel üzerinde yer alan ve mandrel iletkenliginin ölçülmesini saglayan birden fazla prob, mandrel üzerine akim iletilmesini saglayan ve üzerinde yer alan ampermetre ile üzerinden geçen akimin ölçülmesine olanak saglayan en az bir birinci prob takimi, voltaj farkinin voltmetre ile ölçülmesine olanak saglayan en az bir ikinci prob takimi içermektedir. 4611ITR Bulus konusu ölçüm sistemi, yüzey metalizasyonu islemi sirasinda degisen akim ve voltaj ölçüm degerlerini kullanarak kaplamanin iletkenlik degerinin gerçek zamanli olarak hesaplanmasini saglayan bir bilgisayar ve problarin mandrel üzerinde artan veya azalan kaplama kalinligi ile hemen hemen ayni miktarda mandrele yaklasmasini veya uzaklasmasini saglayan en az bir kol içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, sivi ile temasini önleyen yalitkan bir malzeme ile hemen hemen tamamen kaplanan prob içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, bilgisayar tarafindan otomatik olarak mandrele yaklasmasi veya uzaklasmasi saglanan kolun bagli oldugu, içerisinde voltmetrenin bulundugu ve elektrik güç kaynagina bagli olan en az bir hazne içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, mandrel, kullanici tarafindan belirlenen iletkenlige ulastiginda, yüzey metalizasyonu isleminin durdurulmasi gerektigini uyari mesaji veren bilgisayar içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, yüzey metalizasyonu islemi öncesinde, yalitkan veya iletkenligi kullanici tarafindan istenilen degerin altinda olan mandrel içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, yüzey metalizasyonu sirasinda kaplama üzerine uzun dalga boyuna sahip isik gönderilmesini saglayan en az bir isik kaynagi ve kaplama üzerinden yansiyan isigi yakalayan en az bir dedektör, dedektörden alinan veriler ile kalinlik tespitinin yapilmasini saglayan bilgisayar içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, kavisli formda olmasi ile kaplama üzerinden yansiyan tüm isinlari üzerinde toplayabilen dedektör içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, kaplamadan yansiyan isigi yakalayip tarayan en az bir kamera, kameradan aldigi veriler ile kaplamanin yüzey topografyasinin ölçülmesini saglayan bilgisayar içermektedir. 4611ITR Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, problardan aldigi ölçüm verileri ile iletkenlik, dedektörden aldigi ölçüm verileri ile kalinlik ölçümünü es zamanli olarak analiz eden ve bu sayede kullanici tarafindan belirlenen iletkenlik degerine ulasildiginda kalinlik degerinin de belirlenmesini saglayan bilgisayar içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi, farkli iyonlar içeren sivi içerisinde ve oda sicakligindan farkli sicakliklarda Van der Pauw ve/veya dört nokta ölçümünün yapilmasini saglayan bilgisayar içermektedir. Bu bulusun amacina ulasmak için gerçeklestirilen ölçüm sistemi ekli sekillerde gösterilmis olup, bu sekillerden; Sekil 1 - Iletkenlik ölçümü yapan bir ölçüm sistemi sematik görünümüdür. Sekil 2 - Iletkenlik ölçümü yapan bir ölçüm sistemi sematik görünümüdür. Sekil 3 - Kaplama kalinligi ölçümü yapan bir ölçüm sistemi sematik görünümüdür. Sekil 4 - Kaplama topografya ölçümü yapan bir ölçüm sistemi sematik görünümüdür. Sekillerdeki parçalar tek tek numaralandirilmis olup bu numaralarin karsiliklari asagida verilmistir. 1. Ölçüm sistemi 2. Elektroliz kabi 3. Mandrel 4. Prob 4a. Birinci prob takimi b. Ikinci prob takimi Bilgisayar Dedektör 4611ITR . Kamera (8). Sivi (A). Ampermetre Voltmetre Elektrik güç kaynagi Bir ölçüm sistemi (1), bir elektroliz kabi (2), elektroliz kabi (2) içerisinde yer alan ve üzerine yüzey metalizasyonu ile kaplama (K) yapilan en az bir mandrel (3), elektroliz kabi içerisinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliginin arttirilmasini saglayan çözelti içeren bir sivi (S), mandrel (3) üzerinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliginin ölçülmesini saglayan birden fazla prob (4), mandrel (3) üzerine akim iletilmesini saglayan ve üzerinde yer alan ampermetre (A) ile üzerinden geçen akimin ölçülmesine olanak saglayan en az bir birinci prob takimi (4a), voltaj farkinin voltmetre (V) ile ölçülmesine olanak saglayan en az bir ikinci prob takimi (4b) içermektedir. (Sekil - 1) Bulus konusu ölçüm sistemi (1), yüzey metalizasyonu islemi sirasinda degisen akim ve voltaj ölçüm degerlerini kullanarak kaplamanin (K) iletkenlik degerinin gerçek zamanli olarak hesaplanmasini saglayan bir bilgisayar (5) ve problarin (4) mandrel (3) üzerinde artan veya azalan kaplama (K) kalinligi ile hemen hemen ayni miktarda mandrele (3) yaklasmasini veya uzaklasmasini saglayan en az bir kol (6) içermektedir. (Sekil - 2) Yalitkan ve/veya iletkenligi yetersiz mandrel (3) üzerine yüzey metalizasyonu ile elektriksel iletkenlik kazandirma islemi uygulanmaktadir. Mandrelin (3) iletkenlik ölçümü dört adet prob (4) kullanilarak ölçülmektedir. Birinci prob takimi (4a) mandrel üzerine akim iletilmesini saglamaktadir ve akim ampermetre (A) ile ölçülmektedir. Ikinci prob takimi (4b) voltajin ölçülmesinde kullanilmaktadir ve ikinci prob takimi (4b) arasinda olusan voltaj farki voltmetre (V) ile ölçülmektedir. Yüzey metalizasyonunun her adiminda kazandirilan iletkenligin ölçülmesi amaciyla mandrel (3) üzerinde yer alan problarin (4) artan kaplama kalinligi ile hareket etmesi gerekmektedir. Problarin (4) mandrel (3) üzerinde artan veya azalan kaplama (K) kalinligi ile hemen hemen ayni miktarda mandrele (3) yaklasmasi veya uzaklasmasi bir kol (6) tarafindan saglanmaktadir. Bu sayede kaplama (K) sirasinda degisen akim ve voltaj 4611ITR degerleri ,0 = 1/ * A / I * d. formülü kullanilarak direnç degeri, 0' = 1 Ip formülü kullanilarak iletkenlik degeri gerçek zamanli olarak bilgisayar (5) tarafindan hesaplanmaktadir. Bu formülde, p (rho) özdirenç, A numunenin yüzey alani, l akim, d problarin arasindaki mesafe ve cr (Sigma) iletkenlik degerlerini ifade etmektedir. Bilgisayar tarafindan kaplamaya (K) ait ölçüm verileri kaydedilebilmektedir ve önceki uygulamalar ile kiyaslanabilmektedir. Kaydedilen kaplama (K) iletkenlik ve/veya kalinlik degerleri ile ölçüm sistemi (1) çalismasinin performansi ve kalitesi takip edilebilmektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), sivi (S) ile temas etmemesini saglayan yalitkan bir malzeme ile hemen hemen tamamen kaplanan prob (4) içermektedir. Probun (4) dis katmani sivinin (S) iletkenliginin ölçülmesini engellemek için yalitkan malzeme ile kaplanmaktadir ve sadece mandrelin (3) kaplama karakterizasyonunun ölçülmesini saglamak amaciyla mandrele (3) temas ettigi yerde yalitkan malzeme bulunmamaktadir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), bilgisayar (5) tarafindan otomatik olarak mandrele (3) yaklasmasi veya uzaklasmasi saglanan kolun (6) bagli oldugu, içerisinde voltmetrenin (V) yer aldigi ve elektrik güç kaynagina (E) bagli olan en az bir hazne (7) içermektedir. Bilgisayarin (5) içerisinde bulunan algoritma ile hareket eden kolun (6) bagli oldugu hazne (7) sayesinde problarin (4) mandrel (3) üzerinde artan kaplama (K) kalinligi ile hareket etmesini saglanmaktadir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), elektroliz islemi öncesinde kullanici tarafindan mandrel için belirlenmis olan iletkenlige ulasildiginda, bilgisayar (5) yüzey metalizasyonu isleminin durdurulmasi gerektigini uyari mesaji vermektedir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), yüzey metalizasyonu islemi öncesinde, yalitkan veya iletkenligi kullanici tarafindan istenilen degerin altinda olan mandrel (3) içermektedir. Yalitkan ve/veya iletkenligi yetersiz mandrel (3) üzerine birden fazla adimda yüzeye farkli atomlar tutunmasi saglanarak, elektriksel iletkenlik kazandirilmaktadir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), yüzey metalizasyonu sirasinda kaplama (K) üzerine uzun dalga boyuna sahip isik gönderilmesini saglayan en az bir isik kaynagi (8) ve kaplama (K) üzerinden yansiyan isigi yakalayan en az bir dedekt'ör (9), dedektörden (9) alinan veriler ile kalinlik tespitinin yapilmasina olanak saglayan bilgisayar 4611ITR (5) içermektedir. Yüzey metalizasyonu islemi sirasinda her asamada ve farkli sicakliklarda kaplama (K) kalinligi mandrel (3) sivi (S) içerisindeyken in-situ olarak ölçülmektedir. Mandrelin (3) ilk kalinligi kalibre edildikten sonra uzun dalga boyuna sahip isik gönderilmektedir ve mandrel (3) üzerinden yansiyan isigin tamaminin yakalanmasini saglayan bir dedektör (9) kullanilmaktadir. Dedektörden (9) alinan veriler ile bilgisayar (5) içerisinde yer alan algoritma sayesinde kalinlik artisi gözlemlenebilmektedir. Yüzey metalizasyonu sirasinda degisen kaplama (K) kalinligi profilinin proses sürecince gözlemlenebilmesi sayesinde kaplama verimliligi ve proses parametrelerinin dogrulugu gözlemlenebilmekte ve prosesin bitmesi beklenmeden optimize edilebilmektedir. (Sekil - Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), kavisli yapida olan dedektör (9) içermektedir. Uzun dalga boyuna sahip isigi yakalayan dedektörün (9) kavisli yapida olmasi ile yüzey alani artmis olmakta ve ölçüm hassasiyeti arttirilmaktadir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), kaplamadan (K) yansiyan isigi yakalayip tarayan en az bir kamera (10), kameradan (10) aldigi veriler ile kaplamanin (K) yüzey topografyasinin ölçülmesine olanak saglayan bilgisayar (5) içermektedir. Kaplamanin (K) pürüzlülügünün kontrol edilmesi ve yüzey haritasinin çikarilmasi saglanarak kullanici tarafindan istenen pürüzlülük degerlerinin kontrol edilmesi yüzey metalizasyonu islemi sirasinda farkli sicakliklarda anlik olarak saglanmaktadir. Ayrica, bu ölçümün sivi ortam içerisindeki mandrel (3) yüzeyi ile temas kurulmadan taranabilmesi ve kaplama islemi esnasinda gerçeklestirilmesi ile kaplama verimliligi ve islem parametrelerinin etkin bir sekilde gözlemlenebilmesi saglanmaktadir. (Sekil - 4) Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), problardan (4) aldigi veriler ile iletkenlik, dedektbrden (9) aldigi veriler ile kalinlik ölçümünü es zamanli olarak analiz eden ve bu sayede kullanici tarafindan belirlenen iletkenlik degerine ulasildiginda kalinlik degerinin de belirlenmesine olanak saglayan bilgisayar (5) içermektedir. Istenilen iletkenlik degerine ulasildiginda kalinlik ölçümü de es zamanli olarak durdurulmakta ve kaplama kalinligi olarak o andaki kalinlik degeri kullanilmaktadir. Bulusun bir uygulamasinda, ölçüm sistemi (1), farkli iyonlar içeren sivi (S) içerisinde ve oda sicakligindan farkli sicakliklarda Van der Pauw ve/veya dört nokta ölçümünün 4611ITR yapilmasina olanak saglayan bilgisayar (5) içermektedir. Yüzey metalizasyonu alkali temizlik, asidik daglama, sensitizasyon ve aktivasyon proseslerini içermektedir. Bu islemler sirasinda banyo kompozisyonu ve sicakligi degismektedir. Yüzey metalizasyonu islemi sirasinda çözeltinin sicakligi manyetik karistiricili bir isitici tabla (hot plate) ile ayarlanabilmektedir. Sicakligin kontrolü ve sabit tutulmasi için ise termometre veya termokupl kullanilmaktadir. Bu proseslerin gerçeklestigi `Ölçüm sisteminde (1) birden fazla sivi (S) içeren çözelti içerisinde ve farkli sicaklik degerlerinde mandrele (3) ait direncin ölçümü bilgisayar (5) ile gerçeklestirilerek ölçüm sistemi (1) için esnek çalisma kosullari saglanmaktadir ve bu sayede kaplama karakterizasyonu gerçek zamanli olarak proses esnasinda gözlemlenebilmektedir. 4611ITR 461 1IT R TR TR
Claims (1)
1.ISTEMLER Bir elektroliz kabi (2), elektroliz kabi (2) içerisinde yer alan ve üzerine yüzey metalizasyonu ile kaplama (K) yapilan en az bir mandrel (3), elektroliz kabi içerisinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliginin arttirilmasini saglayan çözelti içeren bir sivi (S), mandrel (3) üzerinde yer alan ve mandrel (3) iletkenliginin ölçülmesini saglayan birden fazla prob (4), mandrel (3) üzerine akim iletilmesini saglayan ve üzerinde yer alan ampermetre (A) ile üzerinden geçen akimin ölçülmesine olanak saglayan en az bir birinci prob takimi (43), voltaj farkinin voltmetre (V) ile ölçülmesine olanak saglayan en az bir ikinci prob takimi (4b) içeren yüzey metalizasyonu islemi sirasinda degisen akim ve voltaj ölçüm degerlerini kullanarak kaplamanin (K) iletkenlik degerinin gerçek zamanli olarak hesaplanmasini saglayan bir bilgisayar (5) ve problarin (4) mandrel (3) üzerinde artan veya azalan kaplama (K) kalinligi ile hemen hemen ayni miktarda mandrele (3) yaklasmasini veya uzaklasmasini saglayan en az bir kol (6) ile karakterize edilen bir ölçüm sistemi (1). Sivi (S) ile temas etmemesini saglayan yalitkan bir malzeme ile hemen hemen tamamen kaplanan prob (4) ile karakterize edilen istem 1'deki gibi bir ölçüm Bilgisayar (5) tarafindan otomatik olarak mandrele (3) yaklasmasi veya uzaklasmasi saglanan kolun (6) bagli oldugu, içerisinde voltmetrenin (V) yer aldigi ve elektrik güç kaynagina (E) bagli olan en az bir hazne (7) ile karakterize edilen yukaridaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm sistemi (1). Mandrel (3), kullanici tarafindan belirlenen iletkenlige ulastiginda, yüzey metalizasyonu isleminin durdurulmasi gerektigini uyari mesaji veren bilgisayar (5) ile karakterize edilen yukaridaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm Yüzey metalizasyonu islemi öncesinde, yalitkan veya iletkenligi kullanici tarafindan istenilen degerin altinda olan mandrel (3) ile karakterize edilen yukardaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm sistemi (1). 4611ITR Yüzey metalizasyonu sirasinda kaplama (K) üzerine uzun dalga boyuna sahip isik gönderilmesini saglayan en az bir isik kaynagi (8) ve kaplama (K) üzerinden yansiyan isigi yakalayan en az bir dedektör (9), dedektörden (9) alinan veriler ile kalinlik tespitinin yapilmasina olanak saglayan bilgisayar (5) ile karakterize edilen yukardaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm sistemi (1). Kavisli yapida olmasi ile kaplama (K) üzerinden yansiyan tüm isinlari üzerinde toplayabilen dedektör (9) ile karakterize edilen istem 6'daki gibi bir ölçüm sistemi Kaplamadan (K) yansiyan isigi tarayan en az bir kamera (10), kameradan (10) aldigi veriler ile kaplamanin yüzey topografyasinin ölçülmesine olanak saglayan bilgisayar (5) ile karakterize edilen yukaridaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm sistemi (1). Problardan (4) aldigi veriler ile iletkenlik, dedektörden (9) aldigi veriler ile kalinlik ölçümünü es zamanli olarak analiz eden ve bu sayede kullanici tarafindan belirlenen iletkenlik degerine ulasildiginda kalinlik degerinin de belirlenmesine olanak saglayan bilgisayar (5) ile karakterize edilen istem 6 ila istem 8'deki gibi bir iletkenlik ölçüm sistemi (1). Farkli iyonlar içeren sivi (S) içerisinde ve oda sicakligindan farkli sicakliklarda Van der Pauw vei'veya dört nokta ölçümünün yapilmasina olanak saglayan bilgisayar (5) ile karakterize edilen yukaridaki istemlerden herhangi birindeki gibi bir ölçüm 4611ITR TR TR
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TR2020/11047A TR202011047A2 (tr) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | Bir ölçüm sistemi. |
| PCT/TR2021/050350 WO2022015266A2 (en) | 2020-07-13 | 2021-04-14 | A measuring system |
| JP2023501866A JP2023536235A (ja) | 2020-07-13 | 2021-04-14 | 測定システム |
| US18/015,438 US20230273013A1 (en) | 2020-07-13 | 2021-04-14 | A measuring system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TR2020/11047A TR202011047A2 (tr) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | Bir ölçüm sistemi. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TR202011047A2 true TR202011047A2 (tr) | 2022-01-21 |
Family
ID=79555781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TR2020/11047A TR202011047A2 (tr) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | Bir ölçüm sistemi. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230273013A1 (tr) |
| JP (1) | JP2023536235A (tr) |
| TR (1) | TR202011047A2 (tr) |
| WO (1) | WO2022015266A2 (tr) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115267299B (zh) * | 2022-08-24 | 2023-05-30 | 海卓动力(北京)能源科技有限公司 | 一种压滤式电解槽的在线监测及检修装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0835422B1 (fr) * | 1995-06-29 | 1999-06-09 | Bekaert Naamloze Vennootschap | Procede et installation pour la mesure d'epaisseur de couche conductrice non ferromagnetique sur un substrat conducteur ferromagnetique |
| ES2247219T3 (es) * | 2002-05-10 | 2006-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Procedimiento para la determinacion in situ del espesor de una capa. |
| DE102015005724A1 (de) * | 2014-05-08 | 2015-11-12 | Oliver Feddersen-Clausen | Halterungsvorrichtung sowie piezoelektrischer Kristall zur Schichtdickenmessung insbesondere für Atomic Layer Despositin |
-
2020
- 2020-07-13 TR TR2020/11047A patent/TR202011047A2/tr unknown
-
2021
- 2021-04-14 US US18/015,438 patent/US20230273013A1/en active Pending
- 2021-04-14 JP JP2023501866A patent/JP2023536235A/ja active Pending
- 2021-04-14 WO PCT/TR2021/050350 patent/WO2022015266A2/en active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2022015266A2 (en) | 2022-01-20 |
| WO2022015266A3 (en) | 2022-03-24 |
| JP2023536235A (ja) | 2023-08-24 |
| US20230273013A1 (en) | 2023-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6805788B1 (en) | Electrochemical impedance evaluation and inspection sensor | |
| CN108362637B (zh) | 腐蚀电化学测试装置及腐蚀电化学测试方法 | |
| JPH0543268B2 (tr) | ||
| Mahdavi et al. | Electrochemical impedance spectroscopy as a tool to measure cathodic disbondment on coated steel surfaces: Capabilities and limitations | |
| TR202011047A2 (tr) | Bir ölçüm sistemi. | |
| WO2009094408A1 (en) | Localized corrosion monitoring device for limited conductivity fluids | |
| CN111788478B (zh) | 腐蚀测量装置 | |
| Liu et al. | A ruthenium oxide and iridium oxide coated titanium electrode for pH measurement | |
| Lazouskaya et al. | Nafion protective membrane enables using ruthenium oxide electrodes for pH measurement in milk | |
| Wang et al. | The study of the varying characteristics of cathodic regions for defective coating in 3.5% sodium chloride solution by EIS and WBE | |
| CN108845017B (zh) | 一种基于二硒化钨的柔性离子传感器 | |
| Armstrong et al. | Impedance studies into the corrosion protective performance of a commercial epoxy acrylic coating formed upon tin plated steel | |
| Hussein et al. | Novel solid-contact ion-selective electrode based on a polyaniline transducer layer for determination of alcaftadine in biological fluid | |
| Taryba et al. | Plasticizer-free solid-contact pH-selective microelectrode for visualization of local corrosion | |
| Xiao et al. | Semiconductor property and corrosion behavior of passive film formed on steel with zinc coating in 5% NaCl solution | |
| JP2004323971A (ja) | 改良された浴分析 | |
| EP0088523A2 (en) | Gel electrode for early detection of metal fatigue | |
| US7022212B2 (en) | Micro structured electrode and method for monitoring wafer electroplating baths | |
| Zhao et al. | New all-solid-state carbonate ion-selective electrode with Ag 2 CO 3-BaCO 3 as sensitive films | |
| US20030127334A1 (en) | Method for determining a concentration of conductive species in an aqueous system | |
| Deflorian et al. | Defect dimension evaluation in organic coated galvanized steel by electrochemical impedance spectroscopy | |
| JP2011174822A (ja) | ホウ素ドープダイヤモンド電極を用いたｐＨの測定方法及び装置 | |
| Manjakkal et al. | Electrochemical interdigitated conductimetric ph sensor based on RuO 2 thick film sensitive layer | |
| RU2378640C1 (ru) | Способ определения коррозионной активности топлив для реактивных двигателей | |
| JPH05232072A (ja) | めっきの耐食性評価方法及びその装置 |