TH7668A3 - กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าว สำหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิต - Google Patents
กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าว สำหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิตInfo
- Publication number
- TH7668A3 TH7668A3 TH1003000365U TH1003000365U TH7668A3 TH 7668 A3 TH7668 A3 TH 7668A3 TH 1003000365 U TH1003000365 U TH 1003000365U TH 1003000365 U TH1003000365 U TH 1003000365U TH 7668 A3 TH7668 A3 TH 7668A3
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- electrostatic protection
- glass
- producing thin
- products
- metal oxides
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 abstract 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าวตามการประดิษฐ์นี้ ที่ซึ่งแผ่นฟิล์ม ดังกล่าวที่มีโครงสร้างเป็นแผ่นฟิล์มชั้นเดียวเคลือบอยู่บนแผ่นแก้ว โดยการใช้โลหะออกไซด์หรือโลหะ ออกไซด์ที่มีการเจือสารตัวนำไฟฟ้าอีกหนึ่งชนิดเคลือบอยู่บนแผ่นแก้ว สำหรับการใช้งานเป็นแผ่นรอง เพื่อการป้องกันไฟฟ้าสถิตในอุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์ไดรฟ์ และอิเล็กทรอนิกส์ กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าวตามการประดิษฐ์นี้ ที่ซึ่งแผ่นฟิล์มดังกล่าวที่มีโครงสร้างเป็นแผ่นฟิล์มชั้นเดียวเคลือบอยู่บนแผ่นแก้ว โดยการใช้โลหะออกไซด์หรือโลหะออกไซด์ที่มีการเจือสารตัวนำไฟฟ้าอีกชั้นหนึ่งชนิดเคลือบอยู่บนแผ่นแก้ว สำหรับการใช้งานเป็นแผ่นรอง เพื่อการป้องกันไฟฟ้าสถิตในอุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์ไดรฟ์ และอิเล็กทรอนิกส์
Claims (1)
1.กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใส ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอน คือ - การนำซับสเตรทเข้าเครื่องเคลือบฟิล์มที่มีแท่งโลหะออกไซด์เป็นเป้า - การเคลือบฟิล์มบางของโลหะออกไซด์บนซับสเตรททั้งสองด้านที่มีอัตราการไหลของก๊าซอาร์กอนเท่ากับ 5-8 ลูกบาศก์เซนติเมตร, กำลังไฟ 100-250 วัตต์ อุณหภูมิ 200-250 องศาเซลเซียส เวลา3-6 นาที
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH7668A3 true TH7668A3 (th) | 2012-12-13 |
| TH7668C3 TH7668C3 (th) | 2012-12-13 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011205089A5 (ja) | 半導体膜の作製方法 | |
| WO2011119007A3 (ko) | 방열 테이프 및 그 제조 방법 | |
| JP2014067701A5 (ja) | 導電性酸化物膜、電子機器、及び導電性酸化物膜の作製方法 | |
| WO2010126336A3 (ko) | 금속산화물 나노입자를 이용한 가스센서 및 그 제조방법 | |
| EA033122B1 (ru) | Способ получения подложки, покрытой набором, содержащим слой прозрачного проводящего оксида | |
| JP2010262275A5 (ja) | 表示装置及び表示装置の作製方法 | |
| WO2011056570A3 (en) | Conductive metal oxide films and photovoltaic devices | |
| JP2013539502A5 (th) | ||
| JP2014503783A5 (th) | ||
| WO2014085315A3 (en) | Method for forming a barrier layer | |
| IN2015DN01730A (th) | ||
| JP2017503880A5 (th) | ||
| LT2013053A (lt) | Paviršiumi aktyvuotos ramano sklaidos (pars) jutiklis ir jo gamybos būdas | |
| MY200383A (en) | Substrate having a stack with thermal properties | |
| JP2016523788A5 (th) | ||
| JP2011153373A5 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JP2011119246A5 (ja) | 発光装置の作製方法、および発光装置 | |
| MX2017004159A (es) | Sustrato provisto con una pila que tiene propiedades termicas y una capa intermedia superestequiometrica. | |
| WO2007022275A3 (en) | Siox:si sputtering targets and method of making and using such targets | |
| GB2507896A (en) | Electronic device | |
| JP2012049364A5 (th) | ||
| TH7668A3 (th) | กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าว สำหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิต | |
| TH7668C3 (th) | กระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มบางและใสและผลิตภัณฑ์ดังกล่าว สำหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิต | |
| JP2011207754A5 (th) | ||
| JP2007258634A5 (th) |