TH39054B - เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง - Google Patents

เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง

Info

Publication number
TH39054B
TH39054B TH401003627A TH0401003627A TH39054B TH 39054 B TH39054 B TH 39054B TH 401003627 A TH401003627 A TH 401003627A TH 0401003627 A TH0401003627 A TH 0401003627A TH 39054 B TH39054 B TH 39054B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
abrasive
grain
array
abrasive grain
materials
Prior art date
Application number
TH401003627A
Other languages
English (en)
Other versions
TH69797A (th
Inventor
เอ็มมอลเตอร์ นายเจนส์
เอเบทแมน นายชารล์ส
ดับบลิวเจฮอล นายริชาร์ด
Original Assignee
นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
นางวรนุช เปเรร่า
นายธเนศ เปเรร่า
นายธเนศ เปเรร่า นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์ นางวรนุช เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์, นางวรนุช เปเรร่า, นายธเนศ เปเรร่า, นายธเนศ เปเรร่า นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์ นางวรนุช เปเรร่า filed Critical นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
Publication of TH69797A publication Critical patent/TH69797A/th
Publication of TH39054B publication Critical patent/TH39054B/th

Links

Abstract

DC60 (15/12/47) เครื่องมือขัดถูมีเกรนสารขัดถูถูกปรับในแถวลำดับตามความสอดคล้องกับแบบแผน ไม่สม่ำเสมอซึ่งมีเขตกีดกันรอบแต่ละเกรนสารขัดถูกและเขตกีดกันมีมิติน้อยที่สุดซึ่งเกินกว่า เส้นผ่านศูนย์กลางมากที่สุดของช่วงขนาดเม็ดหยาบที่กำหนดสำหรับเกรนสารขัดถู วิธีการสำหรับ การออกแบบแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเองเช่นนี้ และสำหรับการ ถ่ายโอนแถวลำดับเช่นนี้ไปยังตัวเรือนเครื่องมือขัดถูถูกอธิบาย เครื่องมือขัดถูมีเกรนสารขัดถูถูกปรับในแถวลำดับตามความสอดคล้องกับแบบแผน ไม่สม่ำเสมอซึ่งมีเขตกีดกันรอบแต่ละเกรนสารขัดถูกและเขตกีดกันมีมิติน้อยที่สุดซึ่งเกินกว่า เส้นผ่านศูนย์กลางมากที่สุดของช่วงขนาดเม็ดหยาบที่กำหนดสำหรับเกรดสารขัดถู วิธีการสำหรับ การออกแบบแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเองเช่นนี้ และสำหรับการ ถ่ายโอนแถวลำดับเช่นนี้ไปยังตัวเรือนเครื่องมือขัดถูถูกอธิบาย

Claims (2)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. เครื่องมือขัดถูที่ประกอบด้วยเกรนสารขัดถู, สารยึดเหนี่ยวและซับสเตรท, เกรนสารขัดถูที่มี เส้นผ่าศูนย์กลางมากที่สุดที่ถูกเลือกไว้และช่วงขนาดที่ถูกเลือกไว้, และเกรนสารขัดถูจะถูกเกาะติดในแถวลำดับ ชั้นเดียวไปยังซับสเตรทโดยสารยึดเหนี่ยว, ซับมีลักษณะเฉพาะที่ว่า (a) เกรนสารขัดถูจะถูกปรับในแถวลำดับตามรูปแบบไม่สม่ำเสมอที่มีเขตกีดกันรอบๆ แต่ละเกรม สารขัดถู, และ (b) แต่ละเขตกีดกันจะมีรัศมีน้อยที่สุดซึ่งมากเกินรัศมีมากที่สุดของขนาดเม็ดหยาบของเกรนสาร ขัดถูที่ต้องการ 2. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งแต่ละเกรนสารขัดถูจะถูกกำหนดไว้ที่จุดบนแถวลำดับซึ่งจะ ถูกกำหนดไว้โดยการจำกัดอนุกรมของจุดที่ถูกเลือกไว้โดยการสุ่นบนระนาบสองมิติจนกระทั่งแต่ละจุดจะถูกแยก ออกจากซึ่งกันและกันของจุดโดยค่าน้อยที่สุด (k) ซึ่งเป็นอย่างน้อย 1.5 เท่าของเส้นผ่าศูนย์กลางมากที่สุดของ เกรนสารขัดถู 3. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งแต่ละเกรนสารขัดถูจะถูกกำหนดไว้ที่จุดบนแถวลำดับ ซึ่งจะถูกกำหนดไว้โดย (a) การกำจัดอนุกรมของคู่ค่าพิกัด (x1, y1) จนกระทั่งค่าพิกัดไปตามอย่างน้อยหนึ่งแกนจะถูกจำกัด ไปยังลำดับเชิงตัวเลขที่ซึ่งแต่ละค่าจะแตกต่างจากค่าถัดไปโดยปริมาณคงที่ (b) การถอดคู่ควบแต่ละคู่ค่าพิกัดที่ถูกเลือกไว้ (x1, y1) เพื่อที่จะให้ผลชุดของค่า x ที่ถูกเลือกไว้และ ชุดของค่า y ที่ถูกเลือกไว้ (c) การเลือกโดยการสุ่มจากชุดของค่า x และ y อนุกรมของคู่ค่าพิกัดโดยการสุ่น (x, y), แต่ละคู่ที่มี ค่าพิกัดที่แตกต่างจากค่าพิกัดของคู่ค่าพิกัดที่ใกล้เคียงใดๆ โดยค่าน้อยที่สุด (k); และ (d) การสร้างแถวของคู่ค่าพิกัดที่ถูกเลือกไว้โดยการสุ่มที่มีคู่เพียงพอ, ที่ถูกใส่จุดในฐานเป็นจุดบน กราฟ, เพื่อที่จะให้ผลเขตกีดกันรอบๆ แต่ละเกรนสารขัดถู 4. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งซับสเตรทคือรูปแบบก่อนหน้าของ เครื่องมือชนิดแข็ง หรือสิ่งหนุนที่เปลี่ยนแปลงหรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 5. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 4 ที่ซึ่งรูปแบบก่อนหน้าของเครื่องมือชนิดแข็งจะมีรูปร่างทรง เรขาคณิตที่มีแกนหนึ่งของการสมสาตรการหมุน 6. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 5 ที่ซึ่งรูปร่างทรงเรขาคณิตของรูปแบบก่อนหน้าของเครื่องมือชนิด แข็ง คือจานกลม, ขอบ, วง, ทรงกระบอกหรือรูปร่างฟรุสโตคอนิคอล, หรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 7. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 4 ที่ซึ่งสิ่งหมุนที่เปลี่ยนแปลงคือฟิล์ม, ฟอยล์, สิ่งทอ, แผ่นที่ไม่ได้ ทอ, เส้นใย, แผ่นตาข่าย, แผ่นที่ถูกปรุเป็นรู, แผ่นบางหรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 8. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งสิ่งหนุนที่เปลี่ยนแปลงจะถูกเปลี่ยนไปเป็นรูปสาย, จานกลม, แผ่น, ฐานรอง, ม้วนหรือสายริบบิ้น 9. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งแถวลำดับของแกรนสารขัดถูจะถูกเปลี่ยนจากโครงสร้างสอง มิติไปเป็นโครงสร้างสามมิติโดยการกลิ้งแถวลำดับของเกรนขัดถูไปยังเครื่องลูกกลิ้งที่่มีศูนย์กลางเดียวกัน 1 0. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งสารยึดเหนี่ยวจะถูกเลือก จากกลุ่มที่ประกอบด้วย วัสดุขัดถู, วัสดุการเชื่อมด้วยทองเหลือง, วัสดุการเชื่อมด้วยไฟฟ้า, วัสดุแม่เหล็กไฟฟ้า, วัสดุไฟฟ้าสถิต, วัสดุที่ทำให้เป็นแก้ว, วัสดุพันธะผงโลหะ, วัสดุพอลิเมอริกและวัสดุเรซิน, และการรวมกันของ สิ่งเหล่านั้น 1 1. เครื่องมือขัดถูตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งเกรนสารขัดถูที่ถูกเลือก จากกลุ่มที่ประกอบด้วย เม็ดหยาบของสารขัดถูเดียว, จุดตัดและสารประกอบที่ประกอบด้วยจำนวนหนึ่งของเม็ด หยาบของสารขัดถู, และการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 1 2. วิธีการสำหรับการผลิตเครื่องมือขัดถูที่มีเขตกีดกันที่ถูกเลือกไว้รอบๆ แต่ละเกรนสารขัดถู ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ: (a) การเลือกพื้นที่ราบสองมิติที่มีขนาดและรูปร่างที่ถูกกำหนดไว้; (b) การเลือกขนาดเม็ดหยาบของเกรนสารขัดถูที่ต้องการและความเข้มข้นสำหรับพื้นที่ราบ; (c) การสร้างอนุกรมของค่าพิกัดสองมิติโดยการสุ่ม; (d) การจำกัดแต่ละคู่ของค่าพิกัดที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสุ่มไปยังค่าพิกัดที่แตกต่างจากคู่ค่าพิกัดที่ ใกล้เคียงใดๆ โดยค่าน้อยที่สุด (k); (e) การสร้างแถวลำดับของค่าพิกัดที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสุ่ม, ที่ถูกจำกัดที่มีคู่เพียงพอ, ที่ถูกใส่จุดใน ฐานะเป็นจุดบนกราฟ, เพื่อที่จะให้ผลความเข้มข้นของเกรนสารขัดถูที่ต้องการสำหรับพื้นที่ราบสองมิติที่ถูกเลือก ไว้และขนาดเม็ดหยาบของเกรนสารขัดถูที่ถูกเลือกไว้; และ (f) การทำให้อยู่ตรงกลางของเกรนสารขัดถูที่แต่ละจุดบนแถวลำดับ 1 3. วิธีการสำหรับการผลิตเครื่องมือขัดถูที่มีเขตกีดกันที่ถูกเลือกไว้รอบๆ แต่ละเกรนสารขัดถู, ที่ ประกอบด้วยขั้นตอนของ: (a) การเลือกพื้นที่ราบสองมิติที่มีขนาดและรูปร่างที่ถูกกำหนดไว้; (b) การเลือกขนาดเม็ดหยาบของเกรนสารขัดถูที่ต้องการและความเข้มข้นสำหรับพื้นที่ราบ; (c) การเลือกอนุกรมของคู่ค่าพิกัด (x1, y1) จนกระทั่งค่าพิกัดไปตามอย่างน้อยหนึ่งแกนที่ถูกจำกัดไป ยังลำดับเชิงตัวเลขที่ซึ่งแต่ละค่าจะแตกต่างจากค่าถัดไปโดยปริมาณคงี่ (d) การถอดคู่ควบแต่ละคู่ค่าพิกัดที่ถูกเลือกไว้ (x1, y1) เพื่อที่จะให้ผลชุดของค่า x ที่ถูกเลือกไว้และ ชุดของค่า y ที่ถูกเลือกไว้ (e) การเลือกโดยการสุ่มจากชุดของค่า x และ y อนุกรมของคู่ค่าพิกัดโดยการสุ่ม (x, y), แต่ละคู่ที่มี ค่าพิกัดที่แตกต่างจากค่าพิกัดของคู่ค่าพิกัดที่ใกล้เคียงใดๆ โดยค่าน้อยที่สุด (k); (f) การสร้างแถวลำดับของคู่ค่าพิกัดที่ถูกเลือกไว้โดยการสุ่มที่มีคู่เพียงพอ, ที่ถูกใส่จุดในฐานะเป็น จุดบนกราฟ, เพื่อที่จะให้ผลความเข้มข้นของเกรนสารขัดถูที่ต้องการสำหรับพื้นที่ราบสองมิติที่ถูกเลือกไว้และ ขนาดเม็ดหยาบของเกรนสารขัดถูที่ถูกเลือกไว้; และ (g) การทำให้อยู่ตรงกลางของเกรนสารขัดถูที่แต่ละจุดบนแถวลำดับ 1 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 13 ยังประกอบด้วยขั้นตอนของการยึดเหนี่ยวแถวลำดับของเกรนสารขัดถู กับวัสดุการยึดเหนี่ยวสารขัดถูเพื่อยึดเกรนสารขัดถูที่แต่ละจุดของแถวลำดับ 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 13 หรือ 14 ยังประกอบด้วยขั้นตอนของการยึดเหนี่ยวแถวลำดับของเกรน สารขัดถูกับซับสเตรทเพื่อก่อรูปเครื่องมือขัดถู 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 15 ที่ซึ่งซับสเตรทคือรูปแบบก่อนหน้าของเครื่องมือชนิดแข็ง หรือสิ่งหนุน ที่เปลี่ยนแปลงหรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 16 ที่ซึ่งรูปแบบก่อนหน้าของเครื่องมือชนิดแข็งจะมีรูปร่างทรงเรขาคณิตที่มี แกนหนึ่งของการสมมาตรการหมุน 1 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 16 ที่ซึ่งรูปร่างทรงเรขาคณิตของรูปแบบก่อนหน้าของเครื่องมือชนิดแข็ง คือจานกลม, ขอบ, วง, ทรงกระบอกหรือรูปร่างฟรุสโตคอนิคอล, หรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 1 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 16 ที่ซึ่งสิ่งหนุนที่เปลี่ยนแปลงคือฟิล์ม, ฟอยล์, สิ่งทอ, แผ่นที่ไม่ได้ ทอ, เส้น ใย, แผ่นตาข่าย, แผ่นที่ถูกปรุเป็นรู, แผ่นบางหรือการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 2 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 16 ที่ซึ่งสิ่งหนุนที่เปลี่ยนแปลงจะถูกเปลี่ยนไปเป็นรูปสาย, จานกลม, แผ่น, ฐานรอง, ม้วนหรือสายริบบิ้น 2 1. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 หรือ 13 ยังประกอบด้วยขั้นตอนของการเปลี่ยนแถวลำดับของเกรนสาร ขัดถูจากโครงสร้างสองมิติไปเป็นโครงสร้างสามมิติโดยการกลิ้งแถวลำดับของเกรนสารขัดถูไปยังเครื่องลูกกลิ้ง ที่มีศูนย์กลางเดียวกัน 2 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่งและที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ (a) การประทับแถวลำดับของค่าพิกัดที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสุ่ม, ที่ถูกจำกัด, ที่ถูกใส่จุดในฐานะเป็น จุดบนกราฟ, ไปบนซับสเตรทของเครื่องมือ; และ (b) การยึดเกรนสารขัดถูที่แต่ละจุดของแถวลำดับบนซับสเตรทของเครื่องมือกับวัสดุยึดเหนี่ยวสาร ขัดถู 2 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่งและที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ (a) การประทับแถวลำดับของค่าพิกัดที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสุ่มที่ถูกจำกัด, ที่ถูกใส่จุดในฐานะเป็น จุดบนกราฟ, ไปบนแผ่นแบบ (b) การยึดเกรนสารขัดถูที่แต่ละจุดของแถวลำดับบนแผ่นแบบเพื่อก่อรูปแถวลำดับเกรนสารขัดถู (c) การถ่ายโอนแถวลำดับเกรนสารขัดถูไปบนซับเสตรทของเครื่องมือ; และ (d) การยึดติดแถวลำดับเกรนสารขัดถูเข้ากับซับสเตรทของเครื่องมือโดยวัสดุยึดเหนี่ยวขัดถู 2 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 23 ยังประกอบด้วยขั้นตอนของการกำจัดแผ่นแบบออกจากซับสเตรทของ เครื่องมือ 2 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 23 ยังประกอบด้วยขั้นตอนของการยึดเหนี่ยวแผ่นแบบที่รองรับแถวลำดับ ของเกรนสารขัดถูไปบนซับสเตรทของเครื่องมือเพื่อก่อรูปเครื่องมือขัดถู 2 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 25 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งแถวลำดับจะถูกนิยามไว้โดยชุดของพิกัด คาร์ทีเซียน (x, y) 2 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 25 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งแถวลำดับจะถูกนิยามไว้โดยชุดของพิกัดเชิงขั้ว (r, (สัญลักษณ)) 2 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 27 ที่ซึ่งแถวลำดับยังจะถูกนิยามไว้โดยชุดของพิกัดคาร์ทีเซียใ (x, y) 2 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 28 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งค่าน้อยที่สุด (k) จะมากเกินเส้นผ่าศูนย์กลางที่ มากที่สุดของเกรนสารขัดถู 3 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 29 ที่ซึ่งค่าน้อยที่สุด (k) คืออย่างน้อย 1.5 เท่าของเส้นผ่าศูนย์กลางที่มาก ที่สุดของเกรนสารขัดถู 3
1. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 30 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งเกรนสารขัดถูจะถูกเลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วย เม็ดหยาบของสารขัดถูเดี่ยว, จุดตัดและสารประกอบที่ประกอบด้วยจำนวนหนึ่งของเม็ดหยาบของ สารขัดถู, และการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น 3
2. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ถึง 31 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวัสดุยึดเหนี่ยวสารขัดถูจะถูกเลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วย วัสดุขัดถู, วัสดุการเชื่อมด้วยทองเหลือง, วัสดุการเชื่อมด้วยไฟฟ้า, วัสดุแม่เหล็กไฟฟ้า, วัสดุไฟฟ้า สถิต, วัสดุที่ทำให้เป็นแก้ว, วัสดุพันธะผงโลหะ, วัสดุพอลิเมอริกและวัสดุเรซิน, และการรวมกันของสิ่งเหล่านั้น
TH401003627A 2004-09-20 เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง TH39054B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH69797A TH69797A (th) 2005-07-26
TH39054B true TH39054B (th) 2014-02-12

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006111358A (ru) Способ изготовления абразивных инструментов и абразивные инструменты, изготовленные этим способом
JP6117881B2 (ja) 互いに離隔するパターンを備えるマスク
US4930266A (en) Abrasive sheeting having individually positioned abrasive granules
EP0331344A2 (en) Abrasive sheeting having individually positioned abrasive granules
RU2005124306A (ru) Способ управления избирательным осаждением полимера на технической ткани и техническая ткань
US20230015044A1 (en) Method for manufacturing roll mold, roll mold manufacturing apparatus, non-transitory computer readable medium, microlens array, and roll mold
JP2010536183A (ja) 次世代酸化物/金属cmp用の最適化されたcmpコンディショナー設計
TH39054B (th) เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง
SG190811A1 (en) Cmp pad conditioning tool
TH69797A (th) เครื่องมือขัดถูซึ่งทำขึ้นด้วยแถวลำดับของเกรนสารขัดถูสำหรับการหลีกเลี่ยงด้วยตัวเอง
JP3947355B2 (ja) 砥粒工具及びその製造方法
CN109789522A (zh) 环的制造方法
CN105500183B (zh) 一种研磨垫及其使用周期检测方法
US20140302757A1 (en) Rotary dresser and manufacturing method therefor
JP2022017890A (ja) ドレッシング工具のツルーイング方法、及びドレッシング工具のツルーイングプログラム
WO2006012094A2 (en) A method of and apparatus for magnetic-abrasive machining of wafers
JPH0655459A (ja) 平面研磨装置用定盤及びその製造方法
WO2024122187A1 (ja) 金型製造方法および金型製造装置
IE84217B1 (en) Abrasive tools made with a self-avoiding abrasive grain array
JP2023003795A (ja) ロール製造方法、ロール製造装置、ロールおよび転写物
WO1983002292A1 (en) Screen plate, screw press or the like for treatment of a suspension
CN117300927A (zh) 适用于圆柱形砂轮的磨粒有序排布方法及砂轮的制备方法
JP2009034664A (ja) 網下気室型湿式比重選別機
JP2006130612A (ja) 研削ホイール
JPH0650753U (ja) 弾性ロール砥石