TH59277A - การเชื่อมต่อระหว่างกันของฟลิพชิพ ที่ปราศจากฟลักซ์ - Google Patents
การเชื่อมต่อระหว่างกันของฟลิพชิพ ที่ปราศจากฟลักซ์Info
- Publication number
- TH59277A TH59277A TH0201000697A TH0201000697A TH59277A TH 59277 A TH59277 A TH 59277A TH 0201000697 A TH0201000697 A TH 0201000697A TH 0201000697 A TH0201000697 A TH 0201000697A TH 59277 A TH59277 A TH 59277A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- metal
- temperature
- solder
- chip
- substrate
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (24/05/45) วิธีการฟลิพ ชิพที่ใช้เชื่อมยึดชิพและซับสเตรทมีเปิดเผยไว้ ตัวเชื่อมยึดด้วยความร้อน- การอัด จะถูกนำมาใช้จัดแนวชิพและซับสเตรท และให้แรงแนบตัวเพื่อยึดปุ่มบัดกรีบนซับสเตรท ชิดกับปุ่มโลหะบนชิพ ชิพจะถูกทำให้ร้อนอย่างรวดเร็วจากด้านที่ไมได้ใช้งานของมัน โดยตัวทำ ความร้อนด้วยพัลส์ในหัวของตัวเชื่อมยึด จนกระทั่งปุ่มบัดกรีมีอุณหภูมิของการหลอมเหลวซ้ำ เมื่อ ใกล้ถึงอุณหภูมิของการหลอมเหลวซ้ำที่ปุ่มบัดกรีจะหยุดแรงแนบตัว ตัวบัดกรีจะมีอุณหภูมิอยู่เหนือ อุณหภูมิหลอมเหลวซ้ำของมันเป็นเวลาหลายวินาที เพื่อช่วยให้มีการเปียกตัวของส่วนนูนโลหะของ ซับสเตรทและการเชื่อมยึดกัน ตัวปิดโลหะที่ประกอบด้วย โลหะชั้นสูง เช่น แพลเลเดียมจะถูกนำไป ใช้ที่ผิวหน้าของปุ่มโลหะ เพื่อป้องกันปุ่มโลหะ (ซึ่งโดยทั่วไปประกอบด้วย โลหะที่เป็นตัวนำสูง และ ทำปฏิกริยาสูงเช่น ทองแดง) ไม่ให้ออกซิไดซ์เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น ก่อนที่และในระหว่างการทำให้ หลอมเหลวซ้ำ วิธีการฟลิพ ชิพที่ใช้เชื่อมยึดชิพและซับสเตรทมีเปิดเผยไว้ ตัวเชื่อมยึดด้วยความร้อน- การอัด จะถูกนำมาใช้จัดแนวชิพและซับสเตรท และให้แรงแนบตัวเพื่อปุ่มบัคกรีบนซับสเตรท ชิดกับปุ่มโลหะบนชิพ ชิพจะทำให้ร้อนอย่างรวดเร็วจากด้านที่ไมได้ใช้งานของมัน โดยตัวทำ ความร้อนด้วยพัลส์ในหัวของตัวเชื่อมยึด จนกระทั่งปุ่มบัคกรีมีอุณหภูมิของการหลอมเหลวซ้ำ เมื่อ ใกล้ถึงอุณหภูมิของการหลอมเหลวซ้ำที่ปุ่มบัดกรีจะหยุดแรงแบนตัว ตัวบัคกรีจะมีอุณหภูมิอยู่เหนือ อุณหภูมิหลอมเหลวซ้ำของมันเป็นเวลาหลายวินาที เพื่อช่วยให้มีการเปียกตัวของส่วนนูนโลหะของ ซับสเตรทและการเชื่อมยึดกัน ตัวปิดโลหะที่ประกอบด้วย โลหะชั้นสูง เช่น แพลเลเดียมจะถูกนำไป ใช้ที่ผิวหน้าของปุ่มโลหะ เพื่อป้องกันปุ่มโลหะ(ซึ่งโดยทั่วไปประกอบด้วย โลหะที่เป็นตัวนำสูง และ ทำปฏิกริยาสูงเช่น ทองแดง) ไม่ให้ออกซิไดซ์เมื่ออุณภูมิสูงขึ้น ก่อนที่และในระหว่างการทำให้ หลอมเหลวซ้ำ
Claims (23)
- วิธีการ ที่ซึ่งประกอบด้วย การจัดแนวซับสเตรทด้วยชิพที่ตรงกัน, ซับสเตรทที่ผิวหน้าของซับสเตรทที่ หนึ่งและที่สองอยู่ตรงข้ามกัน โดยผิวหน้าของซับสเตรทที่หนึ่งจะมีปุ่มบัคกรีจำนวนหนึ่งประกบ อยู่, ปุ่มบัดกรีที่มีอุณหภูมิหลอมเหลว, ชิพที่มีผิวหน้าของชิพที่หนึ่งและที่สองตรง ข้ามกัน โดยผิวหน้าของชิพที่หนึ่งจะมีส่วนนูนโลหะประกบอยู่ ส่วนนูนโลหะ ที่ซึ่งบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่สุดถูกผิดด้วยตัวปิดโลหะ โดย ส่วนนูนโลหะจะประกอบเบื้องต้นด้วย โลหะที่หนึ่งและตัวปิดโลหะ ซึ่ง ประกอบเบื้องต้นด้วย โลหะที่สอง การนำเอาปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง และส่วนนูนโลหะเป็นปุ่มจำนวนหนึ่ง มาแนบกันและกัน และ การให้ความร้อนแก่ปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง จนถึงอุณหภูมิที่หนึ่ง ซึ่งสูงกว่า อุณหภูมิหลอมเหลว เพื่อหลอมเหลวปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง
- 2. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งการนำเอาปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง และส่วนนูนโลหะเป็นปุ่มดังกล่าว แบนกันและกันนั้น จะประกอบต่อไปด้วย การใช้แรงแนบตัว กัน
- 3. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่งแรงแนบตัวกันจะถูกปลดออกไป เมื่อปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่งเริ่มหลอมเหลวในระหว่างให้ความร้อนดังกล่าว แก่ปุ่มบัดกรีจำนวน หนึ่ง จนถึงอุณหภูมิที่หนึ่ง
- 4. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งการให้ความร้อนดังกล่าว แก่ปุ่ม บัดกรีจำนวนหหนึ่งจนถึงอุณหภูมิที่หนึ่งประกอบด้วย การสร้างทางลาดของอุณหภูมิผ่านชิพ โดย การให้ ความร้อนอย่างรวดเร็วแก่ผิวหน้าของชิพที่สอง จนถึงอุณหภูมิที่สอง โดยอุณหภูมิที่ สองจะสูงกว่าอุณหภูมิที่หนึ่งอย่างยิ่ง
- 5. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ซึ่งความร้อนเพื่อทำความร้อนอย่าง รวดเร็ว ดังกล่าว แก่ผิวหน้าของชิพที่สอง จะมาจากตัวทำความร้อนที่อยู่แนบกับผิวหน้าของชิพ ที่สอง
- 6. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่อุณหภูมิที่สามที่ผิวหน้าของซับสเต รทที่สอง จะอยู่ต่ำกว่าอุณหภูมิที่หนึ่งเป็นอย่างยิ่ง เมื่อปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่งอยู่ที่อุณหภูมิที่หนึ่ง
- 7. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งประกอบต่อไปด้วย การทำให้ปุ่ม บัดกรีจำนวนหนึ่งดำรงอุณหภูมิอยู่ที่หรือเหนืออุณหภูมิที่หนึ่งในช่วงเวลาหนึ่ง
- 8. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งโลหะที่สองจะเป็นโลหะหรืออัล ลอยของโลหะ ซึ่งมีความต้านทานออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงขึ้น
- 9. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง จะประกอบ ด้วย ตัวบัดกรีที่ปราศตะกั่ว
- 10. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ซึ่งการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วดัง กล่าว แก่ผิวหน้าของชิพที่สอง จนถึงอุณหภูมิที่สอง จะกระทำได้ด้วยอัตราการให้ความร้อนเกิน 50 องศาเซลเซียสในหนึ่งวินาที
- 11. วิธีการ ที่ซึ่งประกอบด้วย การติดตั้งซับสเตรทหรือชิพในตัวยึดจับที่หนึ่ง, ซับสเตรทหรือชิพที่มีการเคลือบบนนั้นด้วยปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง, ปุ่มบัดกรีที่มีจุดหลอมเหลวอยู่ที่อุณหภูมิที่หนึ่ง, ตัวยึดจับที่หนึ่ง ซึ่งจะดำรงอุณหภูมิที่สองไว้ต่ำกว่าอุณหภูมิที่หนึ่ง, การติดตั้งชิพหรือซับสเตรทอีกตัวหนึ่งในตัวยึดจับที่สอง, ชิพหรือซับสเตรทอีกตัวหนึ่ง ซึ่งมีประกบอยู่ในที่นั้นด้วยส่วนนูนโลหะ จำนวนหนึ่ง ซึ่งประกอบเบื้องต้นด้วย โลหะที่หนึ่ง โดยแต่ละส่วนนูนที่เป็นโลหะจำนวนหนึ่งจะมี บางส่วนเป็นอย่างน้อยที่สุด ถูกเคลือบด้วยตัวปิดโลหะ โดยตัวปิดโลหะจะประกอบเบื้องต้นด้วย โลหะที่สอง, การนำเอาปุ่มโลหะจำนวนหนึ่งเข้าไปแนบกันส่วนนูนโลหะจำนวนหนึ่ง โดย การเคลื่อนตัวยึดจับที่หนึ่งและที่สองตัวใดตัวหนึ่งหรือทั้งสองเข้าหากันและกัน, การให้ความร้อนอย่างรวดเร็วแก่ตัวทำความร้อนที่ประกบกับตัวยึดจับที่หนึ่ง และที่สอง จากอุณหภูมิที่สามจนถึงอุณหภูมิที่สี่, อุณหภูมิที่สามต่ำกว่าอุณหภูมิที่หนึ่ง และ อุณหภูมิที่สี่สูงกว่าอุณหภูมิที่หนึ่ง การทำให้ตัวทำความร้อนดำรงอุณหภูมิอยู่ที่หรือสูงกว่าอุณหภูมิที่สี่ จนกระทั่ง ปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่งหลอมละลาย และทำให้ส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยที่สุดของตัวปิดโลหะของ ส่วนนูนโลหะแต่ละส่วนเปียก
- 12. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 11 ที่ซึ่งตัวทำความร้อนและตัวยึดจับที่ หนึ่งและ ที่สองประกอบด้วย ตัวยึดจับที่ใช้ความร้อน-การอัด
- 13. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 11 ที่ซึ่งซับสเตรทจะมีส่วนเคลือบอยู่ด้วย บนนั้นเป็นปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง และชิพจะมีส่วนยึดเกาะในที่นั้นเป็นส่วนนูน โลหะจำนวนหนึ่ง
- 14. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 11 ที่ซึ่งเครื่องมือทำความร้อนด้วยพัลส์ จะดำรงอุณหภูมิที่สี่ไว้ในช่วงระยะเวลาประมาณ 1 ถึง 5 วินาที
- 15. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 11 ที่ซึ่งการนำเอาปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง ดังกล่าว เข้าไปแนบกับส่วนนูนโลหะจำนวนหนึ่ง ประกอบต่อไปด้วย การใช้แรงแนบตัวเพื่อยึด ปุ่มบัดกรีจำนวนหนึ่ง และส่วนนูนโลหะ ให้ชิดกันและกัน
- 16. วิธีกาารฟลิพ ชิพ เพื่อเชื่อมยึดชิพและซับสเตรท ที่ซึ่งประกอบด้วย การใช้ส่วนนูนโลหะกับปุ่มเชื่อมต่อระหว่างกันทางไฟฟ้าบนผิวหน้าใช้งานของ ชิพ โดยชิพจะมีผิวหน้าที่สองอยู่ตรงข้ามกับผิวหน้าใช้งาน และส่วนนูนโลหะประกอบด้วย โลหะ ที่หนึ่ง และจะมีผิวหน้าที่ซึ่งตัวปิดโลหะที่ประกอบด้วย โลหะหรืออัลลอยของโลหะที่ต้านทาน ออกซิเดขัน จะมาหุ้มปิดบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่สุดของผิวหน้า การใช้ปุ่มบัดกรีที่ปราศจากตะกั่วกับปุ่มเชื่อมต่อระหว่างกันทางไฟฟ้า บนผิว หน้าด้านบนของซับสเตรท โดยซับสเตรทจะมีผิวหน้าด้านล่างตรงข้ามกับผิวหน้าด้านบน โดย ปุ่มบัดกรีจะมีอุณหภูมิหลอมเหลว ที่ซึ่งอุณหภูมิหลอมเหลวจะอยู่ใช่วง 200-240 องศาเซลเซียส การนำเอาผิวหน้าด้านล่างของซับสเตรทไปไว้บนแท่นของยึดตัวจับด้วยความ ร้อน-การอัด โดยแท่นจะดำรงอุณหภูมิที่หนึ่งไว้ ซึ่งน้อยกว่าอุณหภูมิหลอมเหลว โดยอุณหภูมิที่ หนึ่งจะอยู่ในช่วง 70 -190 องศาเซลเซียส การประกบผิวหน้าที่สองของชิพเข้ากับหัวของตัวเชื่อมยึดความร้อน-การอัด โดยหัวจะมีตัวทำความร้อน และหัวจะดำรงอุณหภูมิที่สองไว้ ที่ซึ่งอุณหภูมิที่สองจะน้อยกว่า 120 องศาเซลเซียส การจัดแนวทั่วไปของปุ่มบัดกรีด้วยส่วนนูนโลหะที่ตรงกัน การลดส่วนหัวหรือยกแท่นขึ้น เพื่อนำเอาปุ่มบัดกรีเข้าไปแนบกับส่วนนูนโลหะ การส่งแรงแนบตัวเพื่อยึดปุ่มบัดกรีและส่วนนูนโลหะที่อยู่ตรงกันเข้าด้วยกัน การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วของตัวทำความร้อนจนมีอุณหภูมิที่สาม จนกระทั่ง ผิวหน้าด้านบนของซับสเตรทมาถึงอุณหภูมิที่สี่ โดยอุณหภูมิที่สามจะอยู่ในช่วง 250-400 องศา เซลเซียส และอุณหภูมิที่สี่จะสูงกว่าอุณหภูมิหลอมเหลว และ การทำให้ผิวหน้าด้านบนมีอุณหภูมิที่สี่ในช่วงเวลาหนึ่ง
- 17. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 16 ที่ซึ่งประกอบต่อไปด้วย การหยุดแรง แนบตัวหลังจากที่ปุ่มบัคกรีเริ่มละลาย แต่จะกระทำก่อนที่จะหมดเวลา
- 18. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 16 ที่ซึ่งประกอบต่อไปด้วย การแยกชิพและชุดบรรจุซับสเตรทที่เชื่อมต่อระหว่างกันออกจากตัวเชื่อมยึดด้วย ความร้อน-การอัด เมื่อหมดช่วงเวลาไปแล้ว และปุ่มบัดกรีแข็งตัว
- 19. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 16 ที่ซึ่งปุ่มบัดกรีประกอบด้วย ตัวบัคกรีที่ ใช้ดีบุกเป็นฐาน
- 20. วิธีการที่ซึ่งประกอบด้วย การใช้ส่วนนูนโลหะจำนวนหนึ่งเข้ากับผิวหน้าชิพของตัวชิพ โดยส่วนนูนโลหะ จำนวนหนึ่งจะประกอบด้วย โลหะที่หนึ่ง และการเคลือบส่วนนูนโลหะจำนวนหนึ่งบางส่วนเป็น อย่างน้อย ที่สุดด้วยตัวปิดโลหะ โดยตัวปิด โลหะประกอบด้วย โลหะที่สอง
- 21. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 20 ที่ซึ่งส่วนนูนโลหะจะถูกนำไปใช้กับ ปุ่ม เชื่อมต่อทางไฟฟ้า ซึ่งอยู่บนผิวหน้าของชิพ
- 22. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อสิทธิข้อ 20 ที่โลหะที่สองจะต้านทาน ออกซิเดนชัน ที่อุณหภูมิสูงขึ้นระหว่าง 175 และ 250 องศาเซลเซียส
- 23. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 20 ที่ซึ่งโลหะที่หนึ่งเป็นทองแดง
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH59277A true TH59277A (th) | 2003-11-07 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100440496C (zh) | 无焊剂倒装芯片互连 | |
| US6713318B2 (en) | Flip chip interconnection using no-clean flux | |
| JP2005509269A5 (th) | ||
| JPH06103703B2 (ja) | 半田付け方法 | |
| CN205309604U (zh) | 一种倒装led晶片焊接装置 | |
| JP2006032446A (ja) | 半導体部品の実装方法および実装装置 | |
| JP2005101242A (ja) | はんだバンプの形成方法 | |
| JPH05109820A (ja) | 半導体装置の実装方法 | |
| TH55991A (th) | การเชื่อมต่อระหว่างกันของฟลิพ ชิพด้วยฟลักซ์ไม่ตกค้าง | |
| KR100712938B1 (ko) | 땜납 접합 방법 및 장치 | |
| JP2697865B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
| JP3539176B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
| JP2001168510A5 (th) | ||
| JPH1012663A (ja) | 半田付け方法 | |
| JPS6297341A (ja) | ボンディング装置及びボンディング方法 | |
| Levin et al. | Room temperature soldering of connectors to PCB using reactive multilayer foils | |
| HK1061741B (en) | Fluxless flip chip interconnection | |
| TW200932075A (en) | Method for surface-mounting component(s) on a flexible printed circuit | |
| HK1060938B (en) | Flip chip interconnection using no-clean flux | |
| JPH05315391A (ja) | Ic部品のリード接合方法 | |
| JPH03222341A (ja) | 半導体製造装置 |