TH9201B - กรรมวิธีและอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภาชนะกลวง โดยวิธีการพอกสารอนินทรีย์ด้วยการใช้พลาสมา - Google Patents

Abstract

การพอกผิวเคลือบด้านในบาง ๆ ภายในภาชนะพลาสติก หรือโลหะด้วยการใช้พลาสมา สามารถดำเนินการให้ลุล่วงด้วยการใช้สารอนินทรีย์เฉื่อยที่ไม่ละลาย เช่น ซิลิกา หรือโลหะออกไซด์ที่ไม่ละลายหรือ ด้วยการใช้ของผสมของสาร เช่น โลหะ โลหะออกไซด์ เกลือโลหะ และคาร์บอน หรืออนุมูลอินทรีย์เพื่อสร้างโครงผลึกยึดหยุ่น หรือด้วยการใช้ชั้นที่แตกต่างกันของโครงผลึกเหล่านั้น วิทยาการนี้เกี่ยวข้องกับ การจัดวางตำแหน่งของภาชนะภายในบริเวณปิดสุญญากาศ การวางอุปกรณ์กำเนิดไอ ซึ่งบรรจุด้วยวัสดุอนินทรีย์เฉื่อยขององค์ประกอบด้านในภาชนะที่กำหนดไว้ก่อน การสร้างไอของวัสดุที่กล่าวแล้ว การสร้างพลาสมาของไอที่กล่าวแล้ว และการพอกผิวเคลือบบางของวัสดุที่กล่าวแล้ว บนบริเวณที่กำหนดไว้ก่อนของผิวด้านในของภาชนะที่กล่าวแล้ว ที่ซึ่งอนุภาคของผิวเคลือบที่กล่าวแล้ว ซึ่งมีอุณหภูมิสูง สามารถซึมเข้าไปในผิวที่กล่าวแล้ว เนื่องจากพลังงานความร้อนของอนุภาคเหล่านั้น แต่ไม่ทำให้อุณหภูมิที่ผิวทั้งหมดเพิ่มสูงขึ้น เนื่องด้วยการไหลของมวลน้อย ๆ

Claims (3)

1. กรรมวิธีของการเคลือบผิวภายในของภาชนะที่ว่องไวต่ออุณหภูมิ ประกอบด้วยาขั้นตอน การกำหนดที่ตั้งภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิที่มีผิวภายในในบริเวณปิดสุญญากาศ การวางอุปกรณ์กำเนิดไอ ซึ่งบรรจุไว้ด้วยวัสดุอนินทรีย์เฉื่อยภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิดังกล่าว การสร้างไอของวัสดุอนินทรีย์ดังกล่าว การสร้างพลาสมาของไอดังกล่าว และ การพอกผิวเคลือบบางของวัสดุดังกล่าว ของผิวด้านในของภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิดังกล่าว ที่ซึ่งอนุภาคผิวเคลือบดังกล่าว ซึ่งมีอุณหภูมิสูง สามารถซึมเข้าไปในผิวดังกล่าว เนื่องจากพลังงานความร้อน ในขณะที่ไม่ทำให้อุณหภูมที่ผิวทั้งหมดสูงขึ้น อันเนื่องจากการไหลของมวลน้อย ๆ 2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งขั้นตอนการสร้างไอดังกล่าว ประกอบขึ้นด้วย การให้ความร้อนกับอุปกรณ์กำเนิดไอจนถึงอุณหภูมิการระเหิดของวัสดุดังกล่าว แต่จำกัดความร้อนของการระเหยให้อยู่ภายในบริเวณของอุปกรณ์กำเนิดไอเพื่อไม่ส่งผลกระทบต่อผิวด้านในของภาชนะที่ว่องไวต่ออุณหภูมิ 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่ซึ่งภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิประกอบด้วย ภาชนะพลาสติก 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ซึ่งภาชนะพลาสติกดังกล่าว ประกอบขั้นด้วยโพลิเอททิลีนเทเรฟธาเลท(polyethylene terephthalate PET) 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ซึ่งขั้นตอนของการสร้างพลาสมาดังกล่าว รวมถึงการใช้สนามแม่เหล็กที่ขั้วไฟฟ้าความถี่สูง รอบ ๆ ภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิดังกล่าว 6. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ซึ่งขั้นตอนของการสร้างพลาสมาดังกล่าว รวมถึงการใช้ ศักย์ไฟฟ้าสูงตกคร่อมไอที่ได้จากอุปกรณ์กำเนิดไอดังกล่าว 7. กรรมวิธีดังกที่ได้นิยามในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ซึ่งขั้นตอนการพอกผิวเคลือบบางดังกล่าวประกอบด้วย การพอกผิวเคลือบบางที่มีความหนาระหว่าง 10-250 นาโนเมตร 8. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ซึ่งวัสดุอนินทรีย์ดังกล่าว ประกอบด้วย คาร์บอนโลหะและโลหะออกไซด์ ไนไตรด์ซัลไฟด์ ฮาไลด์ของโลหะนั้น ๆ หรือ ของผสมหรือการรวมของวัสดุเหล่านั้น 9. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 และการรวมขั้นตอนของการจ่ายแก๊สเข้าบริเวณปิดสุญญากาศเพิ่มเติม ซึ่งแก๊สไหลเข้าไปในพลาสมา เพื่อทำปฏิกิริยากับไอเพื่อจัดเตรียมองค์ประกอบผิวเคลือบที่แตกต่างจากผิวเคลือบของวัสดุที่ระเหยเป็นไอแล้ว 1 0. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 และการรวมขั้นตอนเริ่มต้อนของการทำความสะอาดและของการกระตุ้นผิวของภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิที่ต้องการเคลือบดังกล่าวเพิ่มเติม ก่อนการสร้างไอดังกล่าวและก่อนการพอกผิวเคลือบดังกล่าวบนผิวด้านในของภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมดังกล่าว 1 1. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 และการรวมขั้นตอนการเตรียมสุญญากาศระหว่าง 10-1 มิลลิบาร์ และ 10-5 มิลลิบาร์ภายในบริเวณปิดนั้นเพิ่มเติม 1 2. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่ซึ่งภาชนะพลาสติกดังกล่าว รวมถึงภาชนะปากแคบด้วย 1 3. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่งขั้นตอนของการพอกดังกล่าว รวมถึงการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิ 1 4. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่ขั้นตอนของการพอกดังกล่าว รวมถึงการเคลื่อนย้าย หรือ การหมุนอุปกรณ์กำเนิดไอภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิ 1 5. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่ซึ่งขั้นตอนของการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิรวมถึงการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์ขึ้นและลง ภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมินั้น 1 6. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่ซึ่งขั้นตอนของการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิประกอบด้วย การหมุนอุปกรณ์กำเนิดไอด้วยช่วงหมุน 30-90 องศาเป็นอย่างน้อย 1 7. กรรมวิธีของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 และการรวมขึ้นตอนการหมุนภาชนะเพิ่มเติม เพื่อป้องกันพลังงานความร้อนจากที่แออัดบนผนังในที่นั้น 1 8. อุปกรณ์สำหรับการเคลือบผิวด้านในของภาชนะที่ว่องไวต่ออุณหภูมิประกอบด้วยห้องสุญญากาศ อุปกรณ์กำเนิดไอ ซึ่งบรรจุไว้ด้วยวัสดุอนินทรีย์เฉื่อย ตัวกลางสำหรับการสอดและการถอนอุปกรณ์กำเนิดไอออกจากภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมินั้นที่มีผิวด้านใน ตัวกลางสำหรับการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิ ตัวกลางสำหรับการจ่ายพลังงานให้กับอุปกรณ์กำเนิดไอ และ ตัวกลางสำหรับการสร้างพลาสมาของไอดังกล่าว ที่ซึ่งผิวเคลือบบางของวัสดุอนินทรีย์ดังกล่าว พอกอยู่บนผิวด้านในของภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิดังกล่าว เพราะว่าอนุภาคของวัสดุดังกล่าว ซึ่งมีอุณหภูมิสูง สามารถซึมเข้าไปในผิวด้านในของบริเวณดังกล่าว แต่ไม่ทำให้อุณหภูมิที่ผิวทั้งหมดเพิ่มสูงขึ้น เนื่องจากการไหลของอนุภาคน้อยๆ 1 9. อุปกรณ์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 และการรวมตัวกลางเพิ่มเติม สำหรับการขนถ่ายภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิไปที่ หรือจากห้องสุญญากาศ 2 0. อุปกรณ์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ที่ซึ่งตัวกลางสำหรับการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอดังกล่าว ภายในภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิ รวมถึงตัวกลางสำหรับการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์กำเนิดไอขึ้นและลง และ การหมุนอุปกรณ์กำเนิดไอ 2

1. อุปกรณ์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 20 ที่ซึ่งภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิประกอบด้วย ภาชนะพลาสติก ปากแคบ และวัสดุอนินทรีย์ดังกล่าวคือ ซิลิกา คาร์บอน โลหะและออกไซด์ ไนไตรด์ ฮาไลด์ของโลหะเหล่านั้น หรือ ของผสมหรือการรวมของวัสดุเหล่านั้น 2

2. อุปกรณ์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 20 ที่ซึ่งอุปกรณ์กำเนิดไอดังกล่าว ประกอบด้วย โครงสร้างชนิดเข้า และการรวมตัวกลางต่อไปนี้เพิ่มเติม ตัวกลางสำหรับการจ่ายและการควบคุมการไหลของวัสดุไปที่อุปกรณ์กำเนิดไอดังกล่าว ตัวกลางสำหรับการควบคุมการไหลของไอ เพื่อไอสามารถไหลอย่างสม่ำเสมอในทุกทิศทางของอุปกรณ์กำเนิดไอดังกล่าว และ ตัวกลางสำหรับการเตรียมการหล่อเย็นอุปกรณ์กำเนิดไอ เพื่อป้องกันความร้อนของการระเหยจากผิวด้านในดังกล่าว 2

3. อุปกรณ์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 และการรวมตัวกลางเพิ่มเติมสำหรับการหมุนภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิกันพลังงานความร้อนที่จะแออัดบนผนังของภาชนะที่ไวต่ออุณหภูมิ