Claims (73)
1. โลหะนิโอเบียมที่มีความบริสุทธิ์อย่างน้อยประมาณ 99.99 เปอร์เซ็นต์ และมีขนาดเม็ด โดยเฉลี่ยประมาณ 150 ไมครอน หรือต่ำกว่า1. Niobium metal with a purity of at least approximately 99.99 percent and an average grain size of approximately 150 microns or less.
2. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ อย่างเต็มที่2. Niobium metal of claim 1, which has been fully recrystallized.
3. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ อย่างน้อยเป็นบางส่วน3. Niobium metal of claim 1, which has been at least partially recrystallized.
4. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ ประมาณ 98 เปอร์เซ็นต์4. Niobium metal of claim 1, which has been recrystallized approximately 98 percent.
5. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ ประมาณ 80 เปอร์เซ็นต์5. Niobium metal of claim 1, which has been recrystallized approximately 80 percent.
6. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะดังกล่าวมี a) เนื้อสารซึ่งรูป ร่างของขั้ว (100) มีความเข้มของพีคกลางน้อยกว่าประมาณ 15 แรนดอม หรือ b) log ของอัตราส่วน ของความเข้มของพีคกลาง (111) : (100) มากว่าประมาณ -4.0 หรือ c ) ทั้งสองอย่าง6. Niobium metal of claim 1, which has a) a substance in which the polarity (100) has a central peak intensity less than approximately 15 random, or b) log of the ratio of central peak intensity (111) : (100) greater than approximately -4.0, or c) both.
7. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งความเข้มของพีคกลางดังกล่าวอยู่ ในช่วงตั้งแต่ประมาณ 0 แรนดอม ถึงประมาณ 15 แรนดอม7. Niobium metal of claim 6, where the intensity of the central peak is in the range from approximately 0 random to approximately 15 random.
8. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งความเข้มของพีคกลางดังกล่าวอยู่ ในช่วงตั้งแต่ประมาณ 0 แรนดอม ถึงประมาณ 10 แรนดอม8. Niobium metal of claim 6, where the intensity of the central peak is in the range from approximately 0 random to approximately 10 random.
9. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่ง log ของอัตราส่วนดังกล่าวอยู่ใน ช่วงตั้งแต่ประมาณ -4.0 ถึงประมาณ 159. The niobium metal of claim 6, where the log of the ratio is in the range from approximately -4.0 to approximately 15.
10. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่ง log ของอัตราส่วนดังกล่าวอยู่ใน ช่วงตั้งแต่ประมาณ -1.5 ถึงประมาณ 710. The niobium metal of claim 6, whose log of the ratio is in the range from approximately -1.5 to approximately 7.
11. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่ง ความเข้มของพีคกลางดังกล่าวอยู่ ในช่วงตั้งแต่ประมาณ 0 แรนดอม ถึงประมาร 15 แรนดอม และ log ของอัตราส่วนดังกล่าวอยู่ใน ช่วงตั้งแต่ประมาณ -0.4 ถึงประมาณ 1511. Niobium metal of claim 6, where the intensity of the central peak is in the range from approximately 0 random to approximately 15 random, and the log of the ratio is in the range from approximately -0.4 to approximately 15.
12. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีความบริสุทธิ์ตั้งแต่ 99.995 เปอร์เซ็นต์ ถึงประมาณ 99.999 เปอร์เซ็นต์12. Niobium metal of claim 1 with a purity ranging from 99.995 percent to approximately 99.999 percent.
13. โลหะผสมที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 113. Niobium-containing alloys of claim 1.
14. โลหะผสมที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 314. Niobium-containing alloys of claim 3.
15. โลหะผสมที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 615. Niobium-containing alloys of claim number 6.
16. เป้าของการฉาบด้วยโลหะที่ประกอบด้วยนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 116. The target of the niobium-containing metal coating of Claim 1.
17. เป้าของการฉาบด้วยโลหะที่ประกอบด้วยนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 317. The target of the niobium-containing metal coating of claim 3.
18. เป้าของการฉาบด้วยโลหะที่ประกอบด้วยนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 618. The target of the niobium-containing metal coating of claim 6.
19 ตัวเก็บประจุที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 119. Niobium metal-containing capacitors of claim 1.
20. ตัวเก็บประจุที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 320. Niobium metal capacitors of claim 3.
21. ตัวเก็บประจุที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 621. Niobium metal capacitor of claim 6.
22. ชั้นฟิล์มต้านทานที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 122. The niobium-containing resistive film of claim 1.
23. ชั้นฟิล์มต้านทานที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 323. Niobium-containing resistive film of claim 3.
24. ชั้นฟิล์มต้านทานที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 624. Niobium-containing resistive film of claim 6.
25. สิ่งของที่ประกอบด้วย ส่วนประกอบอย่างน้อยหนึ่งส่วน ที่เป็นโลหะ นิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 125. An item containing at least one metallic component; niobium, claim number 1.
26. สิ่งของที่ประกอบด้วย ส่วนประกอบอย่างน้อยหนึ่งส่วน ที่เป็นโลหะ นิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 326. An item containing at least one metallic component; niobium, claim number 3.
27. สิ่งของที่ประกอบด้วย ส่วนประกอบอย่างน้อยหนึ่งส่วน ที่เป็นโลหะ นิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 627. An item containing at least one metallic component, niobium, of claim number 6.
28. โลหะนิดฮเบียมที่มี a) ขนาดเม็ดโดยเฉลี่ยประมาณ 150 ไมครอน หรือต่ำ กว่า หรือ b) เนื้อสารซึ่งรูปร่างของขั้ว (100) มีความเข้มของพีคกลางเท่ากับหรือต่ำกว่าประมาณ 30 แรนดอม หรือ c) log ของอัตราส่วนของความเข้มของพีคกลาง (111) : (100) มากกว่าประมาณ -4.0; หรือลักษณะเหล่านี้ร่วมกัน28. Nidhbium metal having a) an average grain size of approximately 150 µm or less; or b) a material in which the polarity (100) has a central peak intensity equal to or less than approximately 30 random; or c) the log of the ratio of central peak intensity (111) : (100) is greater than approximately -4.0; or all of these characteristics together.
29. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ที่มีขนาดเม็ดโดยเฉลี่ยตั้งแต่ ประมาณ 10 ถึงประมาณ 100 ไมครอน29. Niobium metal of claim 28 with an average grain size ranging from approximately 10 to approximately 100 microns.
30. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ที่มีอัตราส่วนของความเข้มของ พีคกลางมากกว่าประมาณ -4.030. Niobium metal of claim 28 with a central peak intensity ratio greater than approximately -4.0.
31. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ที่มีทั้ง a) และ b)31. Niobium metal of claim 28 containing both a) and b).
32. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 มีความบริสุทธิ์ อย่างน้อย 99.99 เปอร์เซ็นต์ นิโอเบียม32. The niobium metal of claim 28 has a purity of at least 99.99 percent niobium.
33. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ซึ่งโลหะดังกล่าว มีความบริสุทธิ์ อย่างน้อย 99.999 เปอร์เซ็นต์ นิโอเบียม33. Niobium metal of claim 28, which is at least 99.999 percent pure niobium.
34. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ อย่างเต็มที่34. Niobium metal of claim 28, which has been fully recrystallized.
35. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 32 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ อย่างเต็มที่35. Niobium metal of claim 32, which has been fully recrystallized.
36. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 33 ซึ่งโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกซ้ำ อย่างเต็มที่36. The niobium metal of claim 33, which has been fully recrystallized.
37. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ซึ่งประมาณ 80 เปอร์เซ็นต์ หรือมาก กว่าของโลหะดังกล่าวถูกทำให้ตกผลึกว้ำอย่างเต็มที่37. The niobium metal of claim 28, of which approximately 80 percent or more is fully crystallized.
38. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ซึ่งความเข้มของพีคกลางดังกล่าวอยู่ ในช่วงตั้งแต่ประมาณ 0 แรนดอม ถึงประมาณ 15 แรนดอม38. The niobium metal of claim 28, where the intensity of the central peak is in the range from approximately 0 random to approximately 15 random.
39. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 28 ซึ่ง log ของอัตราส่วนดังกล่าวอยู่ใน ช่วงตั้งแต่ประมาณ -4.0 ถึงประมาณ 1539. The niobium metal of claim 28, whose log of the ratio is in the range from approximately -4.0 to approximately 15.
40. สิ่งของที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 2840. Items containing niobium metal as per claim 28.
41. สิ่งของที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 3341. Items containing niobium metal as per claim 33.
42. เป้าของการฉาบด้วยโลหะที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิ ที่ 2842. The target of the niobium-containing metal coating of claim No. 28.
43. เป้าของการฉาบด้วยโลหะที่ประกอบด้วยโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิ ที่ 3343. The target of the niobium-containing metal coating of claim 33.
44. กระบวนการสำหรับทำโลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ประกอบ ด้วยการทำปฏิกิริยา ระหว่างเกลือที่มีนิโอเบียมเป็นองค์ประกอบ และเกลือโลหะกับสารอย่างน้อย หนึ่งชนิดที่สามารถรีดิวซ์เกลือ ที่มีนิโอเบียมเป็นองค์ประกอบให้เป็นนิโอเบียมได้ในภาชนะของ ปฏิกิริยาที่มีเครื่องคน ซึ่งภาชนะของปฏิกิริยาหรือวัสดุบุในภาชนะของปฏิกิริยาและเครื่องคน หรือ วัสดุบุบนเครื่องคนทำขึ้นจากวัสดุที่เป็นโลหะ ที่มีความดันไอเท่ากันกับหรือสูงกว่าของนิโอเบียมที่ จุดหลอมเหลวของนิโอเบียม44. The process for metallizing niobium of Premise 1 consists of a reaction between a niobium-containing salt and a metal salt with at least one substance capable of reducing the niobium-containing salt to niobium in a reaction vessel with a stirrer, where the reaction vessel, or the lining of the reaction vessel and the stirrer, or the lining of the stirrer, are made of a metallic material whose vapor pressure is equal to or greater than that of niobium at its melting point.
45. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 44 ซึ่งเกลือที่มีนิโอเบียมเป็นองค์ประกอบ นั้นประกอบด้วยนิโอเบียมออกไซด์ และเกลือโลหะนั้นประกอบด้วยโปแตสเซียมแทนทาลัม ฟลูออไรด์ และสารนั้นประกอบด้วยโซเดียม45. The process of claim 44, in which a niobium-containing salt is composed of niobium oxide and the metal salt is composed of potassium tantalum fluoride and the substance is composed of sodium.
46. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 45 ซึ่งมีส่วนเพิ่มเติมที่ประกอบด้วยการเติม เกลือที่ทำให้เจือจางอย่างน้อยหนึ่งชนิดที่ประกอบด้วยโซเดียมฟลูออไรด์และ/หรือโซเดียมคลอไรด์ ลงไปยังเครื่องคนดังกล่าว46. The process of claim 45, which includes the addition of at least one diluted salt containing sodium fluoride and/or sodium chloride to the stirrer.
47. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 44 ซึ่งภาชนะของปฏิกิริยาหรือวัสดุบุ และ เครื่องคน หรือวัสดุบุบนเครื่องคน มีโลหะเป็นองค์ประกอบหลัก ซึ่งโลหะดังกล่าว คือ นิเกิล, โครเมียม, เหล็ก, แมงกานีส, ติเตเนียม, เซอร์โคเนียม, ฮาฟเนียม, วาเนเดียม, เทคนีเทียม, รูธีเนียม, โคบอลท์, โรเดียม, พัลเลเดียม, แพลตตินัม หรือโลหะเหล่านี้ร่วมกันในแบบใดๆ47. The process of claim 44 in which the reaction vessel or lining and the stirrer or lining on the stirrer are of a primary component of a metal, such metal being nickel, chromium, iron, manganese, titanium, zirconium, hafnium, vanadium, technetium, ruthenium, cobalt, rhodium, palladium, platinum, or any combination thereof.
48. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 47 ซึ่งโลหะนั้นคือ นิคเกิล หรือโลหะผสม ที่มีนิเกิลเป็นองค์ประกอบหลัก48. The process of claim 47, in which the metal is nickel or an alloy of nickel as the primary component.
49. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 47 ซึ่งโลหะนั้นคือ โคเมียม หรือโลหะ ผสมที่มีโครเมียมเป็นองคืประกอบหลัก49. The process of claim 47, in which the metal is chromium or an alloy with chromium as the main component.
50. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 47 ซึ่งโลหะนั้น คือ เหล็ก หรือโลหะผสมที่ มีเหล็กเป็นองค์ประกอบหลัก50. The process of claim 47, in which the metal is iron or an alloy of iron as the primary component.
51. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 44 ซึ่งมีส่วนเพิ่มเติมที่ประกอบด้วยการ แยกเอานิโอเบียมโดยการละลายเกลือที่สองในสารละลายที่มีน้ำเป็นตัวกลาง51. The process of claim 44, which includes an addition, involves the extraction of niobium by dissolving a second salt in an aqueous solution.
52. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 51 ซึ่งมีส่วนเพิ่มเติมที่ประกอบด้วยการ หลอมนิโอเบียมที่แยกเอาออกมาได้ดังกล่าว และอาจเลือกให้มีโลหะดังกล่าวจากเกลือโลหะ ดังกล่าวอยู่ด้วยในสูญญากาศที่เพียงพอในการกำจัดสารเจือปนใด ๆ ที่มีอยู่ในนิโอเบียมที่แยกเอามา ได้จนจัดว่าหมด และได้นิโอเบียม และอาจเลือกให้มีโลหะดังกล่าวที่มีความบริสุทธิ์สูง52. The process of claim 51, with its addition, involves the smelting of the extracted niobium and may select for the presence of such metal from the metal salts in a vacuum sufficient to remove any impurities present in the extracted niobium to the extent that it is considered to be completely gone, resulting in niobium and may select for the presence of such metal of a high purity.
53. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งสูญญากาศนั้นเท่ากับ 10-4 ทอร์ หรือ มากกว่า53. The procedure for claim 52, in which the vacuum is equal to 10⁻⁴ Torr or greater.
54. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งความดันเหนือนิโอเบียมที่แยกเอามา ไดที่ถูกหลอมเหลวนั้นต่ำกว่าความดันไอของสารเจือปนต่าง ๆ ที่จัดได้ว่าทั้งหมด54. The process of claim 52, in which the pressure above the isolated niobium, the molten die is lower than the vapor pressure of all classified impurities.
55. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งสารเจือปนถูกเอาออกดดยการระเหย เป้นไอของสารเจือปน55. The process of claim 52 in which impurities are removed by vaporization of the impurities.
56. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งการหลอมเหลวดังกล่าวได้รับการ ดำเนินการโดยการหลอมเหลวด้วยลำอิตรอน56. The process of claim 52, in which such melting is performed by electron beam melting.
57. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งการหลอมเหลวดังกล่าวได้รับการ ดำเนินการโดยการหลอมเหลวซ้ำด้วยอาร์คในสูญญากาศ57. The process of claim 52, in which such melting is achieved by repeated arc melting in a vacuum.
58. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 52 ซึ่งโลหะนิโอเบียมที่มีความบริสุทธิ์สูง ถูกปล่อยให้เป็นของแข็ง และถูกนำเข้าสู่กระบวนการรีด, กระบวนการตี หรือทั้งสองอย่าง58. The process of claim 52 in which high-purity niobium metal is left to solidify and then subjected to rolling, forging, or both processes.
59. โลหะนีโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีโครงสร้างระดับ จุลภาคที่จัดว่าละเอียด และสม่ำเสมอ59. Niobium metal of claim 1, which has a microstructure that is considered fine and uniform.
60. โลหะนีโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีขนาดเม็ดโดย เฉลี่ยตั้งแต่ประมาณ 10 ถึง ประมาณ 150 ไมครอน60. Niobium metal of claim 1, in which the average grain size ranges from approximately 10 to approximately 150 microns.
61. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีขนาดเม็ดโดย เฉลี่ยตั้งแต่ประมาณ 25 ถึง ประมาณ 100 ไมครอน61. Niobium metal of claim 1, which has an average grain size ranging from approximately 25 to approximately 100 microns.
62. โลหะนิโอเบียมของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีขนาดเม็ดโดย เฉลี่ยตั้งแต่ประมาณ 25 ถึง ประมาณ 75 ไมครอน62. Niobium metal of claim 1, which has an average grain size ranging from approximately 25 to approximately 75 microns.
63. กระบวนการทำเป้าของการฉาบด้วยโลหะจากโลหะนิโอเบียม ทีมีความ บริสุทธิ์อย่างน้อยอย่างน้อย 99.99 เปอร์เซ็นต์ ที่ประกอบด้วย : a) การทำความสะอาดผิวของโลหะนิโอเบียม โดยวิธีการเชิงกลหรือวิธีการ ทางเคมี ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีพื้นที่หน้าตัดเริ่มเพียงพอที่จะทำขั้นตอน b) ถึง g) ได้ b) การตีโลหะนิโอเบียมให้แบนจนเป็นแผ่นรีดอย่างน้อยหนึ่งแผ่น ซึ่งแผ่น รีดอย่างน้อยหนึ่งแผ่น นั้นมีการผิดรูปเพียงพอที่จะทำให้ได้การตกผลึก ซ้ำที่จัดว่าสม่ำเสมอหลังจากการบ่มเหนียวในขั้นตอน d) c) การทำความสะอาดผิวของแผ่นรีดอย่างน้อยหนึ่งแผ่น โดยวิธีการเชิงกล หรือวิธีการทางเคมี; d) การอบเหนียวให้แก่แผ่นรีดแย่างน้อยหนึ่งแผ่นที่อุณหภูมิที่เพียงพอ และ เป็นเวลาที่เพียงพอ ที่จะทำให้ได้การตกผลึกซ้ำอย่างน้อยบางส่วนของ แผ่นรีดอย่างน้อยหนึ่งแผ่น e) การรีดแบบแผ่นรีดอย่างน้อยหนึ่งแผ่น ในแบบเย็นหรือแบบอุ่นทั้งใน ทิศทางตั้งฉากและทิศทางขนานกับแนวแกนของโลหะนิโอเบียมเริ่มต้น เพื่อทำแผ่นวัสดุอย่างน้อยหนึ่งแผ่น f) การทำให้แผ่นวัสดุอย่างน้อยหนึ่งแผ่นแบน และ g) การบ่มเหนียวให้แกแผ่นวัสดุอย่างน้อยหนึ่งแผ่น เพื่อให้มีขนาดเม็ดโดย เฉลี่ยเท่ากับหรือเล็กกว่าประมาณ 150 ไมครอน และมีเนื้อสารที่จัดว่า ปราศจากแถบเนื้อสาร (100)63. The process for making a niobium coating target from niobium metal of at least 99.99 percent purity, consisting of: a) surface cleaning of the niobium metal by mechanical or chemical methods, to which the niobium metal has a sufficient initial cross-sectional area to perform steps b) to g); b) flattening the niobium metal into at least one rolled sheet, to which at least one rolled sheet is sufficiently deformed to allow for uniform recrystallization after annealation in step d); c) surface cleaning of at least one rolled sheet by mechanical or chemical methods; d) annealing of at least one rolled sheet at a sufficient temperature and time to allow for at least partial recrystallization of at least one rolled sheet; e) cold or warm rolling of at least one rolled sheet in both directions perpendicular to and parallel to the axis of the initial niobium metal to form at least one sheet of material; f) flattening of at least one sheet of material; and g) annealing of at least one sheet of material to achieve a grain size by The average is equal to or smaller than approximately 150 microns and has a material composition that is classified as band-free (100).
64. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 63 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีความบริสุทธิ์อย่าง น้อย 99.999 เปอร์เซ็นต์64. The process of claim 63, in which the niobium metal has a purity of at least 99.999 percent.
65. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 63 ซึ่งการตีให้แบนเกิดขึ้นหลังจากนำ โลหะนิโอเบียมมาไว้ในอากาศเป้นเวลาอย่างน้อยประมาณ 4 ชั่วโมง และที่อุณหภูมิในช่วงตั้งแต่ อุณหภูมิแวดล้อมถึงประมาณ 1200 องศาเซลเซียส65. The process of claim 63, in which the flattening is performed, involves exposing the niobium metal to air for at least approximately 4 hours at a temperature ranging from ambient temperature to approximately 1200 degrees Celsius.
66. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 63 ซึ่งการรีดแบบเย็นเป็นการรีดตามขวาง ที่อุณหภูมิแวดล้อม และการรีดแบบอุ่นทำที่อุณหภูมิต่ำกว่าประมาณ 370 องศาเซลเซียส66. The process of claim 63, in which cold rolling is performed transversely at ambient temperature and warm rolling is performed at a temperature below approximately 370 °C.
67. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 63 ซึ่งการอบเหนียวของแผ่นวัสดุเป็นการ อบเหนียวในสูญญากาศที่อุณหภูมิหนึ่ง และเป็นเวลาหนึ่งที่เพียงพอในการทำให้ได้การตกผลึกซ้ำ ของโลหะนิโอเบียม67. The process of claim 63, in which the annealing of a sheet of material is vacuum annealing at a certain temperature and for a time sufficient to induce recrystallization of niobium metal.
68. กระบวนการทำเป้าของการฉาบด้วยโลหะจากโลหะนิโอเบียม ทีมีความ บริสุทธิ์อย่างน้อยอย่างน้อย 99.995 เปอร์เซ็นต์ ที่ประกอบด้วย a) การทำความสะอาดผิวของโลหะนิโอเบียม โดยวิธีการเชิงกลหรือวิธีการ ทางเคมี ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีพื้นที่หน้าตัดเริ่มเพียงพอที่จะทำขั้นตอน b) ถึง i) ได้ b) การตีโลหะนิโอเบียมให้กลมจนเป็นแท่งกลมอย่างน้อยหนึ่งแท่ง ซึ่งแท่ง กลมอย่างน้อยหนึ่งแท่ง นั้นมีการผิดรูปเพียงพอที่จะทำให้ได้การตกผลึกซ้ำที่ จัดว่าสม่ำเสมอ หลังจากการบ่มเหนียวในขั้นตอน d) หรือขั้นตอน f); c) การตัดแท่งกลมให้เป็นแว่นโลหะ และการทำความสะอาดผิวของแว่น โลหะโดยวิธีการเชิงกล หรือวิธีการทางเคมี d) การเลือกดำเนินการอบเหนียวให้แก่ แว่นโลหะเพื่อให้ได้การตกผลึกซ้ำ อย่างน้อยเป็นบางส่วน e) การตีแว่นโลหะตามแนวแกนให้เป็นวัสดุทำรูปล่วงหน้า f) การเลือกดำเนินการอบเหนียวให้แก่วัสดุทำรูปล่วงหน้าเพื่อให้ได้การตก ผลึกซ้ำอย่างน้อยเป็นบางส่วน g) การรีดวัสดุทำรูปล่วงหน้าแบบเย็นให้เป็นวัสดุ อย่างน้อยหนึ่งแผ่น และ h) การดำเนินการทำความสะอาดผิวของแผ่นวัสดุ อย่างน้อยหนึ่งแผ่น โดยวิธีการเชิงกล หรือวิธีการทางเคมี และ i) การอบเหนียวให้แก่แผ่นวัสดุอย่างน้อยหนึ่งแผ่นเพื่อให้มีขนาดเม็ด โดย เฉลี่ยเท่ากับหรือเล็กกว่าประมาณ 150 ไมครอน และเนื้อสารที่จัดว่า ปราศจากแถบเนื้อสาร (100) ซึ่งการบ่มเหนียวเกิดขึ้นอย่างน้อยใน ขั้นตอน d) หรือ f) หรือทั้งสองขั้นตอน68. The process for making a niobium coating target from niobium metal of at least 99.995 percent purity, consisting of: a) surface cleaning of the niobium metal by mechanical or chemical methods, to which the niobium metal has a sufficient initial cross-sectional area to perform steps b) through i); b) spheroidizing the niobium metal into at least one cylindrical rod, to which at least one rod is sufficiently deformed to achieve uniform recrystallization after annealation in step d) or step f); c) cutting the rod into halves and surface cleaning of the halves by mechanical or chemical methods; d) selective annealing of the halves to achieve at least partial recrystallization; e) axial forging of the halves into pre-forming material; f) selective annealing of the pre-forming material to achieve at least partial recrystallization; g) cold rolling of the pre-forming material into at least one sheet; and h) surface cleaning of at least one sheet by mechanical method. or chemical methods and i) annealing of at least one sheet of material to the extent that the average grain size is equal to or smaller than approximately 150 microns and the material is considered to be free of material bands (100), in which the annealing occurs at least in step d) or f) or both steps.
69. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 68 ซึ่งโลหะนิโอเบียมมีความบริสุทธิ์อย่าง น้อย 99.999 เปอร์เซ็นต์69. The process of claim 68, in which the niobium metal has a purity of at least 99.999 percent.
70. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 68 ซึ่งการตีให้กลมเกิดขึ้นหลังจากการนำ โลหะนิโอเบียมเข้าสู่สภาพที่มีอุณหภูมิประมาณ 370 องสาเซลเซียส หรือต่ำกว่า70. The process of claim 68, in which rounding occurs after the niobium metal is heated to approximately 370 degrees Celsius or lower.
71. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 68 ซึ่งก่อนการตีแว่นโลหะล แว่นโลหะได้ รับการบ่มเหนียม71. The process of claim 68, which states that prior to forging the metal slabs, the metal slabs are cured.
72. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 68 ซึ่งก่อนการรีดแบบเย็นของวัสดุทำรูป ล่วงหน้า วัสดุทำรูปล่วงหน้าได้รับการบ่มเหนียว72. The process of claim 68, which prior to cold rolling of the pre-forming material, the pre-forming material is ductile cured.
73. กระบวนการของข้อถือสิทธิที่ 68 ซึ่งการบ่มเหนียวของวัสดุทำรูปล่วง หน้าเป็นการบ่มเหนียวในสูญญากาศที่อุณภูมิที่เพียงพอ และเป็นเวลาหนึ่งเพื่อให้ได้การตกผลึกซ้ำ73. The process of claim 68, in which the curing of the preforming material is vacuum curing at a sufficient temperature and for a period of time to achieve recrystallization.