TH52466A

TH52466A - วิธีการป้องกันการเชื่อมต่อเข้าด้วยกันระหว่างรูปทรงที่เป็นมาตราส่วนขนาดจุลภาคที่เป็นผลึกหลายเหลี่ยม

Info

Publication number: TH52466A
Application number: TH101000384A
Authority: TH
Inventors: เอ. คลีเวนเกอร์ นายลอว์เร้นซ์; ดี. นีม นายมูเนอร์
Original assignee: นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า; นายธเนศ เปเรร่า
Filing date: 2001-02-02
Publication date: 2002-08-06

Abstract

DC60 (30/04/44) วิธีการป้องกันหรืออย่างน้อยก็เป็นวิธีการลดความเป็นไปได้ที่จะเกิดการเชื่อมต่อระหว่าง โครงสร้างที่เป็นผลึกหลายเหลี่ยม ที่มีรูปทรงเป็นมาตราส่วนขนาดจุลภาคซึ่งอยู่ติดกันและโดย เฉพาะ อย่างยิ่ง จะเป็นการลดไฟฟ้าลัดวงจรระหว่างเส้นที่ฉาบ โลหะที่อยู่ติดกันของวงจรขนาดจุลภาค, โดย ทั่วไปแล้ว วิธี การดังกล่าวจะครอบคลุมถึงการก่อรูปให้กับโครงสร้างแบบหลาย ชั้นที่ประกอบด้วยชั้นที่ เป็นผลึกหลายเหลี่ยมและชั้นที่จำกัดขอบเขตอย่างน้อยหนึ่งชั้นและจากนั้น ก็จะเป็นการวางแพตเทิร์น ให้กับโครงสร้างแบบหลายชั้นดัง กล่าวเพื่อให้มีเส้นที่หนึ่งและเส้นที่สองซึ่งมีความกว้าง ที่แคบกว่าเส้น ที่หนึ่ง. เส้นที่หนึ่งจะมีขอบที่ถูกวาง แพตเทิร์นซึ่งถูกเว้นระยะห่างจากขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของ เส้น ที่สองเพื่อที่เส้นที่หนึ่งและที่สองจะได้เป็นฉนวน ไฟฟ้าซึ่งกันและกัน. จากนั้น รูปทรงจำนวนหนึ่ง ลักษณะหรือมาก กว่านี้ซึ่งเกี่ยวเนื่องกับเส้นที่หนึ่งก็จะถูกก่อรูปขึ้น มาในลักษณะที่จะป้องกันการ เชื่อมต่อเข้าด้วยกันระหว่างเส้น ที่หนึ่งและที่สองหากในลำดับต่อไป มีการเติบโตของผลึกทาง ด้านข้าง มากเกิดขึ้นตามขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของเส้นที่ หนึ่ง, รูปทรงต่าง ๆ ที่เหมาะสมจะรวมถึงการวาง แพตเทิร์นให้ กับโครงสร้างแบบหลายชั้นเพื่อให้มีเส้นหลอกเกิดขึ้นระหว่าง เส้นที่หนึ่งและที่สองและถูก เว้นระยะห่างจากเส้นที่หนึ่ง และที่สองดังกล่าว, การวางแพตเทิร์นให้กับรูต่างๆ ที่อยู่ ใกล้กับขอบที่ถูก วางแพตเทิร์นของเส้นที่หนึ่ง, การก่อรูป ให้กับขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของเส้นที่หนึ่งเพื่อ ให้มีฟันซี่ ต่างๆ ที่ยื่นเข้าหาเส้นที่สองและอยู่ใกล้เส้น ที่สองมากกว่าส่วนที่เหลือของขอบที่ถูกวางแพตเทิร์น ระหว่าง ฟันซี่ต่างๆ และการก่อรูปให้กับขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของ เส้นที่หนึ่งเพื่อให้ถูกทำให้เป็น ขั้นๆ เพื่อที่เส้นที่ หนึ่งจะได้มีบริเวณที่เป็นมุมที่ส่วนปลายที่อยู่ตรงข้ามกัน ของขอบที่ถูกวางแพตเทิร์น ระหว่างบริเวณต่างๆ ที่เป็นมุมดัง กล่าว. การประดิษฐ์นี้ยังครอบคลุมถึงโครงสร้างแบบหลายชั้น ที่ถูก จัดทำขึ้นตามวิธีการดังกล่าวอีกด้วย. วิธีการป้องกันหรืออย่างน้อยก็เป็นวิธีลดความเป็นไปได้ที่จะเกิดการเชื่อมต่อระหว่าง โครงสร้างที่เป็นผลึกหลายเหลี่ยม ที่มีรูปทรงเป็นมาตราส่วนขนาดจุลภาคซึ่งอยู่ติดกันและโดย เฉพาะ อย่างยิ่ง จะเป็นการลดไฟฟ้าลัดวงจรระหว่างเส้นที่ฉาบ โลหะที่อยู่ติดกันของวงจรขนาดจุลภาค, โดย ทั่วไปแล้ว วิธี การดังกล่าวจะครอบคลุมถึงการก่อรูปให้กับโครงสร้างแบบหลาย ชั้นที่ประกอบด้วยชั้นที่ เป็นผลึกหลายเหลี่ยมและชั้นที่จำกัดขอบเขตอย่างน้อยหนึ่งชั้นและจากนั้น ก็จะเป็นการวางแพตเทิร์น ให้กับโครงสร้างแบบหลายชั้นดัง กล่าวเพื่อให้มีเส้นที่หนึ่งและเส้นที่สองซึ่งมีความกว้าง ที่แคบกว่าเส้น ที่หนึ่ง. เส้นที่หนึ่งจะมีขอบที่ถูกวาง แพตเทิร์นซึ่งถูกเว้นระยะห่างจากขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของ เส้น ที่สองเพื่อที่เส้นที่หนึ่งและที่สองจะได้เป็นฉนวน ไฟฟ้าซึ่งกันและกัน, จากนั้น รูปทรงจำนวนหนึ่ง ลักษณะหรือมาก กว่านี้ซึ่งเกี่ยวเนื่องกับเส้นที่หนึ่งก็จะถูกก่อรูปขึ้น มาในลักษณะที่จะป้องกันการ เชื่อมต่อเข้าด้วยกันระหว่างเส้น ที่หนึ่งและที่สองหากในลำดับต่อไป มีการเติบโตของผลึกทาง ด้านข้าง มากเกิดขึ้นตามขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของเส้นที่ หนึ่ง, รูปทรงต่างๆ ที่เหมาะสมจะรวมถึงการวาง แพตเทิร์นให้ กับโครงสร้างแบบหลายชั้นเพื่อให้มีเส้นหลอกเกิดขึ้นระหว่าง เส้นที่หนึ่งและที่สองและถูก เว้นระยะห่างจากเส้นที่หนึ่ง และที่สองดังกล่าว, การวางแพตเทิร์นให้กับรูต่างๆ ที่อยู่ ใกล้กับขอบที่ถูก วางแพตเทิร์นของเส้นที่หนึ่ง, การก่อรูป ให้กับขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของเส้นที่หนึ่งเพื่อ ให้มีฟันซี่ ต่างๆ ที่ยื่นเข้าหาเส้นที่สองและอยู่ใกล้เส้น ที่สองมากกว่าส่วนที่เหลือของขอบที่ถูกวางแพตเทิร์น ระหว่าง ฟันซี่ต่างๆ และการก่อรูปให้กับขอบที่ถูกวางแพตเทิร์นของ เส้นที่หนึ่งเพื่อให้ถูกทำให้เป็น ชั้นๆ เพื่อที่เส้นที่ หนึ่งจะได้มีบริเวณที่เป็นมุมที่ส่วนปลายที่อยู่ตรงข้ามกัน ของขอบที่ถูกวางแพตเทิร์น ระหว่างบริเวณต่างๆ ที่เป็นมุมดัง กล่าว, การประดิษฐ์นี้ยังครอบคลุมถึงโครงสร้างแบบหลายชั้น ที่ถูก จัดทำขึ้นตามวิธีทางดังกล่าวอีกด้วย.

Claims

1. วิธีการที่ประกอบด้วยขั้นตอนต่างๆ ของ : - การก่อรูปให้กับโครงสร้างแบบหลายชั้นที่ประกอบด้วยชั้น ของผลึกหลายเหลี่ยมและชั้นที่ จำกัดขอบเขตอย่างน้อยหนึ่ง ชั้นบนซับสเตรต และ - การวางแพตเทิร์นให้กับโครงสร้างแบบหลายชั้นเพื่อให้เกิด เป็นโครงสร้างที่หนึ่งและ โครงสร้างที่สองที่มีความกว้างที่ แคบกว่าโครงสร้างที่หนึ่งโดยที่โครงสร้างที่หนึ่งดังกล่าว จะมีขอบที่ ถูกวางแพตเทิร์นที่ถูกเว้นระยะห่างจากขอบที่ถูก วางแพตเทิร์นของโครงสร้างที่สองดังกล่าว โดยที่ขั้นตอนการวางแพตเทิแท็ก :